JP2003258316A - Light emitting diode having enhanced light emission luminance and its manufacturing method - Google Patents

Light emitting diode having enhanced light emission luminance and its manufacturing method

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JP2003258316A
JP2003258316A JP2002044629A JP2002044629A JP2003258316A JP 2003258316 A JP2003258316 A JP 2003258316A JP 2002044629 A JP2002044629 A JP 2002044629A JP 2002044629 A JP2002044629 A JP 2002044629A JP 2003258316 A JP2003258316 A JP 2003258316A
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light emitting
layer
manufacturing
light
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Eiki Kyo
榮貴 許
Gakushi Yo
學志 余
Karyo Jo
嘉▲りょう▼ 徐
Koen Riku
宏遠 陸
Ganko Shu
顔虎 朱
Suiken Cho
垂權 張
Kwang-Ru Wang
冠儒 王
Chang-Da Tsai
長達 蔡
Sanho Rin
三寶 林
Yukyo Ko
勇強 黄
Meitoku Rin
明徳 林
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Optotech Corp
Original Assignee
Optotech Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light emitting diode having an enhanced light emission luminance and to provide a method for manufacturing the same. <P>SOLUTION: The method for manufacturing the light emitting diode having an enhanced light emission luminance comprises the steps of removing a partial volume of a high carrier-doped layer having an evil for absorbing a ray luminance formed naturally at a bottom side when an LED epitaxial layer is grown, forming a space section, filling the space section with a transparent substance layer, projecting a ray route, providing a conductive contact layer for performing a conduction and a current route standard on the un-removed high carrier-doped layer, evenly distributing a working current in an LED epitaxial layer to perform an object to emit a light, and thereby remarkably enhancing the light emission luminance in the LED element. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は一種の発光輝度を高
めた発光ダイオードとその製造方法に係り、LEDエピ
タキシャル層底側のハイキャリアドープ層の一部体積を
除去し、スペース区となし、並びにスペース区内を透光
物質層で充満し、光線経路の投射を行えるようにすると
共に大幅にLED素子内の発光輝度を高めた、発光輝度
を高めた発光ダイオードとその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light emitting diode having a high emission brightness and a method of manufacturing the same, and a partial volume of a high carrier-doped layer on the bottom side of an LED epitaxial layer is removed to form a space area. The present invention relates to a light emitting diode having a high light emission brightness, which fills a space area with a light transmissive material layer so that a light beam path can be projected and the light emission brightness in an LED element is significantly increased, and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】発光ダイオード(LED)は寿命が長
く、体積が小さく、発熱量が低く、消耗電力量が小さ
く、反応速度が速く、単色光発光の特性と長所を有する
ため、1960年代より今日まで発展しており、コンピ
ュータ周辺設備、時計のディスプレイ、メーター板、或
いは通信業、情報業、及び消費性電子製品に大量に使用
されている。特に近年、高輝度発光ダイオード技術の開
発により、LEDは屋内から屋外へと応用が広がり、そ
の応用範囲の広さには見るべきものがある。しかし、L
EDを屋外で応用する時、その輝度特性が要求され且つ
基本となる。
2. Description of the Related Art A light emitting diode (LED) has a long life, a small volume, a low calorific value, a low power consumption, a fast reaction speed, and a characteristic and advantage of monochromatic light emission. It has been used extensively in computer peripherals, clock displays, meter boards, or in communications, information, and consumer electronics. Particularly in recent years, due to the development of high-brightness light emitting diode technology, LEDs are widely used indoors and outdoors, and the range of application is remarkable. But L
When the ED is applied outdoors, its brightness characteristics are required and are the basis.

【0003】LED発光輝度を高めるため、業界では多
くの新規で価値のある製品新技術を提供しており、例え
ば米国特許第5,153,889号は、図1に示される
ように、少なくとも、上クラッド層17、発光活性層1
6、下クラッド層15を有するLEDエピタキシャル層
の上に電流拡散層18を設け、且つ該電流拡散層18内
に絶縁し並びに作業電流を両側に向けて移動させる電流
阻止層100を設けている。LEDエピタキシャル層の
下クラッド層15と基板11の間に、投射光源を反射す
る反射層13を設け、基板11の底側に下部電極102
を設け、電流拡散層18の上側に対向電極101を設け
ている。
To increase the LED emission brightness, the industry offers many new and valuable product innovations, for example, US Pat. No. 5,153,889, as shown in FIG. Upper clad layer 17, light emitting active layer 1
6. A current spreading layer 18 is provided on the LED epitaxial layer having the lower clad layer 15, and a current blocking layer 100 is provided in the current spreading layer 18 to insulate and move the working current toward both sides. A reflective layer 13 that reflects a projection light source is provided between the lower cladding layer 15 of the LED epitaxial layer and the substrate 11, and the lower electrode 102 is provided on the bottom side of the substrate 11.
And the counter electrode 101 is provided above the current diffusion layer 18.

【0004】上述の従来の構造は、電流拡散層18、電
流阻止層100及び反射層13が有効に発光輝度を増加
する機能を達成する。しかし、以下のような欠点を有し
ていた。 1.LEDエピタキシャル層を基板上に成長させる時、
その底側の基板表面に接近する部分に自然にハイキャリ
アドープ層155が形成され、このハイキャリアドープ
層155が大量に投射された光子数量を吸収し、このた
めLEDエピタキシャル層の発光輝度機能に対して莫大
な損害を与え、上述の構造は有効にこれを克服できなか
った。 2.LEDエピタキシャル層はその材料の選択の制限を
受け、格子定数がマッチする基板表面に成長させねばな
らない。しかし、基板の材質特性が不適合であるとその
基板を使用できず、例えばGaAs基板は光線を吸収し
て素子の発光輝度を低下させうるし、GaP基板自身は
橙色を呈し、発光色度の問題が存在した。 3.電流阻止層100は製造上非常に複雑で、且つそれ
は対向電極101の底端に整合させねばならず、設計
上、弾性を有さず、工程上、面倒すぎる。
In the above-mentioned conventional structure, the current spreading layer 18, the current blocking layer 100 and the reflection layer 13 effectively achieve the function of increasing the emission brightness. However, it has the following drawbacks. 1. When growing the LED epitaxial layer on the substrate,
A high carrier-doped layer 155 is spontaneously formed in a portion close to the substrate surface on the bottom side, and this high-carrier-doped layer 155 absorbs a large amount of projected photons, and thus has an emission brightness function of the LED epitaxial layer. To the contrary, it caused a great deal of damage, and the above structure could not effectively overcome this. 2. The LED epitaxial layer is limited by its material selection and must be grown on the substrate surface with a matching lattice constant. However, if the material properties of the substrate are incompatible, the substrate cannot be used. For example, a GaAs substrate can absorb light rays and reduce the emission brightness of the device, and the GaP substrate itself exhibits an orange color, which causes a problem of emission chromaticity. Were present. 3. The current blocking layer 100 is very complicated in manufacturing, and it has to be aligned with the bottom end of the counter electrode 101, has no elasticity by design, and is too cumbersome in process.

