JP2003259233A - 可変感度電磁波検出装置 - Google Patents

可変感度電磁波検出装置

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JP2003259233A
JP2003259233A JP2002049752A JP2002049752A JP2003259233A JP 2003259233 A JP2003259233 A JP 2003259233A JP 2002049752 A JP2002049752 A JP 2002049752A JP 2002049752 A JP2002049752 A JP 2002049752A JP 2003259233 A JP2003259233 A JP 2003259233A
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electromagnetic wave
voltage
circuit
clamp
storage element
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JP2002049752A
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Masato Takagi
真人 高木
Arihiro Hosoku
有拡 豊則
Toru Katsurai
徹 桂井
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 比較的簡単な構成で、高感度設定時でも広ダ
イナミックレンジ特性が得られる可変感度電磁波検出装
置を提供すること。 【解決手段】 測定電磁波を変換素子で電荷に変換して
蓄積素子に蓄積し、この蓄積素子に蓄積された電荷を所
定の電圧に制限するクランプ回路を介して増幅回路に出
力するように構成された電磁波検出装置において、測定
電磁波の強弱に応じて前記クランプ回路の制限電圧と増
幅回路の増幅率を連動して変化させる調整部を有し、高
感度設定状態で広ダイナミックレンジが得られることを
特徴とするもの。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、可視光を含む電磁
波を電気信号に変換して出力する電磁波検出装置に関
し、詳しくは、明暗差あるいは強弱差の大きい電磁波の
測定にあたって測定感度を変化させた場合であっても広
いダイナミックレンジが得られる可変感度電磁波検出装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図6は、明暗差や強弱差の大きい電磁波
を測定するために、広いダイナミックレンジが得られる
ように構成された従来の電磁波検出装置の一例を示す構
成図である。図において、変換素子11は可視光などの
電磁波を電荷に変換するものであり、例えばフォトダイ
オードを用いる。変換素子11で変換された電荷は例え
ばコンデンサで構成される蓄積素子12に蓄積され、蓄
積素子電圧Vの変化となって現れる。
【0003】蓄積素子電圧Vは、予め設定された露出
時間が経過した後、例えばFETを用いた読み出し素子
13によって読み出される。予め設定された露出時間と
は、例えば1秒間に30回撮影する場合はおよそ1/3
0秒すなわち33msに時間に相当し、さらに電子的に
絞りを構成する場合はこの33msの1/mの時間に相
当する。なおmは例えば整数である。
【0004】読み出し素子13によって読み出された電
圧は、増幅回路16に入力される。増幅回路16は、撮
影対象物の明るさに応じて最適な画像を撮影できるよう
に、その増幅率が可変調整される。なお各素子は、必要
に応じて共通電位点や電源端子Vddに接続されてい
る。
【0005】クランプ制御電圧発生回路15は、予め設
定された露出時間中、時間とともに変化する電圧を発生
する。例えばFETを用いたクランプ回路14は、クラ
ンプ制御電圧発生回路15の出力電圧に基づき、蓄積素
子電圧Vの絶対値がそれぞれの時刻において所定の設
定電圧以上にならないように制限する。また、クランプ
制御電圧発生回路15は、予め設定された露出時間の開
始時にはクランプ回路14を導通させて、蓄積素子電圧
を電源端子Vddと電圧をほぼ等しくさせるリセッ
ト素子としても動作する。
【0006】図7は図6の動作説明図であり、(A)の
縦軸は電圧Vを示し、横軸は時刻tを示している。t
