JP2003257017A - ディスクのスピン乾燥装置 - Google Patents
ディスクのスピン乾燥装置Info
- Publication number
- JP2003257017A JP2003257017A JP2002054056A JP2002054056A JP2003257017A JP 2003257017 A JP2003257017 A JP 2003257017A JP 2002054056 A JP2002054056 A JP 2002054056A JP 2002054056 A JP2002054056 A JP 2002054056A JP 2003257017 A JP2003257017 A JP 2003257017A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- chuck member
- contact portion
- disc
- cleaning liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
浄した後に、チャック部材に滞留する洗浄液を効率的に
除去する。 【解決手段】 チャック部材2の概略中央部分には、所
定の幅と深さとを有する凹型の形状をした通風溝からな
る非接触部23が設けられている。ディスクの回転時に
は、この通風溝に空気流が発生し、負圧吸引力により、
ディスク1とチャック部材2との接触部付近に滞留して
いる洗浄液を確実に除去する。また、チャック部材2が
ディスク1と当接する部分に、弾性部材を用いることに
より、チャック部材2がディスク1をチャックする力に
よる打痕または割れ、欠けを防止する。
Description
は光ディスク等のような円盤状のディスクを洗浄した後
に乾燥させるディスクのスピン乾燥装置に関する。
ようなディスクは研磨等の加工を行った後または成膜後
に、ディスクの洗浄が行われていた。ディスクの洗浄後
は、ディスクの表面に付着した洗浄液を除去しなくては
ならないが、ディスクの表面に付着した洗浄液の除去を
行うために、ディスクを高速回転させ、遠心力の作用を
用いて、ディスクの表面上に付着した洗浄液をディスク
の外部に除去する方法が採用されている。
り、表面に付着した洗浄液の除去を行う方法として、デ
ィスクの内周縁部をチャックした状態で、ディスク回転
させる方法がある。具体的には、スピンドルの先端に少
なくとも3個のチャック部材を用い、このチャック部材
によりディスクの内周縁部をチャックした状態で、スピ
ンドルを回転させる。このスピンドルの回転によりチャ
ック部材も回転し、ディスクが回転する。このようにし
てディスクの表面上に付着した洗浄液の除去を行う方式
が従来より提案されている。
ャックした状態で回転させることにより洗浄液の除去を
行うと、ディスクの表面に付着した洗浄液は除去できる
が、ディスクの内周縁部とチャック部材との当接部にわ
ずかに滞留した洗浄液を除去することはできない。この
ようにわずかに滞留した洗浄液は、ディスクの回転が終
了した後に、チャック部材をディスクの内周縁部から離
したときに、ディスクの表面に流れ出し、ディスクの表
面上にしみを発生させることがある。
許第2782838号公報には、チャック部材とディス
クとの当接部の回転方向における後方側に向けてエアを
供給するエア供給部を設けているディスクのスピン乾燥
装置が開示されている。この特許第2782838号公
報記載の発明では、チャック部材とディスクとの当接部
における後方側に滞留した洗浄液を除去するために、チ
ャック部材に、ディスクの回転方向前方から後方に向く
ように斜めに通気孔が設けられている。この通気孔から
噴出されるエアを用いて、当接部に滞留した洗浄液を除
去している。
ィスクのスピン乾燥装置では、チャック部材とディスク
との当接部における前方側に滞留した洗浄液の除去は、
ディスクを回転させたときの風圧により行っている。こ
のとき、ディスクの板圧方向の両端側部分に滞留した洗
浄液は、風圧によりディスクの板圧方向の外側に向かっ
て弾き飛ばされる。しかしながら、ディスクの板圧方向
の中央部分に滞留した洗浄液は、若干ながら、風圧によ
り弾き飛ばされることなく滞留してしまう。
の内周縁部をチャックするのではなく、外周縁部をチャ
ックするようにしたディスクのスピン乾燥装置も知られ
ている。ディスクの外周縁部をチャックする場合、内周
縁部をチャックする場合に比較して、ディスクの中心か
ら遠い場所をチャックするので、チャック部材のディス
クの接線方向における速度は高速になるので、より効率
的に付着した洗浄液を除去することができる。また、デ
ィスクの内周縁部をチャックする場合、ディスクとチャ
ック部材との接触部分の前後の部分は同一の方向に円弧
を描くので、ディスクとチャック部材との間隔は狭い。
一方、ディスクの外周縁部をチャックする場合、ディス
クとチャック部材との接触部分の前後の部分は反対方向
に円弧を描くので、ディスクの内周縁部をチャックする
場合と比較して、ディスクとチャック部材との間隔は広
い。このディスクとチャック部材とが接触する部分に洗
浄液は滞留しやすいので、ディスクとチャック部材との
間隔が広い方が効率的に洗浄液を除去できる。従って、
ディスクの外周縁部をチャックすることにより、効率的
に洗浄液の除去が行われるが、外周縁部をチャックする
