JP2003243608A - 電力用モジュール - Google Patents

電力用モジュール

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    • H01L2924/13091Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電力半導体装置の回路抵抗を低減し、熱放散
を向上し、さらに、素子数を減少させてサイズを小さく
する。 【解決手段】 外部との電気的接続を確保する第1の外
部端子および第2の外部端子と、電流を入力する第1の
電極、および、入力された電流を出力する第2の電極を
有し、第1の外部端子から該第1の電極に入力される電
流をスイッチングして、第2の電極および第2の外部端
子から出力される電流を制御するスイッチング素子と、
フリーホイールダイオードとを有する電力用モジュール
を提供する。電力用モジュールは、第1の外部端子に電
気的に接続された第1の板状導体と、第2の外部端子に
電気的に接続された第2の板状導体とをさらに備えてお
り、その各々は、スイッチング素子とフリーホイールダ
イオードとを逆並列接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、IGBT/MOS
FET/ダイオード等の電力半導体素子を内蔵した半導
体装置の回路抵抗の低減、熱拡散の向上および小型化に
関する。
【0002】
【従来の技術】図7の(a)は、従来の電力半導体装置
170の断面図であり、(b)は、その上面図である。
電力半導体装置170では、金属製の放熱ベース板74
の上に、セラミックの表裏に回路パターンを金属メッキ
した絶縁基板73が配置されている。絶縁基板73上に
は、電力半導体素子71(例えば、IGBT)、ダイオ
ード72、および、4つの外部端子76〜79が設けら
れている。電力半導体素子71がIGBTの場合、絶縁
基板73側の面(裏面)がコレクタ電極面、その反対側
の面(表面)がエミッタ電極面である。また、ダイオー
ド72については、絶縁基板73側の面(裏面)がカソ
ード電極面、その反対側の面(表面)がアノード電極面
となるように配置されている。
【0003】電力半導体素子71とダイオード72と
は、比較的細いワイヤ80−2により電気的に接続され
ている。また、電力半導体素子71の各エミッタセル
は、比較的細いワイヤ80−1を介して、絶縁基板73
上の回路パターンと接続されている。絶縁基板73上の
パターンは、外部端子76〜79と接続されている。ゲ
ル・樹脂81およびケース75は、これらの回路および
素子を覆い、保護する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の電力半導体装置
170では、半導体素子71のエミッタ電極面、ダイオ
ード72のエミッタ電極面は、ワイヤ80−1〜80−
3で他の回路要素と接続されるので、以下のような制約
が存在する。
【0005】まず第一に、ワイヤ80−1〜80−3が
比較的細いため、流すことのできる電流の限界がある。
ワイヤを太くし、ワイヤの本数を増やすことにより主回
路に必要な電流容量を確保できるものの、ワイヤボンド
をするためのスペースが必要となるため、装置を小型化
できないという別の制約が生じる。
【0006】第二に、ワイヤ80−1〜80−3が細い
ために回路抵抗が大きくなる。ワイヤを太くし、ワイヤ
の本数を増やせば抵抗は軽減できるが、やはり上述の別
の制約が生じる。
【0007】第三に、半導体素子71とワイヤ80−
1,2の接合面に電流が集中するので、熱が局在化す
る。半導体素子71上のワイヤ接合面を分散させること
により熱の集中を軽減できるが、現在、完全に分散させ
るには至っていない。
【0008】第四に、半導体素子71の各エミッタセル
は、ワイヤ、および、ワイヤの接合先の絶縁基板上のパ
ターンを介して互いに接続されている。このような接続
形態により、各セルでアンバランスが生じる。すなわ
ち、電力半導体装置170の短絡時にゲート発振が生
じ、装置が破壊され、または装置が誤動作する可能性が
ある。各セル同士を直接ワイヤで接続すればよいが、そ
うすると、ワイヤ本数が増加し、さらに、メイン電流が
流れるワイヤと垂直の向きにもワイヤボンドすることが
必要になる。これは、スペースに余裕がないため非常に
困難である。
