JP2003257349A - 走査像観察装置用画像調整標準試料台 - Google Patents
走査像観察装置用画像調整標準試料台Info
- Publication number
- JP2003257349A JP2003257349A JP2002052564A JP2002052564A JP2003257349A JP 2003257349 A JP2003257349 A JP 2003257349A JP 2002052564 A JP2002052564 A JP 2002052564A JP 2002052564 A JP2002052564 A JP 2002052564A JP 2003257349 A JP2003257349 A JP 2003257349A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- standard sample
- height
- image
- sample
- magnification
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】低倍（数１００倍）〜超高倍率（２００ｋ倍程
度）まで広範にわたってひとつの標準試料でＳＥＭ調整
を行うために、一つの標準試料で画像調整が可能かつサ
ンプルの大きさ（高さ）に応じて標準試料の高さ調整が
可能な点が課題である。さらに、球形の微粒子を程よく
分散させる方法の確立が大きな課題である。 【解決手段】上記課題を達成するために本発明では、支
持台としてガラスを採用し、表面平滑な無構造の支持台
を提供する。また、その支持台を親水化処理することで
表面に球形のラテックス微粒子を塗布し、水分除去，凍
結乾燥処理さらに金属アモルファス膜（オスミウム）で
表面を被覆することで分散物を安定に分散固定しかつ導
電性を有することができる。さらに、複数の標準試料を
一つの試料台に搭載し、目的に応じて選択することを可
能とし、サンプルの大きさ（高さ）に応じて標準試料の
高さが調整可能な標準試料を提供する。
度）まで広範にわたってひとつの標準試料でＳＥＭ調整
を行うために、一つの標準試料で画像調整が可能かつサ
ンプルの大きさ（高さ）に応じて標準試料の高さ調整が
可能な点が課題である。さらに、球形の微粒子を程よく
分散させる方法の確立が大きな課題である。 【解決手段】上記課題を達成するために本発明では、支
持台としてガラスを採用し、表面平滑な無構造の支持台
を提供する。また、その支持台を親水化処理することで
表面に球形のラテックス微粒子を塗布し、水分除去，凍
結乾燥処理さらに金属アモルファス膜（オスミウム）で
表面を被覆することで分散物を安定に分散固定しかつ導
電性を有することができる。さらに、複数の標準試料を
一つの試料台に搭載し、目的に応じて選択することを可
能とし、サンプルの大きさ（高さ）に応じて標準試料の
高さが調整可能な標準試料を提供する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は走査型電子顕微鏡(S
canning Electron Microscope以下ＳＥＭと表示)の画像
を最適化するための標準試料として用いる走査像観察装
置用画像調整標準試料台に関するものである。
canning Electron Microscope以下ＳＥＭと表示)の画像
を最適化するための標準試料として用いる走査像観察装
置用画像調整標準試料台に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＳＥＭで像観察を行う際には、ＳＥＭ自
身の性能を最大限に発揮させるため、軸合わせ等装置条
件の最適化が必要である。一般には、低倍率で軸調整を
行い、中間倍率で非点補正および対物レンズ絞りの微調
整、最終的に高倍率で分解能確認および最終非点補正を
行う。これまでのＳＥＭ調整においては、メッシュ状構
造物で低倍率における調整を、ラテックス微粒子等を用
いて高倍率での調整と、目的に応じて複数の標準試料を
用いる必要があり非効率的且つ面倒であった。
身の性能を最大限に発揮させるため、軸合わせ等装置条
件の最適化が必要である。一般には、低倍率で軸調整を
行い、中間倍率で非点補正および対物レンズ絞りの微調
整、最終的に高倍率で分解能確認および最終非点補正を
行う。これまでのＳＥＭ調整においては、メッシュ状構
造物で低倍率における調整を、ラテックス微粒子等を用
いて高倍率での調整と、目的に応じて複数の標準試料を
用いる必要があり非効率的且つ面倒であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】低倍（数１００倍）〜
超高倍率（２００ｋ倍程度）まで広範にわたってひとつ
の標準試料でＳＥＭ調整を行うために、次の点が大きな
課題である。 一つの標準試料で画像調整が可能なこと。 サンプルの大きさ（高さ）に応じて標準試料の高さが
調整可能なこと。 球形の微粒子を程よく分散させる方法。
超高倍率（２００ｋ倍程度）まで広範にわたってひとつ
の標準試料でＳＥＭ調整を行うために、次の点が大きな
課題である。 一つの標準試料で画像調整が可能なこと。 サンプルの大きさ（高さ）に応じて標準試料の高さが
調整可能なこと。 球形の微粒子を程よく分散させる方法。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に本発明では、支持台としてガラスを採用し、表面平滑
な無構造の支持台を提供する。また、その支持台を親水
化処理することで表面に球形のラテックス微粒子を塗布
し、水分除去，凍結乾燥処理さらに金属アモルファス膜
（オスミウム）で表面を被覆することで分散物を安定に
分散固定しかつ導電性を有することができる。さらに、
複数の標準試料を一つの試料台に搭載し、目的に応じて
選択することを可能とし、サンプルの大きさ（高さ）に
応じて標準試料の高さが調整可能な標準試料を提供す
る。
