JP2003254733A

JP2003254733A - 液晶格子を用いた格子パタン投影装置

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Publication number: JP2003254733A
Application number: JP2002058375A
Authority: JP
Inventors: Hiroo Fujita; 宏夫藤田
Original assignee: Citizen Watch Co Ltd
Current assignee: Citizen Watch Co Ltd
Priority date: 2002-03-05
Filing date: 2002-03-05
Publication date: 2003-09-10
Anticipated expiration: 2022-03-05
Also published as: JP3851189B2

Abstract

(57)【要約】【課題】格子パタン投影法を用いた３次元形状測定に
おいて、測定時間を短縮すると共に、演算処理を簡略化
して測定精度を向上させること。【解決手段】正弦波、あるいは三角波の強度分布を有
する位相がπ／２シフトした２相の格子パタンを物体に
投影し、２相画像を検出する。２相画像の特定の強度範
囲を設定して、基本強度分布がほぼ直線的な変化をする
領域を選択する。さらに２相画像の選択された領域の１
周期を４つの象限に分割し、各象限の位相幅をπ／２に
する。各象限の強度振幅と画素数を検出して象限基準デ
ータとし、象限内の各画素の位相をその位置の強度、あ
るいは画素位置と象限基準データとの比例演算で算出す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は非接触で３次元形状
を測定する格子パタン投影装置における格子パタンの投
影と画像処理システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、工業、医療、ファッションなどの
多くの分野で対象物の３次元形状を測定するニーズが高
まり、特に光学的な手段を用いた非接触型の測定器が望
まれている。表面凹凸の大きさがサブｍｍ（〜１００μ
ｍ）からｃｍ領域の場合の代表的な光学式３次元形状測
定法として、スポット光を２次元走査する点計測法、
線状のスリット光を走査する光切断法などの線計測
法、規則性のある２次元パタンを投影し、凹凸で生じ
たパタンの変形を検出して画像処理するモアレ法や格子
パタン投影法などの面計測法がある。これらの中でも、
格子パタン投影法は計測原理が単純、装置構成が簡素、
計測精度が高いなどの利点があり、３次元形状の自動計
測に適している。

【０００３】図６（ａ）に従来の格子パタン投影装置の
構成例、図６（ｂ）に従来の格子パタンの強度分布の波
形例を示して動作を説明する。図６（ａ）の装置におい
て、光源部６０はハロゲンランプなどの白色光源と照明
レンズなどで構成され、格子６１を照明する。格子６１
は所定の光透過分布とピッチを有する直線状の格子パタ
ンが多数形成されており、格子６１の光透過分布とピッ
チに応じた強度分布の格子パタンを投影レンズ６３で拡
大、または縮小して３次元形状が測定される物体６４に
投影する。初期の格子パタン投影装置では、バイナリ
（白黒２値階調）な強度分布をガラス基板に描画した格
子を用いていたが、最近では液晶素子で構成した液晶格
子が用いられており、多階調の強度分布のパタンが容易
に作成できるようになった。液晶格子を用いる場合の格
子パタン投影では、４相正弦波信号作成部６２で位相が
π／２ずつシフトした４相正弦波信号を作成して、正弦
波強度分布を有する格子パタンを物体６４に４回投影す
る。

【０００４】物体６４に投影された格子パタンは物体６
４の凹凸に応じて変形し、凹凸が大きいほど直線からの
変形が大きくなる。凹凸で変形した格子パタン（以下、
変形格子パタンと称する）の２次元画像を、投影した方
向とは異なる方向から撮像レンズ６５を介してＣＣＤカ
メラからなる４相画像検出部６６で検出する。１回の測
定あたり、位相がπ／２ずつシフトされた格子パタンを
４回投影するため、１回の投影あたり１回の変形格子パ
タン画像を検出し、全体として４相画像を検出する。

【０００５】変形格子パタンの直線からの変形は４相画
像検出部６６の受光面の面内方向のシフトとして生じ、
変形の大きさが物体６４の凹凸の大きさに対応する。し
たがって、検出した２次元画像の強度分布ｐ（ｘ、ｙ）
から物体６４の３次元座標Ｐ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を算出す
る。このとき、強度分布ｐ（ｘ、ｙ）を規格化された量
である位相分布φ（ｘ、ｙ）に変換する。そのため、４
相画像検出部６６から出力される４相画像信号を、正弦
波位相算出部６７２と位相分布接続部６７４から構成さ
れる４相画像演算部６７で位相分布φ（ｘ、ｙ）を算出
する。