は第1の露出時刻、tは第2の露出時刻、tは終わ
りの露出時刻である。
【0007】特性Vc1は入射光強度の弱い光が入射し
た時の蓄積素子電圧Vの時間変化を示し、特性Vc2
は強い入射光強度の光が入射してクランプ回路14が働
く場合の蓄積素子電圧Vの時間変化を示し、特性V
c3は強い入射光強度の光が入射してクランプ回路14
が働かない場合の蓄積素子電圧Vの時間変化を示す。
【0008】クランプ電圧VCPは、時間の経過ととも
に変化する。すなわち、tから第1の露出時刻t
での期間は第1のクランプ電圧VCP1になり、第1の
露出時刻tから第2の露出時刻tまでの期間は第2
のクランプ電圧VCP2になり、第2の露出時刻t
ら終わりの露出時刻tまでの期間は飽和電圧VST
なる。なお、飽和電圧VSTは、蓄積素子電圧の絶対値
の取れる最大値である。
【0009】蓄積素子電圧Vの変化について説明す
る。tから第1の露出時刻tまでの期間は、当初、
時間とともに蓄積素子電圧Vの絶対値は増加するが、
第1のクランプ電圧VCP1に到達するとクランプ回路
14のクランプ制御によってこれ以上は増加しない。
【0010】第1の露出時刻tから第2の露出時刻t
までの期間も、当初、時間とともにその絶対値は増加
するが、第2のクランプ電圧VCP2に到達するとクラ
ンプ回路14のクランプ制御によってこれ以上は増加し
ない。第2の露出時刻tから終わりの露出時刻t
での期間についても同様である。
【0011】その結果、終わりの露出時刻tにおける
出力電圧に着目すると、クランプ回路14が動作しない
場合は飽和電圧VSTに到達して撮影範囲を超えてしま
うのに対して、クランプ回路14が動作する場合はその
絶対値が飽和電圧VST以下に押さえられることにな
り、ダイナミックレンジは広がることになる。
【0012】図7の(B)は入射光強度対出力電圧特性
例図であり、横軸に入射光強度ISを示し、縦軸に出力
電圧Vを示している。なお出力電圧Vは、(A)と対応
させている。
【0013】入射光強度対出力電圧特性ISVに着目す
ると、入射光強度がISで弱い場合はクランプされず
にそのまま出力されるが、入射光強度がISで強い場
合はクランプされる結果圧縮され、飽和電圧VST以下
に押さえられてダイナミックレンジが広がっている。
【0014】図8は図7の動作説明図のうちの入射光強
度が弱い場合を示したもので、図7と共通する部分には
同一の符号を付けている。特性Vc4は弱い入射光強度
の光が入射した時の蓄積素子電圧Vの時間変化を示
し、特性Vc5は比較的強い入射光強度の光が入射した
時の蓄積素子電圧の時間変化Vを示す。これら両特性
c4,Vc5はともにその入射光強度が弱いことか
ら、クランプされることはない。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】ところで、これら両特
性Vc4,Vc5は、それぞれその入射光強度が弱いこ
とから、感度を上げる目的で、図6の増幅回路16の増
幅率を例えば4倍に設定することにより増幅される。
【0016】しかし、特性Vc5の出力は飽和電圧V
STを越えてしまい、撮影できない。すなわち、ダイナ
ミックレンジが広がらないという問題がある。
【0017】図8(B)の入射光強度対出力電圧特性I
SVに着目すると、入射光強度がISで弱い場合はク
ランプされずにそのまま出力される。ところが、入射光
強度がISで強い場合もクランプされないことから、
飽和電圧VSTを越えてしまうことになる。
【0018】例えば可視光を撮影する場合、日中の明る
い環境下においては明暗差が大きい対象物を広ダイナミ
ックレンジで撮影することができるが、夜間の暗い環境
下では出力信号を増幅する増幅回路16を接続するため
にダイナミックレンジが狭くなってしまう。具体的に
は、例えば道路を走行する自動車のヘッドライト光と車
両の輪郭の両者を撮影しようとしても、ヘッドライト光
が抑圧されないので自動車の輪郭が撮影できなくなる。
【0019】なお、電磁波検出装置の感度を高めるため
には変換素子11の面積を大きくして変換素子の感度を
高めることが考えられるが、装置全体の面積が大きくな
り、製造プロセスでの不良品率も上昇してコストが上昇
する。また、装置全体の受光面の面積が大きくなると、
装置とともに使用する光学系の設計も複雑かつ困難にな
り、コストが上昇する。
【0020】電磁波検出装置の感度を高める他の方法と
して、変換素子11の感度を高めるために変換素子11