に本発明では、支持台としてガラスを採用し、表面平滑
な無構造の支持台を提供する。また、その支持台を親水
化処理することで表面に球形のラテックス微粒子を塗布
し、水分除去，凍結乾燥処理さらに金属アモルファス膜
（オスミウム）で表面を被覆することで分散物を安定に
分散固定しかつ導電性を有することができる。さらに、
複数の標準試料を一つの試料台に搭載し、目的に応じて
選択することを可能とし、サンプルの大きさ（高さ）に
応じて標準試料の高さが調整可能な標準試料を提供す
る。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明において、目的のサンプル
に応じて高さ調整が可能な走査像観察装置用画像調整標
準試料台の実施例を図１，図２に示す。走査像観察装置
用画像調整標準試料台の基本構造は試料台に目的サンプ
ル搭載部及び標準試料搭載部からなる。図１は、目的サ
ンプル搭載部を試料台中央部に配置し、目的サンプル搭
載部が高さ調整が可能とし、その周囲に画像調整用の標
準試料を搭載した実施例である。これにより、目的サン
プルの高さに応じて目的サンプル搭載部を駆動させ高さ
調整を行い、目的サンプルとの高さ合わせができるもの
である。また図２は、図１同様試料台中央部を目的サン
プル搭載部とし、その脇に高さ調整が可能な標準試料搭
載部を有する実施例である。これにより、目的サンプル
の高さに応じて標準試料搭載部を駆動させ高さ調整を行
い、目的サンプルとの高さ合わせができるものである。
に応じて高さ調整が可能な走査像観察装置用画像調整標
準試料台の実施例を図１，図２に示す。走査像観察装置
用画像調整標準試料台の基本構造は試料台に目的サンプ
ル搭載部及び標準試料搭載部からなる。図１は、目的サ
ンプル搭載部を試料台中央部に配置し、目的サンプル搭
載部が高さ調整が可能とし、その周囲に画像調整用の標
準試料を搭載した実施例である。これにより、目的サン
プルの高さに応じて目的サンプル搭載部を駆動させ高さ
調整を行い、目的サンプルとの高さ合わせができるもの
である。また図２は、図１同様試料台中央部を目的サン
プル搭載部とし、その脇に高さ調整が可能な標準試料搭
載部を有する実施例である。これにより、目的サンプル
の高さに応じて標準試料搭載部を駆動させ高さ調整を行
い、目的サンプルとの高さ合わせができるものである。
【０００６】図３，図４は本発明により、目的のサンプ
ルに応じて任意の標準試料を選択できる走査像観察装置
用画像調整標準試料台の実施例である。図３は、目的サ
ンプル搭載部を中央に設け、周囲４箇所に任意の標準試
料を搭載し画像調整を行うものである。また図４は、目
的サンプル搭載部を中央に設け、その周囲全体に標準試
料を搭載した実施例である。
ルに応じて任意の標準試料を選択できる走査像観察装置
用画像調整標準試料台の実施例である。図３は、目的サ
ンプル搭載部を中央に設け、周囲４箇所に任意の標準試
料を搭載し画像調整を行うものである。また図４は、目
的サンプル搭載部を中央に設け、その周囲全体に標準試
料を搭載した実施例である。
【０００７】画像調整を容易に行う目的を満たす標準試
料には次のような条件がある。 ・ラテックス微粒子のようなＸＹ成分の構造を有するこ
と。 ・帯電現象による像障害を受けないこと。 ・調整時の試料汚染が少ないこと。
料には次のような条件がある。 ・ラテックス微粒子のようなＸＹ成分の構造を有するこ
と。 ・帯電現象による像障害を受けないこと。 ・調整時の試料汚染が少ないこと。
【０００８】以上の条件を満たさないラインアンドスペ
ースのような、一方向のみの構造物や、ベアＳｉウェハ
のような無構造物では調整時の非点補正が行いにくくな
る。その例を図５に示す。一方、上記条件を満たす本発
明では、非点補正が容易になるとともに図６に示すよう
な高い精度で調整が可能になる。以上のことから、粒径
の異なるポリスチレンラテックス微粒子を標準試料とし
て用いることとする。
ースのような、一方向のみの構造物や、ベアＳｉウェハ
のような無構造物では調整時の非点補正が行いにくくな
る。その例を図５に示す。一方、上記条件を満たす本発
明では、非点補正が容易になるとともに図６に示すよう
な高い精度で調整が可能になる。以上のことから、粒径
の異なるポリスチレンラテックス微粒子を標準試料とし
て用いることとする。
【０００９】次に標準試料を塗布するために必要となる
支持台について、表面が平滑な面を有するものが適する
と考えガラスを支持台として用いることとする。この場
合、ポリスチレンラテックス微粒子の載りを良くするた
め、ガラス表面に親水化処理を行う。また、ポリスチレ
ンラテックス微粒子は溶液を超音波にて分離させ、それ
を親水化処理したガラスの表面に塗布する。塗布の際
は、滴下した溶液の余分な水分を除去し、すぐさま液体
窒素中で凍結させる。凍結終了後、真空中にて乾燥させ
る。乾燥を確認した後、オスミウムで被膜する。
支持台について、表面が平滑な面を有するものが適する
と考えガラスを支持台として用いることとする。この場
合、ポリスチレンラテックス微粒子の載りを良くするた
め、ガラス表面に親水化処理を行う。また、ポリスチレ
ンラテックス微粒子は溶液を超音波にて分離させ、それ
を親水化処理したガラスの表面に塗布する。塗布の際
は、滴下した溶液の余分な水分を除去し、すぐさま液体
窒素中で凍結させる。凍結終了後、真空中にて乾燥させ
る。乾燥を確認した後、オスミウムで被膜する。
【００１０】
【発明の効果】本発明により、鏡面平滑な支持台に大き
さの異なる球形微粒子を程よく分散することができ、且
つ安定に固定することができる。また、この走査像観察
装置用倍率校正標準試料台を用いて、任意に標準サンプ
ルを選択することが可能となりかつ目的サンプルの高さ
に調整が可能なため、低倍率から高倍率までの倍率調整
が簡易化され、電子光学系の軸調整，対物レンズ絞り調
整，非点収差補正などをスムースに行うことが可能にな
り、省力化・ＳＥＭ性能維持が実現できる。
