JP2003227706A - 画像測定装置及び画像測定装置用プログラム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定結果と測定箇所の対応関係を視覚的、直
感的に理解し易くする。 【解決手段】 ワークの全体画像１０１と、測定箇所を
含む拡大画像１０２Ａ，１０２Ｂと、両画像の位置関係
を示す記号１０３Ａ，１０３Ｂとが測定結果レポート画
面に表示される。各拡大画像内の測定箇所の測定結果が
測定結果表示欄１０４に表示される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＣＤカメラ等の
撮像装置で被測定対象（以下ワークという）を撮像する
と共に、ワーク画像に基づきワークの形状等を測定する
画像測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】こうした画像測定装置においてワークの
測定を行う場合、最初に撮像装置によりワークを撮像
し、ＣＲＴ画面にワーク上の測定したい箇所の拡大画像
を表示させる。そして、拡大画像が表示されたＣＲＴ画
面上において、測定したい箇所をマウス等で指定する。
この指定に基づき、付属のコンピュータ等によりその箇
所に所定の画像処理を施され、長さ、幅、直径等の測定
値が出力される。出力された測定値は、シリアル番号、
検査項目、測定値、公差等を図表化したリスト形式で出
力される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の画像測
定装置においては、このようにリスト形式で出力された
測定値が、ワーク画像上のどの箇所の測定値なのか、又
は拡大画像がワーク全体のどの位置に該当するのかなど
が一見して分かり難いという問題があった。本発明は、
この問題に鑑みてなされたものであり、測定結果と測定
箇所の対応関係を視覚的、直感的に理解し易くすること
を目的とするものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記の目的の達成のた
め、本出願の第１の発明に係る画像測定装置は、ワーク
の全体画像を取得する全体画像取得手段と、前記ワーク
上の拡大画像を取得する拡大画像取得手段と、測定の実
行のため前記全体画像及び前記拡大画像を表示する画像
表示手段と、前記拡大画像上の任意の箇所を前記画像表
示手段上で指定する指定手段と、該指定された箇所に関
し所定の画像処理を施してその箇所の形状特性を測定す
る形状特性測定手段と、前記全体画像と拡大画像との位
置関係を演算する位置関係演算手段と、前記形状特性測
定手段による測定結果及び前記全体画像と前記拡大画像
との位置関係を前記位置関係演算手段の出力に基づき表
示する測定結果表示手段とを備えたことを特徴とする。
この発明によれば、全体画像と拡大画像との位置関係が
測定結果と共に表示され、測定箇所の測定結果とその箇
所のワーク上での位置とを一目で把握することができ
る。

【０００５】この発明において、前記ワークを撮像する
撮像装置と、該撮像装置を移動させる移動手段とを更に
備え、前記全体画像取得手段は、前記移動手段により撮
像装置を移動させて取得した複数の画像を合成させて全
体画像を取得するようにしてもよい。さらに、前記移動
手段による移動量を演算する移動量演算手段を備え、前
記位置関係演算手段は、該移動量演算手段による移動量
に基づき前記位置関係を演算するようにしてもよい。ま
た、この発明において、前記測定結果表示手段は、前記
撮像手段による撮像倍率に関する情報に基づき前記全体
画像上における前記拡大画像の範囲を表示するようにし
てもよい。また、この発明において、前記指定手段によ
り指定された箇所とその箇所に関する前記形状特性測定
手段による測定結果とに識別記号を付与する識別記号付
与手段を更に備えるようにしてもよい。

【０００６】また、本出願の第２の発明に係る画像測定
装置用プログラムは、ワークの全体画像を取得する全体
画像取得ステップと、前記ワーク上の拡大画像を取得す
る拡大画像取得ステップと、測定の実行のため前記全体
画像及び前記拡大画像を表示する画像表示ステップと、
前記拡大画像上の任意の箇所を前記画像表示手段上で指
定させる指定ステップと、該指定された箇所に関し所定
の画像処理を施してその箇所の形状特性を測定する形状
特性測定ステップと、前記全体画像と拡大画像との位置
関係を演算する位置関係演算ステップと、前記形状特性
測定手段による測定結果及び前記全体画像と前記拡大画
像との位置関係を前記位置関係演算手段の出力に基づき
表示する測定結果表示ステップとを実行させるように構
成されたことを特徴とする。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して本発
明の好ましい実施の形態について説明する。図１は、本
発明の実施の形態に係る画像測定システムの全体構成を
示す斜視図である。このシステムは、非接触型の画像測
定機１と、この画像測定機１を制御すると共に、必要な
データ処理を実行するコンピュータシステム２と、測定
結果等をプリントアウトするプリンタ３とにより構成さ
れている。