【0005】このため、上述の欠点に対して、業界で
は、永久基板をテンポラリー基板の代わりに使用する概
念を提供している。例えば米国特許第6,258,69
9号或いは米国特許出願第09/384,053号には
異なる解決技術が示されている。
To this end, the industry has therefore provided the concept of using permanent substrates in place of temporary substrates, in spite of the above mentioned drawbacks. For example, US Pat. No. 6,258,69
No. 9 or US patent application Ser. No. 09 / 384,053 shows a different solution.

【0006】図2は米国特許第6,258,699号に
記載の主要構造を示す。それは、平面型LEDエピタキ
シャル層(発光領域)26をGaAs或いはInPで製
造したテンポラリー基板の上に形成し、その後、さらに
テンポラリー基板を剥離する。並びに透明なガラス或い
は石英を選択し永久基板21となし、この永久基板21
の上層に金属接着剤24を形成して該平面型LEDエピ
タキシャル層26の底層に接合する。また永久基板21
の底層に金属反射層23を設け、こうして平面型LED
エピタキシャル層26の平面上の二つの電極201、2
02を通電し発光させる時、pn接合が下向きに投射す
る光源が透明なガラス或いは石英を透過し、金属反射層
23に反射され、並びにこれにより発光輝度を高める機
能を達成する。
FIG. 2 shows the main structure described in US Pat. No. 6,258,699. That is, a planar LED epitaxial layer (light emitting region) 26 is formed on a temporary substrate made of GaAs or InP, and then the temporary substrate is peeled off. In addition, transparent glass or quartz is selected to form the permanent substrate 21.
A metal adhesive 24 is formed on the upper layer and is bonded to the bottom layer of the planar LED epitaxial layer 26. In addition, the permanent substrate 21
A metal reflective layer 23 is provided on the bottom layer of the
Two electrodes 201, 2 on the plane of the epitaxial layer 26
When 02 is energized to emit light, the pn junction projects downward, the light source transmits through transparent glass or quartz, is reflected by the metal reflection layer 23, and thereby achieves the function of increasing the emission brightness.

【0007】しかし、上述の発光ダイオードの構造には
なおも以下のような欠点があった。 1.LEDエピタキシャル層の底側のハイキャリアドー
プ層265を有効に解決できず、全体のLED素子の発
光輝度に莫大な影響を与えた。 2.反射光源がガラス或いは石英の永久基板を透過する
必要があり、反射光源の走行光程が長すぎ、発光輝度の
向上に不利であった。 3.反射層が基板の底側に設けられているため、永久基
板は必ず透光の材料で形成されなければならず、このた
め材料の使用と製品の設計範囲が自ずと制限された。 4.LEDエピタキシャル層作業で発生する高温を有効
に排除できないため、素子の使用信頼性が損なわれ、さ
らに、その使用寿命に小さからぬ脅威を発生した。
However, the above-mentioned structure of the light emitting diode still has the following drawbacks. 1. The high carrier-doped layer 265 on the bottom side of the LED epitaxial layer could not be effectively resolved, which had an enormous influence on the emission brightness of the entire LED element. 2. It is necessary for the reflection light source to pass through a glass or quartz permanent substrate, and the traveling light of the reflection light source is too long, which is disadvantageous in improving the emission brightness. 3. Since the reflective layer is provided on the bottom side of the substrate, the permanent substrate must be made of a transparent material, which naturally limits the use of the material and the design range of the product. 4. Since the high temperature generated in the work of the LED epitaxial layer cannot be effectively eliminated, the reliability of use of the device is impaired, and further, the useful life of the device is not a little threatened.

【0008】このため、上述の従来の技術の欠点を有効
に解決でき、発光輝度を高めることができ、素子の作業
信頼度と使用寿命を維持できる発光ダイオードが求めら
れている。
Therefore, there is a demand for a light emitting diode which can effectively solve the above-mentioned drawbacks of the prior art, can increase the light emission luminance, and can maintain the operational reliability and service life of the device.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明の主要な目的
は、発光輝度を高めた発光ダイオードを提供することに
あり、それは、LEDエピタキシャル層の底側のハイキ
ャリアドープ層の一部体積を除去し、並びに透光物質層
で除去したハイキャリアドープ層位置を充填し、有効に
ハイキャリアドープ層の引き起こす多くの欠点を解決
し、有効に素子発光輝度を高めるようにした発光ダイオ
ードであるものとする。
SUMMARY OF THE INVENTION The main object of the present invention is to provide a light emitting diode with enhanced emission brightness, which eliminates a partial volume of the high carrier doped layer on the bottom side of the LED epitaxial layer. And the high carrier-doped layer position removed by the translucent material layer is filled, effectively solving many drawbacks caused by the high carrier-doped layer, and effectively increasing the device emission brightness. To do.

【0010】本発明の次の目的は、一種の発光輝度を高
めた発光ダイオードを提供することにあり、それは永久
基板を、LEDエピタキシャル層成長に供されるテンポ
ラリー基板の代わりに細腰し、これにより実際の要求に
より導電、導熱或いは色光変換の適当な材料を選択して
LED素子の永久基板となし、適用範囲を拡大するだけ
でなく、有効に素子の作業信頼性と使用寿命を増進した
発光ダイオードであるものとする。
A further object of the present invention is to provide a kind of light emitting diode with high emission brightness, which comprises a permanent substrate slendered instead of a temporary substrate used for LED epitaxial layer growth. According to the actual requirements, by selecting an appropriate material for conduction, heat conduction or color light conversion to form a permanent substrate for an LED element, not only expanding the range of application, but also effectively improving the work reliability and service life of the element. It shall be a diode.

【0011】本発明のさらに一つの目的は、一種の発光
輝度を高めた発光ダイオードを提供することにあり、そ
れは、金属コンタクトポイントの設立位置を利用し、有
効に作業電流の流動経路と密度を画定し、有効に電流が
妨げられる問題を解決し、また、大幅に発光輝度機能を
向上するようにした発光ダイオードであるものとする。
Yet another object of the present invention is to provide a kind of light emitting diode with enhanced emission brightness, which utilizes the established position of the metal contact point to effectively improve the flow path and density of working current. It shall be a light emitting diode that defines and solves the problem of effectively blocking the current and also significantly improves the light emission brightness function.

【0012】本発明のさらに一つの目的は、発光輝度を
高めた発光ダイオードの製造方法を提供することにあ
り、それは、簡単な工程変化を利用し、有効にLEDエ
ピタキシャル層底側のハイキャリアドープ層の引き起こ
す多くの弊害を解決し、工程が簡単で大量生産に有利
で、また、有効に製品歩留りを上げて製造コスト支出を
減らせる方法であるものとする。
Yet another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a light emitting diode with enhanced emission brightness, which utilizes a simple process change and effectively utilizes high carrier doping on the bottom side of the LED epitaxial layer. It is a method that solves many problems caused by layers, has a simple process, is advantageous for mass production, and can effectively increase product yield and reduce manufacturing cost expenditure.