さの異なる球形微粒子を程よく分散することができ、且
つ安定に固定することができる。また、この走査像観察
装置用倍率校正標準試料台を用いて、任意に標準サンプ
ルを選択することが可能となりかつ目的サンプルの高さ
に調整が可能なため、低倍率から高倍率までの倍率調整
が簡易化され、電子光学系の軸調整，対物レンズ絞り調
整，非点収差補正などをスムースに行うことが可能にな
り、省力化・ＳＥＭ性能維持が実現できる。
【図１】本発明による目的サンプル搭載部が可動式の走
査像観察装置用倍率校正標準試料台の実施例。
査像観察装置用倍率校正標準試料台の実施例。
【図２】本発明による標準試料搭載部が可動式の走査像
観察装置用倍率校正標準試料台の実施例。
観察装置用倍率校正標準試料台の実施例。
【図３】本発明による標準試料をサンプル搭載部の周囲
４箇所に搭載した走査像観察装置用倍率校正標準試料台
の実施例。
４箇所に搭載した走査像観察装置用倍率校正標準試料台
の実施例。
【図４】本発明による複数の標準試料をサンプル搭載部
の周囲に搭載した走査像観察装置用倍率校正標準試料台
の実施例。
の周囲に搭載した走査像観察装置用倍率校正標準試料台
の実施例。
【図５】ラインアンドスペースのパターンを１０.０ｋ
倍にて観察した結果。
倍にて観察した結果。
【図６】φ０.１およびφ０.５，φ２.０μｍのラテッ
クス微粒子を１０.０ｋ倍にて観察した結果。
クス微粒子を１０.０ｋ倍にて観察した結果。
１…目的サンプル、２…目的サンプル搭載部、３…標準
サンプル、４…標準サンプル搭載部。
サンプル、４…標準サンプル搭載部。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 山田 満彦
茨城県ひたちなか市大字市毛1040番地 株
式会社日立サイエンスシステムズ内
Ｆターム(参考） 2G052 AD29 AD52 FA05 FD06 FD18
GA35 JA03
5C001 AA01 AA08 CC04
Claims (6)
- 【請求項１】平滑な表面を有する支持台に、親水化処理
を行い、超音波による分散処理を行った複数のラテック
ス微粒子を備えることを特徴とする走査像観察装置用画
像調整標準試料台。 - 【請求項２】上記請求項１の試料台において、画像調整
用のサンプルの高さ調整が可能なことを特徴とする走査
像観察装置用画像調整標準試料台。 - 【請求項３】上記請求項１，２の試料台において、着脱
可能なあるいは固定して取り付けられた高さを任意に変
更できる水平バーを高さゲージの目的で設け、複数の試
料の高さを容易に合わせることが可能なことを特徴とす
る走査像観察装置用画像調整標準試料台。 - 【請求項４】上記請求項１の試料台において、任意に画
像調整用のサンプルを選択でき取り外し可能なことを特
徴とする走査像観察装置用画像調整標準試料台。 - 【請求項５】上記請求項１の試料台において、複数のラ
テックス微粒子を液体窒素により凍結させ、さらに真空
中にて乾燥固定することを特徴とする走査像観察装置用
画像調整標準試料台。 - 【請求項６】上記請求項１の試料台において、複数のラ
テックス微粒子を金属アモルファス膜により被覆固定す
ることを特徴とする走査像観察装置用画像調整標準試料
台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002052564A JP2003257349A (ja) | 2002-02-28 | 2002-02-28 | 走査像観察装置用画像調整標準試料台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002052564A JP2003257349A (ja) | 2002-02-28 | 2002-02-28 | 走査像観察装置用画像調整標準試料台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003257349A true JP2003257349A (ja) | 2003-09-12 |
Family
ID=28664226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002052564A Pending JP2003257349A (ja) | 2002-02-28 | 2002-02-28 | 走査像観察装置用画像調整標準試料台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003257349A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011200851A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 放出器から測定空間に放出された活性種の測定対象に対する付着量を求める方法及びそのシステム |
| CN101780630B (zh) * | 2009-01-16 | 2012-11-21 | 财团法人工业技术研究院 | 聚焦式离子束系统的物件加工方法及应用于该方法的载具 |
| JP2015141083A (ja) * | 2014-01-28 | 2015-08-03 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 顕微鏡用試料担持片の作製方法およびその装置 |
| JP2017050120A (ja) * | 2015-09-01 | 2017-03-09 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 試料ホルダ及び試料ホルダ群 |
-
2002
- 2002-02-28 JP JP2002052564A patent/JP2003257349A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101780630B (zh) * | 2009-01-16 | 2012-11-21 | 财团法人工业技术研究院 | 聚焦式离子束系统的物件加工方法及应用于该方法的载具 |
