JP2003223783A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2003223783A
JP2003223783A JP2002018154A JP2002018154A JP2003223783A JP 2003223783 A JP2003223783 A JP 2003223783A JP 2002018154 A JP2002018154 A JP 2002018154A JP 2002018154 A JP2002018154 A JP 2002018154A JP 2003223783 A JP2003223783 A JP 2003223783A
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Japan
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circuit
power supply
reset
output
signal
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JP2002018154A
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Takuya Ishida
琢也 石田
Jun Setogawa
潤 瀬戸川
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • G11C5/00Details of stores covered by group G11C11/00
    • G11C5/14Power supply arrangements, e.g. power down, chip selection or deselection, layout of wirings or power grids, or multiple supply levels
    • G11C5/143Detection of memory cassette insertion or removal; Continuity checks of supply or ground lines; Detection of supply variations, interruptions or levels ; Switching between alternative supplies
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/22Modifications for ensuring a predetermined initial state when the supply voltage has been applied
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K3/00Circuits for generating electric pulses; Monostable, bistable or multistable circuits
    • H03K3/01Details
    • H03K3/013Modifications of generator to prevent operation by noise or interference

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 外部電源電位の立上がりに比べて内部で発生
する内部電源電位の立上がりが遅い場合でも、適切なパ
ワーオンリセット信号を発生し誤動作が防止された半導
体装置を提供する。 【解決手段】 内部電源電位を動作電源電位として受け
発振動作を行なうリングオシレータ62の出力を、外部
電源電位を動作電源電位として受けるカウンタ64によ
ってカウントし、リセットを解除する。内部電源電位が
遅れた場合でも、内部電源電位で動作する回路に対して
確実にリセットをかけることができる。また、リングオ
シレータ62のインバータの段数やカウンタ64のビッ
ト数を増減させることにより、パワーオンリセット時間
の調整を面積の増加を少なく抑えつつ行なうことができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置に関
し、より特定的には、電源投入時に内部の回路を初期化
するためのパワーオンリセット回路を搭載する半導体装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】ダイナミックランダムアクセスメモリ
(DRAM)などの半導体記憶装置には、電源投入時の
誤動作を防ぐために、内部のラッチ回路を初期化するた
めのパワーオンリセット回路が設けられている。
【0003】図21は、従来の代表的なパワーオンリセ
ット回路502の構成を示した回路図である。
【0004】図21を参照して、パワーオンリセット回
路502は、外部電源電位extVccが与えられるノ
ードと接地ノードとの間に直列に接続される抵抗504
およびキャパシタ506と、抵抗504とキャパシタ5
06の接続ノードに入力が接続されパワーオンリセット
信号PORを出力するインバータ508を含む。図21
で、抵抗504とキャパシタ506の接続ノードの電位
を電位VRCとする。
【0005】図22は、パワーオンリセット回路502
の動作を説明するための動作波形図である。
【0006】図21、図22を参照して、時刻t0にお
いて電源が投入されると電源電位extVccが上昇を
開始する。このとき抵抗504の存在によりキャパシタ
506の電極へ電荷が充電されるまでに時間を要するた
めに、電位VRCは電源電位extVccに比べて立上
がりが遅れる。
【0007】時刻t0〜t1の間は電源電位が低くイン
バータ508の動作も不安定である。
【0008】時刻t1〜t2の間はインバータ508の
出力が安定する。このとき、インバータのしきい値電圧
VTHに比べて電位VRCは低いので、インバータ50
8はHレベルを出力する。このHレベルは、電源電位e
xtVccの上昇とともに上昇する。時刻t1〜t2の
間に出力されるこのHレベルのパワーオンリセット信号
PORによって他の内部回路のリセットが行なわれる。
時刻t1〜t2の期間はリセット期間TRSTである。
【0009】時刻t2において電位VRCがしきい値電
圧VTHを超えると、インバータ508はLレベルを出
力する。したがって、パワーオンリセット信号/POR
はLレベルとなり、内部回路に対するリセットが解除さ
れる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】半導体装置の中で、特
に、半導体記憶装置は、実際には内部の回路は外部電源
電位を直接受けて動作しているのではない。高速化およ
び低消費電力化のために、複数搭載される内部回路のそ
れぞれに最適な内部電源電位が発生され、内部回路はこ
れらの内部電源電位を受けて動作している。また、これ
らの内部電源電位を発生する内部電源発生回路には、内
