JP2003268600A - 極性高速反転による電解剥離法 - Google Patents
極性高速反転による電解剥離法Info
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- JP2003268600A JP2003268600A JP2002069886A JP2002069886A JP2003268600A JP 2003268600 A JP2003268600 A JP 2003268600A JP 2002069886 A JP2002069886 A JP 2002069886A JP 2002069886 A JP2002069886 A JP 2002069886A JP 2003268600 A JP2003268600 A JP 2003268600A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被処理物本体の腐食を抑えながら、確実に短
時間で付着物を除去できる電解剥離法を提供する。 【解決手段】 導電性金属材料の被処理物表面に形成さ
れた付着膜を剥離する方法において、上記被処理物を陰
極とするとともに、被処理物から電解によりガスを発生
させる電解液を用い、電解液槽で上記陰極及び陽極に通
電し、被処理物と付着膜との接触面にガスを発生させ、
このガスにより付着膜を剥離する。また、極性を高速で
交互に反転させることにより、陽極酸化を防ぎ、被処理
物の腐食を抑制するとともに、陰極の被処理物表面に付
着した反応生成物を表面から落としてガスの生成を促進
させる。
時間で付着物を除去できる電解剥離法を提供する。 【解決手段】 導電性金属材料の被処理物表面に形成さ
れた付着膜を剥離する方法において、上記被処理物を陰
極とするとともに、被処理物から電解によりガスを発生
させる電解液を用い、電解液槽で上記陰極及び陽極に通
電し、被処理物と付着膜との接触面にガスを発生させ、
このガスにより付着膜を剥離する。また、極性を高速で
交互に反転させることにより、陽極酸化を防ぎ、被処理
物の腐食を抑制するとともに、陰極の被処理物表面に付
着した反応生成物を表面から落としてガスの生成を促進
させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スパッタリング装
置・ＣＶＤ装置等に用いられる装置およびそれに付随す
る治具に付着した付着膜を除去する電解剥離方法に関す
るものである。
置・ＣＶＤ装置等に用いられる装置およびそれに付随す
る治具に付着した付着膜を除去する電解剥離方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ＩＴＯ（酸化インジウム錫）や
アルミニウムなどの金属を基板にコーティング又は堆積
させる場合、スパッタリングや真空蒸着を行なう。その
際、装置内部及び治具に余分な金属が付着するので、こ
のような治具は、再利用のために、付着膜を剥離して洗
浄している。
アルミニウムなどの金属を基板にコーティング又は堆積
させる場合、スパッタリングや真空蒸着を行なう。その
際、装置内部及び治具に余分な金属が付着するので、こ
のような治具は、再利用のために、付着膜を剥離して洗
浄している。
【０００３】従来の技術では、この付着膜を電気分解に
より剥離除去する方法として、導電性金属材料の被処理
物を陰極又は陽極として、直流又は交流電流による電解
剥離法が用いられている。
より剥離除去する方法として、導電性金属材料の被処理
物を陰極又は陽極として、直流又は交流電流による電解
剥離法が用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、直流に
よる電解剥離法では、導電性金属材料の被処理物を陰極
に設定した場合には、反応生成物が被処理物表面に付着
する結果、陰極と付着膜の接触面でのガスの生成が抑制
されてしまうため、剥離速度が著しく低下するという問
題がある。
よる電解剥離法では、導電性金属材料の被処理物を陰極
に設定した場合には、反応生成物が被処理物表面に付着
する結果、陰極と付着膜の接触面でのガスの生成が抑制
されてしまうため、剥離速度が著しく低下するという問
題がある。
【０００５】一方、導電性金属材料の被処理物を陽極に
設定した場合には、エッチングが進み過ぎる結果、付着