【0013】本発明のさらにまた一つの目的は、発光輝
度を高めた発光ダイオードの製造方法を提供することに
あり、それは、直立型発光ダイオードに適用されるだけ
でなく、平面型発光ダイオードに適用され、適用タイプ
が多く、製品設計に有利で、また、適当な永久基板を選
択するのに便利な方法であるものとする。
Yet another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a light emitting diode having enhanced light emission brightness, which is applied not only to an upright type light emitting diode but also to a planar type light emitting diode. In addition, there are many applicable types, it is advantageous for product design, and it is a convenient method for selecting an appropriate permanent substrate.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、発光
輝度を高めた発光ダイオードの製造方法において、少な
くとも一つの発光活性層を具えたLEDエピタキシャル
層をテンポラリー基板の表面に成長させ、該発光ダイオ
ードの底側に自然にハイキャリアドープ層を形成させる
ステップと、該テンポラリー基板を剥離するステップ
と、少なくとも一つの導電コンタクト層をハイキャリア
ドープ層の底側の一部表面に形成するステップと、表面
が導電コンタクト層に未連接のハイキャリアドープ層を
除去し、各ふたつのハイキャリアドープ層の間にスペー
ス区を形成するステップと、透光物質層を該スペース区
内に形成するステップと、一つの永久基板を該透光物質
層の底側位置に連接するステップと、を含むことを特徴
とする、発光輝度を高めた発光ダイオードの製造方法と
している。請求項2の発明は、前記製造方法において、
反射層を透光物質層の底側位置に形成し、該永久基板に
該反射層の底側に連設するステップを更に含むことを特
徴とする、請求項1に記載の発光輝度を高めた発光ダイ
オードの製造方法としている。請求項3の発明は、前記
製造方法において、接合層を永久基板の上側に形成し、
更に該接合層を透光物質層の底側に接合するステップを
更に含むことを特徴とする、請求項1に記載の発光輝度
を高めた発光ダイオードの製造方法としている。請求項
4の発明は、前記製造方法において、下部電極を永久基
板の底側に形成し、並びに対向電極をLEDエピタキシ
ャル層の上側に形成するステップを更に含むことを特徴
とする、請求項1に記載の発光輝度を高めた発光ダイオ
ードの製造方法としている。請求項5の発明は、前記製
造方法において、対向電極はテンポラリー基板剥離前に
LEDエピタキシャル層の上側に形成し、下部電極は永
久基板を透光物質層に連設する前に、永久基板の底側に
形成することを特徴とする、請求項4に記載の発光輝度
を高めた発光ダイオードの製造方法としている。請求項
6の発明は、前記製造方法において、電流拡散層をLE
Dエピタキシャル層の上側に形成するステップを更に含
むことを特徴とする、請求項1に記載の発光輝度を高め
た発光ダイオードの製造方法としている。請求項7の発
明は、前記製造方法において、透光物質層は、導電特性
を有するITO、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化錫及
びその組合せのいずれかで形成することを特徴とする、
請求項1に記載の発光輝度を高めた発光ダイオードの製
造方法としている。請求項8の発明は、前記製造方法に
おいて、透光物質層は、導電特性を具備しないポリマ
ー、石英、ガラス及びその組合せのいずれかで形成する
ことを特徴とする、請求項1に記載の発光輝度を高めた
発光ダイオードの製造方法としている。請求項9の発明
は、前記製造方法において、永久基板は良好な導熱特性
を有する材料で形成することを特徴とする、請求項1に
記載の発光輝度を高めた発光ダイオードの製造方法とし
ている。請求項10の発明は、前記製造方法において、
永久基板はケイ素、窒化ほう素、窒化アルミニウム、酸
化アルミニウム、酸化マグネシウム、二酸化チタン及び
その組合せのいずれかで形成することを特徴とする、請
求項9に記載の発光輝度を高めた発光ダイオードの製造
方法としている。請求項11の発明は、前記製造方法に
おいて、LEDエピタキシャル層を形成して平面型LE
D素子となし、並びにその上側にそれぞれ第1電極と第
2電極を形成することを特徴とする、請求項1に記載の
発光輝度を高めた発光ダイオードの製造方法としてい
る。請求項12の発明は、発光輝度を高めた発光ダイオ
ードにおいて、少なくとも一つの発光活性層を具えると
共に底側に複数のスペース区が設けられたLEDエピタ
キシャル層と、LEDエピタキシャル層のスペース区が
形成されていない底側表面に設けられた少なくとも一つ
の導電コンタクト層と、スペース区内に設けられた透光
物質層と、該透光物質層と永久基板の間に設けられた接
合層と、永久基板の底側に設けられた下部電極と、LE
Dエピタキシャル層の上側部分位置に設けられた対向電
極と、を具えたことを特徴とする、発光輝度を高めた発
光ダイオードとしている。請求項13の発明は、前記発
光ダイオードにおいて、透光物質層と接合層の間に反射
層が設けられたことを特徴とする、請求項12に記載の
発光輝度を高めた発光ダイオードとしている。請求項1
4の発明は、前記発光ダイオードにおいて、反射層が接
合層と同一材料で形成されたことを特徴とする、請求項
13に記載の発光輝度を高めた発光ダイオードとしてい
る。請求項15の発明は、前記発光ダイオードにおい
て、電流拡散層がLEDエピタキシャル層と対向電極の
間に設けられたことを特徴とする、請求項12に記載の
発光輝度を高めた発光ダイオードとしている。請求項1
6の発明は、前記発光ダイオードにおいて、接合層が下
部電極でもあるように形成されたことを特徴とする、請
求項12に記載の発光輝度を高めた発光ダイオードとし
ている。請求項17の発明は、前記発光ダイオードにお
いて、透光物質層が、導電特性を有するITO、酸化亜
鉛、酸化インジウム、酸化錫及びその組合せのいずれか
で形成されたことを特徴とする、請求項12に記載の発
光輝度を高めた発光ダイオードとしている。請求項18
の発明は、前記発光ダイオードにおいて、透光物質層
が、導電特性を具備しないポリマー、石英、ガラス及び
その組合せのいずれかで形成されたことを特徴とする、
請求項12に記載の発光輝度を高めた発光ダイオードと
している。請求項19の発明は、前記発光ダイオードに
おいて、永久基板が良好な導熱特性を有する材料で形成
されたことを特徴とする、請求項12に記載の発光輝度
を高めた発光ダイオードとしている。請求項20の発明
は、前記発光ダイオードにおいて、永久基板がケイ素、
窒化ほう素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、酸
化マグネシウム、二酸化チタン及びその組合せのいずれ
かで形成されたことを特徴とする、請求項19に記載の
発光輝度を高めた発光ダイオードとしている。請求項2
1の発明は、前記発光ダイオードにおいて、LEDエピ
タキシャル層が直立型LED素子及び平面型LED素子
のいずれかとされることを特徴とする、請求項12に記
載の発光輝度を高めた発光ダイオードとしている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a light emitting diode having increased light emission brightness, wherein an LED epitaxial layer having at least one light emitting active layer is grown on a surface of a temporary substrate, Naturally forming a high carrier-doped layer on the bottom side of the light-emitting diode, peeling off the temporary substrate, and forming at least one conductive contact layer on a part of the bottom surface of the high carrier-doped layer. A step of removing a high carrier-doped layer whose surface is not connected to the conductive contact layer and forming a space section between the two high-carrier-doped layers, and a step of forming a transparent material layer in the space section. The step of connecting one permanent substrate to the bottom side position of the translucent material layer. Meta is a method for manufacturing a light-emitting diode. According to the invention of claim 2, in the manufacturing method,
The emission brightness of claim 1, further comprising the step of forming a reflective layer on the bottom side of the translucent material layer and connecting the permanent substrate to the bottom side of the reflective layer. The manufacturing method of the light emitting diode is used. According to a third aspect of the present invention, in the manufacturing method, the bonding layer is formed on the upper side of the permanent substrate,
The method of manufacturing a light emitting diode with increased emission brightness according to claim 1, further comprising the step of bonding the bonding layer to the bottom side of the light transmissive material layer. The invention of claim 4 further comprises the step of forming the lower electrode on the bottom side of the permanent substrate and forming the counter electrode on the upper side of the LED epitaxial layer in the manufacturing method. The method for manufacturing a light emitting diode having the above-described emission brightness is enhanced. According to a fifth aspect of the present invention, in the manufacturing method, the counter electrode is formed on the upper side of the LED epitaxial layer before the temporary substrate is peeled off, and the lower electrode is formed on the bottom of the permanent substrate before the permanent substrate is connected to the transparent material layer. The method for manufacturing a light emitting diode with increased emission brightness according to claim 4, characterized in that the light emitting diode is formed on the side. According to a sixth aspect of the present invention, in the manufacturing method, the current spreading layer is LE.