部電源電位の安定化のために出力ノードに大きな容量が
つけられている。
【0011】したがって、内部電源電位の立上がりは、
外部電源電位の立上がりよりも遅れてしまう。このた
め、内部電源電位が立上がる前にパワーオンリセット回
路の出力が反転し、パワーオンリセットが解除されてし
まい内部回路が十分に初期化されないという場合があ
る。
【0012】また、従来のパワーオンリセット回路50
2には、非常に大きな抵抗と容量が必要であり、各内部
電源電位に対応して複数のパワーオンリセット回路を設
けると、パワーオンリセットの増加分によりチップ面積
が増大してしまうという問題点があった。
【0013】この発明の目的は、半導体装置内部で発生
される内部電源電位の活性化に応じて確実に動作し、か
つ回路を実現するための面積が小さいパワーオンリセッ
ト回路を搭載する半導体装置を提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の半導体
装置は、外部電源電位を受けて第1の内部電源電位を発
生する第1の電源回路と、第1の内部電源電位の活性化
に応じて第1のリセット信号を出力する第1のパワーオ
ンリセット回路とを備え、第1のパワーオンリセット回
路は、第1の内部電源電位の活性化に応じて発振を行な
う第1の発振回路と、外部電源電位を動作電源電位とし
て受け、発振回路の出力に応じて計数動作を行ない、計
数値が所定値に達すると第1のリセット信号をリセット
状態からリセット解除状態に遷移させる第1の計数回路
とを含む。
【0015】請求項2に記載の半導体装置は、請求項1
に記載の半導体装置の構成に加えて、第1のパワーオン
リセット回路は、第1の発振回路の出力を受けて、所定
値よりも幅が狭いパルスを消去するノイズキャンセル回
路をさらに含む。
【0016】請求項3に記載の半導体装置は、請求項2
に記載の半導体装置の構成に加えて、ノイズキャンセル
回路は、発振回路の出力を遅延させる遅延回路と、発振
回路の出力と遅延回路の出力とを受けるNAND回路と
を含む。
【0017】請求項4に記載の半導体装置は、請求項1
に記載の半導体装置の構成に加えて、第1の発振回路
は、第1の内部電源電位を動作電源電位として受け、第
1の発振回路は、直列に接続された偶数段のインバータ
と、入力に偶数段のインバータの出力と発振リセット信
号とを受け、出力に偶数段のインバータの入力が接続さ
れるNAND回路とを含む。
【0018】請求項5に記載の半導体装置は、請求項4
に記載の半導体装置の構成に加えて、外部電源電位の活
性化に応じて第1の計数回路をリセットする外部パワー
オンリセット回路をさらに備え、第1のパワーオンリセ
ット回路は、外部パワーオンリセット回路の出力に応じ
て発振リセット信号を非活性化し、第1のリセット信号
に応じて発振リセット信号を活性化する発振停止制御回
路をさらに含む。
【0019】請求項6に記載の半導体装置は、請求項1
に記載の半導体装置の構成に加えて、第1の計数回路
は、第1の発振回路の出力を受ける直列に接続された複
数のTフリップフロップを含む。
【0020】請求項7に記載の半導体装置は、請求項1
に記載の半導体装置の構成に加えて、第1の計数回路
は、第1の発振回路の出力を受けて信号の周波数を2の
n乗の分の1にする分周動作を行なう第1の計数部と、
第1の計数部の出力に応じて計数動作を行なう第2の計
数部とを含む。
【0021】請求項8に記載の半導体装置は、請求項7
に記載の半導体装置の構成に加えて、第2の計数部は、
環状に接続され、第1の計数部の出力に応じてシフト動
作を行なう複数のDフリップフロップを含む。
【0022】請求項9に記載の半導体装置は、請求項1
に記載の半導体装置の構成に加えて、第1の内部電源電
位を動作電源電位として受け、第1のリセット信号に応
じてリセットされる第1の内部回路をさらに備え、第1
の内部回路は、外部から与えられるデータの保持を行な
うメモリアレイを含む。
【0023】請求項10に記載の半導体装置は、請求項
9に記載の半導体装置の構成に加えて、外部電源電位を
受けて第2の内部電源電位を発生する第2の電源回路
と、第2の内部電源電位の活性化に応じて第2のリセッ
ト信号を出力する第2のパワーオンリセット回路とを備
え、第2のパワーオンリセット回路は、第2の内部電源
電位の活性化に応じて発振を行なう第2の発振回路と、
外部電源電位を動作電源電位として受け、第2の発振回
路の出力に応じて計数動作を行ない、計数値が所定値に
達すると第2のリセット信号を出力する第2の計数回路
とを含み、第2の内部電源電位を動作電源電位として受
け、第2のリセット信号に応じてリセットされる第2の
内部回路をさらに備え、第2の内部回路は、外部から制
御信号を受けて、メモリアレイに対するタイミング制御
を行なう制御回路を含む。
【0024】
【発明の実施の形態】以下において、本発明の実施の形
態について図面を参照して詳しく説明する。なお、図中
同一符号は同一または相当部分を示す。
【0025】[実施の形態1]図1は、本発明の実施の
形態1の半導体装置1の構成を示す概略ブロック図であ
る。半導体装置1は、具体的な例としてダイナミックラ
ンダムアクセスメモリ(DRAM)を示して説明をする
ことにする。
【0026】図1を参照して、半導体装置1は、外部か
ら与えられるアドレス信号で指定される領域に入力デー
タDinを書込み、アドレス信号A0〜Aiによって指
定される領域に保持データを読出してデータ出力信号Q
を出力する内部回路2と、制御信号/RAS,/CA
S,/WEに応じて内部回路2の動作タイミングを制御
する内部回路30と、外部から外部電源電位extVc
cを受けて内部電源電位Vdd1,Vdd2を出力する
内部電源発生回路50と、外部電源電位extVccお
よび内部電源電位Vdd1,Vdd2に応じてリセット
信号/POR1,/POR2をそれぞれ内部回路2,3
0に出力するリセット信号発生回路55とを含む。
【0027】内部電源発生回路50は、外部電源電位e
xtVccを受けて内部電源電位Vdd1を出力する電
圧降下回路(VDC)52と、外部電源電位extVc
cを受けて内部電源電位Vdd2を出力する電圧降下回
路54とを含む。内部電源電位Vdd1は、内部回路2
に与えられる。内部電源電位Vdd2は、内部回路30
に与えられる。
【0028】リセット信号発生回路55は、外部電源電
位extVccに応じてパワーオンリセット信号EXT
PORを出力する外部パワーオンリセット回路58と、
パワーオンリセット信号EXTPORに応じて初期化さ
れ内部電源電位Vdd1に応じてパワーオンリセット信
号/POR1を出力するパワーオンリセット回路56
と、パワーオンリセット信号EXTPORに応じて初期
化され内部電源電位Vdd2に応じてパワーオンリセッ
ト信号/POR2を出力するパワーオンリセット回路6
0とを含む。
【0029】内部回路2は、各々が行列状に配列される
複数のメモリセルを有するメモリセルアレイ14と、外
部から与えられるアドレス信号A0〜Aiを取込むロウ
アドレスバッファ4,コラムアドレスバッファ5とを含
む。
【0030】メモリセルアレイ14には、メモリセルの
