JP2003275523A

JP2003275523A - 自動巻取り型フィルタ装置

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Publication number: JP2003275523A
Application number: JP2002082338A
Authority: JP
Inventors: Soji Tsuda; 聡司津田
Original assignee: Japan Vilene Co Ltd
Current assignee: Japan Vilene Co Ltd
Priority date: 2002-03-25
Filing date: 2002-03-25
Publication date: 2003-09-30
Anticipated expiration: 2022-03-25
Also published as: JP4132906B2

Abstract

(57)【要約】【課題】クリーンルーム等のフィルタシステムの外気
取り入れ口に配置される、アウトガス発生の少ない粗塵
除去用の自動巻取り型フィルタ装置を提供することによ
って、中性能フィルタやＨＥＰＡフィルタの塵埃除去の
負担を少なくすると共に、汚染ガスの進入を軽減し、ま
たケミカルフィルタの汚染ガス除去に関する負担を少な
くしてフィルタシステムの運転維持経費の削減に寄与す
る。【解決手段】粗塵除去用のエアフィルタ用濾材と、ロ
ール状に巻かれた該エアフィルタ用濾材を巻き出すため
の巻き出し部と、集塵後の該エアフィルタ用濾材を自動
的に巻き取るための巻取り部と、これらを収納する本体
ケースと、を備えた自動巻取り型フィルタ装置におい
て、該本体ケースの少なくとも内側に無機質材料による
表面処理がなされていることを特徴とする自動巻取り型
フィルタ装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【0001】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体や液晶の生
産施設などのクリーンルームなどにおいて、主に該クリ
ーンルーム内に流入する外気中に含まれる粗塵を除去す
る自動巻取り型フィルタ装置であり、主として中性能フ
ィルタやＨＥＰＡフィルタ（高性能フィルタ）の前段
や、該クリーンルーム内のガス状汚染物質を除去するケ
ミカルフィルタの前段で用いる、アウトガス発生の少な
い自動巻取り型フィルタ装置に関する。

【0002】

【従来の技術】半導体や液晶の生産施設、または半導体
や液晶の周辺技術関連で用いるクリーンルーム等におい
ては、該生産施設内または該クリーンルーム内の空気や
雰囲気に対して高い清浄度が要求される。しかし、これ
ら空気や雰囲気中には粉塵や有機系ガス状汚染物質や無
機系ガス状汚染物質が含まれているのみならず、クリー
ンルーム構成部材や作業員等からも粉塵や有機系ガス状
汚染物質や無機系ガス状汚染物質が発生するため、この
ような粉塵やガス状汚染物質を除去するフィルタシステ
ムが図１に例示するように設置されている。外気空気は
外調機１の粗塵除去用のプレフィルタ２、中性能フィル
タ３、エアワッシャー４、ＨＥＰＡフィルタ（高性能フ
ィルタ）６の順に通過した後、さらに循環系のＨＥＰＡ
フィルタ８を通過して、空気中の塵埃が除去される。ま
た、クリーンルーム内に流入するガス状汚染物質は必要
に応じて循環系に設置されたケミカルフィルタ７によっ
て除去される。特に、外気中にガス状汚染物質が多く含
まれる場合は、外調機１のＨＥＰＡフィルタ６と中性能
フィルタ３の間に更にケミカルフィルタ５が設置されて
いる。粗塵除去用のプレフィルタ２としては、粗塵除去
用のエアフィルター用濾材がパネル状やユニット状のフ
ィルター枠に装着されエアフィルターユニットの形態の
ものがある。しかし、このようなユニットの場合エアフ
ィルター用濾材が目詰まりするごとに交換する必要があ
り、手間がかかりメンテナンスに要する費用が多くかか
ってしまう。そこで、このような手間やメンテナンスの
費用がかからなくても済む方法として、また特に外気中
の塵埃濃度が多い場合に有効な方法として、図３や図４
に例示するような自動巻取り型フィルタ装置が利用され
ている。

【0003】前記ガス状汚染物質には、有機系ガス状汚染物
質や、無機系ガス状汚染物質が含まれるが、特に有機系
ガス状汚染物質は、半導体基板であるシリコンウェハ表
面上に付着すると、シリコンウェハ表面上に形成される
絶縁酸化膜の絶縁耐圧が低下したり、空気中に浮遊する
微粒子が静電吸着し易くなり、絶縁破壊が起こり易くな
る等、半導体や液晶の製造に悪影響を及ぼす。これら、
有機系ガス状汚染物質のウェハ表面への吸着を防止する
には、クリーンルーム雰囲気中の該有機物質の濃度をで
きるだけ低いレベルで管理しなければならない。このよ
うな管理濃度は次のようにして求めることができる。す
なわち、１９９９年版ＳＩＡ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔ
ｏｒＩｎｄｕｓｔｒｙＡｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ）ロ
ードマップによれば、西暦２０００年のウェハ表面上で
の有機物質管理レベルは６．６×１０^１３Ｃａｔｏｍｓ
／ｃｍ^２と言われている。これをトルエン換算すると１
４．４μｇ／ｍ^２となる。これらウェハ表面上での管理
レベルの値と、一般に知られている付着確率から、下記
の算出式１によりクリーンルーム空気中での管理レベル
の推定値を算出すると、総有機物質は４１．７μｇ／ｍ
^３の管理濃度となる。算出式１：Ｎ＝Ａｓ／（ｖ・ｔ・γ）Ｎ；空気中の汚染物質濃度（空気中の管理濃度）（μｇ
／ｍ^３）Ａｓ；ウェハ表面の汚染物質濃度（ウェハ表面上での管
理レベル）（μｇ／ｍ^２）ｖ；クリーンルーム空気の流速（０．４ｍ／ｓｅｃ）ｔ；ウェハの空気中暴露時間（８６４００ｓｅｃ） γ；付着確率（芳香族炭化水素類の付着確率１×１０
^-５）

【0004】このような汚染物質を吸着除去するケミカルフ
ィルタには、例えば活性炭、活性炭繊維、ゼオライト、
イオン交換樹脂、その他化学吸着材等の吸着材が利用さ
れており、これら吸着材が単独で用いられたり、ネット
状物や不織布等の基材に吸着材等が担持されている。そ
して該ケミカルフィルタは前記フィルタシステム中の循
環系に設置され、また必要に応じて外調機にも設置され
ている。

【0005】しかし、ガス状汚染物質の中でも有機系のガス
状汚染物質は、外気中のみならず、ケミカルフィルタの
下流位置に配置されるＨＥＰＡフィルタ自体からも発生
していることが判ってきた。しかもＨＥＰＡフィルタは
クリーンルームでは多用され、濾材の使用面積が非常に
多いため、特にＨＥＰＡフィルタからの発生ガスの防止
が課題とされてきた。