の製造プロセスを高感度専用に変更することが考えられ
る。しかし、この場合、特殊な製造プロセスはコストが
上昇し、また同一基板上に形成する読み出し素子やリセ
ット端子などの他の素子の特性が劣化するおそれがあ
る。
【0021】また、電磁波検出装置の感度を高める他の
方法として、変換素子11の露出時間を長くすることも
考えられる。この場合、単位時間に測定あるいは撮影で
きる回数、すなわちフレームレートが減少するという問
題がある。
【0022】本発明はこれらの問題点を解決するもので
あり、その目的は、比較的簡単な構成で、高感度設定時
でも広ダイナミックレンジ特性が得られる可変感度電磁
波検出装置を提供することにある。
【0023】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
る請求項1の発明は、測定電磁波を変換素子で電荷に変
換して蓄積素子に蓄積し、この蓄積素子に蓄積された電
荷を所定の電圧に制限するクランプ回路を介して増幅回
路に出力するように構成された電磁波検出装置におい
て、測定電磁波の強弱に応じて前記クランプ回路の制限
電圧と増幅回路の増幅率を連動して変化させる調整部を
有し、高感度設定状態で広ダイナミックレンジが得られ
ることを特徴とする。
【0024】請求項2の発明は、入射した電磁波を電荷
に変換する変換素子と、この変換素子から変換出力され
る電荷を蓄積する蓄積素子と、この蓄積素子に蓄積され
た電荷を予め設定された時間後に読み出す読み出し素子
と、一端が前記蓄積素子に接続され、リセット制御端子
にオン電圧が印加されて前記蓄積素子にリセット電位を
与えるリセット素子と、可変設定されるクランプ制御電
圧に応じて前記蓄積素子の電圧の絶対値が設定値以上に
なることを制限するクランプ回路と、前記蓄積素子にク
ランプ制御電圧を印加するクランプ制御電圧発生回路
と、前記読み出し用素子の出力端子に接続された増幅率
が可変の増幅回路と、測定電磁波の強弱に応じて前記ク
ランプ回路の制限電圧と増幅回路の増幅率を連動して変
化させる調整部とで構成され、高感度設定状態で広ダイ
ナミックレンジが得られることを特徴とする可変感度電
磁波検出装置である。
【0025】請求項3の発明は、請求項1または請求項
2記載の可変感度電磁波検出装置において、前記調整部
は、前記可変感度電磁波検出装置の出力電圧に応じて、
入射電磁波が強いときには前記増幅回路の増幅率を下げ
て、入射電磁波が弱いときには前記増幅回路の増幅率を
上げることにより、適正露出を得ることを特徴とする。
【0026】これらにより、明暗差あるいは強弱差の大
きい電磁波の測定にあたって測定感度を変化させた場合
であっても、広いダイナミックレンジが得られる。
【0027】請求項4の発明は、請求項1または請求項
2記載の可変感度電磁波検出装置において、少なくとも
前記変換素子と蓄積素子と読み出し素子とリセット素子
とクランプ回路がユニット化され、これら複数のユニッ
トが1次元に配置されたことを特徴とする。
【0028】これにより、これらのユニットを選択する
選択回路と組み合わせることによって、測定感度を変化
させた場合であっても広いダイナミックレンジが得られ
る複数のユニットよりなる電磁波センサアレイが得られ
る。
【0029】請求項5の発明は、請求項1または請求項
2記載の可変感度電磁波検出装置において、少なくとも
前記変換素子と蓄積素子と読み出し素子とリセット素子
とクランプ回路がユニット化され、これら複数のユニッ
トが2次元に配置されたことを特徴とする。
【0030】これにより、これらのユニットを選択する
選択回路と組み合わせることによって、測定感度を変化
させた場合であっても広いダイナミックレンジが得られ
る複数のユニットよりなる平面状の電磁波センサが得ら
れる。
【発明の実施の形態】
【0031】以下図面を用いて本発明を詳しく説明す
る。図1は本発明の実施の形態例を示す構成図であり、
図6と共通する部分には同一の符号を付けている。図1
と図6の異なる点は、図1では調整部17を設けている
ことである。この調整部17は、増幅回路16の増幅率
の調整とクランプ制御電圧発生回路15の出力電圧の絶
対値の調整とを同時に行う。
【0032】すなわち、調整部17は、入射光強度が比
較的弱い時には、可変感度電磁波検出装置を高感度に設
定するために増幅回路16の増幅率を例えばn倍に設定
するとともに、クランプ制御電圧発生回路15の出力電