行に対応する1つのワード線WLとメモリセルの列に対
応する1つのビット線BLと、ワード線WLとビット線
BLの交点に対応して設けられる1つのメモリセルMC
とが代表的に示されている。
【0031】内部回路2は、さらに、ロウアドレスバッ
ファ4の出力するアドレス信号Xと制御信号RX,SO
とに応じてメモリセルアレイ14の行を特定するロウデ
コーダ10と、コラムアドレスバッファの出力するアド
レス信号Yと制御信号CDEとに応じてメモリセルアレ
イ14の列を特定するコラムデコーダ12と、メモリセ
ルMCからビット線BLに呼出されたデータを増幅する
センスアンプ16とを含む。
【0032】内部回路2は、さらに、データ入力信号D
inを制御信号DILに応じて受けるデータ入力バッフ
ァ22と、データ入力バッファ22から書込データを受
ける書込データバスWDBと、書込データバスWDBに
よって伝達された書込データを制御信号WDEに応じて
入出力線I/Oに出力するライトドライバ19とを含
む。
【0033】内部回路2は、さらに、センスアンプ16
によって入出力線I/Oに読出されたデータを制御信号
PAEに応じて増幅するプリアンプ18と、プリアンプ
18から読出データを受けるリードデータバスRDB
と、リードデータバスRDBによって伝達された読出デ
ータを制御信号OEMに応じてデータ出力信号Qとして
出力する出力バッファ20とを含む。
【0034】内部回路30は、制御信号/RAS,/C
AS,/WEをそれぞれ受ける/RASバッファ32,
/CASバッファ34,/WEバッファ36と、/RA
Sバッファ32および/CASバッファ34の出力に応
じてリフレッシュ動作の制御を行なうリフレッシュ制御
回路40と、コラムアドレスバッファ5から出力される
アドレス信号の遷移を検出するATD回路48とを含
む。
【0035】/RASバッファ32からは、制御信号R
AL,RADEが出力される。制御信号RALは、ロウ
アドレス信号をロウアドレスバッファにラッチするため
のロウアドレスラッチ信号である。また、制御信号RA
DEは、ロウデコーダを活性化するためのロウアドレス
イネーブル信号である。
【0036】/CASバッファ34からは、制御信号C
AL,CADEが出力される。制御信号CALは、コラ
ムアドレス信号をコラムアドレスバッファにラッチする
ためのコラムアドレスラッチ信号である。また、制御信
号CADEは、コラムデコーダを活性化するためのコラ
ムアドレスイネーブル信号である。
【0037】内部回路30は、さらに、/RASバッフ
ァ32から制御信号RADEを受け制御信号RX,SO
を出力するアレイ制御回路44と、/RASバッファ3
2から制御信号RALを受けて制御信号をロウアドレス
バッファ4に出力するロウアドレス制御回路41と含
む。
【0038】内部回路30は、さらに、ATD回路48
の出力と/CASバッファ34から与えられる制御信号
CADEとに応じて制御信号OEM,PAE,CDEを
出力する読出制御回路46と、ATD回路48、/CA
Sバッファ34、/WEバッファ36の出力に応じて制
御信号DIL,WDE,CDEを出力する書込制御回路
38とを含む。
【0039】簡単に動作を説明する。まずデータはN
(=n×m)ビットのメモリアレイに蓄積される。読
出、書込を行なおうとするアドレス情報は、ロウアドレ
スバッファ4、コラムアドレスバッファ5に伝達され
る。ロウデコーダ10は、特定のワード線WLを選択駆
動し、そのワード線に繋がるmビットのメモリセルの情
報がビット線を経てセンスアンプ16に伝達される。
【0040】次に、コラムデコーダ12が特定のビット
線BLを選択する。したがって、1つのセンスアンプユ
ニットが入出力線I/Oを介して入出力回路に結合さ
れ、書込制御回路38、読出制御回路46の指令に従っ
て書込および読出が実行される。
【0041】近年、半導体記憶装置の消費電力の削減お
よびトランジスタの信頼性確保のために、メモリアレイ
部の低電圧動作化が進められ、チップ外部から印加され
る電源電位extVccに対して、チップ内部でのトラ
ンジスタ駆動電位がより低電源電位で動作することが強
く求められるようになってきた。
【0042】チップ内で信頼性を確保するため、安定な
内部電源電位Vdd1,Vdd2を発生する回路が電圧
降下回路(VDC)である。図1にしめす半導体装置1
は、アレイ回路部系(内部回路2)用のVDC52と周
辺回路部系(内部回路30)用のVDC54とを別々に
有している。これらのVDCからそれぞれ異なった電圧
を発生させることにより、2つの内部回路に適したそれ
ぞれの電圧で回路を動作させることができるようにな
る。
【0043】パワーオンリセット回路56は、電源投入
時の誤動作を防ぐために、内部回路に含まれるラッチ回
路を初期化するためのリセット信号を出力する回路であ
る。
【0044】図2は、図1におけるパワーオンリセット
回路56の構成を示す回路図である。
【0045】図2を参照して、パワーオンリセット回路
56は、内部電源電位Vdd1を動作電源電位として受
けて発振動作を行なうリングオシレータ62と、外部電
源電位extVccを動作電源電位として受けてリング
オシレータ62の出力する信号ROSCを計数するカウ
ンタ64とを含む。カウンタ64は図1における外部パ
ワーオンリセット回路58の出力する信号EXTPOR
に応じて初期化されその初期化が解除された後にリング
オシレータ62の出力する信号ROSCの変化に応じて
計数動作を行ない、計数値が所定の値に達するとパワー
オンリセット信号/PORをLレベルからHレベルに非
活性化する。この非活性化により内部回路はリセットが
解除される。
【0046】パワーオンリセット回路56は、さらに、
パワーオンリセット信号/PORを受けて反転しリセッ
ト信号/RSTを出力するインバータ66を含む。イン
バータ66は、外部パワーオンリセット回路58の出力
する信号EXTPORに応じて発振リセット信号/RS
Tを非活性化し、パワーオンリセット信号/PORに応
じて発振リセット信号/RSTを活性化する発振停止制
御回路として動作する。なお、この発振停止制御回路と
して、信号EXTPORに応じて発振リセット信号/R
STを非活性化し、パワーオンリセット信号/PORに
応じて発振リセット信号/RSTを活性化するラッチ回
路を用いてもよい。
【0047】パワーオンリセット信号/PORがHレベ
ルになりリセット解除が行なわれると、インバータ66
によってリセット信号/RSTが活性化され、リングオ
シレータ62は発振を停止する。必要なリセット時間が
経過すると発振回路の発振が停止するので、不要な消費
電流を低減させることができる。
【0048】図3は、図2におけるリングオシレータ6
2の構成を示した回路図である。リングオシレータ62
は、一方の入力にリセット信号/RSTを受けるNAN
D回路72と、NAND回路72の出力を受ける直列に
接続された4つのインバータ74〜80とを含む。イン
バータ80は、信号ROSCを出力し、この信号ROS
CはNAND回路72の他方の入力にも与えられる。
【0049】一般には、リングオシレータは、奇数段の