【０００８】画像測定機１は、次のように構成されてい
る。即ち、架台１１上には、ワーク１２を載置する測定
テーブル１３が装着されており、この測定テーブル１３
は、図示しないＹ軸駆動機構によってＹ軸方向に駆動さ
れる。架台１１の両側縁中央部には上方に延びる支持ア
ーム１４，１５が固定されており、この支持アーム１
４、１５の両上端部を連結するようにＸ軸ガイド１６が
固定されている。このＸ軸ガイド１６には、撮像ユニッ
ト１７が支持されている。

【０００９】撮像ユニット１７は、図示しないＸ軸駆動
機構によってＸ軸ガイド１６に沿って駆動される。撮像
ユニット１７の下端部には、ＣＣＤカメラ１８が測定テ
ーブル１３と対向するように装着されている。また、撮
像ユニット１７の内部には、図示しない照明装置及びフ
ォーカシング機構の他、ＣＣＤカメラ１８のＺ軸方向の
位置を移動させるＺ軸駆動機構が内蔵されている。な
お、このＸＹＺ各駆動機構は例えばパルスモータで構成
され、その駆動量は後述するコンピュータシステム２で
演算される。これにより、ＣＣＤ１８から得られた画像
情報に座標情報を付加することができる。

【００１０】コンピュータシステム２は、コンピュータ
本体２１、キーボード２２、ジョイスティックボックス
（以下、Ｊ／Ｓと呼ぶ）２３、マウス２４及びＣＲＴ２
５を備えて構成されている。コンピュータ本体２１は、
例えば図２に示すように構成されている。即ち、ＣＣＤ
カメラ１８から入力されるワーク１２の画像情報は、イ
ンタフェース（以下、Ｉ／Ｆと呼ぶ）３１を介して画像
メモリ３２に格納される。また、後述するようにワーク
１２の全体画像がデジタルカメラやスキャナなどの外部
機器から入力される場合には、当該画像データはＩ／Ｆ
３３を介してＣＰＵ３５に入力される。そして、ＣＰＵ
３５でビットマップの画像情報に展開された後、画像メ
モリ３２に格納される。画像メモリ３２に格納された画
像情報は、表示制御部３６を介してＣＲＴ２５の画面に
表示される。

【００１１】一方、キーボード２２、Ｊ／Ｓ２３、及び
マウス２４から入力されるコード情報及び位置情報は、
Ｉ／Ｆ３４を介してＣＰＵ３５に入力される。ＣＰＵ３
５は、ＲＯＭ３７に格納されたマクロプログラム、並び
にＲＡＭ４０に格納された測定プログラム及び測定結果
表示プログラムに従って、測定実行処理及び測定結果の
表示処理を実行する。

【００１２】ＣＰＵ３５は、測定実行処理に従って、Ｉ/
Ｆ４１を介して画像測定機１を制御する。ＨＤＤ３８
は、図示しないＣＡＤシステムから入力されたＣＡＤデ
ータの他、測定プログラム、測定結果表示プログラムを
格納する。ＲＡＭ４０は、各種プログラムを格納する
他、各種処理のワーク領域を提供する。

【００１３】図３は、ＣＰＵ３５を中心として実行され
る各種機能の構成を示す機能ブロック図である。拡大画
像情報保持部Ｍ１は、ＣＣＤカメラ１８より得られた拡
大画像情報を保持するものであり、実際には図２におけ
る画像メモリ３２、ＨＤＤ３８又はＲＡＭ４０がこの機
能を果たす。ここに拡大画像とは、コンピュータ２によ
る測定対象の指定や、指定された測定箇所の解析といっ
た手順を行う際に使用される画像のことをいう。また、
全体画像情報保持部Ｍ２は、ワーク１２の全体画像、す
なわちワーク１２の全体像を示す画像を保持するもので
あり、実際には図２におけるＨＤＤ３８又はＲＡＭ４０
がこの役割を果たす。

