JP2003215183A - ７ポート型コリレータとその校正方法および７ポート型コリレータを用いたベクトル・ネットワーク・アナライザ装置 - Google Patents
７ポート型コリレータとその校正方法および７ポート型コリレータを用いたベクトル・ネットワーク・アナライザ装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 超高周波領域および光領域における高精度か
つ簡易な位相測定方式である６ポート型コリレータの欠
点（２つの波ａ１，ａ２の複素振幅比Ｗ＝ａ２／ａ１を
求める際、｜ａ１｜＜｜ａ２｜のときに測定精度が悪く
なる）を解消させる。 【解決手段】 ａ１の振幅値をモニターするポート（基
準ポート）に加え、ａ２の基準ポートを追加することに
より、６ポート型コリレータが２組あるように構成した
７ポート型コリレータを設け、複素振幅比を｜ａ１｜≧
｜ａ２｜のときはＷ＝ａ２／ａ１を、｜ａ１｜＜｜ａ２
｜のときはＷ−１＝ａ１／ａ２を求めることにより、常
に単位円内に拘束させて高精度な測定を実現する。
つ簡易な位相測定方式である６ポート型コリレータの欠
点（２つの波ａ１，ａ２の複素振幅比Ｗ＝ａ２／ａ１を
求める際、｜ａ１｜＜｜ａ２｜のときに測定精度が悪く
なる）を解消させる。 【解決手段】 ａ１の振幅値をモニターするポート（基
準ポート）に加え、ａ２の基準ポートを追加することに
より、６ポート型コリレータが２組あるように構成した
７ポート型コリレータを設け、複素振幅比を｜ａ１｜≧
｜ａ２｜のときはＷ＝ａ２／ａ１を、｜ａ１｜＜｜ａ２
｜のときはＷ−１＝ａ１／ａ２を求めることにより、常
に単位円内に拘束させて高精度な測定を実現する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高周波領域（特
に、マイクロ波帯、ミリ波帯、サブミリ波帯）や光領域
（赤外線、可視光線、紫外線）などにおける、位相測定
技術に関する。
に、マイクロ波帯、ミリ波帯、サブミリ波帯）や光領域
（赤外線、可視光線、紫外線）などにおける、位相測定
技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】高周波領域におけるデバイス、回路や機
器の研究・開発にとって、位相差を測定することは不可
欠なことである。従来からＶＮＡ（Vector Network Ana
lyzer：ベクトル・ネットワーク・アナライザ）がその
役割を果たしてきた。ＶＮＡは、ＤＵＴ（Device Under
Test：被測定デバイス）の入射波と反射波、または入
射波と透過波の振幅比と位相差（Ｓパラメータ：散乱行
列要素）を測定するための装置であり、図４に従来型Ｖ
ＮＡの構成を示す。
器の研究・開発にとって、位相差を測定することは不可
欠なことである。従来からＶＮＡ（Vector Network Ana
lyzer：ベクトル・ネットワーク・アナライザ）がその
役割を果たしてきた。ＶＮＡは、ＤＵＴ（Device Under
Test：被測定デバイス）の入射波と反射波、または入
射波と透過波の振幅比と位相差（Ｓパラメータ：散乱行
列要素）を測定するための装置であり、図４に従来型Ｖ
ＮＡの構成を示す。
【０００３】従来型ＶＮＡは、中核部分が局部発振器と
ミクサから成るＰＬＬ(Phase-Locked Loop)回路を用い
たヘテロダイン計測方式で構成されている。また、一般
にＶＮＡは１ポートまたは２ポートＤＵＴ測定用の、ス
イッチ回路と方向性結合器（テストセット）を装備して
いる。
ミクサから成るＰＬＬ(Phase-Locked Loop)回路を用い
たヘテロダイン計測方式で構成されている。また、一般
にＶＮＡは１ポートまたは２ポートＤＵＴ測定用の、ス
イッチ回路と方向性結合器（テストセット）を装備して
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来型ＶＮＡの測定精
度は、その構成上、位相検出器を含む装置を構成する個
々の部品の精度と確度に大きく依存する。また、ＶＮＡ
を従来方式で構成している限り、測定周波数が高くなる
に従って局部発振器とミクサの段数が増えるために、装
置は複雑になることは避けられず、価格が著しく上昇す