The method of manufacturing a light emitting diode with increased emission brightness according to claim 1, further comprising a step of forming the light emitting diode on the upper side of the D epitaxial layer. The invention of claim 7 is characterized in that, in the manufacturing method, the translucent material layer is formed of any one of ITO, zinc oxide, indium oxide, tin oxide and combinations thereof having conductive properties.
A method of manufacturing a light emitting diode having an increased luminance according to claim 1 is provided. The invention according to claim 8 is characterized in that, in the manufacturing method, the translucent material layer is formed of any one of a polymer, quartz, glass and a combination thereof having no conductive property. This is a method of manufacturing a light emitting diode with increased brightness. According to a ninth aspect of the present invention, there is provided the method for producing a light emitting diode with increased light emission luminance according to the first aspect, wherein the permanent substrate is formed of a material having good heat conduction characteristics. According to a tenth aspect of the invention, in the manufacturing method,
[10] The manufacturing of a light emitting diode with high emission brightness according to claim 9, wherein the permanent substrate is formed of any one of silicon, boron nitride, aluminum nitride, aluminum oxide, magnesium oxide, titanium dioxide and combinations thereof. I have a method. According to the invention of claim 11, in the manufacturing method, a planar LE is formed by forming an LED epitaxial layer.
The method for manufacturing a light emitting diode with increased emission luminance according to claim 1, wherein the element is not a D element, and the first electrode and the second electrode are formed on the upper side thereof. According to a twelfth aspect of the present invention, in a light emitting diode with increased emission brightness, an LED epitaxial layer having at least one light emitting active layer and having a plurality of space sections on the bottom side, and a space section of the LED epitaxial layer are formed. At least one conductive contact layer provided on the bottom surface, which is not formed, a translucent material layer provided in the space, a bonding layer provided between the transmissive material layer and the permanent substrate, The lower electrode provided on the bottom side of the substrate and LE
A counter electrode provided at a position above the D epitaxial layer, and a light emitting diode with enhanced light emission brightness. According to a thirteenth aspect of the present invention, there is provided the light emitting diode according to the twelfth aspect, wherein a reflective layer is provided between the translucent material layer and the bonding layer in the light emitting diode. Claim 1
According to a fourth aspect of the invention, there is provided the light emitting diode with increased light emission luminance according to claim 13, wherein the reflective layer is formed of the same material as the bonding layer in the light emitting diode. According to a fifteenth aspect of the present invention, in the light emitting diode, the current spreading layer is provided between the LED epitaxial layer and the counter electrode. Claim 1
According to a sixth aspect of the invention, there is provided the light emitting diode with increased light emission luminance according to claim 12, wherein in the light emitting diode, the bonding layer is also formed as a lower electrode. The invention according to claim 17 is characterized in that, in the light emitting diode, the light transmissive material layer is formed of any one of ITO, zinc oxide, indium oxide, tin oxide and a combination thereof having conductive properties. The light emitting diode described in item 12 has an increased light emission luminance. Claim 18
In the above light emitting diode, the invention of claim 2 is characterized in that the light transmissive material layer is formed of any one of a polymer, quartz, glass and a combination thereof having no conductive property.
A light emitting diode having high emission brightness according to claim 12. According to a nineteenth aspect of the present invention, in the light emitting diode, the permanent substrate is formed of a material having a good heat conduction property, and the light emitting diode with increased light emission luminance according to the twelfth aspect is provided. According to a twentieth aspect of the invention, in the light emitting diode, the permanent substrate is silicon.
20. The light emitting diode with increased emission brightness according to claim 19, which is formed of any one of boron nitride, aluminum nitride, aluminum oxide, magnesium oxide, titanium dioxide, and a combination thereof. Claim 2
According to a first aspect of the present invention, in the light emitting diode, the LED epitaxial layer is either an upright LED element or a planar LED element.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】図3から図9は、本発明の好まし
い実施例の各製造ステップの構造断面図である。各図に
示されるように、本発明の製造方法は以下を包括する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT FIGS. 3 to 9 are structural sectional views of respective manufacturing steps of a preferred embodiment of the present invention. As shown in each figure, the manufacturing method of the present invention includes the following.