| JP2011200851A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 放出器から測定空間に放出された活性種の測定対象に対する付着量を求める方法及びそのシステム |
| JP2015141083A (ja) * | 2014-01-28 | 2015-08-03 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 顕微鏡用試料担持片の作製方法およびその装置 |
| JP2017050120A (ja) * | 2015-09-01 | 2017-03-09 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 試料ホルダ及び試料ホルダ群 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101643195B (zh) | 制备胶体探针的方法及装置 | |
| WO2014175074A1 (ja) | 荷電粒子線装置及び当該装置を用いる試料作製方法 | |
| JP6338869B2 (ja) | 粒径分布計測方法 | |
| US20090053395A1 (en) | Method and System for Imaging a Cross Section of a Specimen | |
| JP2009014709A5 (ja) | ||
| Booy et al. | Cryo-crinkling: what happens to carbon films on copper grids at low temperature | |
| WO2000067290A3 (en) | Integrated microcolumn and scanning probe microscope arrays | |
| JP2003257349A (ja) | 走査像観察装置用画像調整標準試料台 | |
| JP2004227842A (ja) | プローブ保持装置、試料の取得装置、試料加工装置、試料加工方法、および試料評価方法 | |
| JP3715956B2 (ja) | 情報取得装置、試料評価装置および試料評価方法 | |
| CN105523521B (zh) | 纳米线纵向同轴异质结构及其电子束聚焦辐照制备方法 | |
| JP2009025133A (ja) | 試料作製方法及び試料作製装置 | |
| JPS5918553A (ja) | 電子ビ−ム装置の収差を補正する方法及び装置 | |
| JP2017526152A (ja) | サンプルの準備及びコーティングのためのイオンビーム装置及び方法 | |
| CN112730006B (zh) | 一种孔面离子通道衬度试样的制备方法 | |
| US6495296B1 (en) | Method for limiting particle aggregation in a mask deposited by a colloidal suspension | |
| WO2015018674A1 (en) | Insulator coated conductive probe and method of production thereof | |
| JP2008267889A (ja) | 電子顕微鏡用試料ホルダおよび観察方法ならびに電子顕微鏡用試料作製装置 | |
| WO2019090799A1 (zh) | 一种微米直径的锥形毛移动和转移纳米线的方法 | |
| WO2021217274A1 (en) | High-speed cryoem specimen preparation using through-grid wicking | |
| Guckenberger et al. | Design of a scanning tunneling microscope for biological applications | |
| Dick et al. | 10nm particle deposition capability for qualification of next-generation defect inspection tools | |
| JP3842702B2 (ja) | 観察用試料作製方法 | |
| JP6708327B2 (ja) | 微細粒子の観察方法 | |
| Astafiev et al. | Structural features of the nucleolus in the mouse germinal vesicle oocyte revealed by AFM, SEM, and ToF-SIMS |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040423 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040423 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060515 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060515 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060711 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060911 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061212 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070410 |