JP2017050120A - 試料ホルダ及び試料ホルダ群 - Google Patents
試料ホルダ及び試料ホルダ群 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017050120A JP2017050120A JP2015171867A JP2015171867A JP2017050120A JP 2017050120 A JP2017050120 A JP 2017050120A JP 2015171867 A JP2015171867 A JP 2015171867A JP 2015171867 A JP2015171867 A JP 2015171867A JP 2017050120 A JP2017050120 A JP 2017050120A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- sample holder
- holder
- measurement
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 82
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 199
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 4
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 2
- 230000002572 peristaltic effect Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N3/02—Details
- G01N3/04—Chucks
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/508—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes rigid containers not provided for above
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
- G01Q30/20—Sample handling devices or methods
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/34—Microscope slides, e.g. mounting specimens on microscope slides
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
- B01L2200/02—Adapting objects or devices to another
- B01L2200/025—Align devices or objects to ensure defined positions relative to each other
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
- B01L2300/0609—Holders integrated in container to position an object
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
- B01L2300/0809—Geometry, shape and general structure rectangular shaped
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/10—Scanning
- G01N2201/104—Mechano-optical scan, i.e. object and beam moving
- G01N2201/1042—X, Y scan, i.e. object moving in X, beam in Y
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Hematology (AREA)
- Clinical Laboratory Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】試料100の表面を露出させて保持し、それぞれ異なる測定原理による複数の測定装置200、300の内部にそれぞれ取付け、試料をそれぞれ測定可能な試料ホルダ10であって、試料を囲む本体部2と、本体部の表面の2以上の異なる位置にそれぞれ配置され、測定装置で検出可能なアライメントマーク6a〜6cと、本体部の内側に配置され、アライメントマークのマーク面に対し、試料の表面の高さHを一定に設定可能に試料を保持する試料保持部4と、を備えることを特徴とする試料ホルダである。
【選択図】図4
Description
ところで、それぞれ異なる測定原理による複数の測定装置で、同一試料の同一場所を測定するためには、各測定装置を一台の装置として複合化した装置内に試料を設置する必要がある。このようなことから、SEM(走査電子顕微鏡)と光学鏡筒をV字型に配置し、各測定装置を切り替えて試料の同一場所を測定する装置が開発されている(特許文献1)。この装置は、搖動機構(チルト機構)によって試料面の向きを変えることで、それぞれSEMと光学鏡筒の軸に対して試料面を垂直にして測定することができる。
また、特許文献1記載の装置の場合、SEM観察と光学観察は行えるが、それ以外の測定原理による測定はできないので、別の測定装置での測定をしたい場合は、この測定装置をさらに組み込んだ複合装置が必要となり、臨機応変な対応が困難である。