膜が除去されたときには被処理物本体の損傷が激しいと
いう問題点がある。また、アルミニウムや錫などのアル
カリで溶解する金属の処理には適さない。
設定した場合には、エッチングが進み過ぎる結果、付着
膜が除去されたときには被処理物本体の損傷が激しいと
いう問題点がある。また、アルミニウムや錫などのアル
カリで溶解する金属の処理には適さない。
【０００６】なお、電極の極性を切り換えるＰＲ法も知
られているが、被処理物が陽極となる継続時間が長いた
め、エッチングが進み過ぎ、やはり被処理物本体（母
材）の損傷が激しいという問題点がある。
られているが、被処理物が陽極となる継続時間が長いた
め、エッチングが進み過ぎ、やはり被処理物本体（母
材）の損傷が激しいという問題点がある。
【０００７】本発明は、上記した従来技術の問題に鑑み
てなされたものであって、被処理物本体の腐食を抑えな
がら、確実に短時間で付着物を除去できる電解剥離法を
提供することを課題とする。
てなされたものであって、被処理物本体の腐食を抑えな
がら、確実に短時間で付着物を除去できる電解剥離法を
提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１に係る電解剥離方法は、導電性金属材料か
らなる被処理物の表面に付着した膜を剥離する付着膜の
剥離方法において、前記被処理物を陰極として、被処理
物から電気分解によりガスを発生させる電解液を用い、
前記被処理物を陰極とする通常極性の通電時間と、電極
を反転させる逆極性の通電時間との比率を、１０：１〜
３０：１に設定すると共に、極性反転の動作周期を５０
０ｍ秒以下に設定している。
め、請求項１に係る電解剥離方法は、導電性金属材料か
らなる被処理物の表面に付着した膜を剥離する付着膜の
剥離方法において、前記被処理物を陰極として、被処理
物から電気分解によりガスを発生させる電解液を用い、
前記被処理物を陰極とする通常極性の通電時間と、電極
を反転させる逆極性の通電時間との比率を、１０：１〜
３０：１に設定すると共に、極性反転の動作周期を５０
０ｍ秒以下に設定している。
【０００９】被処理物から電気分解によりガスを発生さ
せる電解液は、硫酸、塩酸、リン酸、硝酸、クロム酸、
ナトリウム化合物又はキレート剤等による酸性、中性、
アルカリ性の電解液であり、発生するガスは水素ガス、
塩素ガス、酸素ガスなどである。上記の電解液に、更に
酸化抑制剤や、界面活性剤等を添加するのが好適であ
る。典型的には、硫酸又はリン酸の単独或いは組合せが
５〜１５重量％、界面活性剤０．０５〜０．２重量％、
残り水の電解液が好適に使用される。
せる電解液は、硫酸、塩酸、リン酸、硝酸、クロム酸、
ナトリウム化合物又はキレート剤等による酸性、中性、
アルカリ性の電解液であり、発生するガスは水素ガス、
塩素ガス、酸素ガスなどである。上記の電解液に、更に
酸化抑制剤や、界面活性剤等を添加するのが好適であ
る。典型的には、硫酸又はリン酸の単独或いは組合せが
５〜１５重量％、界面活性剤０．０５〜０．２重量％、
残り水の電解液が好適に使用される。
【００１０】本発明において、被処理物を陰極とする通
常極性の通電時間と、電極を反転させる逆極性の通電時
間との比率は、１０：１〜３０：１に設定されるが、よ
り好ましくは、１５：１〜２５：１である。また、極性
反転の動作周期を５００ｍ秒以下に設定されるが、より
好ましくは、通常極性の通電時間が１０〜３００ｍ秒に
設定される一方、電極を反転させる逆極性の通電時間が
１〜１０ｍ秒に設定されるべきである。更に好ましく
は、通常極性の通電時間が１５〜２５０ｍ秒に設定され
る。
常極性の通電時間と、電極を反転させる逆極性の通電時
間との比率は、１０：１〜３０：１に設定されるが、よ
り好ましくは、１５：１〜２５：１である。また、極性
反転の動作周期を５００ｍ秒以下に設定されるが、より
好ましくは、通常極性の通電時間が１０〜３００ｍ秒に
設定される一方、電極を反転させる逆極性の通電時間が
１〜１０ｍ秒に設定されるべきである。更に好ましく
は、通常極性の通電時間が１５〜２５０ｍ秒に設定され
る。
【００１１】また、通常極性の通電時間と、電極を反転
させる逆極性の通電時間との間に、逆極性の通電時間と
同程度の無極性状態を設けると、通常極性と逆極性の通
電時間の比率を１０：１〜３０：１に設定する制御を容