る問題がある。さらに、上記の理由により、周波数が高
くなるに従って高精度測定が困難になり、現在のとこ
ろ、従来の方式では２００ＧＨｚ（自由空間で波長が約
１．５ｍｍ）程度が限界であると考えられており、今や
測定限界周波数に限りなく近づいている。そして、これ
らの問題は、未踏周波数領域であるサブミリ波や光領域
のデバイス、回路や装置の研究・開発にとって大きな障
害となっている。
度は、その構成上、位相検出器を含む装置を構成する個
々の部品の精度と確度に大きく依存する。また、ＶＮＡ
を従来方式で構成している限り、測定周波数が高くなる
に従って局部発振器とミクサの段数が増えるために、装
置は複雑になることは避けられず、価格が著しく上昇す
る問題がある。さらに、上記の理由により、周波数が高
くなるに従って高精度測定が困難になり、現在のとこ
ろ、従来の方式では２００ＧＨｚ（自由空間で波長が約
１．５ｍｍ）程度が限界であると考えられており、今や
測定限界周波数に限りなく近づいている。そして、これ
らの問題は、未踏周波数領域であるサブミリ波や光領域
のデバイス、回路や装置の研究・開発にとって大きな障
害となっている。
【０００５】１９７０年代、米国電気標準局（現ＮＩＳ
Ｔ）のＧ.Ｆ.Engenが、図５に示す６ポート型リフレク
トメータ（Six-Port Reflectometer）を考案した。この
方式は、従来方式では周波数が高くなるに従って高精度
な測定が困難となる位相差を、電磁波計測において基本
測定量であり、かつ、計測精度が周波数に殆ど依存しな
い、電力値というスカラー量の計測を基に求めることが
できる。即ち、従来の高精度なハードウェアの要請から
開放され、４つの電力測定と、ハードウェアの不完全さ
を校正と呼ばれるソフトウェア（システムパラメータ）
で補正することが特徴である。
Ｔ）のＧ.Ｆ.Engenが、図５に示す６ポート型リフレク
トメータ（Six-Port Reflectometer）を考案した。この
方式は、従来方式では周波数が高くなるに従って高精度
な測定が困難となる位相差を、電磁波計測において基本
測定量であり、かつ、計測精度が周波数に殆ど依存しな
い、電力値というスカラー量の計測を基に求めることが
できる。即ち、従来の高精度なハードウェアの要請から
開放され、４つの電力測定と、ハードウェアの不完全さ
を校正と呼ばれるソフトウェア（システムパラメータ）
で補正することが特徴である。
【０００６】本願出願人は、６ポート型リフレクトメー
タを１個の複素反射係数未知の可動負荷校正器と、１個
の複素反射係数既知の標準器のみで高精度に校正できる
方式を考案した。さらに、上記方式を発展させて６ポー
ト型コリレータ（Six-Port based Wave-Correlator）を
考案した。６ポート型コリレータの回路構成は図６に示
す通りであり、その機能を簡単に説明すると次の通りで
ある。図６に示すＱｎは、図７に示す９０°ハイブリッ
ドであって、入力された波ａ，ｂに対し、それぞれｃ，
ｄが（１−１）、（１−２）式に示す波を出力する回路
である。
タを１個の複素反射係数未知の可動負荷校正器と、１個
の複素反射係数既知の標準器のみで高精度に校正できる
方式を考案した。さらに、上記方式を発展させて６ポー
ト型コリレータ（Six-Port based Wave-Correlator）を
考案した。６ポート型コリレータの回路構成は図６に示
す通りであり、その機能を簡単に説明すると次の通りで
ある。図６に示すＱｎは、図７に示す９０°ハイブリッ
ドであって、入力された波ａ，ｂに対し、それぞれｃ，
ｄが（１−１）、（１−２）式に示す波を出力する回路
である。
【数１】
６ポート型コリレータは、それぞれ２つの入力ポート１
と入力ポート２に入力された波ａ１，ａ２の複素振幅比
Ｗ＝ａ２／ａ１を、残り４つのポートの電力値Ｐ ３〜Ｐ
６から算出することができるように構成してある。ま
た、基準ポート３に対する各ポートの電力比３Ｐｉ＝Ｐ
ｉ／Ｐ３は次式のように記述できる。
と入力ポート２に入力された波ａ１，ａ２の複素振幅比
Ｗ＝ａ２／ａ１を、残り４つのポートの電力値Ｐ ３〜Ｐ
６から算出することができるように構成してある。ま
た、基準ポート３に対する各ポートの電力比３Ｐｉ＝Ｐ
