JP2003258331A - 音叉振動子の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は斜め振動モードの発生を抑制し、か
つ、音叉振動の効率が高い音叉振動子の製造方法を提供
することを目的とするものである。 【解決手段】 ２枚の水晶ウエハ４，５の各ＸＹ面を平
滑にする工程と、各ＸＹ面を親水化処理し水酸基を吸着
させる工程と、ウエハ４，５のＸ軸が互いに逆方向を向
くように重ね合わせ熱処理する工程と、ウエハ４，５を
溶解するエッチング液に対して耐腐食性を有する第１、
第２の保護膜６，７と第１、第２のフォトレジスト８，
９を形成する工程と、第１、第２の保護膜６，７と第
１、第２のフォトレジスト８，９を各ウエハ４，５上で
それぞれＸ軸の負極性の方向に所定量シフトするように
パターニングする工程と、各ウエハ４，５をエッチング
液によりエッチングする工程とを備えたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は角速度センサに用い
られる音叉振動子の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年では、水晶やタンタル酸リチウム
（ＬｉＴａ₂Ｏ₃）等の単結晶圧電材料を音叉振動子とし
て用いた角速度センサが提案されている。例えば、図３
に示すように水晶のＺ板（ウエハ）を圧電現象を生ずる
電気軸（Ｘ軸）が互いに逆方向を向くように重ね合わせ
原子レベルで接合し、接合されたウエハをＺ軸方向にエ
ッチングして音叉振動子を製造する方法が知られてい
る。図３（ａ）はウエハとマスクの位置関係を示す断面
図である。図３（ｂ）は図３（ａ）に示すようなマスク
が設けられたウエハがＺ軸方向にウエットエッチングさ
れた後の音叉振動子の一方のアームの断面形状を示す断
面図である。１００ａ，１００ｂは水晶のＺ板からなる
ウエハ、１００ｃ，１００ｄはウエハ１００ａ，１００
ｂのそれぞれ露出した平面（ＸＹ面）、１０１ａ，１０
１ｂは音叉型振動子形状のマスク、１０２は水晶からな
る音叉振動子の一方のアーム、１０２ａ，１０２ｂは一
方のアーム１０２を構成する片、１０２ｃ，１０２ｄは
片１０２ａ，１０２ｂの突起部である。

【０００３】図３（ａ）において、圧電現象を生ずる電
気軸（Ｘ軸）が互いに逆方向を向くように重ね合わせ原
子レベルで接合したウエハ１００ａ，１００ｂのそれぞ
れ露出した平面（ＸＹ面）１００ｃ，１００ｄには所定
の寸法の音叉型振動子形状のマスク１０１ａ，１０１ｂ
の各エッジが正確に一致するように位置決めされてい
る。

【０００４】図３（ａ）に示すようなマスク１０１ａ，
１０１ｂが設けられたウエハ１００ａ，１００ｂをＺ軸
方向にウエットエッチングすると、図３（ｂ）に示すよ
うに片１０２ａの電気軸（Ｘ軸）の＋側には突起部１０
２ｃが生じ、電気軸（Ｘ軸）の−側にはＸＹ面にほぼ垂
直な面（ＹＺ面）が形成される。同様に、片１０２ｂの
電気軸（Ｘ軸）の＋側には突起部１０２ｄが生じ、電気
軸（Ｘ軸）の−側にはＸＹ面にほぼ垂直な面（ＹＺ面）
が形成される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような音叉振動子の製造方法においては、図３（ｂ）に
示すように片１０２ａでは突起部１０２ｃに相当する面
積分だけ片１０２ｂの垂直な面（ＹＺ面）より飛び出
し、また、片１０２ｂでは突起部１０２ｄに相当する面
積分だけ片１０２ａの垂直な面（ＹＺ面）より飛び出
す。このような断面形状をしたアーム１０２をＸ軸方向
に音叉振動させようとしてもＸ軸方向から突起部１０２
ｃと突起部１０２ｄを結ぶ方向にやや傾いた斜め振動モ
ードが発生してしまう。これにより、Ｘ軸方向への音叉
振動の効率が低下するばかりか、斜め振動モードの発生
により実際にはＹ軸まわりに角速度が入力されていない
にもかかわらず恰も角速度が入力されたかのようにアー
ム１０２をＺ軸方向に撓ませる力が発生してしまうとい
う課題を有していた。

