JP4787543B2 - 光学シートの検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、レンチキュラーレンズシート等の光学シートにおいて、スジ欠陥の有無を検査する方法に関する。

透過型プロジェクションスクリーンに使用されるレンチキュラーレンズシート１は、メタクリルスチレン樹脂（ＭＳ樹脂）、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂等の透明樹脂からなり、図７に示すように、一般に、スクリーンに使用した場合の光入射側と光出射側にそれぞれ複数のシリンドリカルレンズ２，３を等間隔に配置した構造を有している。また、このレンチキュラーレンズシート１の光出射側には、明室でのコントラストを上げ、画像をシャープにするために、光入射側シリンドリカルレンズ２による非集光部位にブラックストライプ４が設けられている。

ブラックストライプ４は、凸状部５の表面に光吸収層６を形成したもので、かかるブラックストライプ４を有するレンチキュラーレンズシート１の製造方法としては、一般に、メタクリルスチレン樹脂（ＭＳ樹脂）、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂等の透明樹脂を押出成型すること等により、シリンドリカルレンズ２，３と凸状部５を有するレンズシートを作製し、引き続き塗布ロールで凸状部５に遮光性塗料を印刷することにより光吸収層６を形成する。

光吸収層６の形成過程では、遮光性塗料の凝集物が塗布ロールとレンズシートとの間に挟まること等により、スジ状の凹凸傷や光沢異常がブラックストライプ４の長手方向に延びて形成される場合がある。これらはスジ欠陥７と称され、レンチキュラーレンズシート１がスクリーンに使用された場合に、画像のコントラストやシャープさの低下の原因となる。そのため、スジ欠陥７が形成されたレンチキュラーレンズシート１は選別除去しなくてはならず、また、スジ欠陥７の形成箇所を特定する必要が生じる。

従来、ブラックストライプの欠陥の検査方法としては、人間の目視による外観検査が行われていたが、レンチキュラーレンズシートの高品位化、量産化に対応して検査を自動化することが求められている。そこで、ＣＣＤラインセンサを、ブラックストライプと約直角に配置し、レンチキュラーレンズシートの略真上から反射暗視野光にて撮像することにより欠陥を検出する方法や、ＣＣＤラインセンサを、その撮像視野がブラックストライプと約６０°以下の特定の角度となるように配置し、反射暗視野光にて撮像することにより欠陥を検出する方法が提案されている（特許文献１）。

特許３５０７１７１号

しかしながら、ＣＣＤラインセンサを用いた従来の欠陥の検査方法は、ブラックストライプが部分的に欠如又は破壊した、所謂、白欠陥の検出には有効であるが、スジ欠陥を検出することができないという問題があった。

この理由としては、白欠陥は、反射暗視野照明による撮影手段を用いて、欠陥部で散乱ないし回折した反射暗視野光の観察により検出できるのに対して、スジ欠陥は、白欠陥が長く延びたものとは異なり、ブラックストライプの変形を正反射光の輝度変化として観察することにより検出されるためである。

ここで、暗視野照明とは照明光からの光の方向が撮像手段からズレたもので、欠陥がない箇所においては、光が撮像手段に入射せず、欠陥がある箇所においては、欠陥部からの散乱光ないし回折光が撮像手段へ入射するものをいう。

以上のような従来の検査方法に対して、本発明は、レンチキュラーレンズシートのブラックストライプに生じるスジ欠陥を初めとして、プリズムレンズ、回折格子シート、拡散シート等の種々の光学シートに生じるスジ欠陥を、光学シートの製造ラインにおいて、自動的に高感度で検出することを可能とする光学シートの検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。