圧値を制御してクランプ電圧の絶対値を例えば1/nに
設定する。
【0033】図2は図1におけるクランプ制御電圧発生
回路15と増幅回路16と調整部17の具体的な構成例
図である。DA変換器151には、図7,8に示すよう
な所定のクランプ電圧VCPを発生させるように設定さ
れたデジタル信号SDCPが入力される。DA変換器1
51の出力端子と共通電位点間には、抵抗152〜15
4の抵抗直列回路が接続されている。抵抗直列回路を構
成する各抵抗の接続点には、調整部17により選択的に
オンオフ駆動されるスイッチ155〜157がそれぞれ
接続されている。
【0034】これら抵抗152〜154およびスイッチ
155〜157は、減衰回路を構成するものであり、ス
イッチ155〜157の選択駆動に応じて以下のような
電圧VOUTを出力する。なおこれら抵抗152〜15
4の抵抗値をそれぞれr152〜r154とする。 <スイッチ155をオンした場合> VOUT=VCP <スイッチ156をオンした場合> VOUT=VCP(r153+r154)/(r152
+r153+r154) <スイッチ157をオンした場合> VOUT=VCP(r154)/(r152+r153
+r154)
【0035】ここで、r152=2kΩ、r153=1
kΩ、r154=1kΩとすると、 <スイッチ155をオンした場合> VOUT=VCP <スイッチ156をオンした場合> VOUT=VCP/2 <スイッチ157をオンした場合> VOUT=VCP/4 になる。
【0036】増幅回路16は、演算増幅器161と抵抗
162〜164の抵抗直列回路とスイッチ165〜16
7とで構成されている。抵抗直列回路は演算増幅器16
1の出力端子と共通電位点間に接続されている。スイッ
チ165〜167は調整部17により選択的にオンオフ
駆動されるものであり、抵抗直列回路を構成する各抵抗
の接続点と演算増幅器161の反転入力端子間に接続さ
れている。
【0037】これら抵抗162〜164およびスイッチ
165〜167は、演算増幅器161の増幅率nを設定
するものであり、演算増幅器161の増幅率nはスイッ
チ165〜167の選択駆動に応じて以下のようにな
る。なおこれら抵抗162〜164の抵抗値をそれぞれ
r162〜r164とする。 <スイッチ165をオンした場合> n=1 <スイッチ166をオンした場合> n=(r162+r163+r164)/(r163+
r164) <スイッチ167をオンした場合> n=(r162+r163+r164)/(r164)
【0038】ここで、r162=2kΩ、r163=1
kΩ、r164=1kΩとすると、 <スイッチ165をオンした場合> n=1 <スイッチ166をオンした場合> n=2 <スイッチ167をオンした場合> n=4 になる。
【0039】調整部17は、スイッチ155〜157と
165〜167を同時に選択的にオンオフする。ここで
抵抗152〜154および162〜164がそれぞれ前
述の抵抗値とすると、 <スイッチ155,165をオンした場合> VOUT=VCP,n=1 <スイッチ156,166をオンした場合> VOUT=VCP/2,n=2 <スイッチ157,167をオンした場合> VOUT=VCP/4,n=4 となる。
【0040】なおこのような調整部17の設定制御は、
測定者が手動で行うようにしてもよいし、増幅回路16
の出力信号を調整部17に取り込んで自動設定させるよ
うにしてもよい。
【0041】図3は図1の動作説明図であり、図7,8
と共通する部分には同一の符号を付けている。図3
(A)において、特性Vc6は弱い入射光強度の光が入
射した時の蓄積素子電圧Vの時間変化を示し、特性V
c7は比較的強い入射光強度の光が入射してクランプ回
路14が働く場合の蓄積素子電圧Vの時間変化を示し
ている。
【0042】クランプ電圧VCPは時間とともに変化す
るが、その絶対値は増幅回路16の電圧増幅率をnとす
ると1/nになるように設定されている。図3の例で
は、n=4である。図7,8のクランプ電圧に対しても
1/nになる。
【0043】図3(B)において、入射光強度対出力電
圧特性ISVに着目すると、入射光強度がISで弱い
場合はクランプされずにそのまま出力されるが、入射光
強度がISで比較的強い場合はクランプされる結果圧
縮され、飽和電圧VST以下に押さえられてダイナミッ
クレンジが広がることになる。
【0044】これにより、特性Vc7に示すような比較
的強い入射光強度の光が入射された場合にはクランプさ