場合においても、ディスクとチャック部材との接触部に
は、やはり若干の洗浄液は残存してしまう。
化が進み、非常に精密なものになっている。従って、上
述したように、若干でも洗浄液が残存してしまうと、デ
ィスクの回転が終了した後に、その洗浄液がディスクの
表面上に流れ出し、ディスクの精密さを損なってしま
う。
の除去を行うディスクのスピン乾燥装置を提供すること
を目的とする。
ために、本発明におけるディスクのスピン乾燥装置で
は、スピン乾燥装置の先端に設けられるチャック部材
と、このチャック部材にチャックされるディスクとが接
触する接触部の一部を、前記チャック部材と前記ディス
クとが接触しない非接触部とする構成としたことを特徴
とする。
材を回転させるために、チャック部材は、ディスクの外
周縁部をチャックされるようにする。また、チャック部
材に設けられた非接触部に空気流を発生させ、負圧吸引
力によりチャック部材に付着した洗浄液を除去するため
に、非接触部は、ディスクが回転する方向に空気の流れ
を形成する通風溝としたことを特徴とする。
て図面を用いて説明する。
1において、1は、スピン乾燥されるディスクである。
チャック手段11は、ディスク1のチャックを行う手段
であり、チャック部材2とアーム3と揺動軸4と球面部
5とカムフォロワ6とから構成される。このチャック手
段11は、円周上それぞれ120度の角度をなすように
3箇所設けられている。図1の示されるように、アーム
3の一端には、後述する取り付け部13を介してチャッ
ク部材2が設けられている。また、アーム3の他端の反
対面には、揺動軸4の一端が連結されている。揺動軸4
の中間部には、球面部5が接続され、球面部5の他端部
には、カムフォロワ6が装着される。駆動手段12は、
チャック部材2がディスク1をチャックする状態および
チャック解除の状態にするための制御を行う手段であ
り、駆動軸8とカムブロック9とカム溝10とから構成
される。駆動軸8は、一端においてカムブロック9と接
続される。カムブロック9には、カムフォロワが移動す
るためのカム溝10が設けられている。スピンドル7
は、ディスク1を回転させる部材であり、チャック手段
11および駆動手段12を内包するように設けられてい
る。
ディスク1をチャックする動作について説明する。駆動
軸8に接続された図示しない駆動装置が、駆動軸を矢印
Aの方向に動作させると、カムブロック9も同様に矢印
Aの方向に動作する。カムブロック9が矢印Aの方向に
動作すると、カムフォロワ6がカム溝10に沿って、カ
ム溝10の奥の方向に広がるように移動する。このよう
に、カムフォロワ6が広がる方向に移動することによ
り、その力が球面部5に伝達され、球面部5が回転す
る。球面部5が回転すると、球面部5に接続された揺動
軸4は、互いに狭くなる方向に動作する。同様に、アー
ム3を介して揺動軸4に接続されているチャック部材2
も、互いに狭くなる方向に動作する。これにより、チャ
ック部材2はディスク1をチャックする。
ば、カムフォロワ6は、カム溝10に沿って狭くなる方
向に移動するので、揺動軸4は互いに広がる方向に動作
する。従って、チャック部材2は、ディスク1をチャッ
ク解除する方向に移動する。これにより、チャック部材
2はディスク1のチャック解除を行う。
およびその解除が行われる。本実施の形態では、上述し
たようにディスク1のチャックが行われた状態で、図示
しないモータがスピンドル7を回転させる。このスピン
ドル7の回転により、チャック部材2が回転し、ディス
ク1も回転する。このように、ディスク1が回転するこ
とにより、ディスク1の表面上に付着した洗浄液は、デ
ィスク1の内側から外側に向かって移動し、最終的に
は、ディスクの外部に飛散する。
るチャック部材2の説明をする。図2のチャック部材2
は、概略円柱状をした接触部22の両端面にテーパ面2
1が2つ設けられ、その中央部には、所定の幅と深さと
を有する凹部の溝が設けられている。このように形成さ
れたチャック部材2とディスク1とは、接触部22にお
いて線接触をするが、非接触部23には、所定の幅と深
さとを有する凹部が設けられているので、非接触部23
とディスク1とは接触しない。
接触部23は所定の幅と深さとを有する通風溝が構成さ
れているため、ディスク1と非接触部23との間には隙
間が生じ、ディスク1およびチャック部材2が回転して
いるときには、この隙間に空気流が生じる。この空気流
により、負圧吸引力が発生し、接触部22とディスク1
との接触部付近に滞留している洗浄液が除去される。こ
れにより、本実施の形態においては、洗浄液の除去が効
率的に行われる。
において、ディスク1が矢印Cの方向に回転をすると、
ディスク1の表面上に付着した洗浄液は、矢印Dのよう
に、ディスク1の中心から遠ざかる方向に移動し、ディ
スク1の外部に飛散する。このとき、チャック部材2の
非接触部23には、ディスク1が回転することにより、
矢印Eの方向に空気流が発生する。このように、非接触
部に空気流が発生することにより、ディスク1と接触部
22との接触部分に滞留した洗浄液に負圧吸引力が働
く。この負圧吸引力により、滞留した洗浄液もディスク
1の外部に飛散する。このとき、図3に示されているよ
うに、ディスク1の内周縁部をチャックするよりも、外
周縁部をチャックしたほうが、ディスク1が回転する接
