JP2003241681A - 液晶表示パネルの検査テーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大型の液晶表示パネルであっても撓みにくく
して高い平面度を保つようにする。 【解決手段】 検査テーブル４０のチェックトップ４１
に液晶表示パネル１４を載せて，その周辺部を吸着溝５
９で吸着固定する。チャックトップ４１の背後のバック
ライト装置２０の照明光を，拡散板５４を介して液晶表
示パネル１４の背面に照射する。拡散板５４と液晶表示
パネル１４の間にはガラス板５８を配置する。ガラス板
５８は圧縮コイルばね４８によって上向きに弾性力が付
与されている。ガラス板５８の表面とハウジング４２の
上面との隙間は０〜０．４ｍｍに設定してあり，点灯検
査をするときに，液晶表示パネル１４の表示領域の背面
側はガラス板５８に面接触して，液晶表示パネル１４は
高い平面度を保つ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示パネルを点
灯検査するための検査テーブルに関する。

【０００２】

【従来の技術】図７は従来の検査テーブルの正面断面図
である。検査テーブル１０のチェックトップのハウジン
グ１２の表面には液晶表示パネル１４を載せることがで
き，この液晶表示パネル１４の電極に接触子（プローブ
針）を接触させて液晶表示パネル１４を点灯させてか
ら，その点灯状態を撮像装置で撮影することで液晶表示
パネル１４を検査できる。液晶表示パネル１４の両面に
は偏光板１６，１８が貼り付けられている。ハウジング
１２の上面に形成した吸着溝１３に負圧を供給すること
で，液晶表示パネル１４の周辺部分（偏光板１６，１８
が貼り付けられていない部分）をハウジングに１２に吸
着でき，その吸着力３２によって，液晶表示パネル１４
をハウジング１２に吸着固定できる。

【０００３】ハウジング１２の内部には導光板２４がね
じ２５で固定されている。導光板２４の上には拡散シー
ト２６を介して拡散板２８が配置されている。ハウジン
グ１２の背後にはバックライト装置２０があり，その内
部には蛍光管２２が収容されている。蛍光管２２の照明
光は，導光板２４と拡散シート２６と拡散板２８を通過
して，液晶表示パネル１４を裏側から均一に照明する。
この照明状態で液晶表示パネル１４の点灯状態を検査す
る。

【０００４】液晶表示パネル１４の下面（すなわち，ハ
ウジング１２の表面）と拡散板２８の上面との間には隙
間Ｇが形成されている。この隙間Ｇは約１ｍｍである。
偏光板１８の厚みは，液晶表示パネル１４の品種によっ
て異なり，また同じ品種でも製造ロットごとに異なるこ
とがあるので，予想される最大の厚みを考慮して，偏光
板１８が拡散板２８にぶつからないように距離Ｇを設定
してある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】液晶表示パネルが大型
（例えば，パソコンやテレビなどの表示装置用）の場
合，上述の従来の検査テーブルでは次のような問題があ
る。図８に示すように，液晶表示パネル１４の中央部は
自重３４によって下向きに撓む。例えば，大型の液晶表
示パネル１４の場合，その中央部で，０．４ｍｍ程度，
下方に撓む。図７に示す隙間Ｇをなるべく小さくしてお
けば，液晶表示パネル１４が撓んだときに偏光板１８の
下面が拡散板２８の上面にすぐに接触するので，液晶表
示パネル１４の撓みは小さくなる。しかし，上述のよう
に偏光板１８の厚みは必ずしも一定ではないので，隙間
Ｇをあまり小さくできない。

【０００６】液晶表示パネル１４が撓んでいても，目視
による点灯検査の場合はそれほど影響がない。しかし，
自動画質検査装置（ラインセンサやＣＣＤカメラを用い
て撮影するもの）で点灯検査をすると，液晶表示パネル
１４が撓んでいる場合には，検出アドレスのずれを生じ
るおそれがある。撓みが大きくなれば，画像読み取り時
に隣の画素を読み込んでしまうという致命的なエラーが
生じる。

【０００７】自重による撓みのほかに，液晶表示パネル
１４が固有の反りをもっている場合でも，同様の問題が
生じるおそれがある。

【０００８】さらに，蛍光管２２からの熱放射によって
拡散板２８が図８に示すように熱膨張して変形すること
もある。拡散板２８が変形すると，拡散板２８と導光板
２４とが（拡散シート２６を介して）平面接触しなくな
ったり，拡散板２８と液晶表示パネル１４とが局所的に
接触したりして，点灯検査時にシミ（例えば，リング状
の濃淡模様）が現れてしまう。拡散板２８の変形が大き
くなると，液晶表示パネル１４を下から押し上げて，吸
着固定を外してしまうおそれもある。

【０００９】一方，液晶表示パネルが小型（例えば，携
帯電話などの表示装置用）の場合，上述の従来の検査テ
ーブルでは次のような問題がある。図７において，液晶
表示パネル１４は，その周辺部だけで吸着固定している
ので，小型の液晶表示パネルの場合，吸着面積が小さく
て吸着力が弱くなり，検査テーブルから外れやすくな
る。

【００１０】本発明は上述の問題点を解決するためにな
されたものであり、第１の目的は、大型の液晶表示パネ
ルであっても撓みにくくて高い平面度が確保できる検査
テーブルを提供することにある。本発明の第２の目的
は，小型の液晶表示パネルであっても吸着力が十分確保
できる検査テーブルを提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】第１の発明の液晶表示パ
ネルの検査テーブルは，液晶表示パネルと導光手段の間
にガラス板を配置して，このガラス板を弾性的に支持す
るようにしたものであり，次の（ａ）〜（ｇ）の構成を
備えている。（ａ）液晶表示パネルを載せる表面を備え
るチャックトップ。（ｂ）液晶表示パネルを負圧によっ
てチャックトップに吸着させる吸着手段。（ｃ）前記チ
ャックトップの背後に配置されたバックライト装置。
（ｄ）前記バックライト装置の照明光を液晶表示パネル
の背面に均一に導くための拡散手段であって，前記チャ
ックトップの内部に配置された拡散手段。（ｅ）前記拡
散手段と前記液晶表示パネルとの間に配置されたガラス
板。（ｆ）前記ガラス板に対して，前記液晶表示パネル
に向かう方向に弾性的な力を付与する弾性力付与手段。
（ｇ）前記ガラス板が前記弾性的な力を受けて前記液晶
表示パネルに向かって移動するのを所定の制限位置で阻
止するための規制手段。

【００１２】このような構成により，ガラス板が液晶表
示パネルを下から支えるので，大型の液晶表示パネルを
点灯検査する場合に，液晶表示パネルの撓みが少なくな
る。また，このガラス板はチャックトップに弾性的に取
り付けられているので，弾性力以上の力が液晶表示パネ
ルの側からガラス板に作用すれば，ガラス板は後退でき
る。したがって，ガラス板が液晶表示パネルを押し上げ
るようなことは起こらない。このように，大型の液晶表
示パネルを高度の平面状態を保ったままで点灯検査がで
きる。また，ガラス板は熱膨張による変形が少ないの
で，その下の拡散板が熱変形するのを防いでおり，ま
た，拡散板が変形したとしても，それが液晶表示パネル
に影響を及ぼすのを防いでいる。

【００１３】第２の発明は，第１の発明において，液晶
表示パネルをチャックトップに載せない状態においてガ
ラス板の表面とチャックトップの表面との距離が０〜
０．４ｍｍの範囲内になるようにガラス板を配置したも
のである。このように上記距離を設定することによっ
て，液晶表示パネルに貼り付けられる偏光板の厚みにば
らつきがあっても，液晶表示パネルがなるべく撓むこと
なくガラス板と面接触できるようにしている。

【００１４】第３の発明は，第１または第２の発明にお
ける吸着手段として，液晶表示パネルの周辺部の背面側
に負圧を作用させるタイプを採用したものである。一
方，第４の発明は，第３の発明とは異なって，第１また
は第２の発明における吸着手段として，液晶表示パネル
の表示領域の背面側に負圧を作用させるタイプを採用し
たものである。第３の発明は大型の液晶表示パネルに有
効であり，第４の発明はどのようなサイズの液晶表示パ
ネルにも有効である。

【００１５】第５の発明は，液晶表示パネルの表示領域
の背面側に負圧を作用させて液晶表示パネルを前記チャ
ックトップに吸着させることだけを特徴としたものであ
り，特に小型の液晶表示パネルの検査テーブルとして有
効である。液晶表示パネルの表示領域の背面側に負圧を
作用させることで，周辺部の背面側に作用させる場合と
比較して，吸着力を大きくでき，液晶表示パネルが検査
テーブルから外れにくくなる。

【００１６】第６の発明は，液晶表示パネルの周辺部の
背面側に負圧を作用させて液晶パネルを前記チャックト
ップに吸着させると共に，液晶表示パネルの表示領域の
背面側に大気圧よりも高い気体圧力を作用させて液晶表
示パネルの表示領域を気体圧力で支持するようにしたも
のである。この発明は，特に大型の液晶表示パネルの点
灯検査に有効なものであり，液晶表示パネルが撓まない
ように気体圧力によって液晶表示パネルの表示領域を下
方から支持できる。

【００１７】

【発明の実施の形態】図１は本発明の第１実施形態を示
す正面断面図である。この第１実施形態は大型の液晶表
示パネルの検査用である。この検査テーブル４０は，チ
ャックトップ４１と，その背後に配置されたバックライ
ト装置２０を備えている。バックライト装置２０の内部
には複数の蛍光管２２が収容されている。チャックトッ
プ４１のハウジング４２の内部には導光板４４がねじ４
６と圧縮コイルばね４８によって弾性的に取り付られて
いる。すなわち，ねじ４６の頭部と導光板４４の下面と
の間に圧縮コイルばね４８を挟んであって，導光板４４
は圧縮コイルばね４８の弾性復元力によって，ハウジン
グ４２の内壁５０に下方から押し付けられている。圧縮
コイルばね４８が本発明における弾性力付与手段に相当
する。この圧縮コイルばね４８によって，導光板４４を
介して，後述のガラス板５８に対して，液晶表示パネル
１４に向かう方向に弾性的な力を付与している。また，
ハウジング４２の内壁５０が本発明における規制手段に
相当する。この内壁５０に導光板４４が接触すること
で，後述のガラス板５８が液晶表示パネル１４に向かっ
て移動するのを規制している。

【００１８】導光板４４の上面には第１拡散シート５
２，拡散板５４，第２拡散シート５６，ガラス板５８
が，この順に下方から上方に向かって積層されている
（接着剤などで互いに貼り合わせることなく，単に載せ
ているだけである）。拡散板５４が本発明における拡散
手段に相当する。この拡散手段の上に，第２拡散シート
５６を介してガラス板５８が載っている。導光板４４は
厚さ２０ｍｍのアクリル製である。二つの拡散シート５
２，５６は厚さが約０．１ｍｍのポリエステルフィルム
である。拡散板５４は厚さ２ｍｍの透明なアクリル製で
あり，拡散性の表面を備えている。ガラス板５８は厚さ
５ｍｍのホウケイ酸ガラスである。

【００１９】第１拡散シート５２は導光板４４と拡散板
５４の間にあって，導光板４４と拡散板５４との間の密
着性を保つ働きをしている。第１拡散シート５２が存在
しないと，導光板４４と拡散板５４との間に局所的な隙
間が生じるおそれがあり，そのような局所的な隙間が生
じると，シミが発生する。第２拡散シート５６は拡散板
５４とガラス板５８の間にあって，拡散板５４とガラス
板５８の間の密着性を保つ働きをしている。第１拡散シ
ート５２と同様に，局所的な隙間に起因するシミの発生
を防いでいる。

【００２０】ハウジング４２の上面（チャックトップ４
１の表面である）には液晶表示パネル１４を載せること
ができて，この液晶表示パネル１４を吸着固定できる。
液晶表示パネル１４の両面には偏光板１６，１８が貼り
付けられている。ハウジング４２の上面には吸着溝５９
が形成されていて，この吸着溝５９に負圧を供給する
（真空排気する）ことで，吸着力３２が作用して，液晶
表示パネル１４の周辺部（偏光板１６，１８が貼り付け
られていない領域）の背面側をハウジング４２に吸着固
定できるようになっている。吸着溝５９とそれに負圧を
供給する機構が，本発明における吸着手段に相当する。

【００２１】この検査テーブルは，ハウジング４２の上
面よりもガラス板５８の上面が０〜０．４ｍｍだけ（具
体例では０．２ｍｍだけ）低くなるようにガラス板５８
を配置してある。すなわち，ガラス板５８の表面とハウ
ジング４２の上面との隙間が０〜０．４ｍｍになってい
る。液晶表示パネル１４は，偏光板１８が存在しない周
辺部でハウジング４２に吸着されるので，偏光板１８の
下面は，偏光板１８の厚み分だけハウジング４２の上面
よりも低い位置にくる。偏光板１８の厚みは０．２ｍｍ
程度なので，上述の隙間を０．２ｍｍに設定しておく
と，ちょうど，偏光板１８の下面とガラス板５８の上面
がほぼ同じ位置にくる。したがって，偏光板１８の下面
がガラス板５８に接触した状態で，液晶表示パネル１４
は検査テーブルに吸着固定される。隙間を０ｍｍ（すな
わち，ガラス板５８の表面とハウジング４２の表面が同
一高さ）にした場合には，液晶表示パネル１４を検査テ
ーブルに載せただけでは，偏光板１８がガラス板５８に
接触して，偏光板１８の厚み分だけ液晶表示パネル１４
がハウジング４２の表面から浮くことになる。しかし，
実際の検査装置では，液晶表示パネル１４を上から押さ
えつけてから吸着溝５９に負圧を供給するので，押さえ
つけたときにガラス板５８が弾性力に抗して下方に後退
し，液晶表示パネル１４は吸着溝５９によって吸着固定
される。したがって，隙間を０ｍｍにしても支障がな
い。

【００２２】偏光板１８の厚みは，液晶表示パネルの品
種ごとに異なり，また，同じ品種でも製造ロットごとに
異なることがあって，ばらつきがある。上述の隙間を
０．２ｍｍにしたと仮定すると，偏光板１８の厚みが
０．２ｍｍ以上ある場合は，液晶表示パネル１４はガラ
ス板５８によって下方から押されて上方に浮き上がりそ
うになる。しかし，この検査テーブルでは，ガラス板５
８及び導光板４４が弾性的に支持されているので，液晶
表示パネル１４は上方に押し出されずに，逆に，ガラス
板５８（そして導光板４４も）が下方に沈むことにな
る。すなわち，ガラス板５８が液晶表示パネル１４に押
されると，圧縮コイルばね４８が圧縮される。この場
合，液晶表示パネル１４を真空吸着するときの吸着力３
２よりも，圧縮コイルばね４８の弾性復元力４９の方が
小さくなるように，圧縮コイルばね４８の弾性係数が設
定されている。

【００２３】もし，偏光板１８の厚みが０．２ｍｍより
も小さいと，偏光板２８の下面とガラス板５８の上面の
間にわずかな隙間ができることになる。しかし，その隙
間はきわめてわずかであり，その隙間分だけ液晶表示パ
ネル１４がわずかに撓めば，液晶表示パネル１４はガラ
ス板５８に接触することになる。そのときの液晶表示パ
ネルの撓み量は従来の検査テーブルと比較してきわめて
わずかであり，点灯検査に影響を及ぼすことはない。

【００２４】結局，この検査テーブルを用いると，液晶
表示パネル１４はガラス板５８に面接触した状態で吸着
固定されることになり，液晶表示パネルが撓むことなく
高度の平面状態を保ったままで点灯検査を実施できる。
ガラス板５８は表面の平坦度を良好に作ることができる
ので，このガラス板５８に液晶表示パネル１４を接触さ
せることで液晶表示パネル１４の検査時の平面度を高め
ることができる。

【００２５】ガラス板５８は蛍光管２２からの放射熱を
受けても熱膨張しにくく，熱膨張による変形も生じにく
い。拡散板５４はガラス板５８と導光板４４の間に挟ま
れているので，熱変形が生じにくい。もし拡散板５４が
変形したとしても，ガラス板５８が存在するので液晶表
示パネル１４に影響を及ぼすことはない。

【００２６】次に，この検査テーブルを用いる点灯検査
装置について説明する。図５は点灯検査装置の測定部の
正面断面図である。Ｘ軸ステージ６０の上に，Ｙ軸ステ
ージ６２とＺ軸ステージ６４とθ軸ステージ６６が順に
載っており，さらにその上に，図１に示す検査テーブル
４０が載っている。一方，測定部のベースプレート６８
にはプローブベース７０が固定されていて，このプロー
ブベース７０に複数のプローブブロック７２が固定され
ている。各プローブブロック７２には多数の接触子（プ
ローブ針）７４が付属している。これらの接触子７４を
液晶表示パネル１４の電極に接触させることで液晶表示
パネル１４を点灯させ，その点灯状態を上方の撮像装置
７６（ラインセンサまたはＣＣＤカメラ）で撮影する。

【００２７】図６は点灯検査装置の全体を示す正面図で
ある。この点灯検査装置は，測定部７８とローダ部８０
とカセット設置部８２からなる。ローダ部８０の搬送ロ
ボット８４は，カセット設置部８２の基板カセット８６
から液晶表示パネルを取り出して，測定部７８に移送す
る。測定部７８では図５で説明したように液晶表示パネ
ルの点灯検査を実施する。測定済みの液晶表示パネル
は，搬送ロボット８４に取り出されて，カセット設置部
８２に戻される。

【００２８】次に，別の実施形態を説明する。図２は本
発明の第２実施形態の正面断面図である。この第２実施
形態は，どのようなサイズの液晶表示パネルにも有効な
検査ステージである。この第２実施形態が図１の第１実
施形態と異なっているところは，図１の吸着溝５９がな
いことであり，その代わりに，液晶表示パネル１４の表
示領域の背面側に負圧を作用させている。すなわち，ハ
ウジング４２の側壁を貫通するように吸引孔８８を形成
して，この吸引孔８８をハウジング４２の内部空間に連
通させている。そして，吸引孔８８に排気パイプ９０を
接続している。また，導光板４４とハウジング４２との
接触部分において，ハウジング４２の側にＯリング９２
を設けて，この接触部分から負圧が洩れないようにして
いる。このような構造において，排気パイプ９０と吸引
孔８８を介してハウジング４２の内部を真空に排気する
と，液晶表示パネル１４の表示領域の背面側に負圧がか
かって，吸着力９４が発生し，液晶表示パネル１４はハ
ウジング４２に吸着固定される。

【００２９】図１の吸着溝５９を利用する場合と比較す
ると，図２のように表示領域の背面側を吸着した方が，
負圧が作用する面積が広いので，吸着力９４が大きくな
る。したがって，小型の液晶表示パネルでも吸着力不足
になることがない。一方，大型の液晶表示パネル１４の
場合，ハウンジング４２の内部を負圧にすると，液晶表
示パネル１４の中央部が下方に撓みやすくなるが，導光
板４４（すなわち，ガラス板５８も）も下方から大気圧
に押されて上昇力が付与されているので，液晶表示パネ
ル１４がガラス板５８に接触したところで，液晶表示パ
ネル１４はガラス板５８で支持されて，それ以上，撓む
ことがない。

【００３０】図３（ｂ）は本発明の第３実施形態の正面
断面図であり，図３（ａ）はその平面図である。この第
３実施形態も小型の液晶表示パネル用である。この検査
ステージが図１の第１実施形態と異なっているところ
は，図１の吸着溝５９をなくして液晶表示パネル１４の
表示領域の背面側に負圧を作用させたことと，導光板９
６を弾性支持から固定支持に変えたことである。図３
（ｂ）において，液晶表示パネル１４の表示領域の背面
側に負圧を作用させた点については図２の第２実施形態
と同様であり，図２と同様に，吸引孔８８と排気パイプ
９０とＯリング９２を備えている。導光板９６について
は，ばねを使わずに，ねじ４６だけを使ってハウジング
４２に固定している。導光板９６の上には拡散シート５
２と拡散板５４があるが，その上にガラス板はない。そ
して，拡散板５４の上面と液晶表示パネル１４との間に
は隙間が形成されている。

【００３１】図３（ａ）において，ハウジング４２の内
部空間９８の形状を破線で示してあり，この内部空間９
８に吸引孔８８が連通している。液晶表示パネル１４を
３個のストッパ９９に押し当てることで，液晶表示パネ
ル１４を２方向に位置決めできるようになっている。

【００３２】この第３実施形態も小型の液晶表示パネル
の点灯検査用であるから，吸着力９４を十分に確保する
ことに主眼がある。液晶表示パネルは小型であるから，
自重による撓みや吸着による撓みは，点灯検査に影響す
るほど大きくはならない。したがって，図１に示すよう
なガラス板５８は用いる必要がない。吸着力９４をさら
に増すために，吸引孔８８に加えて，図１に示す吸着溝
５９を併用してもよい。

【００３３】図９は本発明の第４実施形態の正面断面図
である。この第４実施形態も小型の液晶表示パネル用で
ある。同じ小型でも，図３の第３実施形態がバックライ
ト式（透過型）の液晶表示パネルの点灯検査用であった
のに対して，図９の第４実施形態は反射型の液晶表示パ
ネルの点灯検査用である。したがって，この第４実施形
態では，図３のバックライト装置２０や導光板９６や拡
散板５４を備えていない。液晶表示パネル１４の表示領
域の背面側に負圧を作用させるための構造，すなわち，
ハウジング４２の内部空間１０６と，これに連通する吸
引孔８８と，排気パイプ９０があるだけである。十分な
吸着力９４が確保できる点は，図３の第３実施形態と同
じである。

【００３４】図４は本発明の第５実施形態の正面断面図
である。この第５実施形態は，大型の液晶表示パネルの
点灯検査用であるが，一見すると，図３の第３実施形態
と構成が類似している。第３実施形態と異なる点は，ハ
ウジング４２の上面に吸着溝５９があることと，吸引孔
ではなくて加圧孔１００としている点である。吸着溝５
９を真空排気すると，液晶表示パネル１４の周辺部に吸
着力３２が作用して，液晶表示パネル１４はハウジング
４２に吸着固定される。一方，加圧パイプ１０２から加
圧孔１００を通してハウジング４２の内部に加圧空気
（大気圧よりも圧力の高い空気）を導入すると，液晶表
示パネル１４の表示領域の背面側は，加圧空気によって
押し上げ力１０４を受ける。大型の液晶表示パネル１４
はこの押し上げ力１０４で支えられるので，自重で撓む
ことがない。

【００３５】

【発明の効果】本願の主要な発明についてその効果を述
べると次のとおりである。第１の発明の検査テーブル
は，液晶表示パネルと導光手段の間にガラス板を配置し
て，このガラス板を弾性的に支持するようにしたので，
特に大型の液晶表示パネルの撓みを防ぐことができ，高
い平面度を保ったままで液晶表示パネルの点灯検査がで
きる。

【００３６】第５の発明は，液晶表示パネルの表示領域
の背面側に負圧を作用させて液晶表示パネルをチャック
トップに吸着させるようにしたので，特に小型の液晶表
示パネルの吸着力を十分に確保できる。

【００３７】第６の発明は，液晶表示パネルの周辺部の
背面側に負圧を作用させて液晶パネルをチャックトップ
に吸着させると共に，液晶表示パネルの表示領域の背面
側に大気圧よりも高い気圧を作用させるようにしたの
で，特に大型の液晶表示パネルについて，その表示領域
を気圧で支持することができ，液晶表示パネルの撓みを
防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態を示す正面断面図であ
る。