この試料ホルダによれば、異なる測定装置にて試料ホルダのアライメントマークの位置座標を基準とすることで、同一の試料の同一の測定位置を測定できる。又、アライメントマークのマーク面に対し、試料の表面の高さを一定に設定するので、アライメントマークのマーク面を検出するために測定装置でピントを合わせた後、試料の位置を観察するためにピントを再度合わせるための高さ方向の変位を同じ状態にすることができ、ピントの再合わせによる位置ズレを少なくできる。特に、マーク面と試料の表面との高さの差が測定装置の焦点深度内であれば、マーク面を検出するために測定装置でピントを合わせると、試料の表面もそのまま観察できるので、マーク面を検出した後に試料の表面を観察するために再度ピントを合わせる必要がなく、上記位置ズレを無くして試料の同一場所を精度よく測定できる。
異なる測定原理による複数の測定装置によっては、小さい第1の試料ホルダを固定ができない場合があるが、第1の試料ホルダをより大きい第2の試料ホルダで保持することで、複数の測定装置のそれぞれに第2の試料ホルダを介して第1の試料ホルダを固定することが出来る。
図1は、本発明の実施形態に係る試料ホルダ10の平面図、図2は、図1のA−A線に沿う断面図である。
試料ホルダ10は、試料100を囲む有底で略矩形枠状の本体部2と、本体部2の表面の2以上(図1では3つ)の異なる位置にそれぞれ配置されたアライメントマーク6a〜6cと、本体部2の内側に配置されて試料を保持する試料保持部4と、を備える。
ここで、本実施形態では、試料保持部4は高さが種々異なる複数の矩形のスペーサであり、試料100の高さ(厚み)に応じて所定高さの試料保持部4を選び、粘着テープ等によって本体部2の内側の底面に試料保持部4を固定し、試料保持部4の上面に粘着テープ等によって試料100を保持するようになっている。このため、アライメントマーク6a〜6cのマーク面に対し、試料100の表面の高さを所定の値に設定することができる。具体的には、図2に示すように、本実施形態では、試料100の表面と本体部2の表面とがほぼ面一になっており、本体部2の表面から凹むアライメントマーク6a〜6cのマーク面が、試料100の表面から一定の高さHだけ低くなるように設定されている。アライメントマーク6a〜6cは、大きさ(一辺)が数十μmの矩形状であり、Hは、例えば10μm程度である。
一般に、測定装置の観察軸と、被観察物(マーク面や試料表面)の垂直度は90度からわずかにズレており、再度ピントを合わせようとするとZ方向へわずかに移動し、XおよびY方向へもズレてしまう。つまり、マーク面のXY座標を基準にして試料100の同一場所を測定しようとしても、ピントを再度合わせる際に基準となるはずのXY座標がズレてしまう。
特に、後述するように、共通の試料ホルダ10を用いて複数の測定装置200,300で測定を行う場合には、測定装置200,300毎に上記垂直度が異なるため、ピントを再度合わせることによる誤差が相乗され、試料100の同一場所を測定することがさらに困難になる。
測定装置の視野が200μm×200μm程度であれば、高さHを10μm程度とすれば十分である。ただし、マーク面のXY座標を取得後、試料100の表面を観察するために再度ピントを合わせる必要がある場合において、試料100の観察領域の大きさとの関係でZ方向への移動が無視できる場合は、マーク面と試料100の表面との高さの差が測定装置の焦点深度外であってもよく、Hの大きさは上記値より大きくてもよい。もちろん、H=0とすることがより好ましい。
なお、アライメントマーク6a〜6cが凹部の場合、マーク面は凹部の底面である。
試料100の表面を露出させて保持した試料ホルダ10は、各測定装置200、300のそれぞれのステージ202,302に保持され、各測定装置200、300の内部にそれぞれ取付けられる。
次に、試料100表面の測定位置の座標と、各アライメントマーク6a〜6cの座標を測定装置200内でSEM像として取得する。具体的には、例えば図3(b)のように、アライメントマーク6bの例えば左下角に、測定装置200で観察するSEM像のクロスライン(十字線)CLを合わせたとき、ステージ202の初期位置からのXY方向へのそれぞれの移動量から、アライメントマーク6bの座標を取得できる。このようにして、各座標として、アライメントマーク6a(X1、Y1)、アライメントマーク6b(X2、Y2)、アライメントマーク6c(X3、Y3)を取得する。
なお、SEM像のクロスライン(十字線)CLをアライメントマークの中心に合わせる場合、アライメントマークの中心か否かを目視で判断するので位置決め精度が低下する。アライメントマークが矩形の場合に角部に合わせると、位置決め精度が向上する。又、クロスライン(十字線)CLをアライメントマークの左下角に合わせる場合、他のアライメントマークもすべて左下角に合わせるようにする。
そして、測定装置200での各アライメントマーク6a〜6cの座標と、測定装置300での各アライメントマーク6a〜6cの座標から、座標変換によって測定装置300での試料100の測定位置Mの座標(X'm、Y'm)を算出する。
具体的には、例えば図5に示すように、測定装置200でのアライメントマーク6b、6c間のX方向の長さは(X2−X1)であり、測定装置300でのアライメントマーク6b、6c間のX方向の長さは(X'2−X'1)である。従って、測定装置300での試料100の測定位置MのX座標であるX'm=Xm×(X'2−X'1)/(X2−X1)で求めることができる。測定位置MのY座標であるY'mも同様にして求められる。
このようにして、測定装置300上で測定位置Mにおける試料100の所定の物性をマッピング測定することで、異なる測定装置200,300により同一の試料100の同一の測定位置Mを測定できることになる。
図6は、本発明の実施形態に係る試料ホルダ群30の平面図、図7は、図6のB−B線に沿う断面図である。
試料ホルダ群30は、第1の試料ホルダ20と、第1の試料ホルダ20を囲むようにして第1の試料ホルダ20を保持する第2の試料ホルダ10Bと、を有する。