線方向の速度は高速なので、より効率的に洗浄液の除去
を行うことができる。
は、その溝幅は広いほど、より大きな空気流を発生させ
るために、効率的に滞留した洗浄液を除去することがで
きる。しかしながら、溝幅が広いほど、ディスク1をチ
ャックする力は不安定になる。すなわち、非接触部23
に構成された通風溝の溝幅が広いと、接触部22がディ
スク1と当接する部分が小さくなってしまう。特に、デ
ィスク1には、図4に示されるような、チャンファ41
と呼ばれる面取り部が設けられているため、接触部22
がディスク1と接触する幅は、ディスク1の厚さよりも
狭くなる。従って、通風溝の溝幅を無制限に広げること
は、ディスク1をチャックする力の安定性を損なうこと
になる。このために、通風溝の溝幅は限られたものとな
る。また、通風溝の深さも深いほど、より大きな空気流
が発生するため、効率的に洗浄液を除去することができ
るが、チャック部材2の強度という観点から、あまり深
くすることは好ましくない。従って、非接触部23とし
ての通風溝の溝幅および深さは、ある程度制限される。
しかしながら、非接触部23にある程度の大きさの通風
溝が設けられていれば、空気流により負圧吸引力が発生
するので、効率的に滞留した洗浄液を除去することがで
きる。
4に示されるように、接触部22の中央に設けられる必
要はなく、ディスク1をチャック可能な範囲において、
多少左右にずれてもよい。
て説明する。図5は、図2の接触部22および非接触部
23を、本実施形態に適用したものを立体的に表した概
略図である。本実施の形態は、上述した第1の実施の形
態とは異なり、接触部62が、略扇形の形状となってい
る。上述した第1の実施の形態においては、ディスク1
と接触部22との接触部近傍は、ディスク1および接触
部22の両者が円柱型に形成されている。従って、ディ
スク1と接触部22との間隔は狭くなる。このため、デ
ィスク1と接触部22との接触部近傍には、洗浄液が付
着しやすくなる。一方、本実施の形態においては、ディ
スク1は円柱型であるが、接触部62は略扇形の形状を
しているため、上述した第1の実施の形態に比較して、
ディスク1と接触部62との間隔は広く形成されてい
る。従って、ディスク1と接触部62との接触部近傍に
おいは、洗浄液が付着しにくくなる。
態に比較して、洗浄液が付着しにくくなる構成を採って
いるため、ディスク1の回転終了後に、ディスク1の表
面に洗浄液が流れ出し、シミを形成することを、より効
率的に防止できる。
て説明する。図6は、本実施の形態におけるチャック部
材2の構成を表した図である。本実施の形態が第1の実
施の形態と異なるのは、本実施の形態では、ディスク1
と接触する接触部がチューブなどの弾性部材で構成され
ている点にある。
た芯部材76の概略中間部に円環上の突部72が設けら
れ、この突部72を挟んでチューブ75が2箇所設けら
れている。これらの2箇所に設けられているチューブ7
5は、ストッパー71および突部72により固定され、
ネジ74により固定されている。また、芯部材76の一
端は、図1に示されるような取り付け部13に接続され
ている。図6に示されているように、チューブ75の半
径は、突部72の半径より大きく形成されているため、
チューブ75とディスク1とは接触をするが、突部72
とディスク1とは接触をしない。従って、突部72とデ
ィスク1との間には、非接触部としての通風溝77が形
成される。上述した第1の実施の形態と同様に、ディス
ク1が回転をすると、この通風溝77に負圧吸引力が発
生し、この負圧吸引力がディスク1とチューブ75との
間に付着した洗浄液の除去を行う。
触する部位を弾性部材にしたのは以下の理由による。す
なわち、ディスク1の外周縁部をチャックして、ディス
クのスピン乾燥を行う場合、内周縁部をチャックする場
合に比較して、チャック部材は高速に回転するため、チ
ャック部材2は、ディスク1の安定性を高めるため、チ
ャック力を強くしなければならない。しかしながら、デ
ィスク1をチャックする力を強めるに従って、ディスク
1には、打痕または割れ、欠けが発生しやすくなる。こ
のような打痕または割れ、欠けを防止するために、チャ
ック部材2がディスク1と接触する部位に弾性部材を用
いている。
材2がディスク1と接触する部位に弾性部材を用いてい
るが、ディスク1をチャックする力により、弾性部材が
変形する。従って、この弾性部材を回転させて、ディス
ク1への接触位置の変更すること、そして容易に交換で
きることが望ましい。
ーブ75は、芯部材76の中央に設けられている突部7
2を挟むように固定されているので、ネジ74を外すこ
とにより、容易にチューブ75の交換または回転方向の
位置の変更が可能になる。
態と同様に、負圧吸引力によるディスク1に付着した洗
浄液の除去が可能であるが、さらに、ディスク1との接
触する部分をチューブなどの弾性部材で構成したため、
ディスク1のチャック時に、打痕発生または割れ、欠け
などの発生を防止することができる。
て説明する。図8は、第2の実施における接触部62の
部分に弾性体91を適用し、その中間部に非接触部92
を設けた図である。本実施の形態では、第2の実施の形
態と同様の効果を得ながら、ディスク1と接触する部分
に弾性体91を使用することにより、ディスク1のチャ
ック時に、打痕発生または割れ、欠けなどの発生を防止
することができる。