れることになり、終わりの露出時刻tにおける出力電
圧はその絶対値が飽和電圧VST以下に押さえられるこ
とからダイナミックレンジは広がることになる。すなわ
ち、増幅回路16の増幅率nを上げて高感度に設定して
も図8のようにダイナミックレンジが狭まることはな
く、広いダイナミックレンジが得られる。
【0045】なお、上記実施例では、クランプ電圧V
CPを、増幅回路16の増幅率nに対して1/nになる
ように設定しているが、使用される場面に応じて最適な
関数を設定することが可能である。例えば、 クランプ電圧VOUT=(a/n)×VCP+c a,c:定数 でもよい。
【0046】ここで、これら定数a,cは、例えば次の
ようにして選定する。なお、便宜上、図7を用いて説明
する。まず、図7において、
【0047】
【数1】
【0048】とする。そして、入力光の強度ISに着目
すると、
【0049】
【数2】
【0050】のとき、(3)式のようになり、
【0051】
【数3】
【0052】
【数4】
【0053】
【0054】のとき、(5)式のようになり、
【0055】
【数5】
【0056】
【数6】
【0057】のとき、(7)式のようになり、
【0058】
【数7】
【0059】
【数8】
【0060】のとき、(9)式のようになって飽和し、
撮影範囲外となる。
【0061】
【数9】
【0062】ここで、例えばt=0,t=15m
s,t=25ms,t=30ms,VCP1=0.
75V,VCP2=1.5V,VST=3Vとすると、
(1)式の第1項は0.05V/msになり、第2項は
0.075V/msになり、第3項は0.3V/msに
なる。
【0063】増幅回路16の増幅率n=1のとき、強度
の異なる3つの入射光 IS10=0.02V/ms IS11=0.05V/ms IS12=0.18V/ms についてそれぞれの出力電圧Vを考察する。
【0064】<IS10=0.02V/ms>(2)式
の条件を満たすので、(3)式より、 V=IS10×t=0.02V/ms×30ms=
0.6V になり、
【0065】<IS11=0.05V/ms>(4)式
の条件を満たすので、(5)式より、 V=VCP1+IS11×(t−t) =0.75V+0.05/ms×(30ms−15ms) =1.5V になり、
【0066】<IS12=0.18V/ms>(6)式
の条件を満たすので、(7)式より、 V=VCP2+IS12×(t−t) =1.5V+0.18V/ms×(30ms−25ms) =2.4V になる。
【0067】増幅回路16の増幅率をnとし、クランプ
電圧VOUT
【0068】
【数10】
【0069】に設定すると、入射光強度ISと出力電圧
Vの関係は以下のようになる。すなわち、入射光強度I
Sが(11)式のとき、出力電圧Vは(12)式のよう
になり、
【0070】
【数11】
【0071】
【数12】
【0072】入射光強度ISが(13)式のとき、出力
電圧Vは(14)式のようになり、
【0073】
【数13】
【0074】
【数14】
【0075】入射光強度ISが(15)式のとき、出力
電圧Vは(16)式のようになり、
【0076】
【数15】
【0077】
【数16】
【0078】入射光強度ISが(17)式のとき、出力
電圧Vは(18)式のようになって飽和し、撮影範囲外
となる。
【0079】
【数17】
【0080】
【数18】
【0081】次に、増幅回路16の増幅率n>1の場合
について、強度の異なる3つの入射光IS13,IS
14,IS15についてそれぞれの出力電圧Vを考察す
る。なおIS13は(11)式を満たし、IS14
(13)式を満たし、IS15は(15)式を満たすも
のとする。
【0082】そして、IS13の出力電圧がVSAT
20%(0.2VSAT)になり、IS14の出力電圧
がVSATの50%(0.5VSAT)になり、IS
15の出力電圧がVSATの80%(0.8VSAT
になるように、n,a,cを選定する。
【0083】(14)式より、
【0084】
【数19】
【0085】の関係が成立し、(16)式より、
【0086】
【数20】
【0087】の関係が成立する。これら(19),(2
0)式から(21),(22)式を導き、aとcを求め
る。
【0088】
【数21】
【0089】
【数22】
【0090】さらに、強度の異なる3つの入射光IS
13,IS14,IS15の強度が、それぞれ IS13=IS10/4=0.02/4=0.005V