第2の試料ホルダ10Bは、上記した試料ホルダ10と略同一であり、有底で略矩形枠状の第2の本体部2Bと、本体部2の表面の2以上(図1では3つ)の異なる位置にそれぞれ配置された第2のアライメントマーク6と、本体部2の内側に配置されて第1の試料ホルダ20を保持するホルダ保持部4Bと、を備える。つまり、試料ホルダ10Bは、試料保持部4の代わりにホルダ保持部4Bを備えた点が試料ホルダ10と異なる。ホルダ保持部4Bは、本体部2の内側の底面の3箇所から立設する3本のガイドピンである(図8参照)。
なお、アライメントマーク26は凸部であり、マーク面は凸部の頂面である。
一方、第2の試料ホルダ10Bの第2のアライメントマーク6は、試料100の表面から一定の高さHだけ低くなっている。
そして、測定装置200は、よりも測定領域が広い。測定装置200,400は、それぞれ特許請求の範囲の「第2の測定装置」、「第1の測定装置」に相当する。なお、ステージを電動等によって駆動する測定装置は、ステージを手動によって駆動する測定装置より一般に測定領域が広い。
なお、アライメントマーク6,26はそれぞれ凹部、凸部からなっており、試料100表面の高さに換算すると、両者の差はZ方向にHとなるが、上述の通り測定装置200,400の焦点深度内の差であればよい。
そして、試料ホルダ10の場合(図5参照)と同様にして、測定装置200での各アライメントマーク6の座標と、測定装置400での各アライメントマーク26の座標から、座標変換によって測定装置400での試料100の測定位置Mの座標(X'm、Y'm)を算出する。
このようにして、測定装置400上で測定位置Mにおける試料100の所定の物性をマッピング測定することで、異なる測定装置200,400により同一の試料100の同一の測定位置Mを測定できることになる。
なお、測定装置400は、ステージ402を手動によって駆動するため、ステージを電動等によって駆動する場合のように、ステージの移動量を検出することができない。そこで、測定装置400では、光学顕微鏡を観察する際にグリッドまたは格子ラインを表示させ、グリッドの目盛を目視で数えることで、各座標を取得できるようになっている。
なお、測定装置200においても試料ホルダ20のアライメントマーク26を検出してもよく、測定に合わせて検出するアライメントマークを選択できる。また、場合によって、試料ホルダ10B上のアライメントマーク6は不要としてもよい。この場合は、アライメントマーク26を検出する。そして、異なる測定原理による複数の測定装置のステージによっては、小さい第1の試料ホルダ20を固定ができない場合があるが、第1の試料ホルダ20をより大きい第2の試料ホルダ10Bで保持することで、複数の測定装置の各ステージに第2の試料ホルダ10Bを介して第1の試料ホルダ20を固定することが出来る。
また、アライメントマークは3つ以上が好ましく、2つの場合は対角位置に配置すると好ましい。又、アライメントマークは、断面形状がシャープ(断面が垂直)であるほど、上述のフォーカス調整による読み取り精度が向上する。そして、アライメントマークを機 械加工やレーザ加工で形成すると、断面がテーパ状になって読み取り誤差が大きくなるので、エッチングプロセスで形成したドットパターンを利用するのが好ましい。
試料保持部4及び第1の試料保持部24はネジによって高さ方向に上下する機構を備えていてもよい。
ホルダ保持部4Bは、上記したガイドピンの他、嵌合、爪等による機械式係合等でもよい。
又、ステージ402を手動で移動させる測定装置400において、手動での移動量をある程度正確に読み取れるゲージを付帯する場合には、必ずしもすべてのアライメントマークを同一視野内で同時に観察しなくてもよく、一視野中ではすべてのアライメントマークの一部(例えば、1か所)の位置を検出してもよい。測定装置200等も同様である。
又、試料ホルダ10Bは、上記した円形状に限らず、多角形状であってもよい。
2B 第2の本体部
4 試料保持部
4B ホルダ保持部
6a〜6c アライメントマーク
6 第2のアライメントマーク
10 試料ホルダ
10B 第2の試料ホルダ
20 第1の試料ホルダ
22 第1の本体部
24 第1の試料保持部
26 第1のアライメントマーク
30 試料ホルダ群
100 試料
200、300、400 測定装置
200 第2の測定装置
400 第1の測定装置
Claims (3)
- 試料の表面を露出させて保持し、それぞれ異なる測定原理による複数の測定装置の内部にそれぞれ取付け、前記試料をそれぞれ測定可能な試料ホルダであって、
前記試料を囲む本体部と、
前記本体部の表面の2以上の異なる位置にそれぞれ配置され、前記測定装置で検出可能なアライメントマークと、
前記本体部の内側に配置され、前記アライメントマークのマーク面に対し、前記試料の前記表面の高さを一定に設定可能に前記試料を保持する試料保持部と、
を備えることを特徴とする試料ホルダ。 - 試料の表面を露出させて保持し、それぞれ異なる測定原理による複数の測定装置のうち、第1の測定装置の内部に取付け、前記試料を測定可能な第1の試料ホルダであって、
前記試料を囲む第1の本体部と、
前記第1の本体部の表面の2以上の異なる位置にそれぞれ配置され、前記第1の測定装置で検出可能なアライメントマークと、
前記第1の本体部の内側に配置され、前記アライメントマークのマーク面に対し、前記試料の前記表面の高さを一定に設定可能に前記試料を保持する第1の試料保持部と、
を備える第1の試料ホルダ;及び、
前記試料を保持した前記第1の試料ホルダを保持する第2の試料ホルダであって、
前記第1の試料ホルダを囲む第2の本体部と、
前記第2の本体部の内側に配置されて前記第1の試料ホルダを保持するホルダ保持部と、を備える第2の試料ホルダ;、を有する試料ホルダ群であり、
前記測定装置のうち、前記第1の測定装置よりも測定視野が広い第2の測定装置の内部に前記試料ホルダ群を取付け、前記アライメントマークを検出することで前記試料を測定可能とする試料ホルダ群。 - 試料の表面を露出させて保持し、それぞれ異なる測定原理による複数の測定装置のうち、第1の測定装置の内部に取付け、前記試料を測定可能な第1の試料ホルダであって、
前記試料を囲む第1の本体部と、
前記第1の本体部の表面の2以上の異なる位置にそれぞれ配置され、前記第1の測定装置で検出可能な第1のアライメントマークと、