【０００６】正弦波位相算出部６７２は、４相画像の各
周期ごとに正弦波の強度分布を０から２πの間の位相分
布に変換する。位相に変換することで、強度レベルに依
存しない基準化された分布が得られる。位相分布接続部
６７４は、各周期の位相分布を４相画像の全体にわたっ
て接続する。画像全体の位相分布を、格子６１、物体６
４、４相画像検出部６６の受光面を結ぶ三角形の各辺の
距離と辺間の角度の関係で定まる三角測量法の演算を行
って物体６４の３次元形状を算出する。

【０００７】図６（ｂ）の波形６８は４相正弦波の強度
分布である。格子パタンの１周期の期間がＰである。波
形６８Ａ、６８Ｂ、６８Ｃ、６８Ｄは位相がπ／２ずつ
シフトしている。このような位相がπ／２ずつシフトし
た格子パタンを投影する方法を４相位相シフト法と呼ん
でいる。

【０００８】位相シフトした４相画像の任意の位置ｘ、
ｙでの強度をＩ₀、Ｉ₁、Ｉ₂、Ｉ₃とすると、その位置
での正弦波強度画像の位相φ（ｘ、ｙ）は、 φ（ｘ、ｙ）＝ａｒｃｔａｎ［（Ｉ₃−Ｉ₁）／（Ｉ₀
−Ｉ₂）］で表される。以上の三角関数のａｒｃｔａｎ演算を２次
元画像の全体で行うことで、画像全体としての位相分布
が検出できる。得られた各周期毎の位相分布を接続した
位相分布を三角測量法により物体６４の凹凸分布に変換
する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】従来の格子パタン投影
装置は、格子パタンの強度分布が正弦波であって、正弦
波の位相をπ／２ずつシフトして４回投影することが必
要である。格子パタンを４回投影するため、測定時間が
長くなるという問題点がある。また、液晶格子で正弦波
強度分布を作成するとき、液晶素子の駆動電圧に対する
透過光強度特性が非線形な関係であるため、正弦波のピ
ーク強度領域付近では正弦波が歪んでしまうという問題
点もある。

【００１０】正弦波強度分布の４相画像から位相分布を
算出するとき、正弦波のピーク領域も含めた画像全体の
強度を演算の対象にする。そのため、正弦波が歪むこと
により、位相分布φ（ｘ、ｙ）に誤差が生じ、３次元形
状の測定誤差が大きくなるという問題もある。また、正
弦波強度を位相に変換するときに三角関数演算が必要
で、ａｒｃｔａｎの値を三角関数テーブルで参照するな
ど、画像データ処理の構成が複雑になるという問題点も
ある。

【００１１】正弦波強度分布の格子パタンの位相シフト
を行うことで生じる上記の諸課題を解決するため、本発
明は正弦波または三角波の強度分布の格子パタンを作成
し、位相がπ／２異なる２相格子パタンを投影する。２
相画像の処理に関しては、強度がほぼ直線的に変化する
領域を選択し、選択された領域での画像強度または画素
数の比例演算で位相分布を検出する構成で、計測時間が
短く、計測精度が高い３次元形状測定装置を実現するこ
とを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の液晶格子を用いた格子パタン投影装置
は、白色光を出射する光源部と、３次元形状が測定され
る物体に格子パタンを投影する液晶格子と、前記物体の
凹凸に応じて変形した格子パタン画像を検出する画像検
出部と、前記変形した格子パタン画像の強度分布を演算
処理する画像演算部とを備えて、前記物体の３次元形状
を測定する液晶格子を用いた格子パタン投影装置におい
て、前記物体に投影する格子パタンは特定の強度分布を
有する位相がπ／２シフトした２相パタンであって、前
記画像検出部は前記２相パタンが変形した２相画像を検
出し、前記画像演算部は、前記２相画像の特定の強度範
囲を選択して画像の１周期を４個の象限に分割する象限
設定部と、各象限の基準データとする強度振幅と画素数
を検出する象限基準データ検出部と、各象限の強度分布
を位相分布に変換する象限位相演算部と、個々の象限の
位相分布を２相画像全体の位相分布に接続する位相分布
接続部から構成され、接続された位相分布から前記物体
の３次元形状を測定するように構成される。