スクのチャック時に、ディスクとチャック部材との接触
部分に隙間ができるように構成したので、ディスクの回
転時に負圧吸引力により、ディスクとチャック部材との
接触部分およびその近傍に付着した洗浄液を確実に除去
することが可能になる。
面図である。
材の概略構成図である。
のスピン乾燥を行っている状態を示す作用説明図であ
る。
材の概略構成図である。
材の概略構成図である。
材の概略構成図である。
材の分解図である。
材の概略構成図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 ディスクに付着した洗浄液を、このディ
スクを回転することにより除去するディスクのスピン乾
燥装置において、前記スピン乾燥装置の先端に設けられ
るチャック部材と、このチャック部材にチャックされる
ディスクとが接触する接触部の一部を、前記チャック部
材と前記ディスクとが接触しない非接触部とする構成と
したことを特徴とするディスクのスピン乾燥装置。 - 【請求項2】 前記チャック部材は、前記ディスクの外
周縁部をチャックし、また、前記チャック部材に設けら
れた非接触部は、前記ディスクが回転する方向に空気の
流れを形成する通風溝としたことを特徴とする請求項1
記載のディスクのスピン乾燥装置。 - 【請求項3】 前記チャック部材の形状が、前記ディス
クの接触部を円弧状とし、この接触部から遠ざかる方向
に向かって平坦面状に形成されることを特徴とする請求
項2記載のディスクのスピン乾燥装置。 - 【請求項4】 前記チャック部材における接触部の板厚
方向の断面が略扇形の形状をしていることを特徴とする
請求項3記載のディスクのスピン乾燥装置。 - 【請求項5】 前記チャック部材と前記ディスクとの接
触部が弾性部材で形成されていることを特徴とする請求
項2乃至4記載のディスクのスピン乾燥装置。 - 【請求項6】 前記弾性部材は一対の弾性チューブから
なり、これらの弾性チューブは、中間部に突部が設けら
れた芯部材に嵌合されるものであり、前記弾性チューブ
の半径は、前記突部の半径よりも大きいものであり、前
記突部と前記弾性チューブとの間に通風溝が形成されて
いることを特徴とする請求項5記載のディスクのスピン
乾燥装置。 - 【請求項7】 前記各弾性チューブは、前記芯部材に着
脱可能に設けられていることを特徴とする請求項6記載
のディスクのスピン乾燥装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002054056A JP3956723B2 (ja) | 2002-02-28 | 2002-02-28 | ディスクのスピン乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002054056A JP3956723B2 (ja) | 2002-02-28 | 2002-02-28 | ディスクのスピン乾燥装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007022583A Division JP4400797B2 (ja) | 2007-02-01 | 2007-02-01 | ディスクスピン乾燥装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003257017A true JP2003257017A (ja) | 2003-09-12 |
JP3956723B2 JP3956723B2 (ja) | 2007-08-08 |
Family
ID=28665313
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002054056A Expired - Fee Related JP3956723B2 (ja) | 2002-02-28 | 2002-02-28 | ディスクのスピン乾燥装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3956723B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100858426B1 (ko) * | 2006-07-24 | 2008-09-17 | 세메스 주식회사 | 스핀헤드, 이를 구비하는 기판처리장치 및 방법 |
JP2010170637A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Showa Denko Kk | スピン乾燥装置 |
JP2011003248A (ja) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスク乾燥装置およびディスク乾燥方法 |
US8968484B2 (en) | 2010-08-18 | 2015-03-03 | Showa Denko K.K. | Lifting and drying device and method of manufacturing magnetic recording medium substrate or magnetic recording medium using the same |
-
2002