前記第1の本体部の内側に配置され、前記第1のアライメントマークのマーク面に対し、前記試料の前記表面の高さを一定に設定可能に前記試料を保持する第1の試料保持部と、
を備える第1の試料ホルダ;及び、
前記試料を保持した前記第1の試料ホルダを保持する第2の試料ホルダであって、
前記第1の試料ホルダを囲む第2の本体部と、
前記第2の本体部の表面の2以上の異なる位置にそれぞれ配置される第2のアライメントマークと、
前記第2の本体部の内側に配置されて前記第1の試料ホルダを保持するホルダ保持部と、を備える第2の試料ホルダ;、を有する試料ホルダ群であり、
前記測定装置のうち、前記第1の測定装置よりも測定視野が広い第2の測定装置の内部に前記試料ホルダ群を取付け、前記第2のアライメントマークを検出することで前記試料を測定可能とする試料ホルダ群。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015171867A JP6640497B2 (ja) | 2015-09-01 | 2015-09-01 | 試料ホルダ及び試料ホルダ群 |
TW105114147A TWI700721B (zh) | 2015-09-01 | 2016-05-06 | 試料保持具及試料保持具群 |
KR1020160068015A KR20170027268A (ko) | 2015-09-01 | 2016-06-01 | 시료 홀더 및 시료 홀더군 |
US15/193,922 US9865425B2 (en) | 2015-09-01 | 2016-06-27 | Sample holder and sample holder set |
SG10201605375YA SG10201605375YA (en) | 2015-09-01 | 2016-06-30 | Sample holder and sample holder set |
EP16179243.7A EP3139398A1 (en) | 2015-09-01 | 2016-07-13 | Sample holder and sample holder set |
CN201610773695.6A CN106483336B (zh) | 2015-09-01 | 2016-08-31 | 样品支座和样品支座组 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015171867A JP6640497B2 (ja) | 2015-09-01 | 2015-09-01 | 試料ホルダ及び試料ホルダ群 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017050120A true JP2017050120A (ja) | 2017-03-09 |
JP2017050120A5 JP2017050120A5 (ja) | 2018-08-16 |
JP6640497B2 JP6640497B2 (ja) | 2020-02-05 |
Family
ID=56567384
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015171867A Active JP6640497B2 (ja) | 2015-09-01 | 2015-09-01 | 試料ホルダ及び試料ホルダ群 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9865425B2 (ja) |
EP (1) | EP3139398A1 (ja) |
JP (1) | JP6640497B2 (ja) |
KR (1) | KR20170027268A (ja) |
CN (1) | CN106483336B (ja) |
SG (1) | SG10201605375YA (ja) |
TW (1) | TWI700721B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018198589A1 (ja) * | 2017-04-27 | 2018-11-01 | 株式会社日立製作所 | 分析システム |
JP2020136052A (ja) * | 2019-02-19 | 2020-08-31 | 日本電子株式会社 | 観察方法 |
WO2023053373A1 (ja) * | 2021-09-30 | 2023-04-06 | 株式会社日立ハイテク | 解析システム |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109254025B (zh) * | 2018-11-02 | 2023-09-22 | 内蒙古工业大学 | 一种用于透射电镜样品粘贴环形载网的装置及方法 |
EP3751251A1 (de) | 2019-06-11 | 2020-12-16 | Anton Paar GmbH | Probentransfer mit leichter auffindbarkeit eines zielbereichs |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53114288U (ja) * | 1977-02-18 | 1978-09-11 | ||
JPH103875A (ja) * | 1996-06-13 | 1998-01-06 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JP2003257349A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査像観察装置用画像調整標準試料台 |
JP2008146990A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料固定台、及びそれを備えた荷電粒子線装置、並びに観察/解析対象箇所特定方法 |