【0009】第五に、電力半導体装置170では、ワイ
ヤの接合先となる絶縁基板上のパターン、および、外部
端子が必要なため、部品点数が多くなり、装置のサイズ
が大きくなる。よって、生産上の困難が生じやすい。
【0010】本発明の目的は、電力半導体装置の回路抵
抗を低減し、熱放散を向上し、さらに、素子数を減少さ
せてサイズを小さくすることである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の電力用モジュー
ルは、外部との電気的接続を確保する第1の外部端子お
よび第2の外部端子と、電流を入力する第1の電極、お
よび、入力された電流を出力する第2の電極を有し、前
記第1の外部端子から該第1の電極に入力される電流を
スイッチングして、第2の電極および前記第2の外部端
子から出力される電流を制御するスイッチング素子と、
フリーホイールダイオードとを有する電力用モジュール
であって、前記第1の外部端子に電気的に接続された第
1の板状導体と、前記第2の外部端子に電気的に接続さ
れた第2の板状導体とをさらに備え、前記第1の板状導
体、および、前記第2の板状導体が、前記スイッチング
素子と前記フリーホイールダイオードとを逆並列接続し
ている。これにより、上記目的が達成される。
【0012】前記スイッチング素子の厚みと、前記フリ
ーホイールダイオードの厚みとが略同一であってもよ
い。
【0013】前記第1の外部端子と前記第1の板状導体
とが、一体化して構成され、前記第2の外部端子と前記
第2の板状導体とが、一体化して構成されていてもよ
い。
【0014】前記スイッチング素子、前記フリーホイー
ルダイオード、前記第1の板状導体、および、前記第2
の板状導体は、樹脂材料でモールドされていてもよい。
【0015】電力用モジュールは、外部との電気的接続
を確保する、板状の第3の外部端子をさらに備え、前記
スイッチング素子は、板状の前記第3の外部端子と接続
され、印加された電圧に基づいて、出力される前記電流
を制御する第3の電極をさらに備えていてもよい。
【0016】電力用モジュールは、発生した熱を放出す
る第1の放熱板と、第2の放熱板とをさらに備え、第1
の放熱板は、一方の面が前記樹脂材料を介して前記第1
の板状導体と対向し、他方の面は外部に露出して配置さ
れており、第2の放熱板は、一方の面が前記樹脂材料を
介して前記第2の板状導体と対向し、他方の面は外部に
露出して配置されていてもよい。
【0017】前記第1の板状導体、および、前記第2の
板状導体は、各々の厚さに応じて、回路抵抗を調節可能
であってもよい。
【0018】前記スイッチング素子は、半導体により構
成された、例えば、IGBTチップであってもよい。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して、本
発明の実施の形態を説明する。各図面において、同一の
参照符号が付された構成要素は、同一の機能を有すると
する。
【0020】(実施の形態1)図1の(a)は、電力半
導体装置110の側面の断面図であり、(b)は、その
上面の断面図である。電力半導体装置110は、パワー
デバイスの駆動等に用いられる電力用の半導体モジュー
ルである。図1の(a)および(b)を参照して、電力
半導体装置110は、電力半導体素子1と、ダイオード
2と、および外部電極6〜9と、ワイヤ10と、金属板
12、13と、板状絶縁体14とが、後述のように積層
されて構成されている。電力半導体装置110では、積
層されたこれらの構成、より具体的には、電力半導体素
子1、ダイオード2、、ワイヤ10、および、金属板1
2、13は、安価でかつ成形が容易である樹脂11でモ
ールドされ、ケース5で覆われている。なお、外部電極
6〜9も、一部モールドされ封止されている。
【0021】以下、各構成要素を説明する。電力半導体
素子1は、例えば、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ
(IGBT)、MOS FET(Metal Oxid
e Semiconductor Feild−Effe
ct Transistor(金属酸化膜半導体型電界
効果トランジスタ))であり、高速なスイッチング動作
が可能なスイッチング半導体チップとしての機能を有す
る。ダイオード2は、周知のダイオードである。後述の
ように、電力半導体素子1に対して、ダイオード2は逆
