JP2003249172A - Member for plasma display panel, and manufacturing method for the plasma display panel and the member for the plasma display panel - Google Patents

Member for plasma display panel, and manufacturing method for the plasma display panel and the member for the plasma display panel

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JP2003249172A
JP2003249172A JP2002047638A JP2002047638A JP2003249172A JP 2003249172 A JP2003249172 A JP 2003249172A JP 2002047638 A JP2002047638 A JP 2002047638A JP 2002047638 A JP2002047638 A JP 2002047638A JP 2003249172 A JP2003249172 A JP 2003249172A
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JP
Japan
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electrode
shielding layer
display panel
plasma display
light
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Application number
JP2002047638A
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Japanese (ja)
Inventor
Hideki Kojima
英樹 小島
Yuichiro Iguchi
雄一朗 井口
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Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Publication date
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma display panel which need not a black electrode, facilitates increasing degree of flexibility in forming a pattern of light shielding layer within a display area, and realizes excellent contrast and color purity characteristics, to provide a member for the plasma display panel, and to provide manufacturing methods for them. <P>SOLUTION: The light shielding layer, transparent electrodes and electrodes are stacked in this order on an insulating base plate. The transparent layer can be formed simply and at low cost by the manufacturing method using photosensitive transparent electrically conductive paste. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル用部材およびプラズマディスプレイパネルな
らびにそれらの製造方法に関するものであり、とりわけ
表示側となる、少なくとも絶縁基板上に遮光層、透明電
極、電極を有する前面板に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a member for a plasma display panel, a plasma display panel and a method for manufacturing the same, and more particularly to a display side having at least a light-shielding layer, a transparent electrode, and an electrode on an insulating substrate. It relates to the front plate.

【0002】[0002]

【従来の技術】前面板と背面板からなる一般的なAC型
プラズマディスプレイパネルにおいて、表示側にはコン
トラストと色純度を上げるために、発光領域以外に遮光
性のある層が形成されている。
2. Description of the Related Art In a general AC type plasma display panel including a front plate and a rear plate, a light-shielding layer is formed on the display side in addition to a light emitting region in order to improve contrast and color purity.

【0003】この遮光性のある層は、放電空間を形成す
る前面板に形成される場合と前面板よりさらに視覚者側
に設けられるフィルター等に形成される場合とがある。
This light-shielding layer may be formed on the front plate that forms the discharge space, or may be formed on the filter or the like that is provided closer to the viewer than the front plate.

【0004】後者は、前面板とフィルター等との位置合
わせ精度、寸法精度が問題となり、高精細タイプでは非
常に難しい。一方、前者は、形成される発光領域とのマ
ッチングがとりやすく、高精細にも対応ができる有効な
手段である。
In the latter case, the positioning accuracy between the front plate and the filter and the dimensional accuracy become problems, and it is very difficult for the high definition type. On the other hand, the former is an effective means that can easily match the formed light emitting region and can cope with high definition.

【0005】前者を実現する前面板は、一般的には、特
開平10−283937号公報、特開平10−2699
51号公報や特開平10−241574号公報に示され
るように、絶縁基板上に透明電極を形成した後に、黒色
電極、電極、遮光層等を順に形成することによって製造
される。ここで、コントラストと色純度を上げるために
形成される遮光性のある層は黒色電極と遮光層の2層か
ら成っているが、このような層構成となる理由は主に透
明電極の形成方法にある。
A front plate that realizes the former is generally disclosed in JP-A-10-283937 and JP-A-10-2699.
As disclosed in JP-A-51-51 and JP-A-10-241574, it is manufactured by forming a transparent electrode on an insulating substrate and then sequentially forming a black electrode, an electrode, a light shielding layer and the like. Here, the light-shielding layer formed to increase the contrast and the color purity is composed of two layers of a black electrode and a light-shielding layer. The reason for having such a layer structure is mainly the method of forming the transparent electrode. It is in.

【0006】透明電極の形成方法としては以下の方法が
ある。 1.所望のパターンを有したスクリーン版を介在させた
スクリーン印刷法 2.所望のパターンを有したマスクを介在させた蒸着・
スパッタリング法 3.基板上の所望のパターン領域を含むエリアに、各種
コーティング法や蒸着・スパッタリング法等により透明
導電層をベタ形成した後、レジスト層を形成し、その後
フォトプロセスによるレジスト層のパターン化、エッチ
ング、レジスト層の剥離により所望のパターンを得る方
法。
There are the following methods for forming the transparent electrode. 1. 1. Screen printing method with a screen plate having a desired pattern interposed Vapor deposition with a mask having a desired pattern
Sputtering method 3. After forming a transparent conductive layer in the area including the desired pattern area on the substrate by various coating methods, vapor deposition / sputtering method, etc., a resist layer is formed, and then patterning, etching, resist A method of obtaining a desired pattern by peeling layers.

【0007】一方で、近年、各種パターンにおいて、高
位置精度化、高密度化、高精細化の要求が高まってお
り、それに伴って、パターン加工技術の向上が望まれて
いる。特に、プラズマディスプレイパネル(PDP)用
部材に関しては、回路基板と異なり対角20インチから
40インチを越すような大型基板上でのパターン形成精
度や、その上での高精細化が望まれている。
On the other hand, in recent years, in various patterns, there is an increasing demand for higher positional accuracy, higher density, and higher definition, and along with this, improvement in pattern processing technology is desired. In particular, regarding a plasma display panel (PDP) member, unlike a circuit board, there is a demand for pattern formation accuracy on a large-sized substrate having a diagonal of 20 to 40 inches or higher and higher definition. .

【0008】これらの要求に対して、上記1のスクリー
ン印刷法では、滲みやスクリーン版の伸びが避けられ
ず、スクリーンメッシュの大きさ、印刷条件などの最適
化を図っても細幅化や高位置精度化は難しく、ファイン
パターン化には限界があった。また、上記2のパターン
蒸着・パターンスパッタリング法においては、上記1よ
りは良好であるが、マスク遮蔽部への開口部からの回り
込みがあるため、高密度化、高精細化には限界があっ
た。そこで、これらの要求に答える方法としてフォトプ
ロセスを介在させた上記3の方法がよく用いられてい
る。
In response to these demands, the screen printing method of 1 above inevitably causes bleeding and elongation of the screen plate. Even if the size of the screen mesh and the printing conditions are optimized, the width and width of the screen are reduced. It was difficult to improve the positional accuracy, and there was a limit to fine patterning. In addition, in the pattern vapor deposition / pattern sputtering method of the above 2, although it is better than that of the above 1, since there is wraparound from the opening portion to the mask shielding portion, there is a limit to high density and high definition. . Therefore, as a method for responding to these demands, the above-mentioned method 3 in which a photo process is interposed is often used.

【0009】この方法では、レジスト層を用いたパター
ニングを行う場合には、パターン形成面が平坦であるこ
とが好ましいことから、透明電極が平坦な基板上にまず
形成されることが必要となる。
In this method, when patterning is performed using a resist layer, it is preferable that the transparent electrode is first formed on a flat substrate because the pattern forming surface is preferably flat.

【0010】透明電極は一般に酸化インジウムスズ(I
TO)からなることが多いが、どの材料系においても、
駆動を行うには抵抗値が高いために、銀などからなる抵
抗値の低い電極をさらに積層形成することが一般的であ
る。この抵抗値の低い電極は、発光領域をより大きく取
るために透明電極よりも細く形成されるのが一般的であ
る。この銀などから成る抵抗値の低い電極は反射率が高
く、この反射率の高い電極によって引き起こされるコン
トラストと色純度の低下を改善するために、絶縁基板上
に形成される透明電極上に、遮光性を持ちかつ導電性を
持つ黒色電極を積層し、その上にさらに上記の抵抗値の
低い電極を形成することが一般的である。
The transparent electrode is generally made of indium tin oxide (I
It often consists of (TO), but in any material system,
Since a high resistance value is required for driving, it is common to further stack and form an electrode made of silver or the like having a low resistance value. The electrode having a low resistance value is generally formed thinner than the transparent electrode in order to make the light emitting region larger. This low-resistance electrode made of silver or the like has a high reflectance, and in order to improve the deterioration of contrast and color purity caused by this high-reflectance electrode, a light-shielding electrode is formed on a transparent electrode formed on an insulating substrate. It is common to stack a black electrode having electrical conductivity and conductivity and further forming the electrode having a low resistance value thereon.

【0011】電極パターン以外の部分の発光領域を区画
する遮光に対しては、抵抗値の低い電極が形成された後
に、形成される遮光層がその役割を果たす。
The light-shielding layer formed after the electrode having a low resistance value is formed plays a role in light-shielding for partitioning the light-emitting region other than the electrode pattern.

【0012】これら黒色電極、電極、遮光層の形成方法
としては、以下の方法がある。 1.所望のパターンを有したスクリーン版を介在させた
スクリーン印刷法 2.所望のパターンを有したマスクを介在させた蒸着・
スパッタリング法 3.基板上の所望のパターン領域を含むエリアに、各種
コーティング法によりペーストをベタ塗布した後、レジ
スト層を形成し、その後フォトプロセスによるレジスト
層のパターン化、エッチング、レジスト層の剥離により
所望のパターンを得る方法。 4.基板上の所望のパターン領域を含むエリアに、各種
コーティング法により感光性ペーストをベタ塗布した
後、フォトプロセスにより所望のパターンを得る方法。
There are the following methods for forming these black electrodes, electrodes and light-shielding layers. 1. 1. Screen printing method with a screen plate having a desired pattern interposed Vapor deposition with a mask having a desired pattern
Sputtering method 3. An area including a desired pattern area on the substrate is solidly coated with a paste by various coating methods, and then a resist layer is formed, and then a desired pattern is formed by patterning the resist layer by a photo process, etching, and peeling the resist layer. How to get. 4. A method in which a desired pattern is obtained by a photo process after solid-coating a photosensitive paste onto an area including a desired pattern area on a substrate by various coating methods.

【0013】これら黒色電極、電極、遮光層の形成方法
においても透明電極と同様にフォトプロセスが用いられ
るが、より工程数の少ない簡便な方法である上記4の感
光性ペーストを用いた方法がよく用いられている。
In the method of forming the black electrode, the electrode and the light shielding layer, the photo process is used similarly to the case of the transparent electrode, but the method using the photosensitive paste of the above 4 which is a simple method with a smaller number of steps is preferable. It is used.

【0014】こうした理由により、前面板には、黒色電
極が必須であり、また、その構成は、絶縁基板から順に
透明電極、黒色電極、電極、遮光層というものであっ
た。
For these reasons, a black electrode is indispensable for the front plate, and its constitution is a transparent electrode, a black electrode, an electrode, and a light-shielding layer in order from the insulating substrate.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した手順
で前面板を作成すると、コントラストと色純度を上げる
ために必要な黒色電極と遮光層の2層を形成することに
よる工程数が増加するといった課題があった。
However, when the front plate is formed by the above procedure, the number of steps is increased by forming the two layers of the black electrode and the light-shielding layer which are necessary for improving the contrast and the color purity. There were challenges.

【0016】この工程数の増加を解決するために、特開
平10−92325号公報では、黒色電極と同じ構成物
で遮光層を同時に形成することが提案されている。しか
し、この方法では遮光層も導電性を持つため、電極と交
わらない平行なパターンに制限され、かつ誤放電や電極
材料のマイグレーション等による不良を引き起こす可能
性が高かった。
In order to solve the increase in the number of steps, Japanese Patent Laid-Open No. 10-92325 proposes to form a light shielding layer at the same time with the same composition as the black electrode. However, in this method, since the light-shielding layer also has conductivity, it is limited to a parallel pattern that does not intersect with the electrodes, and there is a high possibility of causing defects due to erroneous discharge, migration of electrode materials, and the like.

【0017】黒色電極を用いない方法として、特開平1
1−65482号公報にあるように絶縁基板に凹部
(溝)を設け、凹部中に遮光層、電極を形成した後、透
明電極を2層により形成する方法が提案されている。し
かし、この方法では、ガラス基板に凹部を設ける工程と
透明電極を2層により形成する工程とが新たに必要とな
る。また、この方法においては凹部に電極を形成するこ
とから、遮光層は電極パターンと同一パターンに制限さ
れていた。
As a method that does not use a black electrode, Japanese Patent Laid-Open No. HEI 1
As disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 1-65482, a method has been proposed in which a recess (groove) is provided in an insulating substrate, a light-shielding layer and an electrode are formed in the recess, and then a transparent electrode is formed by two layers. However, in this method, a step of forming a recess in the glass substrate and a step of forming the transparent electrode by two layers are newly required. Further, in this method, since the electrode is formed in the recess, the light shielding layer is limited to the same pattern as the electrode pattern.

【0018】そこで、本発明の目的は、上記した黒色電
極を必要とせず、かつ、表示領域内における遮光層の形
成パターンの自由度を高くできる、コントラストと色純
度に優れたプラズマディスプレイパネル、プラズマディ
スプレイパネル用部材およびその製造方法を提供するこ
とにある。なお、表示領域とはプラズマディスプレイパ
ネルの駆動において選択的に発光させることができる領
域を指し、通常、モニターとして画像が表現できる領域
となる。
Therefore, an object of the present invention is to eliminate the need for the above-mentioned black electrode and to increase the degree of freedom of the pattern for forming the light-shielding layer in the display area, which is excellent in contrast and color purity. It is to provide a member for a display panel and a method for manufacturing the same. The display area refers to an area where light can be selectively emitted when the plasma display panel is driven, and is usually an area where an image can be displayed as a monitor.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は以下の構成をとる。すなわち、本発明は、
少なくとも少なくとも絶縁基板、第1の電極、第2の電
極および遮光層を有するプラズマディスプレイパネル用
部材において、絶縁基板側から、遮光層、第1の電極、
第2の電極の順に積層され、かつ第1の電極が透明であ
ることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用部材
およびそれを用いたプラズマディスプレイパネルならび
にプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
In order to solve the above problems, the present invention has the following constitution. That is, the present invention is
In a member for a plasma display panel having at least an insulating substrate, a first electrode, a second electrode and a light shielding layer, the light shielding layer, the first electrode,
A member for a plasma display panel, a plasma display panel using the same, and a method for manufacturing the plasma display panel, wherein the second electrode is laminated in this order and the first electrode is transparent.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】本発明のプラズマディスプレイパ
ネル用部材とそれを用いたプラズマディスプレイパネル
は、少なくとも絶縁基板と透明電極と電極と遮光層とを
有しており、絶縁基板側から、遮光層、透明電極、電極
の順に積層したものである。以下、図面を用いて説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A member for a plasma display panel of the present invention and a plasma display panel using the same have at least an insulating substrate, a transparent electrode, an electrode, and a light-shielding layer. , A transparent electrode, and an electrode are laminated in this order. Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto.

【0021】図1は、本発明のプラズマディスプレイパ
ネル用部材の実施形態の一例を示したものである。
FIG. 1 shows an example of an embodiment of a member for a plasma display panel of the present invention.

【0022】図1において、まず、絶縁基板1上に遮光
層2を形成する。本発明に用いる絶縁基板としては、ガ
ラス基板やプラスチック基板等が挙げられる。後工程に
おいて乾燥工程や焼成工程を含むことから耐熱性がある
ことが寸法制御の面から好ましく、またこの絶縁基板を
通して視覚者は蛍光体発光光を見ることになるので絶縁
基板は透明であることが好ましい。これらの点から、ガ
ラス基板としては、ソーダガラスの他にPDP用の耐熱
ガラスである旭硝子社製の“PD200”や日本電気硝
子社製の“PP8”等を好ましく用いることができる。
In FIG. 1, first, the light shielding layer 2 is formed on the insulating substrate 1. Examples of the insulating substrate used in the present invention include a glass substrate and a plastic substrate. From the viewpoint of dimension control, it is preferable that it has heat resistance because it includes a drying process and a baking process in the subsequent process. Also, since the viewer will see the phosphor emission light through this insulating substrate, the insulating substrate must be transparent. Is preferred. From these points, as the glass substrate, in addition to soda glass, “PD200” manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., “PP8” manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., which is a heat-resistant glass for PDP, can be preferably used.

【0023】本発明における遮光層とは、パネル点灯時
のコントラストと色純度を上げるために、発光領域以外
で、ある発光単位セルを区画する部分の少なくとも一部
に形成する、可視光反射率が30%以下かつ可視光透過
率が30%以下の層をいう。ここで、発光単位セル10
とは、放電空間を仕切るリブ(隔壁)8とプラズマ放電
を起こす第1の電極3と第2の電極4からなる電極対9
とで仕切られる領域を指し、この発光単位セルを区画す
る部分11とは、リブと重なる領域と隣接する電極対間
の領域とがこれにあたる(図3(a)および図3
(b))。ここで、可視光反射率とは、波長400〜8
00nmの可視光に対する反射率の平均値を指し、これ
は例えば分光光度計にて測定することができる。また、
可視光透過率とは、波長400〜800nmの可視光に
対する透過率の平均値を指し、これは例えば分光光度計
にて測定することができる。
The light-shielding layer according to the present invention has a visible light reflectance of at least a part of a part which divides a certain light-emitting unit cell, other than the light-emitting region, in order to improve contrast and color purity when the panel is turned on. A layer having a visible light transmittance of 30% or less and a visible light transmittance of 30% or less. Here, the light emitting unit cell 10
Is a rib (partition wall) 8 for partitioning the discharge space, and an electrode pair 9 composed of a first electrode 3 and a second electrode 4 for generating plasma discharge.
The area 11 partitioned by and corresponds to the area 11 for partitioning the light emitting unit cell, that is, the area overlapping with the rib and the area between the adjacent electrode pairs (FIG. 3A and FIG. 3).
(B)). Here, the visible light reflectance is a wavelength of 400 to 8
This refers to the average value of reflectance for visible light of 00 nm, which can be measured by, for example, a spectrophotometer. Also,
Visible light transmittance refers to an average value of transmittance for visible light having a wavelength of 400 to 800 nm, which can be measured by, for example, a spectrophotometer.

【0024】視認者側からパネルを見る場合、可視光反
射率は外光によるコントラストに関与し、可視光反射率
が大きいほどコントラストが得にくくなる。可視光反射
率が30%以下であれば十分なコントラストを得ること
ができる。より好ましくは可視光反射率が20%以下、
さらに好ましくは10%以下の黒色遮光層である。ま
た、可視光透過率はパネル内部から発光される光による
コントラストに関与し、可視光透過率が大きいほどコン
トラストが得にくくなる。可視光透過率が30%以下で
あれば十分なコントラストを得ることができる。より好
ましくは可視光透過率が20%以下、さらに好ましくは
10%以下である。
When the panel is viewed from the viewer side, the visible light reflectance contributes to the contrast due to external light, and the higher the visible light reflectance, the more difficult it is to obtain the contrast. When the visible light reflectance is 30% or less, sufficient contrast can be obtained. More preferably, the visible light reflectance is 20% or less,
More preferably, it is a black light shielding layer of 10% or less. Further, the visible light transmittance is involved in the contrast due to the light emitted from the inside of the panel, and the larger the visible light transmittance, the more difficult it is to obtain the contrast. If the visible light transmittance is 30% or less, sufficient contrast can be obtained. The visible light transmittance is more preferably 20% or less, still more preferably 10% or less.

【0025】遮光層は、絶縁層である方が好ましい。導
電層であると、後の電極形成において短絡や誤放電、電
極材料のマイグレーション等による不良が起こる可能性
があり、遮光層の形成パターンが制限される、すなわ
ち、自由度が低くなるからである。
The light-shielding layer is preferably an insulating layer. This is because the conductive layer may cause a defect due to a short circuit, erroneous discharge, migration of electrode material, or the like in the subsequent electrode formation, and the pattern for forming the light shielding layer is limited, that is, the degree of freedom becomes low. .

【0026】遮光層の厚みは、薄くなれば薄くなるほ
ど、可視光透過率が増加し、目的とするコントラストと
色純度の向上効果が小さくなってしまう。この場合、遮
光層中に微細な無機微粒子を含有させることにより、薄
膜でも可視光透過率を抑制することができる。無機微粒
子の平均粒子径は10〜500nmの範囲内であるのが
好ましい。10nm未満であると、このような微細粒子
の製造が困難であるとともに、ペーストにて用いる場合
にペーストのチクソトロピー性が大きくなりすぎてしま
う。500nmを超えると薄膜化した場合に、遮光層中
に緻密に含有させることが困難になりやすく可視光透過
率を抑制しにくくなる。より好ましくは10〜100n
mの範囲内である。
As the thickness of the light shielding layer becomes thinner, the visible light transmittance increases, and the effect of improving the desired contrast and color purity becomes smaller. In this case, by including fine inorganic fine particles in the light shielding layer, the visible light transmittance can be suppressed even in a thin film. The average particle diameter of the inorganic fine particles is preferably within the range of 10 to 500 nm. When it is less than 10 nm, it is difficult to produce such fine particles, and when used in a paste, the thixotropy of the paste becomes too large. If the thickness exceeds 500 nm, it becomes difficult to make it densely contained in the light-shielding layer, and it becomes difficult to suppress the visible light transmittance when the thickness is reduced. More preferably 10 to 100n
It is within the range of m.

【0027】可視光反射率を抑制するために、無機微粒
子として黒色無機顔料、黒色金属微粒子を用いると良
い。例えば、Cr、Co、Ni、Fe、Mn等の酸化
物、複合酸化物がこれにあたり、複合酸化物としてはC
o−Cr−Fe、Co−Mn−Fe、Co−Fe−Mn
−Al、Co−Ni−Cr−Fe等を挙げることができ
る。これらを単独または2種以上を組み合わせて用いる
ことができる。また、ガラス溶融時にこれら黒色を呈す
る無機微粒子を含有させて作られる黒色ガラス粉末を用
いて遮光層を形成することもできる。
In order to suppress visible light reflectance, it is preferable to use black inorganic pigments or black metal fine particles as the inorganic fine particles. For example, an oxide such as Cr, Co, Ni, Fe, Mn, or a complex oxide corresponds to this, and a complex oxide is C.
o-Cr-Fe, Co-Mn-Fe, Co-Fe-Mn
-Al, Co-Ni-Cr-Fe, etc. can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more. Further, the light-shielding layer can also be formed by using a black glass powder made by containing these inorganic fine particles exhibiting a black color when the glass is melted.

【0028】この遮光層の形成は、スクリーン印刷法や
蒸着・スパッタ法、フォトプロセス法等のいずれの方法
にても形成することができるが、フォトプロセス法、と
りわけ感光性ペースト法を用いる方が簡便に精度良く形
成することができる。
The light-shielding layer can be formed by any of the screen printing method, the vapor deposition / sputtering method, the photo process method, etc., but the photo process method, especially the photosensitive paste method is preferably used. It can be formed easily and accurately.

【0029】例えばCr、Co、Niの酸化物からなる
黒色無機顔料と低融点ガラスフリットとを感光性有機成
分を含むバインダーとで混合した感光性黒色ペーストを
作製する。かくして得られた感光性黒色ペーストを絶縁
基板1上に塗布し、露光、現像を経て所望のパターンを
形成し、さらに焼成することによって本発明の遮光層2
を得ることができる。
For example, a photosensitive black paste is prepared by mixing a black inorganic pigment composed of an oxide of Cr, Co, Ni and a low-melting glass frit with a binder containing a photosensitive organic component. The photosensitive black paste thus obtained is applied onto the insulating substrate 1, exposed to light and developed to form a desired pattern, and then baked to obtain a light-shielding layer 2 of the present invention.
Can be obtained.

【0030】遮光層の形状としては、発光単位セルを区
画する部分の少なくとも一部に形成されておれば良く、
パネル点灯上、表示に関与しない表示領域外に至っては
いかなる形状をしていても良い。表示領域内において、
発光単位セルを区画するおよそ4辺の内、2辺からなる
ストライプパターンや4辺からなるマトリックスパター
ンであると形成確認検査等が行いやすいので、より好ま
しい。
As for the shape of the light-shielding layer, it may be formed on at least a part of the part that divides the light emitting unit cell,
When the panel is lit, any shape may be provided outside the display area that is not involved in the display. In the display area,
It is more preferable to use a stripe pattern consisting of two sides or a matrix pattern consisting of four sides among the approximately four sides that divide the light-emitting unit cell, because a formation confirmation inspection and the like can be easily performed.

【0031】また、この後形成される電極での反射を防
止するために、表示領域内において電極の形状を含む形
状とすると、より好ましい。(図4〜図6)遮光層の厚
みは薄ければ薄いほど、後工程で形成される透明電極等
が塗布形成しやすくなるため、よい。好ましくは0.1
〜2μmの範囲である。より好ましくは0.1〜1μm
の範囲内である。
Further, in order to prevent reflection at the electrode formed thereafter, it is more preferable to have a shape including the shape of the electrode in the display area. (FIGS. 4 to 6) The thinner the light-shielding layer, the better because the transparent electrode or the like formed in a later step can be easily applied and formed. Preferably 0.1
˜2 μm. More preferably 0.1 to 1 μm
Within the range of.

【0032】次に、遮光層2上に、第1の電極3を形成
する。この第1の電極は透明な電極であるが、その形成
は、絶縁基板上に遮光層が形成された上、つまり、段差
を持つ面上になされる必要があるため、真空蒸着法やス
パッタリング法では段差部分での接合に難があり、下記
する感光性透明導電ペーストを用いたフォトプロセス法
が最も有効な手段である。
Next, the first electrode 3 is formed on the light shielding layer 2. This first electrode is a transparent electrode, but since it needs to be formed on the insulating substrate on which the light-shielding layer is formed, that is, on the surface having the step, the vacuum evaporation method or the sputtering method. However, since there is difficulty in joining at the step portion, the photo-process method using a photosensitive transparent conductive paste described below is the most effective means.

【0033】この透明電極を形成するために本発明で
は、透明導電性粉末と有機成分とを含み、有機成分とし
て少なくとも光反応性の化合物を含有するペーストを用
いることが好ましい。本発明で使用する感光性透明導電
ペーストは、フォトリソグラフィーを用いたパターン形
成後に焼成を行い、実質的に無機物からなるパターンを
形成する際に好適に用いられるものである。
In order to form this transparent electrode, in the present invention, it is preferable to use a paste containing a transparent conductive powder and an organic component, and containing at least a photoreactive compound as the organic component. The photosensitive transparent conductive paste used in the present invention is preferably used when a pattern is formed by photolithography and then baked to form a pattern substantially made of an inorganic material.

【0034】このような感光性透明導電ペーストで使用
する有機成分は、少なくとも光反応性化合物、例えば、
光反応性モノマー、光反応性オリゴマー、光反応性ポリ
マーなどを含むことが必要である。ここで、反応性と
は、感光性をもつペーストが活性光線の照射を受けた場
合に、反応性モノマー、反応性オリゴマー、反応性ポリ
マーが、光架橋、光重合、光解重合、光変性などの反応
を通して化学構造が変化することを意味する。
The organic component used in such a photosensitive transparent conductive paste is at least a photoreactive compound, for example,
It is necessary to include a photoreactive monomer, a photoreactive oligomer, a photoreactive polymer and the like. Here, the reactivity means that when the photosensitive paste is exposed to actinic rays, the reactive monomer, the reactive oligomer, and the reactive polymer are photocrosslinked, photopolymerized, photodepolymerized, and photomodified. Means that the chemical structure changes through the reaction.

【0035】感光性透明導電ペーストで使用する有機成
分は、カルボキシル基を有する共重合体を含有すること
が好ましい。カルボキシル基を有する共重合体として
は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、
クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸または
これらの酸無水物などのカルボキシル基含有モノマーお
よびメタクリル酸エステル、アクリル酸エステル、スチ
レン、アクリロニトリル、酢酸ビニル、2−ヒドロキシ
アクリレートなどのモノマーを選択し、アゾビスイソブ
チロニトリルのような開始剤を用いて共重合することに
より得られるものが挙げられる。
The organic component used in the photosensitive transparent conductive paste preferably contains a copolymer having a carboxyl group. As the copolymer having a carboxyl group, for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid,
Select a carboxyl group-containing monomer such as crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid or an acid anhydride thereof and a monomer such as methacrylic acid ester, acrylic acid ester, styrene, acrylonitrile, vinyl acetate, 2-hydroxy acrylate, Examples thereof include those obtained by copolymerizing with an initiator such as azobisisobutyronitrile.

【0036】また、カルボキシル基を有する共重合体と
しては、焼成時の熱分解温度が低いことから、(メタ)
アクリル酸エステルおよび(メタ)アクリル酸を共重合
成分とする共重合体が好ましく用いられる。とりわけ、
スチレン/メタクリル酸メチル/メタクリル酸共重合体
が好ましく用いられる。
Further, a copolymer having a carboxyl group has a low thermal decomposition temperature during firing, and therefore (meth)
A copolymer containing acrylic acid ester and (meth) acrylic acid as a copolymerization component is preferably used. Above all,
A styrene / methyl methacrylate / methacrylic acid copolymer is preferably used.

【0037】カルボキシル基を有する共重合体の樹脂酸
価は50〜150mgKOH/gであることが好まし
い。酸価が150mgKOH/g以下とすることで、現
像許容幅を広くとることができる。また、酸価が50m
gKOH/g以上とすることで、未露光部の現像液に対
する溶解性が低下することなく、従って現像液濃度を濃
くする必要がなく露光部の剥がれを防ぎ、高精細なパタ
ーンが得ることができる。
The resin acid value of the copolymer having a carboxyl group is preferably 50 to 150 mgKOH / g. By setting the acid value to 150 mgKOH / g or less, it is possible to widen the development allowable range. Also, the acid value is 50m
By setting it to gKOH / g or more, the solubility of the unexposed area in the developing solution does not decrease, and therefore it is not necessary to increase the concentration of the developing solution and the exfoliation of the exposed area can be prevented, and a highly precise pattern can be obtained. .

【0038】さらに、カルボキシル基を有する共重合体
が側鎖にエチレン性不飽和基を有することも好ましい。
エチレン性不飽和基としては、アクリル基、メタクリル
基、ビニル基、アリル基などが挙げられる。
Further, it is also preferable that the copolymer having a carboxyl group has an ethylenically unsaturated group in its side chain.
Examples of the ethylenically unsaturated group include an acrylic group, a methacrylic group, a vinyl group and an allyl group.

【0039】また、カルボキシル基を有する共重合体の
添加量は、適切な露光量を得ることができるという点
で、溶媒を除いた有機成分中の10〜90重量%である
ことが好ましい。
The addition amount of the copolymer having a carboxyl group is preferably 10 to 90% by weight in the organic component excluding the solvent from the viewpoint that an appropriate exposure amount can be obtained.

【0040】また、本発明に用いる感光性ペーストは、
透明導電性粉末を含むことが好ましい。透明導電性粉末
として、酸化錫や酸化インジウム、およびその複合酸化
物である酸化インジウム錫(ITO)などの公知の透明
導電性金属酸化物を主成分とした粉末や、透明なガラス
粉末などの透明非導電性無機粉末にこれら透明導電性金
属酸化物を被膜した粉末などが好ましく用いられる。
The photosensitive paste used in the present invention is
It is preferable to include transparent conductive powder. As the transparent conductive powder, a powder containing a known transparent conductive metal oxide such as tin oxide, indium oxide, and indium tin oxide (ITO) that is a composite oxide thereof as a main component, or transparent glass powder such as transparent A powder obtained by coating a non-conductive inorganic powder with these transparent conductive metal oxides is preferably used.

【0041】ここで、透明導電性粉末は、ペースト中に
10〜60重量%含まれることが好ましい。さらに好ま
しくは15〜50重量%の範囲内である。通常のディス
プレイに用いられる基板上にパターン加工ができやすく
なるためである。また、本発明では、さらに透明非導電
性無機粉末を含むこともできる。これにより、パターン
形成厚みや透明導電性粉末と透明非導電性無機粉末との
比率を調整することで所望の抵抗値をとるパターンの達
成や異方導電性膜の達成ができることとなる。
Here, the transparent conductive powder is preferably contained in the paste in an amount of 10 to 60% by weight. It is more preferably in the range of 15 to 50% by weight. This is because it becomes easy to perform pattern processing on a substrate used for a normal display. Further, in the present invention, a transparent non-conductive inorganic powder can be further included. This makes it possible to achieve a pattern having a desired resistance value or an anisotropic conductive film by adjusting the pattern formation thickness and the ratio of the transparent conductive powder to the transparent non-conductive inorganic powder.

【0042】また、透明導電性粉末の平均粒子径は10
nm〜500nmであることが好ましい。それにより、
パターン形成厚みが1μm以下という薄膜パターンを達
成することができるためである。とりわけ、透明導電性
粉末の平均粒子径を10nm〜100nmとすることに
より、薄膜かつ低抵抗パターンを達成することができ
る。なお、本発明において、透明導電性粉末の平均粒子
径の測定は、ペースト中の透明導電性粉末を走査型電子
顕微鏡で観察し、透明導電性粉末の長手方向の径を10
0個分測り、その平均値をもって透明導電性粉末の平均
粒子径とした。観察にあたっては、長手方向の径が確
認、測定できるものを100個選び、他の粉末と重なっ
て確認できない透明導電性粉末は対象から除いた。
The average particle diameter of the transparent conductive powder is 10
It is preferably from nm to 500 nm. Thereby,
This is because a thin film pattern having a pattern formation thickness of 1 μm or less can be achieved. Particularly, by setting the average particle size of the transparent conductive powder to 10 nm to 100 nm, a thin film and a low resistance pattern can be achieved. In the present invention, the average particle size of the transparent conductive powder is measured by observing the transparent conductive powder in the paste with a scanning electron microscope, and measuring the diameter of the transparent conductive powder in the longitudinal direction to 10
Zero particles were measured, and the average value thereof was defined as the average particle diameter of the transparent conductive powder. In the observation, 100 particles whose diameter in the longitudinal direction could be confirmed and measured were selected, and transparent conductive powder which could not be confirmed because it overlapped with other powders was excluded from the object.

【0043】本発明に用いる感光性ペーストには、光重
合開始剤をさらに含ませることができる。光重合開始剤
は、ラジカル種を発生するものから選んで用いることが
でき、また、1種または2種以上使用することができ
る。光重合開始剤は、溶媒を除いた有機成分全量中、好
ましくは0.05〜20重量%、さらに好ましくは、
0.1〜20重量%である。光重合開始剤の添加量をこ
の範囲内とすることにより、露光部の残存率を保ちつつ
良好な光感度を得ることができる。
The photosensitive paste used in the present invention may further contain a photopolymerization initiator. The photopolymerization initiator may be selected from those that generate radical species, and may be used alone or in combination of two or more. The photopolymerization initiator is preferably 0.05 to 20% by weight in the total amount of organic components excluding the solvent, more preferably,
It is 0.1 to 20% by weight. By setting the addition amount of the photopolymerization initiator within this range, good photosensitivity can be obtained while maintaining the residual ratio of the exposed portion.

【0044】また、光重合開始剤と共に増感剤を使用
し、感度を向上させたり、反応に有効な波長範囲を拡大
することができる。また、1種または2種以上使用する
ことができる。なお、増感剤の中には光重合開始剤とし
ても使用できるものがある。増感剤を感光性透明導電ペ
ーストに添加する場合、その添加量は溶媒を除いた有機
成分全量中、好ましくは0.05〜20重量%、より好
ましくは0.1〜20重量%である。増感剤の添加量を
この範囲内とすることにより、露光部の残存率を保ちつ
つ良好な光感度を得ることができる。
Further, by using a sensitizer together with the photopolymerization initiator, the sensitivity can be improved and the wavelength range effective for the reaction can be expanded. Moreover, 1 type (s) or 2 or more types can be used. Some sensitizers can also be used as photopolymerization initiators. When the sensitizer is added to the photosensitive transparent conductive paste, the amount thereof added is preferably 0.05 to 20% by weight, more preferably 0.1 to 20% by weight, based on the total amount of the organic components excluding the solvent. By setting the addition amount of the sensitizer within this range, good photosensitivity can be obtained while maintaining the residual ratio of the exposed portion.

【0045】感光性ペーストでは、通常、分散させる微
粒子と有機成分との屈折率差から、露光光によるペース
ト内部の光散乱は避け難く、それに起因すると考えられ
るパターン形状の太りやパターン間の埋り(残膜形成)
が発生しやすく、より微細な高精細なパターンにおいて
影響が出やすい。
In the photosensitive paste, it is usually difficult to avoid light scattering inside the paste due to exposure light due to the difference in refractive index between the fine particles to be dispersed and the organic component. (Residual film formation)
Is likely to occur and is likely to be affected in a finer and finer pattern.

【0046】そこで本発明に用いられる感光性ペースト
おいては、重合禁止剤が好ましく添加される。重合禁止
剤を添加することで、露光光によるペースト内部でおこ
るラジカル重合の内、重合禁止剤の種類およびその添加
量に応じた一定量のラジカル重合を抑制できる。これに
より散乱光のような弱い光に対しての光反応を抑制する
ことができる。よって、より微細なパターンをシャープ
に形成することができるため好ましく用いることができ
る。本発明における重合禁止剤は、重合禁止剤として使
用できるものであれば特に制限はなく、例えば、p−ベ
ンゾキノン、ナフトキノン、ジ−t−ブチル・パラクレ
ゾール、ヒドロキノンモノメチルエーテル、α−ナフト
ール、アセトアニジンアセテート、ヒドラジン塩酸塩、
トリメチルベンジルアンモニウムクロリド、ジニトロベ
ンゼン、ピクリン酸、キノンジオキシム、ピロガロー
ル、タンニン酸、レゾルミン、クペロンなどが挙げられ
る。
Therefore, a polymerization inhibitor is preferably added to the photosensitive paste used in the present invention. By adding the polymerization inhibitor, it is possible to suppress a certain amount of radical polymerization, which occurs in the paste due to exposure light, depending on the type of the polymerization inhibitor and the addition amount thereof. This makes it possible to suppress photoreaction to weak light such as scattered light. Therefore, a finer pattern can be formed sharply, which is preferably used. The polymerization inhibitor in the present invention is not particularly limited as long as it can be used as a polymerization inhibitor, and examples thereof include p-benzoquinone, naphthoquinone, di-t-butyl paracresol, hydroquinone monomethyl ether, α-naphthol and acetani. Ginacetate, hydrazine hydrochloride,
Trimethylbenzylammonium chloride, dinitrobenzene, picric acid, quinone dioxime, pyrogallol, tannic acid, resormine, cuperone and the like can be mentioned.

【0047】重合禁止剤の添加量は、溶媒を除いた有機
成分全量中、好ましくは0.001〜3重量%、より好
ましくは0.01〜2重量%の範囲内である。この範囲
より少なければ重合禁止の効果が発揮されず、光散乱に
よる低い露光量でも硬化し、パターン形状の太りが起こ
りやすい。また、この範囲より多くなると感度が低下
し、多くの露光量を必要とするので注意を要する。
The amount of the polymerization inhibitor added is preferably 0.001 to 3% by weight, more preferably 0.01 to 2% by weight, based on the total amount of the organic components excluding the solvent. If the amount is less than this range, the effect of inhibiting the polymerization is not exhibited, and even if the exposure amount is low due to light scattering, the composition is cured and the pattern shape is likely to be thickened. Further, if the amount is more than this range, the sensitivity is lowered and a large amount of exposure is required.

【0048】また、本発明で用いられる感光性ペースト
においては、紫外線吸収剤が好ましく添加される。紫外
線吸収剤を添加することで、露光光によるペースト内部
の散乱光を吸収し、散乱光を弱めることができる。これ
により、より微細なパターンをシャープに形成すること
ができるため好ましく用いることができる。紫外線吸収
剤としては、有機系染料からなるものが好ましく用いら
れる。具体的には、アゾ系染料、アミノケトン系染料、
キサンテン系染料、キノリン系染料、アントラキノン系
染料、ベンゾフェノン系染料、ジフェニルシアノアクリ
レート系染料、トリアジン系染料、p−アミノ安息香酸
系染料などが使用できる。有機系染料は、焼成後の絶縁
膜中に残存しないので、紫外線吸収剤による絶縁膜特性
の低下を少なくできるので好ましい。これらの中でも、
アゾ系およびベンゾフェノン系染料が好ましい。
An ultraviolet absorber is preferably added to the photosensitive paste used in the present invention. By adding the ultraviolet absorber, the scattered light inside the paste due to the exposure light can be absorbed and the scattered light can be weakened. This makes it possible to form a finer pattern sharply, and therefore can be preferably used. As the ultraviolet absorber, those composed of organic dyes are preferably used. Specifically, azo dyes, aminoketone dyes,
Xanthene dyes, quinoline dyes, anthraquinone dyes, benzophenone dyes, diphenylcyanoacrylate dyes, triazine dyes, p-aminobenzoic acid dyes and the like can be used. The organic dye is preferable because it does not remain in the insulating film after firing, and thus the deterioration of the insulating film characteristics due to the ultraviolet absorber can be suppressed. Among these,
Azo and benzophenone dyes are preferred.

【0049】紫外線吸収剤の添加量は、溶媒を除いた有
機成分全量中、好ましくは0.001〜2重量%、より
好ましくは0.01〜1重量%の範囲内である。この範
囲内とすることにより、透過限界波長および波長傾斜幅
を所望範囲内にとどめ、露光光の透過率、感光性ペース
トの感度を保持しつつ散乱光の吸収効果を得ることがで
きるためである。
The amount of the ultraviolet absorber added is preferably 0.001 to 2% by weight, more preferably 0.01 to 1% by weight, based on the total amount of the organic components excluding the solvent. This is because by setting it within this range, it is possible to keep the transmission limit wavelength and the wavelength inclination width within the desired range, and obtain the effect of absorbing scattered light while maintaining the transmittance of exposure light and the sensitivity of the photosensitive paste. .

【0050】ペーストを基板に塗布する時の粘度を塗布
方法に応じて調整するために有機溶媒がよく用いられ
る。このとき使用される有機溶媒としては、メチルセロ
ソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチル
エチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノ
ン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプ
ロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスル
フォキシド、γ−ブチロラクトン、ブロモベンゼン、ク
ロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、
ブロモ安息香酸、クロロ安息香酸などや、これらのうち
の1種以上を含有する有機溶媒混合物が用いられる。
An organic solvent is often used to adjust the viscosity when the paste is applied to the substrate according to the application method. As the organic solvent used at this time, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, bromobenzene, Chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene,
Bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid, etc., and an organic solvent mixture containing one or more of them are used.

【0051】本発明で用いる感光性ペーストには、その
他、必要に応じて、光酸発生剤、光塩基発生剤、増感助
剤、分散剤、可塑剤、増粘剤、酸、塩基、沈降防止剤、
酸化防止剤などの添加剤成分を加えることができる。
In the photosensitive paste used in the present invention, in addition, if necessary, a photo-acid generator, a photo-base generator, a sensitization aid, a dispersant, a plasticizer, a thickener, an acid, a base and a precipitate. Inhibitor,
Additive components such as antioxidants can be added.

【0052】例えば、バインダー成分が必要な場合に
は、ポリマーとして、例えば、ポリビニルアルコール、
ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重合体、
アクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル−メタ
クリル酸エステル共重合体、ブチルメタクリレート樹脂
などを用いることができる。
For example, when a binder component is required, the polymer such as polyvinyl alcohol,
Polyvinyl butyral, methacrylic acid ester polymer,
Acrylic acid ester polymers, acrylic acid ester-methacrylic acid ester copolymers, butyl methacrylate resins and the like can be used.

【0053】本発明で用いる感光性ペーストは、透明導
電性粉末、透明非導電性無機粉末、感光性有機成分、バ
インダー成分、光重合開始剤、および有機溶媒などの各
種成分を所定の組成となるように調合した後、3本ロー
ラや混練機で均質に混合分散し作製する。
The photosensitive paste used in the present invention has various components such as transparent conductive powder, transparent non-conductive inorganic powder, photosensitive organic component, binder component, photopolymerization initiator, and organic solvent in a predetermined composition. After being mixed as described above, it is prepared by uniformly mixing and dispersing with a three-roller or a kneader.

【0054】ペーストの粘度は透明導電性粉末、透明非
導電性無機粉末、増粘剤、有機溶媒、可塑剤および沈降
防止剤などの添加割合によって適宜調整されるが、その
範囲は10〜20万cps(センチ・ポイズ)である。
例えば、基板への塗布をスピンコート法やディップコー
ト法、スプレー法で行う場合は、10〜5000cps
が好ましい。スクリーン印刷法で行う場合は、5000
〜20万cpsが好ましい。ブレードコーター法やダイ
コーター法などを用いる場合は、5000〜5万cps
が好ましい。
The viscosity of the paste is appropriately adjusted by the addition ratio of transparent conductive powder, transparent non-conductive inorganic powder, thickener, organic solvent, plasticizer, anti-settling agent, etc., but the range is 100,000 to 200,000. cps (centimeter poise).
For example, 10 to 5000 cps when the substrate is coated by spin coating, dip coating, or spraying.
Is preferred. 5000 when using screen printing
~ 200,000 cps is preferred. When using a blade coater method or a die coater method, 5000-50,000 cps
Is preferred.

【0055】かくして得られた感光性透明導電ペースト
を形成面上に塗布し、露光、現像を経てパターンを形成
し、さらに焼成することによって本発明の透明電極3
(第1の電極)を得ることができる。ここでのパターン
加工を行う一例について説明するが、本発明はこれに限
定されない。
The transparent electrode 3 of the present invention is prepared by applying the photosensitive transparent conductive paste thus obtained on the formation surface, exposing and developing it to form a pattern, and then baking it.
(First electrode) can be obtained. An example of performing the pattern processing here will be described, but the present invention is not limited to this.

【0056】形成面上に、感光性透明導電ペーストを全
面塗布、もしくは部分的に塗布する。塗布方法として
は、スクリーン印刷法、バーコーター、ロールコータ
ー、ダイコーター、ブレードコーターなどの方法を用い
ることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンの
メッシュ、ペーストの粘度を選ぶことによって調整でき
る。
The photosensitive transparent conductive paste is applied on the entire surface or partially on the formation surface. As a coating method, a screen printing method, a bar coater, a roll coater, a die coater, a blade coater, or the like can be used. The coating thickness can be adjusted by selecting the number of coatings, the screen mesh, and the viscosity of the paste.

【0057】塗布した後、露光装置を用いて露光を行
う。露光装置としては、プロキシミティ露光機などを用
いることができる。また、大面積の露光を行う場合は、
形成面上に感光性透明導電ペーストを塗布した後に、搬
送しながら露光を行うことによって、小さな露光面積の
露光機で、大きな面積を露光することができる。
After coating, exposure is performed using an exposure device. As the exposure device, a proximity exposure device or the like can be used. When exposing a large area,
A large area can be exposed by an exposure device having a small exposure area by applying the photosensitive transparent conductive paste on the formation surface and then performing exposure while transporting.

【0058】露光後、露光部分と未露光部分の現像液に
対する溶解度差を利用して現像を行うが、この場合、浸
漬法やスプレー法、ブラシ法で行う。現像処理に用いる
現像液は、水を主成分とすることがコストや環境負荷の
面においても好ましい。現像液には、感光性透明導電ペ
ースト中の有機成分が溶解可能である有機溶媒、例えば
エチルアルコールやメチルアルコールといったアルコー
ル類等を用いることができる。また、該有機溶媒にその
溶解力が失われない範囲で水を添加してもよい。感光性
をもつペースト中にカルボキシル基などの酸性基をもつ
化合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像できる。
アルカリ水溶液としては水酸化ナトリウムや炭酸ナトリ
ウム、水酸化カルシウム水溶液などが使用できるが、有
機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時にアルカリ成分を
除去しやすいので好ましい。
After the exposure, the development is carried out by utilizing the difference in the solubility between the exposed portion and the unexposed portion in the developing solution. In this case, the dipping method, the spray method or the brush method is used. It is preferable that the developing solution used for the developing treatment contains water as a main component in terms of cost and environmental load. As the developing solution, an organic solvent capable of dissolving the organic component in the photosensitive transparent conductive paste, for example, alcohols such as ethyl alcohol and methyl alcohol can be used. Further, water may be added to the organic solvent within the range in which the dissolving power is not lost. When a compound having an acidic group such as a carboxyl group is present in the photosensitive paste, it can be developed with an aqueous alkaline solution.
As the alkaline aqueous solution, sodium hydroxide, sodium carbonate, calcium hydroxide aqueous solution or the like can be used, but it is preferable to use the organic alkaline aqueous solution because the alkaline component can be easily removed during firing.

【0059】有機アルカリとしては、一般的なアミン化
合物を用いることができる。具体的には、テトラメチル
アンモニウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアン
モニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエ
タノールアミンなどが挙げられる。
As the organic alkali, a general amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine and diethanolamine.

【0060】アルカリ水溶液の濃度は通常0.05〜5
重量%、より好ましくは0.1〜1重量%である。アル
カリ濃度が低すぎれば可溶部が除去されず、アルカリ濃
度が高すぎれば、パターン部を剥離させ、また非可溶部
を腐食させるおそれがあり良くない。また、現像時の現
像温度は、20〜50℃で行うことが工程管理上好まし
い。
The concentration of the alkaline aqueous solution is usually 0.05 to 5
%, More preferably 0.1 to 1% by weight. If the alkali concentration is too low, the soluble portion is not removed. If the alkali concentration is too high, the pattern portion may be peeled off and the non-soluble portion may be corroded, which is not good. The development temperature during development is preferably 20 to 50 ° C. for process control.

【0061】次に焼成炉にて焼成を行う。焼成雰囲気や
温度は、ペーストや絶縁基板の種類によって異なるが、
空気中、窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉
としては、バッチ式の焼成炉やベルト式の連続型焼成炉
を用いることができる。
Next, firing is performed in a firing furnace. The firing atmosphere and temperature vary depending on the type of paste and insulating substrate,
Firing is performed in air, in an atmosphere of nitrogen, hydrogen, or the like. As the firing furnace, a batch firing furnace or a belt type continuous firing furnace can be used.

【0062】焼成は通常400〜1000℃で行う。ガ
ラス基板上にパターン加工する場合は、480〜610
℃の温度で10〜120分間保持して焼成を行うことが
好ましい。
The firing is usually carried out at 400 to 1000 ° C. When patterning on a glass substrate, 480-610
It is preferable to carry out the firing while maintaining the temperature at 10 ° C for 10 to 120 minutes.

【0063】ここで、形成する透明電極3の厚みは遮光
層2の厚みの0.5倍以上とすることが好ましい。透明
電極パターンが遮光層パターンよりも広い部分において
も断線することなく導通を得ることができるためであ
る。形成する透明電極3の厚みが遮光層2の厚みの50
倍を超えて厚くなりすぎると透明電極の透過率が低下
し、表示品位が落ちる傾向になるため、好ましくない。
より好ましくは透明電極3の厚みは、遮光層2の厚みの
0.5〜20倍の範囲内であり、さらに好ましくは0.
5〜5倍の範囲内である。好ましい透明電極の厚みの範
囲は0.01〜2μmで、とりわけ好ましいのは0.0
5〜1μmの範囲内である。
Here, the thickness of the transparent electrode 3 formed is preferably 0.5 times or more the thickness of the light shielding layer 2. This is because conduction can be obtained without breaking even in a portion where the transparent electrode pattern is wider than the light shielding layer pattern. The thickness of the transparent electrode 3 formed is 50 times the thickness of the light shielding layer 2.
If the thickness is more than doubled and becomes too thick, the transmittance of the transparent electrode is lowered and the display quality tends to be deteriorated, which is not preferable.
More preferably, the thickness of the transparent electrode 3 is in the range of 0.5 to 20 times the thickness of the light-shielding layer 2, and even more preferably 0.
It is in the range of 5 to 5 times. The thickness range of the transparent electrode is preferably 0.01 to 2 μm, and particularly preferably 0.0.
It is within the range of 5 to 1 μm.

【0064】次に、透明電極3上に、第2の電極4を形
成する。第2の電極4は銀、金、Al、Ni、Cu、C
r等の公知の金属導電性材料を主成分として形成するこ
とができる。
Next, the second electrode 4 is formed on the transparent electrode 3. The second electrode 4 is silver, gold, Al, Ni, Cu, C
A known metal conductive material such as r can be formed as a main component.

【0065】この電極の形成には、スクリーン印刷法や
蒸着・スパッタ法、フォトプロセス法等のいずれの方法
にても形成することができるが、フォトプロセス法、と
りわけ感光性ペースト法を用いる方が簡便に精度良く形
成することができる。例えば銀からなる金属導電性微粒
子と低融点ガラスフリットと感光性有機成分とを含むバ
インダーとで混合した感光性導電ペーストを作製する。
かくして得られた 感光性導電ペーストを形成面上に塗
布し、露光、現像を経てパターンを形成し、さらに焼成
することによって本発明の第2の電極4を得ることがで
きる。
The electrodes can be formed by any of the screen printing method, the vapor deposition / sputtering method, the photo process method, etc., but the photo process method, especially the photosensitive paste method is preferably used. It can be formed easily and accurately. For example, a photosensitive conductive paste is prepared by mixing metal conductive fine particles made of silver, a low melting point glass frit, and a binder containing a photosensitive organic component.
The second electrode 4 of the present invention can be obtained by applying the photosensitive conductive paste thus obtained on the formation surface, exposing and developing it to form a pattern, and then baking.

【0066】この後、一般的には低融点ガラス等の絶縁
膜からなる厚み20〜50μmの誘電体層を形成し、そ
の全表面に酸化マグネシウム(MgO)からなる厚み数
千オングストローム程度の保護層を形成することによっ
て前面板は作製できるが、本発明においては、これに限
定されず、カラーフィルター等を第2の電極上や誘電体
層中に形成しても良いし、保護層上に隔壁(リブ)や蛍
光体層を形成しても良い。
After that, a dielectric layer having a thickness of 20 to 50 μm, which is generally made of an insulating film such as low melting point glass, is formed, and a protective layer made of magnesium oxide (MgO) and having a thickness of about several thousand angstroms is formed on the entire surface thereof. Although the front plate can be manufactured by forming the above, the present invention is not limited to this, and a color filter or the like may be formed on the second electrode or in the dielectric layer, or a partition wall may be formed on the protective layer. (Rib) or a phosphor layer may be formed.

【0067】一方、背面板は一般的に絶縁基板上にアド
レス電極、背面誘電体層、リブ、蛍光体層を順に形成し
て作製することができる。アドレス電極は、銀、金、A
l、Ni、Cu、Cr等の公知の金属導電性材料を主成
分として形成され、その形成方法は前面板の第2の電極
と同じ方法で作製することができる。背面誘電体層は必
ずしも必須ではないが放電の安定性のために形成する方
が好ましく、その場合には低融点ガラス等からなる厚み
5〜30μmの絶縁膜を形成する。放電空間の一部ある
いは全部を区画するリブは低融点ガラス等からなる高さ
50〜200μm、幅20〜200μmの矩形状や台形
状、テーパー状等の絶縁物である。蛍光体層は、R
(赤)、G(緑)、B(青)の3原色をそれぞれの色を
発光させたい放電空間内、つまり発光させたいリブ間に
形成する。この際、アドレス電極上面およびリブ側面を
含めた背面板の内面を被覆するように形成する方が、発
光輝度や発光効率を高くすることができるため好まし
い。
On the other hand, the back plate can be generally manufactured by sequentially forming an address electrode, a back dielectric layer, a rib and a phosphor layer on an insulating substrate. Address electrodes are silver, gold, A
A known metal conductive material such as 1, Ni, Cu, or Cr is formed as a main component, and the formation method can be the same as that of the second electrode of the front plate. The back dielectric layer is not always essential, but it is preferably formed for the stability of discharge, and in that case, an insulating film of 5 to 30 μm in thickness made of low melting point glass or the like is formed. The ribs that partition a part or the whole of the discharge space are made of low-melting glass or the like and have a rectangular shape, a trapezoidal shape, a tapered shape or the like with a height of 50 to 200 μm and a width of 20 to 200 μm. The phosphor layer is R
The three primary colors of (red), G (green), and B (blue) are formed in the discharge space where each color is to be emitted, that is, between the ribs where emission is desired. At this time, it is preferable to form so as to cover the inner surface of the back plate including the upper surface of the address electrode and the rib side surface, because the light emission luminance and the light emission efficiency can be increased.

【0068】このようにして得られた前面板と背面板と
を対抗配置してその間隙の周囲を気密に封止して内部を
一旦真空に排気するとともに、放電ガスを封入する一連
の工程によってPDPを作製することができる。
The front plate and the back plate thus obtained are arranged so as to oppose each other, the periphery of the gap is hermetically sealed, the interior is temporarily evacuated to a vacuum, and the discharge gas is enclosed by a series of steps. A PDP can be made.

【0069】[0069]

【実施例】以下に、本発明を実施例を用いて、具体的に
説明する。ただし、本発明はこれに限定はされない。な
お、実施例中の濃度(%)は重量%である。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples. However, the present invention is not limited to this. The concentration (%) in the examples is% by weight.

【0070】(測定方法) (1)平均粒子径の測定 被測定粉末を走査型電子顕微鏡((株)日立製作所製S
−2400形)で観察し、被測定粉末の長手方向の径を
100個分測り、その平均値をもって被測定粉末の平均
粒子径とした。観察にあたっては、被測定粉末の長手方
向の径が確認、測定できるものを100個選び、他の粉
末と重なって確認できない被測定粉末は対象から除い
た。
(Measurement Method) (1) Measurement of Average Particle Size The powder to be measured was scanned with an electron microscope (S manufactured by Hitachi, Ltd.).
-2400 type), 100 diameters in the longitudinal direction of the powder to be measured were measured, and the average value was taken as the average particle diameter of the powder to be measured. In the observation, 100 powders that can be confirmed and measured in the longitudinal direction of the measured powder were selected, and the measured powders that could not be confirmed because they overlapped with other powders were excluded from the target.

【0071】(2)厚みの測定(5μm未満) 被測定物を走査型電子顕微鏡((株)日立製作所製S−
2400形)で観察し、被測定物の厚みを測定した。
(2) Thickness measurement (less than 5 μm) The object to be measured is a scanning electron microscope (S- manufactured by Hitachi, Ltd.).
2400 type), and the thickness of the measured object was measured.

【0072】(3)厚みの測定(5μm以上1mm未
満) 被測定物をデジタルマイクロスコープ(キーエンス製)
で観察し、被測定物の厚みを測定した。
(3) Thickness measurement (5 μm or more and less than 1 mm) The object to be measured is a digital microscope (manufactured by KEYENCE)
And the thickness of the object to be measured was measured.

【0073】(有機成分A)感光性ポリマー(X−40
07)100重量部に対して、感光性モノマー(トリメ
チロールプロパントリアクリレート)55重量部、光重
合開始剤(2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェ
ニル]−2−モルフォリノ−プロパノン−1)30重量
部 (有機成分B)感光性ポリマー(X−4007)100
重量部に対して、感光性モノマー(トリメチロールプロ
パントリアクリレート)57重量部、光重合開始剤(2
−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−
モルフォリノ−プロパノン−1)35重量部、光重合禁
止剤(ハイドロキノンモノメチルエーテル)0.8重量
部 (有機成分C)感光性ポリマー(X−4007)100
重量部に対して、感光性モノマー(トリメチロールプロ
パントリアクリレート)57重量部、光重合開始剤(2
−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−
モルフォリノ−プロパノン−1)35重量部 X−4007:40%メタクリル酸、30%メチルメタ
クリレート、30%スチレンからなる共重合体のカルボ
キシル基に対して0.4当量のグリシジルメタクリレー
トを付加重合させた重量平均分子量43,000、酸価
95のポリマー。
(Organic component A) Photosensitive polymer (X-40
07) 55 parts by weight of a photosensitive monomer (trimethylolpropane triacrylate) and 100 parts by weight of a photopolymerization initiator (2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propanone-1. ) 30 parts by weight (organic component B) Photosensitive polymer (X-4007) 100
57 parts by weight of a photosensitive monomer (trimethylolpropane triacrylate), and a photopolymerization initiator (2
-Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-
Morpholino-propanone-1) 35 parts by weight, photopolymerization inhibitor (hydroquinone monomethyl ether) 0.8 parts by weight (organic component C) Photosensitive polymer (X-4007) 100
57 parts by weight of a photosensitive monomer (trimethylolpropane triacrylate), and a photopolymerization initiator (2
-Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-
Morpholino-propanone-1) 35 parts by weight X-4007: Weight obtained by addition-polymerizing 0.4 equivalent of glycidyl methacrylate with respect to a carboxyl group of a copolymer composed of 40% methacrylic acid, 30% methyl methacrylate and 30% styrene. A polymer having an average molecular weight of 43,000 and an acid value of 95.

【0074】TPM:トリプロピレングリコールメチル
エーテル。
TPM: tripropylene glycol methyl ether.

【0075】(実施例1)まず、前面板を作製した。平
均粒子径80nmの酸化コバルト粉末を有機溶媒TPM
中に60%分散した溶液を準備し、この溶液を25%、
酸化鉛を75重量%含有する低融点ガラスの粉末を25
%、有機成分Aを23%および有機溶媒(γ−ブチロラ
クトン)27%を溶解・混合・分散し3本ローラで均質
に混練して感光性黒色ペーストを作製した。ペースト粘
度は、5000cpsであった。
Example 1 First, a front plate was prepared. Cobalt oxide powder having an average particle diameter of 80 nm is used as an organic solvent TPM.
A solution having 60% dispersed therein is prepared, and this solution is
25 low-melting glass powder containing 75% by weight of lead oxide
%, 23% of organic component A and 27% of organic solvent (γ-butyrolactone) were dissolved / mixed / dispersed and uniformly kneaded with a three-roller to prepare a photosensitive black paste. The paste viscosity was 5000 cps.

【0076】この感光性黒色ペーストを旭硝子社製ガラ
ス基板“PD200”上に、スクリーン印刷法(420
メッシュのポリエステル製スクリーン印刷版を使用)に
て塗布を行い、次に塗布膜を80℃で40分間乾燥し
た。乾燥後厚みは2μmであった。
This photosensitive black paste was screen-printed (420) on a glass substrate "PD200" manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.
A polyester screen printing plate of mesh was used for coating, and then the coating film was dried at 80 ° C. for 40 minutes. The thickness after drying was 2 μm.

【0077】表示領域内がストライプ形状であり、か
つ、後に形成する電極パターンを含む遮光層パターン
(線幅50μmと150μm)を有するネガ型のフォト
マスクを介して出力15mW/cm2 の超高圧水銀灯で
約30秒間の紫外線露光を行った。現像は、30℃のモ
ノエタノールアミン0.2%水溶液のシャワーで行い、
露光されなかった部分を除去した。その後、純水のシャ
ワーで残存する現像液を洗い流し、80℃で20分間乾
燥した。焼成は、250℃/時の速さで昇温し、最高温
度590℃で15分間保持して行った。
An ultra-high pressure mercury lamp having an output of 15 mW / cm 2 through a negative photomask having a stripe shape in the display area and having a light-shielding layer pattern (line widths of 50 μm and 150 μm) including an electrode pattern to be formed later. UV exposure was performed for about 30 seconds. Development is carried out in a shower of 30% monoethanolamine 0.2% aqueous solution,
The unexposed areas were removed. Then, the remaining developing solution was washed away with a pure water shower and dried at 80 ° C. for 20 minutes. The firing was performed by raising the temperature at a rate of 250 ° C./hour and maintaining the maximum temperature of 590 ° C. for 15 minutes.

【0078】このようにして、ピンホールや断線のな
い、厚み1μm、可視光反射率2%、可視光透過率7%
の良好な遮光層が得られた。
Thus, there is no pinhole or disconnection, the thickness is 1 μm, the visible light reflectance is 2%, and the visible light transmittance is 7%.
A good light-shielding layer was obtained.

【0079】次に、平均粒子径18nmの透明導電粉末
であるITO粉末(三井金属(株)製:PASSTRA
N)を35%、溶媒を除いた有機成分Bを25%および
有機溶媒としてγ−ブチロラクトン40%を溶解・混合
・分散し混練機で均質に混練して感光性透明導電ペース
トを作製した。ペースト粘度は、500cpsであっ
た。
Next, an ITO powder (manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd .: PASSTRA) which is a transparent conductive powder having an average particle diameter of 18 nm.
35% of N), 25% of the organic component B excluding the solvent and 40% of γ-butyrolactone as the organic solvent were dissolved, mixed and dispersed, and uniformly kneaded with a kneader to prepare a photosensitive transparent conductive paste. The paste viscosity was 500 cps.

【0080】この感光性透明導電ペーストを遮光層を形
成した基板上に、スピンコーター法にて塗布を行い、次
に塗布膜を80℃で40分間乾燥した。乾燥後厚みは2
μmであった。透明電極パターン(ピッチ375μm、
線幅150μm)を有するネガ型のフォトマスクを介し
て出力15mW/cm2 の超高圧水銀灯で約30秒間の
紫外線露光を行った。現像は、30℃のモノエタノール
アミン0.2%水溶液のシャワーで行い、露光されなか
った部分を除去した。その後、純水のシャワーで残存す
る現像液を洗い流し、80℃で20分間乾燥した。焼成
は、250℃/時の速さで昇温し、最高温度590℃で
60分間保持して行った。このようにして、ピンホール
や断線のない、厚み1.0μmの良好な透明電極が得ら
れた。
This photosensitive transparent conductive paste was applied onto a substrate having a light shielding layer formed thereon by a spin coater method, and then the applied film was dried at 80 ° C. for 40 minutes. Thickness after drying is 2
was μm. Transparent electrode pattern (pitch 375 μm,
Through a negative type photomask having a line width of 150 μm), UV exposure was performed for about 30 seconds by an ultrahigh pressure mercury lamp with an output of 15 mW / cm 2 . The development was carried out in a shower of a 30% monoethanolamine 0.2% aqueous solution to remove the unexposed portion. Then, the remaining developing solution was washed away with a pure water shower and dried at 80 ° C. for 20 minutes. The firing was performed by raising the temperature at a rate of 250 ° C./hour and maintaining the maximum temperature of 590 ° C. for 60 minutes. In this way, a good transparent electrode having a thickness of 1.0 μm without pinholes or disconnection was obtained.

【0081】続いて、平均粒子径1.5μmの銀粉末を
35%、溶媒を除いた有機成分Cを25%および有機溶
媒としてγ−ブチロラクトン40%を溶解・混合・分散
し3本ローラーで均質に混練して感光性銀ペーストを作
製した。ペースト粘度は、5000cpsであった。
Subsequently, 35% of silver powder having an average particle diameter of 1.5 μm, 25% of organic component C excluding the solvent and 40% of γ-butyrolactone as an organic solvent were dissolved, mixed and dispersed, and homogenized with three rollers. Was kneaded to prepare a photosensitive silver paste. The paste viscosity was 5000 cps.

【0082】この感光性銀ペーストを透明電極を形成し
た基板上に、スクリーン印刷法(350メッシュのポリ
エステル製スクリーン印刷版を使用)にて塗布を行い、
次に塗布膜を80℃で40分間乾燥した。乾燥後厚みは
6μmであった。電極パターン(線幅50μm)を有す
るネガ型のフォトマスクを介して出力15mW/cm 2
の超高圧水銀灯で約30秒間の紫外線露光を行った。現
像は、30℃のモノエタノールアミン0.2%水溶液の
シャワーで行い、露光されなかった部分を除去した。そ
の後、純水のシャワーで残存する現像液を洗い流し、8
0℃で20分間乾燥した。焼成は、250℃/時の速さ
で昇温し、最高温度590℃で60分間保持して行っ
た。
A transparent electrode is formed from this photosensitive silver paste.
Screen printing method (350 mesh poly
Apply with a screen printing plate made of ester)
Next, the coating film was dried at 80 ° C. for 40 minutes. Thickness after drying
It was 6 μm. Has an electrode pattern (line width 50 μm)
Output 15 mW / cm through negative photomask 2
Ultraviolet light exposure was performed for about 30 seconds with the ultra-high pressure mercury lamp. Present
The image is of a 30% monoethanolamine 0.2% aqueous solution.
A shower was performed to remove the unexposed portion. So
After that, the remaining developing solution is washed away with a pure water shower,
It was dried at 0 ° C. for 20 minutes. Firing speed of 250 ℃ / hour
The temperature is raised at, and the maximum temperature is kept at 590 ℃ for 60 minutes.
It was

【0083】このようにして、ピンホールや断線のな
い、厚み3μmの良好な電極が得られた。また、ここで
形成された電極は、ガラス基板側から見た時に、遮光層
にて隠れていることが確認できた。
In this way, a good electrode having a thickness of 3 μm and free from pinholes or disconnection was obtained. Further, it was confirmed that the electrodes formed here were hidden by the light shielding layer when viewed from the glass substrate side.

【0084】さらに、酸化鉛を75重量%含有する低融
点ガラスの粉末を70%、エチルセルロース20%、テ
ルピネオール10%を混練して得られたガラスペースト
をスクリーン印刷により、表示エリア部分の電極が覆わ
れるように20μmの厚みで塗布した後に、570℃1
5分間の焼成を行って前面誘電体を形成した。前面誘電
体を形成した基板上に電子ビーム蒸着により厚み0.5
μmの酸化マグネシウム層を形成して前面板を作製し
た。
Furthermore, a glass paste obtained by kneading 70% of a low-melting glass powder containing 75% by weight of lead oxide, 20% of ethyl cellulose and 10% of terpineol was screen-printed to cover the electrodes in the display area. After applying a thickness of 20 μm as shown in FIG.
Baking for 5 minutes formed the front dielectric. A thickness of 0.5 is formed by electron beam evaporation on the substrate on which the front surface dielectric is formed.
A μm magnesium oxide layer was formed to prepare a front plate.

【0085】次に、背面板を作製した。“PD200”
上に感光性銀ペースト用いてアドレス電極を作製した。
感光性銀ペーストを塗布、乾燥、露光、現像、焼成工程
を経て、線幅50μm、厚み3μm、ピッチ250μm
のアドレス電極を形成した。 続いて、酸化ビスマスを
75重量%含有する低融点ガラスの粉末を60%、平均
粒子径0.3μmの酸化チタン粉末を10%、エチルセ
ルロース15%、テルピネオール15%を混練して得ら
れたガラスペーストをスクリーン印刷により、20μm
の厚みで塗布した後に、570℃15分間の焼成を行っ
て背面誘電体層を形成した。
Next, a back plate was prepared. "PD200"
An address electrode was prepared by using a photosensitive silver paste on the above.
A line width of 50 μm, a thickness of 3 μm, and a pitch of 250 μm are applied through a process of applying a photosensitive silver paste, drying, exposing, developing and baking.
The address electrode of was formed. Subsequently, a glass paste obtained by kneading 60% of a low-melting glass powder containing 75% by weight of bismuth oxide, 10% of titanium oxide powder having an average particle diameter of 0.3 μm, 15% of ethyl cellulose, and 15% of terpineol. 20μm by screen printing
And then baked at 570 ° C. for 15 minutes to form a back surface dielectric layer.

【0086】誘電体層上に、感光性ペースト法により隔
壁を形成した。感光性ペーストを塗布した後に、開口部
線幅30μmのフォトマスクを用いて露光し、次に0.
5重量%のエタノールアミン水溶液中で現像し、さら
に、560℃で15分間焼成することにより、ピッチ2
50μm、線幅30μm、高さ130μmの隔壁を形成
した。
Partition walls were formed on the dielectric layer by a photosensitive paste method. After applying the photosensitive paste, exposure was performed using a photomask having a line width of the opening of 30 μm, and then 0.
By developing in a 5 wt% aqueous solution of ethanolamine and baking at 560 ° C. for 15 minutes, pitch 2
A partition wall having a thickness of 50 μm, a line width of 30 μm and a height of 130 μm was formed.

【0087】次に、隣り合う隔壁間に蛍光体を塗布し
た。蛍光体の塗布は、64カ所の穴(口径:130μ
m)が形成されたノズル先端から蛍光体ペーストを吐出
するディスペンサー法により形成した。蛍光体は隔壁側
面に焼成後厚み25μm、誘電体上に焼成後厚み25μ
mになるように塗布した後に、500℃で10分間の焼
成を行い、背面板を完成した。
Next, a phosphor was applied between the adjacent partition walls. The phosphor is applied at 64 holes (caliber: 130μ).
m) was formed by a dispenser method in which the phosphor paste was discharged from the tip of the nozzle. The phosphor has a thickness of 25 μm after firing on the side walls of the partition wall and a thickness of 25 μ after firing on the dielectric.
After coating so as to have a thickness of m, baking was performed at 500 ° C. for 10 minutes to complete the back plate.

【0088】前面板と背面板を封着ガラスを用いて封着
して、Xe5%含有のNeガスを内部ガス圧66500
Paになるように封入した。作製したPDPは全面正常
に駆動し、かつ、表示コントラストと色純度が高く表示
品質に優れていた。
The front plate and the rear plate were sealed with a sealing glass, and Ne gas containing 5% Xe was used as the internal gas pressure 66500.
It was enclosed so that it would be Pa. The manufactured PDP was driven normally over the entire surface, and had high display contrast and color purity and excellent display quality.

【0089】(実施例2)遮光層のフォトマスクとし
て、表示領域内がマトリックス形状であり、かつ、後に
形成する電極パターンを含む遮光層パターン(線幅30
μmと50μmと150μm)を有するネガ型のフォト
マスクを用いたこと以外は実施例1を繰り返してPDP
を作製した。遮光層が表示画素の周囲を区切っていたた
め、実施例1よりも表示コントラストと色純度が高く表
示品質に優れたPDPを得ることができた。
Example 2 As a photomask for the light-shielding layer, the light-shielding layer pattern (line width 30) having a matrix shape in the display area and including an electrode pattern to be formed later is used.
Example 1 was repeated except that a negative photomask having a thickness of 50 μm, 150 μm and 150 μm) was used.
Was produced. Since the light-shielding layer separated the periphery of the display pixel, it was possible to obtain a PDP having higher display contrast and color purity than Example 1 and excellent display quality.

【0090】(実施例3)遮光層のフォトマスクとし
て、表示領域内でのRGB各色のセル毎に線幅の異なる
ストライプ形状であり、かつ、後に形成する電極パター
ンを含む遮光層パターン(線幅30μmと線幅300
(B)/325(G)/350(R)μmの階段状ライ
ン)を有するネガ型のフォトマスクを用いたこと以外は
実施例1を繰り返してPDPを作製した。RGB各色毎
の輝度バランスを遮光層にて補正することができたた
め、実施例1よりも表示コントラストと色純度が高く表
示品質に優れていたPDPを得ることができた。
(Example 3) As a photomask for a light-shielding layer, a light-shielding layer pattern (linewidth) having a stripe shape having a different linewidth for each cell of RGB colors in a display area and including an electrode pattern to be formed later (linewidth 30 μm and line width 300
A PDP was manufactured by repeating Example 1 except that a negative-type photomask having (B) / 325 (G) / 350 (R) μm stepped lines) was used. Since the luminance balance for each of the RGB colors could be corrected by the light-shielding layer, a PDP having higher display contrast and color purity than that of Example 1 and excellent in display quality could be obtained.

【0091】(実施例4)前面板での遮光層を以下の方
法にて作製した以外は実施例1を繰り返してPDPを作
製した。
(Example 4) A PDP was manufactured by repeating Example 1 except that the light shielding layer on the front plate was manufactured by the following method.

【0092】平均粒子径80nmの酸化コバルト粉末を
有機溶媒TPM中に60%分散した溶液を準備し、この
溶液を26%、酸化鉛を75重量%含有する低融点ガラ
スの粉末を26%、有機成分Aを24%およびγ−ブチ
ロラクトン24%を溶解・混合・分散し3本ローラで均
質に混練して感光性黒色ペーストを作製した。ペースト
粘度は、8000cpsであった。
A solution was prepared by dispersing 60% of cobalt oxide powder having an average particle diameter of 80 nm in an organic solvent TPM, 26% of this solution, 26% of a low melting point glass powder containing 75% by weight of lead oxide, and an organic solvent. 24% of component A and 24% of γ-butyrolactone were dissolved, mixed and dispersed, and then uniformly kneaded with a three roller to prepare a photosensitive black paste. The paste viscosity was 8000 cps.

【0093】この感光性黒色ペーストを旭硝子社製ガラ
ス基板PD200上に、スクリーン印刷法(350メッ
シュのポリエステル製スクリーン印刷版を使用)にて塗
布を行い、次に塗布膜を80℃で40分間乾燥した。乾
燥後厚みは4μmであった。
This photosensitive black paste was applied onto a glass substrate PD200 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. by a screen printing method (using a 350 mesh polyester screen printing plate), and then the applied film was dried at 80 ° C. for 40 minutes. did. After drying, the thickness was 4 μm.

【0094】表示領域内がストライプ形状であり、か
つ、後に形成する電極パターンを含む遮光層パターン
(線幅50μmと150μm)を有するネガ型のフォト
マスクを介して出力15mW/cm2 の超高圧水銀灯で
約30秒間の紫外線露光を行った。現像は、30℃のモ
ノエタノールアミン0.2%水溶液のシャワーで行い、
露光されなかった部分を除去した。その後、純水のシャ
ワーで残存する現像液を洗い流し、80℃で20分間乾
燥した。焼成は、250℃/時の速さで昇温し、最高温
度590℃で15分間保持して行った。
An ultrahigh pressure mercury lamp having an output of 15 mW / cm 2 through a negative photomask having a stripe shape in the display area and having a light shielding layer pattern (line widths 50 μm and 150 μm) including an electrode pattern to be formed later. UV exposure was performed for about 30 seconds. Development is carried out in a shower of 30% monoethanolamine 0.2% aqueous solution,
The unexposed areas were removed. Then, the remaining developing solution was washed away with a pure water shower and dried at 80 ° C. for 20 minutes. The firing was performed by raising the temperature at a rate of 250 ° C./hour and maintaining the maximum temperature of 590 ° C. for 15 minutes.

【0095】こうして得られた遮光層は、厚み2μm、
可視光反射率2%、可視光透過率4%であり、作製した
PDPは実施例1と同じく、表示コントラストと色純度
が高く表示品質に優れていた。
The light-shielding layer thus obtained has a thickness of 2 μm,
The visible light reflectance was 2% and the visible light transmittance was 4%, and the manufactured PDP had high display contrast and color purity and excellent display quality, as in Example 1.

【0096】(実施例5)前面板での遮光層および透明
電極を以下の方法にて作製した以外は実施例1を繰り返
してPDPを作製した。遮光層は以下の方法にて作製し
た。
(Example 5) A PDP was manufactured by repeating Example 1 except that the light-shielding layer and the transparent electrode on the front plate were manufactured by the following method. The light shielding layer was produced by the following method.

【0097】平均粒子径80nmの酸化コバルト粉末を
有機溶媒TPM中に60%分散した溶液を準備し、この
溶液を26%、酸化鉛を75重量%含有する低融点ガラ
スの粉末を26%、有機成分Aを24%およびγ−ブチ
ロラクトン24%を溶解・混合・分散し3本ローラで均
質に混練して感光性黒色ペーストを作製した。ペースト
粘度は、8000cpsであった。
A solution was prepared by dispersing 60% of cobalt oxide powder having an average particle diameter of 80 nm in an organic solvent TPM, and 26% of this solution and 26% of a low melting point glass powder containing 75% by weight of lead oxide were prepared. 24% of component A and 24% of γ-butyrolactone were dissolved, mixed and dispersed, and then uniformly kneaded with a three roller to prepare a photosensitive black paste. The paste viscosity was 8000 cps.

【0098】この感光性黒色ペーストを旭硝子社製ガラ
ス基板PD200上に、スクリーン印刷法(350メッ
シュのポリエステル製スクリーン印刷版を使用)にて塗
布を行い、次に塗布膜を80℃で40分間乾燥した。乾
燥後厚みは4μmであった。
This photosensitive black paste was applied onto a glass substrate PD200 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. by screen printing (using a 350 mesh polyester screen printing plate), and then the applied film was dried at 80 ° C. for 40 minutes. did. After drying, the thickness was 4 μm.

【0099】表示領域内がストライプ形状であり、か
つ、後に形成する電極パターンを含む遮光層パターン
(線幅50μmと150μm)を有するネガ型のフォト
マスクを介して出力15mW/cm2 の超高圧水銀灯で
約30秒間の紫外線露光を行った。現像は、30℃のモ
ノエタノールアミン0.2%水溶液のシャワーで行い、
露光されなかった部分を除去した。その後、純水のシャ
ワーで残存する現像液を洗い流し、80℃で20分間乾
燥した。焼成は、250℃/時の速さで昇温し、最高温
度590℃で15分間保持して行った。こうして得られ
た遮光層は、厚み2μm、可視光反射率2%、可視光透
過率4%であった。
An ultrahigh pressure mercury lamp having an output of 15 mW / cm 2 through a negative type photomask having a stripe shape in the display area and having a light shielding layer pattern (line widths 50 μm and 150 μm) including an electrode pattern to be formed later. UV exposure was performed for about 30 seconds. Development is carried out in a shower of 30% monoethanolamine 0.2% aqueous solution,
The unexposed areas were removed. Then, the remaining developing solution was washed away with a pure water shower and dried at 80 ° C. for 20 minutes. The firing was performed by raising the temperature at a rate of 250 ° C./hour and maintaining the maximum temperature of 590 ° C. for 15 minutes. The light-shielding layer thus obtained had a thickness of 2 μm, a visible light reflectance of 2%, and a visible light transmittance of 4%.

【0100】透明電極は以下の方法にて作製した。透明
導電性粉末として平均粒子径が18nmのITO粉末を
20%、溶媒を除いた有機成分Bを15%およびγ−ブ
チロラクトン65%を溶解・混合・分散し混練機で均質
に混練して透明導電ペーストを作製した。ペースト粘度
は、50cpsであった。
The transparent electrode was produced by the following method. 20% of ITO powder having an average particle diameter of 18 nm as transparent conductive powder, 15% of organic component B excluding solvent and 65% of γ-butyrolactone are dissolved / mixed / dispersed and uniformly kneaded by a kneading machine to obtain transparent conductivity. A paste was made. The paste viscosity was 50 cps.

【0101】この感光性透明導電ペーストを遮光層を形
成した基板上に、スピンコーター法にて塗布を行い、次
に塗布膜を80℃で40分間乾燥した。乾燥膜には遮光
層パターン際でのピンホール等の塗布不良が見られた。
乾燥後厚みは2μmであった。
This photosensitive transparent conductive paste was applied onto a substrate having a light shielding layer formed thereon by a spin coater method, and then the applied film was dried at 80 ° C. for 40 minutes. The dry film was found to have coating defects such as pinholes in the light shielding layer pattern.
The thickness after drying was 2 μm.

【0102】透明電極パターン(ピッチ375μm、線
幅150μm)を有するネガ型のフォトマスクを介して
出力15mW/cm2 の超高圧水銀灯で約30秒間の紫
外線露光を行った。現像は、30℃のモノエタノールア
ミン0.2%水溶液のシャワーで行い、露光されなかっ
た部分を除去した。その後、純水のシャワーで残存する
現像液を洗い流し、80℃で20分間乾燥した。焼成
は、250℃/時の速さで昇温し、最高温度590℃で
60分間保持して行った。こうして得られた透明電極
は、厚み0.5μmであった。遮光層が透明電極より露
出している箇所があった。
Ultraviolet exposure was carried out for about 30 seconds with an ultrahigh pressure mercury lamp with an output of 15 mW / cm 2 through a negative type photomask having a transparent electrode pattern (pitch 375 μm, line width 150 μm). The development was carried out in a shower of a 30% monoethanolamine 0.2% aqueous solution to remove the unexposed portion. Then, the remaining developing solution was washed away with a pure water shower and dried at 80 ° C. for 20 minutes. The firing was performed by raising the temperature at a rate of 250 ° C./hour and maintaining the maximum temperature of 590 ° C. for 60 minutes. The transparent electrode thus obtained had a thickness of 0.5 μm. There was a portion where the light shielding layer was exposed from the transparent electrode.

【0103】作製したPDPは一部で放電遅れや無放電
等の放電異常が発生したものの、全面駆動した。
Although the produced PDP had some discharge abnormalities such as discharge delay and no discharge, it was driven all over.

【0104】(実施例6)前面板での遮光層および透明
電極を以下の方法にて作製した以外は実施例1を繰り返
してPDPを作製した。遮光層は以下の方法にて作製し
た。
Example 6 A PDP was manufactured by repeating Example 1 except that the light-shielding layer and the transparent electrode on the front plate were manufactured by the following method. The light shielding layer was produced by the following method.

【0105】平均粒子径80nmの酸化コバルト粉末を
有機溶媒TPM中に60%分散した溶液を準備し、この
溶液を27%、酸化鉛を75重量%含有する低融点ガラ
スの粉末を27%、有機成分Aを25%および有機溶媒
(γ−ブチロラクトン)21%を溶解・混合・分散し3
本ローラで均質に混練して感光性黒色ペーストを作製し
た。ペースト粘度は、12000cpsであった。
A solution of 60% of cobalt oxide powder having an average particle diameter of 80 nm dispersed in an organic solvent TPM was prepared, and 27% of this solution and 27% of a low melting point glass powder containing 75% by weight of lead oxide were prepared. Dissolve, mix and disperse 25% of component A and 21% of organic solvent (γ-butyrolactone) 3
This roller was kneaded uniformly to prepare a photosensitive black paste. The paste viscosity was 12000 cps.

【0106】この感光性黒色ペーストを旭硝子社製ガラ
ス基板PD200上に、スクリーン印刷法(350メッ
シュのポリエステル製スクリーン印刷版を使用)にて塗
布を行い、次に塗布膜を80℃で40分間乾燥した。乾
燥後厚みは6μmであった。
This photosensitive black paste was applied onto a glass substrate PD200 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. by a screen printing method (using a 350 mesh polyester screen printing plate), and then the applied film was dried at 80 ° C. for 40 minutes. did. After drying, the thickness was 6 μm.

【0107】表示領域内がストライプ形状であり、か
つ、後に形成する電極パターンを含む遮光層パターン
(線幅50μmと150μm)を有するネガ型のフォト
マスクを介して出力15mW/cm2 の超高圧水銀灯で
約30秒間の紫外線露光を行った。現像は、30℃のモ
ノエタノールアミン0.2%水溶液のシャワーで行い、
露光されなかった部分を除去した。その後、純水のシャ
ワーで残存する現像液を洗い流し、80℃で20分間乾
燥した。焼成は、250℃/時の速さで昇温し、最高温
度590℃で15分間保持して行った。
An ultrahigh pressure mercury lamp having an output of 15 mW / cm 2 through a negative photomask having a stripe shape in the display area and having a light shielding layer pattern (line widths 50 μm and 150 μm) including an electrode pattern to be formed later. UV exposure was performed for about 30 seconds. Development is carried out in a shower of 30% monoethanolamine 0.2% aqueous solution,
The unexposed areas were removed. Then, the remaining developing solution was washed away with a pure water shower and dried at 80 ° C. for 20 minutes. The firing was performed by raising the temperature at a rate of 250 ° C./hour and maintaining the maximum temperature of 590 ° C. for 15 minutes.

【0108】こうして得られた遮光層は、厚み3μm、
可視光反射率2%、可視光透過率3%であった。透明電
極は以下の方法にて作製した。
The light-shielding layer thus obtained has a thickness of 3 μm,
The visible light reflectance was 2% and the visible light transmittance was 3%. The transparent electrode was produced by the following method.

【0109】透明導電性粉末として平均粒子径が18n
mのITO粉末を50%、溶媒を除いた有機成分Bを2
0%および有機溶媒としてγ−ブチロラクトン30%を
溶解・混合・分散し混練機で均質に混練して透明導電ペ
ーストを作製した。ペースト粘度は、5000cpsで
あった。
The transparent conductive powder has an average particle diameter of 18 n.
50% of the ITO powder of m and the organic component B excluding the solvent is 2
0% and γ-butyrolactone 30% as an organic solvent were dissolved, mixed and dispersed, and then uniformly kneaded by a kneader to prepare a transparent conductive paste. The paste viscosity was 5000 cps.

【0110】この感光性透明導電ペーストを遮光層を形
成した基板上に、350メッシュのポリエステル製スク
リーン印刷版を使用してスクリーン印刷法により塗布を
行い、次に塗布膜を80℃で40分間乾燥した。乾燥膜
には遮光層パターンに沿った塗布ムラが見られた。乾燥
後厚みは4μmであった。透明電極パターン(ピッチ3
75μm、線幅150μm)を有するネガ型のフォトマ
スクを介して出力15mW/cm2 の超高圧水銀灯で約
30秒間の紫外線露光を行った。現像は、30℃のモノ
エタノールアミン0.2%水溶液のシャワーで行い、露
光されなかった部分を除去した。その後、純水のシャワ
ーで残存する現像液を洗い流し、80℃で20分間乾燥
した。焼成は、250℃/時の速さで昇温し、最高温度
590℃で60分間保持して行った。
This photosensitive transparent conductive paste was applied onto a substrate having a light-shielding layer formed thereon by a screen printing method using a 350 mesh polyester screen printing plate, and then the coating film was dried at 80 ° C. for 40 minutes. did. Uneven coating along the light-shielding layer pattern was observed in the dried film. After drying, the thickness was 4 μm. Transparent electrode pattern (pitch 3
Ultraviolet exposure was performed for about 30 seconds with an ultrahigh pressure mercury lamp with an output of 15 mW / cm 2 through a negative type photomask having a line width of 75 μm and a line width of 150 μm). The development was carried out in a shower of a 30% monoethanolamine 0.2% aqueous solution to remove the unexposed portion. Then, the remaining developing solution was washed away with a pure water shower and dried at 80 ° C. for 20 minutes. The firing was performed by raising the temperature at a rate of 250 ° C./hour and maintaining the maximum temperature of 590 ° C. for 60 minutes.

【0111】こうして得られた透明電極は、厚み2μm
であった。透明電極には塗布ムラによる厚みムラがあっ
た。
The transparent electrode thus obtained has a thickness of 2 μm.
Met. The transparent electrode had uneven thickness due to uneven coating.

【0112】作製したPDPは一部で放電遅れや無放電
等の放電異常が発生したものの、全面駆動した。
Although the produced PDP had some discharge abnormality such as discharge delay or no discharge, it was driven all over.

【0113】(実施例7)前面板での遮光層および透明
電極を以下の方法にて作製した以外は実施例1を繰り返
してPDPを作製した。遮光層は以下の方法にて作製し
た。
(Example 7) A PDP was manufactured by repeating Example 1 except that the light-shielding layer and the transparent electrode on the front plate were manufactured by the following method. The light shielding layer was produced by the following method.

【0114】平均粒子径1μmの酸化コバルト粉末を1
7%、酸化鉛を75重量%含有する低融点ガラスの粉末
を25%、有機成分Aを25%および有機溶媒(γ−ブ
チロラクトン)33%を溶解・混合・分散し3本ローラ
で均質に混練して感光性黒色ペーストを作製した。ペー
スト粘度は、8000cpsであった。
One cobalt oxide powder having an average particle diameter of 1 μm was used.
7%, 25% low melting point glass powder containing 75% by weight of lead oxide, 25% of organic component A and 33% of organic solvent (γ-butyrolactone) are dissolved / mixed / dispersed and homogeneously kneaded with three rollers. Then, a photosensitive black paste was prepared. The paste viscosity was 8000 cps.

【0115】この感光性黒色ペーストを旭硝子社製ガラ
ス基板“PD200”上に、スクリーン印刷法(350
メッシュのポリエステル製スクリーン印刷版を使用)に
て塗布を行い、次に塗布膜を80℃で40分間乾燥し
た。乾燥後厚みは4μmであった。
This photosensitive black paste was screen-printed (350) on a glass substrate "PD200" manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.
A polyester screen printing plate of mesh was used for coating, and then the coating film was dried at 80 ° C. for 40 minutes. After drying, the thickness was 4 μm.

【0116】表示領域内がストライプ形状であり、か
つ、後に形成する電極パターンを含む遮光層パターン
(線幅50μmと150μm)を有するネガ型のフォト
マスクを介して出力15mW/cm2 の超高圧水銀灯で
約30秒間の紫外線露光を行った。現像は、30℃のモ
ノエタノールアミン0.2%水溶液のシャワーで行い、
露光されなかった部分を除去した。その後、純水のシャ
ワーで残存する現像液を洗い流し、80℃で20分間乾
燥した。焼成は、250℃/時の速さで昇温し、最高温
度590℃で15分間保持して行った。
An ultrahigh pressure mercury lamp with an output of 15 mW / cm 2 through a negative photomask having a stripe shape in the display area and having a light shielding layer pattern (line widths 50 μm and 150 μm) including an electrode pattern to be formed later. UV exposure was performed for about 30 seconds. Development is carried out in a shower of 30% monoethanolamine 0.2% aqueous solution,
The unexposed areas were removed. Then, the remaining developing solution was washed away with a pure water shower and dried at 80 ° C. for 20 minutes. The firing was performed by raising the temperature at a rate of 250 ° C./hour and maintaining the maximum temperature of 590 ° C. for 15 minutes.

【0117】こうして得られた遮光層の厚みは2μmで
あったが酸化コバルトの密集度合いの違いにより色ムラ
が見られた。透明電極は以下の方法にて作製した。
The thickness of the light-shielding layer thus obtained was 2 μm, but color unevenness was observed due to the difference in the density of cobalt oxide. The transparent electrode was produced by the following method.

【0118】透明導電性粉末として平均粒子径が18n
mのITO粉末を50%、溶媒を除いた有機成分Bを2
0%および有機溶媒としてγ−ブチロラクトン30%を
溶解・混合・分散し混練機で均質に混練して透明導電ペ
ーストを作製した。ペースト粘度は、5000cpsで
あった。
The transparent conductive powder has an average particle diameter of 18n.
50% of the ITO powder of m and the organic component B excluding the solvent is 2
0% and γ-butyrolactone 30% as an organic solvent were dissolved, mixed and dispersed, and then uniformly kneaded by a kneader to prepare a transparent conductive paste. The paste viscosity was 5000 cps.

【0119】この感光性透明導電ペーストを遮光層を形
成した基板上に、350メッシュのポリエステル製スク
リーン印刷版を使用してスクリーン印刷法により塗布を
行い、次に塗布膜を80℃で40分間乾燥した。乾燥膜
には遮光層パターンに沿った塗布ムラが見られた。乾燥
後厚みは4μmであった。透明電極パターン(ピッチ3
75μm、線幅150μm)を有するネガ型のフォトマ
スクを介して出力15mW/cm2 の超高圧水銀灯で約
30秒間の紫外線露光を行った。現像は、30℃のモノ
エタノールアミン0.2%水溶液のシャワーで行い、露
光されなかった部分を除去した。その後、純水のシャワ
ーで残存する現像液を洗い流し、80℃で20分間乾燥
した。焼成は、250℃/時の速さで昇温し、最高温度
590℃で60分間保持して行った。こうして得られた
透明電極は、厚み2μmであった。
This photosensitive transparent conductive paste was applied onto a substrate having a light-shielding layer formed thereon by a screen printing method using a 350 mesh polyester screen printing plate, and then the coating film was dried at 80 ° C. for 40 minutes. did. Uneven coating along the light-shielding layer pattern was observed in the dried film. After drying, the thickness was 4 μm. Transparent electrode pattern (pitch 3
Ultraviolet exposure was carried out for about 30 seconds with an ultrahigh pressure mercury lamp with an output of 15 mW / cm 2 through a negative type photomask having a line width of 75 μm and a line width of 150 μm). The development was carried out in a shower of a 30% monoethanolamine 0.2% aqueous solution to remove the unexposed portion. Then, the remaining developing solution was washed away with a pure water shower and dried at 80 ° C. for 20 minutes. The firing was performed by raising the temperature at a rate of 250 ° C./hour and maintaining the maximum temperature of 590 ° C. for 60 minutes. The transparent electrode thus obtained had a thickness of 2 μm.

【0120】作製したPDPは遮光層の色ムラが若干見
られたものの、全面駆動した。
Although the produced PDP showed some color unevenness in the light-shielding layer, it was driven over the entire surface.

【0121】[0121]

【発明の効果】本発明により、従来、黒色電極と遮光層
との2層により達成されてきたコントラストと色純度の
向上が、遮光層のみで達成でき、かつその遮光層の表示
領域内における形成パターンの自由度を高くすることが
できる。また、その製造方法も、従来に比べ、工程数も
少なくかつ簡便で安価な方法で達成できる。
According to the present invention, the improvement of contrast and color purity, which has been conventionally achieved by two layers of a black electrode and a light shielding layer, can be achieved only by the light shielding layer, and the light shielding layer is formed in the display area. The degree of freedom of the pattern can be increased. Also, the manufacturing method thereof can be achieved by a simple and inexpensive method with fewer steps as compared with the conventional method.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のプラズマディスプレイパネル部材の一
実施例を示す断面図。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a plasma display panel member of the present invention.

【図2】本発明のプラズマディスプレイパネル部材の一
実施例を示す斜視図。
FIG. 2 is a perspective view showing an embodiment of a plasma display panel member of the present invention.

【図3】発光単位セルおよび発光単位セルを区画する部
分を示す表示部上面から見た切り出し図。
FIG. 3 is a cutout view of the light emitting unit cell and a portion that divides the light emitting unit cell as seen from the top surface of the display unit.

【図4】遮光層のパターンを示す表示部上面から見た切
り出し図。
FIG. 4 is a cutout view showing a pattern of a light shielding layer as seen from the upper surface of a display unit.

【図5】図4とは異なる態様の遮光層のパターンを示す
表示部上面から見た切り出し図。
FIG. 5 is a cutout view showing a pattern of a light shielding layer different from that of FIG.

【図6】図4および図5とは異なる態様の遮光層のパタ
ーンを示す表示部上面から見た切り出し図。
FIG. 6 is a cutout view showing a pattern of a light-shielding layer in a mode different from that shown in FIGS.

【図7】従来のプラズマディスプレイパネル部材の一例
を示す断面図。
FIG. 7 is a sectional view showing an example of a conventional plasma display panel member.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 絶縁基板 2 遮光層 3 第1の電極 4 第2の電極 5 誘電体層 6 保護膜 7 黒色電極 8 リブ(隔壁) 9 電極対 10 発光単位セル 11 発光単位セルを区画する部分 1 Insulation board 2 light-shielding layer 3 First electrode 4 Second electrode 5 Dielectric layer 6 protective film 7 Black electrode 8 ribs (partition wall) 9 electrode pairs 10 Light emitting unit cell 11 Part that divides the light emitting unit cell

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5C027 AA02 AA10 5C028 AA10 5C040 FA01 FA04 GA02 GB03 GC05 GC06 GH06 GH07 JA15 KA16 KB09 LA05 LA10 MA02 MA22 MA26    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 5C027 AA02 AA10                 5C028 AA10                 5C040 FA01 FA04 GA02 GB03 GC05                       GC06 GH06 GH07 JA15 KA16                       KB09 LA05 LA10 MA02 MA22                       MA26

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】少なくとも絶縁基板、第1の電極、第2の
電極および遮光層を有するプラズマディスプレイパネル
用部材において、絶縁基板側から、遮光層、第1の電
極、第2の電極の順に積層され、かつ第1の電極が透明
であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用
部材。
1. A member for a plasma display panel having at least an insulating substrate, a first electrode, a second electrode and a light shielding layer, wherein a light shielding layer, a first electrode and a second electrode are laminated in this order from the insulating substrate side. And a first electrode is transparent, the member for a plasma display panel.
【請求項2】遮光層が絶縁層であることを特徴とする請
求項1記載のプラズマディスプレイパネル用部材。
2. The member for a plasma display panel according to claim 1, wherein the light shielding layer is an insulating layer.
【請求項3】遮光層が黒色であることを特徴とする請求
項1記載のプラズマディスプレイパネル用部材。
3. The member for plasma display panel according to claim 1, wherein the light shielding layer is black.
【請求項4】表示領域内における遮光層の形状が、スト
ライプパターンであることを特徴とする請求項1記載の
プラズマディスプレイパネル用部材。
4. The member for a plasma display panel according to claim 1, wherein the shape of the light shielding layer in the display area is a stripe pattern.
【請求項5】表示領域内における遮光層の形状が、マト
リックスパターンであることを特徴とする請求項1記載
のプラズマディスプレイパネル用部材。
5. The member for plasma display panel according to claim 1, wherein the shape of the light shielding layer in the display area is a matrix pattern.
【請求項6】表示領域内における遮光層の形状が、電極
の形状よりも大きいことを特徴とする請求項1記載のプ
ラズマディスプレイパネル用部材。
6. The member for plasma display panel according to claim 1, wherein the shape of the light shielding layer in the display area is larger than the shape of the electrode.
【請求項7】表示領域内における第2の電極の形状が、
ストライプパターンであることを特徴とする請求項1記
載のプラズマディスプレイパネル用部材。
7. The shape of the second electrode in the display area is
The member for a plasma display panel according to claim 1, which is a stripe pattern.
【請求項8】第1の電極の厚みが遮光層の厚みの0.5
〜50倍であることを特徴とする請求項1記載のプラズ
マディスプレイパネル用部材。
8. The thickness of the first electrode is 0.5 of the thickness of the light shielding layer.
It is about 50 times, The member for plasma display panels of Claim 1 characterized by the above-mentioned.
【請求項9】遮光層の厚みが0.1〜2μmであること
を特徴とする請求項1記載のプラズマディスプレイパネ
ル用部材。
9. A member for a plasma display panel according to claim 1, wherein the thickness of the light shielding layer is 0.1 to 2 μm.
【請求項10】遮光層が、平均粒子径10〜500nm
の範囲内の無機微粒子を含有していることを特徴とする
請求項1記載のプラズマディスプレイパネル用部材。
10. The light-shielding layer has an average particle diameter of 10 to 500 nm.
2. The member for a plasma display panel according to claim 1, which contains inorganic fine particles within the range.
【請求項11】請求項1〜10のいずれかに記載のプラ
ズマディスプレイパネル用部材を用いたことを特徴とす
るプラズマディスプレイパネル。
11. A plasma display panel using the member for a plasma display panel according to claim 1.
【請求項12】少なくとも絶縁基板、透明な第1の電
極、第2の電極および遮光層を有するプラズマディスプ
レイパネル用部材を製造する方法であって、絶縁基板側
から、遮光層、透明な第1の電極、第2の電極の順に積
層することを特徴とするプラズマディスプレイパネル用
部材の製造方法。
12. A method of manufacturing a member for a plasma display panel, which comprises at least an insulating substrate, a transparent first electrode, a second electrode and a light-shielding layer, wherein the light-shielding layer and the transparent first layer are arranged from the insulating substrate side. 2. The method for manufacturing a member for a plasma display panel, comprising:
【請求項13】第1の電極の形成の際に、フォトプロセ
スを用いることを特徴とする請求項12記載のプラズマ
ディスプレイパネル用部材の製造方法。
13. The method of manufacturing a member for a plasma display panel according to claim 12, wherein a photo process is used when forming the first electrode.
【請求項14】第1の電極の形成の際に、感光性ペース
トを用いることを特徴とする請求項12記載のプラズマ
ディスプレイパネル用部材の製造方法。
14. The method for manufacturing a member for a plasma display panel according to claim 12, wherein a photosensitive paste is used when forming the first electrode.
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