【００１４】ここにおいて全体画像とは、前述の拡大画
像がワーク１２中のどの辺りに位置するものかをオペレ
ータに教示すると共に、測定したい箇所を指定させるた
めに表示するものである。全体画像は必ずしもワーク１
２の全ての部分を含むものでなくてもよく、測定の対象
とされる可能性のない部分の一部が欠けた画像でも構わ
ない。全体画像は、デジタルカメラやスキャナなどの外
部機器により取得することもできるが、図４に示すよう
に、ワーク１２を各部分（中心座標（Ｘｎｍ，Ｙｎｍ）
で表示）ごとに分割してＣＣＤカメラ１８で撮影した
後、当該複数の部分画像を適当な方法でマッチングする
ことにより、ワーク１２全体の画像を得るようにするこ
とができる。例えば、図４に示すように、隣接する部分
画像に重複部分を設け、この重複部分に基づきマッチン
グを行うようにすることができる。又は、ＣＣＤカメラ
１８の撮像倍率を、ワーク１２全体が収まるような低倍
率で撮影するようにしてもよい。

【００１５】測定箇所指定部４１は、ＣＲＴ２５の画面
上に表示されたワーク１２の拡大画像に含まれる要素の
うち、測定の対象とする要素を指定するためのものであ
り、具体的にはキーボード２２、マウス２４等の入力手
段がこの役割を果たしている。測定種類指定部４２は、
測定箇所指定部４１で指定された測定箇所において、ど
のような測定を行うのかを指定するためのものであり、
具体的には、キーボード２２、マウス２４等の入力手段
がこの役割を果たす。

【００１６】エッジ検出部４３は、測定箇所指定部４１
で指定された測定箇所において、測定種類指定部４２で
指定された種類の測定を行うのに必要なエッジ検出を行
い、その検出結果としての点列データを出力するもので
ある。点列データ記憶部４４は、エッジ検出部４３から
出力された点列データを記憶するためのものであり、具
体的にはＲＡＭ４０又はＨＤＤ３８がこの役割を果た
す。形状演算部４５は、点列データ記憶部４４に記憶さ
れている点列データに基づき、測定種類指定部４３にお
いて指定された測定の種類に対応した演算を行い、その
演算結果を出力するものである。

【００１７】識別番号発生部４６は、形状演算部４５か
ら出力される演算結果に識別番号を付与するためのもの
である。すなわち、形状演算部において１つの演算結果
が得られると、その演算結果に対し識別番号発生部４６
より発生した識別番号が付与される。そして、測定箇所
指定部４１により指定された拡大画像上の箇所にも、こ
の演算結果に対応した識別番号が付与される。これによ
り、ある演算結果が拡大画像中のどの要素の測定結果な
のかが分かるようになっている。

【００１８】識別番号発生部４６は、キーボード２２等
の入力手段により入力された識別番号を付与させるもの
でもよいし、測定順に増加する順列番号を自動的に発生
させるものであってもよい。

【００１９】測定結果ファイル生成部４７は、形状演算
部４５より出力された測定結果、拡大画像情報保持部Ｍ
１から出力された拡大画像の画像データ及び当該拡大画
像の位置情報、全体画像情報保持部Ｍ２から出力された
全体画像の画像データ、及び識別番号発生部４６から発
生された識別番号に基づき、全体画像と拡大画像の位置
関係、及びその拡大画像中の測定箇所とその測定結果と
を関連付けて表示するファイルを作成するためのもので
ある。

【００２０】なお、測定結果ファイル生成部４７は、図
示しないＣＡＤシステムからのＣＡＤデータから、その
測定箇所に対応する部分のデータを抽出し、この抽出さ
れたデータも対応付けて記憶させるようにすることもで
きる。例えば、ＣＡＤデータ内に含まれる設計データ、
公差データ等を抽出し、これを形状演算部４５からの演
算結果と対応付けて記憶させておくことができる。