並列に接続され、電力半導体素子1の電極に逆電圧が印
加されることを防止する。すなわち、ダイオード2は、
フリーホイールダイオードとして機能する。外部電極6
〜9は、電力半導体装置110を外部回路等に接続する
端子であり、各要素が積層されている方向、換言すれ
ば、板状絶縁体14に対して略垂直な方向に延びて、そ
の一部が電力半導体装置110の外表面に露出してい
る。ワイヤ10は、導電性物質により形成され、電力半
導体素子1と外部電極9とを接続する。金属板12、1
3は、金属製導電性物質で形成された板状体である。絶
縁体14は、任意の絶縁物質であればよく、例えば、セ
ラミック板、シリコンシート、板状の樹脂である。
【0022】続いて、電力半導体装置110の各構成要
素の積層構造、すなわち各構成要素の配置を説明する。
絶縁体14上には、まず外部電極6、9および、外部電
極6に電気的に接続された金属板13が設けられる。外
部電極6と金属板13とは、一体化されていてもよい。
そして、金属板13上には、電力半導体素子1およびダ
イオード2が接続される。電力半導体素子1がIGBT
チップの場合、絶縁体14および外部電極6側の面(裏
面)が、電流が流入するコレクタ電極面、その反対側の
面(表面)が、電流が流出するエミッタ電極面である。
また、ダイオード2については、絶縁体14および外部
電極6側の面(裏面)がカソード電極面、その反対側の
面(表面)がアノード電極面となるように配置されてい
る。よって、金属板13と接続されるのは、電力半導体
素子1のコレクタ電極面、および、ダイオード2のカソ
ード電極面である。これにより、電力半導体素子1に対
して、ダイオード2が逆並列に接続される。電力半導体
素子1およびダイオード2の上には、外部との電気的接
続を確保する外部電極8および7がそれぞれ設けられ
る。
【0023】さらに、電力半導体素子1およびダイオー
ド2上には、金属板12が設けられる。金属板12と接
続されるのは、電力半導体素子1のエミッタ電極面、お
よび、ダイオード2のアノード電極面である。金属板1
2は、電力半導体素子1およびダイオード2間の電気的
接続を確保するために設けられた導体であり、従来の電
力半導体装置170におけるワイヤ80−2(図7)に
相当する。外部電極7と金属板12とは、一体化されて
いてもよい。金属板12について留意すべきは、金属板
12の一部は穴(または切り欠き部)Hを有することで
ある。この穴Hは、電力半導体素子1のトランジスタの
ゲート部と外部電極9との電気的接続を確保するワイヤ
10を通過させるために設けられている。
【0024】このような金属板12を設けた理由は、以
下のとおりである。すなわち、一般に、伝導体の電流容
量はその断面積に比例し、電気抵抗は断面積に反比例す
る。回路の電流容量を増加させ電気抵抗を低下させるに
は伝導体の断面積を増やせばよい。しかし、電力半導体
素子1のエミッタ電極面の面積は限られているため、電
力半導体素子1のエミッタ電極面と、ダイオード2のア
ノード電極面との接続をワイヤで実現した場合、ワイヤ
全体の断面積(一本の断面積×本数)を増やすことには
限界がある。よって、ワイヤに代えて接続を金属板12
で確保することにした。
【0025】金属板12を設けたことによる効果は、以
下のとおりである。接合面積と金属板12の厚さとは無
関係であるため、金属板12の厚さを適切に選択するこ
とにより、断面積を増やすことができる。さらに、ワイ
ヤである必要がないため金属板12に使用する材質の選
択肢も増える。仮に同材質でワイヤの断面積と金属板の
厚さを同じとすると、ワイヤボンドには隙間が必要なこ
と、および、ワイヤは断面が円柱形状であることから、
金属板の方が3倍以上の断面積を持つといえる。これに
より、主回路の電気容量を大幅に向上させ、かつ、回路
抵抗を低下できる。加えて、金属板12はエミッタセル
全面と接続するため、素子上での熱分散が向上し、エミ
ッタセルの分割に起因するゲート発振を抑制できる。さ
らに、金属板12と外部電極7とを直接接続し、また
は、一体化したことにより、部品点数を減らし、装置を
小型化できる。
【0026】また、先に説明した金属板13を設けたこ
とによる効果を説明すると、素子と金属板から構成され
る主回路が絶縁基板から独立できるようになるととも
に、金属板13と外部電極6とを直接接続し、または、
一体化したことにより、部品点数を減らし、装置を小型
化できる。さらに、電力半導体装置170(図7)のよ