易に実現できる。また、極性反転の動作を終了した後、
極性を反転させた状態で１〜１０分間保持すると反応生
成物の再付着が防止される。なお、本発明は、ＩＴＯ膜
やＡｌ膜を除去するのに特に有効である。
させる逆極性の通電時間との間に、逆極性の通電時間と
同程度の無極性状態を設けると、通常極性と逆極性の通
電時間の比率を１０：１〜３０：１に設定する制御を容
易に実現できる。また、極性反転の動作を終了した後、
極性を反転させた状態で１〜１０分間保持すると反応生
成物の再付着が防止される。なお、本発明は、ＩＴＯ膜
やＡｌ膜を除去するのに特に有効である。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に、本発明をその実施の形態
を示す図面に基づいて更に説明する。図１は、本発明の
電解剥離法を実現する電極切り換え手法を図示したもの
であり、横軸に時間、縦軸に被処理物を取り付ける陰極
の極性を表してある。
を示す図面に基づいて更に説明する。図１は、本発明の
電解剥離法を実現する電極切り換え手法を図示したもの
であり、横軸に時間、縦軸に被処理物を取り付ける陰極
の極性を表してある。
【００１３】被処理物を陰極とする通常極性の状態をプ
ラス（＋）とし、反転極性の状態をマイナス（−）とし
ている。図１において、極性は時間的に切り換えられる
が、無極性の状態Ａと、反転極性状態Ｂと、通常極性状
態Ｃとの関係は、無極性の状態Ａは１〜１０ｍ秒程度、
反転極性状態Ｂが１〜１０ｍ秒程度、通常極性状態Ｃは
１０〜３００ｍ秒程度が好ましい。そして、通電時間の
比率としては、反転極性状態Ｂを１とすると、通常極性
状態Ｃが１０〜３０に設定される。
ラス（＋）とし、反転極性の状態をマイナス（−）とし
ている。図１において、極性は時間的に切り換えられる
が、無極性の状態Ａと、反転極性状態Ｂと、通常極性状
態Ｃとの関係は、無極性の状態Ａは１〜１０ｍ秒程度、
反転極性状態Ｂが１〜１０ｍ秒程度、通常極性状態Ｃは
１０〜３００ｍ秒程度が好ましい。そして、通電時間の
比率としては、反転極性状態Ｂを１とすると、通常極性
状態Ｃが１０〜３０に設定される。
【００１４】このように、この極性高速反転動作の動作
周期は、１３〜３３０ｍ秒程度であるが、動作周期が短
い場合には無極性状態Ａは必須ではない。なお、反転極
性状態の継続時間Ｂが長いほどエッチング速度が速まる
傾向となるので、付着膜の種類や膜厚やエッチング液な
どによって、反転極性状態の継続時間Ｂが、上記範囲内
で適宜に設定される。また、通常極性状態の継続時間Ｃ
が長いほどエッチング速度が遅くなる傾向となるので、
付着膜の種類や膜厚や反転極性状態の継続時間Ｂやエッ
チング液などによって、上記範囲内で通常極性状態の継
続時間Ｃが適宜に設定される。ＩＴＯ膜やＡｌ膜を剥離
させる場合、３０〜２００μｍ程度の膜厚であれば、一
般に、通常極性状態Ｃは１５〜２５０ｍ秒程度であり、
通電時間の比率は、反転極性状態Ｂを１とした場合に、
通常極性状態Ｃの通電時間は１５〜２５である。
周期は、１３〜３３０ｍ秒程度であるが、動作周期が短
い場合には無極性状態Ａは必須ではない。なお、反転極
性状態の継続時間Ｂが長いほどエッチング速度が速まる
傾向となるので、付着膜の種類や膜厚やエッチング液な
どによって、反転極性状態の継続時間Ｂが、上記範囲内
で適宜に設定される。また、通常極性状態の継続時間Ｃ
が長いほどエッチング速度が遅くなる傾向となるので、
付着膜の種類や膜厚や反転極性状態の継続時間Ｂやエッ
チング液などによって、上記範囲内で通常極性状態の継
続時間Ｃが適宜に設定される。ＩＴＯ膜やＡｌ膜を剥離
させる場合、３０〜２００μｍ程度の膜厚であれば、一
般に、通常極性状態Ｃは１５〜２５０ｍ秒程度であり、
通電時間の比率は、反転極性状態Ｂを１とした場合に、
通常極性状態Ｃの通電時間は１５〜２５である。
【００１５】図２は、本発明に係る極性高速反転型の電
解剥離装置の正面図であり、図３はその側面図である。
固定具１０を介して被処理物９が垂直に保持され、この
被処理物９に陰極１ａが接続された状態を示している。
解剥離装置の正面図であり、図３はその側面図である。
固定具１０を介して被処理物９が垂直に保持され、この
被処理物９に陰極１ａが接続された状態を示している。
【００１６】図示例では、スイッチング装置６を備えた