本発明者は、ＣＣＤラインセンサ、エリアセンサ等の線状領域撮像手段を、その撮像視野が、光学シートの製法等から予想されるスジ欠陥の発生方向に平行になるように配置し、光学シートの撮像視野における面法線上から（即ち、撮像視野の真上から）撮像すると、撮像視野を照明する照明光の入射角によって、線状領域撮像手段で受光されるスジ欠陥からの反射光の光量が大きく異なること、また、照明手段と線状領域撮像手段とを直線上に配置し、入射角０°で照明すると、線状領域撮像手段を構成する個々の撮像素子で受光される反射光の光量が、照明光と個々の撮像素子で受光される反射光とで挟まれる角度によって大きく異なること、したがって、照明光と、線状領域撮像手段あるいは線状領域撮像手段を構成する個々の撮像素子で受光される反射光とで挟まれる角度が異なる複数の条件下で線状領域撮像素子で受光される反射光の強度を計測し、この受光強度が突出して高い異常強度の有無によってスジ欠陥を検出できることを見出した。また、このように反射光の受光強度を計測しつつ、光学シート上で撮像視野をトラバースさせると、スジ欠陥を高感度に自動的に検出できること、さらに、このようにスジ欠陥を検出する装置としては、照明光と線状領域撮像手段で受光される反射光とで挟まれる角度を異ならせる方法によって、種々の態様をとり得ることを見出した。

即ち、本発明は、光学シートを照明し、
その反射光を線状領域撮像手段で受光し、
線状領域撮像手段で得られた画像信号から反射光の受光強度を計測し、スジ欠陥を検出する光学シートの検査方法であって、
線状領域撮像手段の撮像視野の方向を光学シートに対して一定方向に保持して、光学シート上で撮像視野をトラバースさせる間に、
照明光と線状領域撮像手段で受光される反射光とで挟まれる角が異なる複数の条件で、順次又は同時に、線状領域撮像手段で反射光を受光し、
受光強度に生じる異常強度に基づいてスジ欠陥を検出する光学シートの検査方法を提供する。

また、本発明は、上述の検査方法を実施する検査装置の第１の態様として、
光学シートを照明する照明手段、
その反射光を受光する線状領域撮像手段、
線状領域撮像手段の撮像視野の方向を光学シートに対して一定方向に保持しつつ、光学シート上で撮像視野をトラバースさせる撮像視野移動手段、及び
線状領域撮像手段で得られた画像信号から反射光の受光強度を計測する画像処理手段を備えた光学シートの検査装置であって、
光学シート上で撮像視野をトラバースさせる間に、照明手段を移動して照明光の入射角を変える照明移動手段を備え、
線状領域撮像手段が、撮像視野における面法線に対して０°で反射光を受光する光学シートの検査装置を提供する。

検査装置の第２の態様として、
光学シートを照明する照明手段、
その反射光を受光する線状領域撮像手段、
線状領域撮像手段の撮像視野の方向を光学シートに対して一定方向に保持しつつ、光学シート上で撮像視野をトラバースさせる撮像視野移動手段、及び
線状領域撮像手段で得られた画像信号から反射光の受光強度を計測する画像処理手段を備えた光学シートの検査装置であって、
照明手段が、撮像視野に対する入射角が異なる複数の光源を有し、
光学シート上で撮像視野をトラバースさせる間に、光源の点灯を順次切り替えて照明光の入射角を変える照明切り替え手段を備え、
線状領域撮像手段が、撮像視野における面法線に対して０°で反射光を受光する光学シートの検査装置を提供する。

検査装置の第３の態様として、
光学シートを照明する照明手段、
その反射光を受光する線状領域撮像手段、
線状領域撮像手段の撮像視野の方向を光学シートに対して一定方向に保持しつつ、光学シート上で撮像視野をトラバースさせる撮像視野移動手段、及び
線状領域撮像手段で得られた画像信号から反射光の受光強度を計測する画像処理手段を備えた光学シートの検査装置であって、
撮像視野に対する照明光の入射角が異なる照明手段と、撮像視野における面法線に対して０°で反射光を受光する線状領域撮像手段とのセットを複数備え、各セットの撮像視野を光学シート上で同時にトラバースさせる光学シートの検査装置を提供する。

さらに、検査装置の第４の態様として、
光学シートを照明する照明手段、
その反射光を受光する線状領域撮像手段、
線状領域撮像手段の撮像視野の方向を光学シートに対して一定方向に保持しつつ、光学シート上で撮像視野をトラバースさせる撮像視野移動手段、及び
線状領域撮像手段で得られた画像信号から反射光の受光強度を計測する画像処理手段を備えた光学シートの検査装置であって、
照明手段と線状領域撮像手段とが直線上に配置され、照明光の入射角が０°である光学シートの検査装置を提供する。