【００２１】次に、本実施の形態に係る画像測定システ
ムの作用を図５に示すフローチャートに基づいて説明す
る。まず、予め上記したような何らかの方法（デジタル
カメラなどの外部機器からの取得、ＣＣＤカメラ１８を
移動させて分割画像をマッチングする）により、ワーク
１２の全体画像を取得し、図６に示すように、ＣＲＴ２
５の画面右下の全体画像表示ウインドウ５３に表示させ
ると共に、ワーク１２の拡大画像をＣＣＤカメラ１８か
ら取り込んで、図６に示すように、ＣＲＴ２５の画面左
側の拡大画像表示ウインドウ５１に表示させる（Ｓ
１）。図６に示すように、ＣＲＴ２５の画面上には、拡
大画像表示ウインドウ５１、全体画像表示ウインドウ５
３の他、測定結果を表示するための測定結果表示部５
２、ワーク１２の照明条件を設定するための照明条件設
定部５５、測定の種類を設定するアイコンを備えたアイ
コン表示部５６、測定の条件を設定する測定条件設定部
６３などが表示されている。

【００２２】次に測定の種類を指定した後（Ｓ２）、そ
の測定を行う箇所を指定する（Ｓ３）。測定の種類の指
定は、前述したアイコン表示部５６内のいずれかのアイ
コンをマウス２４によりクリックすることにより行うこ
とができる。図６においてアイコン５６ａは、測定箇所
におけるエッジからエッジの間の長さの測定を指示する
アイコンである。アイコン５６ｂは、指定された測定箇
所に円弧が含まれている場合に、その円弧を一部に含む
円の直径の測定を指示するアイコンである。また、５６
ｃは選択されたアイコンの図柄を表示するための表示部
である。なお、アイコン５６ａが選択された場合には、
表示部５６ｃにおいてエッジ検出方向を角度により入力
するようにされ、これにより、エッジ検出方向が決定さ
れる。

【００２３】また、測定を行う箇所の指定は、次のよう
に行う。図６に示すように、全体画像表示ウインドウ５
３には、現在拡大画像表示ウインドウ５１に拡大表示さ
れている箇所に四角マークＳが表示されている。四角マ
ークＳの大きさは、拡大画像表示ウインドウ５１の表示
倍率、すなわちＣＣＤカメラ１８の撮像倍率に対応され
ている。

【００２４】拡大画像表示ウインドウ５１上に測定した
い箇所が表示されている場合には、その箇所をマウス２
４でクリックする。表示されていない場合には、全体画
像表示ウインドウ５３上で、測定したい箇所付近にマウ
スのポインタＰを移動させ、マウス２４をクリックす
る。すると、四角マークＳがその箇所に移動するととも
に、四角マークＳの移動距離が演算される。すなわち、
四角マークＳの移動前後の位置間に含まれるピクセルの
数がカウントされ、このカウント数と全体画像の撮像倍
率とから、ＣＣＤカメラ１８を移動させるべき距離が演
算される。ＣＣＤカメラ１８がＸＹＺ駆動機構によりそ
の測定したい箇所付近に移動し、これにより拡大画像表
示ウインドウ５１上には測定したい箇所を含む拡大画像
が表示される。オペレータは拡大画像表示ウインドウ５
１に表示された拡大画像を見て、測定したい箇所付近に
マウス２４のポインタを移動させてマウス２４の左ボタ
ンをクリックする。

【００２５】次に、この指定された測定箇所において、
エッジ検出処理を実行し、Ｓ２で指定された測定を実行
し、測定値を得る（Ｓ４）。得られた測定結果は、測定
結果表示部５２に表示される。その測定箇所のＣＡＤデ
ータが対応させて記憶されている場合には、これらも並
列的に表示する。

【００２６】次に、Ｓ３で指定された測定箇所に、実行
された測定の種類を示す記号を表示する（Ｓ５）。例え
ば、円弧の直径を測定した場合には、その測定箇所にア
イコン５６ｂに示すような記号が表示される。

【００２７】次に、得られた測定値に対し、識別番号を
付与する（Ｓ６、Ｓ７）。前述のように、識別番号をマ
ウス２４等で入力させるマニュアルモードと、測定順に
識別番号を付与するオートモードとを選択できるように
なっている。

【００２８】別の測定箇所を指定する必要がある場合に
は（Ｓ９）、再びＳ２に戻って同様の手順を繰り返す。
拡大画像表示ウインドウ５１に映っていない他の箇所を
測定したい場合には、その箇所に対応する位置を全体画
像表示ウインドウ５３上で指定すると、ＣＣＤカメラ１
８がＸＹＺ駆動機構により駆動され、これにより拡大画
像表示ウインドウ５１の表示も切り替わる。別の測定箇
所の指定の必要がない場合には、測定を終了する。