【０００６】本発明は、斜め振動モードの発生を抑制
し、かつ、音叉振動の効率が高い音叉振動子の製造方法
を提供することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の請求項１に記載の発明は、音叉振動子の製造
方法において、圧電現象を生ずる電気軸（Ｘ軸）とほぼ
平行な２つの平面（ＸＹ面）を有する単結晶圧電材料か
らなる２枚のウエハの各平面（ＸＹ面）を平滑にする工
程と、平滑にされた前記２枚のウエハの各平面（ＸＹ
面）を親水化処理し水酸基を吸着させる工程と、平面
（ＸＹ面）に水酸基が吸着された前記２枚のウエハの電
気軸（Ｘ軸）が互いに逆方向を向くように重ね合わせ熱
処理する工程と、熱処理された前記２枚のウエハの内の
一方のウエハの露出した平面（ＸＹ面）及び他方のウエ
ハの露出した平面（ＸＹ面）にそれぞれ前記２枚のウエ
ハを溶解するエッチング液に対して耐腐食性を有する第
１、第２の保護膜を形成する工程と、この第１、第２の
保護膜をそれぞれ少なくとも２本のアームと前記アーム
を連結する少なくとも１つの基部から構成され互いにほ
ぼ相似形な音叉型振動子形状で、前記アームの幅方向
（Ｘ軸方向）が前記各ウエハの電気軸（Ｘ軸）の方向を
向き、かつ、前記各ウエハ上でそれぞれ電気軸（Ｘ軸）
の負極性の方向に所定量シフトするようにパターニング
し第１、第２のマスクを形成する工程と、この第１、第
２のマスクがそれぞれ形成された前記各ウエハを前記エ
ッチング液によりエッチングする工程とを備えたもので
ある。

【０００８】これにより、アーム内の質量バランスが確
保できるため、斜め振動モードの発生が抑制され、か
つ、音叉振動の効率が高い音叉振動子を実現することが
できる。

【０００９】次に、本発明の請求項２に記載の発明は、
音叉振動子の製造方法において、圧電現象を生ずる電気
軸（Ｘ軸）とほぼ平行な２つの平面（ＸＹ面）を有する
単結晶圧電材料からなる２枚のウエハの各平面（ＸＹ
面）を平滑にする工程と、前記２枚のウエハの各平面
（ＸＹ面）にそれぞれウエハを溶解するエッチング液に
対して耐腐食性を有する保護膜を形成する工程と、前記
２枚のウエハの各平面（ＸＹ面）にそれぞれ形成された
保護膜を少なくとも２本のアームと前記アームを連結す
る少なくとも１つの基部から構成され互いにほぼ相似形
な音叉型振動子形状で、前記アームの幅方向（Ｘ軸方
向）が前記ウエハの電気軸（Ｘ軸）の方向を向き、か
つ、対置するようにそれぞれパターニングしマスクを形
成する工程と、このマスクが形成された前記各ウエハ内
に音叉型振動子が残存するように前記エッチング液によ
りエッチングする工程と、エッチングされた前記各ウエ
ハの各平面（ＸＹ面）を親水化処理し水酸基を吸着させ
る工程と、平面（ＸＹ面）に水酸基が吸着された前記各
ウエハ内に残存する前記音叉型振動子が対置し、前記各
ウエハの電気軸（Ｘ軸）が互いに逆方向を向き、かつ、
前記各ウエハをそれぞれ電気軸（Ｘ軸）の負極性の方向
に所定量シフトさせ、重ね合わせ熱処理する工程とを備
えたものである。

【００１０】これにより、アーム内の質量バランスが確
保できるため、斜め振動モードの発生が抑制され、か
つ、音叉振動の効率が高い音叉振動子を実現することが
できる。