本発明の光学シートの検査方法によれば、光学シートのスジ欠陥を高感度に検出することができる。

さらに、本発明の光学シートの検査方法を光学シートの製造ラインで行うと、光学シートの製造ラインにおいて、スジ欠陥を自動的に検出することが可能となり、製造ラインの稼働中にスジ欠陥が検出された場合には、直ちにスジ欠陥が生じないように製造条件を調整することができる。

また、本発明の光学シートの検査装置によれば、本発明の光学シートの検査方法を確実に実施することができる。

以下、図面を参照しつつ本発明を詳細に説明する。なお、各図中、同一符号は同一又は同等の構成要素を表している。

図１は、本発明の光学シートの検査方法を実施する検査装置の一態様であって、レンチキュラーレンズシート１の製造ラインにおいて、ブラックストライプ４に生じるスジ欠陥７を検出するための検査装置１０Ａの模式的構成図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）はＸ方向から見た側面図、（ｃ）はＹ方向から見た側面図である。

この検査装置１０Ａはレンチキュラーレンズシート１の光出射側の面（即ち、ブラックストライプ４が形成されているシート面）の上に、ＣＣＤラインセンサあるいはエレメントセンサ等の線状領域撮像手段１１と、ＬＥＤ照明２１ａ、２１ｂからなる照明手段２０とを設け、撮像視野１２を斜方照明し、レンチキュラーレンズシート１の撮像視野１２における面法線上から（即ち、撮像視野１２の真上から）線状領域撮像手段１１で反射光を撮るもので、撮像視野１２の長手方向と、ブラックストライプ４に予想されるスジ欠陥の発生方向とが平行になるように、より具体的には、撮像視野１２の長手方向とブラックストライプ４の長手方向とが平行になるように、検査装置１０Ａとレンチキュラーレンズシート１とが配置される。ここで、ＬＥＤ照明２１ａ、２１ｂとしては、照明光が平行光となるように、レンズ系を備えたものを使用することが好ましい。

線状領域撮像手段１１とＬＥＤ照明２１ａ、２１ｂは、レンチキュラーレンズシート１上のアーム３０に設けられた支持台３１に取り付けられている。この支持台３１は、矢印Ａのようにレンチキュラーレンズシート１上をトラバースする。一方、レンチキュラーレンズシート１は、矢印Ｂのようにブラックストライプ４の長手方向に搬送される。したがって、支持台３１とレンチキュラーレンズシート１の搬送系とで撮像視野移動手段が構成され、撮像視野１２はレンチキュラーレンズシート１上で、その長手方向がブラックストライプ４の長手方向に保持されつつ、図２に示すように、レンチキュラーレンズシート１を斜めに横切るトラバースを繰り返すこととなる。なお、このように撮像視野１２がレンチキュラーレンズシート１の全面を走査しなくても、一般に、ブラックストライプのスジ欠陥は、一回発生すると数ｍ以上の長さに渡って続くので、１回のトラバース当たりのレンチキュラーレンズシート１の走行距離Ｌ１を適宜調整することにより、問題なく検出することができる。

この検査装置１０Ａでは、図１（ｂ）に示すように、ＬＥＤ照明２１ａ、２１ｂが線状領域撮像手段１１の両側に設けられ、照明光の撮像視野１２に対する入射角αが±６０°以内で所望の値をとり得るように照明移動装置２３が設けられている。より具体的には、照明移動装置２３は、一方のＬＥＤ照明２１ａによる照明光の入射角αを−６０°〜０°の範囲で、他方のＬＥＤ照明２１ｂによる照明光の入射角αを０°〜６０°の範囲で、順次変化させるステップモータとその制御機構からなる。なお、各ＬＥＤ照明の入射角αを変化させる手段はステップモータに限られるものではない。

照明移動装置２３により、レンチキュラーレンズシート１上の撮像視野１２の１回のトラバースごとに、入射角αを変化させ、複数回のトラバースで入射角αが−６０°から＋６０°までの撮像をすることが好ましい。