【００１３】また、本発明の液晶格子を用いた格子パタ
ン投影装置の前記位相がπ／２異なる２相パタンの強度
分布は、正弦波強度分布または三角波強度分布であるよ
うに構成される。

【００１４】また、本発明の液晶格子を用いた格子パタ
ン投影装置の前記象限設定部は、前記２相画像の特定の
強度をスライスレベルとして、前記２相画像の強度分布
がほぼ直線的に変化する領域を選択するために前記２相
画像を交互に選択して１周期を４個の象限に分割し、該
選択された領域内の強度を位相分布の算出に用いるよう
に構成される。

【００１５】また、本発明の液晶格子を用いた格子パタ
ン投影装置の前記象限設定部は、前記象限の位相幅をπ
／２に設定したとき、前記象限基準データ検出部で検出
した振幅と画素数を基準として、象限内の各画素の強度
と画素位置の少なくとも一方のデータと前記象限基準デ
ータの一方のデータとの比例演算から象限内での位相分
布を算出するように構成される。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明による格子パタン投影装置
は、投影する格子パタンのピッチと強度分布が自在に可
変できるように液晶格子を用いる。物体に投影する格子
パタンの強度分布に関しては、正弦波強度分布、あるい
は三角波強度分布に設定する。また、パタンピッチは、
物体の凹凸の大きさ、格子パタンの本数や強度階調など
に応じて設定する。三角波強度分布では、特に、強度が
増加する領域と減少する領域の幅が等しくなるように設
定する。格子パタンは位相をπ／２（１／４周期）シフ
トさせ、物体に２回投影する。

【００１７】物体の凹凸で変形した２相変形格子パタン
画像（２相画像）を画像処理するとき、２相画像の特定
の強度範囲を選択し、その強度範囲では強度が直線的に
変化すると仮定して、比例演算をベースにして強度分布
を位相分布に変換する。そのため、２相画像の特定の強
度値をスライスレベルに設定して２相画像を交互に２回
ずつ選択し、１周期を４つの象限に分割する。この選択
された領域内の強度信号だけを位相算出の演算対象にす
る。なお、スライスレベルは象限内の強度分布の基本形
が実質的に直線状の分布になるような範囲に設定する。

【００１８】各象限毎に強度分布を位相分布に変換する
とき、各象限の位相幅をπ／２に設定（１周期の位相幅
を２π）する。このとき、各象限毎に強度の振幅Ｖと象
限の画素数Ｎを検出して象限基準データとする。投影す
る格子パタンの強度レベルと物体の反射率が一定の場合
は、振幅Ｖは各象限について一定である。また、画素数
Ｎと強度分布は物体の凹凸形状に応じて変動する。

【００１９】象限内で強度が直線的に変化する場合は、
その象限内の形状が一定な平面であることを意味し、直
線の傾きが大きい（象限の画素数Ｎが少ない）ほど平面
の傾斜が大きい。したがって、強度が直線的に変化する
場合は、象限内で位相が直線的に変化する。この場合
は、象限の画素数Ｎを位相π／２に対応させて、画素数
Ｎに対する各画素位置の画素の比から象限内の位相分布
を算出する。あるいは、象限の振幅Ｖに対する各画素位
置の強度の比から位相分布を算出してもよい。

【００２０】象限内で強度が非線形に変化する場合は、
その象限内で形状が非線形に変化することを意味し、強
度の変化が大きいほど形状の変化が大きく、強度分布が
形状に対応する。強度分布が非線形に変化する場合は、
象限内で位相が非線形に変化する。この場合は、象限の
振幅Ｖに対する各画素位置の強度を比例演算で位相に変
換する。このように、本発明は各象限の画素数、あるい
は振幅を基準にして、比例演算をベースにして象限内の
位相分布を算出する。

【００２１】各象限の位相分布は０〜π／２の範囲であ
るため、象限から象限までの１周期の期間について
位相分布を順次接続して１周期の位相分布を算出する。
さらに、各周期で得られた位相分布を２相画像の全体に
わたって接続する。この画像全体の位相分布を三角測量
演算で３次元形状を測定する。