【0006】

【発明が解決しようとする課題】これに対して、ＨＥＰ
Ａフィルタやケミカルフィルタや外調機の上流位置に配
置される、大量の外気を取り入れるための、粗塵除去を
目的とした自動巻取り型フィルタ装置については、ＨＥ
ＰＡフィルタと比較して濾材や濾材を収納する本体ケー
スの使用面積が少なく、また該自動巻取り型フィルタ装
置よりの発生ガスがケミカルフィルタによって除去され
るため大きな問題とは考えられていなかった。しかし、
本発明者によって、このような自動巻取り型フィルタ装
置であっても該自動巻取り型フィルタ装置から多量の有
機系のガス状汚染物質が発生していることが新たに判
り、その原因を追求したところ、該自動巻取り型フィル
タ装置の内部に配された有機系樹脂塗装鋼板からも有機
質のガス状汚染物質が多く発生していることを見出し
た。

【0007】すなわち、従来の自動巻取り型フィルタ装置で
は、粗塵除去用のプレフィルタは大容量の外気を処理す
るため、他の装置である外気処理フィルタユニットのフ
ィルタ枠よりも大きな容積をもつ本体ケースに収納され
ている。例えば、外気処理フィルターユニットのフィル
ター枠としては、一般的に５００ｍｍ角や６００ｍｍ角
の枠が使用されているが、一般的な自動巻取り型フィル
タ装置では、容積の小さい横型のものでも、例えば本体
ケースの横巾が１３００ｍｍで、高さ（縦巾）が７３５
ｍｍで、奥行きが４７０ｍｍの大容積のものが使用され
ている。また、容積の小さい縦型のものでも、例えば本
体ケースの横巾が９５０ｍｍで、高さ（縦巾）が１３０
０ｍｍで、奥行きが４７０ｍｍの大容積のものが使用さ
れている。このため自動巻取り型フィルタ装置の本体ケ
ースは、加工のし易さや、錆が多く発生しないこと、価
格の安いことを考慮して、鉄板にメラミン樹脂やエポキ
シ樹脂などの樹脂で塗装による表面処理を行ったメラミ
ン塗装鋼板やエポキシ樹脂鋼板などの有機系樹脂塗装鋼
板を組み立てて使用していた。しかし、このような有機
系樹脂の塗装による表面処理を行った樹脂塗装鋼板から
有機質のガス状汚染物質が多く発生していることを見出
したのである。

【0008】しかも、クリーンルーム内の管理基準は年々厳
しくなる一方であり、上記のように自動巻取り型フィル
タ装置から有機系のガス状汚染物質が多量に発生する
と、クリーンルーム内に有機質のガス状汚染物質が多量
に進入したり、その後段にケミカルフィルタが設置され
ている場合はケミカルフィルタの寿命を縮めてしまい、
クリーンルーム等のフィルタシステムの運転経費が大き
くかかってしまうという問題があることを見出した。そ
こで、有機質のガス状汚染物質の発生量が少ない自動巻
取り型フィルタ装置を検討することを課題とした。

【0009】すなわち、本発明は、クリーンルーム等のフィ
ルタシステムの外気取り入れ口に配置される粗塵除去用
の自動巻取り型フィルタ装置であり、主として中性能フ
ィルタやＨＥＰＡフィルタやケミカルフィルタの前段で
用いるアウトガス発生の少ない粗塵除去用の自動巻取り
型フィルタ装置を提供することによって、該中性能フィ
ルタや該ＨＥＰＡフィルタのみならず該ケミカルフィル
タの塵埃に対する負担を少なくして寿命を延ばしつつク
リーンルーム等への汚染ガスの進入を軽減し、また該ケ
ミカルフィルタの汚染ガス除去に関する負担を少なくし
て寿命を延ばし、クリーンルームなどのフィルタシステ
ムの運転維持経費の削減に寄与することを課題とする。

【0010】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段は、請求項１の、粗塵除去用のエアフィルタ用濾
材と、ロール状に巻かれた該エアフィルタ用濾材を巻き
出すための巻き出し部と、集塵後の該エアフィルタ用濾
材を自動的に巻き取るための巻取り部と、これらを収納
する本体ケースと、を備えた自動巻取り型フィルタ装置
において、該本体ケースの少なくとも内側に無機質材料
による表面処理がなされていることを特徴とする自動巻
取り型フィルタ装置による。

【0011】また、請求項２の、前記本体ケースが亜鉛メッ
キ鋼板からなることを特徴とする請求項１に記載の自動
巻取り型フィルタ装置による。

【0012】また、請求項３の、前記本体ケースが溶融５５
％アルミニウム−亜鉛合金メッキ鋼板からなることを特
徴とする請求項１または２に記載の自動巻取り型フィル
タ装置による。

【0013】また、請求項４の、前記本体ケースの内側より
発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガ
ス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積
あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質
の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上１０
０（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下であることを特徴とする請
求項１〜３の何れかに記載の自動巻取り型フィルタ装置
による。

【0014】また、請求項５の、前記エアフィルタ用濾材
が、質量法による粒子捕集平均効率が５０〜９９％であ
る粗塵除去用の濾材であって、該濾材の繊維が熱接着性
繊維によって結合しており、且つ該濾材から発生する総
有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法に
より２３℃において算出して、次に該濾材に含まれる熱
接着性繊維の面密度１００ｇ／ｍ^２あたりから発生す
る、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると
１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上４（μｇ／ｍ ^２・ｈ
ｒ）以下であることを特徴とする請求項１〜４の何れか
に記載の自動巻取り型フィルタ装置による。

【0015】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる自動巻取り
型フィルタ装置の好ましい実施の形態について詳細に説
明する。

【0016】本発明の自動巻取り型フィルタ装置は、粗塵除
去用のエアフィルタ用濾材と、ロール状に巻かれた該エ
アフィルタ用濾材を巻き出すための巻き出し部と、集塵
後の該エアフィルタ用濾材を自動的に巻き取るための巻
取り部と、これらを収納する本体ケースと、を備えた自
動巻取り型フィルタ装置において、該本体ケースの少な
くとも内側に無機質材料による表面処理がなされている
ことを特徴とする自動巻取り型フィルタ装置である。

【0017】前記自動巻取り型フィルタ装置の構造として
は、粗塵除去用のエアフィルタ用濾材と、ロール状に巻
かれた該エアフィルタ用濾材を巻き出すための巻き出し
部と、集塵後の該エアフィルタ用濾材を自動的に巻き取
るための巻取り部と、これらを収納する本体ケースと、
を備えている限り特に限定されない。

【0018】図３はこのような本発明の自動巻取り型フィル
タ装置の一実施例である。図３の正面図（ａ）、側面図
（ｂ）、上面図（ｃ）に例示するように、本発明の自動
巻取り型フィルタ装置２０は、ロール状に巻かれたエア
フィルタ用濾材２１と、集塵のため該エアフィルタ用濾
材を巻き出すための巻き出し部２２と、集塵後の該エア
フィルタ用濾材２１を自動的に巻き取るための巻取り部
２３と、これらを収納する本体ケース２４と、を備えて
いる。