【００１１】次に、本発明の請求項３に記載の発明は、
音叉振動子の製造方法において、圧電現象を生ずる電気
軸（Ｘ軸）とほぼ平行な２つの平面（ＸＹ面）を有する
単結晶圧電材料からなる２枚のウエハの各平面（ＸＹ
面）を平滑にする工程と、前記２枚のウエハの各平面
（ＸＹ面）にそれぞれウエハを溶解するエッチング液に
対して耐腐食性を有する保護膜を形成する工程と、前記
２枚のウエハの各平面（ＸＹ面）にそれぞれ形成された
保護膜を少なくとも２本のアームと前記アームを連結す
る少なくとも１つの基部から構成され互いにほぼ相似形
な音叉型振動子形状で、前記アームの幅方向（Ｘ軸方
向）が前記ウエハの電気軸（Ｘ軸）の方向を向き、か
つ、対置するようにそれぞれパターニングしマスクを形
成する工程と、このマスクが形成された前記各ウエハか
ら前記エッチング液により音叉型振動子を形成するエッ
チング工程と、エッチングにより形成された各音叉型振
動子の各平面（ＸＹ面）を親水化処理し水酸基を吸着さ
せる工程と、平面（ＸＹ面）に水酸基が吸着された前記
各音叉型振動子が対置し、対置した前記各音叉型振動子
のアームの幅方向（Ｘ軸方向）を向く電気軸（Ｘ軸）が
互いに逆方向を向き、かつ、前記各音叉型振動子をそれ
ぞれ電気軸（Ｘ軸）の負極性の方向に所定量シフトさ
せ、重ね合わせ熱処理する工程とを備えたものである。

【００１２】これにより、アーム内の質量バランスが確
保できるため、斜め振動モードの発生が抑制され、か
つ、音叉振動の効率が高い音叉振動子を実現することが
できる。

【００１３】次に、本発明の請求項４に記載の発明は、
請求項１から３に記載の音叉振動子の製造方法におい
て、単結晶圧電材料を水晶としたものである。

【００１４】これにより、極めて安価な材料を用いなが
ら斜め振動モードの発生が抑制され、かつ、音叉振動の
効率が高い音叉振動子を実現することができる。

【００１５】次に、本発明の請求項５に記載の発明は、
請求項４に記載の音叉振動子の製造方法において、水晶
からなるウエハをＺ板としたものである。

【００１６】これにより、効率的なエッチングが可能と
なる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下本発明の一実施の形態につい
て図面を用いて説明する。

【００１８】図１は本発明の一実施の形態に係わる音叉
振動子を示す斜視図である。図２は同音叉振動子を形成
するエッチング方法を示す工程断面図である。

【００１９】図１において、１ａ，１ｂはアーム、１ｃ
はアーム１ａ，１ｂを連結する基部、１はアーム１ａ，
１ｂと基部１ｃから構成される水晶音叉型振動子、２
ａ，２ｂはアーム、２ｃはアーム２ａ，２ｂを連結する
基部、２はアーム２ａ，２ｂと基部２ｃから構成される
水晶音叉型振動子、３は水晶音叉型振動子１，２におい
てアーム１ａとアーム２ａのそれぞれの幅方向（Ｘ軸方
向）並びにアーム１ｂとアーム２ｂのそれぞれの幅方向
（Ｘ軸方向）が互いに逆方向を向くように接合された角
速度センサ用の音叉振動子である。また、３ａ，３ｂは
それぞれ接合された角速度センサ用の音叉振動子３のア
ーム、３ｃは同音叉振動子３の基部である。

【００２０】本発明は接合された音叉振動子３のアーム
３ａ，３ｂの断面形状に特徴がある。そこで、図１に示
す音叉振動子３のアーム３ｂを例に、そのＡ・Ａ断面形
状を形成するためのエッチング方法を図２を用いて以下
に詳述する。

【００２１】図２において、４，５はＺ板と呼ばれる水
晶のウエハ、６，７はＣｒ，Ａｕの２層からなる第１、
第２の保護膜、８，９は第１、第２のフォトレジストで
ある。

【００２２】図２（ａ）に示された厚さが約１５０μｍ
のウエハ４，５の表面（ＸＹ面）を研磨により鏡面に加
工する。

【００２３】次に、研磨されたウエハ４，５の表面（Ｘ
Ｙ面）を親水化処理し水酸基を吸着させた後、水酸基が
吸着された２枚のウエハ４，５の電気軸（Ｘ軸）が互い
に逆方向を向くように重ね合わせ熱処理する。この熱処
理により、重ね合わされた２枚のウエハ４，５の界面か
ら水酸基や水素が離脱することで２枚のウエハ４，５が
完全に接合される（図２（ｂ））。