【0016】スパッタ或いは蒸着等の技術を利用し、内
部に下クラッド層35、発光活性層36、上制限層37
を有するLEDエピタキシャル層を格子定数がマッチす
るテンポラリー基板31の上に形成する。当然、LED
エピタキシャル層はテンポラリー基板35上で成長し、
LEDエピタキシャル層の底側位置に、発光輝度投射機
能を妨害するハイキャリアドープ層355が存在し、上
クラッド層37の上側にさらに電流拡散層33が設けら
れ、これは図3に示されるとおりである。
A lower clad layer 35, a light emitting active layer 36, and an upper limiting layer 37 are internally formed by using a technique such as sputtering or vapor deposition.
Is formed on the temporary substrate 31 having a matching lattice constant. Of course, LED
The epitaxial layer grows on the temporary substrate 35,
A high carrier-doped layer 355 that interferes with the emission brightness projection function is present at the bottom of the LED epitaxial layer, and a current spreading layer 33 is further provided above the upper cladding layer 37, as shown in FIG. is there.

【0017】電流拡散層33の上側の一部表面に対向電
極39を設け、並びにテンポラリー基板31を剥離す
る。これは図4に示されるとおりである。
The counter electrode 39 is provided on a part of the surface on the upper side of the current diffusion layer 33, and the temporary substrate 31 is peeled off. This is as shown in FIG.

【0018】ハイキャリアドープ層355の底側位置
に、複数の、金属、合金或いはその他の導電特性を有す
る材料で形成した導電コンタクト層41を設ける。各導
電コンタクト層41はLED素子の作業電流導電経路と
され、これによりそれは体積が小さいが、多くの数量を
広範に設置する方式で、ハイキャリアドープ層355の
底側に設置し、これにより作業電流流動経路の画定と達
成し電流が妨害される問題を解決し、これは図5に示さ
れるとおりである。
A conductive contact layer 41 made of a plurality of metals, alloys or other materials having conductive characteristics is provided at the bottom side of the high carrier doped layer 355. Each conductive contact layer 41 is used as a working current conducting path of the LED device, so that it has a small volume, but a large number of the conductive contact layers 41 are installed on the bottom side of the high carrier-doped layer 355 so that the work can be performed. The problem of current flow path definition and achievement and current interruption is solved, as shown in FIG.

【0019】エッチングその他の各種の従来の技術を利
用し、導電コンタクト層41に接触せず外部に露出した
ハイキャリアドープ層355の一部の体積に対して削除
工程を行い、この体積を除去してスペース区42を形成
する。これは図6に示されるとりである。
Using etching and various other conventional techniques, a part of the high carrier doped layer 355 exposed outside without contacting the conductive contact layer 41 is subjected to a removing step to remove this volume. To form the space section 42. This is the bird shown in FIG.

【0020】ハイキャリアドープ層355の一部除去し
た部分に形成されたスペース区42内に透光物質層43
を形成し、この透光物質層43は導電特性を有するIT
O、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化錫、或いは導電特
性を有さないポリマー、石英、ガラスで形成され、それ
は大量に光子数量を吸収するハイキャリアドープ層35
5の代わりに用いられて大幅に発光輝度を高めるほか、
LEDエピタキシャル層を支持する機能を有する。これ
は図7に示されるとおりである。
The translucent material layer 43 is formed in the space section 42 formed in a part of the high carrier doped layer 355 which is partially removed.
And the translucent material layer 43 is an IT having a conductive property.
A high carrier-doped layer 35 formed of O, zinc oxide, indium oxide, tin oxide, or a polymer having no conductive property, quartz, or glass, which absorbs a large number of photons.
It is used instead of 5 to greatly increase the emission brightness,
It has a function of supporting the LED epitaxial layer. This is as shown in FIG.

【0021】透光物質層43の底端に光源反射特性を有
する反射層45を形成し、並びに上側に接合層46を形
成し底側に下部電極49を設けた永久基板47と、以上
の装置を対向させる。これは図8に示されるとおりであ
る。
A permanent substrate 47 having a reflective layer 45 having light source reflection characteristics formed on the bottom end of the translucent material layer 43, a bonding layer 46 formed on the upper side, and a lower electrode 49 provided on the bottom side, and the above device. Face each other. This is as shown in FIG.

【0022】永久基板47の接合層とLEDエピタキシ
ャル層底端の反射層45を相互に接合し、LED素子の
製造を完成する。これは図9に示されるとおりである。
The bonding layer of the permanent substrate 47 and the reflection layer 45 at the bottom end of the LED epitaxial layer are bonded to each other to complete the manufacture of the LED device. This is as shown in FIG.

【0023】本発明は永久基板47をテンポラリー基板
31の代わりに用いる方式で行われ、これにより大部分
のハイキャリアドープ層355を除去して大幅に発光輝
度を高めるほか、その永久基板47が実際の要求に合わ
せて使用する材質を選択でき、例えば高導電、高導熱、
或いはカラー変化の機能を有する材料とされ、使用或い
は設計範囲が広範である。
The present invention is carried out by using the permanent substrate 47 in place of the temporary substrate 31, whereby most of the high carrier doped layer 355 is removed and the emission brightness is significantly increased. The material used can be selected according to the requirements of, for example, high conductivity, high heat conduction,
Alternatively, it is a material having a color changing function, and its use or design range is wide.

【0024】この実施例にあって、本発明の永久基板4
7はシリコン含有、窒化ほう素、窒化アルミニウム、酸
化アルミニウム、酸化マグネシウム、或いは二酸化チタ
ン材料より選択されて形成され、有効及び適時にLED
素子作業で発生する高熱を適時に素子外に排出でき、素
子の作業の信頼性を確保し、且つ素子の使用寿命を維持
できる。
In this embodiment, the permanent substrate 4 of the present invention is used.
7 is a silicon-containing material, selected from boron nitride, aluminum nitride, aluminum oxide, magnesium oxide, or titanium dioxide material, and is an effective and timely LED.
High heat generated in the work of the device can be discharged to the outside of the device in a timely manner, the reliability of the work of the device can be secured, and the useful life of the device can be maintained.

【0025】当然、反射層45及び接合層46も同一材
料で製造するか、或いは両者を結合し一体として接合反
射層とすることも可能で、同様に、二つのパーツを結合
する目的を達成できる。且つ、素子放熱の目的を達成す
るため、その反射層45と接合層46は良好な導熱特性
を有する材料を選択し形成しうる。
Of course, the reflective layer 45 and the bonding layer 46 can be made of the same material, or they can be bonded together to form a bonded reflective layer as a unit. Similarly, the purpose of bonding two parts can be achieved. . In addition, in order to achieve the purpose of heat dissipation of the device, the reflective layer 45 and the bonding layer 46 can be formed by selecting a material having good heat conduction characteristics.

【0026】また、下部電極48及び対向電極39は必
ずしも結合の初期に完成する必要はなく、異なる実施例
にあっては、LEDエピタキシャル層と永久基板47の
接合完成後に、それぞれ永久基板47の底端と電流拡散
層33の上端に個別に対応する下部電極49と対向電極
39を形成することができる。
Further, the lower electrode 48 and the counter electrode 39 do not necessarily have to be completed at the initial stage of bonding, and in different embodiments, after the bonding of the LED epitaxial layer and the permanent substrate 47 is completed, the bottom of the permanent substrate 47 is completed. The lower electrode 49 and the counter electrode 39 corresponding to each other may be formed on the end and the upper end of the current diffusion layer 33.