電源５の陰極側に陰極ケーブル７ａを取り付け、陰極ケ
ーブル７ａの先端にクリップ等の陰極側接続端子８ａを
装備する。また、図３に示すように、電源５の陽極側に
陽極ケーブル７ｂを取り付け、陽極ケーブル７ｂの先端
にクリップ等の陽極接続端子８ｂを装備する。
電源５の陰極側に陰極ケーブル７ａを取り付け、陰極ケ
ーブル７ａの先端にクリップ等の陰極側接続端子８ａを
装備する。また、図３に示すように、電源５の陽極側に
陽極ケーブル７ｂを取り付け、陽極ケーブル７ｂの先端
にクリップ等の陽極接続端子８ｂを装備する。
【００１７】そして、陰極１ａ及び陽極１ｂを、電解液
４を満たした処理液槽２に浸漬している。被処理物９
は、固定具１０によって保持された状態で陰極１ａと電
気的に接続されている。また、処理槽２は、温度調節用
ヒーター３で温度管理されている。
４を満たした処理液槽２に浸漬している。被処理物９
は、固定具１０によって保持された状態で陰極１ａと電
気的に接続されている。また、処理槽２は、温度調節用
ヒーター３で温度管理されている。
【００１８】陰極１ａ及び陽極１ｂは、剥離すべき付着
膜の膜厚や所望の処理時間に応じて、極間距離が適宜に
設定される。なお、陰極１ａおよび陽極１ｂの材質は、
導電性金属材料のうち、電解液のｐＨにより酸性又はア
ルカリ性に耐えうる材質のものが選択される。
膜の膜厚や所望の処理時間に応じて、極間距離が適宜に
設定される。なお、陰極１ａおよび陽極１ｂの材質は、
導電性金属材料のうち、電解液のｐＨにより酸性又はア
ルカリ性に耐えうる材質のものが選択される。
【００１９】使用する電解液は、従来の電解剥離に使用
される硫酸、塩酸、リン酸、硝酸、クロム酸、ナトリウ
ム化合物又はキレート剤等による酸性、中性、アルカリ
性の電解液を用いることができるが、更に酸化抑制剤
や、界面活性剤等を添加することよって、付着膜剥離後
の母材の表面状態を良好にすることができる。
される硫酸、塩酸、リン酸、硝酸、クロム酸、ナトリウ
ム化合物又はキレート剤等による酸性、中性、アルカリ
性の電解液を用いることができるが、更に酸化抑制剤
や、界面活性剤等を添加することよって、付着膜剥離後
の母材の表面状態を良好にすることができる。
【００２０】上記のような電解液中に被処理物を浸漬さ
せ、図１に関して説明したように電極の極性を高速反転
させて被処理物９に通電させる。電流密度は剥離条件に
合わせて設定されるが、一般に１〜２０Ａ／ｄｍ2程度
である。
せ、図１に関して説明したように電極の極性を高速反転
させて被処理物９に通電させる。電流密度は剥離条件に
合わせて設定されるが、一般に１〜２０Ａ／ｄｍ2程度
である。
【００２１】このような条件で通電を開始すると、電解
液が付着物に侵入することにより、被処理物９と付着物
の接触面から水素ガスなどが発生し、その気泡発生に起
因して付着物が有効に剥離される。また、通常極性時に
被処理物９に付着する反応生成物を、極性を高速反転す
ることで離脱させ、ガスの発生を抑制することなく処理
することができる。
液が付着物に侵入することにより、被処理物９と付着物
の接触面から水素ガスなどが発生し、その気泡発生に起
因して付着物が有効に剥離される。また、通常極性時に
被処理物９に付着する反応生成物を、極性を高速反転す
ることで離脱させ、ガスの発生を抑制することなく処理
することができる。
【００２２】なお、図２及び図３では、陰極又は陽極を
単体としたが、同時に複数の電極を用いて浸漬し、電流
密度１〜２０Ａ／ｄｍ2を剥離条件に合わせて設定し、
処理を行なうとしてもよい。
単体としたが、同時に複数の電極を用いて浸漬し、電流
密度１〜２０Ａ／ｄｍ2を剥離条件に合わせて設定し、
処理を行なうとしてもよい。
【００２３】
【実施例】次に、本発明の実施例について、従来の方法
と比較して説明する。以下の実験では、試料としてＩＴ
Ｏ膜が５０μｍ付着した５×１０ｃｍのＳＵＳ製基板を
用いた。
と比較して説明する。以下の実験では、試料としてＩＴ
Ｏ膜が５０μｍ付着した５×１０ｃｍのＳＵＳ製基板を
用いた。
【００２４】比較例１は、従来の方法であるケミカル処
理であり、硝酸１０重量％とフッ酸５重量％の水溶液を
用いている。また、全ての実験において液温は４０℃に
管理した。
理であり、硝酸１０重量％とフッ酸５重量％の水溶液を
用いている。また、全ての実験において液温は４０℃に
管理した。
【００２５】
【表１】
【００２６】比較例２は、電流密度１０Ａ／ｄｍ2の直
流電流による電解剥離である。電解液として、硫酸７重
量％とリン酸１重量％の水溶液を用い、試料を陰極側に
取り付けて剥離を行った。
流電流による電解剥離である。電解液として、硫酸７重
量％とリン酸１重量％の水溶液を用い、試料を陰極側に
取り付けて剥離を行った。
【００２７】
【表２】
【００２８】比較例３は、ＰＲ(Periodic Reversal Cle
aning)法による電解剥離の例である。電流密度１０Ａ／
ｄｍ2の通常極性の電流と反転極性の電流とを１０秒間
隔で電極を切り換えている。また、硫酸１０％、リン酸
１％、界面活性剤０．１％からなる電解液を使用した。
aning)法による電解剥離の例である。電流密度１０Ａ／
ｄｍ2の通常極性の電流と反転極性の電流とを１０秒間
隔で電極を切り換えている。また、硫酸１０％、リン酸
１％、界面活性剤０．１％からなる電解液を使用した。
【００２９】
【表３】
【００３０】実施例では、硫酸１０％、リン酸１％、界
面活性剤０．１％からなる比較例３と同じ電解液を使用
した。また電流密度も同じとし、１０Ａ／ｄｍ2とし
た。但し、通常極性の状態を６０ｍ秒、反転極性の状態
を３ｍ秒とした。
面活性剤０．１％からなる比較例３と同じ電解液を使用
した。また電流密度も同じとし、１０Ａ／ｄｍ2とし
た。但し、通常極性の状態を６０ｍ秒、反転極性の状態
を３ｍ秒とした。
【００３１】
【表４】
【００３２】下記の表５に、前記実施例及び比較例を示
す。剥離状態は、ＩＴＯ膜の剥離が完了したものを○、
そうでないものを×で示している。なお、厚さ変化によ
るエッチング量は、母材のエッチング量を意味してい
る。
す。剥離状態は、ＩＴＯ膜の剥離が完了したものを○、
そうでないものを×で示している。なお、厚さ変化によ
るエッチング量は、母材のエッチング量を意味してい
る。
【００３３】
【表５】
【００３４】図示の通り、直流電流による電解剥離（比
較例２）は、剥離状態、スマット等の反応生成物、厚さ
変化による被処理物のエッチング量で、それぞれ剥離に
不適である結果となった。ＰＲ法（比較例３）は剥離状
態、反応生成物の付着状態共に、良好な結果が得られた
が、母材の腐食が激しいため不適となった。陽極時間が
長いためと考えられる。
較例２）は、剥離状態、スマット等の反応生成物、厚さ
変化による被処理物のエッチング量で、それぞれ剥離に
不適である結果となった。ＰＲ法（比較例３）は剥離状
態、反応生成物の付着状態共に、良好な結果が得られた
が、母材の腐食が激しいため不適となった。陽極時間が
長いためと考えられる。
【００３５】ケミカル処理（比較例１）は、１時間当り
の母材のエッチング量は少ないが、処理時間が長いた
め、被処理物の腐食が起こり、剥離対象物が限定されて
しまう。一方、実施例の場合には、電極の極性を高速反
転することにより、被処理物のエッチングを抑制し、反
応生成物を落としてガスの発生を促進することから、剥
離状態が良好である。
の母材のエッチング量は少ないが、処理時間が長いた
め、被処理物の腐食が起こり、剥離対象物が限定されて
しまう。一方、実施例の場合には、電極の極性を高速反
転することにより、被処理物のエッチングを抑制し、反
応生成物を落としてガスの発生を促進することから、剥
離状態が良好である。
【００３６】また、別の試料として、酸化物を含むＡｌ
膜が５００μｍ付着した１０×１０ｃｍのＡｌ製基板を
用いた。比較例として、硝酸３４重量％の水溶液を用い
ている。また、実施例の場合も含め液温は４０℃に管理
した。
膜が５００μｍ付着した１０×１０ｃｍのＡｌ製基板を
用いた。比較例として、硝酸３４重量％の水溶液を用い
ている。また、実施例の場合も含め液温は４０℃に管理
した。
【００３７】
【表６】
【００３８】一方、実施例では、硫酸１０％、リン酸１
％、界面活性剤０．１％からなる電解液を使用した。ま
た電流密度は３０Ａ／ｄｍ2とし、通常極性の状態を６
０ｍ秒、反転極性の状態を３ｍ秒とした。
％、界面活性剤０．１％からなる電解液を使用した。ま
た電流密度は３０Ａ／ｄｍ2とし、通常極性の状態を６
０ｍ秒、反転極性の状態を３ｍ秒とした。
【００３９】
【表７】
【００４０】下記の表８に実施例と比較例の結果に示
す。比較例の場合には、所望レベルまで剥離させようと
すると、処理時間を要する上に、母材のエッチング量が
多いのに対して、実施例では、母材を腐食することなく
付着膜を剥離できる。
す。比較例の場合には、所望レベルまで剥離させようと
すると、処理時間を要する上に、母材のエッチング量が
多いのに対して、実施例では、母材を腐食することなく
付着膜を剥離できる。
【００４１】
【表８】
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
極性を高速反転して付着膜を剥離するため、被処理物の
腐食を低減できるとともに、処理時間を短縮して高効率
化することが可能である。また、通常極性の状態と反転
極性の状態を切り換えることにより、反応生成物を定期
的に取り除き、被処理物と付着膜の接触面から発生する
ガスの生成を抑制することなく剥離することが可能であ
る。
極性を高速反転して付着膜を剥離するため、被処理物の
腐食を低減できるとともに、処理時間を短縮して高効率
化することが可能である。また、通常極性の状態と反転
極性の状態を切り換えることにより、反応生成物を定期
的に取り除き、被処理物と付着膜の接触面から発生する
ガスの生成を抑制することなく剥離することが可能であ
る。
【００４３】また、陽極酸化を防ぎ、被処理物の腐食を
抑制することができる。剥離処理完了後に、極性を反転
させた状態で１〜１０分間保持することにより、被処理
物表面に付着した反応生成物を取り除くことができる。
抑制することができる。剥離処理完了後に、極性を反転
させた状態で１〜１０分間保持することにより、被処理
物表面に付着した反応生成物を取り除くことができる。
【図１】本発明における極性反転動作を説明する図面で
ある。
ある。
【図２】本発明に係る極性高速反転型の電解剥離装置の
正面図である。
正面図である。
【図３】本発明に係る極性高速反転型の電解剥離装置の
側面図である。
側面図である。
１ａ 陰極
１ｂ 陽極
２ 電解液槽
３ 温度調節用ヒーター
４ 電解液
５ 電源
６ スイッチング装置
７ａ 陰極ケーブル
７ｂ 陽極ケーブル
８ａ 陰極側端子
８ｂ 陽極側端子
９ 被処理物
１０ 固定具
Claims (5)
- 【請求項１】 導電性金属材料からなる被処理物の表面
に付着した膜を剥離する付着膜の剥離方法において、前
記被処理物を陰極として、被処理物から電気分解により
ガスを発生させる電解液を用い、 前記被処理物を陰極とする通常極性の通電時間と、電極
を反転させる逆極性の通電時間との比率を、１０：１〜
３０：１に設定すると共に、極性反転の動作周期を５０
０ｍ秒以下に設定することを特徴とする電解剥離法。 - 【請求項２】 通常極性の通電時間が１０〜３００ｍ秒
に設定される一方、電極を反転させる逆極性の通電時間
が１〜１０ｍ秒に設定されている請求項１に記載の電解
剥離法。 - 【請求項３】 通常極性の通電時間と、電極を反転させ
る逆極性の通電時間との間に、逆極性の通電時間と同程
度の無極性状態を設けている請求項１又は請求項２に記
載の電解剥離法。 - 【請求項４】 極性反転の動作を終了した後、極性を反
転させた状態で１〜１０分間保持する請求項１〜３の何
れかに記載の電解剥離法。 - 【請求項５】 前記付着膜は、ＩＴＯ膜又はＡｌ膜であ
る請求項１〜４の何れかに記載の電解剥離法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2003268600A true JP2003268600A (ja) | 2003-09-25 |
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|---|---|---|---|---|
| JP2007131894A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-31 | Hitachi Zosen Corp | 導電性金属酸化物薄膜の除去方法及び装置 |
| JP2009242930A (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-22 | Somakkusu Kk | 電解洗浄装置及び電解洗浄方法 |
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