線状領域撮像手段１１には、その画像信号を処理する画像処理手段４０が接続されており、線状領域撮像手段１１が受光した反射光の強度を計測する。なお、受光強度の計測は、パーソナルコンピュータに周知の画像信号処理ソフトあるいは線状領域撮像手段１１に付属の画像信号処理ソフトを搭載することにより行うことができる。また、画像処理手段４０は、照明移動装置２３の制御機構から、ＬＥＤ照明２１ａ、２１ｂの位置（即ち、入射角α）に関する情報を受け、線状領域撮像手段１１の受光強度を入射角αと対応させて記憶し、入射角αと受光強度との関係をディスプレイ４１に表示させることができる。

図３は、ディスプレイ４１に表示された入射角αと受光強度（輝度）との関係図の典型例である。ブラックストライプにスジ欠陥があると、同図のように、スジ欠陥が無い場合に比して受光強度が突出して高いピークが現れる。このような異常強度が現れる入射角αの大きさや、その強度の値は、ブラックストライプにできる個々のスジ欠陥によって異なるが、通常、入射角αが±３０°の範囲、特に±２０°の範囲に、欠陥がない場合を基準としたベースラインからの乖離として５０％以上の強度差で現れる。そこでこの検査装置１０Ａでは、撮像視野１２のトラバース中に、いずれかの入射角αで受光強度に異常強度が現れた場合、具体的には、欠陥部の平常時の受光強度に対する欠陥時の受光強度差が５０％以上になった場合に、スジ欠陥が検出されたと判断し、検査装置１０Ａの使用者にアラーム音、アラームランプなど任意の方法で警告を発する。

なお、スジ欠陥があると、反射光の受光強度にこのような異常強度が観察される理由としては、スジ欠陥の存在部位の表面形状が、スジ欠陥の無い部位の表面形状に対して、僅かに異なっているためと考えられる。したがって、この検査方法によれば、ブラックストライプが白抜けになることにより表面形状が異常となっている部分だけでなく、ブラックストライプを形成する遮光性塗料の印刷ムラや、下地のレンズシートの凸状部の形成不良に等によりブラックストライプの表面が平滑に形成されていないスジ欠陥も検出することができる。

図４は、上述の検査装置１０Ａと異なる態様の本発明の検査装置１０Ｂの模式的構成図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は（Ｘ）方向から見た側面図である。この検査装置１０Ｂは、上述の検査装置１０Ａに対して、入射角αが異なる照明光の創出方法が異なっているが、線状領域撮像手段１１や、その撮像視野１２をレンチキュラーレンズシート１上で走査する撮像視野移動手段や、線状領域撮像手段１１で得られた画像信号から反射光の受光強度を計測する画像処理手段４０は、同様に構成されている。

即ち、この検査装置１０Ｂでは、照明手段２０が、線状領域撮像手段１１を中心に円弧に配列された複数のＬＥＤ照明２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ、２１ｅ、２１ｆ、２１ｇ、２１ｈ、２１ｉ、２１ｊ、２１ｋからなり、それぞれ、線状領域撮像手段１１の撮像視野１２に対して、−４０°、−３０°、−２０°、−１０°、−５°、０°、＋５°、＋１０°、＋２０°、＋３０°、＋４０°の入射角となるようように照明光を発する。

これらの複数のＬＥＤ照明２１ａ〜２１ｋは、レンチキュラーレンズシート１上で撮像視野１２がトラバースされる間に、照明切り替え手段２４により順次点灯が切り替えられ、画像処理手段４０は、このＬＥＤ照明２１ａ〜２１ｋの切り替えにより、当該反射光の受光時の照明光の入射角αを対応づける。したがって、この検査装置１０Ｂによっても、図３に示すような入射角αと受光強度との関係図を形成することができ、いずれかの入射角αで受光強度に異常強度が現れた場合にスジ欠陥が検出されたと判断できる。

図５も、上述の検査装置１０Ａと異なる態様の本発明の検査装置１０Ｃの模式的構成図である。この検査装置１０Ｃは、上述の検査装置１０Ａに対して、入射角が異なる複数の照明光の創出方法が異なっており、また、線状領域撮像手段１１が複数設けられている点で異なっているが、撮像視野１２をレンチキュラーレンズシート上で走査する撮像視野移動手段や、線状領域撮像手段１１で得られた画像信号から反射光の受光強度を計測する画像処理手段４０は、同様に構成されている。