【００２４】次に、接合された２枚のウエハ４，５の露
出したそれぞれの平面（ＸＹ面）にウエハ４，５を溶解
するエッチング液（例えば、弗酸と弗化水素アンモニウ
ムの混合液）に対して耐腐食性を有するＣｒ，Ａｕの２
層からなる第１、第２の保護膜６，７を形成する（図２
（ｃ））。

【００２５】次に、第１、第２の保護膜６，７の上にそ
れぞれ第１、第２のフォトレジスト８，９を塗布する
（図２（ｄ））。

【００２６】次に、第１、第２のフォトレジスト８，９
を露光し、現像することにより、ウエハ４，５に形成し
たい所定の音叉型振動子形状（例えば、アームの幅ｄ２
＝２８０μｍ）の第１、第２のフォトレジスト８，９の
パターンをそれぞれ形成し、この対向する上下の第１、
第２のフォトレジスト８，９のパターンが各ウエハ４，
５上でそれぞれ電気軸（Ｘ軸）の負極性の方向に所定量
（ｄ１＝７μｍ）シフトするようにする（図２
（ｅ））。図２（ｅ）においては、７μｍシフトさせて
いるが、このシフト量はエッチング液の温度、その配合
比や接合後のウエハ４，５の厚みと目的とするアーム３
ｂの幅によって適宜変更する必要がある。

【００２７】次に、図２（ｅ）に示した第１、第２のフ
ォトレジスト８，９のパターンをマスクにして第１、第
２の保護膜６，７をウエットエッチングする（図２
（ｆ））。

【００２８】次に、図２（ｆ）に示した第１、第２のフ
ォトレジスト８，９と第１、第２の保護膜６，７をそれ
ぞれ第１、第２のマスクにしてウエハ４，５を約５０℃
で、約１０時間ウエットエッチングする（図２
（ｇ））。図２（ｇ）においては、第１、第２のフォト
レジスト８，９のパターンを剥離せずにウエハ４，５を
ウエットエッチングしているが、ウエハ４，５をウエッ
トエッチングする前に剥離しておいても構わない。

【００２９】次に、図２（ｈ）のようにウエットエッチ
ングする際の第１、第２のマスクとして使用された第
１、第２のフォトレジスト８，９及び第１、第２の保護
膜６，７を剥離する。

【００３０】図２（ｈ）に示すようにウエットエッチン
グした後のウエハ４，５のそれぞれの断面（ＸＺ面）の
＋Ｘ軸方向には突起部４ａ，５ａが発生しており、その
面積はほぼ等しい。また、ウエハ４，５の露出したそれ
ぞれの平面（ＸＹ面）上の＋Ｘ軸方向の端から突起部４
ａ，５ａの先端４ｂ，５ｂまでの距離ｄ３はほぼ等し
く、約２０μｍである。また、ウエハ４，５のそれぞれ
の断面（ＸＺ面）の−Ｘ軸方向は、ほぼＸＹ面に垂直な
形状を有する面４ｃ，５ｃとなる。また、ウエハ４の露
出した平面（ＸＹ面）上の＋Ｘ軸方向の端から面５ｃま
での距離ｄ１は約７μｍである。同様に、ウエハ５の露
出した平面（ＸＹ面）上の＋Ｘ軸方向の端から面４ｃま
での距離ｄ１も約７μｍである。

【００３１】また、ウエハ４のＢ・Ｂ線より右側の突起
部４ａとウエハ５のＢ・Ｂ線より右側の断面部分５ｄの
面積はほぼ等しい。同じく、ウエハ４のＣ・Ｃ線より左
側の断面部分４ｄとウエハ５のＣ・Ｃ線より左側の突起
部５ａの面積はほぼ等しい。

【００３２】図２においては、図１に示す音叉振動子３
の片方のアーム３ｂの製造方法について説明したが、他
方のアーム３ａも同一の製造方法により同時に形成さ
れ、その断面形状も図２に示したものと同じである。

【００３３】上述のように音叉振動子３の両アーム３
ａ，３ｂの断面ともに、Ｂ・Ｂ線より右側の突起部４ａ
とＢ・Ｂ線より右側の断面部分５ｄの面積がほぼ等し
く、また、Ｃ・Ｃ線より左側の断面部分４ｄとＣ・Ｃ線
より左側の突起部５ａの面積もほぼ等しくなる。これに
より、両アーム３ａ，３ｂ内の質量バランスが確保され
るため、音叉振動子３の両アーム３ａ，３ｂをＸ軸方向
に励振しても斜め振動モードの発生が抑制され、かつ、
音叉振動の効率が高くなる。