うな金属製の放熱ベース板74(図7)を用いていない
ので、部品点数を減らし、装置を軽量・薄型化すること
ができる。
【0027】なお、電力半導体素子1の厚み、および、
ダイオード2の厚みを略同一にすることにより、外部電
極6および7と一体化された金属板12および金属板1
3には曲げ加工が必要なくなる。よって金属板12およ
び13を生産しやすくなり、安価に得ることができる。
【0028】電力半導体装置110が、上述したように
構成されている場合には、それ以外の部分の構成を変形
してもよい。例えば、図2の(a)および(b)は、樹
脂板11’を設けた電力半導体装置120の側面の断面
図および上面の断面図である。図2の(a)に示すよう
に、電力半導体装置120の絶縁体14の下部に、樹脂
板11’を設けても電力半導体装置110(図1)で説
明した効果が得られ、かつ、樹脂板11を設けることに
より、絶縁体を保護でき、絶縁信頼性が向上する。
【0029】(実施の形態2)図3の(a)は、電力半
導体装置130の側面の断面図であり、(b)は、その
上面の断面図である。電力半導体装置130は、電力半
導体装置110(図1)と同様、外部電極7と一体化さ
れた金属板12、および、外部電極6ならびに8と一体
化された金属板13を有する。さらに、金属板12は、
電力半導体素子1のトランジスタのゲート部と外部電極
9との電気的接続を確保するワイヤ10を通過させる穴
Hをも有する。これらの詳細な説明は、実施の形態1に
おいてされたとおりであるので、実施の形態2では省略
する。このような構成により、実施の形態1で説明し
た、金属板12および金属板13を設けた効果は、電力
半導体装置130でも得ることができる。
【0030】実施の形態2による電力半導体装置130
が、実施の形態1による電力半導体装置110(図1)
と相違する点を説明すると、まず、電力半導体装置13
0の外部電極6〜9は、金属板12および金属板13の
面と略平行な方向に延びて外部に出されている。さら
に、電力半導体装置130は、絶縁体14およびケース
5に代えて、モールド15で封止されている。より具体
的には、電力半導体素子1、ダイオード2、金属板1
2、13は、モールド15で封止されている。なお、外
部電極6〜9も、一部モールド15で封止されている。
モールドは、樹脂を用いて形成される。
【0031】従来の電力半導体装置170(図7)と比
較すれば、絶縁基板73(図7)およびベース板74
(図7)が存在せず、さらに、実施の形態1の電力半導
体装置110(図1)と比較すると、外部電極が金属板
と略平行な方向に延びるので、接続のための垂直方向の
スペースが不要になり、大幅に電力半導体装置を薄型化
できる。また、絶縁体14およびケース5が存在しない
ので、大幅に部品点数を減らし、小型軽量化できる。
【0032】以下、電力半導体装置130の第1〜第4
の変形例を説明する。図3の(c)は、実施の形態2の
第1の変形例による電力半導体装置130’の上面の断
面図である。図から明らかなように、電力半導体装置1
30’では、(a)および(b)で設けられていたワイ
ヤ10に代えて、板状の外部電極9’を電力半導体素子
1のゲート電極まで延ばし、直接接続するようにしてい
る。したがって、穴Hは特に設けなくともよい。いうま
でもなく、外部電極9’が電力半導体素子1のゲート電
極にのみ導通するように構成する必要がある。その他の
構成は、(a)および(b)に示す電力半導体装置13
0と同じである。外部電極9’を板状とし、その一面を
スイッチング素子に接続してワイヤ10を用いない構成
を採用したので、樹脂パッケージ成形時のワイヤ配線流
れが皆無で、製造時の不良率を低減できる。さらに、パ
ッケージを効果的に薄型化でき、結果的に、軽量で安価
の電力用モジュールを提供できる。
【0033】第2の変形例として、図4の(a)は、電
力半導体装置140の側面の断面図であり、(b)は、
その上面の断面図である。電力半導体装置140は、電
力半導体装置130(図3)の上面および下面に、内部
で発生した熱を放出する金属製の放熱板16を設けてい
る。他の構成は電力半導体装置130(図3)と同じで
ある。放熱板16を設けたことにより、樹脂モールド1
5のみの場合と比較して、放熱性能を向上できる。
【0034】第3の変形例として、図5は、三方向から
の断面図である。すなわち(a)は、電力半導体装置1