即ち、この検査装置１０Ｃでは、撮像視野１２に対する照明光の入射角αが異なるＬＥＤ照明２１と、撮像視野１２における面法線に対して０°で反射光を受光する線状領域撮像手段１１とのセットを、入射角αが±６０°の範囲で複数備え、各セットが支持台３１に取り付けられている。したがって、レンチキュラーレンズシート１上で支持台３１をトラバースさせることにより、異なる入射角αに対応する反射光が各線状領域撮像手段１１で同時に受光され、画像処理手段４０は、各セットごとに入射角αと受光強度とを対応づける。よって、この検査装置１０Ｃによっても、図３に示すような入射角αと受光強度との関係図を形成することができ、いずれかの入射角αで受光強度に異常強度が現れた場合にスジ欠陥が検出されたと判断できる。

図６は、さらに異なる検査装置１０Ｄの概略構成図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は（Ｘ）方向から見た側面図である。

この検査装置１０Ｄでは、レンチキュラーレンズシート１上で線状領域撮像手段１１とＬＥＤ照明２１が直線上に配置され、線状領域撮像手段１１の撮像視野１２は、その長手方向がブラックストライプ４の長手方向に対して垂直になっている。また、ＬＥＤ照明２１は、入射角が０°でレンチキュラーレンズシート１を照明する。

画像処理手段４０は、線状領域撮像手段１１を構成する個々の撮像素子１１ａごとに、照明光と撮像素子１１ａで受光される反射光とで挟まれる角度βを認識し、個々の撮像素子１１ａで受光される反射光の強度を角度βに対応させて記憶し、角度βと受光強度との関係をディスプレイ４１に表示させることができる。

また、この検出装置１０Ｄでは、線状領域撮像手段１１やＬＥＤ照明２１が取り付けられた支持台３１をレンチキュラーレンズシート１上でトラバースさせる機能は、前述の検出装置１０Ａと同様に有している。

したがって、この検出装置１０Ｄによれば、照明光と個々の撮像素子１１ａで受光される反射光とで挟まれる角度βと、個々の撮像素子１１ａで受光される受光強度との関係に、図３と同様の関係を得ることができ、その受光強度に異常強度が表れた場合にスジ欠陥が検出されたと判断できる。

この他、本発明は種々の態様をとることができる。例えば、検出装置１０Ａを、レンチキュラーレンズシート１が製造ラインで搬送されている間に連続的にスジ欠陥を検出する装置として使用することなく、所定の長さにカットされたレンチキュラーレンズシート１のスジ欠陥の有無を枚様式に検査する場合、アーム３０をブラックストライプ４の長手方向に移動させ、撮像視野１２を図２と同様に、レンチキュラーレンズシート１上で走査させることが好ましい。

また、本発明において、スジ欠陥の検出対象としては、レンチキュラーレンズシートに限らず、プリズムレンズ、回折格子シート、拡散シート等の種々の光学シートを検出対象とすることができる。

本発明は、種々の光学シートのスジ欠陥の検出に有用である。

レンチキュラーレンズシートのブラックストライプを検出する検査装置１０Ａの模式的構成図である。 レンチキュラーレンズシートにおける撮像視野の走査ラインの説明図である。 入射角と受光強度との関係図の一例である。 レンチキュラーレンズシートのブラックストライプを検出する検査装置１０Ｂの模式的構成図である。 レンチキュラーレンズシートのブラックストライプを検出する検査装置１０Ｃの模式的構成図である。 レンチキュラーレンズシートのブラックストライプを検出する検査装置１０Ｄの模式的構成図である。 レンチキュラーレンズシートのブラックストライプに生じるスジ欠陥の説明図である。

符号の説明

１ レンチキュラーレンズシート
２ 光入射側シリンドリカルレンズ
３ 光出射側シリンドリカルレンズ
４ ブラックストライプ
５ 凸状部
６ 光吸収層
７ スジ欠陥（スジ状の傷又は光沢異常）
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ 検査装置
１１ 線状領域撮像手段
１２ 撮像視野
２０ 照明手段
２１、２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ、２１ｅ、２１ｆ、２１ｇ、２１ｈ、２１ｉ、２１ｊ、２１ｋ ＬＥＤ照明
２３ 照明移動装置
２４ 照明切り替え手段
３０ アーム
３１ 支持台
４０ 画像処理手段
４１ ディスプレイ
Ａ 支持台の移動方向
α 照明光の入射角
β 照明光と個々の撮像素子で受光される反射光とで挟まれる角度