【0019】前記巻き出し部２２は、未使用のエアフィルタ
用濾材を集塵に具するため、ロール状に巻かれたエアフ
ィルタ用濾材をスムーズに自動的に巻き出すための部材
を有している。このような部材としては、例えばロール
状のエアフィルタ用濾材２１の巻き芯を支持する支持金
具２５、ガイドロール２６、濾材押さえ板２７、停止位
置スイッチ２８、濾材終了スイッチ２９等の部材が含ま
れる。

【0020】前記巻き出し部２２より巻き出された未使用の
エアフィルタ用濾材は、次に平板状に伸ばされた状態に
支持され、外気が通過した際に外気中の粗塵の集塵が行
われる。平板状に伸ばされた状態に支持するため、例え
ば本体ケース２４の端に取り付けられた濾材たれ防止歯
車３０を使用すれば、より確実に支持できるので好まし
い。

【0021】一定量の集塵が行われた後、集塵後のエアフィ
ルタ用濾材は、巻取り部２３によって自動的に巻き取ら
れるようになっている。巻取り部２３は、集塵後のエア
フィルタ用濾材を自動的にロール状に巻き取るための部
材を有している。このような部材としては、例えばロー
ル状の使用済みエアフィルタ用濾材３１の巻き芯を支持
する支持金具３２、ガイドロール３３、モータ３４等の
部材が含まれる。また、一定量の集塵が行われた時に自
動的に巻取り機構が働くようにするため、本体ケース２
４の外側には、例えば差圧計３５、制御盤３６、表示灯
３７等が取り付けられている。

【0022】前記本体ケース２４は、４枚の外板と、濾過処
理後の空気を室内へ送風するための間口３８として金属
製のフェンスからなっている。本体ケース２４の外板
は、例えば金属の板や合成樹脂の板など剛性のある板か
ら作られているが、このような板から作られた本体ケー
スの外板の少なくとも内側に、無機質材料による表面処
理がなされている。本発明では、このように、本体ケー
スの外板の内側に、無機質材料による表面処理を行うこ
とによって、本体ケースの外板より発生して処理すべき
外気の中に混入するところの有機質のガス状汚染物質の
量を極めて少なくすることができる。このような表面処
理の例としては、鋼鈑に亜鉛をメッキした亜鉛メッキ鋼
板や、溶融金属メッキ鋼板のうちの一種である溶融亜鉛
メッキ鋼板などがある。また、溶融亜鉛メッキ鋼板のう
ちでも２５〜７５重量％のアルミニウムと、該アルミニ
ウム重量の０．５％以上の重量％のケイ素と、残りの重
量％の亜鉛からなる溶融亜鉛メッキで表面処理されたア
ルミニウム−亜鉛合金メッキ鋼板は特にガス状汚染物質
の量を更に少なくすることができ、また錆も出にくいた
め好適に使用することができる。また、アルミニウム−
亜鉛合金メッキ鋼板のうちでも、アルミニウム５５重量
％、亜鉛４３．４重量％、ケイ素１．６重量％の、溶融
５５％アルミニウム−亜鉛合金メッキ鋼板であればさら
に好適に使用することができる。

【0023】図４は本発明の自動巻取り型フィルタ装置の別
の一実施例である。図３の実施例ではエアフィルタ用濾
材が横方向に巻き出されるのに対して、図４の実施例で
はエアフィルタ用濾材が縦方向に巻き出される。図４に
例示するように、本発明の自動巻取り型フィルタ装置４
０は、ロール状に巻かれたエアフィルタ用濾材４１と、
集塵のため該エアフィルタ用濾材を巻き出すための巻き
出し部４２と、集塵後のエアフィルタ用濾材を自動的に
巻き取るための巻取り部４３と、これらを収納する本体
ケース４４と、を備えている。

【0024】前記巻き出し部４２は、未使用のエアフィルタ
用濾材を集塵に具するため、ロール状に巻かれたエアフ
ィルタ用濾材をスムーズに巻き出すための部材を有して
いる。このような部材としては、例えばロール状のエア
フィルタ用濾材の巻き芯を支持する支持金具４５、ガイ
ドロール４６、濾材押さえ板４７、停止位置スイッチ４
８、濾材終了スイッチ４９等の部材が含まれる。

【0025】前記巻き出し部４２より巻き出された未使用の
エアフィルタ用濾材は、次に複数のガイドロール４６’
によってジグザグ状に支持され、外気が通過した際に外
気中の粗塵の集塵が行われる。

【0026】一定量の集塵が行われた後、集塵後のエアフィ
ルタ用濾材は、巻取り部４３によって自動的に巻き取ら
れるようになっている。巻取り部４３は、集塵後のエア
フィルタ用濾材を自動的にロール状に巻き取るための部
材を有している。このような部材としては、例えばロー
ル状の使用済みエアフィルタ用濾材５１の巻き芯を支持
する支持金具５２、ガイドロール５３、モータ５４等の
部材が含まれる。また、一定量の集塵が行われた時に自
動的に巻取り機構が働くようにするため、本体ケース４
４の外側には、例えば差圧計５５、制御盤５６、表示灯
５７等が取り付けられている。

【0027】本発明の自動巻取り型フィルタ装置では、図
３、図４以外にも、図３の横型構造に対して、縦と横と
を逆にして、エアフィルタ用濾材が縦方向に巻き出され
るようにした縦型構造の装置とすることも、或いは図４
の縦型構造に対して、縦と横とを逆にして、エアフィル
タ用濾材が横方向に巻き出されるようにした横型構造の
装置とすることも可能である。また、本発明の自動巻取
り型フィルタ装置では、本体ケースの寸法は特に限定さ
れないが、横型構造では、少なくとも本体ケースの横巾
が８３５ｍｍで、高さ（縦巾）が６８５ｍｍで、奥行き
が４２０ｍｍの寸法をもつものを使用することが好まし
い。また、一般的に使用される例えば本体ケースの横巾
が１２５０ｍｍ以上で、高さ（縦巾）が６８５ｍｍ以上
で、奥行きが４２０ｍｍ以上の寸法をもつものを使用す
ることが更に好ましい。また、縦型構造では、少なくと
も本体ケースの横巾が４４０ｍｍで、高さ（縦巾）が９
５０１ｍｍで、奥行きが４２０ｍｍの寸法をもつものを
使用することが好ましい。また、一般的に使用される例
えば本体ケースの横巾が９００ｍｍ以上で、高さ（縦
巾）が１２５０ｍｍ以上で、奥行きが４２０ｍｍ以上の
寸法をもつものを使用することが更に好ましい。