/ms IS14=IS11/4=0.05/4=0.0125
V/ms IS15=IS12/4=0.18/4=0.045V
/ms の場合について説明する。
【0091】なおこの場合も、IS13の出力電圧がV
SATの20%(0.2VSAT)になり、IS14
出力電圧がVSATの50%(0.5VSAT)にな
り、IS15の出力電圧がVSATの80%(0.8V
SAT)になるようなn,a,cを求めるものとする。
【0092】(12)式より、
【0093】
【数23】
【0094】(21),(22)式から、それぞれ a=1 c=0 が求められる。
【0095】なお入射光IS14,IS15の強度がI
11,IS12の1/4ではない IS13=0.005V/ms IS14=0.013V/ms IS15=0.040V/ms の場合は、(12),(21),(22)式より、それ
ぞれ n=4 a=1.173 c=−0.04 が求められる。
【0096】図4は、本発明装置において、感度を高感
度と低感度に切り換えた場合の入射光強度対出力電圧特
性例図であり、横軸に入射光強度ISを示し、縦軸に出
力電圧Vを示している。高感度の入射光強度対出力電圧
特性ISV−HSと低感度の入射光強度対出力電圧特性
ISV−LSから明らかなように、いずれの感度に変え
ても高ダイナミックレンジを保つことができる。
【0097】このように構成することにより、例えば可
視光を撮影する場合、日中の明るい環境下においては明
暗差が大きい対象物を広ダイナミックレンジで撮影でき
るとともに、夜間の暗い環境下で出力信号を増幅するた
めの増幅回路16を接続してもダイナミックレンジが狭
くなることはなく、例えば道路を走行する自動車のヘッ
ドライト光と車両の輪郭の両者を撮影する場合にはヘッ
ドライト光を抑圧できるので自動車の輪郭も鮮明に撮影
できる。
【0098】図5は本発明の他の実施の形態例図であ
り、クランプ制御電圧発生回路15の他の具体的な構成
を示す。シフトレジスタ158には、所定のクランプ電
圧V を発生させるように設定されたデジタル信号S
CPが入力される。このシフトレジスタ158の出力
データはDA変換器151に入力され、所定のクランプ
電圧VCPが変換出力される。
【0099】シフトレジスタ158のビットをシフトさ
せない状態では、あるクランプ電圧VCPに対応したデ
ジタルコードがDA変換器151に送られ、DA変換器
151の出力電圧VOUTはクランプ電圧VCPと等しく
なる。
【0100】シフトレジスタ158がLSB方向に1ビ
ットシフトされると、クランプ電圧VCPに対応したデ
ジタルコードもLSB方向に1ビットシフトされたもの
がDA変換器151に送られ、DA変換器151の出力
電圧VOUTはクランプ電圧V CPの1/2の値と等しく
なる。
【0101】シフトレジスタ158がLSB方向に2ビ
ットシフトされると、クランプ電圧VCPに対応したデ
ジタルコードもLSB方向に2ビットシフトされたもの
がDA変換器151に送られ、DA変換器151の出力
電圧VOUTはクランプ電圧V CPの1/4の値と等しく
なる。
【0102】調整部17は、シフトレジスタ158のシ
フト方向とビットの制御と増幅回路16の増幅率の設定
を同時に行う。例えばシフトレジスタ158のLSB方
向へのシフトビット数が0の場合は増幅回路16の増幅
率nを1倍にし、シフトレジスタ158のLSB方向へ
のシフトビット数が1の場合は増幅回路16の増幅率n
を2倍にし、シフトレジスタ158のLSB方向へのシ
フトビット数が2の場合は増幅回路16の増幅率nを4
倍にする。
【0103】なおこのように構成される本発明の装置に
ついて、少なくとも変換素子11と蓄積素子12と読み
出し素子13とリセット素子15とクランプ回路14を
ユニット化して複数のユニットを1次元に配置するとと
もにこれらのユニットを選択する選択回路と組み合わせ
ることにより、測定感度を変化させた場合であっても広
いダイナミックレンジが得られる複数のユニットよりな
る電磁波センサアレイが得られる。
【0104】また、少なくとも変換素子11と蓄積素子
12と読み出し素子13とリセット素子15とクランプ
回路14をユニット化して複数のユニットを2次元に配
置するとともにこれらのユニットを選択する選択回路と
組み合わせることにより、測定感度を変化させた場合で
あっても広いダイナミックレンジが得られる複数のユニ
ットよりなる平面状の電磁波センサアレイが得られる。
【0105】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
比較的簡単な構成で、高感度設定時でも広ダイナミック
レンジ特性が得られる可変感度電磁波検出装置が実現で
き、各種カメラやX線検出用などの電磁波センサとして
好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態例を示す構成図である。
【図2】図1におけるクランプ制御電圧発生回路15と
増幅回路16と調整部17の具体的な構成例図である。
【図3】図1の動作説明図である。
【図4】感度を高感度と低感度に切り換えた場合の入射
光強度対出力電圧特性例図である。
【図5】本発明の他の実施の形態例図である。
【図6】従来の電磁波検出装置の一例を示す構成図であ
る。
【図7】図6の動作説明図である。
【図8】図7の動作説明図のうちの入射光強度が弱い場
合の説明図である。
【符号の説明】
11 変換素子 12 蓄積素子 13 読み出し素子 14 クランプ回路 15 クランプ制御電圧発生回路(リセット素子) 151 DA変換器 152〜154 抵抗 155〜157 スイッチ 158 シフトレジスタ 16 増幅回路 161 演算増幅器 162〜164 抵抗 165〜167 スイッチ 17 調整部
フロントページの続き Fターム(参考) 2G065 AA06 AB04 BA06 BA09 BA33 BA34 BA40 BC03 BC10 BC22 BC33 BC40 BE08 DA18 5C024 AX01 CX43 GX03 HX10 HX18 HX23 HX44 5F049 MA01 NA20 NB05 UA01 UA05 UA13 UA20 WA03

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】測定電磁波を変換素子で電荷に変換して蓄
    積素子に蓄積し、この蓄積素子に蓄積された電荷を所定
    の電圧に制限するクランプ回路を介して増幅回路に出力
    するように構成された電磁波検出装置において、 測定電磁波の強弱に応じて前記クランプ回路の制限電圧
    と増幅回路の増幅率を連動して変化させる調整部を有
    し、高感度設定状態で広ダイナミックレンジが得られる
    ことを特徴とする可変感度電磁波検出装置。
  2. 【請求項2】入射した電磁波を電荷に変換する変換素子
    と、 この変換素子から変換出力される電荷を蓄積する蓄積素
    子と、 この蓄積素子に蓄積された電荷を予め設定された時間後
    に読み出す読み出し素子と、 一端が前記蓄積素子に接続され、リセット制御端子にオ
    ン電圧が印加されて前記蓄積素子にリセット電位を与え
    るリセット素子と、 可変設定されるクランプ制御電圧に応じて前記蓄積素子
    の電圧の絶対値が設定値以上になることを制限するクラ
    ンプ回路と、 前記蓄積素子にクランプ制御電圧を印加するクランプ制
    御電圧発生回路と、 前記読み出し用素子の出力端子に接続された増幅率が可
    変の増幅回路と、 測定電磁波の強弱に応じて前記クランプ回路の制限電圧
    と増幅回路の増幅率を連動して変化させる調整部とで構
    成され、 高感度設定状態で広ダイナミックレンジが得られること
    を特徴とする可変感度電磁波検出装置。
  3. 【請求項3】前記調整部は、前記可変感度電磁波検出装
    置の出力電圧に応じて、入射電磁波が強いときには前記
    増幅回路の増幅率を下げて、入射電磁波が弱いときには
    前記増幅回路の増幅率を上げることにより、適正露出を
    得ることを特徴とする請求項1または請求項2記載の可
    変感度電磁波検出装置。
  4. 【請求項4】少なくとも前記変換素子と蓄積素子と読み
    出し素子とリセット素子とクランプ回路がユニット化さ
    れ、複数のユニットが1次元に配置されたことを特徴と
    する請求項1または請求項2記載の可変感度電磁波検出
    装置。
  5. 【請求項5】少なくとも前記変換素子と蓄積素子と読み
    出し素子とリセット素子とクランプ回路がユニット化さ
    れ、複数のユニットが2次元に配置されたことを特徴と
    する請求項1または請求項2記載の可変感度電磁波検出
    装置。
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