Claims (7)

1. 光学シート表面を照明し、
   その正反射光を線状領域撮像手段で受光し、
   線状領域撮像手段で得られた画像信号から反射光の受光強度を計測し、光学シート表面のスジ欠陥を検出する光学シートの検査方法であって、
   線状領域撮像手段の撮像視野の方向を光学シートに対して一定方向に保持して、光学シート上で撮像視野が光学シートを横切るトラバースを繰り返させる間に、
   照明光と線状領域撮像手段で受光される反射光とで挟まれる角が異なる複数の条件で、順次又は同時に、線状領域撮像手段で反射光を受光し、
   受光強度に生じる異常強度に基づいて光学シート表面のスジ欠陥を検出する光学シートの検査方法。
2. 光学シートがレンチキュラーレンズシートであり、ブラックストライプのスジ欠陥を検出する請求項１記載の検査方法。
3. 線状領域撮像手段を、その撮像視野がブラックストライプの長手方向と平行になるように配置し、撮像視野を、ブラックストライプを横切るようにトラバースさせつつレンチキュラーレンズシートを撮像視野の方向に平行に搬送する請求項２記載の検査方法。
4. 光学シート表面を照明する照明手段、
   その正反射光を受光する線状領域撮像手段、
   線状領域撮像手段の撮像視野の方向を光学シートに対して一定方向に保持しつつ、光学シート上で撮像視野が光学シートを横切るトラバースを繰り返させる撮像視野移動手段、及び
   線状領域撮像手段で得られた画像信号から反射光の受光強度を計測する画像処理手段を備えた光学シート表面のスジ欠陥の検査装置であって、
   光学シート上で撮像視野をトラバースさせるごとに、照明手段を移動して照明光の入射角を変える照明移動手段を備え、
   線状領域撮像手段が、撮像視野における面法線に対して０°で反射光を受光する光学シートの検査装置。
5. 光学シート表面を照明する照明手段、
   その正反射光を受光する線状領域撮像手段、
   線状領域撮像手段の撮像視野の方向を光学シートに対して一定方向に保持しつつ、光学シート上で撮像視野が光学シートを横切るトラバースを繰り返させる撮像視野移動手段、及び
   線状領域撮像手段で得られた画像信号から反射光の受光強度を計測する画像処理手段を備えた光学シート表面のスジ欠陥の検査装置であって、
   照明手段が、撮像視野に対する入射角が異なる複数の光源を有し、
   光学シート上で撮像視野をトラバースさせる間に、光源の点灯を順次切り替えて照明光の入射角を変える照明切り替え手段を備え、
   線状領域撮像手段が、撮像視野における面法線に対して０°で反射光を受光する光学シートの検査装置。
6. 光学シート表面を照明する照明手段、
   その正反射光を受光する線状領域撮像手段、
   線状領域撮像手段の撮像視野の方向を光学シートに対して一定方向に保持しつつ、光学シート上で撮像視野が光学シートを横切るトラバースを繰り返させる撮像視野移動手段、及び
   線状領域撮像手段で得られた画像信号から反射光の受光強度を計測する画像処理手段を備えた光学シート表面のスジ欠陥の検査装置であって、
   撮像視野に対する照明光の入射角が異なる照明手段と、撮像視野における面法線に対して０°で反射光を受光する線状領域撮像手段とのセットを複数備え、各セットの撮像視野を光学シート上で同時にトラバースさせる光学シートの検査装置。
7. 光学シート表面を照明する照明手段、
   その正反射光を受光する線状領域撮像手段、
   線状領域撮像手段の撮像視野の方向を光学シートに対して一定方向に保持しつつ、光学シート上で撮像視野が光学シートを横切るトラバースを繰り返させる撮像視野移動手段、及び
   線状領域撮像手段で得られた画像信号から反射光の受光強度を計測する画像処理手段を備えた光学シート表面のスジ欠陥の検査装置であって、
   照明手段と線状領域撮像手段とが直線上に配置され、照明光の入射角が０°である光学シートの検査装置。

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