【００３４】本実施の形態においては、２枚のウエハ同
士を先に接合してからエッチングし、所定の音叉振動子
を形成する製造方法について説明してきたが、それぞれ
のウエハを先にエッチングし音叉型振動子を形成した後
に、各音叉型振動子のアームの幅方向（Ｘ軸方向）が互
いに逆方向を向くように重ね合わせて接合し所定の音叉
振動子を形成することも可能である。また、上記の製造
方法の場合において、ウエハ内に音叉型振動子を残した
まま接合する方法とエッチングによりウエハから音叉型
振動子を切り離してから接合する方法の二通りある。

【００３５】また、本実施の形態においては、ウエハと
して水晶を用いた場合について説明してきたが、これ以
外の単結晶圧電材料を用いることも可能である。

【００３６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、圧電現象
を生ずる電気軸（Ｘ軸）とほぼ平行な２つの平面（ＸＹ
面）を有する単結晶圧電材料からなる２枚のウエハの各
平面（ＸＹ面）を平滑にする工程と、平滑にされた前記
２枚のウエハの各平面（ＸＹ面）を親水化処理し水酸基
を吸着させる工程と、平面（ＸＹ面）に水酸基が吸着さ
れた前記２枚のウエハの電気軸（Ｘ軸）が互いに逆方向
を向くように重ね合わせ熱処理する工程と、熱処理され
た前記２枚のウエハの内の一方のウエハの露出した平面
（ＸＹ面）及び他方のウエハの露出した平面（ＸＹ面）
にそれぞれ前記２枚のウエハを溶解するエッチング液に
対して耐腐食性を有する第１、第２の保護膜を形成する
工程と、この第１、第２の保護膜をそれぞれ少なくとも
２本のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの
基部から構成され互いにほぼ相似形な音叉型振動子形状
で、前記アームの幅方向（Ｘ軸方向）が前記各ウエハの
電気軸（Ｘ軸）の方向を向き、かつ、前記各ウエハ上で
それぞれ電気軸（Ｘ軸）の負極性の方向に所定量シフト
するようにパターニングし第１、第２のマスクを形成す
る工程と、この第１、第２のマスクがそれぞれ形成され
た前記各ウエハを前記エッチング液によりエッチングす
る工程とを備えているため、アーム内の質量バランスが
確保され、斜め振動モードの発生が抑制され、かつ、音
叉振動の効率が高い音叉振動子を実現することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係わる音叉振動子を示
す斜視図

【図２】同音叉振動子を形成するエッチング方法を示す
工程断面図

【図３】従来の音叉振動子を形成するエッチング方法を
示す概略工程断面図

【符号の説明】

１，２ 水晶音叉型振動子 １ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ アーム １ｃ，２ｃ，３ｃ 基部 ３ 音叉振動子 ４，５ ウエハ ４ａ，５ａ 突起部 ４ｂ，５ｂ 先端 ４ｃ，５ｃ ＸＹ面に垂直な形状を有する面 ４ｄ Ｃ・Ｃ線より左側の断面部分 ５ｄ Ｂ・Ｂ線より右側の断面部分 ６ 第１の保護膜 ７ 第２の保護膜 ８ 第１のフォトレジスト ９ 第２のフォトレジスト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川崎 周作 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 畑中 正数 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 高嶋 義則 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 梅木 三十四 埼玉県狭山市大字上広瀬1275番地の２ 日 本電波工業株式会社狭山事業所内 Ｆターム(参考） 2F105 BB02 CC01 CD02 CD06