US20120126115A1 (en) * | 2010-11-24 | 2012-05-24 | Heino Heise | Specimen holder having alignment marks |
US20120133757A1 (en) * | 2009-05-11 | 2012-05-31 | Carl Zeiss Ag | Microscopic examination of an object using a sequence of optical microscopy and particle beam microscopy |
JP2012256516A (ja) * | 2011-06-09 | 2012-12-27 | Hitachi High-Technologies Corp | ステージ装置およびステージ装置の制御方法 |
JP2013140846A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Canon Inc | 描画装置及び物品の製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004363085A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-12-24 | Ebara Corp | 荷電粒子線による検査装置及びその検査装置を用いたデバイス製造方法 |
US7442624B2 (en) * | 2004-08-02 | 2008-10-28 | Infineon Technologies Ag | Deep alignment marks on edge chips for subsequent alignment of opaque layers |
JP5403852B2 (ja) * | 2005-08-12 | 2014-01-29 | 株式会社荏原製作所 | 検出装置及び検査装置 |
KR100902403B1 (ko) | 2007-09-11 | 2009-06-11 | 한국기초과학지원연구원 | 투과전자현미경 3차원 관찰 전용 문 그리드 및 그 제조방법 |
JP5624815B2 (ja) | 2010-07-02 | 2014-11-12 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置及び拡大観察方法 |
-
2015
- 2015-09-01 JP JP2015171867A patent/JP6640497B2/ja active Active
-
2016
- 2016-05-06 TW TW105114147A patent/TWI700721B/zh active
- 2016-06-01 KR KR1020160068015A patent/KR20170027268A/ko unknown
- 2016-06-27 US US15/193,922 patent/US9865425B2/en active Active
- 2016-06-30 SG SG10201605375YA patent/SG10201605375YA/en unknown
- 2016-07-13 EP EP16179243.7A patent/EP3139398A1/en not_active Withdrawn
- 2016-08-31 CN CN201610773695.6A patent/CN106483336B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53114288U (ja) * | 1977-02-18 | 1978-09-11 | ||
JPH103875A (ja) * | 1996-06-13 | 1998-01-06 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JP2003257349A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査像観察装置用画像調整標準試料台 |
JP2008146990A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料固定台、及びそれを備えた荷電粒子線装置、並びに観察/解析対象箇所特定方法 |
US20120133757A1 (en) * | 2009-05-11 | 2012-05-31 | Carl Zeiss Ag | Microscopic examination of an object using a sequence of optical microscopy and particle beam microscopy |
US20120126115A1 (en) * | 2010-11-24 | 2012-05-24 | Heino Heise | Specimen holder having alignment marks |
JP2012256516A (ja) * | 2011-06-09 | 2012-12-27 | Hitachi High-Technologies Corp | ステージ装置およびステージ装置の制御方法 |
JP2013140846A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Canon Inc | 描画装置及び物品の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018198589A1 (ja) * | 2017-04-27 | 2018-11-01 | 株式会社日立製作所 | 分析システム |
JP2018185246A (ja) * | 2017-04-27 | 2018-11-22 | 株式会社日立製作所 | 分析システム |
JP2020136052A (ja) * | 2019-02-19 | 2020-08-31 | 日本電子株式会社 | 観察方法 |
