JP2003238245A - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
- Publication number
- JP2003238245A JP2003238245A JP2002044473A JP2002044473A JP2003238245A JP 2003238245 A JP2003238245 A JP 2003238245A JP 2002044473 A JP2002044473 A JP 2002044473A JP 2002044473 A JP2002044473 A JP 2002044473A JP 2003238245 A JP2003238245 A JP 2003238245A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- composition
- porcelain composition
- piezoelectric porcelain
- lead
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title abstract description 21
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 title abstract description 4
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 11
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 241000239366 Euphausiacea Species 0.000 description 1
- 241000907681 Morpho Species 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 239000002440 industrial waste Substances 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- BQJCRHHNABKAKU-KBQPJGBKSA-N morphine Chemical compound O([C@H]1[C@H](C=C[C@H]23)O)C4=C5[C@@]12CCN(C)[C@@H]3CC5=CC=C4O BQJCRHHNABKAKU-KBQPJGBKSA-N 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 鉛成分を含有しない低コストの材料で、優れ
た圧電特性と誘電特性を有する圧電磁器組成物を提供す
ること。 【解決手段】 Ｂｉa（Ｎａ1-xＫx）1-aＴｉ1-y（Ａｌb
Ｍｏ（4-3b）/5）yＯ3である組成式（ただし、Ｍは、Ｍ
ｏ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｓｂ、Ｖのうちの１種以上の元素）で
表され、ｘ、ｙ、ａ、ｂはそれぞれ、モル比で０＜ｘ＜
１、０＜ｙ≦０.５、０.４≦ａ≦０.６、０.２≦ｂ≦
０.５である圧電磁器組成物とする。
た圧電特性と誘電特性を有する圧電磁器組成物を提供す
ること。 【解決手段】 Ｂｉa（Ｎａ1-xＫx）1-aＴｉ1-y（Ａｌb
Ｍｏ（4-3b）/5）yＯ3である組成式（ただし、Ｍは、Ｍ
ｏ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｓｂ、Ｖのうちの１種以上の元素）で
表され、ｘ、ｙ、ａ、ｂはそれぞれ、モル比で０＜ｘ＜
１、０＜ｙ≦０.５、０.４≦ａ≦０.６、０.２≦ｂ≦
０.５である圧電磁器組成物とする。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動子、アクチュ
エータ、センサ等の圧電デバイスに好適に使用される圧
電磁器組成物に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、圧電デバイスに用いられる圧電磁
気材料としては、ＰbＴiＯ3やＰbＺrＯ3を主成分とする
圧電セラミックス（以下、ＰＺＴ系圧電セラミックスと
略す）や、複合ペロブスカイト類を第三、第四成分とし
て固溶させた多成分系ＰＺＴ系圧電セラミックスに代表
されるように、鉛を含有するものがほとんどである。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの鉛を
含有するセラミックスは、製造プロセスにおいて鉛成分
の揮発を免れ得ない。また、産業廃棄物中にこれらの鉛
を含有するセラミックスが含まれている場合、焼却灰や
溶出による環境汚染が考えられる。そのため、鉛成分を
外部環境に排出させない対策が必要となり、膨大なコス
トが発生する。 【０００４】これらのことから、無鉛圧電材料を提供す
ることは環境対策だけではなく製造コストの面からも極
めて有用である。 【０００５】そこで、本発明は、鉛成分を含有しない低
コストの材料で、優れた圧電特性と誘電特性を有する圧
電磁器組成物を提供することを課題としている。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明の圧電磁器組成物
は、Ｂｉa（Ｎａ1-xＫx）1-aＴｉ1-y（ＡｌbＭｏ（4-
3b）/5）yＯ3である組成式（ただし、Ｍは、Ｍｏ、Ｔ
ａ、Ｎｂ、Ｓｂ、Ｖのうちの１種以上の元素）で表さ
れ、ｘ、ｙ、ａ、ｂは、それぞれ、０＜ｘ＜１、０＜ｙ
≦０.５、０.４≦ａ≦０.６、０.２≦ｂ≦０.５とす
る。 【０００７】 【作用】本発明は、Ｂａ-Ｎａ-Ｔｉ系の圧電材料におい
てＮａの一部をＫで置換し、さらにＴｉの一部をＡｌb
Ｍ（4-3b）/5（ただし、Ｍは、Ｍｏ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｓ
ｂ、Ｖのうちの元素であり、０＜ｂ＜１である）で置換
することにより、圧電特性および誘電特性を改善するも
のである。 【０００８】ｘ、ｙ、それぞれの置換量を０＜ｘ＜１、
０＜ｙ≦０.５としたのは、この範囲以外では圧電特性
が著しく低下するためである。それは、ＭＰＢ（モルホ
トロピック相境界）近傍の組成範囲から大きく外れるこ
とが原因と思われる。 【０００９】ところで、本発明の圧電磁器組成物におい
ては、ストイキオメトリー（化学量論比）から少しずれ
た組成に対する取り扱いが重要である。その原因とし
て、ペロブスカイト構造以外の異相の析出、別サイトと
の構成元素の置換、粒界部への析出、酸素欠陥、あるい
は構成元素の価数の変化などが挙げられる。 【００１０】そのときの組成比のずれは、以下のようで
ある。本発明の圧電磁器組成物の組成を、前記ｘ、ｙの
他に、ａ、ｂ、ｃおよびｄを加えて、仮に、［Ｂｉ
ａ（Ｎａ １−ｘＫｘ）１−ａ］ｃ［Ｔｉ１−ｙ（Ａｌｂ
Ｍ（４−３ｂ）／５）ｙ］ｄＯ３、（ただし、Ｍは、Ｍ
ｏ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｓｂ、Ｖのうちの元素である）と表し
たとき、ｃ＝１.００、およびｄ＝１.００のときには、
ストイキオメトリー組成になる。しかし、ｃおよびｄの
いずれかの値が１.００から±５％程度の範囲で変化し
ても、優れた圧電特性および誘電特性が得られるような
予備的な実験結果が見られた。 【００１１】また、セラミックスの製造方法は、一般的
な製造方法であればよく、特に限定するものではない。 【００１２】 【実施例】本発明の圧電磁器組成物の実施例を以下に示
す。 【００１３】化学的に高純度のＢｉ2Ｏ3、Ｎａ2ＣＯ3、
Ｋ2ＣＯ3、ＴｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｍｏ2Ｏ5を用い、Ｂｉ
0.5（Ｎａ1-xＫx）aＴｉ1-y（ＡｌbＭｏ（4-3b）/5）y
Ｏ3、（ただし、ａ＝０.５、ｂ＝０.３３３、０≦ｘ≦
１、０≦ｙ≦０.６）の組成となるように配合し、これ
らの原料粉をジルコニアボールとともにアクリルポット
中に入れ、４０時間、湿式混合した。 【００１４】次に、これらの混合粉を脱水乾燥後、アル
ミナこう鉢で９００℃予焼を行ってから、各予焼粉をア
クリルポット中ジルコニアボールにて２０時間、湿式粉
砕し、これを２回繰り返した。 【００１５】引き続き、脱水乾燥して得られた予焼粉砕
粉にバインダを混合して加圧し、２０φ×３ｍｍtに成
形した。この成形体を９００〜１２００℃で２時間焼成
し、各焼結体を１ｍｍの厚さに加工した後、両面に銀ペ
ーストを塗布して３５０℃で焼き付けて電極を形成し、
１００℃のシリコーンオイル中で４〜７ｋＶ／ｍｍの直
流電圧を１５分間印加して厚み方向に分極し、評価用の
試料とした。 【００１６】また、比較品として発明品と同様の製造方
法で組成が請求項の範囲外のものを作製した。 【００１７】圧電特性は、インピーダンスアナライザ
（ＨＰ４１９４Ａ）を使用して、共振-反共振法で求め
た。 【００１８】表１に、その圧電特性と誘電特性を各組成
に対して示す。この表１でのｋｐは径方向振動の電気機
械結合係数を示し、εr は１ｋＨz の比誘電率を示す。 【００１９】 【表１】 【００２０】表１に示すように、ｙ＝０、およびｙ＞
０.５では、ｋｐの値が小さくなってしまう。また、０
＜ｘ＜１の範囲においては、ｋｐは最大で約３０％を示
すが、ｙが請求項の範囲外の組成では、最大でも約１０
％と小さい値しか示さない。なお、表１において、試料
番号の前に*印がついたものは比較材であり、印のない
ものが本発明の組成に属する試料である。 【００２１】本実施例においては、ａ＝０.５、ｂ＝０.
３３３の場合について説明したが、０.４≦ａ≦０.６、
０.２≦ｂ≦０.５の範囲においても、優れた圧電特性お
よび誘電特性が得られる。 【００２２】また、本実施例においては、Ａｌと共にＴ
ｉを置換する元素ＭとしてＭｏを用いたが、他に、Ｔ
ａ、Ｎｂ、Ｓｂ、Ｖなどが可能である。 【００２３】 【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、Ｂ
ｉa（Ｎａ1-xＫx）1-aＴｉ1-y（ＡｌbＭｏ（4-3b）/5）
yＯ3である組成式（ただし、Ｍは、Ｍｏ、Ｔａ、Ｎｂ、
Ｓｂ、Ｖのうちの１種以上の元素）で表され、ｘ、ｙ、
ａ、ｂは、それぞれ、０＜ｘ＜１、０＜ｙ≦０.５、０.
４≦ａ≦０.６、０.２≦ｂ≦０.５とすることで、鉛を
含有せず、低コストで、優れた圧電特性と誘電特性を有
する圧電磁器組成物を得ることが出来る。
エータ、センサ等の圧電デバイスに好適に使用される圧
電磁器組成物に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、圧電デバイスに用いられる圧電磁
気材料としては、ＰbＴiＯ3やＰbＺrＯ3を主成分とする
圧電セラミックス（以下、ＰＺＴ系圧電セラミックスと
略す）や、複合ペロブスカイト類を第三、第四成分とし
て固溶させた多成分系ＰＺＴ系圧電セラミックスに代表
されるように、鉛を含有するものがほとんどである。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの鉛を
含有するセラミックスは、製造プロセスにおいて鉛成分
の揮発を免れ得ない。また、産業廃棄物中にこれらの鉛
を含有するセラミックスが含まれている場合、焼却灰や
溶出による環境汚染が考えられる。そのため、鉛成分を
外部環境に排出させない対策が必要となり、膨大なコス
トが発生する。 【０００４】これらのことから、無鉛圧電材料を提供す
ることは環境対策だけではなく製造コストの面からも極
めて有用である。 【０００５】そこで、本発明は、鉛成分を含有しない低
コストの材料で、優れた圧電特性と誘電特性を有する圧
電磁器組成物を提供することを課題としている。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明の圧電磁器組成物
は、Ｂｉa（Ｎａ1-xＫx）1-aＴｉ1-y（ＡｌbＭｏ（4-
3b）/5）yＯ3である組成式（ただし、Ｍは、Ｍｏ、Ｔ
ａ、Ｎｂ、Ｓｂ、Ｖのうちの１種以上の元素）で表さ
れ、ｘ、ｙ、ａ、ｂは、それぞれ、０＜ｘ＜１、０＜ｙ
≦０.５、０.４≦ａ≦０.６、０.２≦ｂ≦０.５とす
る。 【０００７】 【作用】本発明は、Ｂａ-Ｎａ-Ｔｉ系の圧電材料におい
てＮａの一部をＫで置換し、さらにＴｉの一部をＡｌb
Ｍ（4-3b）/5（ただし、Ｍは、Ｍｏ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｓ
ｂ、Ｖのうちの元素であり、０＜ｂ＜１である）で置換
することにより、圧電特性および誘電特性を改善するも
のである。 【０００８】ｘ、ｙ、それぞれの置換量を０＜ｘ＜１、
０＜ｙ≦０.５としたのは、この範囲以外では圧電特性
が著しく低下するためである。それは、ＭＰＢ（モルホ
トロピック相境界）近傍の組成範囲から大きく外れるこ
とが原因と思われる。 【０００９】ところで、本発明の圧電磁器組成物におい
ては、ストイキオメトリー（化学量論比）から少しずれ
た組成に対する取り扱いが重要である。その原因とし
て、ペロブスカイト構造以外の異相の析出、別サイトと
の構成元素の置換、粒界部への析出、酸素欠陥、あるい
は構成元素の価数の変化などが挙げられる。 【００１０】そのときの組成比のずれは、以下のようで
ある。本発明の圧電磁器組成物の組成を、前記ｘ、ｙの
他に、ａ、ｂ、ｃおよびｄを加えて、仮に、［Ｂｉ
ａ（Ｎａ １−ｘＫｘ）１−ａ］ｃ［Ｔｉ１−ｙ（Ａｌｂ
Ｍ（４−３ｂ）／５）ｙ］ｄＯ３、（ただし、Ｍは、Ｍ
ｏ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｓｂ、Ｖのうちの元素である）と表し
たとき、ｃ＝１.００、およびｄ＝１.００のときには、
ストイキオメトリー組成になる。しかし、ｃおよびｄの
いずれかの値が１.００から±５％程度の範囲で変化し
ても、優れた圧電特性および誘電特性が得られるような
予備的な実験結果が見られた。 【００１１】また、セラミックスの製造方法は、一般的
な製造方法であればよく、特に限定するものではない。 【００１２】 【実施例】本発明の圧電磁器組成物の実施例を以下に示
す。 【００１３】化学的に高純度のＢｉ2Ｏ3、Ｎａ2ＣＯ3、
Ｋ2ＣＯ3、ＴｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｍｏ2Ｏ5を用い、Ｂｉ
0.5（Ｎａ1-xＫx）aＴｉ1-y（ＡｌbＭｏ（4-3b）/5）y
Ｏ3、（ただし、ａ＝０.５、ｂ＝０.３３３、０≦ｘ≦
１、０≦ｙ≦０.６）の組成となるように配合し、これ
らの原料粉をジルコニアボールとともにアクリルポット
中に入れ、４０時間、湿式混合した。 【００１４】次に、これらの混合粉を脱水乾燥後、アル
ミナこう鉢で９００℃予焼を行ってから、各予焼粉をア
クリルポット中ジルコニアボールにて２０時間、湿式粉
砕し、これを２回繰り返した。 【００１５】引き続き、脱水乾燥して得られた予焼粉砕
粉にバインダを混合して加圧し、２０φ×３ｍｍtに成
形した。この成形体を９００〜１２００℃で２時間焼成
し、各焼結体を１ｍｍの厚さに加工した後、両面に銀ペ
ーストを塗布して３５０℃で焼き付けて電極を形成し、
１００℃のシリコーンオイル中で４〜７ｋＶ／ｍｍの直
流電圧を１５分間印加して厚み方向に分極し、評価用の
試料とした。 【００１６】また、比較品として発明品と同様の製造方
法で組成が請求項の範囲外のものを作製した。 【００１７】圧電特性は、インピーダンスアナライザ
（ＨＰ４１９４Ａ）を使用して、共振-反共振法で求め
た。 【００１８】表１に、その圧電特性と誘電特性を各組成
に対して示す。この表１でのｋｐは径方向振動の電気機
械結合係数を示し、εr は１ｋＨz の比誘電率を示す。 【００１９】 【表１】 【００２０】表１に示すように、ｙ＝０、およびｙ＞
０.５では、ｋｐの値が小さくなってしまう。また、０
＜ｘ＜１の範囲においては、ｋｐは最大で約３０％を示
すが、ｙが請求項の範囲外の組成では、最大でも約１０
％と小さい値しか示さない。なお、表１において、試料
番号の前に*印がついたものは比較材であり、印のない
ものが本発明の組成に属する試料である。 【００２１】本実施例においては、ａ＝０.５、ｂ＝０.
３３３の場合について説明したが、０.４≦ａ≦０.６、
０.２≦ｂ≦０.５の範囲においても、優れた圧電特性お
よび誘電特性が得られる。 【００２２】また、本実施例においては、Ａｌと共にＴ
ｉを置換する元素ＭとしてＭｏを用いたが、他に、Ｔ
ａ、Ｎｂ、Ｓｂ、Ｖなどが可能である。 【００２３】 【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、Ｂ
ｉa（Ｎａ1-xＫx）1-aＴｉ1-y（ＡｌbＭｏ（4-3b）/5）
yＯ3である組成式（ただし、Ｍは、Ｍｏ、Ｔａ、Ｎｂ、
Ｓｂ、Ｖのうちの１種以上の元素）で表され、ｘ、ｙ、
ａ、ｂは、それぞれ、０＜ｘ＜１、０＜ｙ≦０.５、０.
４≦ａ≦０.６、０.２≦ｂ≦０.５とすることで、鉛を
含有せず、低コストで、優れた圧電特性と誘電特性を有
する圧電磁器組成物を得ることが出来る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 Ｂｉa（Ｎａ1-xＫx）1-aＴｉ1-y（Ａｌb
Ｍｏ（4-3b）/5）yＯ3である組成式（ただし、Ｍは、Ｍ
ｏ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｓｂ、Ｖのうちの１種以上の元素）で
表され、ｘ、ｙ、ａ、ｂは、それぞれ、０＜ｘ＜１、０
＜ｙ≦０.５、０.４≦ａ≦０.６、０.２≦ｂ≦０.５で
あることを特徴とする圧電磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002044473A JP2003238245A (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002044473A JP2003238245A (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 圧電磁器組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003238245A true JP2003238245A (ja) | 2003-08-27 |
Family
ID=27783845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002044473A Withdrawn JP2003238245A (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003238245A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008195603A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-08-28 | Fujifilm Corp | ペロブスカイト型酸化物とその製造方法、圧電体膜、圧電素子、液体吐出装置 |
| JP2008239380A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Tdk Corp | 圧電磁器組成物 |
| CN109400146A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-03-01 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种高居里温度压电陶瓷及其制备方法 |
-
2002
- 2002-02-21 JP JP2002044473A patent/JP2003238245A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008195603A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-08-28 | Fujifilm Corp | ペロブスカイト型酸化物とその製造方法、圧電体膜、圧電素子、液体吐出装置 |
| JP2008239380A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Tdk Corp | 圧電磁器組成物 |
| CN109400146A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-03-01 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种高居里温度压电陶瓷及其制备方法 |
| CN109400146B (zh) * | 2018-12-14 | 2021-06-18 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种高居里温度压电陶瓷及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4513948B2 (ja) | 圧電磁器およびその製造方法 | |
| JPWO2006027892A1 (ja) | 圧電磁器及び圧電セラミック素子 | |
| JPH11292625A (ja) | 圧電セラミック素子の製造方法 | |
| JP2006151796A (ja) | 圧電セラミックス組成物 | |
| JP2009221096A (ja) | 圧電／電歪磁器組成物 | |
| JP4524558B2 (ja) | 圧電磁器およびその製造方法 | |
| JP4001362B2 (ja) | 圧電磁器およびその製造方法 | |
| JP2008156172A (ja) | 無鉛圧電磁器組成物 | |
| JP2000272962A (ja) | 圧電体磁器組成物 | |
| JP4018597B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2004035350A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2003238245A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP4569062B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JP2003201171A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2009012997A (ja) | 無鉛圧電磁器組成物 | |
| JP4432280B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JP2002226266A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3781317B2 (ja) | 圧電磁器材料 | |
| JP2008056549A (ja) | 無鉛圧電磁器組成物 | |
| JP4001366B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JP2001253772A (ja) | 圧電磁器組成物及びその製造方法 | |
| JPH0558729A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP4498665B2 (ja) | アクチュエータ用圧電磁器組成物 | |
| JP2006193414A (ja) | 圧電磁器の製造方法および圧電素子の製造方法 | |
| JP2004018321A (ja) | 無鉛圧電磁器組成物及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040820 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20070206 |