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電現象を生ずる電気軸（Ｘ軸）とほぼ
   平行な２つの平面（ＸＹ面）を有する単結晶圧電材料か
   らなる２枚のウエハの各平面（ＸＹ面）を平滑にする工
   程と、平滑にされた前記２枚のウエハの各平面（ＸＹ
   面）を親水化処理し水酸基を吸着させる工程と、平面
   （ＸＹ面）に水酸基が吸着された前記２枚のウエハの電
   気軸（Ｘ軸）が互いに逆方向を向くように重ね合わせ熱
   処理する工程と、熱処理された前記２枚のウエハの内の
   一方のウエハの露出した平面（ＸＹ面）及び他方のウエ
   ハの露出した平面（ＸＹ面）にそれぞれ前記２枚のウエ
   ハを溶解するエッチング液に対して耐腐食性を有する第
   １、第２の保護膜を形成する工程と、この第１、第２の
   保護膜をそれぞれ少なくとも２本のアームと前記アーム
   を連結する少なくとも１つの基部から構成され互いにほ
   ぼ相似形な音叉型振動子形状で、前記アームの幅方向
   （Ｘ軸方向）が前記各ウエハの電気軸（Ｘ軸）の方向を
   向き、かつ、前記各ウエハ上でそれぞれ電気軸（Ｘ軸）
   の負極性の方向に所定量シフトするようにパターニング
   し第１、第２のマスクを形成する工程と、この第１、第
   ２のマスクがそれぞれ形成された前記各ウエハを前記エ
   ッチング液によりエッチングする工程とを備えた音叉振
   動子の製造方法。
2. 【請求項２】 圧電現象を生ずる電気軸（Ｘ軸）とほぼ
   平行な２つの平面（ＸＹ面）を有する単結晶圧電材料か
   らなる２枚のウエハの各平面（ＸＹ面）を平滑にする工
   程と、前記２枚のウエハの各平面（ＸＹ面）にそれぞれ
   ウエハを溶解するエッチング液に対して耐腐食性を有す
   る保護膜を形成する工程と、前記２枚のウエハの各平面
   （ＸＹ面）にそれぞれ形成された保護膜を少なくとも２
   本のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基
   部から構成され互いにほぼ相似形な音叉型振動子形状
   で、前記アームの幅方向（Ｘ軸方向）が前記ウエハの電
   気軸（Ｘ軸）の方向を向き、かつ、対置するようにそれ
   ぞれパターニングしマスクを形成する工程と、このマス
   クが形成された前記各ウエハ内に音叉型振動子が残存す
   るように前記エッチング液によりエッチングする工程
   と、エッチングされた前記各ウエハの各平面（ＸＹ面）
   を親水化処理し水酸基を吸着させる工程と、平面（ＸＹ
   面）に水酸基が吸着された前記各ウエハ内に残存する前
   記音叉型振動子が対置し、前記各ウエハの電気軸（Ｘ
   軸）が互いに逆方向を向き、かつ、前記各ウエハをそれ
   ぞれ電気軸（Ｘ軸）の負極性の方向に所定量シフトさ
   せ、重ね合わせ熱処理する工程とを備えた音叉振動子の
   製造方法。
3. 【請求項３】 圧電現象を生ずる電気軸（Ｘ軸）とほぼ
   平行な２つの平面（ＸＹ面）を有する単結晶圧電材料か
   らなる２枚のウエハの各平面（ＸＹ面）を平滑にする工
   程と、前記２枚のウエハの各平面（ＸＹ面）にそれぞれ
   ウエハを溶解するエッチング液に対して耐腐食性を有す
   る保護膜を形成する工程と、前記２枚のウエハの各平面
   （ＸＹ面）にそれぞれ形成された保護膜を少なくとも２
   本のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基
   部から構成され互いにほぼ相似形な音叉型振動子形状
   で、前記アームの幅方向（Ｘ軸方向）が前記ウエハの電
   気軸（Ｘ軸）の方向を向き、かつ、対置するようにそれ
   ぞれパターニングしマスクを形成する工程と、このマス
   クが形成された前記各ウエハから前記エッチング液によ
   り音叉型振動子を形成するエッチング工程と、エッチン
   グにより形成された各音叉型振動子の各平面（ＸＹ面）
   を親水化処理し水酸基を吸着させる工程と、平面（ＸＹ
   面）に水酸基が吸着された前記各音叉型振動子が対置
   し、対置した前記各音叉型振動子のアームの幅方向（Ｘ
   軸方向）を向く電気軸（Ｘ軸）が互いに逆方向を向き、
   かつ、前記各音叉型振動子をそれぞれ電気軸（Ｘ軸）の
   負極性の方向に所定量シフトさせ、重ね合わせ熱処理す
   る工程とを備えた音叉振動子の製造方法。
4. 【請求項４】 単結晶圧電材料は、水晶である請求項１
   から３に記載の音叉振動子の製造方法。
5. 【請求項５】 水晶からなるウエハは、Ｚ板である請求
   項４に記載の音叉振動子の製造方法。