【0027】さらに、図10に示されるのは本発明の別
の実施例の構造断面図である。図示されるように、この
実施例では、一般の基板構造47を破棄するか、或いは
直接上述の反射層45を直接導電特性を有する材料を選
択して形成し、並びに直接下部電極59として使用す
る。当然、該下部電極59は導熱特性を有して作業の信
頼性を確保する機能を有する。
Further, FIG. 10 is a structural sectional view of another embodiment of the present invention. As shown, in this embodiment, the general substrate structure 47 is discarded, or the above-mentioned reflective layer 45 is directly formed by selecting a material having a direct conductive property, and is directly used as the lower electrode 59. . As a matter of course, the lower electrode 59 has a heat conducting property and has a function of ensuring the reliability of the work.

【0028】本発明の導電コンタクトポイント41は、
作業電流密度を分散し、及び適当に電流流動経路を画定
する機能を有する。これにより、本発明では電流拡散層
33を不設置としても発光輝度の向上に対して明らかな
影響は表れない。
The conductive contact point 41 of the present invention is
It has a function of distributing the working current density and appropriately defining a current flow path. As a result, in the present invention, even if the current diffusion layer 33 is not provided, no obvious influence is exerted on the improvement of the emission brightness.

【0029】最後に図11に示されるのは、本発明のさ
らに一つの実施例の構造断面図であある。図示されるよ
うに、本発明の使用範囲を拡大するため、本発明の精神
を利用し、直接LEDエピタキシャル層36を直立式の
発光ダイオード構造より平面型発光ダイオードに変え、
同様に、反射層55或いは接合層56を利用し、LED
エピタキシャル層36と永久基板47を接合し、且つ導
電コンタクトポイント41と透光物質層43の組み合わ
せを一部のハイキャリアドープ層355の代わりに使用
することにより、第1電極501と第2電極502の間
の通電時に高輝度の光源を投射できるようにしている。
Finally, FIG. 11 is a structural sectional view of still another embodiment of the present invention. As illustrated, in order to extend the scope of use of the present invention, the spirit of the present invention is utilized to change the direct LED epitaxial layer 36 from a vertical light emitting diode structure to a planar light emitting diode,
Similarly, by using the reflective layer 55 or the bonding layer 56,
The first electrode 501 and the second electrode 502 are formed by joining the epitaxial layer 36 and the permanent substrate 47 and by using the combination of the conductive contact points 41 and the light-transmitting material layer 43 in place of some of the high carrier-doped layers 355. A high-intensity light source can be projected during energization between the two.

【0030】[0030]

【発明の効果】総合すると、本発明の発光輝度を高めた
発光ダイオードとその製造方法は、LEDエピタキシャ
ル層の底側のハイキャリアドープ層の一部体積を除去し
てスペース区となし、並びにスペース区内に透光物質層
を充満させ、光線経路の投射に供すると共にLED素子
内の発光輝度機能を大幅に高める。ゆえに本発明は新規
性、進歩性及び産業上の利用価値を有する。なお、本発
明に基づきなしうる細部の修飾或いは改変は、いずれも
本発明の請求範囲に属するものとする。
In summary, according to the present invention, a light emitting diode with high emission brightness and a method for manufacturing the same are provided, in which a partial volume of a high carrier doped layer on the bottom side of an LED epitaxial layer is removed to form a space section, and a space. The zone is filled with a translucent material layer, which is used for projecting a light path and at the same time, the light emission luminance function in the LED element is significantly enhanced. Therefore, the present invention has novelty, inventive step and industrial utility value. Any modification or alteration of details that can be made based on the present invention shall fall within the scope of the claims of the present invention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】周知の発光ダイオードの構造断面図である。FIG. 1 is a structural cross-sectional view of a known light emitting diode.

【図2】もう一種類の周知の発光ダイオードの構造断面
図である。
FIG. 2 is a structural cross-sectional view of another known type of light emitting diode.

【図3】本発明の好ましい実施例の各製造ステップ時の
構造断面図である。
FIG. 3 is a structural sectional view at each manufacturing step of a preferred embodiment of the present invention.

【図4】本発明の好ましい実施例の各製造ステップ時の
構造断面図である。
FIG. 4 is a structural sectional view at each manufacturing step of the preferred embodiment of the present invention.

【図5】本発明の好ましい実施例の各製造ステップ時の
構造断面図である。
FIG. 5 is a structural sectional view at each manufacturing step of the preferred embodiment of the present invention.

【図6】本発明の好ましい実施例の各製造ステップ時の
構造断面図である。
FIG. 6 is a structural cross-sectional view at each manufacturing step of a preferred embodiment of the present invention.

【図7】本発明の好ましい実施例の各製造ステップ時の
構造断面図である。
FIG. 7 is a structural sectional view at each manufacturing step of the preferred embodiment of the present invention.

【図8】本発明の好ましい実施例の各製造ステップ時の
構造断面図である。
FIG. 8 is a structural sectional view at each manufacturing step of the preferred embodiment of the present invention.

【図9】本発明の好ましい実施例の各製造ステップ時の
構造断面図である。
FIG. 9 is a structural sectional view at each manufacturing step of the preferred embodiment of the present invention.

【図10】本発明の別の実施例の構造断面図である。FIG. 10 is a structural cross-sectional view of another embodiment of the present invention.

【図11】本発明のさらに別の実施例の構造断面図であ
る。
FIG. 11 is a structural cross-sectional view of still another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 基板 13 反射層 15 下クラッド層 155 ハイキャリアドープ
層 16 発光活性層 17 上クラッド層 18 電流拡散層 100 電流阻止層 101 対向電極 102 下部電極 21 基板 23 反射層 24 金属接合層 26 発光活性層 265 ハイキャリアドープ層 201 第1
電極 202 第2電極 31 テンポ
ラリー基板 33 電流拡散層 35 下クラ
ッド層 355 ハイキャリアドープ層 36 発光活
性層 37 上クラッド層 39 対向電
極 41 導電コンタクト層 42 スペー
ス区 43 透光物質層 45 反射層 46 接合層 47 永久基
板 49 下部電極 55 反射層 56 接合層 59 下部電
極 501 第1電極 502 第2
電極
11 substrate 13 reflective layer 15 lower clad layer 155 high carrier doped layer 16 light emitting active layer 17 upper clad layer 18 current diffusion layer 100 current blocking layer 101 counter electrode 102 lower electrode 21 substrate 23 reflective layer 24 metal bonding layer 26 light emitting active layer 265 High carrier doped layer 201 1st
Electrode 202 Second electrode 31 Temporary substrate 33 Current diffusion layer 35 Lower clad layer 355 High carrier dope layer 36 Emission active layer 37 Upper clad layer 39 Counter electrode 41 Conductive contact layer 42 Space section 43 Translucent material layer 45 Reflective layer 46 Bonding layer 47 Permanent Substrate 49 Lower Electrode 55 Reflective Layer 56 Bonding Layer 59 Lower Electrode 501 First Electrode 502 Second
electrode