ｉ／Ｐ３は次式のように記述できる。
【数２】
ここで、３Ｔｉ，ｔｉは、６ポート型コリレータの回路
構成と周波数に依存するシステムパラメータで、３個の
実数量３Ｔ４，３Ｔ５，３Ｔ６と、４個の複素量（８個
の実数）ｔ３，ｔ４，ｔ５，ｔ６の、合わせて１１個の
実数から成る。複素振幅比Ｗは、複素平面上で３つのポ
ート電力比と、システムパラメータで決定される３つの
円の交点として得られる。円の中心は、システムパラメ
ータのみによって決定され、円の半径はシステムパラメ
ータとａ１，ａ２の振幅比によって決定される。理論的
には３つの円の交点は１点で交わる。６ポート型コリレ
ータにより、従来の６ポート型リフレクトメータでは不
可能であった２つの波の情報を全て計測に使用でき、か
つ、校正操作が移相器（PhaseShifter）の任意の位置か
ら１周期分動かしながら、各ステップにおける電力値Ｐ
３〜Ｐ６を求める操作のみで済むようになるため、校正
精度が向上した。
構成と周波数に依存するシステムパラメータで、３個の
実数量３Ｔ４，３Ｔ５，３Ｔ６と、４個の複素量（８個
の実数）ｔ３，ｔ４，ｔ５，ｔ６の、合わせて１１個の
実数から成る。複素振幅比Ｗは、複素平面上で３つのポ
ート電力比と、システムパラメータで決定される３つの
円の交点として得られる。円の中心は、システムパラメ
ータのみによって決定され、円の半径はシステムパラメ
ータとａ１，ａ２の振幅比によって決定される。理論的
には３つの円の交点は１点で交わる。６ポート型コリレ
ータにより、従来の６ポート型リフレクトメータでは不
可能であった２つの波の情報を全て計測に使用でき、か
つ、校正操作が移相器（PhaseShifter）の任意の位置か
ら１周期分動かしながら、各ステップにおける電力値Ｐ
３〜Ｐ６を求める操作のみで済むようになるため、校正
精度が向上した。
【０００７】
【課題を解決するための手段】しかし乍ら、実際の計測
では、ａ２の振幅がａ１の振幅より大きくなる（｜ａ １
｜＜｜ａ２｜）と、複素平面上で複素振幅比Ｗが３つの
円の中心を頂点とする三角形の外側となり、三角形重心
より遠くになるに従って（｜Ｗ｜＞＞１）測定精度が悪
くなる問題がある。一般に３つの円は、電力計測の誤差
などのために１点で交わらない。３つの円が交わる範囲
が広くなるほど、測定精度が悪くなる。複素振幅比Ｗが
三角形の内側に収まる場合（｜ａ１｜≧｜ａ２｜）は、
３つの円が交わる範囲は小さいため精度は良いが、外側
にある場合（｜ａ１｜＜｜ａ２｜）は、内側に収まる場
合に比べて３つの円が交わる範囲が広くなるため、精度
が悪くなる。
では、ａ２の振幅がａ１の振幅より大きくなる（｜ａ １
｜＜｜ａ２｜）と、複素平面上で複素振幅比Ｗが３つの
円の中心を頂点とする三角形の外側となり、三角形重心
より遠くになるに従って（｜Ｗ｜＞＞１）測定精度が悪
くなる問題がある。一般に３つの円は、電力計測の誤差
などのために１点で交わらない。３つの円が交わる範囲
が広くなるほど、測定精度が悪くなる。複素振幅比Ｗが
三角形の内側に収まる場合（｜ａ１｜≧｜ａ２｜）は、
３つの円が交わる範囲は小さいため精度は良いが、外側
にある場合（｜ａ１｜＜｜ａ２｜）は、内側に収まる場
合に比べて３つの円が交わる範囲が広くなるため、精度
が悪くなる。
【０００８】本発明に係る７ポート型コリレータ（Seve
n-Port based Wave-Correlator）は、上述した従来技術
の欠点を解消するためになされたものであって、それぞ
れａ １のみに依存するポートと、ａ２のみに依存するポ
ートを設け、ａ１，ａ２の振幅を比較することにより、
複素振幅比Ｗが複素平面上で常に単位円内に拘束できる
手段を備えるようにしたものである。
n-Port based Wave-Correlator）は、上述した従来技術
の欠点を解消するためになされたものであって、それぞ
れａ １のみに依存するポートと、ａ２のみに依存するポ
ートを設け、ａ１，ａ２の振幅を比較することにより、
複素振幅比Ｗが複素平面上で常に単位円内に拘束できる
手段を備えるようにしたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照しながら説明する。図１は、本発明に係る７ポート