50の側面の断面図、(b)は、その上面の断面図、
(c)は、外部電極側からの断面図である。電力半導体
装置130(図3)では、電力半導体素子1(図1)お
よびダイオード2(図1)が1組設けられ、電力半導体
素子とダイオードとが、金属板で接続されていた。電力
半導体装置150では、半導体素子およびダイオードが
2組設けられている。(b)には、電力半導体素子1−
1とダイオード2−1の組、および、電力半導体素子1
−2とダイオード2−2の組が明示されている。なお、
理解の便宜のため、(b)には金属板を示していない
が、(a)に示すように、各組には電力半導体装置13
0の金属板12、13に相当する金属板が設けられて、
各組内の電気的な接続が確保されている。
【0035】図5の(a)に記載されているように、ワ
イヤ10−1、10−2の各々は、互いに反対側から、
各電力半導体素子1−1および1−2のトランジスタゲ
ート部に接続されている。しかし、双方のワイヤは、同
じ側から電力半導体素子に接続してもよい。また、
(b)に記載のように、電力半導体素子1−1およびダ
イオード2−1の回路への入出力は、外部電極21、2
2、25、26により行われる。一方、電力半導体素子
1−2およびダイオード2−2の回路への入出力は、外
部電極20、23、24により行われる。このように、
外部電極の数は各回路で異なってもよい。電力半導体素
子およびダイオードの各組の構成が、図3に示す電力半
導体装置130の構成上の特徴を有していればよい。さ
らに、放熱板16(図4)を樹脂モールド15に設けて
もよい。
【0036】第4の変形例として、図6の(a)は、電
力半導体装置160の上面の断面図、(b)は、その側
面の断面図である。電力半導体装置150(図5)で
は、電力半導体素子およびダイオードが2組設けられ、
各組の電力半導体素子とダイオードとが、金属板で接続
されていた。電力半導体装置150では、半導体素子お
よびダイオードが6組設けられている。例えば、半導体
素子1−1およびダイオード2−1の組、および、半導
体素子1−2およびダイオード2−2の組である。換言
すれば、電力半導体装置150(図5)の構成を1単位
としたとき、電力半導体装置160は3単位で構成され
ているといえる。ただし、この場合も外部電極の数およ
び位置は、必要に応じて変更可能である。その他の構成
において、図3に示す電力半導体装置130の構成上の
特徴を有していればよい。さらに、放熱板16(図4)
を樹脂モールド15に設けてもよい。第3および第4の
変形例によれば、複数の半導体素子およびダイオードを
有する、いわゆるマルチチップ構成を採用しても、半導
体素子およびダイオードが各1つのシングルチップ構成
の場合と同様の効果が得られる。
【0037】
【発明の効果】スイッチング素子と、フリーホイールダ
イオードとの逆並列接続を、板状導体である2つの外部
端子で実現するので、構成を簡単化でき、かつ、安価な
電力用半導体モジュールを提供できる。
【0038】スイッチング素子の厚みと、フリーホイー
ルダイオードの厚みとを略同一にすることにより、厚み
差がなくなり、2つの外部端子の曲げ加工が必要ない、
生産性に優れた安価な電力用モジュールが実現できる。
【0039】外部端子と板状導体とが一体化して構成さ
れているので、実質的な端子個数を減少でき、組立が容
易で、かつ生産性に優れた安価な電力用モジュールが実
現できる。
【0040】電力用モジュールが樹脂材料でモールドさ
れているので、安価でかつ容易に成形できる。
【0041】外部端子(外部電極)を板状とし、その一
面をスイッチング素子に接続してワイヤを用いない構成
を採用したので、樹脂パッケージ成形時のワイヤ配線流
れが皆無で、製造時の不良率を低減できるだけでなく、
パッケージを効果的に薄型化でき、結果的に、軽量で安
価の電力用モジュールを提供できる。
【0042】モジュールに2つの放熱板を配設して、発
生した熱を放出するようにしたので、放熱性に極めて優
れた電力用モジュールを提供できる。
【0043】板状導体の厚さに応じて、回路抵抗を調節
可能であるので、ワイヤを採用した場合と比較すると、
電気容量を大幅に向上させ、かつ、回路抵抗を低下でき
る。
【0044】スイッチング素子は、半導体により構成さ
れた、例えば、IGBTチップであるので、高速なスイ
ッチングが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 (a)および(b)は、実施の形態1による
