WO2009098816A1 - 測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置 - Google Patents
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Definitions
- each of the base measurement jig and the test measurement jig if it is intended to correct all the ports where the leakage signal exists, at least five pieces having different electrical characteristics in the first step are used.
- the electrical characteristics of the first correction data acquisition sample are measured while mounted on the reference measurement jig.
- the at least five first correction data acquisition samples and at least five second correction data that can be regarded as having the same electrical characteristics as the at least five first correction data acquisition samples.
- the electrical characteristics are measured while mounted on the test measurement jig.
- the mathematical formula determined from the results measured in the first and second steps corrects leakage signals of all ports in each of the reference measurement jig and the test measurement jig. It is a mathematical formula that assumes
- the mathematical formula for calculating the electrical characteristics in the fifth step is the same between the S parameter in the reference measurement jig and the S parameter in the test measurement jig in an arbitrary n-port measurement.
- the mathematical formula stored in the mathematical formula storage means is connected to the same port between the S parameter in the reference measurement jig and the S parameter in the test measurement jig in the measurement of an arbitrary n port.
- an S parameter SDm of the mth correction data acquisition sample measurement value in the reference measurement jig (a) an S parameter SDm of the mth correction data acquisition sample measurement value in the reference measurement jig; , (B) S parameter S Tm of the mth correction data acquisition sample measurement value in the test measurement jig, and (c) T parameter T CA of the relative error correction network model Formula of against the T CA is calculated by normalizing an arbitrary one element in T CA, which is the arbitrary one element T parameters of the network model normalized by T CA '.
- the electrical property estimation means measures an electronic component in a state mounted on the reference measurement jig based on a result of measuring electrical characteristics in a state where the electronic component is mounted on the test measurement jig.
- the mathematical formula stored in the mathematical formula storage means used when calculating the electrical characteristics that would be obtained is the S parameter in the reference measurement jig and the test measurement jig in an arbitrary n-port measurement.
- FIG. 1 A block diagram of the relative correction method modeling the leakage signal in the 3-port measurement is expressed as shown in FIG. The meaning of each symbol is the same as in the two-port example (FIGS. 1 and 2).
- Fig. 5 shows a sample for obtaining correction data.
- Five two-port correction data acquisition samples 2a to 2e were prepared.
- Two correction data acquisition samples 2a to 2c for OPEN / OPEN, SHORT / SHORT, and LOAD / LOAD shown in FIGS. 5A to 5C were connected at the same time from the CAL kit (85052B).
- the LINE correction data acquisition sample 2d in FIG. 5D is a 3.5 mm male-female connector.
- An attenuator manufactured by MKT Taisei is used for the sample 6e for obtaining correction data of ⁇ 6 dBATT in FIG.
- the values of the electrical characteristics of the correction data acquisition samples 2a to 2e are unknown, and only the measurement values in the reference state and the test state mounted on the measurement jig are used to derive the parameters of the relative correction circuit network.
- the present invention incorporates a leakage signal component that occurs not only in the measurement jig but also in the correction model, a correction error relating to the leakage signal component does not occur. Therefore, since the correction accuracy of the relative correction method is improved, the quality determination margin in the selection process can be reduced, and the yield rate is increased. In addition, for high-performance parts, it is necessary to guarantee the characteristics with high accuracy, so the effect is further increased.
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Abstract
Description
20x 漏洩信号
21,21a 端子
30,30a 試験測定治具
30x 漏洩信号
31,31a 端子
32,32a 相対補正アダプタ
[数21]、[数22]は、規格化して導出したtCA′を用いても試験測定治具測定値から基準測定治具測定値を推定できることを示しており、よって規格化に関して問題ないといえる。
[測定周波数] 500MHz~2GHz
[中間周波数] 100Hz
[DUT] -3BATT(MKTタイセー)
導出した相対補正回路網のパラメータを用い、試験測定治具に実装した状態の測定値から、相対補正法により、基準測定治具に実装した状態での電気特性の推定値を算出した。
Claims (8)
- 2ポート以上の任意のnポートを有する電子部品について、試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した結果から、当該電子部品を基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法であって、
互いに異なる電気特性を有する少なくとも3個の第1の補正データ取得試料について、前記基準測定治具に実装した状態で電気特性を測定する第1のステップと、
前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料、前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも3個の第2の補正データ取得試料、又は前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも1個の第3の補正データ取得試料及びその他の前記第1の補正データ取得試料について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定する第2のステップと、
前記基準測定治具と前記試験測定治具との少なくとも一方の少なくとも2つのポート間において当該2つのポートに接続された電子部品に伝達されずに当該2つのポート間を直接伝達する漏洩信号の存在を想定した数式であって、同一の電子部品について前記試験測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値と前記基準測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値とを関連付ける数式を、前記第1及び第2のステップで測定した結果から決定する第3のステップと、
任意の電子部品について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定する第4のステップと、
前記第4のステップで測定した結果から、前記第3のステップで決定した前記数式を用いて、当該電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を算出する第5のステップと、
を備えたことを特徴とする、測定誤差の補正方法。 - 前記基測定治具及び前記試験測定治具のそれぞれにおいて、前記漏洩信号が存在するポートを全て補正しようとするならば、
前記第1のステップにおいて、互いに異なる電気特性を有する少なくとも5個の前記第1の補正データ取得試料について、前記基準測定治具に実装した状態で電気特性を測定し、
前記第2のステップにおいて、前記少なくとも5個の第1の補正データ取得試料、前記少なくとも5個の第1の補正データ取得試料と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも5個の前記第2の補正データ取得試料、又は前記少なくとも5個の第1の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも1個の前記第3の補正データ取得試料及びその他の前記第1の補正データ取得試料について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定し、
前記第3のステップにおいて、前記第1及び第2のステップで測定した結果から決定する前記数式は、前記基準測定治具及び前記試験測定治具のそれぞれにおいて全てのポートの漏洩信号を補正することを想定した数式である、
ことを特徴とする、請求項1に記載の測定誤差の補正方法。 - 前記第3のステップで決定する前記数式は、
任意のnポートの測定において、前記基準測定治具におけるSパラメータと、前記試験測定治具におけるSパラメータとの間を、同一ポート同士が接続され、さらに漏洩信号の存在を想定する異なるポート間が接続された相対誤差補正回路網モデルについて、
前記基準測定治具における前記m番目の補正データ取得試料測定値のSパラメータSDmと、
前記試験測定治具における前記m番目の補正データ取得試料測定値のSパラメータSTmと、
前記相対誤差補正回路網モデルのTパラメータTCAと、
を用いて表される次の式、
- 前記第5のステップで電気特性を算出する前記数式は、
任意のnポートの測定において、前記基準測定治具におけるSパラメータと、前記試験測定治具におけるSパラメータとの間を、同一ポート同士が接続され、さらに漏洩信号の存在を想定する異なるポート間が接続された回路網モデルについて、
前記電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろうSパラメータSDと、
前記試験測定治具における前記電子部品測定値のSパラメータSTと、
前記第3のステップで算出された前記相対誤差補正回路網モデルのTCAにおける任意の一つの要素で規格化された前記相対誤差補正回路網モデルのTパラメータTCA′をn×nに分割した正方行列、TCA11′、TCA12′、TCA21′、TCA22′と、
を用いて表される次の式、
- 2ポート以上の任意のnポートを有する電子部品について、試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した結果から、当該電子部品を基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記基準測定治具と前記試験測定治具との少なくとも一方の少なくとも2つのポート間において当該2つのポートに接続された電子部品に伝達されずに当該2つのポート間を直接伝達する漏洩信号の存在を想定した上で、同一の電子部品について前記試験測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値と前記基準測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値とを関連付ける数式であって、互いに異なる電気特性を有する少なくとも3個の第1の補正データ取得試料について、前記基準測定治具に実装した状態で電気特性を測定した第1の測定結果と、前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料、前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも3個の第2の補正データ取得試料、又は前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも1個の第3の補正データ取得試料及びその他の前記第1の補正データ取得試料について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した第2の測定結果とから決定された数式を記憶する数式記憶手段と、
任意の電子部品について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した結果から、前記数式記憶手段に記憶された前記数式を用いて、当該電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を算出する、電気特性推定手段と、
を備えたことを特徴とする、電子部品特性測定装置。 - 前記基測定治具及び前記試験測定治具のそれぞれにおいて、前記漏洩信号が存在するポートを全て補正しようとするならば、
前記数式記憶手段が記憶する前記数式は、
互いに異なる電気特性を有する少なくとも5個の前記第1の補正データ取得試料について、前記基準測定治具に実装した状態で電気特性を測定した前記第1の測定結果と、
前記少なくとも5個の第1の補正データ取得試料、前記少なくとも5個の第1の補正データ取得試料と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも5個の前記第2の補正データ取得試料、又は前記少なくとも5個の第1の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも1個の前記第3の補正データ取得試料及びその他の前記第1の補正データ取得試料について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した前記第2の測定結果とから、
前記基準測定治具及び前記試験測定治具のそれぞれにおいて全てのポートの漏洩信号を補正することを想定して、決定されることを特徴とする、請求項5に記載の電子部品特性測定装置。 - 前記数式記憶手段が記憶する前記数式は、
任意のnポートの測定において、前記基準測定治具におけるSパラメータと、前記試験測定治具におけるSパラメータとの間を、同一ポート同士が接続され、さらに漏洩信号の存在を想定する異なるポート間が接続された相対誤差補正回路網モデルについて、
前記基準測定治具における前記m番目の補正データ取得試料測定値のSパラメータSDmと、
前記試験測定治具における前記m番目の補正データ取得試料測定値のSパラメータSTmと、
前記相対誤差補正回路網モデルのTパラメータTCAと、
を用いて表される次の式、
- 前記電気特性推定手段が、任意の電子部品について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した結果から、当該電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を算出するときに用いる前記数式記憶手段に記憶された前記数式は
任意のnポートの測定において、前記基準測定治具におけるSパラメータと、前記試験測定治具におけるSパラメータとの間を、同一ポート同士が接続され、さらに漏洩信号の存在を想定する異なるポート間が接続された回路網モデルについて、
前記電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろうSパラメータSDと、
前記試験測定治具における前記電子部品測定値のSパラメータSTと、
前記第1の測定結果と前記第2の測定結果とから算出された前記相対誤差補正回路網モデルのTCAにおける任意の一つの要素で規格化された前記相対誤差補正回路網モデルのTパラメータTCA′をn×nに分割した正方行列、TCA11′、TCA12′、TCA21′、TCA22′と、
を用いて表される次の式、
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