型コリレータの構成図であって、１１，１２，１３は無
反射終端を示し、２１，２２，２３，２４，２５は９０
°ハイブリッドを示す。図６に示す６ポート型コリレー
タが１つの波ａ１の基準ポート３のみを設定しているの
に対し、図１の７ポート型コリレータはａ２の基準ポー
ト４を追加した構成になっている。これにより、それぞ
れａ１，ａ２の基準ポート３，４を設定することがで
き、常に２つの振幅比を１以下に拘束することができ
る。即ち、｜ａ１｜≧｜ａ２｜のときはＷ＝ａ２／ａ１
を計測し、｜ａ１｜＜｜ａ２｜のときはＷ−１＝ａ１／
ａ２を計測すればよい。この方法は、基準ポートを２つ
にしたことにより、他の３つの電力計測ポート５，６，
７を共有する２組の６ポート型コリレータを７ポート型
コリレータで実現したと言える。また、｜ａ１｜，｜ａ
２｜の振幅比も容易に測定することができる。７ポート
型コリレータは、６ポート型コリレータと同様に、ハー
ドウェアの不完全さは校正で得られるシステムパラメー
タで補正するので、主要構成部品は必ずしも精密である
必要はなく、汎用の部品でよい。
参照しながら説明する。図１は、本発明に係る７ポート
型コリレータの構成図であって、１１，１２，１３は無
反射終端を示し、２１，２２，２３，２４，２５は９０
°ハイブリッドを示す。図６に示す６ポート型コリレー
タが１つの波ａ１の基準ポート３のみを設定しているの
に対し、図１の７ポート型コリレータはａ２の基準ポー
ト４を追加した構成になっている。これにより、それぞ
れａ１，ａ２の基準ポート３，４を設定することがで
き、常に２つの振幅比を１以下に拘束することができ
る。即ち、｜ａ１｜≧｜ａ２｜のときはＷ＝ａ２／ａ１
を計測し、｜ａ１｜＜｜ａ２｜のときはＷ−１＝ａ１／
ａ２を計測すればよい。この方法は、基準ポートを２つ
にしたことにより、他の３つの電力計測ポート５，６，
７を共有する２組の６ポート型コリレータを７ポート型
コリレータで実現したと言える。また、｜ａ１｜，｜ａ
２｜の振幅比も容易に測定することができる。７ポート
型コリレータは、６ポート型コリレータと同様に、ハー
ドウェアの不完全さは校正で得られるシステムパラメー
タで補正するので、主要構成部品は必ずしも精密である
必要はなく、汎用の部品でよい。
【００１０】７ポート型コリレータの校正方法は、本願
出願人が考案した６ポート型コリレータの校正方法（移
相器を任意の位置から１周期分動かす）に基づいて、Ｗ
とＷ −１を計測するための２組のシステムパラメータを
一度に導出することができる。図２は７ポート型コリレ
ータを校正する場合の説明図である。発振源３１が発生
する波は、電力分配器３２に入力して２方向に分配され
る。７ポート接合３４のポート１には電力分配器３２か
ら分配された波ａ１が直接入力するように、ポート２に
は移相器３３を介して電力分配器３２から分配される波
ａ２が入力するように構成してある。ポート３〜７は電
力計測ポートであって、ポート１またはポート２から入
力した波ａ１またはａ２に対応した電力値を計測する。
移相器３３を任意の位置から１周期分動かしながら、そ
れぞれのステップにおける入力波ａ１およびａ２に対応
する電力値を電力計測ポート３〜７において計測する。
７ポート型コリレータの構成は、６ポート型コリレータ
が２組あると考えることができ、それぞれ基準ポート３
から見たときのシステムパラメータを３Ｔ５， ３Ｔ６，
３Ｔ７，ｔ３，ｔ５，ｔ６，ｔ７とし、基準ポート４か
ら見たときのシステムパラメータを４Ｔ´５，４Ｔ
´６，４Ｔ´７，ｔ´４，ｔ´５，ｔ´６，ｔ´７とし
て、これら２２個を一度の校正操作で同時に求めること
ができる。
出願人が考案した６ポート型コリレータの校正方法（移
相器を任意の位置から１周期分動かす）に基づいて、Ｗ
とＷ −１を計測するための２組のシステムパラメータを
一度に導出することができる。図２は７ポート型コリレ
ータを校正する場合の説明図である。発振源３１が発生
する波は、電力分配器３２に入力して２方向に分配され
る。７ポート接合３４のポート１には電力分配器３２か
ら分配された波ａ１が直接入力するように、ポート２に
は移相器３３を介して電力分配器３２から分配される波
ａ２が入力するように構成してある。ポート３〜７は電