JP7229806B2 (ja) | 2019-02-19 | 2023-02-28 | 日本電子株式会社 | 観察方法 |
WO2023053373A1 (ja) * | 2021-09-30 | 2023-04-06 | 株式会社日立ハイテク | 解析システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106483336A (zh) | 2017-03-08 |
TW201711076A (zh) | 2017-03-16 |
CN106483336B (zh) | 2019-08-23 |
KR20170027268A (ko) | 2017-03-09 |
US20170062175A1 (en) | 2017-03-02 |
SG10201605375YA (en) | 2017-04-27 |
TWI700721B (zh) | 2020-08-01 |
US9865425B2 (en) | 2018-01-09 |
EP3139398A1 (en) | 2017-03-08 |
JP6640497B2 (ja) | 2020-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106483336B (zh) | 样品支座和样品支座组 | |
TWI269346B (en) | Unified apparatus and method to assure probe card-to-wafer parallelism in semiconductor automatic wafer test, probe card measurement systems, and probe card manufacturing | |
WO2020103431A1 (zh) | 手术机器人定位系统精度检测方法及检测装置 | |
JPH1183438A (ja) | 光学式測定装置の位置校正方法 | |
JP2016115945A (ja) | プローブ装置及びプローブ方法 | |
JP2007303892A (ja) | 校正用標準部材及びこれを用いた校正方法および電子ビーム装置 | |
KR20080092936A (ko) | 스캐닝 탐침 현미경을 포함하는 측정 시스템 동작 방법 및측정 시스템 | |
KR20080003445A (ko) | 레이저 마킹 시스템에서 웨이퍼 처리 시스템을 정렬하는시스템 및 방법 | |
JP2011002317A (ja) | 画像プローブの校正方法および形状測定機 | |
JP5121619B2 (ja) | プローブ顕微鏡の探針位置合せ方法およびその方法により操作されるプローブ顕微鏡 | |
JP5825569B2 (ja) | プローブ装置のアライメント支援装置及びアライメント支援方法 | |
JP6135820B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP4902806B2 (ja) | 校正用標準部材 | |
US20240210442A1 (en) | Method of calibrating in a scanning probe microscopy system an optical microscope, calibration structure and scanning probe microscopy device | |
US20190383855A1 (en) | Data processing device for scanning probe microscope | |
JP4868309B2 (ja) | 探針先端の位置合わせ方法 | |
JP5196622B2 (ja) | 触針式表面測定装置 | |
JP2005172610A (ja) | 3次元測定装置 | |
JP3217602U (ja) | 対物ミクロメータおよび硬さ試験機 | |
Čermák et al. | Methodology for Collecting and Aligning Correlative SEM, CLSM and LOM Images of Bulk Material Microstructure to Create a Large Machine Learning Training Dataset | |
JP2009177166A (ja) | 検査装置 | |
WO2016170560A1 (ja) | 光走査装置の走査特性測定方法及びそれに用いる走査特性測定用チャート | |
JP2020092140A (ja) | 位置測定装置、及び、位置測定方法 | |
JP2006220560A (ja) | 基板及び微小構造物並びに基準スケールの作製方法及び微小構造物の測長方法 | |
JP2008076738A (ja) | 露光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180704 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180704 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190409 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190514 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190703 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191209 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191226 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6640497 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |