JP2003240827A - 測定誤差の補正方法、電子部品の良否判定方法および電子部品特性測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基準測定装置に対して測定結果が完全に一致
しない実測測定の測定結果を、基準測定装置の測定結果
と同等に補正する。 【解決手段】補正用データ取得試料１１Ｂの電気特性
を、基準測定装置１と実測測定装置２とによりそれぞれ
測定したうえで、実測測定装置に２よる測定結果と基準
測定装置２による測定結果との間の相互関係式を求め
る。そして、実測測定装置２により測定した測定対象電
気部品１１Ａの電気特性を相互関係式に代入して計算す
ることで、測定対象電気部品１１Ａの電気特性を、基準
測定装置１により測定した場合に得られると推定される
電気特性に補正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、測定結果が基準測
定装置に一致しない実測測定装置により測定した電子部
品の電気特性を、前記基準測定装置を用いて測定した場
合に得られると推定される電気特性へ補正する測定誤差
の補正方法、その補正方法を用いた電子部品の良否判定
方法、およびその補正方法を実施する電子部品特性測定
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子部品の電気特性の測定においては、
電子部品のメーカー側に設置された測定装置と、ユーザ
ー側に設置された測定装置といったように、同一ないし
同種の電子部品に対して複数の測定装置でその電気特性
を測定する場合がある。

【０００３】このような場合、測定装置によってその測
定誤差が互いに異なるために、測定の再現性が低く、同
一ないし同種の電子部品に対して異なる測定装置で行っ
た測定結果が同等にならない、という不具合が生じる。

【０００４】低周波域における電気特性の測定において
は、このような測定誤差は比較的小さなものであってそ
れほど問題とはならない。しかしながら、１００ＭＨｚ
以上の高周波域における電気特性を測定する場合におい
ては、各測定装置間の測定誤差が顕著なものとなり、特
に数ＧＨｚ以上といった高周波域においては、測定の再
現性を高めるために、以下に説明する絶対補正法を用い
たキャリブレーションが実施されている。

【０００５】予め、標準器（対象となる電気特性が正確
に特定できている器具；例えば、オープン／ショート／
ロード／スルー等があり、これの例としてはAgilent Te
chnologies社製の８５０５２Ｂが挙げられる）が用意さ
れる。そして、この標準器の電気特性が各測定装置によ
り種々測定されることで、測定装置それぞれの誤差要因
が同定され、例えば、フル２ポート補正法といった精度
の高いキャリブレーションが実施されて同定された誤差
要因が取り除かれ、測定の再現性が高められる（以下、
このような補正方法を絶対補正法とする）。

【０００６】このように、測定装置においては、上述し
た標準器を用いた精度の高いキャリブレーション（絶対
補正法）を実施して測定の再現性を高めることができ
る。しかしながら、このようなキャリブレーションは、
同軸形状をした電子部品（以下、同軸形状電子部品とい
う）に対する測定においてのみ確実に実施することがで
きる。

【０００７】これに対して同軸形状でない電子部品（以
下、非同軸形状電子部品という）に対する上記キャリブ
レーションを実施することは困難であった。以下、その
理由を説明する。

【０００８】非同軸形状電子部品の標準器を、非同軸形
状電子部品と同等性能に作製するのは極めて困難であっ
て、同軸形状電子部品の標準器に比べても極めて高価な
ものとなってしまう。そのうえ、そのような標準器を作
製したとしてもその電気特性を精度高く特定することは
困難である。

【０００９】さらには、非同軸形状電子部品の標準器を
用意するにしても、精度の高いキャリブレーション（例
えばフル２ポート補正法）を実施できる測定装置におい
ては、その装置の構造上、上記キャリブレーションを実
施可能な標準器は同軸形状でなければ実現が困難な値
（典型的には、オープン／ショート／ロード／スルー）
のものに限られるという条件がある。このような理由に
より、非同軸形状電子部品に対して上記キャリブレーシ
ョンを実施することは困難となる。

【００１０】なお、キャリブレーションの一つであるＴ
ＲＬ補正法等を実施する場合においては、導波管やマイ
クロストリップライン等の非同軸形状電子部品の標準器
（典型的にはスルー／リフレクション／ラインの標準
器）を作製しやすい。しかしながら、ＴＲＬ補正法等に
適した標準器においても、その電気特性を精度高く特定
することが困難であるのは同様である。

【００１１】このように、非同軸形状電子部品の電気特
性の測定に際して絶対補正法に基づくキャリブレーショ
ンを実施してその測定精度を高めることは困難である。
そのため、従来では、非同軸形状電子部品の電気特性の
測定においては、電子部品の接続点におけるキャリブレ
ーションが行われることなく、次のような測定治具に取
り付けた状態での測定が実施される。

【００１２】測定器に対しては同軸形状の入出力端を有
する一方、非同軸形状電子部品に対しては非同軸形状の
入出力端を有する測定治具が用意される。この測定治具
が測定器の入出力端に接続された同軸ケーブルに電気的
に接続される。そうしたうえで、測定治具に非同軸形状
電子部品が装着されてその電気特性が測定される。な
お、測定器の入出力端に接続された同軸ケーブルの先端
までは上述したフル２ポート補正法等のキャリブレーシ
ョンを実施するのが好ましい。

【００１３】測定治具を用いたこのような非同軸形状電
子部品の電気特性測定方法においては、測定治具を含め
てキャリブレーションを行うことができない。そのた
め、測定結果の再現性は低いものとなる。そこで、測定
結果の再現性を高めるために、次のような測定装置の調
整が実施される。

【００１４】この調整は、一方の測定装置を、基準測定
治具を備えた基準測定装置とみなし、他方の測定装置
を、実測測定治具を備えた実測測定装置とみなしたうえ
で、測定結果において、実測測定装置が基準測定装置に
一致するように、実測測定装置の実測測定治具が調整さ
れる。具体的には、基準測定装置において、任意の試料
（電子部品）に対して電気特性が測定されたうえで、同
一試料の電気特性が実測測定装置で測定され、両者の電
気特性が同等となるように、実測測定治具が調整され
る。調整は具体的には次のように実施される。

【００１５】実測測定治具は、基板表面上の配線端部に
試料接続用の入出力端子を設けたプリント配線基板に、
測定器接続用の同軸コネクタが取り付けられて構成され
ている。このように構成された実測測定治具では、上記
調整が次のように実施される。プリント配線基板上のプ
リント配線の一部を削り取る、ないしはプリント配線上
に半田を盛る等の処理を施しながら測定結果の変化を測
定し、基準測定装置における測定結果と同等の電気特性
が得られたところで上記処理を終了する。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】上述した電子部品の電
気特性の測定方法には、同軸形状電子部品に対する測
定、非同軸形状に対する測定とも、次のような課題があ
る。

【００１７】同軸形状電子部品の測定方法においては、
キャリブレーションを実施するために必要となる標準器
は入手可能であるものの高価であるため、そのような高
価な標準器を用意しなければならない分、キャリブレー
ションに要するコスト、延いては、電子部品の電気特性
の測定に要するコストが嵩んでしまうという課題があ
る。

【００１８】また、非同軸形状電子部品の測定方法にお
いては、上述した実測測定治具の調整方法は、理論的に
解明された方法ではなく、熟練と勘に頼った非常に手間
のかかるものであるうえ、熟練者であっても、調整を精
度高く再現することが困難である。

【００１９】さらには、このような実測測定治具の調整
方法は、調整時に用いた試料を測定した場合に再現性を
保証できる調整方法にすぎず、他の試料を測定した場合
に再現性を保証できるとは限らず、その再現性は不安定
と言わざるを得ない。

【００２０】したがって、本発明の主たる目的は、基準
測定装置に対して測定結果が完全に一致しない実測測定
の測定結果を、基準測定装置の測定結果と同等に補正す
る測定誤差の補正方法を提供することである。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ためには、本発明では、測定対象電子部品の電気特性
を、測定結果が基準測定装置に一致しない実測測定装置
により測定したうえで、その測定値を、前記基準測定装
置を用いて測定した場合に得られると推定される電気特
性に補正する測定誤差の補正方法であって、予め、補正
用データ取得試料として、測定操作により前記測定対象
電子部品の任意の電気特性と同等の電気特性を発生させ
る補正用データ取得試料を用意する工程と、前記補正用
データ取得試料の電気特性を、前記基準測定装置と前記
実測測定装置とによりそれぞれ測定する工程と、前記実
測測定装置による測定結果と前記基準測定装置による測
定結果との間の相互関係式を求める工程と、前記実測測
定装置により測定した前記測定対象電気部品の電気特性
を前記相互関係式に代入したうえで当該相互関係式を計
算することで、前記測定対象電気部品の電気特性を、前
記基準測定装置により測定した場合に得られると推定さ
れる電気特性に補正する工程と、を含むことに特徴を有
している。これにより、次のような作用を有する。

【００２２】電気特性が同定されていない補正用データ
取得試料を用いた測定結果に基づいて実測測定装置と基
準測定装置との間の相互関係式を求め、この相互関係式
に基づいて、測定対象電気部品の電気特性を、前記基準
測定装置により測定した場合に得られると推定される電
気特性に補正しているので、高価な標準器を用いたキャ
リブレーションが必要なくなるうえ、実測測定装置に用
いる実測測定治具等の調整も必要なくなる。さらには、
理論計算により電気特性の補正を行うために、電子部品
の形状（同軸形状／非同軸形状）によらず、その電気特
性の測定の再現性を高めることが可能となる。

【００２３】なお、前記相互関係式を用いた補正法とし
て本発明は、解析式相対補正法と近似式相対補正法とを
提案している。

【００２４】解析式相対補正法による相互関係式の求め
方として本発明は、測定時における前記両測定装置の信
号伝達形態を、測定誤差要因を含んで想定する手順と、
前記信号伝達形態における前記実測測定装置の測定値真
値を求める理論数式と、前記信号伝達形態における前記
基準測定装置の測定値真値を求める理論数式とを、それ
ぞれ作成する手順と、未定係数を含み前記基準測定装置
の測定値真値と前記実測測定装置の測定値真値との間の
関係を一義的に示す数式からなる前記相互関係式を、前
記両理論数式に基づいて作成する手順と、前記補正用デ
ータ取得試料の電気特性を、前記基準測定装置と前記実
測測定装置とによりそれぞれ測定する手順と、前記両測
定装置で測定した前記補正用データ取得試料の電気特性
の測定値を、前記相互関係式に代入することで、前記未
定係数を特定する手順と、を含むことに特徴を有してい
る。

【００２５】近似式相対補正法による相互関係式の求め
方として本発明は、未定係数を含み前記基準測定装置の
測定値と前記実測測定装置の測定値との間の関係を近似
的に示すｎ次式（ｎは自然数）からなる前記相互関係式
を作成する手順と、前記補正用データ取得試料の電気特
性を、前記基準測定装置と前記実測測定装置とによりそ
れぞれ測定する手順と、前記相互関係式に基づいて未定
係数算定式を作成したうえで前記両測定装置で測定した
前記補正用データ取得試料の電気特性の測定値を、前記
未定係数算定式に代入することで、前記未定係数を特定
する手順と、を含むことに特徴を有している。

【００２６】なお、誤差補正の対象は前記測定対象電子
部品が有する複数の電気特性であり、前記補正用データ
取得試料として、測定装置による測定操作により互いに
異なる電気特性を発生させる複数の試料を用いるのが好
ましく、そうすれば、相互関係式による補正精度がさら
に向上することになる。さらには、任意の電気特性を発
生させる補正用データ取得試料を用意すればよく、その
特性の物理的真値を同定する必要もないので、その作製
・入手が比較的簡単になる。

【００２７】なお、前記誤差補正の対象は、前記測定対
象電子部品のＳパラメータであり、各測定装置を構成す
る測定器は、ネットワークアナライザであるのが好まし
い。

【００２８】また、前記Ｓパラメータの一例としては、
それぞれ、順方向反射係数、順方向伝達係数、逆方向反
射係数、および逆方向伝達係数を挙げることができる。

【００２９】近似式相対補正法によって前記相互関係式
を作成する手順の具体例として、次の手順が挙げられ
る。

【００３０】前記相互関係式を作成する手順は、前記相
互関係式として、一次式からなる次の（Ｂ２）式を、前
記未定数算定式として、次の（Ｂ１ａ）〜（Ｂ１ｄ）式
をそれぞれ作成するステップと、前記補正用データ取得
試料として、測定操作により互いに異なる電気特性を発
生させる５個の補正用データ取得試料を準備したうえ
で、これら補正用データ取得試料のＳパラメータ（Ｓ₁₁
ⁿ,Ｓ₂₁ ⁿ,Ｓ₁₂ ⁿ,Ｓ₂₂ ⁿ：ｎは１から５の自然数）を、前
記基準測定装置と前記実測測定装置とで測定するステッ
プと、測定したＳパラメータ（Ｓ₁₁ ⁿ,Ｓ₂₁ ⁿ,Ｓ₁₂ ⁿ,Ｓ₂₂
ⁿ）を、前記前記未定係数算定式（Ｂ１ａ）〜（Ｂ１
ｄ）に代入することで、未定係数（ａ_m,ｂ_m,ｃ_m,ｄ_m：
ｍは０から４の整数）を確定し、特定した未定係数（ａ
_m,ｂ_m,ｃ_m,ｄ_m）を前記相互関係式（Ｂ２）に挿入する
ステップとを含んでいる。

【００３１】

【数１】 Ｓ₁₁ ^n*,Ｓ₂₁ ^n*,Ｓ₁₂ ^n*,Ｓ₂₂ ^n*：基準測定装置で測定し
た補正用データ取得試料のＳパラメータ Ｓ₁₁ ^nM,Ｓ₂₁ ^nM,Ｓ₁₂ ^nM,Ｓ₂₂ ^nM：実測測定装置で測定し
た補正用データ取得試料のＳパラメータ

【００３２】

【数２】 Ｓ₁₁ ^*,Ｓ₂₁ ^*,Ｓ₁₂ ^*,Ｓ₂₂ ^*：基準測定装置で測定した場
合に得られると推定可能な測定対象電子部品のＳパラメ
ータ Ｓ₁₁ ^M,Ｓ₂₁ ^M,Ｓ₁₂ ^M,Ｓ₂₂ ^M：実測測定装置で測定する測
定対象電子部品のＳパラメータ 近似式相対補正法によって前記相互関係式を作成する手
順のさらに他の具体例として、次の手順が挙げられる。

【００３３】前記相互関係式を作成する手順は、前記相
互関係式として二次式からなる次の（Ｃ２ａ）〜（Ｃ２
ｄ）式を、前記未定数算定式として次の（Ｃ１ａ）〜
（Ｃ１ｄ）式を、それぞれ作成するステップと、前記補
正用データ取得試料として、測定操作により互いに異な
る電気特性を発生させる１５個の補正用データ取得試料
を準備したうえで、これら補正用データ取得試料のＳパ
ラメータ（Ｓ₁₁ ^p,Ｓ₂₁ ^p,Ｓ₁₂ ^p,Ｓ₂₂ ^p：ｐは１から１５
の自然数）を、前記基準測定装置と前記実測測定装置と
で測定するステップと、測定したＳパラメータ（Ｓ₁₁ ^p,
Ｓ₂₁ ^p,Ｓ₁₂ ^p,Ｓ₂₂ ^p）を、前記未定係数算定式（Ｃ１
ａ）〜（Ｃ１ｄ）に代入することで、未定係数（ａ_q,ｂ
_q,ｃ_q,ｄ_q：ｑは０から１４の整数）を確定するステッ
プと、特定した未定係数（ａ_q,ｂ_q,ｃ_q,ｄ_q）を前記相
互関係式（Ｃ２ａ）〜（Ｃ２ｄ）に挿入するステップと
を含んでいる。

【００３４】

【数３】

【００３５】

【数４】

【００３６】

【数５】

【００３７】

【数６】 Ｓ₁₁ ^p*,Ｓ₂₁ ^p*,Ｓ₁₂ ^p*,Ｓ₂₂ ^p*：基準測定装置で測定し
た補正用データ取得試料のＳパラメータ Ｓ₁₁ ^pM,Ｓ₂₁ ^pM,Ｓ₁₂ ^pM,Ｓ₂₂ ^pM：実測測定装置で測定し
た補正用データ取得試料のＳパラメータ

【００３８】

【数７】

【００３９】

【数８】

【００４０】

【数９】

【００４１】

【数１０】 Ｓ₁₁ ^*,Ｓ₂₁ ^*,Ｓ₁₂ ^*,Ｓ₂₂ ^*：基準測定装置で測定した場
合に得られると推定可能な測定対象電子部品のＳパラメ
ータ Ｓ₁₁ ^M,Ｓ₂₁ ^M,Ｓ₁₂ ^M,Ｓ₂₂ ^M：実測測定装置で測定する測
定対象電子部品のＳパラメータ 本発明の測定誤差の補正方法は電子部品の良否判定方法
において、最適に実施することができる。この場合、電
子部品の良否判定方法は、基準測定装置によって測定し
た場合の電気特性を要求特性とされる測定対象電子部品
を、測定結果が前記基準測定装置に一致しない実測測定
装置により測定し、その測定結果に基づいて良否判定を
行うことにより構成される。

【００４２】このような判定方法において、本発明を実
施する場合には、前記実測測定装置によって測定した前
記測定対象電子部品の電気特性を、本発明の測定誤差の
補正方法によって補正し、この補正後の電気特性と前記
要求特性とを比較して前記測定対象電子部品の良否を判
定すればよい。そうすれば、測定対象電子部品の良否を
精度高く判定することができる。

【００４３】本発明は、上述した測定誤差の補正方法を
実施できる測定装置としては、次の電子部品特性測定装
置を提案する。

【００４４】この測定装置は、測定対象電子部品の電気
特性を測定する測定手段を有するものの、その測定結果
が基準測定装置と一致しない測定装置であって、前記測
定対象電子部品の任意の電気特性と同等の電気特性を発
生させる補正用データ取得試料の電気特性を前記基準測
定装置で測定した測定結果を記憶する記憶手段と、前記
測定手段により測定する前記補正用データ取得試料の電
気特性と、前記記憶手段で記憶している基準測定装置に
よる前記補正用データ取得試料の電気特性との間の相互
関係式を算定する相互関係式算定手段と、前記測定手段
により測定する前記測定対象電気部品の電気特性を前記
相互関係式に代入したうえで当該相互関係式を計算する
ことで、前記測定対象電気部品の電気特性を、前記基準
測定装置により測定した場合に得られると推定される電
気特性に補正する補正手段と、を有している。

【００４５】本発明の測定装置を、解析式相対補正法に
基づいて構成する場合、前記相互関係式算定手段は、測
定時における前記両測定装置の信号伝達形態を、測定誤
差要因を含んで想定する手段と、前記信号伝達形態にお
ける前記実測測定装置の測定値真値を求める理論数式
と、前記信号伝達形態における前記基準測定装置の測定
値真値を求める理論数式とを、それぞれ作成する手段
と、未定係数を含み前記基準測定装置の測定値真値と前
記実測測定装置の測定値真値との間の関係を一義的に示
す数式からなる前記相互関係式を、前記両理論数式に基
づいて作成する手段と、前記補正用データ取得試料の電
気特性を、前記基準測定装置と前記実測測定装置とによ
りそれぞれ測定する手段と、前記両測定装置で測定した
前記補正用データ取得試料の電気特性の測定値を、前記
相互関係式に代入することで、前記未定係数を特定する
手段と、を備えるのが好ましい。

【００４６】本発明の測定装置を近似式相対補正法に基
づいて構成する場合、前記相互関係式算定手段は、未定
係数を含み前記基準測定装置の測定値と前記実測測定装
置の測定値との間の関係を近似的に示すｎ次式（ｎは自
然数）からなる前記相互関係式を作成する手段と、前記
補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定装置
と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する手段と、
前記両測定装置で測定した前記補正用データ取得試料の
電気特性の測定値を、前記相互関係式に代入すること
で、前記未定係数を特定する手段と、を備えるのが好ま
しい。

【００４７】本発明は、実測測定装置の測定結果を基準
測定装置の測定結果に補正する際に、従来例で説明した
絶対補正法ではなく相対補正法に基づいて補正操作を実
施している。相対補正法とは次のような補正法である。

【００４８】相対補正法は、実測測定装置（実測測定治
具を含む）で測定した測定対象電子部品の電気特性（試
料真値＋実測測定装置の測定誤差）に基づいて、基準測
定装置（基準測定治具を含む）で測定した場合に得られ
ると推定される電気特性（試料真値＋基準測定装置の測
定誤差）に補正する補正方法である。相対補正法は、測
定対象電子部品の試料真値が既知に限らず未知のもので
もよい点に特徴がある。

【００４９】本発明は、相対補正法として、解析式相対
補正法と近似式相対補正法とを提案している。解析式相
対補正法により補正する場合には、両測定装置の測定誤
差要因を含んだ信号伝達形態を想定する必要がある。こ
の場合、信号伝達形態は、測定誤差要因に対応すればよ
く、任意のものとして想定される。このような信号伝達
形態としては、絶対補正法において従来から用いられて
いるものを用いることができる。解析式相対補正法は、
原理的にみて線形的な全ての誤差を精度高く補正するこ
とができる。しかしながら、解析式相対補正法は、非線
形的な誤差を補正することができない。このような解析
式相対補正法の特徴は絶対補正法と同様である。

【００５０】近似式相対補正法は、解析式相対補正法で
用いる解析式が複雑になり過ぎる場合等において、解析
式を近似式で代用した補正法である。近似式相対補正法
には、近似式の近似精度にどうしても限界が存在するた
めに追加誤差が発生するのは避けられない。しかしなが
ら、近似式相対補正法には、補正用データ取得試料の数
が少なくできる。また、非線形的な誤差を補正すること
ができる。

【００５１】

【発明の実施の形態】第１の実施の形態 本実施形態では、表面実装型のＳＡＷフィルタを測定対
象電子部品として、このＳＡＷフィルタの電気特性を、
ネットワークアナライザを有する測定装置で測定する際
の測定誤差の補正方法において本発明が実施されてい
る。

【００５２】図１は本実施形態の測定装置の構成を示す
平面図であり、図２は測定治具の構成を示す平面図であ
り、図３は実測測定装置のネットワークアナライザの構
成を示すブロック図であり、図４は測定対象試料である
電子部品や補正データ取得試料の構成を示す裏面図であ
り、図５は補正データ取得試料の構成を示す平面図であ
り、図６は補正データ取得試料の等価回路図である。

【００５３】基準測定装置１および実測測定装置２を構
成する測定装置は、図１に示すように、ネットワークア
ナライザ３Ａ,３Ｂと、同軸ケーブル４Ａ,４Ｂと、測定
治具５Ａ,５Ｂとを備えている。なお、ネットワークア
ナライザ３Ａと測定治具５Ａとは基準測定装置１に設け
られており、ネットワークアナライザ３Ｂと測定治具５
Ｂとは実測測定装置２に設けられている。

【００５４】ネットワークアナライザ３Ａ,３Ｂは、高
周波に用いられる電子部品の電気特性を測定する測定器
であって、２ポートの入出力部（ポート１,ポート２）
を有している。これらのポート１,２それぞれに同軸ケ
ーブル４Ａ,４Ｂが接続されている。同軸ケーブル４Ａ,
４Ｂの遊端には、同軸ケーブルコネクタ６が設けられて
いる。

【００５５】測定治具５Ａ,５Ｂは、図２に示すよう
に、絶縁基板７と、接続用配線部８と、同軸コネクタ９
Ａ,９Ｂとを備えている。接続用配線部８は、絶縁基板
７の基板表面７ａに形成されており、信号伝送路８ａ,
８ｂと、接地線路８ｃ〜８ｆとを備えている。信号伝送
路８ａ,８ｂは、絶縁基板７の基板表面７ａにおいて、
基板両端それぞれから基板中央に向かって延出配置され
ており、その延出端部それぞれは、基板表面７ａの中央
部において所定の離間間隔を空けて対向配置されてい
る。接地線路８ｃ〜８ｆは、基板表面７ａの中央部にお
いて、信号伝送路８ａ,８ｂの両側それぞれに設けられ
ている。伝送路８ａ側に位置する線路８ｃ,８ｄと、伝
送路８ｂ側に位置する伝送路８ｅ,８ｆとは、基板表面
７ａの中央部において所定の離間間隔（信号伝送路８
ａ,８ｂと同等）を空けて対向配置されている。

【００５６】信号伝送路８ａ,８ｂは、基板端部におい
て、同軸コネクタ９Ａ,９Ｂの内部導体コンタクト（図
示省略）に接続されている。接地線路８ｃ〜８ｆは、ス
ルーホール接続部１０を介して基板裏面のグランドパタ
ーン（図示省略）に接続されており、さらには、グラン
ドパターンを介して、同軸コネクタ９Ａ,９Ｂの外部導
体コンタクト（図示省略）に接続されている。

【００５７】なお、図２においては、基準測定装置１の
測定治具（以下、基準測定治具という）５Ａと、実測測
定装置２の測定治具（以下、実測測定治具という）５Ｂ
とを、同じ形状を有するものとしているが、これらは、
特に同じ形状のものとする必要はない。特に、実測測定
治具５Ｂの形状は、自動選別測定機等に適した形状にす
るなどにより、基準測定治具５Ａと異なる形状にしても
よい。

【００５８】実測測定装置２を構成するネットワークア
ナライザ３Ｂは、図３に示すように、ネットワークアナ
ライザ本体２０と、制御部２１とを備えている。制御部
２１は、制御部本体２２と、メモリ２３と、相互関係式
算定手段２４と、補正手段２５とを備えている。

【００５９】測定対象電子部品１１Ａや補正データ取得
試料１１Ｂは、図４に示すように、その裏面１１ａに、
伝送路端子１２ａ,１２ｂまたは擬似伝送路端子１４ａ,
１４ｂと、接地端子１２ｃ〜１２ｆまたは擬似接地端子
１４ｃ〜１４ｆとを備えている。測定対象試料１１Ａ,
補正データ取得試料１１Ｂの裏面１１ａを測定治具５の
基板表面７ａに当接させることで、伝送路端子１２ａ,
１２ｂ（または擬似伝送路端子１４ａ,１４ｂ）,接地端
子１２ｃ〜１２ｆ（または擬似接地端子１４ｃ〜１４
ｆ）を、信号伝送路８ａ,８ｂ,接地線路８ｃ〜８ｆに圧
着させる。これにより測定対象電子部品１１Ａ,補正デ
ータ取得試料１１Ｂは、測定治具５Ａ,５Ｂに測定実装
される。

【００６０】本実施形態では、補正データ取得試料１１
Ｂとして、測定装置１,２による測定操作により測定対
象電子部品１１Ａの任意の電気特性と同等の電気特性を
発生させる試料を用意する。さらには、本実施形態で
は、補正データ取得試料１１Ｂとして、測定装置により
発生させる前記電気特性が互いに異なる複数（例えば６
個）の試料１１Ｂ_1〜6を用意する。

【００６１】補正データ取得試料１１Ｂ_1〜6は、図５に
示すように、測定対象電子部品１１Ａと同等の形状を有
する枠体１３を有している。枠体１３には、測定対象電
子部品１１Ａの伝送路端子１２ａ,１２ｂや接地端子１
２ｃ〜１２ｆと同等の構造を有する擬似伝送路端子１４
ａ,１４ｂ、および擬似接地端子１４ｃ〜１４ｆが設け
られている。これら擬似伝送路端子１４ａ,１４ｂ,擬似
接地端子１４ｃ〜１４ｆは、枠体１３の下面から側面を
介して上面１３ａまで延出した形状に形成されている。
これら擬似伝送路端子１４ａ,１４ｂ,擬似接地端子１４
ｃ〜１４ｆの枠体上面側延出端は、それぞれ実装端子１
５ａ〜１５ｆを構成している。

【００６２】互いに隣り合う実装端子（１５ａと１５
ｂ）,（１５ａと１５ｄ）,（１５ａと１５ｃ）,（１５
ｂと１５ｅ）,（１５ｂと１５ｆ）の間には、抵抗素子
等からなる電気特性調整用素子１６ａ〜１６ｅが実装さ
れている。

【００６３】このようにして電気特性調整用素子１６ａ
〜１６ｅが実装された補正データ取素子１１Ｂ_1〜6で
は、図６の等価回路図に示すように、信号入出力端１７
Ａ,１７Ｂの間に抵抗成分Ｒ１が設けられている。信号
入出端１７Ａ,１７Ｂと接地電位との間に、抵抗成分Ｒ
２,Ｒ３が設けられている。電気特性調整用素子１６ａ
〜１６ｅの電気特性（抵抗素子である場合には抵抗値）
を任意に設定することで、補正データ取得試料１１Ｂ
_1〜6の特性（測定装置により測定される電気特性）をラ
ンダムに設定することが可能である。本実施形態では、
測定装置による測定操作で生じさせる電気特性の正確な
値を補正データ取得試料１１Ｂ_1〜6に予め設定しておく
必要はない。そのため、その分だけ補正データ取得試料
１１Ｂ_1〜6の作製コストを低く抑えることができる。

【００６４】以下、本実施形態の測定装置による測定誤
差の補正方法（解析式相対補正方法）を説明する。

【００６５】まず、その概要を説明する。非同軸形状試
料の高周波特性の測定における共通な課題として、その
特性(散乱係数等)の測定結果が測定装置によって異なっ
た値となってしまうというものがある。具体的には、ユ
ーザー保証を行う治具(基準測定治具５Ａ)を含んだ測定
装置（基準測定装置１）による補正データ取得試料１１
Ｂの測定結果と、出荷検査時に使用する治具(実測測定
治具５Ｂ)を含んだ測定装置（実測測定装置２）による
補正データ取得試料１１Ｂの測定結果とが異なってしま
うという課題である。このような測定結果の不一致は、
出荷検査時におけるユーザー保証を不可能にしてしま
う。

【００６６】そこで、本実施形態では、このような課題
に対して、実測測定装置２による測定結果から基準測定
装置１による測定結果を相対補正法に基づいた計算によ
って推定している。

【００６７】以下、不平衡２ポートの測定系に対応した
本実施形態の補正方法（解析式相対補正法）の理論を説
明する。

【００６８】まず、各測定系(基準測定装置１および実
測測定装置２)の誤差要因を図７に示される信号伝達形
態によってモデル化する。なお、図７に示す信号伝達形
態は、一般的に用いられている２ポート誤差モデルと同
様である。

【００６９】図７の信号伝達形態（誤差モデル）は同軸
測定系においては非常に正確なモデルであるが、測定治
具を用いた非同軸測定系等に対しては厳密にいえば正確
ではない。これは漏洩の取り扱いについて現実の物理現
象と乖離した部分があることに起因している。

【００７０】本実施形態ではこの信号伝達形態（誤差モ
デル）が長年にわたって世界的に用いられてきている実
績を尊重し、非同軸測定系等に対しては厳密にいえば不
正確であることを知りつつこの信号伝達形態を採用する
ことにする。ただし、必要に応じてさらに正確な信号伝
達形態を作成し、その信号伝達形態を用いて相対補正法
の式を誘導しても良い。なお、図７の信号伝達形態は、
測定治具に漏洩が多い場合には誤差が大きくなりやすい
という特性があるものの、測定治具に漏洩が少ない(い
わゆるアイソレーションの良い)場合では誤差はさほど
大きくならない。

【００７１】この信号伝達形態において、誤差要因が全
て同定されていたとすると、補正データ取得試料１１Ｂ
_1〜6の測定値（Ｓ_11M,Ｓ_21M,Ｓ_12M,Ｓ_22M)からその散乱
係数の真値（Ｓ_11A,Ｓ_21A,Ｓ_12A,Ｓ_22A)は次の理論数式
（Ａ１ａ）〜（Ａ１ｄ）によって求められる。なお、理
論数式（Ａ１ａ）〜（Ａ１ｄ）は、図７の信号伝達形態
を基に式を組み立てれば導き出すことができる。

【００７２】

【数１１】 散乱係数の真値が（Ｓ_11A,Ｓ_21A,Ｓ_12A,Ｓ_22A)である補
正データ取得試料１１Ｂ_1〜6を測定としたとき、基準測
定装置１では散乱係数（Ｓ_11D,Ｓ_21D,Ｓ_12D,Ｓ _22D)が、
実測測定装置２では散乱係数(Ｓ_11M,Ｓ_21M,Ｓ_12M,
Ｓ_22M)がそれぞれ測定されるとする。

【００７３】なお、以下の説明では、基準測定装置１
（基準測定冶具５Ａ）の誤差要因をＥ _DF1のように誤差
要因名に添え字１を付して、実測測定装置２（実測測定
冶具５Ｂ）の誤差要因をＥ_XR2のように誤差要因名に添
え字２を付して表すことにする。誤差要因名は図７中の
ものに準じる。

【００７４】ここで、補正データ取得試料１１Ｂの散乱
係数の真値 （Ｓ_11A,Ｓ_21A,Ｓ_12A,Ｓ_22A)および、基準
測定装置１（基準測定冶具５Ａ）・実測測定装置２（実
測測定冶具５Ｂ）の誤差要因の値を具体的に知ることは
実際には不可能である。一方、基準測定装置１における
測定値（Ｓ_11D,Ｓ_21D,Ｓ_12D,Ｓ_22D) や実測測定装置２
におけ測定値(Ｓ_11M,Ｓ_21M,Ｓ_12M,Ｓ_22M)は実測によっ
て知ることのできる値である。

【００７５】本実施形態における相対補正法の目的は、
実測測定装置２の測定値から基準測定装置１の測定値を
求めることである。

【００７６】仮に基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）
・実測測定装置２（実測測定冶具５Ｂ）の誤差要因が同
定されているとする。このとき、基準測定装置１や実測
測定装置２の測定値の各々と試料散乱係数とに間の関係
を示す理論数式を、上記理論数式（Ａ１ａ）〜（Ａ１
ｄ）を基にして考察すると、次に示す理論数式（Ａ２
ａ）〜（Ａ２ｄ）と理論数式（Ａ３ａ）〜（Ａ３ｄ）と
が成立する。これらの理論数式は、各測定装置１,２
（測定冶具５Ａ,５Ｂ）の誤差要因が同定されていれば
その測定装置１,２（測定冶具５Ａ,５Ｂ）での測定値か
ら試料散乱係数を計算で求めることができるということ
を示している。

【００７７】

【数１２】

【００７８】

【数１３】 ところで、基準測定装置１・実測測定装置２の双方で同
じ試料を測定したとすれば試料散乱係数は理論数式（Ａ
２ａ）〜（Ａ２ｄ）と,理論数式（Ａ３ａ）〜（Ａ３
ｄ）との間で等しくなる。そこで、理論数式（Ａ２ａ）
〜（Ａ２ｄ）と理論数式（Ａ３ａ）〜（Ａ３ｄ）の各々
から試料散乱係数（Ｓ_11A,Ｓ_21A,Ｓ_12A,Ｓ _22A)を消去す
ると次の相互関係式（Ａ４ａ）〜（Ａ４ｄ）が得られ
る。相互関係式（Ａ４ａ）〜（Ａ４ｄ）は、実測測定装
置２による測定結果と基準測定装置１による測定結果と
の間の関係を示す式である。

【００７９】

【数１４】

【００８０】

【数１５】

【００８１】

【数１６】

【００８２】

【数１７】 このようにして得られる相互関係式（Ａ４ａ）〜（Ａ４
ｄ）を実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）での測定値
(Ｓ_11M,Ｓ_21M,Ｓ_12M,Ｓ_22M)について整理する。さら
に、整理した式を簡略化する為に適当に誤差要因を変数
で置き換える。すると次の相互関係式（Ａ５ａ）〜（Ａ
５ｄ）が得られる。相互関係式OLE_LINK1（Ａ５ａ）〜
（Ａ５ｄ）OLE_LINK1中、ａ₀,ａ₁,ａ₃,ｂ₀,ｂ₁,ｂ₃,
ｃ₀,ｃ₁,ｃ₃,ｄ₀,ｄ₁,ｅ₀,ｅ₁,ｅ₃,ｆ₀,ｆ₁,ｋ,ｍの計
１８個とＥ_XF1,Ｅ_XR1,Ｅ_XF2,Ｅ_XR2の４つがこの相互関
係式に含まれる未定係数である。なお、Ｓ_11Dについて
の式とＳ_{2 1D}についての式、および、Ｓ_22Dについての式
とＳ_12Dについての式の右辺分数部の分母に用いている
未定係数は同じ記号を用いているが、これは各々の係数
が全く等しいことを示している。

【００８３】

【数１８】 このようにして作製した相互関係式（Ａ５ａ）〜（Ａ５
ｄ）では、上述した２２個の未定係数を決定すれば良
い。これら相互関係式（Ａ５ａ）〜（Ａ５ｄ）は有理式
であって、 ・２変数(例えばａ₀とｂ₀)は基準として１とおける、 ・漏洩は無視し得ることがほとんどである、 と見なすことができる。

【００８４】以上のことから、相互関係式（Ａ５ａ）〜
（Ａ５ｄ）の未定係数は、事実上、１６個となる。

【００８５】また、１つの試料を測定すれば４つの式が
得られる。

【００８６】このことから、理論上は補正用データ取得
試料１１Ｂを４個測定すれば相互関係式（Ａ５ａ）〜
（Ａ５ｄ）に含まれる未定係数を決定することができ
る。

【００８７】しかしながら、未定係数ｋ,ｍは他の係数
との積として現れており、相互関係式（Ａ５ａ）〜（Ａ
５ｄ）に現れる未定係数を同定することは容易ではな
い。そこで、必要な補正用データ取得試料１１Ｂの数は
多少増えてしまうが、ｋ,ｍと他の未定係数の積を独立
変数と扱うことにより方程式を線形化し未定係数の計算
を容易にすることができる。この置き換えを行った結果
を次の相互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ６ｄ）式に示す。こ
れらの相互関係式中、ａ₀〜ａ₄,ｂ₀〜ｂ₄,ｃ₀〜ｃ₄,
ｄ₀,ｄ₁,ｅ₀〜ｅ₄,ｆ₀,ｆ₁の計２２個とＥ_XF1,Ｅ_XR1,Ｅ
_XF2,Ｅ_XR2の４つが未定係数である。

【００８８】

【数１９】 相互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ６ｄ）で、Ｅ_XF1,Ｅ_XR1,Ｅ
_XF2,Ｅ_XR2の４つはいわゆるポート間漏洩(リーク)であ
り、アイソレーションの良い測定装置１,２（測定冶具
５Ａ,５Ｂ）では無視し得ることが多い。この場合、こ
れらの未定係数は単に０とおけば良い。また、無視し得
ない場合においても、これらのポート間漏洩(リーク)は
簡単に見積もることができる。例えば、測定装置１,２
（測定冶具５Ａ,５Ｂ）に補正データ取得試料１１Ｂ等
を取り付けない状態で測定を行ったときの散乱係数の測
定値をそのままこれらの値［ポート間漏洩(リーク)］と
することもできる。このような適当な方法によりこれら
漏洩誤差を同定したとして変数の置き換えを行うと、相
互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ６ｄ）は、次の（Ａ７ａ）〜
（Ａ７ｄ）式で整理される。このような変数の置き換え
を行うと数式が簡単になるので以後この置き換えを行っ
たうえで説明する。

【００８９】

【数２０】 さて、残りの２４個の未定係数は各式の右辺の分数部を
作っているわけであるが、相互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ
６ｄ）の各式とも基本的には有理式であり明らかに分子
と分母に含まれる係数のうち１つは任意に決めることが
できる。どの未定係数を選ぶかは任意であるが、ここで
は一例としてａ₀とｂ₀がいずれも１であるとする。ここ
で式を整理してベクトル式にすると、相互関係式（Ａ６
ａ）〜（Ａ６ｄ）は、さらに次の相互関係式（Ａ８ａ）
〜（Ａ８ｄ）として整理される。なお、相互関係式（Ａ
８ａ）〜（Ａ８ｄ）中のｔは行と列を入れ替えたベクト
ルを示している。

【００９０】

【数２１】 ここで注目すべきは、相互関係式（Ａ８ａ）〜（Ａ８
ｄ）には試料散乱係数（Ｓ_11A,Ｓ_21A,Ｓ_12A,Ｓ_22A)が含
まれておらず、また未定係数が２２個しか含まれていな
いことである。すなわち、1つの補正データ取得試料１
１Ｂを基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）と実測測定
装置２（実測測定冶具５Ｂ）の両方で測定すれば相互関
係式（Ａ８ａ）〜（Ａ８ｄ）が得られる。

【００９１】したがって、この相互関係式（Ａ８ａ）〜
（Ａ８ｄ）を用いれば、５．５個（＝２２／４：実際に
は６個となる)の補正データ取得試料１１Ｂ_1〜6を基準
測定装置１（基準測定冶具５Ａ）と実測測定装置２（実
測測定治具５Ｂ）の両方で測定すれば全ての未定係数を
決定することができる。

【００９２】なお、先に述べたとおり、漏洩誤差
(Ｅ_XF1,Ｅ_XR1,Ｅ_XF2,Ｅ_XR2)を無視しない場合は、これ
を測定するために１個余分に補正データ取得試料１１Ｂ
が必要なので計７個の補正データ取得試料１１Ｂ_1〜7が
必要になる。

【００９３】いったん未定係数が同定されれば、任意の
測定対象電子部品１１Ａの実測測定装置２（実測測定治
具５Ｂ）の測定値から上述した相互関係式（Ａ６ａ）〜
（Ａ６ｄ）を用いて基準測定装置（基準測定冶具）での
測定値を計算で求めることができる。

【００９４】相互関係式（Ａ８ａ）〜（Ａ８ｄ）を用い
て未定係数を決定する具体的な方法は、どのような方法
であっても良いのだが、実際には計算機を用いて計算を
行わないと非常に手間がかかる。そのため、計算機を用
いた未定係数の決定方法の一例を説明する。

【００９５】まず、各測定装置１,２の測定冶具５Ａ,５
Ｂに補正データ取得試料１１Ｂ_1〜6を取り付けない状態
で散乱係数を測定することで、各測定装置１,２（測定
治具５Ａ,５Ｂ）固有の漏洩誤差(Ｅ_XF1,Ｅ_XR1,Ｅ_XF2,Ｅ
_XR2)を決定する。つづけて、適当に製作した６個の補正
データ取得試料１１Ｂ_1〜6の特性（散乱係数）を、基準
測定装置１（基準測定治具５Ａ）・実測測定装置２（実
測測定治具５Ｂ）の両方で測定する。これにより、基準
測定装置１の測定値と実測測定装置２の測定値とをそれ
ぞれ６つ得る。ここに、おのおのの補正データ取得試料
１１Ｂ_1〜6の測定値をそれぞれＳ_11D1,Ｓ_11D2,…,Ｓ
_11D6,Ｓ_11M1,…,Ｓ_11M6というように末尾の添え字で区
別する。

【００９６】次に、補正データ取得試料１１Ｂ_1〜6の測
定値を相互関係式（Ａ８ａ）,（Ａ８ｂ）に代入し、補
正データ取得試料１１Ｂ₆の測定値を相互関係式（Ａ８
ａ）に代入する。これらの測定値代入式を行列式に整理
すると次の（Ａ９）式になる。

【００９７】

【数２２】 （Ａ９）式の係数行列および右辺定数項ベクトルの要素
は全て既知量であるから、（Ａ９）式は未定係数(ａ₁〜
Ａ₄,ｃ₀〜ｃ₄,ｄ₀,ｄ₁)についての単なる１１元連立一
次方程式である。これを解いて未定係数を求めることは
計算機によって一般に知られたＬＵ分解法やガウス消去
法といったアルゴリズムを用いればきわめて容易であ
る。同様に、相互関係式（Ａ８ｃ）と相互関係式（Ａ８
ｄ）から、未定係数(ｂ₁〜ｂ₄,ｅ₀〜ｅ₄,ｆ₀,ｆ₁)を求
めることができる。

【００９８】漏洩誤差は比較的簡単に同定できる場合が
多いので、上述した本実施形態の説明においては、漏洩
誤差をまず個別に同定しておき、残りの誤差の影響で生
じる基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）の測定値と実
測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）の測定値との間の差
異を、補正用データ取得試料１１Ｂ_1〜6を用いて補正す
るという手順を用いた。しかしながら、漏洩誤差も含め
て基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）の測定値と実測
測定装置２（実測測定治具５Ｂ）の測定値との間の差異
を、補正用データ取得試料１１Ｂ_1〜6を用いて補正して
もよい。

【００９９】また、上述した本発明の説明では、２ポー
ト測定系について本発明を説明したしたが、１ポート測
定系についても、あるいは３ポート以上の測定系につい
ても本発明は全く同様に実施できるのはいうまでもな
い。

【０１００】上述した本実施形態の説明では２ポート測
定系の誤差モデル（信号伝達形態）として一般に用いら
れている２ポート誤差モデルを用いて説明を行ったが、
測定冶具などの測定系にあわせてこれとは異なる誤差モ
デル（信号伝達形態）に基づいて本発明を実施しても良
いのもいうまでもない。

【０１０１】相互関係式（Ａ４ａ）〜（Ａ４ｄ）におい
て、基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）の誤差要因を
全く誤差の無い測定系の場合の値とする、つまり、Ｅ_XF
＝０,Ｅ_XR＝０,Ｅ_DF＝０,Ｅ_DR＝０,Ｅ_RF＝１,Ｅ_RR＝１,
Ｅ_SF＝０,Ｅ_SR＝０,Ｅ_TF＝１,Ｅ_TR＝１,Ｅ_LF＝０,Ｅ_LR
＝０にすると、相互関係式（Ａ４ａ）〜（Ａ４ｄ）は、
理論数式（Ａ１ａ）〜（Ａ１ｄ）に一致する。このこと
から、一般に行われている２ポート補正法等の補正方法
は本実施形態における相対補正法の特殊な場合(基準冶
具が理想的である場合)に相当することが理解される。

【０１０２】以上の本実施形態の説明では、基準測定装
置１（基準測定冶具５Ａ）や実測測定装置２（実測測定
治具５Ｂ）の誤差要因に着目して本発明の詳細を説明し
たが、測定冶具５Ａ,５Ｂの誤差要因、測定装置１,２,
測定ケーブル等の誤差要因とが複合したものを、１つの
誤差要因としてとらえることもできる。この場合でも、
信号伝達形態（誤差モデル）は理論数式（Ａ１ａ）〜
（Ａ１ｄ）に基づくものがそのまま成立する。

【０１０３】そのため、例えば校正していない実測測定
装置に実測測定冶具を取り付けた状態で得た測定値か
ら、校正している基準測定装置に基準測定冶具を取り付
けた状態で測定されるであろう測定値を相対補正法によ
って正確に得ることもできる。

【０１０４】以上説明した本実施形態の説明における未
定係数の決定法以外にも、余分にいくつかの補正データ
取得試料１１Ｂを測定しておき、これらの測定値を用い
て最小自乗法に代表される何らかの最尤法によって未知
係数を決定することも可能である。このようにすれば、
試料測定時の測定誤差の影響を緩和することができる。

【０１０５】漏洩を除けば、本来は４個の補正用データ
取得試料１１Ｂによって解析式相対補正法の補正式の係
数を決定できるはずであるところ、上述した説明では、
５．５個の補正用データ取得試料(実際は無論６個)１１
Ｂ_1〜6を用いて未定係数を決定している。これは、方程
式を単純化するために便宜的に採用した方策である。

【０１０６】しかしながら、５．５個の補正用データ取
得試料１１Ｂ_1〜6で係数を決定する場合には、補正用デ
ータ取得試料の測定誤差の影響などによって係数が相互
に満たすべき関係を満たさない場合がある。例えば、相
互関係式（Ａ５ａ）〜（Ａ５ｄ）と相互関係式（Ａ６
ａ）〜（Ａ６ｄ）とを比較すると、ａ₄／ａ₃＝ｃ₄／ｃ₃
なる関係が成立しなければならないが、測定によっては
このような関係を満たすことができない係数が得られる
場合がある。

【０１０７】このような場合、４個の補正用データ取得
試料１１Ｂ_1〜4の測定結果を評価関数として、５．５個
の補正用データ取得試料１１Ｂ_1〜6で得た係数を初期値
として反復演算を行うことによって係数をより正確なも
のに修正することができる。これは、仮の解の初期値が
真の解に近ければ、Ｎｅｗｔｏｎ法等で容易に解を真値
に収束させることができることによっている。

【０１０８】以上が２ポート測定系の場合の相対補正法
の理論である。次に補正用データ取得試料１１Ｂの設計
について説明する。相対補正法の実施において補正用デ
ータ取得試料１１Ｂをどのように作るかは補正精度上非
常に重要な問題となる。補正用データ取得試料１１Ｂを
基準測定装置１（基準測定治具５Ａ）と実測測定装置２
（実測測定治具５Ｂ）とのそれぞれで全く測定誤差無く
測定する事が出来れば、解析式相対補正法における補正
式の係数は一義的に定まる。ただしこの場合、上述した
（Ａ９）式の左辺の行列が特異にならない限りという条
件は付く。

【０１０９】しかしながら、実際上は、補正用データ取
得試料１１Ｂの測定において必ず何かしらの誤差(系統
誤差・偶然誤差の両者を含む)が発生する。そうする
と、（Ａ９）式によって求まる解析式相対補正法におけ
る補正式の係数に誤差が生じてしまう。

【０１１０】このようにして生じる係数の誤差において
は、補正用データ取得試料１１Ｂがどの様な散乱係数を
有しているかによってその影響の大きさが異なる。例え
ば、最も補正用データ取得試料１１Ｂの測定誤差の影響
を受け難くなると予想される条件の１つは、（Ａ９）式
の左辺の行列が単位行列に近くなる場合である。なお、
実際には（Ａ９）式をそのまま用いるのではなく、最小
自乗法といった考え方を取り入れて（Ａ９）式は運用さ
れるがこの場合にも同様である。

【０１１１】以下、どの様に補正用データ取得試料１１
Ｂの特性を設計すれば測定誤差に影響され難い解析式相
対補正法の補正式を作成出来るかについて説明する。こ
こでは、主として抵抗器を組み合わせて補正用データ取
得試料１１Ｂを作製する事を前提とする。抵抗器の組み
合せにより補正用データ取得試料１１Ｂを作成するの
は、補正用データ取得試料１１Ｂの製作を簡単にするた
めである。

【０１１２】解析式相対補正法の補正式を精度高く作成
するうえでは、 ・補正式の係数の算定の確実性、 ・複数用意する補正用データ取得試料１１Ｂ間における
特性の接近度、 ・複数用意する補正用データ取得試料１１Ｂ間における
特性の従属性、 が重要となる。

【０１１３】はじめに解析式相対補正法における補正式
中の係数を確実に算定出来る条件について説明する。全
く同じ特性を有する補正用データ取得試料１１Ｂを２個
用いることは、実質上、補正用データ取得試料１１Ｂの
数が１個少ないことと同じことを意味する。したがっ
て、このことが補正係数を算定出来ない条件の一つであ
る事は容易に理解される。数学的にもこの要件は簡単に
表現できる。すなわち、（Ａ９）式の左辺の行列の行列
式の値が０になることである。そうすれば、補正係数が
算定出来なくなる。したがって、この条件の逆の条件
［（Ａ９）式の左辺の行列の行列式の値が０にならな
い］ことさえ満たせば、（Ａ９）式は解を有することに
なる。

【０１１４】しかしながら、（Ａ９）式の行列式の値が
０でないという条件は、補正用データ取得試料１１Ｂを
どう設計すべきかを判断するうえではあまりに抽象的で
ある。そのため、本実施形態では、次のような目安を用
いている。以下の目安を用いることは若干ながら不正確
ではあるものの、そもそも、行列式の値が０になるとい
うのは余程の偶然がない限り起こらないものであり、こ
の様な簡易的な方法（目安を用いる方法）であっても実
用上は全く問題無い。

【０１１５】第１の目安は、補正用データ取得試料１１
Ｂの設計散乱係数によって決まる次の各計算値Ｓ₁₁, Ｓ
₂₁,Ｓ₁₂,Ｓ₂₂,Ｓ₁₁＊Ｓ₂₂,Ｓ₂₁＊Ｓ₁₂,Ｓ₂₁＊Ｓ₂₂,Ｓ₁₂
＊Ｓ ₁₁,Ｓ₁₁＊Ｓ₂₁＊Ｓ₁₂,Ｓ₂₂＊Ｓ₂₁＊Ｓ₁₂がそれぞ
れ、全ての補正用データ取得試料１１Ｂで非常に小さな
値となったり、同じような値とならないことである。こ
のような目安は、これらの計算値は各係数に対応する行
列要素の値を作るものであってこのような第１の目安を
満たすと行列式が０に近づく恐れがある、という理由に
基づいている。

【０１１６】第２の目安は、上述の計算値の補正用デー
タ取得試料１１Ｂ毎の大小関係が出来るだけ共通しない
ようにすることである。このような目安は、計算値の大
小関係が異なれば行列式が０に近づくことはまず起こり
得ない、という理由に基づいている。

【０１１７】以上の条件・目安を満足させることで、解
析式相対補正法における補正式中の係数を確実に算定出
来るようになる。

【０１１８】次に、複数用意する補正用データ取得試料
１１Ｂ間における特性の接近度について説明する。本発
明の解析式相対補正法においては、測定誤差の影響を受
けるのは避けられない。このような測定誤差の影響を最
小限に抑えるためには、複数用意する補正用データ取得
試料１１Ｂ間における特性の接近度をできるだけ離すこ
とが重要となる。以下、説明する。

【０１１９】補正用データ取得試料１１Ｂの測定時に如
何に注意深く測定を行なっても何らかの誤差は必ず生じ
てしまう。この場合の誤差には補正用データ取得試料１
１Ｂを測定治具５Ａ,５Ｂに取り付けた際の位置決め誤
差のようなものや、測定装置１,２のドリフト、または
測定バラツキのようなものが全て含まれる。

【０１２０】これらの誤差の影響を大きく受ける条件
は、２個以上の補正用データ取得試料１１Ｂが非常に近
い特性を有している場合である。これは、補正用データ
取得試料１１Ｂが有する特性近辺における微係数とは、
最も単純には隣接する補正用データ取得試料１１Ｂとの
特性差を補正用データ取得試料１１Ｂの特性の距離(ノ
ルム)で除したもので与えられる事から容易に理解でき
る。つまり、除数が小さければ非除数の僅かな誤差が拡
大してしまう。

【０１２１】したがって、測定誤差の影響を受けにくく
するには補正用データ取得試料１１Ｂの特性相互間のノ
ルムを出来るだけ大きく保つことが有効である。ノルム
には、例えば単純幾何距離(Ｓ₁₁〜Ｓ₂₂の各パラメータ
の差の自乗和の平方根)を用いる事が出来る。

【０１２２】ここで、補正用データ取得試料１１Ｂを抵
抗器だけで製作すると必然的にその特性は実軸に貼り付
き、虚軸成分をほとんど有しないことに着目する。測定
誤差さえなければ原理的にはたとえ補正用データ取得試
料１１Ｂの特性に虚数成分は無くとも、測定治具５Ａ,
５Ｂの誤差要因の虚数成分は重畳されるので結果的には
正しい補正係数（補正式の未定係数）が推定出来る。し
かしながら、測定誤差によって一部の補正用データ取得
試料１１Ｂの特性のみが虚数成分を持つ場合がある。そ
の場合、位相回転を有する補正用データ取得試料１１Ｂ
の補正結果に大きな誤差を生じさせるような補正係数
（未定係数）が得られてしまう懸念がある。これは特に
順方向と逆方向で移相角が異なる散乱係数を有するデバ
イス（アイソレータ等が該当する)の場合とくに顕在化
しやすい。

【０１２３】補正用データ取得試料１１Ｂの測定誤差を
十分小さくすることが困難な場合(例えば、測定装置１,
２のドリフトのように平均化で除去出来ない誤差が生じ
る場合など)には、移相角が異なる補正用データ取得試
料１１Ｂを用いることが最も効果的な対策である。具体
的には、補正用データ取得試料１１Ｂにディレイライン
または、コンデンサやインダクタなどのリアクタンス素
子を組込むことによって前記対策を実現できる。

【０１２４】また、測定対象電子部品１１Ａが補正用デ
ータ取得試料１１Ｂと異なる移相角を有する時には測定
対象電子部品１１Ａそのものを補正用データ取得試料１
１Ｂの１つとして使用することも有効である。ただし、
いずれの方法においても補正用データ取得試料１１Ｂに
対して測定可能な周波数帯域幅は制限を受けてしまう。
以上のようにすることで測定誤差の影響を最小限に抑え
ることができる。

【０１２５】次に、複数用意する補正用データ取得試料
１１Ｂ間における特性の従属性について説明する。前述
した相互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ６ｄ）は、実測測定装
置２（実測測定治具５Ｂ）における測定値から基準測定
装置１（基準測定治具５Ａ）のおける測定値を推定する
式である。これらの式は単純な有理式であって、分子・
分母とも、測定治具５Ａ,５Ｂで補正用データ取得試料
１１Ｂを測定した散乱係数およびその積の一次結合であ
る。そのため、各項の間で一次従属が生じてしまう可能
性がある。以下、説明する。

【０１２６】例えば、Ｓ_11Dの推定式である相互関係式
（Ａ６ａ）式では、分子にｃ₂＊Ｓ_{11 M}＋ｃ₃＊Ｓ_22Mとい
う部分がある。ここで、補正用データ取得試料１１Ｂの
測定結果に基づいて正しい値がｃ₂,ｃ₃として推定され
ていればどの様な補正用データ取得試料１１Ｂの特性を
相対補正しても正しい補正が行なわれる。しかしなが
ら、ｃ₂が極端に大きな値であったり、逆にｃ₃がこれの
符号を反転した値であったとすると、補正用データ取得
試料１１Ｂについてはたまたまｃ₂＊Ｓ_11M＋ｃ₃＊Ｓ_22M
の各項がお互いに打ち消しあってそれらしいＳ_11Dの補
正結果が得られる可能性がある。そうすると、補正用デ
ータ取得試料１１Ｂ以外の試料（測定対象電子部品１１
Ａ）では極端に大きなまたは小さな誤った値としてＳ
_11Dが推定されてしまう。

【０１２７】このような不都合を回避するためには、補
正用データ取得試料１１Ｂの特性に一次従属で表現不可
能な組合せのものを含めれば良い。Ｓ₁₁とＳ₂₂の例でい
えば、一次従属はＳ₁₁増加,Ｓ₂₂増加という場合と、Ｓ
₁₁増加,Ｓ₂₂減少という場合が考えられ、一次従属はこ
れらのいずれかの場合となる。そのため、一次従属を回
避するためには、補正用データ取得試料１１Ｂとして、 （１）Ｓ₁₁増加,Ｓ₂₂増加、 （２）Ｓ₁₁増加,Ｓ₂₂減少、 の両方の場合が生じる様に組み合わせておけば良い。

【０１２８】同様に、 （３）Ｓ₁₁減少,Ｓ₂₂増加、 （４）Ｓ₁₁減少,Ｓ₂₂減少、 を含めればＳ₂₂側から考えても一次従属は起こり得な
い。

【０１２９】相互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ６ｄ）式か
ら、一次従属が起こる特性の組合せとして、Ｓ₁₁とＳ₂₂
以外に、Ｓ₁₁＊Ｓ₂₂とＳ₂₁＊Ｓ₁₂の組合せがある。その
ため、これらの組合せについても、上述したのと同様の
点に注意して補正用データ取得試料１１Ｂの特性設計を
すればよい。

【０１３０】以下、本実施形態の測定誤差補正方法によ
り補正方法を具体的に説明する。

【０１３１】用意した６個の補正データ取得試料１１Ｂ
_1〜6が、基準測定装置１に搭載される。そして、各試料
１１Ｂ_1〜6の電気特性が各周波数ポイント毎に測定され
る。ここで、補正データ取得試料１１Ｂ_1〜6に対応する
ＳＡＷフィルタは高周波用の電子部品であり、ここで測
定する電気特性は、順方向散乱係数Ｓ₁₁,順方向散乱係
数Ｓ₂₁,逆方向散乱係数Ｓ₁₂,逆方向散乱係数Ｓ₂₂からな
るＳパラメータとなる。

【０１３２】これら基準測定装置１における補正データ
取得試料１１Ｂ_1〜5のＳパラメータを測定した結果（Ｓ
₁₁ ^n*,Ｓ₂₁ ^n*,Ｓ₁₂ ^n*,Ｓ₂₂ ^n*：ｎは１から６の自然数）
が、実測測定装置２の図示しないデータ入力部を介して
実測測定装置２に予め入力されている。入力された基準
測定装置１の測定結果（Ｓ₁₁ ^n*,Ｓ₂₁ ^n*,Ｓ₁₂ ^n*,
Ｓ₂₂ ^{n *}）は、制御部本体２２を介してメモリ２３に記憶
されている。

【０１３３】一方、実測測定装置２においても、同様
に、補正データ取得試料１１Ｂ_1〜6が基準測定装置２に
搭載される。そして、各試料１１Ｂ_1〜6の電気特性が各
周波数ポイント毎に測定される。

【０１３４】実測測定装置２による補正データ取得試料
１１Ｂ_1〜6のＳパラメータの測定結果（Ｓ₁₁ ^nM,Ｓ₂₁ ^nM,
Ｓ₁₂ ^nM,Ｓ₂₂ ^nM：ｎは１から６の自然数）は、制御部本
体２を介して相互関係式算定手段２４に入力される。

【０１３５】相互関係式算定手段２４は、実測測定装置
２による補正データ取得試料１１Ｂ _1〜6の測定結果（Ｓ
₁₁ ^nM,Ｓ₂₁ ^nM,Ｓ₁₂ ^nM,Ｓ₂₂ ^nM）が入力されると、制御部
本体２２を介してメモリ２３から、基準測定装置１で測
定した補正データ取得試料１１Ｂ_1〜6の測定結果（Ｓ₁₁
^n*,Ｓ₂₁ ^n*,Ｓ₁₂ ^n*,Ｓ₂₂ ^n*）を読み出す。

【０１３６】相互関係式算定手段２４は、測定結果（Ｓ
₁₁ ^nM,Ｓ₂₁ ^nM,Ｓ₁₂ ^nM,Ｓ₂₂ ^nM）と測定結果（Ｓ₁₁ ^n*,Ｓ₂₁
^n*,Ｓ₁₂ ^n*,Ｓ₂₂ ^n*）とに基づいて、実測測定装置２によ
る測定結果と基準測定装置１による測定結果との間の相
互関係式を算定する。算定方法の詳細については、理論
数式（Ａ１ａ〜Ａ１ｄ）,（Ａ２ａ〜Ａ２ｄ）,（Ａ３ａ
〜Ａ３ｄ）と、相互関係式（Ａ４ａ〜Ａ４ｄ）,（Ａ５
ａ〜Ａ５ｄ）,（Ａ６ａ〜Ａ６ｄ）,（Ａ７ａ〜Ａ７
ｄ）,（Ａ８ａ〜Ａ８ｄ）,（Ａ９）とを参照して上述し
たのでここではその説明は省略する。

【０１３７】以上の準備工程を経たのち、実測測定装置
２のネットワークアナライザ本体２０により測定対象電
気部品１１Ａの電気特性（ＳパラメータＳ₁₁ ^M,Ｓ₂₁ ^M,Ｓ
₁₂ ^M,Ｓ₂₂ ^M）を測定する。測定対象電気部品１１Ａの測
定結果は、制御部本体２２を介して補正手段２５に入力
される。

【０１３８】補正手段２５は、測定対象電気部品１１Ａ
の測定結果が入力されると、制御部本体２２を介してメ
モリ２３から相互関係式を読み出す。補正手段２５は、
読み出した相互関係式に測定対象電気部品１１Ａの測定
結果である電気特性（ＳパラメータＳ₁₁ ^M,Ｓ₂₁ ^M,Ｓ₁₂ ^M,
Ｓ₂₂ ^M）を代入して計算する。これにより、補正手段２
５は、実測測定装置２における測定対象電気部品１１Ａ
の測定結果（電気特性）を、基準測定装置１により測定
した場合に得られると推定される電気特性（Ｓ ₁₁ ^*,Ｓ₂₁
^*,Ｓ₁₂ ^*,Ｓ₂₂ ^*）に補正する。補正手段２５は、算定し
た補正値を制御部本体２２を介して外部に出力する。出
力は、図示しない表示部により表示出力してもよいし、
図示しないデータ出力部によりデータとして出力しても
よい。

【０１３９】なお、このような計算処理は、上述したよ
うに、ネットワークアナライザ３Ｂに内蔵された制御部
２１により行ってもよいし、ネットワークアナライザ３
に接続された外部コンピュータに対して測定結果を出力
してこの外部コンピュータにより行ってもよい。

【０１４０】実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）で測
定した測定対象電子部品１１Ａ（２ポート）の電気特性
を、本実施形態の２ポート相対補正法により補正した結
果の具体例を図８〜図１０を参照して説明する。

【０１４１】ここでは、基準測定治具５Ａとして、いわ
ゆるユーザー保証基板に導電ゴムを敷いたものを用い
た。実測測定治具５Ｂとして、基準測定治具５Ａに２ｐ
Ｆのコンデンサを取り付けて故意に大きな誤差要因を生
じさせたものを用いた。補正用データ取得試料１１Ｂに
はアイソレータのパッケージにチップ抵抗を取り付けた
ものを用いた。図８は、順方向の散乱係数の補正結果を
示し、図９は、順方向の散乱係数の補正結果の部分拡大
図を示し、図１０は逆方向の散乱係数の補正結果を示し
ている。

【０１４２】これらの図で明らかなように、本実施形態
の補正方法を実施すれば、実測測定装置２（実測測定治
具５Ｂ）と基準測定装置１（基準測定治具５Ａ）との間
の大きな測定値差異をほぼ正確に補正している事が理解
される。つまり、グラフ中の「実測測定治具測定値」を
もとに相対補正法によって「補正結果」を得たわけであ
るが、これが「基準測定治具測定値」に一致すれば補正
は正常に行なわれていることを示しており、事実この様
になっている。さらには、部分拡大である図９を参照し
ても、ほぼ正確に補正できているものの明らかである。

【０１４３】また、この測定データによれば、次の点も
注目できる。すなわち、補正用データ取得試料１１Ｂは
全て抵抗器で構成されているので明らかに非方向性デバ
イスなのであるにも関わらず、アイソレータのような明
らかな方向性を有する測定対象電子部品１１Ａの相対補
正も精度高く実施することができる点である。これは、
次のような理由によっている。すなわち、上述した（Ａ
９）式中でＳ₂₁とＳ₁₂とが一時結合の関係に無いために
方向性デバイスを補正用データ取得試料１１Ｂとするま
でも無く相対補正係数を全て同定することが可能であ
る。これにより、非方向性デバイスからなる測定対象電
子１１Ａの相対補正も精度高く実施することができる。

【０１４４】このことは次のような利点を生む。すなわ
ち、広帯域な方向性デバイスからなる補正データ取得試
料１１Ｂを製作する事は非常に困難であり、この様な補
正用データ取得試料を必要としないことは相対補正法を
実際に実施する上で非常に重要となる。もっとも、前述
したように、測定誤差に弱くなる傾向があるので、実際
には測定対象電子部品１１Ａがアイソレータのように強
い方向性を有する場合は、当該デバイス自体の１つを補
正データ取得試料１１Ｂとして使用することができる。

【０１４５】以上は、不平衡２ポートの測定系において
本実施形態を実施した場合における説明である。次に、
不平衡１ポートの測定系において本実施形態を実施した
場合の説明を行う。

【０１４６】まず、各測定系(基準測定装置１および実
測測定装置２)の誤差要因を図１１に示される信号伝達
形態によってモデル化する。なお、図１１に示す信号伝
達形態は、一般的に用いられている１ポート誤差モデル
と同様である。

【０１４７】この信号伝達形態において、誤差要因が全
て同定されていたとすると、補正データ取得試料１１Ｂ
の測定値Ｓ_11Mからその散乱係数の真値Ｓ_11Aは次の理論
数式（Ａ１０ａ）,（Ａ１０ｂ）によって求められる。
なお、理論数式（Ａ１０ａ）,（Ａ１０ｂ）は、図１１
の信号伝達形態を基に式を組み立てれば導き出すことが
できる。

【０１４８】

【数２３】 さて、散乱係数の真値が（Ｓ_11A)である補正データ取得
試料１１Ｂを測定したとしたとき、基準測定装置１では
散乱係数Ｓ_11Dが、実測測定装置２では散乱係数Ｓ_11Mが
それぞれ測定されるとする。

【０１４９】ここで、補正データ取得試料１１Ｂの散乱
係数の真値Ｓ_11Aおよび、基準測定装置１（基準測定冶
具５Ａ）・実測測定装置２（実測測定冶具５Ｂ）の誤差
要因の値を具体的に知ることは実際には不可能である。
一方、基準測定装置１における測定値Ｓ_11Dや実測測定
装置２におけ測定値Ｓ_11Mは実測によって知ることので
きる値である。

【０１５０】本実施形態における相対補正法の目的は、
実測測定装置２の測定値から基準測定装置１の測定値を
求めることである。

【０１５１】理論数式（Ａ１０ａ）と理論数式（Ａ１０
ｂ）とを比較すると、左辺は、同じ散乱係数の真値Ｓ
_11Aである。そのため、これらの理論数式（Ａ１０ａ）,
（Ａ１０ｂ）から次の式（Ａ１１）式が導き出せる

【０１５２】

【数２４】 さらに、（Ａ１１）式を、Ｓ_11Dに関して整理すること
で、次の相互関係式（Ａ１２）を導き出せる。相互関係
式（Ａ１２）は、実測測定装置２による測定結果と基準
測定装置１による測定結果との間の関係を示す式であ
る。

【０１５３】

【数２５】 相互関係式（Ａ１２）において、基準測定装置１（基準
測定冶具５Ａ）の誤差要因を全く誤差の無い測定系の場
合の値とする、つまり、ａ'＝０,ｂ'＝０,ｃ'＝０にす
ると、相互関係式（Ａ１２）は、次の式（Ａ１３）とな
る。この式（Ａ１３）は、理論数式（Ａ１０ａ）,（Ａ
１０ｂ）に一致する。このことから、一般に行われてい
る１ポート補正法等の補正方法は本実施形態における相
対補正法の特殊な場合(基準冶具が理想的である場合)に
相当することが理解される。

【０１５４】

【数２６】 相互関係式（Ａ１２）を詳細に見てみると、相互関係式
（Ａ１２）を構成する（−ａａ'ｃ'＋ａａ'ｃ＋ａｂ'＋
ａ'ｂ）, （ｃ−ｃ'）,（−ａｃ'＋ａｃ−ｂ）等は、そ
れぞれ一つの未定係数として置き換えることができる。
そこで、これらを、それぞれ未定係数α,β,γに置き換
えると、相互関係式（Ａ１２）は、次の相互関係式（Ａ
１４）に整理することができる。

【０１５５】

【数２７】 さらに、この相互関係式（Ａ１４）には、α,β,γの３
つの未知数が存在していることから、３個の補正データ
取得試料を準備してそれぞれの特性を測定すれば、これ
らを特定できる。そして、２ポートの場合の場合と同様
の符号を用いれば、次の相互関係式（Ａ１５ａ〜Ａ１５
ｃ）を導き出すことができる。

【０１５６】

【数２８】 相互関係式（Ａ１５ａ〜Ａ１５ｃ）に基づけば、３個の
補正データ取得試料１１Ｂ_1〜3を準備してそれぞれの特
性を測定すれば、相互関係式（Ａ１４）の未定係数（相
対補正係数）α,β,γを特定することができる。

【０１５７】以上のようにして未定係数を特定したのち
に行う実際の測定値補正操作は、２ポート測定系におけ
る補正操作と同様であるので、その説明は省略する。

【０１５８】実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）で測
定した測定対象電子部品１１Ａ（１ポート）の電気特性
を、本実施形態の２ポート相対補正法により補正した結
果の具体例を図１２を参照して説明する。

【０１５９】図１２により明らかなように、本実施形態
の補正方法を実施すれば、１ポートの電子部品であって
も、実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）と基準測定装
置１（基準測定治具５Ａ）との間の大きな測定値差異を
ほぼ正確に補正している事が理解される。つまり、グラ
フ中の「実測測定治具測定値」をもとに相対補正法によ
って「補正結果」を得たわけであるが、これが「基準測
定治具測定値」に一致すれば補正は正常に行なわれてい
ることを示しており、事実この様になっている。

【０１６０】以上説明した本実施形態の測定結果の補正
方法によれば、次のような効果がある。すなわち、電子
部品メーカーでその電子部品の特性を保証する場合にお
いては、メーカー側に設けられた測定装置で測定した結
果に基づいて、その電気特性が保証される。しかしなが
ら、その電子部品を購入したユーザー側に設けられた測
定装置において、その電子部品の特性を測定したとして
も同等の測定結果が出るとは限らない。そのため、これ
では、メーカーが保証している特性を確認することがで
きず、その保証は再現性がなく不確実なものとなってし
まう。

【０１６１】これに対して、メーカー側の測定装置を基
準測定装置とし、ユーザー側の測定装置を実測測定装置
としたうえで本実施形態の測定誤差の補正方法を実施す
れば、メーカー側の測定結果と同等であると推定される
電気特性を、ユーザー側の実測測定装置における測定結
果に基づいてユーザー側で算出することができる。これ
により、メーカー側の実施する電子部品の保証を再現す
ることができて、十分に確実なものとなり、したがっ
て、ユーザーに受け入れられることが可能となる。

【０１６２】しかも、実測測定装置２の状態を厳密に検
査管理する（例えば、実測測定装置２の測定治具５の特
性を、基準測定装置１の測定治具５の特性と同等となる
ように調整管理する）ことなく上記補正が行えるので、
その分、測定に要するコストを抑えることができる。

【０１６３】さらには、ユーザー側においては、量産工
程中に多数設置される自動測定選別機を前記実測測定装
置として選定することも可能になるので、その分、さら
に測定に要するコスト（この場合には不良部品選別コス
ト）を抑えることができるうえに測定時間の短縮化を図
ることができる。

【０１６４】しかも、測定治具５Ａ,５Ｂに起因する測
定誤差の補正のみならず、実測測定装置２全体の測定誤
差を同時に補正することができるので、実測測定装置２
においてフル２ポート補正法等のキャリブレーションを
実施する必要もなくなり、その分、さらに測定コストを
抑えることができる。

【０１６５】さらには、本実施形態の測定装置では、自
動測定選別機に対する組み込み性能や長寿命化を測定特
性の安定化より優先させた実測測定治具５Ｂを用いて
も、その測定結果に何ら影響は出ない。そのため、その
分、さらに測定に有するコストを抑えることができるう
えに、測定時間の短縮化を図ることができる。

【０１６６】第２の実施の形態 本実施形態では、表面実装型のＳＡＷフィルタを測定対
象電子部品として、このＳＡＷフィルタの電気特性を、
ネットワークアナライザを有する測定装置で測定する際
の測定誤差の補正方法において本発明を実施している。
本実施形態では、近似式相対補正方法によって測定値を
補正しており、この点だけが第１の実施の形態と異なっ
ている。したがって、測定装置１,２の構成や測定治具
５Ａ,５Ｂの構成等については第１の実施の形態と同様
となっている。そのため、装置構成等については、第１
の実施の形態のものを準用することし、それらのついて
の説明は省略する。

【０１６７】以下、本実施形態の補正方法の詳細を説明
する。まず、複数（例えば５個）の補正データ取得試料
１１Ｂ_1〜5が用意される。そして、用意された補正デー
タ取得試料１１Ｂ_1〜5が、基準測定装置１に搭載され
る。そして、各試料１１Ｂ_1〜5の電気特性が各周波数ポ
イント毎に測定される。ここで、補正データ取得試料１
１Ｂ_1〜5に対応するＳＡＷフィルタは高周波用の電子部
品であり、ここで測定する電気特性は、順方向散乱係数
Ｓ₁₁,順方向散乱係数Ｓ₂₁,逆方向散乱係数Ｓ₁₂,逆方向
散乱係数Ｓ₂₂からなるＳパラメータとなる。

【０１６８】これら基準測定装置１における補正データ
取得試料１１Ｂ_1〜5のＳパラメータを測定した結果（Ｓ
₁₁ ^n*,Ｓ₂₁ ^n*,Ｓ₁₂ ^n*,Ｓ₂₂ ^n*：ｎは１から５の自然数）
が、実測測定装置２の図示しないデータ入力部を介して
実測測定装置２に予め入力されている。入力された基準
測定装置１の測定結果（Ｓ₁₁ ^n*,Ｓ₂₁ ^n*,Ｓ₁₂ ^n*,
Ｓ₂₂ ^{n *}）は、制御部本体２２を介してメモリ２３に記憶
されている。

【０１６９】一方、実測測定装置２においても、同様
に、補正データ取得試料１１Ｂ_1〜5を、基準測定装置２
に搭載する。そして、各試料１１Ｂ_1〜5の電気特性が、
各周波数ポイント毎に測定される。

【０１７０】実測測定装置２による補正データ取得試料
１１Ｂ_1〜5のＳパラメータの測定結果（Ｓ₁₁ ^nM,Ｓ₂₁ ^nM,
Ｓ₁₂ ^nM,Ｓ₂₂ ^nM：ｎは１から５の自然数）は、制御部本
体２を介して相互関係式算定手段２４に入力される。

【０１７１】相互関係式算定手段２４は、実測測定装置
２による補正データ取得試料１１Ｂ _1〜5の測定結果（Ｓ
₁₁ ^nM,Ｓ₂₁ ^nM,Ｓ₁₂ ^nM,Ｓ₂₂ ^nM）が入力されると、制御部
本体２２を介してメモリ２３から、基準測定装置１で測
定した補正データ取得試料１１Ｂ_1〜5の測定結果（Ｓ₁₁
^n*,Ｓ₂₁ ^n*,Ｓ₁₂ ^n*,Ｓ₂₂ ^n*）を読み出す。

【０１７２】相互関係式算定手段２４は、基準測定装置
の測定値と前記実測測定装置の測定値との間の関係を近
似的に示す相互関係式と、未定係数算定式とを記憶して
いる。相互関係式は、次の一次式（Ｂ２）式から構成さ
れている。相互関係式（Ｂ２）は、未定係数（ａ_m,ｂ_m,
ｃ_m,ｄ_m：ｍは０から４の整数）を有している。未定係
数算定式は次の（Ｂ１ａ）〜（Ｂ４ｄ）式から構成され
ている。未定数算定式（Ｂ１ａ）〜（Ｂ４ｄ）は、未定
係数（ａ_m,ｂ_m,ｃ_m,ｄ_m：ｍは０から４の整数）を算定
する式であって相互算定式（Ｂ２）に基づいて作成され
ている。

【０１７３】

【数１】

【０１７４】

【数２】 Ｓ₁₁ ^*,Ｓ₂₁ ^*,Ｓ₁₂ ^*,Ｓ₂₂ ^*：基準測定装置１で測定した
場合に得られると推定可能な測定対象電子部品１１Ａの
Ｓパラメータ Ｓ₁₁ ^M,Ｓ₂₁ ^M,Ｓ₁₂ ^M,Ｓ₂₂ ^M：実測測定装置２で測定する
測定対象電子部品１１ＡのＳパラメータ 相互関係式算定手段２４は、両者の測定結果であるＳパ
ラメータ（Ｓ₁₁ ^nM,Ｓ_{2 1} ^nM,Ｓ₁₂ ^nM,Ｓ₂₂ ^nM）とＳパラメ
ータ（Ｓ₁₁ ^n*,Ｓ₂₁ ^n*,Ｓ₁₂ ^n*,Ｓ₂₂ ^n*）とを、未定係数
算定式（Ｂ１ａ）〜（Ｂ４ｄ）式に代入することで、未
定係数（ａ_m,ｂ_m,ｃ_m,ｄ_m：ｍは０から４の整数）を確
定する。

【０１７５】相互関係式算定手段２４は、確定したこれ
ら未定係数（ａ_m,ｂ_m,ｃ_m,ｄ_m）を相互関係式（Ｂ２）
に挿入することで、実測測定装置２による測定結果と基
準測定装置１による測定結果との間の相互関係式を確定
する。相互関係式は各周波数ポイント毎に確定される。
相互関係式算定手段２４は、確定した相互関係式を、制
御部本体２２を介してメモリ２３に入力してここに記録
させる。

【０１７６】以上の準備工程を経たのち、実測測定装置
２のネットワークアナライザ本体２０により測定対象電
気部品１１Ａの電気特性（ＳパラメータＳ₁₁ ^M,Ｓ₂₁ ^M,Ｓ
₁₂ ^M,Ｓ₂₂ ^M）を測定する。測定対象電気部品１１Ａの測
定結果は、制御部本体２２を介して補正手段２５に入力
される。

【０１７７】補正手段２５は、測定対象電気部品１１Ａ
の測定結果が入力されると、制御部本体２２を介してメ
モリ２３から相互関係式を読み出す。補正手段２５は、
読み出した相互関係式に測定対象電気部品１１Ａの測定
結果である電気特性（ＳパラメータＳ₁₁ ^M,Ｓ₂₁ ^M,Ｓ₁₂ ^M,
Ｓ₂₂ ^M）を代入して計算する。これにより、補正手段２
５は、実測測定装置２における測定対象電気部品１１Ａ
の測定結果（電気特性）を、基準測定装置１により測定
した場合に得られると推定される電気特性（Ｓ ₁₁ ^*,Ｓ₂₁
^*,Ｓ₁₂ ^*,Ｓ₂₂ ^*）に補正する。補正手段２５は、算定し
た補正値を制御部本体２２を介して外部に出力する。出
力は、図示しない表示部により表示出力してもよいし、
図示しないデータ出力部によりデータとして出力しても
よい。

【０１７８】なお、このような計算処理は、上述したよ
うに、ネットワークアナライザ３Ｂに内蔵された制御部
２１により行ってもよいし、ネットワークアナライザ３
に接続された外部コンピュータに対して測定結果を出力
してこの外部コンピュータにより行ってもよい。

【０１７９】本実施形態の測定結果の補正方法によれ
ば、次のような効果がある。すなわち、電子部品メーカ
ーにおいて、その電子部品の特性を保証する場合におい
ては、メーカー側に設けられた測定装置で測定した結果
に基づいて、その電気特性が保証される。しかしなが
ら、その電子部品を購入したユーザー側に設けられた測
定装置において、その電子部品の特性を測定したとして
も同等の測定結果が出るとは限らない。そのため、これ
では、メーカーが保証している特性を確認することがで
きず、その保証は再現性がなく不確実なものとなってし
まう。

【０１８０】これに対して、メーカー側の測定装置を基
準測定装置とし、ユーザー側の測定装置を実測測定装置
としたうえで本実施形態の測定誤差の補正方法を実施す
れば、メーカー側の測定結果と同等であると推定される
電気特性を、ユーザー側の実測測定装置における測定結
果に基づいてユーザー側で算出することができる。これ
により、メーカー側の実施する電子部品の保証を再現す
ることができて、十分に確実なものとなり、したがっ
て、ユーザーに受け入れられることが可能となる。

【０１８１】しかも、実測測定装置２の状態を厳密に検
査管理する（例えば、実測測定装置２の測定治具５の特
性を、基準測定装置１の測定治具５の特性と同等となる
ように調整管理する）ことなく上記補正が行えるので、
その分、測定に要するコストを抑えることができる。

【０１８２】さらには、ユーザー側においては、量産工
程中に多数設置される自動測定選別機を前記実測測定装
置として選定することも可能になるので、その分、さら
に測定に要するコスト（この場合には不良部品選別コス
ト）を抑えることができるうえに測定時間の短縮化を図
ることができる。

【０１８３】しかも、測定治具５Ａ,５Ｂに起因する測
定誤差の補正のみならず、実測測定装置２全体の測定誤
差を同時に補正することができるので、実測測定装置２
においてフル２ポート補正法等のキャリブレーションを
実施する必要もなくなり、その分、さらに測定コストを
抑えることができる。

【０１８４】さらには、本実施形態の測定装置では、自
動測定選別機に対する組み込み性能や長寿命化を測定特
性の安定化より優先させた測定治具を用いても、その測
定結果に何ら影響は出ない。そのため、その分、さらに
測定に有するコストを抑えることができるうえに、測定
時間の短縮化を図ることができる。

【０１８５】さらには、本実施形態の測定装置（近似式
相対補正法）では、非線形的な誤差を補正することがで
きる。

【０１８６】第３の実施の形態 本実施形態の測定誤差の補正方法を実施する装置構成
は、基本的には上述した第１,２の実施の形態と同様で
あり、同一ないし同様の部分には同一の符号を付し、そ
れらについての説明は省略する。

【０１８７】本実施形態では、第２の実施の形態と同様
の補正方法を実施するものの、補正を行う計算方法が若
干、第２の実施の形態と異なっている。本実施形態で
は、補正データ取得試料１１Ｂとして、測定装置の測定
操作で発生する電気特性が互いに異なる１５個の試料１
１Ｂ_1〜15が用意される。

【０１８８】用意された１５個の補正データ取得試料１
１Ｂ_1〜15が、基準測定装置１と、実測測定装置２とに
搭載されてそのＳパラメータが測定される。

【０１８９】相互関係式算定手段２４は、基準測定装置
の測定値と前記実測測定装置の測定値との間の関係を近
似的に示す相互関係式と、未定係数算定式とを記憶して
いる。相互関係式は、次の二次式（Ｃ２ａ）〜（Ｃ２
ｄ）式から構成されている。相互関係式（Ｃ２ａ）〜
（Ｃ２ｄ）は、未定係数（ａ_q,ｂ_q,ｃ_q,ｄ_q：ｑは０か
ら１４の整数）を有している。未定係数算定式は、次の
（Ｃ１ａ）〜（Ｃ１ｄ）式から構成されている。未定係
数算定式（Ｃ１ａ）〜（Ｃ１ｄ）は、未定係数（ａ _q,ｂ
_q,ｃ_q,ｄ_q：ｑは０から４の整数）を算定する式であっ
て、前記相互関係式（Ｃ２ａ）〜（Ｃ２ｄ）に基づいて
作成されている。

【０１９０】

【数３】

【０１９１】

【数４】

【０１９２】

【数５】

【０１９３】

【数６】 Ｓ₁₁ ^p*,Ｓ₂₁ ^p*,Ｓ₁₂ ^p*,Ｓ₂₂ ^p*：基準測定装置１で測定
した補正用データ取得試料１１Ｂ_1〜15のＳパラメータ Ｓ₁₁ ^pM,Ｓ₂₁ ^pM,Ｓ₁₂ ^pM,Ｓ₂₂ ^pM：実測測定装置２で測定
した補正用データ取得試料１１Ｂ_1〜5のＳパラメータ

【０１９４】

【数７】

【０１９５】

【数８】

【０１９６】

【数９】

【０１９７】

【数１０】 Ｓ₁₁ ^*,Ｓ₂₁ ^*,Ｓ₁₂ ^*,Ｓ₂₂ ^*：基準測定装置１で測定した
場合に得られると推定可能な測定対象電子部品１１Ａの
Ｓパラメータ Ｓ₁₁ ^M,Ｓ₂₁ ^M,Ｓ₁₂ ^M,Ｓ₂₂ ^M：実測測定装置２で測定する
測定対象電子部品１１ＡのＳパラメータ 相互関係式算定手段２４は、測定結果（Ｓ₁₁ ^p,Ｓ₂₁ ^p,Ｓ
₁₂ ^p,Ｓ₂₂ ^p：ｐは１から１５の自然数）を、未定係数算
定式（Ｃ１ａ）〜（Ｃ１ｄ）に代入することで、未定係
数（ａ_q,ｂ_q,ｃ_q,ｄ_q：ｑは０から１４の整数）を確定
する。

【０１９８】相互関係式算定手段２４は、確定したこれ
ら未定係数（ａ_q,ｂ_q,ｃ_q,ｄ_q）を相互関係式（Ｃ２
ａ）〜（Ｃ２ｄ）に挿入することで、実測測定装置２に
よる測定結果と基準測定装置１による測定結果との間の
相互関係式を確定する。相互関係式は各周波数ポイント
毎に確定される。相互関係式算定手段２４は、確定した
相互関係式を、制御部本体２２を介してメモリ２３に入
力してここに記録させる。

【０１９９】以上の準備工程を経たのち、実測測定装置
２により測定対象電気部品１１Ａの電気特性が測定され
る。そして、その測定結果である電気特性（Ｓパラメー
タ）を上記相互関係式（Ｃ２ａ）〜（Ｃ２ｄ）に代入し
て計算することで、実測測定装置２における測定対象電
気部品１１Ａの測定結果（電気特性）を、基準測定装置
１により測定した場合に得られると推定される電気特性
に補正する。

【０２００】本実施形態においては、第２の実施の形態
と同様の効果を発揮するうえに、さらに次のような効果
を発揮する。すなわち、実測測定装置２がより複雑な誤
差を含むものであっても、精度高く補正することができ
る。これは、本実施形態では、２つの４次元空間の各点
を二次式で対応付けたものであるので、より複雑な対応
関係を正確に表現することが可能となることに起因して
いる。

【０２０１】第２の実施の形態においては、１次式の近
似式を用いた相対補正法により本発明を実施しており、
第３の実施の形態においては、二次式の近似式を用いた
相対補正法により本発明を実施している。しかしなが
ら、本発明はこのような実施態様に限定されるものでは
なく、任意のｎ次式の近似式を用いた相対補正法により
本発明を実施することができるのはいうまでもない。そ
して、高次式になればなるほど、算出に要する構成等が
複雑になるうえに算出時間も長時間化するものの、補正
精度は可及的に向上する。

【０２０２】さらには、任意のｎ次式の近似式を用いず
とも、推定精度の低下が許容できる範囲において式の項
を任意に省略してもよい。例えば、Ｓ₂₁≒Ｓ₁₂となる場
合には、Ｓ₂₁とＳ₁₂とのどちらかを含む項を省略しても
推定精度に与える影響は小さい。ちなみに、電気特性に
おいて信号伝播方向における方向性のない電子部品では
Ｓ₂₁＝Ｓ₁₂となる。このようにすれば、補正に必要なデ
ータ取得試料数を少なくすることができる。

【０２０３】なお、実際には、例え試料が対称的な電気
特性を有していたとしても、測定器の測定誤差によりと
は多少異なった値が測定される。そのため、Ｓ₂₁やＳ₁₂
としては、これらの平均値を用いることが望ましい。

【０２０４】このようにして式を簡略化した補正式は、
次の（Ｄ１）式と、（Ｄ２）式となる。（Ｄ１）式は、
上述した（Ｂ１ａ）式,（Ｃ１ａ）式に対応する式であ
る。なお、（Ｂ１ｂ）〜（Ｂ１ｄ）式,（Ｃ１ｂ）〜
（Ｃ１ｄ）式においても同様となるので、（Ｂ１ｂ）〜
（Ｂ１ｄ）式,（Ｃ１ｂ）〜（Ｃ１ｄ）式における簡略
化式は省略する。（Ｄ２）式は、上述した（Ｂ２）式,
（Ｃ２ａ）〜（Ｃ２ｄ）に対応する式である。なお、
（Ｄ１）,（Ｄ２）式における未定係数Ｓ_A ^nMは、Ｓ ₂₁ ^nM
とＳ₁₂ ^nMとの平均値を示している（ｎは１から５の自然
数）。

【０２０５】

【数２９】

【０２０６】

【数３０】 本発明の第２,第３の実施の形態の測定誤差の補正方法
により、実測測定装置２の測定結果を実際に補正したデ
ータを図１３,図１４に示す。図１３は、本発明の第２
の実施の形態の補正方法により実測測定装置２の測定結
果を補正したデータであり、図１４は第３の実施の形態
の補正方法により実測測定装置２の測定結果を補正した
データである。これらのデータによれば、本発明の測定
誤差の補正方法により測定結果を補正すると、補正値が
その電気部品の電気特性の真値に可及的に近似すること
が確認できた。

【０２０７】また、図１５,図１６とは、Ｓパラメータ
の一つである順方向散乱係数Ｓ₂₁の補正結果と実際にＳ
₂₁を測定した測定結果とを示すグラフである。図１５
は、第２の実施の形態の補正方法で補正した結果と実際
の測定結果とを示し、図１６は第３の実施の形態の補正
方法で補正した結果と実際の測定結果とを示している。

【０２０８】図１５に示すように、一次式を用いた第１
の実施の形態の補正方法で補正した結果は、実際の測定
結果とほとんど一致していることがわかる。さらには、
２次式を用いた第３の実施の形態の補正方法で補正した
結果は、実際の測定結果に対してさらに一致度が向上し
ていることがわかる。

【０２０９】第１〜第３の実施の形態の測定誤差の補正
方法は、次のような電子部品の良否判定方法において最
適に実施することができる。

【０２１０】判定対象とされる電子部品に設定された要
求特性が、基準測定装置によって測定した電気特性であ
ることがある。このような電子部品を、測定結果が基準
測定装置に一致しない実測測定装置により測定したうえ
で、その測定結果に基づいて良否判定を行う場合、判定
精度を高めることは容易ではない。

【０２１１】このような電子部品の判定方法において、
第１〜第３の測定誤差の補正方法を実施すれば、精度の
高い判定結果を得ることができる。

【０２１２】具体的には、実測測定装置によって測定し
た測定対象電子部品の電気特性を、第１〜第３の実施の
形態の測定誤差の補正方法によって補正し、この補正後
の電気特性と要求特性との比較結果に基づいて測定対象
電子部品の良否を判定する。そうすれば、補正後の電気
特性は、要求特性に対して一義的に比較できうる比較対
照となり、その比較結果に基づいた判定は、測定対象電
子部品の良否を精度高く判定したものとなる。

【０２１３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基準測定装置に対して測定結果が完全に一致しない実測
測定の測定結果を、基準測定装置の測定結果と同等に補
正することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の測定誤差の補正方法を実施する測定
装置の概略構成を示す平面図である。

【図２】 本発明の測定誤差の補正方法を実施する測定
装置を構成する測定治具の構成を示す平面図である。

【図３】本発明の測定誤差の補正方法を実施する測定装
置の構成を示すブロック図である

【図４】本発明の測定誤差の補正方法を実施する測定装
置を構成する補正データ取得試料および測定対象電気部
品の構成を示す裏面図である。

【図５】本発明の測定誤差の補正方法を実施する測定装
置を構成する補正データ取得試料の構成を示す平面図で
ある。

【図６】本発明の測定誤差の補正方法を実施する測定装
置を構成する補正データ取得試料の等価回路図である。

【図７】本発明の第１の実施の形態の測定誤差の補正方
法を実施する際に用いる信号伝達形態（誤差モデル）の
一例である。

【図８】本発明の第１の実施の形態の測定誤差の補正方
法を実施して得られる補正データを示す表である。

【図９】本発明の第１の実施の形態の測定誤差の補正方
法を実施して得られる補正データを示す表である。

【図１０】本発明の第１の実施の形態の測定誤差の補正
方法を実施して得られる補正データを示す表である。

【図１１】本発明の第２の実施の形態の測定誤差の補正
方法を実施する際に用いる信号伝達形態（誤差モデル）
の一例である。

【図１２】本発明の第１の実施の形態の測定誤差の補正
方法を実施して得られる補正データを示す表である。

【図１３】本発明の第２の実施の形態の測定誤差の補正
方法を実施して得られる補正データを示す表である。

【図１４】本発明の第３の実施の形態の測定誤差の補正
方法を実施して得られる補正データを示す表である。

【図１５】本発明の第２の実施の形態の測定誤差の補正
方法を実施して得られる補正データと実際の測定結果と
を示すグラフである。

【図１６】本発明の第３の実施の形態の測定誤差の補正
方法を実施して得られる補正データと実際の測定結果と
を示すグラフである。

【符号の説明】

１ 基準測定装置 ２ 実測測定装置 ３Ａ,３Ｂ ネットワークアナライザ ４Ａ,４Ｂ 同軸ケーブル ５Ａ,５Ｂ 測定治具 ６ 同軸ケーブルコネクタ ７ 絶縁基板 ８ａ,８ｂ 信号伝送路 ８ｃ〜８ｆ 接地線路 ９Ａ,９Ｂ 同軸コネクタ １０ スルーホール接続部 １１Ａ 測定対象電子部品 １１Ｂ 補正データ取得試料 １２ａ,１２ｂ 伝送路端子 １２ｃ〜１２ｆ 接地端子 １３ 枠体 １４ａ,１４ｂ 擬似伝送路端子 １４ｃ〜１４ｆ 擬似接地端子 １５ａ〜１５ｆ 実装端子 １６ａ〜１６ｅ 電気特性調整用素子 １７Ａ,１７Ｂ 信号入出力端 ２０ ネットワークアナライザ本体 ２１ 制御部 ２２ 制御部本体 ２３ メモリ ２４ 相互関係式算定手段 ２５ 補正手段

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定対象電子部品の電気特性を、測定結
   果が基準測定装置に一致しない実測測定装置により測定
   したうえで、その測定値を、前記基準測定装置を用いて
   測定した場合に得られると推定される電気特性に補正す
   る測定誤差の補正方法であって、 予め、補正用データ取得試料として、測定操作により前
   記測定対象電子部品の任意の電気特性と同等の電気特性
   を発生させる補正用データ取得試料を用意する工程と、 前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定
   装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する工程
   と、 前記実測測定装置による測定結果と前記基準測定装置に
   よる測定結果との間の相互関係式を求める工程と、 前記実測測定装置により測定した前記測定対象電気部品
   の電気特性を前記相互関係式に代入したうえで当該相互
   関係式を計算することで、前記測定対象電気部品の電気
   特性を、前記基準測定装置により測定した場合に得られ
   ると推定される電気特性に補正する工程と、 を含むことを特徴とする測定誤差の補正方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の測定誤差の補正方法に
   おいて、 前記相互関係式を求める工程は、 測定時における前記両測定装置の信号伝達形態を、測定
   誤差要因を含んで想定する手順と、 前記信号伝達形態における前記実測測定装置の測定値真
   値を求める理論数式と、前記信号伝達形態における前記
   基準測定装置の測定値真値を求める理論数式とを、それ
   ぞれ作成する手順と、 未定係数を含み前記基準測定装置の測定値真値と前記実
   測測定装置の測定値真値との間の関係を一義的に示す数
   式からなる前記相互関係式を、前記両理論数式に基づい
   て作成する手順と、 前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定
   装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する手順
   と、 前記両測定装置で測定した前記補正用データ取得試料の
   電気特性の測定値を、前記相互関係式に代入すること
   で、前記未定係数を特定する手順と、 を含むことを特徴とする測定誤差の補正方法。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の測定誤差の補正方法に
   おいて、 前記相互関係式を求める工程は、 未定係数を含み前記基準測定装置の測定値と前記実測測
   定装置の測定値との間の関係を近似的に示すｎ次式（ｎ
   は自然数）からなる前記相互関係式を作成する手順と、 前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定
   装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する手順
   と、 前記相互関係式に基づいて未定係数算定式を作成したう
   えで前記両測定装置で測定した前記補正用データ取得試
   料の電気特性の測定値を、前記未定係数算定式に代入す
   ることで、前記未定係数を特定する手順と、 を含むことを特徴とする測定誤差の補正方法。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の測
   定誤差の補正方法において、 誤差補正の対象は前記測定対象電子部品が有する複数の
   電気特性であり、 前記補正用データ取得試料として、測定装置による測定
   操作により互いに異なる電気特性を発生させる複数の試
   料を用いる、 ことを特徴とする測定誤差の補正方法。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の測定誤差の補正方法に
   おいて、 前記誤差補正の対象となる電気特性は、前記測定対象電
   子部品のＳパラメータであり、 各測定装置を構成する測定器は、ネットワークアナライ
   ザである、 ことを特徴とする測定誤差の補正方法。
6. 【請求項６】 基準測定装置によって測定した場合の電
   気特性を要求特性とされる測定対象電子部品を、測定結
   果が前記基準測定装置に一致しない実測測定装置により
   測定し、その測定結果に基づいて良否判定を行う電子部
   品の良否判定方法であって、 前記実測測定装置によって測定した前記測定対象電子部
   品の電気特性を、請求項１ないし５のいずれかに記載の
   測定誤差の補正方法によって補正し、この補正後の電気
   特性と前記要求特性とを比較して前記測定対象電子部品
   の良否を判定する、 ことを特徴とする電子部品の良否判定方法。
7. 【請求項７】 測定対象電子部品の電気特性を測定する
   測定手段を有するものの、その測定結果が基準測定装置
   と一致しない電子部品特性測定装置であって、 前記測定対象電子部品の任意の電気特性と同等の電気特
   性を発生させる補正用データ取得試料の電気特性を前記
   基準測定装置で測定した測定結果を記憶する記憶手段
   と、 前記測定手段により測定する前記補正用データ取得試料
   の電気特性と、前記記憶手段で記憶している基準測定装
   置による前記補正用データ取得試料の電気特性との間の
   相互関係式を算定する相互関係式算定手段と、 前記測定手段により測定する前記測定対象電気部品の電
   気特性を前記相互関係式に代入したうえで当該相互関係
   式を計算することで、前記測定対象電気部品の電気特性
   を、前記基準測定装置により測定した場合に得られると
   推定される電気特性に補正する補正手段と、 を有することを特徴とする電子部品特性測定装置。
8. 【請求項８】 請求項７に記載の電子部品特性測定装置
   において、 前記相互関係式算定手段は、 測定時における前記両測定装置の信号伝達形態を、測定
   誤差要因を含んで想定する手段と、 前記信号伝達形態における前記実測測定装置の測定値真
   値を求める理論数式と、前記信号伝達形態における前記
   基準測定装置の測定値真値を求める理論数式とを、それ
   ぞれ作成する手段と、 未定係数を含み前記基準測定装置の測定値真値と前記実
   測測定装置の測定値真値との間の関係を一義的に示す数
   式からなる前記相互関係式を、前記両理論数式に基づい
   て作成する手段と、 前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定
   装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する手段
   と、 前記両測定装置で測定した前記補正用データ取得試料の
   電気特性の測定値を、前記相互関係式に代入すること
   で、前記未定係数を特定する手段と、 を備えることを特徴とする電子部品特性測定装置。
9. 【請求項９】 請求項７に記載の電子部品特性測定装置
   において、 前記相互関係式を求める手段は、 未定係数を含み前記基準測定装置の測定値と前記実測測
   定装置の測定値との間の関係を近似的に示すｎ次式（ｎ
   は自然数）からなる前記相互関係式を作成する手段と、 前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定
   装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する手段
   と、 前記両測定装置で測定した前記補正用データ取得試料の
   電気特性の測定値を、前記相互関係式に代入すること
   で、前記未定係数を特定する手段と、 を備えることを特徴とする電子部品特性測定装置。