- 2002-02-28 JP JP2002054056A patent/JP3956723B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100858426B1 (ko) * | 2006-07-24 | 2008-09-17 | 세메스 주식회사 | 스핀헤드, 이를 구비하는 기판처리장치 및 방법 |
JP2010170637A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Showa Denko Kk | スピン乾燥装置 |
JP2011003248A (ja) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスク乾燥装置およびディスク乾燥方法 |
US8968484B2 (en) | 2010-08-18 | 2015-03-03 | Showa Denko K.K. | Lifting and drying device and method of manufacturing magnetic recording medium substrate or magnetic recording medium using the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3956723B2 (ja) | 2007-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4545180B2 (ja) | チャック部材及びスピンヘッド | |
KR101375423B1 (ko) | 피처리체를 액체 처리하는 처리 장치 | |
JP7169769B2 (ja) | 基板裏面研磨部材のドレッシング装置及びドレッシング方法 | |
JP2003257017A (ja) | ディスクのスピン乾燥装置 | |
JP7009128B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | |
KR102607485B1 (ko) | 기판 처리 방법, 기판 처리 장치 및 기억 매체 | |
JP2007036066A (ja) | 枚葉式基板処理装置 | |
JP4400797B2 (ja) | ディスクスピン乾燥装置 | |
JP2008282865A (ja) | スクラブ洗浄装置及びそれに用いられるロールスポンジアセンブリ | |
JPH09232410A (ja) | 基板回転保持装置および回転式基板処理装置 | |
CN108987330A (zh) | 一种单片式清洗机及其卡盘 | |
JP7285166B2 (ja) | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 | |
JP4070686B2 (ja) | 基板回転保持装置および回転式基板処理装置 | |
JP2782838B2 (ja) | ディスクのスピン乾燥装置 | |
JPH06190714A (ja) | ポリッシング装置 | |
TW202017030A (zh) | 基板清洗構件及基板清洗裝置 | |
KR100837626B1 (ko) | 스핀헤드 및 이를 이용한 기판처리방법 | |
JP2004154880A (ja) | 円盤状ワーク外周部研磨装置 | |
JP2003103401A (ja) | 光学レンズの製造方法 | |
KR200375036Y1 (ko) | 감광막현상장치 | |
JP2010170637A (ja) | スピン乾燥装置 | |
CN208336183U (zh) | 一种单片式清洗机及其卡盘 | |
JPH09282719A (ja) | 円板の洗浄・乾燥方法および装置 | |
JPH04217257A (ja) | レジスト現像装置 | |
JP6513159B2 (ja) | ウエハチャック補助具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041025 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060404 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060725 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061205 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070417 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070430 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100518 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120518 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130518 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140518 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |