JP2006032314A - Manufacturing method of gas discharge screen - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、ガス放電の技術分野に属する。この技術分野は、ACプラズマ画面の前面基板の製造方法を含んでいる。 The present invention belongs to the technical field of gas discharge. This technical field includes a method of manufacturing a front substrate for an AC plasma screen.
現在の全てのACガス放電画面は表面放電構造を応用したもので、前面基板と、前面基板にシールした背面基板を含んでいる。前面基板の透明電極ITOとバス電極は放電電極を構成し、放電電極は放電維持電極Xと走査/維持電極Yを含んでいる。放電電極の表面は誘電体層で被覆し、誘電体層は誘電体保護層で被覆する。前記背面基板はアドレス電極を備え、アドレス電極は放電電極と直交し、誘電体層で被覆する。誘電体層上には底部を蛍光体層で被覆したストライプ隔壁があり、ストライプ隔壁はアドレス電極と平行になっている。前面基板と背面基板は低融点フリットで接続し、前面基板と背面基板の間の間隙部に混合放電ガスNe、ArおよびXeなどを充填する。 All current AC gas discharge screens apply a surface discharge structure and include a front substrate and a back substrate sealed to the front substrate. The transparent electrode ITO and the bus electrode on the front substrate constitute a discharge electrode, and the discharge electrode includes a discharge sustain electrode X and a scan / sustain electrode Y. The surface of the discharge electrode is covered with a dielectric layer, and the dielectric layer is covered with a dielectric protective layer. The rear substrate includes an address electrode, and the address electrode is orthogonal to the discharge electrode and is covered with a dielectric layer. On the dielectric layer is a stripe barrier rib whose bottom is covered with a phosphor layer, and the stripe barrier rib is parallel to the address electrode. The front substrate and the back substrate are connected by a low melting point frit, and the gap between the front substrate and the back substrate is filled with mixed discharge gases Ne, Ar, and Xe.
従来の技術におけるスクリーン印刷によるガス放電画面の前面基板の製造工程は、次のとおりである。 The manufacturing process of the front substrate of the gas discharge screen by screen printing in the prior art is as follows.
1)まず、ガラス板上にフォトエッチングで透明電極ITOを形成し、バス電極パターンを備えたスクリーンマスクに黒色銀ペーストを充填し、スクリーンマスクを介して、透明電極ITOの外部上に黒色銀ペーストを塗布し、その後、黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、バス電極を得る。 1) First, a transparent electrode ITO is formed on a glass plate by photo-etching, a black mask is filled with a screen mask provided with a bus electrode pattern, and the black silver paste is placed on the outside of the transparent electrode ITO through the screen mask. Then, the black silver paste is dried and fired to obtain a bus electrode.
2)パターンの位置合わせ後、黒色ストリップのパターンを備えたスクリーンマスク上に黒色銀ペーストを充填し、バス電極を形成したガラス板上に、スクリーンマスクを介して黒色銀ペーストを塗布し、黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、内部の有機材料を燃焼し、黒色ストリップを形成する。 2) After aligning the pattern, fill the screen mask with the black strip pattern with black silver paste, and apply the black silver paste on the glass plate on which the bus electrode is formed through the screen mask. The paste is dried and baked to burn the organic material inside and form a black strip.
3)ガラス板上のバス電極および黒色ストリップ上に誘電体層を印刷、乾燥し、内部の有機材料を燃焼し、前面基板の製造を完了する。 3) The dielectric layer is printed on the bus electrode and the black strip on the glass plate, dried, the organic material inside is burned, and the manufacture of the front substrate is completed.
フォトエッチングによるガス放電画面の前面基板の製造工程は、次のとおりである。 The manufacturing process of the front substrate of the gas discharge screen by photoetching is as follows.
1)まず、フォトエッチングによりガラス板上に透明電極ITOを形成する。 1) First, a transparent electrode ITO is formed on a glass plate by photoetching.
2)ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷し、連続的なフィルム層を形成し、露光機内のバス電極パターンを備えたフォトマスク板によって、ガラス板上のフィルム層を露光、現像、乾燥、焼成して、バス電極を得る。 2) Photosensitive black silver paste is printed on a glass plate, a continuous film layer is formed, and the film layer on the glass plate is exposed, developed and dried by a photomask plate having a bus electrode pattern in an exposure machine. And firing to obtain a bus electrode.
3)バス電極を形成したガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷し、連続的なフィルム層を形成し、露光機内の黒色ストリップのパターンを備えたフォトマスク板によって、ガラス板上のフィルム層を位置合わせ、露光し、現像する。感光性黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、内部の有機材料を燃焼し、黒色ストリップを得る。 3) Photosensitive black silver paste is printed on the glass plate on which the bus electrode is formed, a continuous film layer is formed, and the film layer on the glass plate is formed by a photomask plate having a black strip pattern in the exposure machine. Are aligned, exposed and developed. The photosensitive black silver paste is dried and baked to burn the organic material inside to obtain a black strip.
4)バス電極および黒色ストリップを形成したガラス板上に誘電体層を印刷、焼成した後、内部の有機材料を燃焼して、前面基板の製造を完了する。 4) After the dielectric layer is printed and baked on the glass plate on which the bus electrodes and the black strip are formed, the internal organic material is burned to complete the manufacture of the front substrate.
従来の技術においてスクリーン印刷法を用いる場合、維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yの間の非放電領域に、黒色ストリップのパターンが印刷されるように、黒色ストリップのパターンを形成する前に、バス電極を形成したガラス板と、黒色ストリップのパターンを備えたスクリーンマスクを正確に位置合わせしなければならなず、フォトエッチング法を用いる場合、露光後、維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yの間の非放電領域に、黒色ストリップのパターンが形成されるように、黒色ストリップのパターンを形成する前に、バス電極を形成したガラス板と、黒色ストリップのパターンを備えたフォトマスクを正確に位置合わせしなければならなかった。 When the screen printing method is used in the related art, before forming the black strip pattern, the black strip pattern is printed in the non-discharge region between the sustain discharge electrode X and the scan / sustain discharge electrode Y. The glass plate on which the bus electrode is formed and the screen mask having the black strip pattern must be accurately aligned. When the photoetching method is used, the sustain discharge electrode X and the scan / sustain discharge are exposed after the exposure. Before forming the black strip pattern, a glass plate on which a bus electrode is formed and a photomask having the black strip pattern are formed so that the black strip pattern is formed in the non-discharge region between the electrodes Y. It had to be accurately aligned.
黒色ストリップのパターンとバス電極パターンの間の間隙の長さのオーダはμmレベルで、位置合わせが十分正確でない場合、有効な放電空間の形成に影響し、完全に光らない発光領域が生じたり、放電過程から生じた光を黒色ストリップが被覆できなかったり、発光領域が外部環境からの光を吸収しなかったりして、画面の発光効率を低減し、画質を劣化させる。 The order of the length of the gap between the black strip pattern and the bus electrode pattern is on the order of μm, and if the alignment is not sufficiently accurate, it will affect the formation of an effective discharge space, resulting in a light emitting region that does not completely shine, The black strip cannot cover the light generated from the discharge process, or the light emitting area does not absorb the light from the external environment, thereby reducing the light emission efficiency of the screen and degrading the image quality.
さらに、バス電極および黒色ストリップを形成する際に、スクリーン印刷法を用いる場合、二つの異なるスクリーンマスクを用いて、印刷、乾燥および焼成を二度行う必要がある。代わりに、フォトエッチング法を用いる場合、露光、現像、乾燥および焼成を二度行う必要がある。従って、電極および黒色ストリップを形成する技術的工程は複雑で、型材料のコストがかかり、スクリーン製造コストは高すぎで、効率は低い。 Further, when the screen printing method is used in forming the bus electrode and the black strip, it is necessary to perform printing, drying and baking twice using two different screen masks. Instead, when using a photoetching method, exposure, development, drying, and baking must be performed twice. Therefore, the technical process of forming electrodes and black strips is complex, costly mold materials, screen manufacturing costs are too high, and efficiency is low.
この発明の目的は、簡略化した製造工程を備えたガス放電画面の製造方法を提供し、装置の投資を低減し、原材料の無駄を減らし、パターンの正確さ、プラズマ画面の画質、およびパネルの発光効率を向上させ、コストを低減することである。 The object of the present invention is to provide a method of manufacturing a gas discharge screen with a simplified manufacturing process, to reduce equipment investment, reduce waste of raw materials, pattern accuracy, plasma screen image quality, and panel It is to improve luminous efficiency and reduce costs.
この発明の技術的解決策は、次のように実行される。 The technical solution of the present invention is implemented as follows.
スクリーン印刷によるガス放電画面の製造方法では、
1)まず、フォトエッチングによりガラス板上に透明電極を形成する。
In the manufacturing method of gas discharge screen by screen printing,
1) First, a transparent electrode is formed on a glass plate by photoetching.
2)スクリーンマスク上に黒色銀ペーストを充填し、スクリーンマスクに黒色銀ペーストを通過させ、ガラス板上に印刷し、ガラス板上に印刷した黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極および黒色ストリップを得る。透明電極ITOおよびバス電極は、維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yを含む放電電極を構成する。 2) Fill the screen mask with black silver paste, pass the black silver paste through the screen mask, print on the glass plate, and dry and fire the black silver paste printed on the glass plate, inside the black silver paste The organic material is burned to obtain a bus electrode and a black strip. The transparent electrode ITO and the bus electrode constitute a discharge electrode including the sustain discharge electrode X and the scan / sustain discharge electrode Y.
3)ガラス板の黒色ストリップとバス電極上に誘電体層を印刷、焼成し、誘電体層内の有機材料を燃焼する。 3) A dielectric layer is printed and baked on the black strip of the glass plate and the bus electrode, and the organic material in the dielectric layer is burned.
4)電子ビーム蒸着法により誘電体層上にMgO膜を形成し、前面基板を用意する。 4) An MgO film is formed on the dielectric layer by electron beam evaporation, and a front substrate is prepared.
5)前面基板と背面基板をシール、排気、エージングして、ガス放電パネルを得る。 5) The front substrate and the rear substrate are sealed, exhausted, and aged to obtain a gas discharge panel.
前記バス電極と黒色ストリップを形成する工程では、バス電極パターンと黒色ストリップのパターンを同時に備えたスクリーンマスク上に、黒色銀ペーストを充填する。黒色銀ペーストはスクリーンマスクを通過させ、ガラス板の透明電極の外縁、および維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yの間の非放電領域に印刷する。黒色銀ペーストを乾燥、焼成し、内部の有機材料を燃焼して、バス電極および黒色ストリップを得る。 In the step of forming the bus electrode and the black strip, a black silver paste is filled on a screen mask having a bus electrode pattern and a black strip pattern at the same time. The black silver paste is passed through a screen mask and printed on the outer edge of the transparent electrode of the glass plate and the non-discharge area between the sustain discharge electrode X and the scan / sustain discharge electrode Y. The black silver paste is dried and fired, and the internal organic material is burned to obtain a bus electrode and a black strip.
黒色銀ペーストを乾燥する際の温度は85〜95℃、時間は18〜22分、黒色銀ペーストを焼成する際は、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼するために、温度は540〜560℃、時間は25〜35分とし、バス電極および黒色ストリップの高さは3〜10μmである。 The temperature for drying the black silver paste is 85 to 95 ° C., the time is 18 to 22 minutes, and when the black silver paste is baked, the temperature is 540 to 560 ° C. in order to burn the organic material in the black silver paste. The time is 25 to 35 minutes, and the height of the bus electrode and the black strip is 3 to 10 μm.
フォトエッチングによるガス放電画面の製造方法では、
1)まず、フォトエッチングによりガラス板上に透明電極を形成する。
In the manufacturing method of gas discharge screen by photo etching,
1) First, a transparent electrode is formed on a glass plate by photoetching.
2)ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷して、連続的なフィルム層を形成し、露光機内のパターンを備えたフォトマスク板によりガラス板上のフィルム層を露光し、現像する。感光性黒色銀ペーストを乾燥、焼成し、内部の有機材料を燃焼し、バス電極と黒色ストリップを得る。透明電極ITOおよびバス電極は、維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yを含む放電電極を構成する。 2) A photosensitive black silver paste is printed on a glass plate to form a continuous film layer, and the film layer on the glass plate is exposed and developed by a photomask plate provided with a pattern in an exposure machine. The photosensitive black silver paste is dried and fired, and the internal organic material is burned to obtain a bus electrode and a black strip. The transparent electrode ITO and the bus electrode constitute a discharge electrode including the sustain discharge electrode X and the scan / sustain discharge electrode Y.
3)ガラス板の黒色ストリップおよびバス電極上に誘電体層を印刷し、誘電体層を焼成して、誘電体層内の有機材料を燃焼する。 3) Printing a dielectric layer on the black strip of glass plate and bus electrodes, firing the dielectric layer, and burning the organic material in the dielectric layer.
4)電子ビーム蒸着法により誘電体層上にMgO保護膜を形成し、前面基板を用意する。 4) An MgO protective film is formed on the dielectric layer by electron beam evaporation, and a front substrate is prepared.
5)前面基板と背面基板をシール、排気、エージングして、ガス放電パネルを得る。 5) The front substrate and the rear substrate are sealed, exhausted, and aged to obtain a gas discharge panel.
前記バス電極および黒色ストリップの製造工程では、ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷し、まず連続的なフィルム層を形成し、次に露光機内にパターンを備えたフォトマスク板によって、ガラス板上のフィルム層を露光する。ガラス板上の透明電極の外縁、および維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yの間の非放電領域に、フォトマスク板から電極パターンと黒色ストリップのパターンを複写し、それを現像する。感光性黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、内部の有機材料を燃焼し、バス電極と黒色ストリップを得る。 In the manufacturing process of the bus electrode and the black strip, a photosensitive black silver paste is printed on a glass plate, a continuous film layer is first formed, and then a photomask plate having a pattern in an exposure machine is used. Expose the top film layer. An electrode pattern and a black strip pattern are copied from the photomask plate to the outer edge of the transparent electrode on the glass plate and the non-discharge area between the sustain discharge electrode X and the scan / sustain discharge electrode Y, and developed. The photosensitive black silver paste is dried and baked to burn the organic material inside, thereby obtaining a bus electrode and a black strip.
黒色銀ペーストを乾燥する際の温度は85〜95℃、時間は18〜22分、黒色銀ペーストを焼成する際の温度は540〜560℃、時間は25〜35分で、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼する。バス電極および黒色ストリップの高さは3〜10μmである。 The temperature for drying the black silver paste is 85 to 95 ° C., the time is 18 to 22 minutes, the temperature for firing the black silver paste is 540 to 560 ° C., and the time is 25 to 35 minutes. Burn organic materials. The height of the bus electrode and the black strip is 3 to 10 μm.
バス電極と黒色ストリップの製造工程を組み合わせることで、この発明は、黒色ストリップとバス電極を一度に成型することを実現する。スクリーン印刷法を選択する場合は、具体的にはバス電極パターンと黒色ストリップのパターンを一枚のスクリーンマスク上に形成し、黒色銀ペーストでのスクリーン印刷により一度に成型する。フォトエッチング法を用いる場合は、フォトマスク上に電極および黒色ストリップのパターンを形成し、ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを塗布し、露光および現像によりバス電極および黒色ストリップを一度に成型することを実現する。この方法では、パターンの位置合わせを回避するだけでなく、パターンの形成精度、プラズマ画面の画質を向上させ、同時に、製造工程の簡略化、生産効率の向上を行い、さらに原材料の無駄を減らし、装置投資および生産コストを低減する。 By combining the manufacturing process of the bus electrode and the black strip, the present invention realizes the molding of the black strip and the bus electrode at a time. When the screen printing method is selected, specifically, a bus electrode pattern and a black strip pattern are formed on a single screen mask and molded at once by screen printing with a black silver paste. When using the photo-etching method, form a pattern of electrodes and black strips on the photomask, apply a photosensitive black silver paste on the glass plate, and mold the bus electrodes and black strips at once by exposure and development. Is realized. This method not only avoids pattern alignment, but also improves pattern formation accuracy and plasma screen image quality, and at the same time simplifies the manufacturing process and improves production efficiency, further reducing waste of raw materials, Reduce equipment investment and production costs.
添付の図面は、この発明の特定の実施例である。この発明の内容は、添付の図面と組み合わせてさらに説明する。 The accompanying drawings are specific embodiments of the present invention. The subject matter of the present invention will be further described in combination with the accompanying drawings.
この発明の前記ACガス放電画面では(図1参照)、前面基板1と、前面基板1に接続した背面基板6を含む表面放電構造を用いている。前面基板1は、透明電極(ITO)2とバス電極3を備えている。
In the AC gas discharge screen of the present invention (see FIG. 1), a surface discharge structure including a front substrate 1 and a rear substrate 6 connected to the front substrate 1 is used. The front substrate 1 includes a transparent electrode (ITO) 2 and a
透明電極2とバス電極3は、維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yを含む放電電極を構成する。放電電極の表面は、誘電体層4で被覆し、誘電体層4は誘電体保護層5で被覆する。維持放電電極xと走査/維持放電電極Yの間の非放電領域はストリップ上の黒色銀ペースト12で被覆する。
Transparent electrode 2 and
前記背面基板6はアドレス電極7を備え、アドレス電極7は放電電極と垂直であり、誘電体層11で被覆し、誘電体層11はストリップ状の隔壁9を備え、隔壁9はアドレス電極7と平行で、ストリップ状の隔壁9の底部は蛍光体層8で被覆する。前面基板と背面基板は低融点フリットで接続し、それらの間隙部に混合放電ガスNe、Ar、Xeなどを充填する。
The back substrate 6 includes address electrodes 7, which are perpendicular to the discharge electrodes and are covered with a dielectric layer 11. The dielectric layer 11 includes strip-shaped
ガス放電画面の各セルの放電過程は、アドレス電極と走査/維持放電電極の間の電位差によって、それらを放電させ(維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yが画面上の表示行を構成する)、走査/維持放電電極Yと維持放電電極Xの間の放電を引き起こし、セルのアドレス放電を完了する。アドレス放電後、アドレス電極は放電維持期間に変わる。壁電荷を蓄積したセルは放電を維持し、画面上のアドレスされたセルを点灯状態にする。 In the discharge process of each cell on the gas discharge screen, the discharge is caused by the potential difference between the address electrode and the scan / sustain discharge electrode (the sustain discharge electrode X and the scan / sustain discharge electrode Y constitute a display row on the screen). ), Causing a discharge between the scan / sustain discharge electrode Y and the sustain discharge electrode X to complete the address discharge of the cell. After the address discharge, the address electrode changes to the discharge sustain period. The cell that has accumulated the wall charge remains discharged and the addressed cell on the screen is lit.
スクリーン印刷によるガス放電画面の製造方法では(図2参照)、
1)ガラス板を洗浄し、フォトエッチングによりガラス板上に透明電極を形成する。
In the gas discharge screen manufacturing method by screen printing (see Fig. 2),
1) The glass plate is washed and a transparent electrode is formed on the glass plate by photoetching.
2)スクリーンマスク上に黒色銀ペーストを充填し、スクリーンマスクに黒色銀ペーストを通過させ、ガラス板上に印刷する。ガラス板上に印刷した黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極と黒色ストリップを得る。透明電極およびバス電極は、維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yを含む放電電極を構成する。 2) Fill the screen mask with black silver paste, pass the black silver paste through the screen mask, and print on the glass plate. The black silver paste printed on the glass plate is dried and fired, and the organic material in the black silver paste is burned to obtain a bus electrode and a black strip. The transparent electrode and the bus electrode constitute a discharge electrode including sustain discharge electrode X and scan / sustain discharge electrode Y.
3)ガラス板上の黒色ストリップおよびバス電極上に、誘電体層を印刷し、誘電体層を焼成して(温度560〜570℃、時間10〜15分)、誘電体層内の有機材料を燃焼する。 3) Print the dielectric layer on the black strip on the glass plate and the bus electrode, fire the dielectric layer (temperature 560-570 ° C., time 10-15 minutes), and remove the organic material in the dielectric layer Burn.
4)電子ビーム蒸着法により誘電体層上にMgO保護膜を形成し(厚さ4000〜7000Å)、前面基板を用意する。 4) An MgO protective film is formed on the dielectric layer by electron beam evaporation (thickness 4000 to 7000 mm), and a front substrate is prepared.
5)前面基板と背面基板をシール、排気、エージングし、ガス放電表示パネルを得る。 5) The front substrate and the rear substrate are sealed, exhausted, and aged to obtain a gas discharge display panel.
前記バス電極と黒色ストリップの製造工程では、バス電極パターンと黒色ストリップのパターンを同時に備えたスクリーンマスク上に黒色銀ペーストを充填し、スクリーンマスクに黒色銀ペーストを通過させ、ガラス板上の透明電極の外縁、および維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yの間の非放電領域に印刷し、黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極と黒色ストリップを得る。 In the manufacturing process of the bus electrode and the black strip, a black silver paste is filled on a screen mask having a bus electrode pattern and a black strip pattern at the same time, the black silver paste is passed through the screen mask, and the transparent electrode on the glass plate And the non-discharge area between the sustain discharge electrode X and the scan / sustain discharge electrode Y, and the black silver paste is dried and fired to burn the organic material in the black silver paste, and the bus electrode and black Get a strip.
黒色銀ペーストを乾燥する際の乾燥温度は85〜95℃、時間は18〜22分、焼成する際の焼成温度は540〜560℃、時間は25〜35分である。黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼すると、バス電極および黒色ストリップが形成される。バス電極および黒色ストリップの高さは、3〜10μmである。 The drying temperature for drying the black silver paste is 85 to 95 ° C., the time is 18 to 22 minutes, the baking temperature for baking is 540 to 560 ° C., and the time is 25 to 35 minutes. When the organic material in the black silver paste is burned, bus electrodes and black strips are formed. The height of the bus electrode and the black strip is 3 to 10 μm.
実施例1
スクリーン印刷法でガス放電画面を製造する際、対角42インチの表示画面の場合、まず高融点のPD−200ガラス基板を一枚用意し、それを洗浄する。フォトエッチング法によりガラス板上に透明電極を形成し、スクリーンマスク上に幅90μmのバス電極パターンと、幅170μmの黒色ストリップのパターンを形成する。バス電極と黒色ストリップのパターンの間の距離は45μmとする。次に、バス電極パターンと黒色ストリップのパターンを備えたスクリーンマスク上に、黒色銀ペーストを充填する(黒色ストリップのパターンと、用意したバス電極パターンの位置合わせ工程を避けることができる)。スクリーンマスクに黒色銀ペーストを通過させ、ガラス板の透明電極の外縁、および維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yの間の非放電領域に印刷する。乾燥炉および焼成炉で各々黒色銀ペーストを乾燥、焼成し(乾燥温度は90℃で時間は20分、焼成温度は550℃で時間は30分)、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、高さ約6μmのバス電極および黒色ストリップを得る。
Example 1
When producing a gas discharge screen by the screen printing method, in the case of a 42 inch diagonal display screen, first, a PD-200 glass substrate having a high melting point is prepared and washed. A transparent electrode is formed on a glass plate by a photoetching method, and a bus electrode pattern having a width of 90 μm and a black strip pattern having a width of 170 μm are formed on a screen mask. The distance between the bus electrode and the black strip pattern is 45 μm. Next, a black silver paste is filled on a screen mask having a bus electrode pattern and a black strip pattern (a step of aligning the black strip pattern and the prepared bus electrode pattern can be avoided). Black silver paste is passed through the screen mask and printed on the outer edge of the transparent electrode of the glass plate and the non-discharge area between the sustain discharge electrode X and the scan / sustain discharge electrode Y. Each black silver paste is dried and fired in a drying furnace and a firing furnace (drying temperature is 90 ° C. for 20 minutes, firing temperature is 550 ° C. for 30 minutes), and the organic material in the black silver paste is burned, Bus electrodes and black strips of about 6 μm height are obtained.
その後、ガラス板上の黒色ストリップおよびバス電極上に誘電体層を印刷する。誘電体層および有機溶剤の組成は、ガラス粉末PbO・B2O3・SiO2および樹脂バインダなどからなり、誘電体層の主な機能は、ACを用いる際に電荷を蓄積する容量となり、前面基板上の電極を駆動する際に、壁電荷を提供して駆動電圧を低減し、維持状態を記憶する機能を提供することである。誘電体層は焼成し(焼成温度は565℃、時間は12分)、誘電体層内の有機材料を燃焼する。 A dielectric layer is then printed on the black strip on the glass plate and the bus electrode. The composition of the dielectric layer and the organic solvent is composed of glass powder PbO.B 2 O 3 .SiO 2 and a resin binder, and the main function of the dielectric layer is a capacity for accumulating charges when using AC. When driving an electrode on a substrate, a wall charge is provided to reduce a driving voltage and provide a function of storing a maintenance state. The dielectric layer is fired (firing temperature is 565 ° C., time is 12 minutes), and the organic material in the dielectric layer is burned.
電極の放電寿命を長くするために、さらに電子ビーム蒸着法により誘電体層上にMgO保護膜を形成する必要がある。MgO保護膜は主にMgOからなり、MgO保護膜の主な機能は、放電セルと画面の他の部分を絶縁し、プラズマ画面を点灯した際に、前面基板の維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yの電極部分が、イオンによって影響を受けないようにし、MgO保護膜の下の全ての材料を保護することである。さらに、MgO保護膜は高二次電子放出効率を提供し、ガス放電の生成に必要な最低起動電圧を低減する。MgO保護膜の厚さは5500Åである。こうして、前面基板を用意する。用意した前面基板と背面基板はシール、排気、エージングして、ガス放電パネルを得る。 In order to prolong the discharge life of the electrode, it is necessary to further form a MgO protective film on the dielectric layer by electron beam evaporation. The MgO protective film is mainly made of MgO, and the main function of the MgO protective film is to insulate the discharge cells from the other parts of the screen and to scan / maintain the sustain discharge electrodes X on the front substrate when the plasma screen is turned on. The electrode part of the discharge electrode Y is made unaffected by ions and protects all materials under the MgO protective film. In addition, the MgO protective film provides high secondary electron emission efficiency and reduces the minimum starting voltage required for generating a gas discharge. The thickness of the MgO protective film is 5500 mm. In this way, a front substrate is prepared. The prepared front substrate and back substrate are sealed, exhausted, and aged to obtain a gas discharge panel.
実施例2
実施例2の製造工程は、実施例1と同様である。
Example 2
The manufacturing process of Example 2 is the same as that of Example 1.
焼成炉内で黒色銀ペーストを乾燥する際の乾燥温度は85℃、時間は18分、焼成炉内の黒色銀ペーストを焼成する際の焼成温度は545℃、時間は25分で、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼して、バス電極および黒色ストリップを得る。バス電極および黒色ストリップの高さは4μm、MgO保護膜の厚さは4000Åである。 The drying temperature when drying the black silver paste in the baking furnace is 85 ° C., the time is 18 minutes, the baking temperature when baking the black silver paste in the baking furnace is 545 ° C., the time is 25 minutes, the black silver paste The organic material inside is burned to obtain bus electrodes and black strips. The height of the bus electrode and the black strip is 4 μm, and the thickness of the MgO protective film is 4000 mm.
実施例3
実施例2の製造工程は、実施例1と同様である。
Example 3
The manufacturing process of Example 2 is the same as that of Example 1.
乾燥炉内で黒色銀ペーストを乾燥する際の乾燥温度は95℃、時間は22分、焼成炉内で黒色銀ペーストを焼成する際の焼成温度は560℃、時間は35分で、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼して、バス電極および黒色ストリップを得る。バス電極および黒色銀ペーストの高さは10μm、MgO保護膜の厚さは7000Åである。 The drying temperature when drying the black silver paste in the drying furnace is 95 ° C., the time is 22 minutes, the baking temperature when baking the black silver paste in the baking furnace is 560 ° C., the time is 35 minutes, the black silver paste The organic material inside is burned to obtain bus electrodes and black strips. The height of the bus electrode and the black silver paste is 10 μm, and the thickness of the MgO protective film is 7000 mm.
フォトエッチング法によりガス放電画面を製造する方法では(図3参照)、
1)ガラス板を洗浄し、フォトエッチング法によりガラス板上に透明電極を形成する。
In a method of manufacturing a gas discharge screen by a photo etching method (see FIG. 3),
1) The glass plate is washed, and a transparent electrode is formed on the glass plate by a photoetching method.
2)ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷し、連続的なフィルム層を形成し、露光機内にパターンを備えたフォトマスクによりガラス板上のフィルム層を露光し、現像する。黒色銀ペーストを乾燥、焼成し、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼して、バス電極および黒色ストリップを得る。 2) A photosensitive black silver paste is printed on a glass plate to form a continuous film layer, and the film layer on the glass plate is exposed and developed with a photomask provided with a pattern in an exposure machine. The black silver paste is dried and fired, and the organic material in the black silver paste is burned to obtain a bus electrode and a black strip.
透明電極およびバス電極は、維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yを含む放電電極を構成する。 The transparent electrode and the bus electrode constitute a discharge electrode including sustain discharge electrode X and scan / sustain discharge electrode Y.
3)ガラス板のバス電極および黒色ストリップ上に誘電体層を印刷し、誘電体層を焼成して、誘電体層内の有機材料を燃焼する。燃焼温度は560〜570℃、時間は10〜15分である。 3) Printing a dielectric layer on the bus electrode and black strip of the glass plate, firing the dielectric layer, and burning the organic material in the dielectric layer. The combustion temperature is 560-570 ° C., and the time is 10-15 minutes.
4)電子ビーム蒸着法により誘電体層上にMgO保護膜を形成し、前面板を用意する。 4) An MgO protective film is formed on the dielectric layer by electron beam evaporation, and a front plate is prepared.
5)用意した前面板と背面板をシール、排気、エージングして、ガス放電画面を得る。 5) The prepared front plate and back plate are sealed, exhausted, and aged to obtain a gas discharge screen.
前記バス電極および黒色ストリップの製造工程では、まずガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷して、連続的なフィルム層を形成し、露光機内にバス電極パターンと黒色ストリップのパターンを同時に備えたフォトマスクによって、ガラス板上のフィルム層を露光し、ガラス板上の透明電極の外縁、および維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yの間の非放電領域に、フォトマスクから電極パターンと黒色ストリップのパターンを複写し、さらに現像し、感光性黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、感光性黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極と黒色ストリップを得る。 In the manufacturing process of the bus electrode and the black strip, first, a photosensitive black silver paste is printed on a glass plate to form a continuous film layer, and the bus electrode pattern and the black strip pattern are simultaneously provided in the exposure machine. The film layer on the glass plate is exposed with a photomask, and the electrode pattern and black color are transferred from the photomask to the outer edge of the transparent electrode on the glass plate and the non-discharge area between the sustain discharge electrode X and the scan / sustain discharge electrode Y. The pattern of the strip is copied, further developed, the photosensitive black silver paste is dried and fired, and the organic material in the photosensitive black silver paste is burned to obtain a bus electrode and a black strip.
乾燥温度は85〜95℃、時間は18〜22分、焼成温度は540〜560℃、時間は25〜35分、バス電極および黒色ストリップの高さは、3〜10μmである。 The drying temperature is 85 to 95 ° C., the time is 18 to 22 minutes, the firing temperature is 540 to 560 ° C., the time is 25 to 35 minutes, and the height of the bus electrode and the black strip is 3 to 10 μm.
実施例4
フォトエッチング法によりガス放電画面を製造する際、対角50インチの表示画面の場合、高融点のPD−200ガラス基板を一枚用意し、まずフォトエッチングによりガラス板上に透明電極を形成する。ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷し、高さ15μmの連続フィルム層を形成し、露光機内にバス電極パターンと黒色ストリップのパターンを同時に備えたフォトマスクによって、ガラス板上のフィルム層を露光し、紫外線ランプの照射によって、ガラス板上の透明電極の外縁、および維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yの間の非放電領域に、フォトマスクから電極パターンと黒色ストリップのパターンを複写し、さらに現像する。感光性黒色銀ペーストを乾燥、焼成し(焼成炉内で)、感光性黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極および黒色ストリップを得る。
Example 4
When a gas discharge screen is manufactured by the photoetching method, in the case of a display screen having a diagonal size of 50 inches, a high melting point PD-200 glass substrate is prepared, and first, a transparent electrode is formed on the glass plate by photoetching. A photosensitive black silver paste is printed on a glass plate to form a continuous film layer having a height of 15 μm, and the film layer on the glass plate is formed by a photomask having a bus electrode pattern and a black strip pattern simultaneously in an exposure machine. When exposed and irradiated with an ultraviolet lamp, the electrode pattern and black strip pattern are copied from the photomask to the outer edge of the transparent electrode on the glass plate and the non-discharge area between the sustain discharge electrode X and the scan / sustain discharge electrode Y. And develop further. The photosensitive black silver paste is dried and fired (in a firing furnace), and the organic material in the photosensitive black silver paste is burned to obtain a bus electrode and a black strip.
乾燥温度は90℃、時間は20分、焼成時の温度は550℃、時間は30分である。バス電極および黒色ストリップの高さは6μmである。その後、ガラス板の黒色ストリップおよびバス電極上に誘電体層を印刷する。誘電体層の主成分は、ガラス粉末PbO・B2O3・SiO2および樹脂バインダなどからなり、誘電体層の主な機能は、ACを用いる際に電荷を蓄積する容量となり、前面基板上の電極を駆動する際に、壁電荷を提供して駆動電圧を低減し、維持状態を記憶する機能を提供することである。誘電体層は焼成し(焼成温度は565℃、時間は12分)、誘電体層内の有機材料を燃焼する。 The drying temperature is 90 ° C., the time is 20 minutes, the firing temperature is 550 ° C., and the time is 30 minutes. The height of the bus electrode and the black strip is 6 μm. A dielectric layer is then printed on the black strip of glass plate and the bus electrodes. The main component of the dielectric layer is made of a glass powder PbO · B 2 O 3 · SiO 2 and the resin binder, the main function of the dielectric layer becomes a capacitor for storing charge when using AC, front substrate When driving the electrodes, the wall charge is provided to reduce the driving voltage and to provide the function of storing the maintenance state. The dielectric layer is fired (firing temperature is 565 ° C., time is 12 minutes), and the organic material in the dielectric layer is burned.
電極の放電寿命を長くするために、さらに電子ビーム蒸着法により誘電体層上にMgO保護膜を形成する必要がある。MgO保護膜は主にMgOからなり、MgO保護膜の主な機能は、放電セルと画面の他の部分を絶縁し、プラズマ画面を点灯した際に、前面基板の維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yの電極部分が、イオンによって影響を受けないようにし、MgO保護膜の下の全ての材料を保護することである。さらに、MgO保護膜は高二次電子放出効率を提供し、ガス放電の生成に必要な最低起動電圧を低減する。MgO保護膜の厚さは5500Åである。こうして、前面基板を用意する。用意した前面基板と背面基板はシール、排気、エージングして、ガス放電パネルを得る。 In order to prolong the discharge life of the electrode, it is necessary to further form a MgO protective film on the dielectric layer by electron beam evaporation. The MgO protective film is mainly made of MgO, and the main function of the MgO protective film is to insulate the discharge cells from the other parts of the screen and to scan / maintain the sustain discharge electrodes X on the front substrate when the plasma screen is turned on. The electrode part of the discharge electrode Y is made unaffected by ions and protects all materials under the MgO protective film. In addition, the MgO protective film provides high secondary electron emission efficiency and reduces the minimum starting voltage required for generating a gas discharge. The thickness of the MgO protective film is 5500 mm. In this way, a front substrate is prepared. The prepared front substrate and back substrate are sealed, exhausted, and aged to obtain a gas discharge panel.
実施例5
実施例5の製造工程は、実施例4と同様である。
Example 5
The manufacturing process of Example 5 is the same as that of Example 4.
乾燥炉内で黒色銀ペーストを乾燥する際の乾燥温度は85℃、時間は18分、焼成炉内で黒色銀ペーストを焼成する際の焼成温度は545℃、時間は25分で、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極および黒色ストリップを得る。バス電極および黒色ストリップの高さは4μm、MgO保護膜の厚さは4000Åである。 The drying temperature when drying the black silver paste in the drying furnace is 85 ° C., the time is 18 minutes, the baking temperature when baking the black silver paste in the baking furnace is 545 ° C., the time is 25 minutes, the black silver paste The organic material inside is burned to obtain bus electrodes and black strips. The height of the bus electrode and the black strip is 4 μm, and the thickness of the MgO protective film is 4000 mm.
実施例6
実施例6の製造工程は、実施例4と同様である。
Example 6
The manufacturing process of Example 6 is the same as that of Example 4.
乾燥炉内で黒色銀ペーストを乾燥する際の乾燥温度は95℃、時間は22分、焼成炉内で黒色銀ペーストを焼成する際の焼成温度は560℃、時間は35分で、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極および黒色ストリップを得る。バス電極および黒色ストリップの高さは10μm、MgO保護膜の厚さは7000Åである。 The drying temperature when drying the black silver paste in the drying furnace is 95 ° C., the time is 22 minutes, the baking temperature when baking the black silver paste in the baking furnace is 560 ° C., the time is 35 minutes, the black silver paste The organic material inside is burned to obtain bus electrodes and black strips. The height of the bus electrode and the black strip is 10 μm, and the thickness of the MgO protective film is 7000 mm.
上記の方法は、任意の大きさのガス放電表示画面の製造工程での使用に適している。 The above method is suitable for use in a manufacturing process of a gas discharge display screen having an arbitrary size.