電力半導体装置の側面の断面図、および、上面の断面図
である。
【図2】 (a)および(b)は、樹脂板を設けた実施
の形態1による電力半導体装置の側面の断面図、およ
び、上面の断面図である。
【図3】 (a)および(b)は、実施の形態2による
電力半導体装置の側面の断面図、および、上面の断面図
である。(c)は、実施の形態2の第1の変形例による
電力半導体装置の上面の断面図である。
【図4】 (a)および(b)は、実施の形態2の第2
の変形例による電力半導体装置の側面の断面図、およ
び、上面の断面図である。
【図5】 (a)、(b)および(c)は、実施の形態
2の第3の変形例による電力半導体装置の側面の断面
図、上面の断面図、および、外部電極側からの断面図で
ある。
【図6】 (a)および(b)は、実施の形態2の第4
の変形例による電力半導体装置の側面の断面図、およ
び、上面の断面図である。
【図7】 (a)は、従来の電力半導体装置の断面図で
ある。(b)は、従来の電力半導体装置の上面図であ
る。
【符号の説明】
1 電力半導体素子、 2 ダイオード、 5 ケー
ス、 6〜9 外部電極、 10 ワイヤ、 11 樹
脂、 12、13 金属板、 14 絶縁体、110
電力半導体装置

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外部との電気的接続を確保する第1の外
    部端子および第2の外部端子と、 電流を入力する第1の電極、および、入力された電流を
    出力する第2の電極を有し、前記第1の外部端子から該
    第1の電極に入力される電流をスイッチングして、第2
    の電極および前記第2の外部端子から出力される電流を
    制御するスイッチング素子と、 フリーホイールダイオードとを有する電力用モジュール
    であって、 前記第1の外部端子に電気的に接続された第1の板状導
    体と、 前記第2の外部端子に電気的に接続された第2の板状導
    体とをさらに備え、 前記第1の板状導体、および、前記第2の板状導体が、
    前記スイッチング素子と前記フリーホイールダイオード
    とを逆並列接続する電力用モジュール。
  2. 【請求項2】 前記スイッチング素子の厚みと、前記フ
    リーホイールダイオードの厚みとが略同一である、請求
    項1に記載の電力用モジュール。
  3. 【請求項3】 前記第1の外部端子と前記第1の板状導
    体とが、一体化して構成され、前記第2の外部端子と前
    記第2の板状導体とが、一体化して構成されている、請
    求項1または2に記載の電力用モジュール。
  4. 【請求項4】 前記スイッチング素子、前記フリーホイ
    ールダイオード、前記第1の板状導体、および、前記第
    2の板状導体は、樹脂材料でモールドされている、請求
    項3に記載の電力用モジュール。
  5. 【請求項5】 外部との電気的接続を確保する、板状の
    第3の外部端子をさらに備え、 前記スイッチング素子は、板状の前記第3の外部端子と
    接続され、印加された電圧に基づいて、出力される前記
    電流を制御する第3の電極をさらに備えている、請求項
    1〜4に記載の電力用モジュール。
  6. 【請求項6】 発生した熱を放出する第1の放熱板と、
    第2の放熱板とをさらに備え、 第1の放熱板は、一方の面が前記樹脂材料を介して前記
    第1の板状導体と対向し、他方の面は外部に露出して配
    置されており、 第2の放熱板は、一方の面が前記樹脂材料を介して前記
    第2の板状導体と対向し、他方の面は外部に露出して配
    置されている、請求項5に記載の電力用モジュール。
  7. 【請求項7】 前記第1の板状導体、および、前記第2
    の板状導体は、各々の厚さに応じて、回路抵抗を調節可
    能である、請求項1〜6に記載の電力用モジュール。
  8. 【請求項8】 前記スイッチング素子は、半導体により
    構成されている、請求項1〜7に記載の電力用モジュー
    ル。
  9. 【請求項9】 前記スイッチング素子は、IGBTチッ
    プである、請求項8に記載の電力用モジュール。
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