フロントページの続き (72)発明者 陸 宏遠 台湾新竹市明湖路1050巷446號7樓 (72)発明者 朱 顔虎 台湾新竹縣竹東鎮北興路二段81巷6弄6號 5樓 (72)発明者 張 垂權 台湾新竹縣寶山郷雙溪村寶新路147巷15號 4樓 (72)発明者 王 冠儒 台湾嘉義縣義竹郷義竹村95號 (72)発明者 蔡 長達 台湾桃園縣楊梅鎮金溪里25鄰長青東街79號 (72)発明者 林 三寶 台湾桃園縣中▲れき▼市民權路三段75巷61 弄26號 (72)発明者 黄 勇強 台湾新竹市東區科園里竹村一路45號 (72)発明者 林 明徳 台湾新竹市科學園區竹村二路東區科園里22 鄰12−3號 Fターム(参考) 5F041 AA03 CA12 CA34 CA74 CB02 DA19 DA34 DA35 DA36 DA39Continued front page    (72) Inventor Hiroyuki Riku             7ro, No. 446, Street 1050, Meihu Road, Hsinchu City, Taiwan (72) Inventor Zhu face tiger             Taiwan Hsinchu County Bamboo East Town Hokuxing Road 2nd tier 81 Street 6 Fuck 6             5 floors (72) Inventor Zhang             Taiwan Hsinchu Town Sanshan Township Shui Village Village New Road 147, 15             4 floors (72) Inventor King Confucius             Taiwan Chiayi Township Township Township Township Village 95 (72) Inventor Cai Tada             Taiwan Taoyuan Yongmei Town Jinxi-ri 25 Chung Long Qing East Street No. 79 (72) Inventor Hayashi Sanpo             Taiwan Taoyuan 縣 中 ▲ Reki ▼ Citizens' Road Sandan 75 Street 61             Fuck 26 (72) Inventor Huang Yongqiang             No. 45, 1st Road, Takemura, Dongshen Garden, Hsinchu City, Taiwan (72) Inventor Akinori Hayashi             Taiwan Hsinchu City Science Park 22 Bamboo Village 2nd Road East District 22             12-3 F-term (reference) 5F041 AA03 CA12 CA34 CA74 CB02                       DA19 DA34 DA35 DA36 DA39