インバータチェーンの出力を入力に帰還させることによ
って構成される。しかし、図3では、パワーオンリセッ
トが解除された後にリングオシレータの発振を停止し消
費電力の低減を図れる構成としている。具体的には、イ
ンバータチェーンの初段に代えて、NAND回路72を
用いている。
【0050】図4は、図3に示したリングオシレータ6
2の動作を説明するための動作波形図である。
【0051】図3、図4を参照して、時刻t0〜t1に
おいて、リセット信号/RSTがHレベルのときは、N
AND回路72はインバータ80の出力を反転するイン
バータとして動作するため、リングオシレータ62は発
振する。
【0052】一方、時刻t1以降にリセット信号/RS
TがLレベルになると、NAND回路72の出力はHレ
ベルに固定されるため、リングオシレータ62は発振を
停止する。
【0053】図5は、図2におけるカウンタ64の構成
例の1つを示した回路図である。図5を参照して、カウ
ンタ64は、直列に接続される4つのTフリップフロッ
プ82〜88を含む。Tフリップフロップ82〜88
は、T入力に与えられる信号の立下りエッジに応じてQ
出力の信号が反転するフリップフロップである。
【0054】Tフリップフロップ82〜88は、図1の
外部パワーオンリセット回路58の出力する信号EXT
PORによって初期化される。
【0055】Tフリップフロップ82は、図2のリング
オシレータ62から信号ROSCをT入力ノードに受け
る。Tフリップフロップ84は、Tフリップフロップ8
2のQ出力から与えられる信号T2をT入力に受ける。
Tフリップフロップ86は、Tフリップフロップ84の
Q出力から与えられる信号T3をT入力に受ける。Tフ
リップフロップ88は、Tフリップフロップ86のQ出
力から与えられる信号T4をT入力に受ける。
【0056】カウンタ64は、信号ROSCに生ずるパ
ルス数を2進数でカウントすることができる。また、カ
ウンタのビット数は、直列に接続するフリップフロップ
の個数で変えることができる。
【0057】図6は、図5におけるTフリップフロップ
82の構成を示す回路図である。図6を参照して、Tフ
リップフロップ82は、入力信号Tを受けて反転するイ
ンバータ101と、入力信号Tと出力信号/Qとを受け
るNAND回路92と、入力信号Tと出力信号Qとを受
けるNAND回路94と、NAND回路92の出力を一
方の入力に受けるAND回路96と、AND回路96の
出力とリセット信号EXTPORとを受けるNOR回路
100と、NOR回路100の出力とNAND回路94
の出力とを受けるNAND回路98とを含む。NAND
回路98の出力はAND回路96の他方の入力に与えら
れる。
【0058】Tフリップフロップ82は、さらに、イン
バータ101の出力とNOR回路100の出力とを受け
るNAND回路102と、インバータ101の出力とN
AND回路98の出力とを受けるNAND回路104
と、NAND回路102の出力と信号/Qとを受けるN
AND回路106と、NAND回路106の出力とリセ
ット信号EXTPORとを受けて信号Qを出力するNO
R回路110と、信号QとNAND回路104の出力と
を受けて信号/Qを出力するNAND回路108とを含
む。
【0059】なお、Tフリップフロップ84〜88は、
Tフリップフロップ82と同様な構成を有するので説明
は繰返さない。
【0060】図7は、図5のカウンタ64の動作を説明
するための動作波形図である。図5、図7を参照して、
リセット信号EXTPORがLレベルに解除された後
に、時刻t0において信号ROSCがHレベルからLレ
ベルに立下がると、Tフリップフロップ82は出力を反
転させるので、信号T2はLレベルからHレベルに立上
がる。
【0061】時刻t1において、再び信号ROSCがH
レベルからLレベルに立下がると、Tフリップフロップ
82は、再び出力を反転させるので、信号T2はHレベ
ルからLレベルに立下がる。信号T2がHレベルからL
レベルに立下がると、Tフリップフロップ84は出力を
反転させるので、信号T3はLレベルからHレベルに立
上がる。
【0062】続いて時刻t2において信号T2が再びH
レベルからLレベルに立下がると、Tフリップフロップ
84は出力を反転させるので、信号T3はHレベルから
Lレベルに立下がる。信号T3がHレベルからLレベル
に立下がると、Tフリップフロップ86は出力を反転さ
せるので、信号T4はLレベルからHレベルに立上が
る。
【0063】時刻t3において、信号T3がHレベルか
らLレベルに立下がると、再びTフリップフロップ86
は出力を反転させるので、信号T4はHレベルからLレ
ベルに立下がる。すると、Tフリップフロップ88は出
力を反転させるので、パワーオンリセット信号/POR
はLレベルからHレベルに立上がり、時刻t3以降はリ
セットが解除された状態となる。
【0064】図8は、実施の形態1におけるパワーオン
リセット回路56の動作を説明するための動作波形図で
ある。
【0065】図2、図8を参照して、時刻t0において
外部電源電位extVccが立上がりを開始すると、こ
の外部電源電位を動作電源電位として受けるカウンタ6
4も動作可能な状態となる。
【0066】時刻t1〜t2において、カウンタ64の
内部のTフリップフロップの初期状態を決定するため
に、外部電源電位に応じて出力されるリセット信号EX
TPORによってカウンタ64は初期化される。外部電
源電位の立上がりに少し遅れて、内部電源電位Vdd1
が立上がるが、この電位が所定のしきい値V2以下であ
るとこれを受けて動作を行なうリングオシレータ62は
まだ発振を開始しない。
【0067】しかし、時刻t3において内部電源電位V
dd1がしきい値V2以上になったときにリングオシレ
ータ62は発振動作を開始する。そしてその発振信号R
OSCに生ずるパルス数をカウンタ64がカウントす
る。
【0068】時刻t4において、計数値が所定の値に到
達すると、カウンタ64の所定のビットが“0”から
“1”に変化する。そのビットの変化に応じてパワーオ
ンリセット信号/PORがLレベルからHレベルに変化
し、内部回路のリセットが解除される。
【0069】また、このパワーオンリセット信号/PO
Rを、インバータ66を介してリングオシレータ62の
入力に帰還させることにより、リングオシレータ62の
発振を停止させる。これによって、カウンタ64はこれ
以上計数動作を行なわないので、パワーオンリセット信
号/PORは以降変化を行なわない。したがって、電源
を立上がっている間は再びリセットがかかることはな
い。
【0070】以上説明したように、リングオシレータ6
2を内部電源電位で動作させ、カウンタ64を外部電源
電位で動作させることにより、外部電源電位が立上がっ
ても内部電源電位が立上がるまでリングオシレータ62
は発振することはない。このため、内部電源電位が立上
がる前にパワーオンリセットが解除されてしまうといっ
た不具合を解消することができる。
【0071】また、図21で示した従来のパワーオンリ
セット回路をカウンタ64の初期化に用いるので、カウ
ンタ自身も確実に初期化させることができ、パワーオン
リセット回路自身の電源投入時の誤動作をなくすことが
できる。
【0072】さらに、リングオシレータに含まれるイン
バータの段数を変えることによって、発振のパルス幅を
変化させることができるので、パワーオンリセット解除
までの時間を自由に変化させることができる。また、カ
ウンタのビット数を変えることによって、パワーオンリ
セット解除までの所定のカウント値を変化させることが
できるので、それによってもパワーオンリセット解除ま
での時間を自由に変化させることができる。
【0073】さらに、従来の抵抗と容量素子を用いた図
21に示すようなパワーオンリセット回路を複数個設け
る場合に比べて、本発明のパワーオンリセット回路は基
本的にインバータとNAND回路のみで構成されるた
め、回路面積の増加を小さく抑えることができる。
【0074】[実施の形態2]実施の形態2の半導体装
置は、図1に示した半導体装置の構成において、パワー
オンリセット回路56に代えてパワーオンリセット回路
200を備える。
【0075】図9は、パワーオンリセット回路200の
構成を示す回路図である。図9を参照して、パワーオン
リセット回路200は、図2に示したパワーオンリセッ
ト回路56の構成において、リングオシレータ62の出
力する信号ROSCを受けてノイズを低減し、カウンタ
64に信号CROSCを与えるノイズキャンセラ202
をさらに含む。他の構成はパワーオンリセット回路56
と同様であり説明は繰返さない。
【0076】図10は、ノイズキャンセラ202の構成
を示す回路図である。図10を参照して、ノイズキャン
セラ202は、信号ROSCを受ける遅延回路203
と、遅延回路203の出力信号DROSCと信号ROS
Cとを受けるNAND回路212と、NAND回路21
2の出力を受けて反転し信号CROSCを出力するイン
バータ214とを含む。
【0077】遅延回路203は、直列に接続される4段
のインバータ204〜210を含む。なお、遅延回路2
03は4段に限らず偶数段の直列に接続されたインバー
タであればよい。このインバータの段数を調節すること
により消去すべきノイズパルスの幅を変化させることが
できる。
【0078】図11は、図10に示したノイズキャンセ
ラ202の動作を説明するための動作波形図である。
【0079】図10、図11を参照して、時刻t1にお
いて信号ROSCがLレベルからHレベルに立上がり、
この立上がりは遅延回路203の遅延時間TD後の時刻
t2において信号DROSCの立上がりとして現われ
る。
【0080】時刻t3における信号ROSCの立下がり
は、同じく遅延時間TD後の時刻t4の信号DROSC
の立下がりとして現われる。したがって、時刻t2〜t
3においてNAND回路212の出力はLレベルとな
り、その反転信号である信号CROSCはHレベルとな
る。このパルス幅は、元のパルス幅よりもTD分狭くな
った信号となっている。
【0081】次に、時刻t5において幅がWのノイズパ
ルスが信号ROSCに発生したとする。すると、このパ
ルスはやはり遅延時間TD遅れて信号DROSCとして
現われる。このとき、幅WがTDよりも小さければ、信
号ROSCのパルスと信号DROSCのパルスに重なり
が生じない。NAND回路212の出力はLレベルにな
らないので、その反転信号である信号CROSCはLレ
ベルの状態を保つ。つまり、遅延時間TDよりも狭いパ
ルス幅Wのノイズが信号ROSCに発生した場合にノイ
ズは消去される。
【0082】以上説明したように、ノイズキャンセラ2
02を用いることにより、細いパルス状のノイズが除去
できる。電源立上げ時には、特にリングオシレータが不
安定なため、多くのノイズが発生するが、このノイズキ
ャンセラ202によってそれらのノイズを打消すことが
できる。このため、カウンタがノイズをカウントしてし
まい所定のリセット時間が確保できずリセットが早期に
解除されて誤動作が生ずるといったような不具合を防止
することができる。
【0083】[実施の形態3]実施の形態1では、カウ
ンタとしてTフリップフロップを直列に接続されたカウ
ンタを用いたが、遅延時間の選択は2のn乗倍で設定さ
れるため、リセット期間の調整を粗くしか行なうことが
できない。したがって、リセット時間が必要以上に長く
なり、内部回路の起動に時間がかかってしまう場合も考
えられる。
【0084】一方、カウンタとしてリングカウンタを採
用すると、シフトレジスタの段数を調整することによ
り、発振器の出力信号のパルスを任意の数だけカウント
してリセット期間を定めることができる。しかしながら
すべてのカウントをシフトレジスタで行なうのでは、面
積が大きくなりすぎてしまう。
【0085】図12は、実施の形態3で用いられるパワ
ーオンリセット回路300の構成を示した回路図であ
る。
【0086】図12を参照して、パワーオンリセット回
路300は、図2に示したパワーオンリセット回路56
の構成において、カウンタ64に代えてカウンタ301
を含む。
【0087】カウンタ301は、信号ROSCを受けて
分周する分周部302と、分周部302が出力する信号
ROSCを受けて計数動作を行ないパワーオンリセット
信号/PORを出力するリングカウンタ305とを含
む。
【0088】図13は、分周部302の構成を示した回
路図である。図13を参照して、分周部302は、信号
ROSCを受けて反転するインバータ303と、信号R
OSCの2分の1の周波数の信号Q1を出力する分周部
304と、信号Q1および信号ROSCに応じて分周動
作を行ない信号/Q2を出力する分周部306と、信号
Q1,/Q2およびインバータ303の出力を受けて信
号QROSCを出力する3入力のNOR回路308とを
含む。
【0089】分周部304は、信号/Q1と信号ROS
Cとを受けるNAND回路312と、信号Q1と信号R
OSCとを受けるNAND回路314と、NAND回路
312の出力を一方の入力に受けるNAND回路316
と、NAND回路316,314の出力を受けるNAN
D回路318とを含む。NAND回路318の出力はN
AND回路316の他方の入力に与えられる。
【0090】分周部304は、さらに、インバータ30
3の出力とNAND回路316の出力とを受けるNAN
D回路322と、インバータ303の出力とNAND回
路318の出力とを受けるNAND回路324と、信号
/Q1とNAND回路322の出力とを受けて信号Q1
を出力するNAND回路326と、信号Q1とNAND
回路324の出力とを受けて信号/Q1を出力するNA
ND回路328とを含む。
【0091】分周部306は、信号/Q2,Q1,RO
SCを受ける3入力のNAND回路332と、信号Q
1,Q2,ROSCを受ける3入力のNAND回路33
4と、NAND回路332の出力を一方の入力に受ける
NAND回路336と、NAND回路336,334の
出力を受けるNAND回路338とを含む。NAND回
路338の出力は、NAND回路336の他方の入力に
与えられる。
【0092】分周部306は、さらに、NAND回路3
36の出力とインバータ303の出力とを受けるNAN
D回路342と、NAND回路338の出力とインバー
タ303の出力とを受けるNAND回路344と、信号
/Q2とNAND回路342の出力とを受けて信号Q2
を出力するNAND回路346と、信号Q2とNAND
回路344の出力とを受けて信号/Q2を出力するNA
ND回路348とを含む。
【0093】図14は、図13に示した分周部302の
動作を説明するための動作波形図である。
【0094】図13、図14を参照して、時刻t1〜t
2において信号QROSCにパルスが現われる。そして
次に信号QROSCにパルスが現われるのは時刻t3〜
t4の間である。分周動作の結果、信号QROSCの周
波数は信号ROSCに対して4分の1の周波数になる。
【0095】図15は、図12におけるリングカウンタ
305の構成を示す回路図である。図15を参照して、
リングカウンタ305は、直列に接続されたDフリップ
フロップ354.1〜354.nと、リセット信号EX
TPORを受けて反転するインバータ352とを含む。
Dフリップフロップ354.1〜354.nは、信号Q
ROSCをクロック信号として受ける。そしてこのクロ
ック信号に同期してデータのシフト動作を行なう。Dフ
リップフロップ354.nまでシフトされたデータはD
フリップフロップ354.1まで再び帰還される。Dフ
リップフロップ354.1はセット付Dフリップフロッ
プであり、インバータ352の出力がLレベルのときに
データがセットされる。
【0096】一方、Dフリップフロップ354.2〜3
43.nはリセット付Dフリップフロップであり、イン
バータ352の出力がLレベルのときにデータがリセッ
トされる。
【0097】図16は、図15におけるDフリップフロ
ップ354.1の構成を示した回路図である。
【0098】図16を参照して、Dフリップフロップ3
54.1は、クロック入力Tを受けて反転し反転クロッ
ク/Tを出力するインバータ362と、反転クロック/
Tの活性化時に入力信号Dが与えられるノードN1とノ
ードN2とを接続するトランスミッションゲート364
と、ノードN2に入力が接続されるインバータ366
と、セット信号/Sとインバータ366の出力とを受け
るNAND回路368と、NAND回路368の出力が
接続されるノードN3とノードN2との間に接続されク
ロック入力Tの活性化時に導通するトランスミッション
ゲート370とを含む。
【0099】Dフリップフロップ354.1は、さら
に、ノードN3とノードN4との間に接続されクロック
入力Tの活性化時に導通するトランスミッションゲート
372と、ノードN4に入力が接続されるインバータ3
74と、セット入力/Sとインバータ374の出力とを
受け出力信号Qを出力するNAND回路376と、NA
ND回路376の出力が接続されるノードN5とノード
N4との間に接続され反転クロック/Tの活性化時に導
通するトランスミッションゲート378とをさらに含
む。
【0100】図17は、Dフリップフロップ354.2
の構成を示した回路図である。図17を参照して、Dフ
リップフロップ354.2は、クロック入力Tを受けて
反転し反転クロック/Tを出力するインバータ382
と、データ入力Dが与えられるノードとノードN12と
の間に接続され反転クロック/Tが活性化時に導通する
トランスミッションゲート384と、一方の入力にはリ
セット信号/Rが与えられ他方の入力はノードN12に
接続されるNAND回路386と、NAND回路386
の出力を受けて反転するインバータ388と、インバー
タ388の出力が与えられるノードN13とノードN1
2との間に接続されクロック入力Tの活性化時に導通す
るトランスミッションゲート390とを含む。
【0101】Dフリップフロップ354.2は、さら
に、ノードN13とノードN14との間に接続されクロ
ック入力Tの活性化時に導通するトランスミッションゲ
ート392と、リセット入力/Rを一方の入力に受け他
方の入力はノードN14に接続されるNAND回路39
4と、NAND回路394の出力を受けて反転し出力Q
を出力するインバータ396と、インバータ396の出
力が接続されるノードN15とノードN14との間に接
続され反転クロック/Tの活性化時に導通するトランス
ミッションゲート398とを含む。
【0102】なお、Dフリップフロップ354.3〜3
54.nの構成は、Dフリップフロップ354.2と同
様であり説明は繰返さない。
【0103】以上説明したように、実施の形態3で用い
られるパワーオンリセット回路では、カウンタのカウン
ト数を2のn乗以外の値に設定でき、リセット解除まで
の時間の調整を細かく行なうことができる。また、分周
部とリングカウンタとを組合せることにより、リングカ
ウンタのみでカウンタを構成した場合と比べて回路面積
の増加を抑えることができる。
【0104】[実施の形態3の変形例]実施の形態3の
変形例では、図13で説明した分周部302に代えて分
周部302Aを用いる。
【0105】図18は、分周部302Aの構成を示した
回路図である。図18を参照して、分周部302Aは、
信号ROSCの活性化に応じてデータがセットされ信号
RESETに応じてリセットされるラッチ回路402
と、ラッチ回路402から出力される信号QROSCの
立上がりに応じて所定のパルス幅のパルスを発生するパ
ルス発生回路404と、パルス発生回路404から出力
される信号OUT1を遅延する遅延回路406と、遅延
回路406の出力する信号OUT2の立上がりに応じて
リセット信号RESETを活性化し、信号OUT2がL
レベルに非活性化された後に信号ROSCが活性化され
るまでリセット信号RESETの活性化を保持する保持
回路408とを含む。
【0106】ラッチ回路402は、信号ZEXTPOR
を受けて反転するインバータ410と、信号ROSCと
信号QROSCとを受けるNOR回路412と、OR回
路412の出力とインバータ410の出力と信号RES
ETとを受けて信号QROSCを出力する3入力のNO
R回路414とを含む。
【0107】なお、信号ZEXTPORは信号EXTP
ORの反転信号である。パルス発生回路404は、信号
QROSCと信号ZEXTPORとを受けるNAND回
路416と、NAND回路416の出力を受ける直列に
接続された複数のインバータ418〜420と、インバ
ータ420の出力と信号QROSCとを受けるNAND
回路422と、NAND回路422の出力を受けて反転
し信号OUT1を出力するインバータ424とを含む。
NAND回路416とインバータ418〜420は、信
号ZEXTPORがHレベルの場合には奇数段のインバ
ータ列となり、この奇数段のインバータ列の遅延量はB
である。
【0108】遅延回路406は、信号OUT1と信号Z
EXTPORとを受けるNAND回路426と、NAN
D回路426の出力を受けて反転するインバータ428
と、インバータ428の出力と信号ZEXTPORとを
受けるNAND回路430と、NAND回路430の出
力を受けて反転し信号OUT2を出力するインバータ4
32とを含む。なお、遅延回路406は、信号ZEXT
PORがHレベルの場合には、偶数段のインバータ列と
なり、このインバータ列の遅延量はAである。遅延量A
を調整するためにインバータ428に直列に複数個のイ
ンバータを挿入してもよい。
【0109】保持回路408は、信号ROSCの活性化
に応じて信号OUTを受けて反転するクロックドインバ
ータ434と、信号ZEXTPORを受けて反転するイ
ンバータ436と、クロックドインバータ434の出力
とインバータ436の出力とを受けるNOR回路438
と、NOR回路438の出力を受けて反転しクロックド
インバータ434の出力ノードにフィードバックするイ
ンバータ440と、NOR回路438の出力と信号OU
T2とを受けるNOR回路442と、NOR回路442
の出力を受けて反転し信号RESETを出力するインバ
ータ444とを含む。
【0110】図19は、図18に示した分周部302A
の動作を説明するための動作波形図である。
【0111】図18、図19を参照して、時刻t0以前
に信号ZEXTPORが一旦Lレベルに設定されて初期
化がなされており、信号ROSC,QROSC,OUT
1,OUT2,RESETはすべてLレベルに設定され
ている。
【0112】時刻t1において信号ROSCがLレベル
からHレベルに立上がると、ラッチ回路402にデータ
がセットされ信号QROSCはLレベルからHレベルに
立上がる。応じて、パルス発生回路404は信号OUT
1をLレベルからHレベルに変化させ、そして時刻t1
から遅延量Bが経過した時刻t2において信号OUT1
をHレベルからLレベルに立下げる。
【0113】時刻t1における信号OUT1の立上がり
は、遅延回路406を経由するので遅延回路406の出
力である信号OUT2は時刻t3においてLレベルから
Hレベルに立上がる。時刻t1〜t3は遅延回路406
の遅延量Aに相当する時間である。
【0114】時刻t3において信号OUT2の立上がり
に応じて信号RESETがLレベルからHレベルに変化
すると、ラッチ回路402がリセットされるので信号Q
ROSCはHレベルからLレベルに立下がる。
【0115】同様に時刻t4において時刻t2における
信号OUT1の立下がりが伝達されて信号OUT2がH
レベルからLレベルに立下がる。
【0116】しかし、信号OUT2が時刻t4において
HレベルからLレベルに変化しても保持回路408が存
在するので信号RESETは直ちに変化することはな
い。
【0117】時刻t5において、保持回路408のクロ
ックドインバータ434が信号ROSCの立上がりに応
じて活性化される。Lレベルとなった信号OUT2がO
R回路438にも伝達されるので、応じて信号RESE
TはHレベルからLレベルに立下がる。そして信号QR
OSCは再びLレベルからHレベルに立上がり時刻t1
〜時刻t5の動作が繰返される。
【0118】図18に示した分周部302Aを用いるこ
とにより、図13に示した分周部302を用いた場合に
比べて回路面積をさらに小さくできる。また、遅延量
A,Bを調整することによって分周の周期を簡単に変え
ることができるという利点もある。
【0119】[実施の形態4]図20は、実施の形態4
で用いられるパワーオンリセット回路400の構成を示
した回路図である。
【0120】図20を参照して、パワーオンリセット回
路400は、図12で示したパワーオンリセット回路3
00の構成に加えてリングオシレータ62とカウンタ3
01との間にノイズキャンセラ202を設ける。ノイズ
キャンセラ202の構成は、図10で説明しているの
で、説明は繰返さない。
【0121】これにより、リングオシレータ62で発生
された信号ROSCにパルス幅の狭いノイズが重畳した
場合にこれを除去した信号CROSCをカウンタ301
に与える。
【0122】実施の形態4のパワーオンリセット回路を
用いることにより、電源立上げ時にノイズによる誤動作
を防止でき、かつ、リセット解除までの時間の調整を回
路面積の増加を抑えつつ実現することができる。
【0123】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【0124】
【発明の効果】請求項1に記載の半導体装置は、内部電
源電位に応じて発振回路が発振し、それを計数回路が計
数してリセット信号が発生されるので、外部電源電位に
対して内部電源電位の立上りが遅い場合であっても、適
切なリセット信号を発生することができる。
【0125】請求項2,3に記載の半導体装置は、請求
項1に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、ノイズ
キャンセル回路によって発振回路の出力に発生するノイ
ズが除去されるので、計数回路が誤動作してリセット時
間が不充分になってしまうことを防止することができ
る。
【0126】請求項4,5に記載の半導体装置は、請求
項1に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、リセッ
ト時間が経過すると発振回路の発振が停止されるので、
不要な消費電流を低減させることができる。
【0127】請求項6に記載の半導体装置は、請求項1
に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、具体的な計
数回路を実現することができる。
【0128】請求項7,8に記載の半導体装置は、請求
項1に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、計数回
路によってリセット時間を調整することが容易に行なえ
る。
【0129】請求項9,10に記載の半導体装置は、請
求項1に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、メモ
リアレイが含まれる複数の内部電源電位を用いる半導体
記憶装置において、確実に内部回路の初期化を行なうこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1の半導体装置1の構成
を示す概略ブロック図である。
【図2】 図1におけるパワーオンリセット回路56の
構成を示す回路図である。
【図3】 図2におけるリングオシレータ62の構成を
示した回路図である。
【図4】 図3に示したリングオシレータ62の動作を
説明するための動作波形図である。
【図5】 図2におけるカウンタ64の構成例の1つを
示した回路図である。
【図6】 図5におけるTフリップフロップ82の構成
を示す回路図である。
【図7】 図5のカウンタ64の動作を説明するための
動作波形図である。
【図8】 実施の形態1におけるパワーオンリセット回
路56の動作を説明するための動作波形図である。
【図9】 パワーオンリセット回路200の構成を示す
回路図である。
【図10】 ノイズキャンセラ202の構成を示す回路
図である。
【図11】 図10に示したノイズキャンセラ202の
動作を説明するための動作波形図である。
【図12】 実施の形態3で用いられるパワーオンリセ
ット回路300の構成を示した回路図である。
【図13】 分周部302の構成を示した回路図であ
る。
【図14】 図13に示した分周部302の動作を説明
するための動作波形図である。
【図15】 図12におけるリングカウンタ305の構
成を示す回路図である。
【図16】 図15におけるDフリップフロップ35
4.1の構成を示した回路図である。
【図17】 Dフリップフロップ354.2の構成を示
した回路図である。
【図18】 分周部302Aの構成を示した回路図であ
る。
【図19】 図18に示した分周部302Aの動作を説
明するための動作波形図である。
【図20】 実施の形態4で用いられるパワーオンリセ
ット回路400の構成を示した回路図である。
【図21】 従来の代表的なパワーオンリセット回路5
02の構成を示した回路図である。
【図22】 パワーオンリセット回路502の動作を説
明するための動作波形図である。
【符号の説明】
1 半導体装置、2,30 内部回路、4 ロウアドレ
スバッファ、5 コラムアドレスバッファ、10 ロウ
デコーダ、12 コラムデコーダ、14 メモリセルア
レイ、16 センスアンプ、18 プリアンプ、19
ライトドライバ、20 出力バッファ、22 データ入
力バッファ、32 /RASバッファ、34 /CAS
バッファ、36 /WEバッファ、38 書込制御回
路、40リフレッシュ制御回路、41 ロウアドレス制
御回路、44 アレイ制御回路、46 読出制御回路、
48 ATD回路、50 内部電源発生回路、54 電
圧降下回路、55 リセット信号発生回路、56,6
0,200,300,400,502 パワーオンリセ
ット回路、58 外部パワーオンリセット回路、62,
64,301 カウンタ、62 リングオシレータ、6
6,74,80,101,204,214,303,3
52,362,366,374,382,388,39
6,508 インバータ、72,92,94,98,1
02〜108,212,312〜348,368,37
6,386,394 NAND回路、82〜88 Tフ
リップフロップ、96 AND回路、100,110,
308NOR回路、202 ノイズキャンセラ、203
遅延回路、302,304,306 分周部、305
リングカウンタ、354.1〜354.n Dフリッ
プフロップ、364,370,372,378,38
4,390,392,398 トランスミッションゲー
ト、504 抵抗、506 キャパシタ、BL ビット
線、I/O 入出力線、MC メモリセル、RDB リ
ードデータバス、WDB 書込データバス、WL ワー
ド線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5J055 AX57 BX41 CX27 GX01 GX02 5M024 AA21 AA51 BB27 BB32 GG01 GG05 GG06 GG12 GG20 PP01 PP02 PP03 PP07

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外部電源電位を受けて第1の内部電源電
    位を発生する第1の電源回路と、 前記第1の内部電源電位の活性化に応じて第1のリセッ
    ト信号を出力する第1のパワーオンリセット回路とを備
    え、 前記第1のパワーオンリセット回路は、 前記第1の内部電源電位の活性化に応じて発振を行なう
    第1の発振回路と、 前記外部電源電位を動作電源電位として受け、前記発振
    回路の出力に応じて計数動作を行ない、計数値が所定値
    に達すると前記第1のリセット信号をリセット状態から
    リセット解除状態に遷移させる第1の計数回路とを含
    む、半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記第1のパワーオンリセット回路は、 前記第1の発振回路の出力を受けて、所定値よりも幅が
    狭いパルスを消去するノイズキャンセル回路をさらに含
    む、請求項1に記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記ノイズキャンセル回路は、 前記発振回路の出力を遅延させる遅延回路と、 前記発振回路の出力と前記遅延回路の出力とを受けるN
    AND回路とを含む、請求項2に記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】 前記第1の発振回路は、前記第1の内部
    電源電位を動作電源電位として受け、 前記第1の発振回路は、 直列に接続された偶数段のインバータと、 入力に前記偶数段のインバータの出力と発振リセット信
    号とを受け、出力に前記偶数段のインバータの入力が接
    続されるNAND回路とを含む、請求項1に記載の半導
    体装置。
  5. 【請求項5】 前記外部電源電位の活性化に応じて前記
    第1の計数回路をリセットする外部パワーオンリセット
    回路をさらに備え、 前記第1のパワーオンリセット回路は、 前記外部パワーオンリセット回路の出力に応じて前記発
    振リセット信号を非活性化し、前記第1のリセット信号
    に応じて前記発振リセット信号を活性化する発振停止制
    御回路をさらに含む、請求項4に記載の半導体装置。
  6. 【請求項6】 前記第1の計数回路は、 前記第1の発振回路の出力を受ける直列に接続された複
    数のTフリップフロップを含む、請求項1に記載の半導
    体装置。
  7. 【請求項7】 前記第1の計数回路は、 前記第1の発振回路の出力を受けて信号の周波数を2の
    n乗の分の1にする分周動作を行なう第1の計数部と、 前記第1の計数部の出力に応じて計数動作を行なう第2
    の計数部とを含む、請求項1に記載の半導体装置。
  8. 【請求項8】 前記第2の計数部は、 環状に接続され、前記第1の計数部の出力に応じてシフ
    ト動作を行なう複数のDフリップフロップを含む、請求
    項7に記載の半導体装置。
  9. 【請求項9】 前記第1の内部電源電位を動作電源電位
    として受け、前記第1のリセット信号に応じてリセット
    される第1の内部回路をさらに備え、 前記第1の内部回路は、外部から与えられるデータの保
    持を行なうメモリアレイを含む、請求項1に記載の半導
    体装置。
  10. 【請求項10】 外部電源電位を受けて第2の内部電源
    電位を発生する第2の電源回路と、 前記第2の内部電源電位の活性化に応じて第2のリセッ
    ト信号を出力する第2のパワーオンリセット回路とを備
    え、 前記第2のパワーオンリセット回路は、 前記第2の内部電源電位の活性化に応じて発振を行なう
    第2の発振回路と、 前記外部電源電位を動作電源電位として受け、前記第2
    の発振回路の出力に応じて計数動作を行ない、計数値が
    所定値に達すると前記第2のリセット信号を出力する第
    2の計数回路とを含み、 前記第2の内部電源電位を動作電源電位として受け、前
    記第2のリセット信号に応じてリセットされる第2の内
    部回路をさらに備え、 前記第2の内部回路は、外部から制御信号を受けて、前
    記メモリアレイに対するタイミング制御を行なう制御回
    路を含む、請求項9に記載の半導体装置。
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