【００２９】複数の測定箇所の指定が終了した場合、図
６に示すように、拡大画像表示ウインドウ５１の指定箇
所には、ステップ６又は７で生成した識別番号（１，２
等）が表示されるとともに、測定の種類を示す記号（矢
印等）が表示される。測定の種類は測定結果表示部でも
判るので、測定の種類を示す記号の表示を省略するよう
にすることもできる。また、測定結果表示部５２には、
測定結果が識別番号と共に表示され、これにより測定結
果と測定結果との対応関係が一目でわかるようになって
いる。

【００３０】一通りの測定を終了した後、測定結果表示
プログラムを起動すると、図７に示すような測定結果表
示レポート画面が現われる。図７において、１０１は図
５のステップ１で取得されたワーク１２の全体画像を表
示する全体画像表示部であり、１０２Ａ，１０２Ｂは測
定箇所を含む拡大画像を表示する拡大表示部であり、１
０４は測定結果を表示する測定結果表示部である。

【００３１】全体画像と拡大画像との位置関係は、図７
に示すような対応関係表示図形１０３Ａ，１０３Ｂによ
りなされる。この対応関係表示図形は、全体画像の取得
時に取得されたＣＣＤカメラ１８の位置情報（図４に示
す座標情報（Ｘｎｍ，Ｙｎｍ））と、拡大画像取得時の
ＣＣＤカメラ１８の位置情報との関係がＣＰＵ３５で演
算され、この演算結果に基づいて描画される。拡大画像
１，２の全体画像上における範囲を示すため、破線によ
る四角形マークＳ１、Ｓ２が描かれる。この四角マーク
Ｓ１，Ｓ２の大きさは、拡大画像１、２の撮像時の撮像
倍率に対応されている。

【００３２】また、図７では、拡大画像１０２Ａ中の測
定箇所の測定結果も、拡大画像１０２Ｂ中の測定箇所の
測定結果も、いずれも測定結果表示部１０４にまとめて
表示するようにしているが、図８に示すように、拡大画
像表示部１０２Ａの下に測定結果表示部１０４Ａを設
け、拡大画像表示部１０２Ａに係る拡大画像中の測定箇
所の測定結果のみを表示部１０４Ａに表示すると共に、
拡大画像表示部１０２Ｂの下に測定結果表示部１０ＢＡ
を設け、拡大画像表示部１０２Ｂに係る拡大画像中の測
定箇所の測定結果のみを表示部１０４Ｂに表示するよう
にしてもよい。なお、測定結果表示プログラムは、測定
プログラムによる測定が完了してから起動させてもよい
が、測定プログラム起動と同時に起動させておいても構
わない。

【００３３】また、この図７，８の測定結果表示プログ
ラムの画面を印刷したり保存したりすることにより、後
にワーク１２の評価を行う際に利用することができる。
また、図５に示すＳ２（測定の種類の指定）以降の設定
を、測定の手順、測定の種類、測定箇所等を予め登録す
るためのパートプログラム作成時に使用できるようにし
てもよい。すなわち、パートプログラム作成用プログラ
ムを起動した場合において、本実施の形態による一連の
設定をそのままパートプログラム作成において利用でき
るようにしてもよい。これにより、測定結果と測定箇所
の対応関係がわかりやすい測定を容易に再現することが
できる。

【００３４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、測
定結果と測定箇所の対応関係を視覚的、直感的に理解し
易くなるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態に係る非接触画像測定シ
ステムの構成を示す斜視図である。

【図２】 本発明の実施の形態に係る画像測定システム
におけるコンピュータ本体の構成を示すブロック図であ
る。

【図３】 図１、２の装置の機能ブロック図である。

【図４】 ワーク１２の全体画像を取得する方法の１例
を示す。

【図５】 図１に示す装置の作用を示すフローチャート
を示す。

【図６】 図１の装置におけるＣＲＴ２５の画面表示の
一例を示す。

【図７】 図１の装置におけるＣＲＴ２５の画面表示の
一例を示す。

【図８】 図１の装置におけるＣＲＴ２５の画面表示の
一例を示す。

【符号の説明】

１・・・画像測定機、 ２・・・コンピュータシステム、 ３
・・・プリンタ、 １１・・・架台、 １２・・・ワーク（被測
定対象）、 １３・・・測定テーブル、 １４，１５・・・支
持アーム、 １６・・・Ｘ軸ガイド、 １７・・・撮像ユニッ
ト、 １８・・・ＣＣＤカメラ、 ２１・・・コンピュータ本
体、 ２２・・・キーボード、 ２３・・・ジョイスティック
ボックス、 ２４・・・マウス、 ２５・・・ＣＲＴ、 ３
１，３３、３４、３９、４１・・・インタフェース、 ３
２・・・画像メモリ、 ３５・・・ＣＰＵ、３６・・・表示制御
部、３７・・・ＲＯＭ、３８・・・ＨＤＤ、４０・・・ＲＡＭ、
４１・・・測定箇所指定部、４２・・・測定種類指定部、４３
・・・エッジ検出部、４４・・・点列データ記憶部、４５・・・
形状演算部、４６・・・識別番号発生部、４７・・測定結果
ファイル生成部、５１・・・拡大画像表示ウインドウ、５
２・・・測定結果表示部、５３・・・全体画像表示ウインド
ウ、５５・・・照明条件設定部、５６・・・アイコン表示部、
６３・・・測定条件設定部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松宮 貞行 神奈川県川崎市高津区坂戸１丁目20番１号 株式会社ミツトヨ内 Ｆターム(参考） 2F065 AA12 AA21 AA26 BB27 FF04 JJ03 JJ26 MM03 PP03 PP12 QQ24 QQ31 SS13 5B057 AA03 BA02 CA08 CA12 CA16 CD05 CE08 DA07 DA16 DB02 DB09 DC09 DC16 5L096 AA06 BA03 CA02 EA03 FA06 FA63 FA69 FA70

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークの全体画像を取得する全体画像取
   得手段と、 前記ワーク上の拡大画像を取得する拡大画像取得手段
   と、 測定の実行のため前記全体画像及び前記拡大画像を表示
   する画像表示手段と、 前記拡大画像上の任意の箇所を前記画像表示手段上で指
   定する指定手段と、 該指定された箇所に関し所定の画像処理を施してその箇
   所の形状特性を測定する形状特性測定手段と、 前記全体画像と拡大画像との位置関係を演算する位置関
   係演算手段と、 前記形状特性測定手段による測定結果を、前記位置関係
   演算手段により演算された位置関係と共に表示する測定
   結果表示手段とを備えた画像測定装置。
2. 【請求項２】 前記ワークを撮像する撮像装置と、該撮
   像装置を移動させる移動手段とを備え、前記全体画像取
   得手段は、前記移動手段により撮像装置を移動させて取
   得した複数の画像を合成させて全体画像を取得する請求
   項１に記載の画像測定装置。
3. 【請求項３】 前記移動手段による移動量を演算する移
   動量演算手段を備え、前記位置関係演算手段は、該移動
   量演算手段による移動量に基づき前記位置関係を演算す
   る請求項２に記載の画像測定装置。
4. 【請求項４】 前記測定結果表示手段は、前記撮像手段
   による撮像倍率に関する情報に基づき前記全体画像上に
   おける前記拡大画像の範囲を表示するようにされた請求
   項１に記載の画像測定装置。
5. 【請求項５】 前記指定手段により指定された箇所とそ
   の箇所に関する前記形状特性測定手段による測定結果と
   に識別記号を付与する識別記号付与手段を備えた請求項
   １乃至４に記載の画像測定装置。
6. 【請求項６】 ワークの全体画像を取得する全体画像取
   得ステップと、 前記ワーク上の拡大画像を取得する拡大画像取得ステッ
   プと、 測定の実行のため前記全体画像及び前記拡大画像を表示
   する画像表示ステップと、 前記拡大画像上の任意の箇所を前記画像表示手段上で指
   定させる指定ステップと、 該指定された箇所に関し所定の画像処理を施してその箇
   所の形状特性を測定する形状特性測定ステップと、 前記全体画像と拡大画像との位置関係を演算する位置関
   係演算ステップと、 前記形状特性測定手段による測定結果及び前記全体画像
   と前記拡大画像との位置関係を前記位置関係演算手段の
   出力に基づき表示する測定結果表示ステップとを実行さ
   せるように構成された画像測定装置用プログラム。