【００２２】以下に図面を用いて本発明の実施の形態を
詳細に説明する。図１に本発明による液晶格子を用いた
格子パタン投影装置の構成ブロック図、図２に２相格子
を作成するときの液晶素子の駆動信号波形例を示す。光
源部６０はハロゲンランプなどの照明用白色光源とレン
ズ系などから構成され、白色光を液晶格子１１に照射す
る。２相格子信号作成部１２は、位相がπ／２シフトし
た正弦波信号、あるいは三角波信号を作成して、液晶格
子１１を駆動する。液晶格子１１は前記の信号に応じた
強度分布を有する格子パタンを作成して、投影レンズ６
３を通して３次元形状が測定される物体６４に順次（２
回）投影する。

【００２３】図２に２相格子の駆動信号波形例を示す。
図２（ａ）の波形２１、２２は正弦波信号波形、図２
（ｂ）の波形２３、２４は強度が離散的、階段波状に変
化する三角波信号波形である。正弦波、三角波のいずれ
も位相がπ／２シフトした信号で、１周期がＰである。
このとき、液晶画素の大きさや画素数、投影する格子パ
タンの本数、強度階調などに応じて駆動電圧範囲や電圧
ステップを設定する。図２（ｂ）の離散三角波信号は強
度増加領域と強度減少領域の幅と電圧振幅が等しい対称
な三角波信号である。実験結果からは、正弦波信号の場
合は強度が３２階調程度でよく、三角波信号の場合は強
度が８階調程度でよい。

【００２４】物体６４に投影された２相格子パタンは物
体６４の表面凹凸に応じて変形し、その変形格子パタン
画像を撮像レンズ６５を介してＣＣＤカメラなどから成
る２相画像検出部１３で２相画像として検出して記憶す
る。本発明は位相がπ／２シフトした２相画像を検出し
て画像処理する構成で、２相画像信号を２相画像演算部
１００で画像処理して物体６４の３次元形状を算出す
る。

【００２５】２相画像演算部１００は、２相画像信号の
１周期の期間を４個の象限に分割する象限設定部１４
と、象限毎の強度振幅Ｖと象限画素数Ｎとを検出する象
限基準データ検出部１５と、象限基準データを元にして
象限の強度分布を０〜π／２の範囲の位相分布に変換す
る象限位相演算部１６と、各象限毎の位相データを接続
して２相画像全体の位相分布を算出する位相分布接続部
１７から構成され、検出された位相分布から物体６４の
３次元形状を計測する。以上の２相画像処理において、
本発明は２相画像の強度分布が実質的に直線的に変化す
る領域を選択し、その強度範囲内の強度や画素数の比例
演算をベースにして位相分布を検出することが特徴であ
る。

【００２６】図３に２相画像の例を示して象限設定の動
作を説明する。図３（ａ）は２相正弦波信号で、波形３
１はＡ相信号、波形３２はＢ相信号である。この２相信
号は位相がπ／２シフトしている。点線３３と３４はス
ライス強度で、２相信号３１と３２の強度が等しくなる
位置の強度に設定する。図３（ｂ）の波形３５、３６は
三角波強度分布の例である。図３（ａ）と同じく、位相
がπ／２シフトしており、点線３７と３８はスライス強
度で、２相信号３５と３６の強度が等しくなる位置の強
度に設定する。液晶格子１１の駆動信号は三角波であっ
ても、検出された２相画像の強度分布は、特にピーク強
度領域で歪みが生じて強度がブロードに変化する。

【００２７】図３（ｃ）は、図３（ｂ）の波形のスライ
ス強度の範囲内の強度を表す。波形３５のＡ相信号の強
度がスライス範囲内にあるときは、波形３６のＢ相信号
の強度はスライス範囲外になる。そこで、２相画像を交
互に２回ずつ選択して、１周期を、、、の４個
の象限に分割する。各象限内の強度はほぼ直線状に変化
する。図３（ａ）の正弦波の場合であっても、スライス
強度内の強度は実質的に直線状に変化する。このとき、
さらに高精度な測定が必要な場合は、正弦波分布よ直線
分布の差強度を補正すればよい。正弦波の場合のスライ
ス強度をピーク強度の±７１％程度に設定すれば、前記
の直線状の強度分布が得られる。２相信号の１周期を４
個の象限に分割したとき、１周期の位相範囲を２πとす
ると、各象限当たりの位相はπ／２で、各象限の強度分
布を０〜π／２の位相分布に変換する。