【0028】本発明では、前記本体ケースの内側に、無機質
材料による表面処理を行うことによって、好ましくは前
記本体ケースの内側より発生する総有機物質の量（トル
エン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において
算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間
における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ
／ｍ^２・ｈｒ）以上１００（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下と
することができる。より好ましくは、該総有機物質の量
を１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上５０（μｇ／ｍ^２・
ｈｒ）以下とすることができる。また、更に好ましく
は、該総有機物質の量を１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以
上２５（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下とすることができる。
また、最も好ましくは、該総有機物質の量を１．０（ｐ
ｇ／ｍ ^２・ｈｒ）以上１５（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下と
することができる。尚、無機質材料による表面処理とい
っても、表面処理工程などで多少の有機質物質の混入は
避けられず発生する該総有機物質の量を０（ｐｇ／ｍ^２
・ｈｒ）とすることは困難と考えられる。

【0029】また、本発明の自動巻取り型フィルタ装置にお
いては、本体ケースと、エアフィルタ用濾材と、その他
の部材が本体ケースの内側で外気と接する面積をそれぞ
れ求め、更にその面積比率を計算すると、本体ケースは
２５〜６５％、エアフィルタ用濾材は２５〜７０％、そ
の他の部材は１〜１５％である。その他の部材として
は、前記巻き出し部や前記巻取り部に用いる被覆電線な
どの各部材や、本体ケースの目止めのために使用するシ
ーリング材等がある。このような巻き出し部や巻取り部
に用いる各部材とシーリング材の内で有機質のものに対
しては、有機質のガス状汚染物質の発生が少ないものを
選択して使用することが望ましい。

【0030】前記巻き出し部や巻取り部に用いる、前記被覆
電線は面積比率が０．５〜５％であるが、この被覆電線
として、従来の一般用途として使用されるポリ塩化ビニ
ル樹脂によって被覆された被覆電線の代わりに、例えば
ポリオレフィン系の樹脂や、耐熱性樹脂によって被覆さ
れた被覆電線などを選択すれば、該被覆電線より発生す
る総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測
法により２３℃において算出して、次に単位面積あたり
から発生する、単位時間における、該総有機物質の量を
算出すると１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上２０（μｇ
／ｍ^２・ｈｒ）以下であり、好ましくは１．０（ｐｇ／
ｍ^２・ｈｒ）以上１５（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）とすること
ができる。

【0031】また前記シーリング材は面積比率が０．１〜
１．５％であるが、このシーリング材として、従来の一
般用途として使用されるシリコーンシーリング材の代わ
りに、例えば低分子シロキサンなどの低分子物質の揮散
が少ないシリコーンシーリング材などを選択すれば、該
シーリング材より発生する総有機物質の量（トルエン換
算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出し
て、次に単位面積あたりから発生する、単位時間におけ
る、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ^２
・ｈｒ）以上５００（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下であり、
好ましくは１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上３００（μ
ｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下であり、より好ましくは１．０
（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上２００（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）
以下とすることができる。

【0032】本発明の自動巻取り型フィルタ装置で使用する
粗塵除去用のエアフィルタ用濾材は、外気中の粗塵を捕
捉して、その後段に配置する中性能フィルタやＨＥＰＡ
フィルタの濾過寿命を長く保つことができるが、質量法
によって測定評価される濾過性能を有する粗塵用のエア
フィルタ用濾材を用いることが好ましい。尚、前記中性
能フィルタは主として比色法によって測定評価される濾
過性能を有するエアフィルタ用濾材を、例えばプリーツ
折りに加工するなど通風面積を増やしてからフィルタ枠
に装着したものであり、外気中の微塵を捕捉して、その
後段に配置する主として計数法によって測定評価される
濾過性能を有するＨＥＰＡフィルタの濾過寿命を長く保
つことを主目的としている。

【0033】また、前記エアフィルタ用濾材は、ＡＳＨＲＡ
Ｅ５２.１−１９９２に準じた試験方法において、質
量法による粒子捕集平均効率が５０〜９９％であり、好
ましくは粒子捕集平均効率が７０〜９５％であることが
さらに好ましい。粒子捕集平均効率が５０％未満である
場合は粗塵除去が不十分であり、下流位置に配置される
中性能フィルタやＨＥＰＡフィルタやケミカルフィルタ
の寿命を延ばすよりも、むしろ設置の費用が掛かり過ぎ
るため使用できない場合がある。また、粒子捕集平均効
率が９９％を超える場合は、濾材の開孔径が細かくなり
過ぎるため、すぐに濾材前後の圧力損失が限界に達して
寿命が短くなり粗塵用のフィルタとして使用できない場
合がある。また、前記エアフィルタ用濾材の圧力損失は
面風速が１ｍ／ｓｅｃのとき１００Ｐａ以下であること
が好ましい。また、前記エアフィルタ用濾材の圧力損失
は面風速が２．５ｍ／ｓｅｃのとき１００Ｐａ以下であ
ることが更に好ましい。

【0034】前記粗塵除去用濾材は、その下流に位置するプ
レフィルタや、中性能フィルタや、ＨＥＰＡフィルタ
や、ケミカルフィルタが空気中の塵埃によって、すぐに
目詰まりするのを防ぐため設置されるが、特に低い圧力
損失で多量の塵埃を保持できるよう、嵩高なマット状の
不織布が好ましい。このような不織布は、例えば乾式
法、エアレイ法、スパンボンド法等によって得ることが
できる。このうち乾式法による不織布は、厚み方向に繊
維が配向しているので、厚みが大きく、且つ厚みがつぶ
れ難いため、嵩高な構造を必要とする粗塵用のエアフィ
ルタ用濾材として特に適している。また、このような嵩
高な不織布は繊維を３次元的に配向させた後、繊維間を
接着して作られているが、その接着のために接着剤を使
用すると有機質のガス状汚染物質が著しく発生するた
め、接着剤ではなく、熱接着性の有機質繊維によって繊
維間を熱接着することが好ましい。しかし、これら接着
性の有機質繊維から、特に有機質のガス状汚染物質が多
く発生するため、前記接着性の有機質繊維を特定の温度
条件下で加熱処理することによって、有機質のガス状汚
染物質の発生を低減させたエアフィルタ用濾材を用いる
ことが更に好ましい。

【0035】上述のように、有機質のガス状汚染物質の発生
を低減させたエアフィルタ用濾材としては、下記に示す
ものが好ましい。すなわち、前記エアフィルタ用濾材の
繊維としては、不織布の製造で一般的に用いられる合成
繊維、半合成繊維、無機繊維、天然繊維等を用いること
ができる。また、熱接着性繊維には、例えば他の繊維よ
りも融点が低く他の繊維を熱接着することのできる単一
樹脂成分からなる繊維や、他の繊維よりも融点が低く他
の繊維を熱接着することのできる低融点成分を繊維表面
に有する複合繊維を用いることができる。このような複
合繊維には、その横断面形状が例えば、低融点成分を繊
維表面に有する芯鞘型やサイドバイサイド型等の複合繊
維があり、またその材質は例えば、共重合ポリエステル
／ポリエステル、共重合ポリプロピレン／ポリプロピレ
ン、ポリプロピレン／ポリアミド、ポリエチレン／ポリ
プロピレン、ポリプロピレン／ポリエステル、ポリエチ
レン／ポリエステルなどの繊維形成性重合体の組み合わ
せからなる複合繊維がある。

【0036】また、該熱接着性繊維の全体の繊維に占める割
合は好ましくは１００〜５重量％であり、更に好ましく
は１００〜５０重量％であり、最も好ましくは１００〜
７５重量％である。熱接着性繊維の割合が５重量％未満
であると熱接着による結合力が弱く、エアフィルタ用濾
材として使用しても、風圧で容易に厚みがつぶれてしま
い、不具合を生じる場合がある。また、前記エアフィル
タ用濾材の繊維の平均繊度は、３〜５０デシテックスが
好ましく、１０〜３０デシテックスが更に好ましい。

【0037】前記エアフィルタ用濾材は上記の熱接着性繊維
によって、熱接着性繊維同士、又は熱接着性繊維と他の
繊維が、該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処理さ
れることにより結合している。この加熱接着処理には、
例えば熱風吹き出し型乾燥機を用いるか、エアスルー型
の乾燥機を用いる方法がある。

【0038】前記エアフィルタ用濾材の面密度は５０〜１０
００ｇ／ｍ^２が好ましい。また、前記エアフィルタ用濾
材の厚さは、５〜５０ｍｍであることが好ましく、１０
〜３０ｍｍが更に好ましい。５ｍｍ以下である場合は塵
埃の保持容量が少なくなり濾過寿命が短くなってしまう
場合がある。また、５０ｍｍ以上の場合は圧力損失が高
くなり過ぎるため、やはり濾過寿命が短くなってしまう
場合がある。

【0039】前記エアフィルタ用濾材は、エアフィルタ用濾
材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を
発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該
エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維の面密度１
００ｇ／ｍ^２あたりから発生する、単位時間における、
該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ ^２・ｈ
ｒ）以上４（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下であることが好ま
しい。更に好ましくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ
／ｍ^２・ｈｒ）以上２（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下であ
る。最も好ましくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／
ｍ^２・ｈｒ）以上１（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下である。
このように、エアフィルタ用濾材から発生する総有機物
質の量を少なくするには、例えば前記熱接着性繊維によ
って、熱接着性繊維同士、又は熱接着性繊維と他の繊維
が、該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処理される
ことにより結合しているエアフィルタ用素材をさらに８
０℃以上で、且つ該熱接着性繊維の融点より１０℃以下
の温度の気体中で加熱処理することによって得ることが
できる。

【0040】また、前記エアフィルタ用濾材は上記のエアフ
ィルタ用濾材と同じもの又は異なるものが複数積層して
いても構わない。また、上記のエアフィルタ用濾材と他
の通気性を有するシート状物が積層していても構わな
い。このような通気性を有するシート状物には、例えば
織物、編物、ネット、不織布、ろ紙等があるが、ガス状
汚染物質を多く発生しないものが好ましい。

【0041】本発明では、有機質ガス状汚染物質の定量に
は、ダイナミックヘッドスペース法によって、加熱状態
で促進試験を行ない、発生ガス量を定量した後、その値
を発生ガス推測法によって、室温時の値に換算した値を
使用している。

【0042】次に、ダイナミックヘッドスペース法を説明す
る。図２はこの方法に用いる発生ガス捕集装置（ジーエ
ルサイエンス(株)製ＭＳＴＤ−２５８Ｍ）の説明図で
ある。まず、測定したい素材を直径７ｃｍの円形に切
り、試料１４を作成する。試料１４をチャンバー１０内
の中央のガス吹き出し口１３の上に設置するか、或いは
ガス吹き出し口１３の上に浮かせた状態で支持する。次
に、清浄なヘリウムガス１１をチャンバー内に流速１２
０ｍｌ／ｍｉｎで連続的に流通させながら所定の温度
（６０℃または８０℃）で加熱する。ヘリウムガス１１
は試料１４と接触する際、試料１４から発生する汚染物
質がヘリウムガス中に混入するので、気体濃度が平衡に
なった後、捕集速度１００ｍｌ／ｍｉｎで固体吸着材１
２（成分；2,6-diphenylene oxide）に捕集する。次い
で、固体吸着材１２に捕集した物質をガスクロマトグラ
フ質量分析計で分析する。（(株)島津製作所製ＱＰ−
５０５０を使用）加熱の温度は６０℃と８０℃の２条件
で測定する。

【0043】次に、発生ガス推測法とは、高温下で発生ガス
の促進試験を行ない、実験式を用いて、室温での結果を
推測する方法であり、以下、発生ガス推測法について具
体的に説明する。実際のクリーンルームの室温２３℃で
の発生ガスは極微量なので実測では分析感度の点で長時
間の測定が必要になるなど、現実的には測定困難なた
め、前述のダイナミックヘッドスペース法により、試験
条件を例えば６０℃、８０℃の高温下に設定して、試料
から発生する有機物質の量を定性定量的に測定した結果
から下記の式を用いて室温２３℃での結果を推測する。
（株）住化分析センターの竹田らによれば、試験温度と
発生ガスの関係については、経験則として下記の式が成
り立つことがわかっている。（平成１１年第１７回コン
タミネーションコントロール研究大会予稿集などに記
載） lｎ（M/A・h）＝−C１／T＋C２ M；トルエン換算の発生ガス量（μｇ） A；測定試料面積（ｍ²） h；捕集に要した時間（ｈ） T；試験温度（絶対温度K） C１およびC２；定数

【0044】次に、本発明の請求項４に係る自動巻取り型フ
ィルタ装置を用いてクリーンルーム内に流入する外気中
に含まれる粗塵を除去する場合の効果を示す。例えば、
図３に示す自動巻取り型フィルタ装置の本体ケースに設
けられた間口を通過する風速を２．５ｍ／ｓｅｃに設定
し、更に本体ケースの内側より発生する総有機物質の量
（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃に
おいて算出して、次に単位面積あたりから発生する、単
位時間における、該総有機物質の量を算出すると１００
（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）である場合、そして本体ケースの
内側の面積が１．９２ｍ^２であり、自動巻取り型フィル
タ装置の間口の面積が、０．８ｍ^２である場合、間口１
ｍ^２あたりから発生する、単位時間における、該総有機
物質の量は１００μｇ／ｍ^２・ｈｒ×１．９２ｍ^２÷
０．８ｍ^２＝２４０μｇ／ｍ^２・ｈｒとなる。すると、
空気中の汚染物質濃度は２４０μｇ／ｍ^２・ｈｒ÷２．
５ｍ／ｓｅｃ＝２．７×１０^−２μｇ／ｍ^３となり、前
述の管理基準値の４１．７μｇ／ｍ^３を十分に満足でき
る。また、本発明の自動巻取り型フィルタ装置は、ケミ
カルフィルタの前に設置するので自動巻取り型フィルタ
装置から発生する有機物質は、該ケミカルフィルタによ
って除去されるので、クリーンルーム中の空気中の汚染
物質濃度は実質的に０μｇ／ｍ^３であるが、後述の実施
例で示すように、本発明による自動巻取り型フィルタ装
置からの発生ガス量は、従来タイプの自動巻取り型フィ
ルタ装置からの発生ガス量と比較して、極めて少なく、
ケミカルフィルタへの負担を格段に軽減して、ケミカル
フィルタの寿命を大きく延ばすことができる。尚、この
ように本発明の自動巻取り型フィルタ装置からの発生ガ
スは従来タイプより極めて少ないため、例えばケミカル
フィルタ等を配置しなくても良いような管理基準のあま
り厳しくない室内用途にも用いることができる。

【0045】次に、上記の請求項４に係る自動巻取り型フィ
ルタ装置をクリーンルーム内に流入する外気中に含まれ
る粗塵を除去する自動巻取り型フィルタ装置として使用
した場合と同じ条件で、更に本発明の請求項５に係るエ
アフィルタ用濾材を使用した場合の効果を示す。このエ
アフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエ
ン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算
出して、次に該濾材に含まれる熱接着性繊維の面密度１
００ｇ／ｍ^２あたりから発生する、単位時間における、
該総有機物質の量を算出すると４（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）
である場合、そして該エアフィルタ用濾材が熱接着性繊
維１００重量％からなり、該エアフィルタ用濾材の面密
度が２００ｇ／ｍ^２であり、該エアフィルタ用濾材の面
積が１．３２ｍ^２である場合、間口１ｍ^２あたりから発
生する、単位時間における、該総有機物質の量は４μｇ
／ｍ^２・ｈｒ×２００ｇ／ｍ^２÷１００ｇ／ｍ^２×１．
３２ｍ^２＝１１μｇ／ｍ^２・ｈｒとなる。すると、空気
中の汚染物質濃度は（２４０＋１１）μｇ／ｍ^２・ｈｒ
÷２．５ｍ／ｓｅｃ＝２．８×１０^−２μｇ／ｍ^３とな
り、前述の管理基準値の４１．７μｇ／ｍ^３を十分に満
足できる。また、本発明の自動巻取り型フィルタ装置
は、ケミカルフィルタの前に設置するので自動巻取り型
フィルタ装置から発生する有機物質は、該ケミカルフィ
ルタによって除去されるので、クリーンルーム中の空気
中の汚染物質濃度は実質的に０μｇ／ｍ^３であるが、後
述の実施例で示すように、本発明による自動巻取り型フ
ィルタ装置からの発生ガス量は、従来タイプの自動巻取
り型フィルタ装置からの発生ガス量と比較して、極めて
少なく、ケミカルフィルタへの負担を格段に軽減して、
ケミカルフィルタの寿命を大きく延ばすことができる。
尚、このように本発明の自動巻取り型フィルタ装置から
の発生ガスは従来タイプより極めて少ないため、例えば
ケミカルフィルタ等を配置しなくても良いような管理基
準のあまり厳しくない室内用途にも用いることができ
る。

【0046】以下、本発明の実施例につき説明するが、これ
は発明の理解を容易とするための好適例に過ぎず、本願
発明はこれら実施例の内容に限定されるものではない。

【0047】（実施例１）図３に示すように、粗塵除去用の
エアフィルタ用濾材２１と、ロール状に巻かれた該エア
フィルタ用濾材２１を巻き出すための巻き出し部２２
と、集塵後の該エアフィルタ用濾材を自動的に巻き取る
ための巻取り部２３と、これらを収納する本体ケース２
４と、を備えた自動巻取り型フィルタ装置２０を製作す
るに際して、該本体ケース２４に、アルミニウム５５重
量％、亜鉛４３．４重量％、ケイ素１．６重量％の溶融
５５％アルミニウム−亜鉛合金メッキ鋼板を用いた。ま
た、本体ケース２４の寸法は、横巾が１３００ｍｍで、
高さ（縦巾）が７３５ｍｍで、奥行きが４７０ｍｍの寸
法であり、本体ケース２４の濾過前の外気と接触する面
積は１．９２ｍ^２であり、この面積は濾過前の外気と接
触する部材の全表面積に対する面積比率は５４．５％で
あった。この溶融５５％アルミニウム−亜鉛合金メッキ
鋼板から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）
を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に
単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総
有機物質の量を算出すると１２．２（μｇ／ｍ^２・ｈ
ｒ）であった。また、粗塵除去用のエアフィルタ用濾材
２１が濾過前の外気と接触する面積は１．３２ｍ^２（面
積比率３７．５％）であり、本体ケース２４の目止めの
ために用いたシーリング材が濾過前の外気と接触する面
積は０．０２５６ｍ^２（面積比率０．７％）であり、巻
き出し部２２や巻取り部２３に用いる各部材の内有機質
材料である被覆電線が外気と接触する面積は０．０９６
ｍ^２（面積比率２．７％）であり、巻き出し部２２や巻
取り部２３に用いる各部材の内無機質材料である金属製
モータカバーなどが部材の外気と接触する面積は０．１
６２ｍ^２（面積比率４．６％）であった。また、本体ケ
ース２４に設けられた間口３８の間口面積は０．８ｍ^２
であった。

【0048】（実施例２）実施例１の自動巻取り型フィルタ
装置２０において、粗塵除去用のエアフィルタ用濾材２
１として、以下に述べる方法で作製したエアフィルタ用
濾材を用いた。芯成分が融点１６０℃のポリプロピレ
ン、鞘成分が融点１３０℃のポリエチレンからなる、繊
度が２０デシテックス、繊維長が７６ｍｍの複合繊維で
ある熱接着性繊維１００％からなる繊維原料を開繊した
後、カード機にかけてウェブを形成した。このウェブに
１４５℃の乾燥機で３分間加熱接着処理を行ない、鞘成
分のポリエチレンを溶融して、そのウェブの繊維交点で
繊維接着を行ない、その後空冷して面密度２００ｇ／ｍ
^２、厚さ２０ｍｍのエアフィルタ用素材を作製した。次
に、このエアフィルタ用素材に、１１０℃の乾燥機で１
０分間加熱除去処理を行ない、面密度２００ｇ／ｍ^２、
厚さ２０ｍｍのエアフィルタ用濾材を得た。このエアフ
ィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換
算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出し
て、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維
の面密度１００ｇ／ｍ^２あたりから発生する、単位時間
における、該総有機物質の量を算出すると０．１５（μ
ｇ／ｍ^２・ｈｒ）であった。次に、このエアフィルタ用
濾材をロール状に巻いた後に、自動巻取り型フィルタ装
置２０に装着した。この自動巻取り型フィルタ装置２０
は、ＡＳＨＲＡＥ５２.１−１９９２に準じた試験方
法によると風速２．５ｍ／ｓｅｃの試験条件で、質量法
による粒子捕集平均効率が８０％であり、圧力損失が面
風速が１ｍ／ｓｅｃのとき１５Ｐａであり、粗塵用フィ
ルタとしての性能を満足するものであって、クリーンル
ーム内に流入する外気中に含まれる粗塵を除去する性能
に優れていた。

【0049】（実施例３）実施例２において、エアフィルタ
用素材に１００℃で５分間加熱除去処理を行なったこと
以外は実施例２と同様にしてエアフィルタ用濾材を得
た。このエアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の
量（トルエン換算重量）を実施例１と同様にして算出す
ると、０．４８（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）であった。その
後、このエアフィルタ用濾材を実施例２と同様にして、
自動巻取り型フィルタ装置２０に装着した。

【0050】（実施例４）実施例２の自動巻取り型フィルタ
装置２０において、シーリング材として、低分子シロキ
サンの揮散が少ないシリコーンシーリング材を用いた。
このシーリング材から発生する総有機物質の量（トルエ
ン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算
出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間に
おける、該総有機物質の量を算出すると１４０（μｇ／
ｍ^２・ｈｒ）であった。

【0051】（実施例５）実施例４の自動巻取り型フィルタ
装置２０において、被覆電線として、ポリエチレン系の
樹脂によって被覆された被覆電線を用いた。この被覆電
線から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を
発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単
位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有
機物質の量を算出すると１２．０（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）
であった。また、巻き出し部２２や巻取り部２３に用い
る各部材の内無機質材料である金属製モータカバーなど
から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）は実
質的に０（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）であった。また、実施例
５の自動巻取り型フィルタ装置全体から発生する総有機
物質の量を算出すると２８．５５（μｇ／ｈｒ）であ
り、間口面積１ｍ^２あたりから発生する、単位時間にお
ける、該総有機物質の量を算出すると３５．７（μｇ／
ｍ^２・ｈｒ）であった。実施例５の結果を表−１に示
す。

【0052】（実施例６）実施例５の自動巻取り型フィルタ
装置２０において、本体ケース２４の寸法を、横巾が１
８５０ｍｍで、高さ（縦巾）が２５００ｍｍで、奥行き
が４７０ｍｍの寸法とし、本体ケース２４の濾過前の外
気と接触する面積を４．０９ｍ^２（面積比率３９．２
％）とし、粗塵除去用のエアフィルタ用濾材２１が濾過
前の外気と接触する面積を５．９２ｍ^２（面積比率５
６．７％）とし、シーリング材が濾過前の外気と接触す
る面積を０．０２５６ｍ^２（面積比率０．２％）とし、
被覆電線が外気と接触する面積を０．２３ｍ^２（面積比
率２．２％）とし、金属製モータカバーなどが部材の外
気と接触する面積を０．１６８ｍ^２（面積比率１．６
％）とし、本体ケース２４に設けられた間口３８の間口
面積を４．２８ｍ^２としたこと以外は実施例４と同様に
して、自動巻取り型フィルタ装置を製作した。実施例６
の結果を表−１に示す。

【0053】（実施例７）実施例５の自動巻取り型フィルタ
装置２０において、本体ケース２４として電気亜鉛メッ
キからなる亜鉛メッキ鋼板を用いて、本体ケース２４の
寸法を、横巾が３７００ｍｍで、高さ（縦巾）が３７０
０ｍｍで、奥行きが４７０ｍｍの寸法とし、本体ケース
２４の濾過前の外気と接触する面積を１０．４３ｍ
^２（面積比率３８．６％）とし、粗塵除去用のエアフィ
ルタ用濾材２１が濾過前の外気と接触する面積を１５．
８９ｍ^２（面積比率５８．８％）とし、シーリング材が
濾過前の外気と接触する面積を０．０５１２ｍ^２（面積
比率０．２％）とし、被覆電線が外気と接触する面積を
０．４１２ｍ^２（面積比率１．５％）とし、金属製モー
タカバーなどが部材の外気と接触する面積を０．２３７
ｍ^２（面積比率０．９％）とし、本体ケース２４に設け
られた間口３８の間口面積を１３．１０ｍ^２としたこと
以外は実施例４と同様にして、自動巻取り型フィルタ装
置を製作した。尚、実施例６で用いた亜鉛鋼板から発生
する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推
測法により２３℃において算出して、次に単位面積あた
りから発生する、単位時間における、該総有機物質の量
を算出すると２０．６（μｇ／ｍ ^２・ｈｒ）であった。
実施例７の結果を表−１に示す。

【0054】（比較例１）実施例５の自動巻取り型フィルタ
装置２０において、本体ケース２４としてメラミン塗装
鋼板を用いたこと、及びエアフィルタ用素材に加熱除去
処理を行なわなかったエアフィルタ用濾材を用いたこ
と、及びシーリング材として従来の一般用途として使用
されるシリコーンシーリング材を用いたこと、及び被覆
電線として従来の一般用途として使用されるポリ塩化ビ
ニル樹脂によって被覆された被覆電線を用いたこと以外
は実施例５と同様にして、自動巻取り型フィルタ装置を
製作した。尚、比較例１で用いたメラミン塗装鋼板から
発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガ
ス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積
あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質
の量を算出すると１２８．５（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）であ
った。また、比較例１で用いたエアフィルタ用濾材から
発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガ
ス推測法により２３℃において算出して、次に該エアフ
ィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維の面密度１００ｇ
／ｍ^２あたりから発生する、単位時間における、該総有
機物質の量を算出すると５．１３（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）
であった。また、比較例１で用いたシーリング材から発
生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス
推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あ
たりから発生する、単位時間における、該総有機物質の
量を算出すると５７６（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）であった。
また、比較例１で用いた被覆電線から発生する総有機物
質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２
３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生す
る、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると
２２．８（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）であった。また、実施例
７の自動巻取り型フィルタ装置全体から発生する総有機
物質の量を算出すると２７７．２４（μｇ／ｈｒ）であ
り、間口面積１ｍ^２あたりから発生する、単位時間にお
ける、該総有機物質の量を算出すると３４６．６（μｇ
／ｍ^２・ｈｒ）であった。比較例１の結果を表−１に示
す。

【0055】（比較例２）比較例１において、エアフィルタ
用素材に１５０℃で３分間加熱除去処理を行なったこと
以外は比較例１と同様にしてエアフィルタ用濾材を得
た。このエアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の
量（トルエン換算重量）を比較例１と同様にして算出す
ると、１２．８（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）であった。その
後、このエアフィルタ用濾材を比較例１と同様にして、
自動巻取り型フィルタ装置２０に装着した。

【0056】

【表１】

【0057】以上のように、実施例１〜７では、本体ケース
の少なくとも内側に無機質材料による表面処理がなされ
ているので、該本体ケースから発生する総有機物質の量
が１２．２〜２０．６（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）と少ない。
これに対して比較例１〜２では総有機物質の量が１２
８．５（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）と多くなっている。このよ
うに、本発明の自動巻取り型フィルタ装置は自動巻取り
型フィルタ装置自体から発生する総有機物質の量が少な
いので、クリーンルームなどに流入する外気中に含まれ
る粗塵を除去する自動巻取り型フィルタ装置として優れ
ていた。

【0058】また、実施例２〜７では、加熱除去処理を行う
ことによって得られた１００ｇ／ｍ^２のエアフィルタ用
濾材から発生する総有機物質の量は０．１５〜０．４８
（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）である。これに対して、加熱接着
処理しか行わなかった従来タイプのエアフィルタ用濾材
は、比較例１に示されるように５.１３（μｇ／ｍ^２・
ｈｒ）である。また、熱接着性繊維の融点以上で加熱処
理した比較例２では１２．８（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）であ
る。このように本発明の自動巻取り型フィルタ装置に実
施例２〜７に示す総有機物質の発生量が少ないエアフィ
ルタ用濾材を装着すれば、自動巻取り型フィルタ装置自
体から発生する総有機物質の量を更に少なくすることが
できる。

【0059】また、実施例４〜７では、シーリング材とし
て、低分子シロキサンの揮散が少ないシリコーンシーリ
ング材を用いたので、シーリング材から発生する総有機
物質の量は１４０（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）である。これに
対して従来タイプのシーリング材は、比較例１に示され
るように５７６（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）である。このよう
に本発明の自動巻取り型フィルタ装置に実施例４〜７に
示す総有機物質の発生量が少ないシーリング材を装着す
れば、自動巻取り型フィルタ装置自体から発生する総有
機物質の量を更に少なくすることができる。

【0060】また、実施例５〜７では、被覆電線として、ポ
リエチレン系の樹脂によって被覆された被覆電線を用い
たので、被覆電線から発生する総有機物質の量は１２．
０（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）である。これに対して従来タイ
プの被覆電線は、比較例１に示されるように２２．８
（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）である。このように本発明の自動
巻取り型フィルタ装置に実施例５〜７に示す総有機物質
の発生量が少ない被覆電線を装着すれば、自動巻取り型
フィルタ装置自体から発生する総有機物質の量を更に少
なくすることができる。

【0061】また、実施例５〜７では、総有機物質の発生量
が少ない部材を使用しているので、自動巻取り型フィル
タ装置の間口１ｍ^２当たりから発生する総有機物質の量
は、１３．６〜３５．７（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）であり、
これに対して従来タイプのシーリング材は、比較例１に
示されるように３４６．６（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）であ
る。このように本発明の自動巻取り型フィルタ装置では
実施例５〜７に示す総有機物質の発生量が少ない部材を
装着しているので、自動巻取り型フィルタ装置自体から
発生する総有機物質の量を少なくすることができる。

【0062】

【発明の効果】本発明の自動巻取り型フィルタ装置によ
って、クリーンルーム等のフィルタシステムの外気取り
入れ口に配置される、主として中性能フィルタやＨＥＰ
Ａフィルタやケミカルフィルタの前段で用いるアウトガ
ス発生の少ない粗塵除去用の自動巻取り型フィルタ装置
を提供することができ、該中性能フィルタや該ＨＥＰＡ
フィルタのみならず該ケミカルフィルタの塵埃に対する
負担を少なくして寿命を延ばしつつクリーンルーム等へ
の汚染ガスの進入を軽減し、また該ケミカルフィルタの
汚染ガス除去に関する負担を少なくして寿命を延ばし、
クリーンルームなどのフィルタシステムの運転維持経費
の削減に寄与することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】クリーンルームなどのフィルタシステム

【図２】ダイナミックヘッドスペース法に用いる発生ガ
ス捕集装置の説明図

【図３】本発明の自動巻取り型フィルタ装置の一実施例
の（ａ）正面図、（ｂ）側面図、（ｃ）上面図

【図４】本発明の自動巻取り型フィルタ装置の一実施例
の（ａ）正面図、（ｂ）側面図

【符号の説明】

１外調機２プレフィルタ３中性能フィルタ４エアワッシャ− ５ケミカルフィルタ６ＨＥＰＡフィルタ７ケミカルフィルタ８ＨＥＰＡフィルタ９クリーンルーム１０チャンバー１１ヘリウムガス１２固体吸着剤１３ガス吹出し口１４試料２０、４０自動巻取り型フィルタ装置２１、４１エアフィルタ用濾材２２、４２巻き出し部２３、４３巻取り部２４、４４本体ケース２５、４５支持金具２６、４６、４６’ ガイドロール２７、４７濾材押さえ板２８、４８停止位置スイッチ２９、４９濾材終了スイッチ３０濾材たれ防止歯車３１、５１使用済みエアフィルタ用濾材３２、５２支持金具３３、５３ガイドロール３４、５４モータ３５、５５差圧計３６、５６制御盤３７、５７表示灯３８、５８間口

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項1】粗塵除去用のエアフィルタ用濾材と、ロ
ール状に巻かれた該エアフィルタ用濾材を巻き出すため
の巻き出し部と、集塵後の該エアフィルタ用濾材を自動
的に巻き取るための巻取り部と、これらを収納する本体
ケースと、を備えた自動巻取り型フィルタ装置におい
て、該本体ケースの少なくとも内側に無機質材料による
表面処理がなされていることを特徴とする自動巻取り型
フィルタ装置。
【請求項2】前記本体ケースが亜鉛メッキ鋼板からな
ることを特徴とする請求項１に記載の自動巻取り型フィ
ルタ装置。
【請求項3】前記本体ケースが溶融５５％アルミニウ
ム−亜鉛合金メッキ鋼板からなることを特徴とする請求
項１または２に記載の自動巻取り型フィルタ装置。
【請求項4】前記本体ケースの内側より発生する総有
機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法によ
り２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発
生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出す
ると１．０（ｐｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上１００（μｇ／ｍ
^２・ｈｒ）以下であることを特徴とする請求項１〜３の
何れかに記載の自動巻取り型フィルタ装置。
【請求項5】前記エアフィルタ用濾材が、質量法によ
る粒子捕集平均効率が５０〜９９％である粗塵除去用の
エアフィルタ用濾材であって、該エアフィルタ用濾材の
繊維が熱接着性繊維によって結合しており、且つ該エア
フィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン
換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出
して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊
維の面密度１００ｇ／ｍ^２あたりから発生する、単位時
間における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐ
ｇ／ｍ^２・ｈｒ）以上４（μｇ／ｍ^２・ｈｒ）以下であ
ることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の自動
巻取り型フィルタ装置。