JP2003225781A - レーザ加工装置 - Google Patents

レーザ加工装置

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JP2003225781A
JP2003225781A JP2002027324A JP2002027324A JP2003225781A JP 2003225781 A JP2003225781 A JP 2003225781A JP 2002027324 A JP2002027324 A JP 2002027324A JP 2002027324 A JP2002027324 A JP 2002027324A JP 2003225781 A JP2003225781 A JP 2003225781A
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laser
optical fiber
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JP2002027324A
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Hirohito Minoshima
博仁 蓑島
Tomomi Nakano
ともみ 中野
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Toyoda Koki KK
Original Assignee
Toyoda Koki KK
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 容易に加工形状を変更でき、より高い加工効
率及び加工精度を確保できるレーザ加工装置を提供す
る。 【解決手段】 各光ファイバ30(m、n)を経由させ
たレーザ光を、被加工部材90に出射して加工するレー
ザ加工装置であって、レーザ光が出射される側の各光フ
ァイバ30(m、n)端部は、配置位置を示す位置情報
に対応させた所定の位置に配置されている。記憶手段5
0には、各レーザ出力手段12(s、t)に対応させ
て、所定の位置に配置された各光ファイバ30(m、
n)端部の配置位置を示す位置情報が記憶されている。
制御手段40は、加工形状に関連する加工情報が入力さ
れると、入力された加工情報及び記憶手段50に記憶さ
れている位置情報、または入力された加工情報に基づい
て、各レーザ出力手段12(s、t)を駆動あるいは停
止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ加工装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来の、CO2レーザを用いたレーザ加
工装置では、1本のレーザ光を用いて加工している。こ
のため、被加工部材上におけるレーザ光のスポット形状
は、ほとんど一意的な形状(丸形状等)に決まる。ま
た、YAGレーザを用いたレーザ加工装置では、1本の
光ファイバにレーザ光を入射し、当該1本の光ファイバ
から出射されたレーザ光を用いて加工している。このた
め、CO2レーザの場合と同様に、被加工部材上におけ
るレーザ光のスポット形状は、ほとんど一意的な形状
(丸形状等)に決まる。また、半導体レーザを用いたレ
ーザ加工装置では、複数のレーザ光を、複数の光ファイ
バに入射し、各光ファイバから出射されるレーザ光を集
光レンズで集光して加工している。更に、複数のレーザ
光を同時にON/OFFさせており、被加工部材上にお
けるレーザ光のスポット形状は、レーザ光が出射される
側の光ファイバの束ねられた形状及び集光方法により、
ほとんど一意的な形状に決まる。そこで従来では、被加
工部材上におけるレーザ光のスポット形状を変更する場
合、予め加工形状に穿孔されたスリット等を用いて、レ
ーザ光が出射される側の光ファイバ端部と被加工部材と
の間にスリットを配置し、スリットを通過させたレーザ
光を被加工部材に照射している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の方法では、被加
工部材上に所定の形状の加工を施すには、当該所定の形
状に穿孔されたスリット等を用意しなければならず、被
加工部材上に様々な形状の加工を施すには、各加工形状
に応じたスリット等の用意と交換を実施する必要がある
ため、非常に手間がかかり、加工効率の低下を招く可能
性がある。また、同一の被加工部材に、複数の異なる加
工形状の加工を施す場合は、スリット等の交換が機械的
な交換であるため、各スリット間の誤差(位置ずれ等の
誤差)が発生し易く、加工精度の低下を招く可能性があ
る。本発明は、このような点に鑑みて創案されたもので
あり、容易に加工形状を変更でき、より高い加工効率及
び加工精度を確保できるレーザ加工装置を提供すること
を課題とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段として、本発明の第1発明は、請求項1に記載さ
れたとおりのレーザ加工装置である。請求項1に記載の
レーザ加工装置では、レーザ光が出射される側の複数の
光ファイバ端部を、所定の位置に配置する。そして、制
御手段は、入力された加工情報(加工形状に関連する加
工情報)に基づいて、所定の位置に配置された光ファイ
バに対応するレーザ出力手段の中から、適切なレーザ出
力手段を選択して駆動する。このため、各加工形状に応
じたスリット等の用意及び交換を行う必要がなく、加工
形状に関連する加工情報を入力すれば、容易に加工形状
を変更でき、より高い加工効率及び加工精度を確保でき
る。
【0005】また、本発明の第2発明は、請求項2に記
載されたとおりのレーザ加工装置である。請求項2に記
載のレーザ加工装置では、制御手段に入力される加工情
報は、各光ファイバ端部が所定の位置に配置された配置
位置の中からレーザ光を出射すべき配置位置を示す出射
位置情報である。制御手段は、入力された出射位置情報
に示されている配置位置と、記憶手段に記憶されている
位置情報で示される配置位置に対応するレーザ出力手段
とに基づいて、所定の位置に配置された光ファイバに対
応するレーザ出力手段の中から、適切なレーザ出力手段
を選択して駆動する。このため、各加工形状に応じたス
リット等の用意及び交換を行う必要がなく、出射位置情
報を入力すれば、容易に加工形状を変更でき、より高い
加工効率及び加工精度を確保できる。
【0006】また、本発明の第3発明は、請求項3に記
載されたとおりのレーザ加工装置である。請求項3に記
載のレーザ加工装置では、制御手段に入力される加工情
報は、各レーザ出力手段の駆動あるいは停止を示すレー
ザ出力情報である。制御手段は、入力されたレーザ出力
情報に基づいて、所定の位置に配置された光ファイバに
対応するレーザ出力手段の中から、適切なレーザ出力手
段を選択して駆動する。このため、各加工形状に応じた
スリット等の用意及び交換を行う必要がなく、レーザ出
力情報を入力すれば、容易に加工形状を変更でき、より
高い加工効率及び加工精度を確保できる。
【0007】また、本発明の第4発明は、請求項4に記
載されたとおりのレーザ加工装置である。請求項4に記
載のレーザ加工装置では、所定の位置に配置された、レ
ーザ光が出射される側の各光ファイバ端部は、2次元配
列のマトリクス形状に配置されており、マトリクス形状
に配置された位置の中から適切にレーザ光を出射あるい
は停止させることで、様々な加工形状を容易に実現する
ことができる。
【0008】また、本発明の第5発明は、請求項5に記
載されたとおりのレーザ加工装置である。請求項5に記
載のレーザ加工装置では、レーザ光が出射される側の各
光ファイバの端部を固定するホルダを設け、当該ホルダ
は、光ファイバ端部を挿入して固定可能な孔が複数設け
られており、レーザ光が出射される側の任意の光ファイ
バ端部を、任意の形状に配置可能である。このため、任
意の光ファイバを希望する加工形状になるように配置す
ることで、様々な加工形状を容易に実現することができ
る。
【0009】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
を用いて説明する。図1は、本発明のレーザ加工装置の
一実施の形態の概略構成図を示している。半導体レーザ
アレイ10は、複数のレーザ出力手段12(s、t)
(レーザダイオード等)で構成されており、制御手段4
0からの制御信号に基づいて、各レーザ出力手段12
(s、t)からレーザ光を出力したり停止したりする。
制御手段40は、記憶手段50とアクセス可能に接続さ
れている。記憶手段50には、各種の情報等が記憶され
ている。また、制御手段40(数値制御装置等)には様
々なデータ等(加工形状に関連する加工情報等)が入力
され、制御手段40は、入力された加工情報及び記憶手
段50に記憶されている各種の情報に基づいて、または
入力された加工情報に基づいて、各レーザ出力手段12
(s、t)を個々に駆動(レーザ光を出力)あるいは停
止(レーザ光の出力を停止)させる。
【0010】半導体レーザアレイ10の複数のレーザ出
力手段12(s、t)から出射されたレーザ光は発散し
ながら進行し(発散の詳細は後述する)、レンズ群20
を通過して発散が抑制され、光ファイバ30(m、n)
の一方の端部に入射される。光ファイバ30(m、n)
の一方の端部から入射されたレーザ光は、当該光ファイ
バ30(m、n)の他方の端部から出射される。このと
き、光ファイバ30(m、n)の他方の端部は、ホルダ
70に固定されている。ホルダ70は、レーザ光が出射
される側の各光ファイバ30(m、n)端部を、例え
ば、2次元配列のマトリクス形状に配置して固定してい
る。そして、光ファイバ30(m、n)から出射された
レーザ光は、集光レンズ80を通過し、被加工部材90
上に結像して被加工部材90を加工する。このとき、2
次元配列のマトリクス形状に配置された光ファイバ30
(m、n)の中から選択した所定の光ファイバからレー
ザ光を出射するように、当該光ファイバに対応するレー
ザ出力手段を駆動することで、光ファイバ30(m、
n)から所定の位置に対応する所定の形状を構成するレ
ーザ光の束を被加工部材90に出射する。これにより、
被加工部材90上に、所定の位置に対応する所定の形状
の加工を施すことができる。
【0011】次に、図2(A)を用いて、半導体レーザ
アレイ10と、レーザ出力手段12(s、t)から出力
されるレーザ光について説明する。半導体レーザアレイ
10は、複数のレーザ出力手段12(s、t)を2次元
的に配列して、あるいは一列に複数のレーザ出力手段1
2(s、t)を有するアレイ型半導体レーザを積層また
は配列して、あるいは2次元配列されたスタック型半導
体レーザで、構成されている。図2(A)の例では、半
導体レーザアレイ10のレーザ出力手段12(s、t)
は、4行(α〜ψ)8列(A〜H)の32個のレーザ出
力手段を備えている。図2(A)は、スタック型レーザ
ダイオードの例を示している。例えば、半導体レーザア
レイ10の活性層14中のレーザ出力手段12(β、
H)から出射されるレーザ光16は、レーザ光16の進
行方向に対して垂直な面においてほぼ楕円状であり、当
該楕円は長軸方向(fast軸方向)と短軸方向(sl
ow軸方向)とを有する。また、当該楕円は、レーザ出
力手段12(β、H)からの距離が長くなるほど大きく
なる。なお、座標軸は、レーザ出力手段12(s、t)
から出射されるレーザ光の進行方向をz軸、fast軸
方向をx軸、slow軸方向をy軸として、x軸/y軸
/z軸は、互いに直交している。
【0012】次に、図2(B)を用いて、レーザ出力手
段12(s、t)から出射されたレーザ光を、光ファイ
バ30(m、n)の一方の端面に入射する方法について
説明する。各レーザ出力手段12(s、t)から出射さ
れたレーザ光は、上記に説明したように、fast軸方
向及びslow軸方向に発散しながら進行するため、レ
ンズ群20を用いて、当該発散を抑制し、あるいは集光
し、光ファイバ30(m、n)の一方の端面に入射す
る。このとき、レンズ群20は、単数のレンズでも、複
数のレンズを組合せてもよく、様々なレンズあるいはレ
ンズ群を用いることができる。また、図2(B)の例で
は、1個のレーザ出力手段から出射されたレーザ光を1
本の光ファイバ30に入射しているが、1本の光ファイ
バにk個(kは2以上の整数)のレーザ出力手段から出
射されるレーザ光を入射してもよい。このように、光フ
ァイバにレーザ光を入射する方法は、種々の方法が可能
である。なお、座標軸は、図2(A)と同様に、レーザ
出力手段12(s、t)から出射されるレーザ光の進行
方向をz軸、fast軸方向をx軸、slow軸方向を
y軸とし、x軸/y軸/z軸は、互いに直交している。
【0013】次に、図3(A)を用いて、ホルダ70の
形状について説明する。図3(A)に示す例では、ホル
ダ70は、5行(1〜5)6列(a〜f)の30個のホ
ルダ孔72(u、v)が、2次元配列のマトリクス形状
に設けられている。この各ホルダ孔72(u、v)に、
各光ファイバ30(m、n)のレーザ光が出射される側
の端部を挿入して固定することが可能である。これによ
り、加工形状に応じたホルダ孔72(u、v)を適切に
選択し、選択したホルダ孔72(u、v)に挿入された
光ファイバ30(m、n)に対応するレーザ出力手段1
2(s、t)を駆動することで、容易に加工形状を変更
することができる。図3(A)に黒色で示したホルダ孔
72(u、v)は、例えば、加工形状を「F」形状とし
た場合に選択されたホルダ孔72(u、v)を示してい
る。なお、加工形状は、幾何学形状(円、三角、直線
等)、文字形状、模様形状等、種々の形状にすることが
できる。このように、希望する形状のレーザ光を、所定
の位置に配置された光ファイバ30(m、n)から出射
させることで容易に加工形状を変更でき、スリット等の
用意及び交換が不要であるため、交換作業の時間を削減
することができ、より高い加工効率を確保できる。ま
た、スリット等の交換が不要であることは、交換の前後
の各スリット間の誤差(位置ずれ等の誤差)が発生しな
いため、より高い加工精度を確保できる。
【0014】次に、図3(B)を用いて、記憶手段50
に記憶している位置情報52について説明する。位置情
報52には、半導体レーザアレイ10の各レーザ出力手
段12(s、t)の識別情報(この場合、レーザ出力手
段の(行、列)情報)と、各ホルダ孔72(u、v)の
識別情報(この場合、ホルダ孔の配置位置の(行、列)
情報)と、光ファイバ30(m、n)の識別情報が記憶
されている。図3(A)に示す位置情報52では、レー
ザ出力手段12(α、A)から出射されるレーザ光は、
光ファイバ30(α、A)に入射され、当該光ファイバ
30(α、A)のレーザ光が出射される側の端面は、ホ
ルダ孔72(1、a)に配置されている。また、レーザ
出力手段12(ψ、H)から出射されるレーザ光は、光
ファイバ30(ψ、H)に入射されるが、当該光ファイ
バ30(ψ、H)のレーザ光が出射される側の端面は、
ホルダ孔72には配置されていないことが判る。(この
例では、レーザ出力手段が32個で、ホルダ孔は30個
であるため)
【0015】次に、図4を用いて、制御手段40が、半
導体レーザアレイ10の各レーザ出力手段12(s、
t)を個々に駆動あるいは停止させる方法について説明
する。制御手段40は、例えば、CPU45とトランジ
スタ42(α、A)〜(ψ、H)で構成されている。C
PU45は、各トランジスタ42(α、A)〜(ψ、
H)を個々にONあるいはOFFすることができる。な
お、制御手段40は、入力手段40aを備えている。各
トランジスタ42(α、A)〜(ψ、H)のエミッタは
基準電位(GND)に接続されており、コレクタは各レ
ーザ出力手段12(α、A)〜(ψ、H)の一方の端子
(この場合は、各レーザダイオードのカソード側)に接
続されている。各レーザ出力手段12(α、A)〜
(ψ、H)の他方の端子(この場合は、各レーザダイオ
ードのアノード側)は、電源(Vc)に接続されてお
り、電源(Vc)の他方は基準電位(GND)に接続さ
れている。
【0016】例えば、CPU45が、トランジスタ42
(α、A)をONさせ、他のトランジスタを全てOFF
させた場合、レーザ出力手段12(α、A)のみが駆動
されてレーザ光を出射し、他のレーザ出力手段12
(α、B)〜(ψ、H)は停止状態にされ、レーザ光を
出射しない。なお、所定のトランジスタ42をduty
駆動(所定の周期でON/OFFを任意の割合で駆動)
すれば、所定のレーザ出力手段から出射されるレーザ光
の、被加工部材を加工する場合のエネルギー量(パワー
密度)を容易に調節することができる。
【0017】次に、入力手段40a(数値制御装置等)
から加工形状に関する加工情報を入力し、各レーザ出力
手段12(α、A)〜(ψ、H)の駆動あるいは停止を
実施する動作について説明する。図5(A)、(B)を
用いて、作業者等が入力手段40aを操作して、制御手
段40に加工形状に関連する加工情報を入力(この場
合、「加工情報の選択」も、「加工情報の入力」に含ま
れる)する例を説明する。図5(A)は、入力手段40
aがパソコン等の処理装置の場合で、入力選択画面62
の例を示している。作業者等は、当該入力選択画面62
を見ながら、キーボード等を操作して、加工形状(A、
B、C等)を入力部62aに入力(あるいは選択)す
る。図5(B)は、入力手段40aが、各ホルダ孔72
(u、v)と同位置にボタン等を配置した入力指示装置
64である例を示している。入力指示装置64には、各
ホルダ孔72(1、a)〜(5、f)に対応させて、ボ
タン64a(1、a)〜(5、f)が設けられている。
作業者等は、加工形状に応じてレーザ光を出射させたい
部分に対応するボタン64a(u、v)を操作する。図
5(B)に黒色で示したボタン64a(u、v)は、例
えば、加工形状を「F」形状とした場合に選択されたボ
タン64a(u、v)を示している。ボタン64a
(u、v)は、レーザ光の出射を示す出射状態と、レー
ザ光の出力停止を示す停止状態の2つの状態を識別可能
に表示する。(例えば、出射状態はランプONで、停止
状態はランプOFF等)
【0018】入力された加工情報に基づき、入力手段4
0a(パソコン等)、あるいはCPU45は、半導体レ
ーザアレイ10の対応するレーザ出力手段12(s、
t)を個々に駆動あるいは停止する。例えば、入力手段
40a(パソコン等)、あるいはCPU45は、図5
(A)または(B)で説明した方法により、加工情報が
入力された場合、まずホルダ孔72(u、v)の配置位
置の中からレーザ光を出射すべき配置位置を示す出射位
置情報54(図6(A))を作成する。図6(A)の例
では、レーザ出力/停止の欄が、「1」の場合は出射を
示し、「0」の場合は出射しないことを示している。図
6(A)に示す出射位置情報54には、ホルダ孔72
(1、a)に対応するレーザ出力手段を停止し、ホルダ
孔72(1、b)及び(1、c)に対応するレーザ出力
手段を駆動し、ホルダ孔72(5、f)に対応するレー
ザ出力手段を停止させるよう、判定された例を示してい
る。
【0019】次に、入力手段40a(パソコン等)、あ
るいはCPU45は、出射位置情報54と位置情報52
(図3(B))に基づいて、レーザ光を出射すべき配置
位置のホルダ孔72(u、v)に対応するレーザ出力手
段12(s、t)を示すレーザ出力情報56(図6
(B))を作成する。図6(B)の例では、レーザ出力
/停止の欄が、「1」の場合は出射を示し、「0」の場
合は出射しないことを示している。図6(B)に示すレ
ーザ出力情報56には、レーザ出力手段12(α、A)
を停止し、レーザ出力手段12(α、B)及び(α、
C)を駆動し、レーザ出力手段12(ψ、H)を停止さ
せるよう、判定された例を示している。この判定結果で
あるレーザ出力情報56に基づいて、CPU45は、ト
ランジスタ42(α、A)〜(ψ、H)を個々に駆動あ
るいは停止する。なお、作業者等による、入力手段40
aへの加工情報の入力は、出射位置情報54を入力する
ようにしてもよいし、レーザ出力情報56を入力するよ
うにしてもよい。制御手段40への加工情報の入力は、
種々の方法が可能である。
【0020】また、制御手段40によりレーザ出力手段
12(s、t)を個々にON/OFFさせることなく、
加工形状に応じて作業者等がホルダ70に必要な光ファ
イバ30(m、n)を抜き差しするようにしてもよい。
以上の説明により、例えば、一直線に並べた形状とする
ことで直線状の切断等の加工効率を向上させることがで
きる。また、スリット等の部材を作る時間及び交換に要
する時間等を削減して加工効率を向上させることができ
る。また、スリット等の交換等に起因するガタ、ずれ等
の発生を抑制できるので、加工精度を向上させることが
できる。また、任意の加工形状を、その場で指定(図5
(B)等にて指定)して加工することが可能である。
【0021】本発明のレーザ加工装置は、本実施の形態
で説明した構成等に限定されず、本発明の要旨を変更し
ない範囲で種々の変更、追加、削除が可能である。本実
施の形態で説明した集光レンズは、1枚のレンズで構成
してもよいし、複数のレンズで構成してもよい。また、
特に集光する必要がない場合は、集光レンズを省略して
もよい。本発明のレーザ加工装置で用いるレーザ光は、
半導体レーザ光、YAGレーザ光、CO2レーザ光等、
種々のレーザ光を用いることが可能である。半導体レー
ザアレイ10は、2次元配列された構造に限定するもの
ではない。位置情報52、出射位置情報54、レーザ出
力情報56は、本実施の形態で示した項目、記載内容等
に限定されず、種々の形式、種々の記載内容等で構成す
ることが可能である。また、ホルダ孔72(u、v)
は、本実施の形態で説明したマトリクス状に配置するの
でなく、ハニカム状に配置してもよい。ホルダ孔72
(u、v)の配置方法は、種々の方法が可能である。ま
た、本実施の形態の説明に用いた数値は一例であり、こ
の数値に限定されるものではない。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1〜5のい
ずれかに記載のレーザ加工装置を用いれば、容易に加工
形状を変更でき、より高い加工効率及び加工精度を確保
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のレーザ加工装置の一実施の形態の概略
構成図である。
【図2】半導体レーザアレイ10と、レーザ出力手段1
2(s、t)から出力されるレーザ光と、出射されたレ
ーザ光を光ファイバ30(m、n)の一方の端面に入射
する方法について説明する図である。
【図3】ホルダ70の形状と、位置情報52の例を説明
する図である。
【図4】制御手段40が、半導体レーザアレイ10の各
レーザ出力手段12(s、t)を個々に駆動あるいは停
止させる方法を説明する図である。
【図5】加工形状に関連する加工情報を入力する例を説
明する図である。
【図6】出射位置情報54、レーザ出力情報56の例を
説明する図である。
【符号の説明】
10 半導体レーザアレイ 12(s、t) レーザ出力手段 20 レンズ群 30(m、n) 光ファイバ 40 制御手段 50 記憶手段 70 ホルダ 72(u、v) ホルダ孔 80 集光レンズ 90 被加工部材

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光を出力する複数のレーザ出力手
    段と、各レーザ出力手段を駆動あるいは停止する制御手
    段と、記憶手段と、各レーザ光が入射されて被加工部材
    にレーザ光を出射する複数の光ファイバとを備え、各光
    ファイバを経由させたレーザ光を、被加工部材に出射し
    て加工するレーザ加工装置であって、 レーザ光が出射される側の各光ファイバ端部は、配置位
    置を示す位置情報に対応させた所定の位置に配置されて
    おり、 記憶手段には、各レーザ出力手段に対応させて、所定の
    位置に配置された各光ファイバ端部の配置位置を示す位
    置情報が記憶されており、 制御手段は、加工形状に関連する加工情報が入力される
    と、入力された加工情報及び記憶手段に記憶されている
    位置情報、または入力された加工情報に基づいて、各レ
    ーザ出力手段を駆動あるいは停止する、ことを特徴とす
    るレーザ加工装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のレーザ加工装置であっ
    て、 制御手段に入力される加工情報は、所定の位置に配置さ
    れた各光ファイバ端部の配置位置の中からレーザ光を出
    射すべき配置位置を示す出射位置情報であり、 制御手段は、出射位置情報が入力されると、入力された
    出射位置情報に示されている配置位置と、記憶手段に記
    憶されている位置情報で示される配置位置に対応するレ
    ーザ出力手段とに基づいて、各レーザ出力手段を駆動あ
    るいは停止する、ことを特徴とするレーザ加工装置。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載のレーザ加工装置であっ
    て、 制御手段に入力される加工情報は、各レーザ出力手段の
    駆動あるいは停止を示すレーザ出力情報であり、 制御手段は、レーザ出力情報が入力されると、入力され
    たレーザ出力情報に基づいて、各レーザ出力手段を駆動
    あるいは停止する、ことを特徴とするレーザ加工装置。
  4. 【請求項4】 請求項1〜3のいずれかに記載のレーザ
    加工装置であって、 所定の位置に配置された、レーザ光が出射される側の各
    光ファイバ端部は、2次元配列のマトリクス形状に配置
    されている、ことを特徴とするレーザ加工装置。
  5. 【請求項5】 レーザ光を出力する複数のレーザ出力手
    段と、各レーザ光が入射されて被加工部材にレーザ光を
    出射する複数の光ファイバと、レーザ光が出射される側
    の各光ファイバの端部を固定するホルダとを備え、各光
    ファイバを経由させたレーザ光を、被加工部材に出射し
    て加工するレーザ加工装置であって、 前記ホルダは、光ファイバ端部を挿入して固定可能な孔
    が複数設けられており、レーザ光が出射される側の任意
    の光ファイバの端部を、任意の形状に配置可能である、
    ことを特徴とするレーザ加工装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005246454A (ja) * 2004-03-05 2005-09-15 Sumitomo Light Metal Ind Ltd レーザ溶接方法
JP2012040573A (ja) * 2010-08-16 2012-03-01 Fuji Electric Co Ltd 試料の微細加工方法
JP2018153814A (ja) * 2017-03-15 2018-10-04 株式会社リコー レーザ処理装置

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