【００２８】図４に、選択した直線強度を位相分布に変
換する演算を示す。図４（ａ）は１周期の各象限で強度
が直線状に変化する場合である。このとき、スライス強
度内の振幅をＶ、、、、象限の画素数をａ、
ａ、ｂ，ｃとする。各象限の強度が直線的に変化する場
合は、その象限内では物体形状は平面である。平面の形
状は画素数で決まる。、象限の画素数は等しいた
め、形状は等しい。また、、象限は画素数が異なる
ため、異なる形状の平面である。ここで、異なる平面と
は、平面の傾きが異なることを意味する。なお、象限の
画素数が少ないほど格子パタンの変形が大きく、平面の
傾きが急である。

【００２９】図４（ａ）の象限の点４１の位相を求め
る場合を説明する。点４１での強度（電圧）をｖ、その
象限内での画素位置をｎとする。なお、象限の振幅強
度をＶ、画素数をＮとする。これが象限基準データであ
る。強度分布は直線であるから、象限内の位相は直線的
に変化し、比例演算で位相が算出できる。画素数の比例
演算を用いれば、位置４１の位相φは、φ＝πｎ／（２
Ｎ）である。また、強度の比例演算を用いれば、φ＝π
（Ｖ−ｖ）／（２Ｖ）である。以上で求めた位相は象限
内での位相であるから、１周期で見たときの位相はπ＋
φである。

【００３０】図４（ｂ）は強度変化が非線形になる場合
の位相検出の例である。、、及び象限の画素数
はａ、ｂ、ｃ、ｄで、、象限は強度が直線的に変化
し、、象限は強度が非線形に変化する場合である。
強度が非線形に変化する場合は、その象限内で形状が平
面でなく、傾きが変化していることを意味する。、
象限を比較すると、象限の形状が凸ならば、象限は
凹の形状である。以上の例から、基本の強度分布を直線
状の分布に設定することで、強度分布は物体の形状に対
応する。

【００３１】、象限は強度だけでなく、画素数の比
例演算で位相が検出できるが、、象限の場合は画素
数データからは位相検出ができない。そこで、強度が非
線形に変化する場合は強度情報から位相を検出する。図
４（ｃ）で象限の振幅をＶ、点４２の強度をＳとしたと
き、象限内の位相φは、φ＝π（Ｖ−Ｓ）／（２Ｖ）で
ある。この場合も図４（ａ）の直線強度の場合と同様に
比例演算で位相検出が可能である。さらには、象限内の
仮想直線４３の強度と実際の強度分布の差強度を各座標
位置毎に算出し、直線位相との差を算出して位相分布を
求めてもよい。

【００３２】図５に本発明による２相画像信号の１周期
内の位相分布を算出するときの演算処理のフローチャー
ト図を示す。ステップ５００は２相画像の検出と記憶
で、信号の１周期を基本単位として画像全体にわたって
以下に示す演算を行う。ステップ５０２は２相画像信号
の１周期内の最大強度、最小強度となるピーク強度と、
ピーク強度の画素位置を検出する。ステップ５０４はス
ライスレベル設定で、例えばピーク強度の±７０．７％
の強度、あるいは２相画像の互いの強度が等しくなる位
置の強度をスライスレベルに設定する。

【００３３】ステップ５０６は直線領域の設定で、スラ
イス範囲内にある強度を選択して１周期を４つの象限に
分割する。各象限の位相幅をπ／２として、１周期の期
間を２πに設定する。各象限ステップ５０８は象限基準
データ検出で、各象限毎の強度振幅と画素数を検出す
る。これらのデータを以降の位相演算の参照用のデータ
とする。

【００３４】ステップ５１０は各象限内の強度分布の判
定で、強度が直線的に変化するか、非線形に変化するか
を判定する。ステップ５１２は各象限内の位相算出で、
象限基準データの振幅、あるいは画素数を基準として、
比例演算をベースとして象限内の各画素の強度、あるい
は画素位置から位相分布を算出する。このとき得られる
位相はπ／２までの範囲である。ステップ５１４は位相
接続で、各象限ごとに算出した位相を各区分の境界位置
で接続し、１周期の全体での位相分布に接続する。この
１周期の期間の位相は２πまでの範囲である。以上で検
出された１周期ごとの位相分布を２次元の位相分布に再
度接続し、２次元位相分布から３次元形状を算出する。

【００３５】以上の説明で明らかなごとく、本発明は液
晶格子から位相がπ／２シフトした２相格子を作成して
物体に投影し、２相の変形格子パタン画像の特定の強度
範囲を選択し、比例演算をベースとした演算処理で３次
元形状を測定する。演算処理は画像強度、あるいは画素
数の比例演算である。

【００３６】

【発明の効果】上記のごとく本発明による３次元形状測
定装置は、液晶格子を用いて正弦波、あるいは三角波の
強度分布を持ち、位相がπ／２シフトした格子パタンを
２回投影する。格子パタンを投影する回数が２回でよい
ため、測定時間が短縮される効果がある。特に、三角波
の強度分布の場合は、８階調程度の低階調でも直線性の
高い三角波分布が得られるため、液晶格子の駆動信号の
作成が容易になり、投影する格子パタンの本数などの制
約が少なくなり、物体形状に応じて自在なパタンが投影
できる。

【００３７】２相画像の画像処理に関しては、強度が直
線的に変化する領域を設定して１周期を４つの象限に分
割し、各象限ごとに強度あるいは画素数データを用いて
比例演算で位相を算出する。比例演算により位相算出の
演算が簡素化されて測定の信頼性が向上すると共に、演
算の高速化が実現される。また、１周期の１／４の区間
ごとに位相算出演算を行うため、たとえ位相誤差が生じ
てもそれが広い領域まで積算されることがなく、高精度
な測定が実現できる。本発明は、特に、格子パタンの強
度分布と物体の表面反射率が一定の場合に有効である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の構成と動作を説明するブロック図であ
る。

【図２】本発明の格子パタンの強度分布の波形例で、
（ａ）は正弦波強度、（ｂ）は三角波強度の波形例であ
る。

【図３】本発明の２相画像から直線強度を選択する例
で、（ａ）は正弦波信号の場合、（ｂ）は三角波信号の
場合、（ｃ）は直線強度の波形例である。

【図４】本発明の比例演算による位相算出例で、（ａ）
は強度が線形に変化する場合、（ｂ）と（ｃ）は強度が
非線形に変化する場合の波形例である。

【図５】本発明の位相算出の動作を説明するフローチャ
ート図である。

【図６】（ａ）は従来の正弦波格子を用いた格子パタン
投影装置の構成と動作を説明するブロック図、（ｂ）は
４相正弦波の波形例である。

【符号の説明】

１１液晶格子１２２相格子信号作成部１３２相画像検出部１４象限設定部１５象限基準データ検出部１６象限位相演算部１７位相分布接続部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】白色光を出射する光源部と、３次元形状
が測定される物体に格子パタンを投影する液晶格子と、
前記物体の凹凸に応じて変形した格子パタン画像を検出
する画像検出部と、前記変形した格子パタン画像の強度
分布を演算処理する画像演算部とを備えて、前記物体の
３次元形状を測定する液晶格子を用いた格子パタン投影
装置において、前記物体に投影する格子パタンは特定の強度分布を有す
る位相がπ／２シフトした２相パタンであって、前記画
像検出部は前記２相パタンが変形した２相画像を検出
し、前記画像演算部は、前記２相画像の特定の強度範囲
を選択して画像の１周期を４個の象限に分割する象限設
定部と、各象限の基準データとする強度振幅と画素数を
検出する象限基準データ検出部と、各象限の強度分布を
位相分布に変換する象限位相演算部と、個々の象限の位
相分布を２相画像全体の位相分布に接続する位相分布接
続部から構成され、接続された位相分布から前記物体の
３次元形状を測定することを特徴とする液晶格子を用い
た格子パタン投影装置。
【請求項２】前記位相がπ／２異なる２相パタンの強
度分布は、正弦波分布または三角波分布であることを特
徴とする請求項１に記載の液晶格子を用いた格子パタン
投影装置。
【請求項３】前記象限設定部は、前記２相画像の特定
の強度をスライスレベルとして、前記２相画像の強度分
布がほぼ直線的に変化する領域を選択するために前記２
相画像を交互に選択して１周期を４個の象限に分割し、
該選択された領域内の強度を位相分布の算出に用いるこ
とを特徴とする請求項１に記載の液晶格子を用いた格子
パタン投影装置。
【請求項４】前記象限位相演算部は、前記象限の位相
幅をπ／２に設定したとき、前記象限基準データ検出部
で検出した振幅と画素数を基準として、象限内の各画素
の強度と画素位置の少なくとも一方のデータと前記象限
基準データの一方のデータとの比例演算から象限内での
位相分布を算出することを特徴とする請求項１に記載の
液晶格子を用いた格子パタン投影装置。