JP2003263627A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 平坦度を保って基板を搬送する搬送機構と、
   前記搬送機構の搬送路の途中に前記基板の搬送方向と交差する方向に設けられた画像取り込み位置となるライン状の間隙と、
   前記ライン状の間隙に支持された前記基板の表面にライン照明光を照射する第１の照明光学系と、
   前記第１の照明光学系によりライン状に照射された前記基板表面からの光を撮像するラインセンサカメラと、
   を具備したことを特徴とする画像取り込み装置。
2. 前記搬送機構の搬送路を挟んで前記第１の照明光学系と反対側に設けられ、前記間隙を通して前記搬送機構により搬送される前記基板の裏面よりライン照明光を照射する第２の照明光学系を備えたことを特徴とする請求項１記載の画像取り込み装置。
3. 前記第１の照明光学系と前記ラインセンサカメラは、前記画像取り込み位置における前記基板の表面に対する入射角度θ 1 と画像取り込み角度θ 2 がθ 1= θ 2 となる干渉関係と、θ 1 ＋α＝θ 2 となる回折関係になるように可変されることを特徴とする請求項１記載の画像取り込み装置。
4. 前記第２の照明光学系と前記ラインセンサカメラは、前記画像取り込み位置における前記基板裏面に対する入射角度が前記ラインセンサカメラの画像取り込み角度と等しくなるように設定されることを特徴とする請求項２記載の画像取り込み装置。
5. 前記ラインセンサカメラは、前記搬送機構により前記基板を一方向に搬送中に前記基板の表面に対する前記第１の照明光学系の入射角度θ 1 と前記ラインセンサカメラの画像取り込み角度θ 2 がθ 1= θ 2 の干渉関係に設定された状態で前記基板表面の干渉画像を取得し、前記搬送機構により前記基板を他方向に搬送中に前記基板に対する前記第１の照明光学系の入射角度θ 1 と前記ラインセンサカメラの画像取り込み角度θ 2 がθ 1 ＋α＝θ 2 の回折関係に設定された状態で前記基板表面の回折画像を取得することを特徴とする請求項３記載の画像取り込み装置。
6. 平坦度を保って基板を搬送する搬送機構と、
   前記搬送機構の搬送路の途中に前記基板の搬送方向と交差する方向に設けられた画像取り込み位置となるライン状の間隙と、
   前記ライン状の間隙に支持された前記基板の表面にライン照明光を照射する反射用照明光学系と、
   前記搬送機構の搬送路を挟んで前記反射用照明光学系と反対側に設けられ、前記間隙を通して前記搬送機構により搬送される前記基板の裏面よりライン照明光を照射する透過用照明光学系と、
   前記反射用照明光学系又は前記透過用照明光学系によりライン状に照射された前記基板表面からの反射光又は前記基板を透過した透過光を撮像するラインセンサカメラと、
   前記ラインセンサカメラで撮像された画像データから前記基板の干渉画像と回折画像と透過画像に画像処理する画像処理部と、
   を具備したことを特徴とする画像取り込み装置。
7. 前記搬送機構は、前記基板の搬送方向を切り替え、この搬送機構の搬送方向の切り替えに応じて前記ラインセンサカメラの画像取り込み角度に対する前記反射照明光学系と透過照明光学系の前記基板に対する入射角度を変えて、前記基板の往路又は復路において前記ラインセンサカメラにより干渉画像、回折画像、透過画像の少なくとも１つの画像データを取り込むことを特徴とする請求項６記載の画像取り込み装置。