Claims (21)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 発光輝度を高めた発光ダイオードの製造
方法において、 少なくとも一つの発光活性層を具えたLEDエピタキシ
ャル層をテンポラリー基板の表面に成長させ、該発光ダ
イオードの底側に自然にハイキャリアドープ層を形成さ
せるステップと、 該テンポラリー基板を剥離するステップと、 少なくとも一つの導電コンタクト層をハイキャリアドー
プ層の底側の一部表面に形成するステップと、 表面が導電コンタクト層に未連接のハイキャリアドープ
層を除去し、各ふたつのハイキャリアドープ層の間にス
ペース区を形成するステップと、 透光物質層を該スペース区内に形成するステップと、 一つの永久基板を該透光物質層の底側位置に連接するス
テップと、 を含むことを特徴とする、発光輝度を高めた発光ダイオ
ードの製造方法。
1. A method of manufacturing a light emitting diode with enhanced light emission brightness, wherein an LED epitaxial layer having at least one light emitting active layer is grown on a surface of a temporary substrate, and the bottom side of the light emitting diode is naturally subjected to high carrier doping. A step of forming a layer, a step of peeling off the temporary substrate, a step of forming at least one conductive contact layer on a part of the bottom side surface of the high carrier-doped layer, and a step of forming a high layer whose surface is not connected to the conductive contact layer. Removing the carrier-doped layer and forming a space section between each of the two high-carrier-doped layers; forming a light-transmitting material layer in the space section; and forming one permanent substrate with the light-transmitting material layer. And a step of connecting to the bottom side position of the light emitting diode. .
【請求項2】 前記製造方法において、反射層を透光物
質層の底側位置に形成し、該永久基板に該反射層の底側
に連設するステップを更に含むことを特徴とする、請求
項1に記載の発光輝度を高めた発光ダイオードの製造方
法。
2. The method according to claim 2, further comprising the step of forming a reflective layer at a bottom side position of the translucent material layer and connecting the permanent substrate to the bottom side of the reflective layer. Item 2. A method for manufacturing a light-emitting diode with increased emission brightness according to Item 1.
【請求項3】 前記製造方法において、接合層を永久基
板の上側に形成し、更に該接合層を透光物質層の底側に
接合するステップを更に含むことを特徴とする、請求項
1に記載の発光輝度を高めた発光ダイオードの製造方
法。
3. The method according to claim 1, further comprising the step of forming a bonding layer on the upper side of the permanent substrate and further bonding the bonding layer to the bottom side of the translucent material layer. A method for manufacturing a light-emitting diode having enhanced light emission brightness according to the above.
【請求項4】 前記製造方法において、下部電極を永久
基板の底側に形成し、並びに対向電極をLEDエピタキ
シャル層の上側に形成するステップを更に含むことを特
徴とする、請求項1に記載の発光輝度を高めた発光ダイ
オードの製造方法。
4. The manufacturing method according to claim 1, further comprising forming a lower electrode on the bottom side of the permanent substrate and forming a counter electrode on the upper side of the LED epitaxial layer. A method of manufacturing a light emitting diode with enhanced light emission brightness.
【請求項5】 前記製造方法において、対向電極はテン
ポラリー基板剥離前にLEDエピタキシャル層の上側に
形成し、下部電極は永久基板を透光物質層に連設する前
に、永久基板の底側に形成することを特徴とする、請求
項4に記載の発光輝度を高めた発光ダイオードの製造方
法。
5. In the above manufacturing method, the counter electrode is formed on the upper side of the LED epitaxial layer before the temporary substrate is peeled off, and the lower electrode is formed on the bottom side of the permanent substrate before the permanent substrate is connected to the transparent material layer. The method for manufacturing a light emitting diode with increased emission brightness according to claim 4, characterized in that the light emitting diode is formed.
【請求項6】 前記製造方法において、電流拡散層をL
EDエピタキシャル層の上側に形成するステップを更に
含むことを特徴とする、請求項1に記載の発光輝度を高
めた発光ダイオードの製造方法。
6. The current spreading layer in the manufacturing method according to claim 1,
The method for manufacturing a light emitting diode with increased emission brightness according to claim 1, further comprising a step of forming on the upper side of the ED epitaxial layer.
【請求項7】 前記製造方法において、透光物質層は、
導電特性を有するITO、酸化亜鉛、酸化インジウム、
酸化錫及びその組合せのいずれかで形成することを特徴
とする、請求項1に記載の発光輝度を高めた発光ダイオ
ードの製造方法。
7. The transparent material layer in the manufacturing method,
ITO having conductive characteristics, zinc oxide, indium oxide,
The method for manufacturing a light emitting diode with increased emission brightness according to claim 1, characterized in that the light emitting diode is formed of either tin oxide or a combination thereof.
【請求項8】 前記製造方法において、透光物質層は、
導電特性を具備しないポリマー、石英、ガラス及びその
組合せのいずれかで形成することを特徴とする、請求項
1に記載の発光輝度を高めた発光ダイオードの製造方
法。
8. The transparent material layer in the manufacturing method,
The method for manufacturing a light emitting diode with increased emission luminance according to claim 1, wherein the light emitting diode is formed of a polymer, quartz, glass, or a combination thereof that does not have conductive properties.
【請求項9】 前記製造方法において、永久基板は良好
な導熱特性を有する材料で形成することを特徴とする、
請求項1に記載の発光輝度を高めた発光ダイオードの製
造方法。
9. The manufacturing method according to claim 1, wherein the permanent substrate is formed of a material having good heat conduction characteristics.
A method for manufacturing a light emitting diode according to claim 1, wherein the light emitting luminance is increased.
【請求項10】 前記製造方法において、永久基板はケ
イ素、窒化ほう素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウ
ム、酸化マグネシウム、二酸化チタン及びその組合せの
いずれかで形成することを特徴とする、請求項9に記載
の発光輝度を高めた発光ダイオードの製造方法。
10. The manufacturing method according to claim 9, wherein the permanent substrate is formed of silicon, boron nitride, aluminum nitride, aluminum oxide, magnesium oxide, titanium dioxide, or a combination thereof. And a method for manufacturing a light emitting diode having improved emission brightness.
【請求項11】 前記製造方法において、LEDエピタ
キシャル層を形成して平面型LED素子となし、並びに
その上側にそれぞれ第1電極と第2電極を形成すること
を特徴とする、請求項1に記載の発光輝度を高めた発光
ダイオードの製造方法。
11. The method according to claim 1, wherein an LED epitaxial layer is formed to form a planar LED element, and a first electrode and a second electrode are formed on the upper surface of the LED epitaxial layer, respectively. And a method for manufacturing a light emitting diode having improved emission brightness.
【請求項12】 発光輝度を高めた発光ダイオードにお
いて、 少なくとも一つの発光活性層を具えると共に底側に複数
のスペース区が設けられたLEDエピタキシャル層と、 LEDエピタキシャル層のスペース区が形成されていな
い底側表面に設けられた少なくとも一つの導電コンタク
ト層と、 スペース区内に設けられた透光物質層と、 該透光物質層と永久基板の間に設けられた接合層と、 永久基板の底側に設けられた下部電極と、LEDエピタ
キシャル層の上側部分位置に設けられた対向電極と、 を具えたことを特徴とする、発光輝度を高めた発光ダイ
オード。
12. A light emitting diode with increased emission brightness, wherein an LED epitaxial layer having at least one light emitting active layer and having a plurality of space sections on the bottom side, and a space section of the LED epitaxial layer are formed. At least one conductive contact layer provided on the bottom surface, a transparent material layer provided in the space, a bonding layer provided between the transparent material layer and the permanent substrate, and a permanent substrate A light emitting diode with enhanced light emission brightness, comprising: a bottom electrode provided on the bottom side and a counter electrode provided on the upper side position of the LED epitaxial layer.
【請求項13】 前記発光ダイオードにおいて、透光物
質層と接合層の間に反射層が設けられたことを特徴とす
る、請求項12に記載の発光輝度を高めた発光ダイオー
ド。
13. The light emitting diode of claim 12, wherein a reflective layer is provided between the transparent material layer and the bonding layer in the light emitting diode.
【請求項14】 前記発光ダイオードにおいて、反射層
が接合層と同一材料で形成されたことを特徴とする、請
求項13に記載の発光輝度を高めた発光ダイオード。
14. The light emitting diode of claim 13, wherein the reflective layer is formed of the same material as the bonding layer in the light emitting diode.
【請求項15】 前記発光ダイオードにおいて、電流拡
散層がLEDエピタキシャル層と対向電極の間に設けら
れたことを特徴とする、請求項12に記載の発光輝度を
高めた発光ダイオード。
15. The light emitting diode of claim 12, wherein a current diffusion layer is provided between the LED epitaxial layer and a counter electrode in the light emitting diode.
【請求項16】 前記発光ダイオードにおいて、接合層
が下部電極でもあるように形成されたことを特徴とす
る、請求項12に記載の発光輝度を高めた発光ダイオー
ド。
16. The light emitting diode of claim 12, wherein the junction layer of the light emitting diode is also formed as a lower electrode.
【請求項17】 前記発光ダイオードにおいて、透光物
質層が、導電特性を有するITO、酸化亜鉛、酸化イン
ジウム、酸化錫及びその組合せのいずれかで形成された
ことを特徴とする、請求項12に記載の発光輝度を高め
た発光ダイオード。
17. The light emitting diode according to claim 12, wherein the light transmissive material layer is formed of any one of ITO, zinc oxide, indium oxide, tin oxide and a combination thereof having a conductive property. A light-emitting diode having the described emission brightness.
【請求項18】 前記発光ダイオードにおいて、透光物
質層が、導電特性を具備しないポリマー、石英、ガラス
及びその組合せのいずれかで形成されたことを特徴とす
る、請求項12に記載の発光輝度を高めた発光ダイオー
ド。
18. The light emission brightness of claim 12, wherein the light transmissive material layer of the light emitting diode is formed of a polymer, quartz, glass or a combination thereof having no conductive property. Light emitting diode
【請求項19】 前記発光ダイオードにおいて、永久基
板が良好な導熱特性を有する材料で形成されたことを特
徴とする、請求項12に記載の発光輝度を高めた発光ダ
イオード。
19. The light emitting diode of claim 12, wherein the permanent substrate of the light emitting diode is made of a material having a good heat conducting property.
【請求項20】 前記発光ダイオードにおいて、永久基
板がケイ素、窒化ほう素、窒化アルミニウム、酸化アル
ミニウム、酸化マグネシウム、二酸化チタン及びその組
合せのいずれかで形成されたことを特徴とする、請求項
19に記載の発光輝度を高めた発光ダイオード。
20. The light emitting diode according to claim 19, wherein the permanent substrate is formed of any one of silicon, boron nitride, aluminum nitride, aluminum oxide, magnesium oxide, titanium dioxide, and a combination thereof. A light-emitting diode having the described emission brightness.
【請求項21】 前記発光ダイオードにおいて、LED
エピタキシャル層が直立型LED素子及び平面型LED
素子のいずれかとされることを特徴とする、請求項12
に記載の発光輝度を高めた発光ダイオード。
21. In the light emitting diode, an LED
Epitaxial layer is an upright LED device and a planar LED
13. The device according to claim 12, wherein the device is any one of the devices.
A light-emitting diode having an increased emission brightness according to.
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