【図２】本発明の第２実施形態の正面断面図である。

【図３】本発明の第３実施形態の平面図と正面断面図で
ある。

【図４】本発明の第５実施形態の正面断面図である。

【図５】点灯検査装置の測定部の正面断面図である。

【図６】点灯検査装置の全体を示す正面図である。

【図７】従来の検査テーブルの正面断面図である。

【図８】従来の検査テーブルにおいて液晶表示パネルが
撓んだ状態を示す正面断面図である。

【図９】本発明の第４実施形態の正面断面図である。

【符号の説明】

１４ 液晶表示パネル １６，１８ 偏光板 ２０ バックライト装置 ２２ 蛍光管 ４０ 検査テーブル ４１ チャックトップ ４２ ハウジング ４４ 導光板 ４６ ねじ ４８ 圧縮コイルばね ５０ 内壁 ５２ 第１拡散シート ５４ 拡散板 ５６ 第２拡散板シート ５８ ガラス板 ５９ 吸着溝 ８８ 吸引孔 ９０ 排気パイプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久我 智昭 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 Ｆターム(参考） 2H088 FA11 HA01 HA28 MA20 2H090 JB02 JC18 LA16 2H091 FA08X FA08Z FA10X FA23Z FA41Z FC30 GA01 LA30 5C094 AA15 AA41 AA43 BA43 GB10 5G435 AA17 AA18 AA19 BB12 KK05 KK10

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 次の構成を備える，液晶表示パネルの検
   査テーブル。 （ａ）液晶表示パネルを載せる表面を備えるチャックト
   ップ。 （ｂ）液晶表示パネルを負圧によってチャックトップに
   吸着させる吸着手段。 （ｃ）前記チャックトップの背後に配置されたバックラ
   イト装置。 （ｄ）前記バックライト装置の照明光を液晶表示パネル
   の背面に均一に導くための拡散手段であって，前記チャ
   ックトップの内部に配置された拡散手段。 （ｅ）前記拡散手段と前記液晶表示パネルとの間に配置
   されたガラス板。 （ｆ）前記ガラス板に対して，前記液晶表示パネルに向
   かう方向に弾性的な力を付与する弾性力付与手段。 （ｇ）前記ガラス板が前記弾性的な力を受けて前記液晶
   表示パネルに向かって移動するのを所定の制限位置で阻
   止するための規制手段。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の検査テーブルにおい
   て，液晶表示パネルを前記チャックトップに載せない状
   態において前記ガラス板の表面と前記チャックトップの
   表面との距離が０〜０．４ｍｍの範囲内になるようにガ
   ラス板を配置したことを特徴とする検査テーブル。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の検査テーブル
   において，前記吸着手段は，液晶表示パネルの周辺部の
   背面側に負圧を作用させて液晶パネルを前記チャックト
   ップに吸着させるものであることを特徴とする検査テー
   ブル。
4. 【請求項４】 請求項１または２に記載の検査テーブル
   において，前記吸着手段は，液晶表示パネルの表示領域
   の背面側に負圧を作用させて液晶パネルを前記チャック
   トップに吸着させるものであることを特徴とする検査テ
   ーブル。
5. 【請求項５】 次の構成を備える，液晶表示パネルの検
   査テーブル。 （ａ）液晶表示パネルを載せる表面を備えるチャックト
   ップ。 （ｂ）液晶表示パネルの表示領域の背面側に負圧を作用
   させて液晶表示パネルを前記チャックトップに吸着させ
   る吸着手段。
6. 【請求項６】 次の構成を備える，液晶表示パネルの検
   査テーブル。 （ａ）液晶表示パネルを載せる表面を備えるチャックト
   ップ。 （ｂ）液晶表示パネルの周辺部の背面側に負圧を作用さ
   せて液晶パネルを前記チャックトップに吸着させる吸着
   手段。 （ｃ）液晶表示パネルの表示領域の背面側に大気圧より
   も高い気体圧力を作用させて液晶表示パネルの表示領域
   を気体圧力で支持する気体圧力支持手段。