1・・・基板
2・・・透明電極
3・・・バス電極
4・・・誘電体層
5・・・誘電体保護層
6・・・背面基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Board | substrate 2 ...
Claims (8)
2)スクリーンマスク上に黒色銀ペーストを充填し、スクリーンマスクに黒色銀ペーストを通過させて、ガラス板上に印刷し、ガラス板上に印刷した黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極および黒色ストリップを得て、透明電極およびガス電極が、維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yを含む放電電極を構成し、
3)ガラス板上の前記バス電極および黒色ストリップ上に誘電体層を印刷し、誘電体層を焼成して、誘電体層内の有機材料を燃焼し、
4)電子ビーム蒸着膜形成法により誘電体層上にMgO保護膜を形成して、前面基板を用意し、
5)用意した前面基板と背面基板をシール、排気、エージングしてガス放電画面を得るスクリーン印刷によりガス放電画面を製造する方法であって、
前記バス電極および黒色ストリップの製造工程で、バス電極パターンと黒色ストリップのパターンを同時に備えたスクリーンマスク上に、黒色銀ペーストを充填し、前記スクリーンマスクに黒色銀ペーストを通過させ、ガラス板上の透明電極の外縁、および維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yの間の非放電領域に印刷し、ガラス板上に印刷した黒色銀ペーストを乾燥、焼成し、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼して、バス電極および黒色ストリップを得ることを特徴とする方法。 1) Form a transparent electrode on a glass plate by photoetching,
2) Fill the screen mask with black silver paste, let the black silver paste pass through the screen mask, print on the glass plate, dry and fire the black silver paste printed on the glass plate, black silver paste Burning the organic material inside, obtaining a bus electrode and a black strip, the transparent electrode and the gas electrode constitute the discharge electrode including the sustain discharge electrode X and the scan / sustain discharge electrode Y,
3) printing a dielectric layer on the bus electrode and black strip on the glass plate, firing the dielectric layer, burning the organic material in the dielectric layer;
4) A MgO protective film is formed on the dielectric layer by an electron beam vapor deposition film forming method, and a front substrate is prepared.
5) A method of manufacturing a gas discharge screen by screen printing to obtain a gas discharge screen by sealing, exhausting, and aging the prepared front substrate and rear substrate,
In the manufacturing process of the bus electrode and the black strip, a black silver paste is filled on a screen mask having a bus electrode pattern and a black strip pattern at the same time. The black silver paste printed on the outer edge of the transparent electrode and the non-discharge area between the sustain discharge electrode X and the scan / sustain discharge electrode Y and printed on the glass plate is dried and fired, and the organic material in the black silver paste is removed. Burning to obtain a bus electrode and a black strip.
2)ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷して、連続的なフィルム層を形成し、露光機内にパターンを備えたフォトマスクによりガラス板上のフィルム層を露光し、さらに現像し、次に感光性黒色銀ペーストを乾燥、焼成し、感光性黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼して、バス電極および黒色ストリップを得て、前記透明電極およびバス電極が、維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yを含む放電電極を構成し、
3)ガラス板のバス電極および黒色ストリップ上に誘電体層を印刷し、誘電体層を焼成して、誘電体層内の有機材料を燃焼し、
4)電子ビーム蒸着膜形成法により誘電体層上にMgO保護膜を形成して、前面基板を用意し、
5)用意した前面基板と背面基板をシール、排気、エージングしてガス放電画面を得るフォトエッチングによりガス放電画面を製造する方法であって、
前記バス電極および黒色ストリップの前記製造工程で、ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷して、まず連続的なフィルム層を形成し、露光機内にバス電極パターンと黒色ストリップのパターンを同時に備えたフォトマスクによりガラス板上のフィルム層を露光し、ガラス板上の透明電極の外縁、および維持放電電極Xと走査/維持放電電極Yの間の非放電領域に、フォトマスクから電極パターンと黒色ストリップのパターンを複写し、さらに現像し、次に感光性黒色銀ペーストを乾燥、焼成し、感光性黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼して、バス電極および黒色ストリップを得ることを特徴とする方法。 1) Form a transparent electrode on a glass plate by photoetching,
2) Photosensitive black silver paste is printed on the glass plate to form a continuous film layer, the film layer on the glass plate is exposed with a photomask having a pattern in the exposure machine, and further developed. The photosensitive black silver paste is dried and fired, and the organic material in the photosensitive black silver paste is burned to obtain a bus electrode and a black strip. The transparent electrode and the bus electrode are scanned with the sustain discharge electrode X. Constituting a discharge electrode including the sustain discharge electrode Y;
3) printing a dielectric layer on the bus electrode and black strip of the glass plate, firing the dielectric layer, burning the organic material in the dielectric layer;
4) An MgO protective film is formed on the dielectric layer by an electron beam vapor deposition film forming method, and a front substrate is prepared.
5) A method of manufacturing a gas discharge screen by photoetching to obtain a gas discharge screen by sealing, exhausting, and aging the prepared front substrate and rear substrate,
In the manufacturing process of the bus electrode and the black strip, a photosensitive black silver paste is printed on a glass plate to form a continuous film layer, and the bus electrode pattern and the black strip pattern are simultaneously provided in the exposure machine. The film layer on the glass plate is exposed with a photomask, and the electrode pattern and black color from the photomask to the outer edge of the transparent electrode on the glass plate and the non-discharge area between the sustain discharge electrode X and the scan / sustain discharge electrode Y The strip pattern is copied, further developed, then the photosensitive black silver paste is dried and baked, and the organic material in the photosensitive black silver paste is burned to obtain a bus electrode and a black strip. Method.
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