力計測ポートであって、ポート１またはポート２から入
力した波ａ１またはａ２に対応した電力値を計測する。
移相器３３を任意の位置から１周期分動かしながら、そ
れぞれのステップにおける入力波ａ１およびａ２に対応
する電力値を電力計測ポート３〜７において計測する。
７ポート型コリレータの構成は、６ポート型コリレータ
が２組あると考えることができ、それぞれ基準ポート３
から見たときのシステムパラメータを３Ｔ５， ３Ｔ６，
３Ｔ７，ｔ３，ｔ５，ｔ６，ｔ７とし、基準ポート４か
ら見たときのシステムパラメータを４Ｔ´５，４Ｔ
´６，４Ｔ´７，ｔ´４，ｔ´５，ｔ´６，ｔ´７とし
て、これら２２個を一度の校正操作で同時に求めること
ができる。
【００１１】また、７ポート型コリレータに、発振源、
テストセット、電力計測装置、マイクロコンピュータを
加えることで、簡単、高精度かつ安価にＶＮＡを実現す
ることができる。図３は、７ポート型ＶＮＡの構成図で
ある。例えば、システムパラメータのうちＳ１２（＝ｂ
１／ａ２｜ａ１＝０）を求める場合、予めテストセット
のシステムパラメータを求めておき、スイッチは図３に
示す状態で、Ｗ（＝ｂ´１／ａ´２）を計測することに
より求めることができる。
テストセット、電力計測装置、マイクロコンピュータを
加えることで、簡単、高精度かつ安価にＶＮＡを実現す
ることができる。図３は、７ポート型ＶＮＡの構成図で
ある。例えば、システムパラメータのうちＳ１２（＝ｂ
１／ａ２｜ａ１＝０）を求める場合、予めテストセット
のシステムパラメータを求めておき、スイッチは図３に
示す状態で、Ｗ（＝ｂ´１／ａ´２）を計測することに
より求めることができる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による７ポ
ート型コリレータとその校正方法および７ポート型コリ
レータを用いたベクトル・ネットワーク・アナライザ装
置は、それぞれａ１，ａ２の基準ポート３，４を設け、
２つの波の複素振幅比を複素平面上で常に単位円に拘束
することにより、高精度測定を可能にする。また、７ポ
ート型コリレータを用いることにより、従来方式に比べ
簡単かつ安価に高精度なＶＮＡを実現できる。
ート型コリレータとその校正方法および７ポート型コリ
レータを用いたベクトル・ネットワーク・アナライザ装
置は、それぞれａ１，ａ２の基準ポート３，４を設け、
２つの波の複素振幅比を複素平面上で常に単位円に拘束
することにより、高精度測定を可能にする。また、７ポ
ート型コリレータを用いることにより、従来方式に比べ
簡単かつ安価に高精度なＶＮＡを実現できる。
【図１】本発明に係る７ポート型コリレータの構成図。
【図２】本発明に係る７ポート型コリレータの校正時の
構成図。
構成図。
【図３】７ポート型ＶＮＡの構成図。
【図４】従来型ＶＮＡの構成図。
【図５】６ポート型リフレクトメータの構成図。
【図６】６ポート型コリレータの構成図。
【図７】９０°ハイブリッドの説明図。
１，２ 入力ポート
３〜７ 電力計測ポート
１１〜１３ 無反射終端
２１〜２５ ９０°ハイブリッド
３１ 発振源
３２ 電力分配器
３３ 移相器
３４ ７ポート接合
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 高橋 圭
東京都八王子市元本郷町１丁目９番９号
中央電子株式会社内
Ｆターム(参考） 2G028 AA01 BD01 CG19 FK10
2G030 AA01 AD00 AD08 AG07
Claims (4)
- 【請求項１】 ポート１とポート２より成る２つの入力
ポートと、残り５つのポートを電力計測ポートとして構
成した７ポート型コリレータであって、 入力ポート１にのみ依存する電力計測ポート３と、入力
ポート２にのみ依存する電力計測ポート４を持ち、入力
ポート１と入力ポート２の電力比によって計測の基準ポ
ートをポート３またはポート４に切り替え、入力ポート
１と入力ポート２に入力した２つの波ａ１とａ２の複素
振幅比を求めることを特徴とする７ポート型コリレー
タ。 - 【請求項２】 ２つの入力ポート（ポート１とポート
２）と、残りのポートが電力計測ポート（それぞれポー
ト３〜７）より成る入力ポート１と入力ポート２に入力
した２つの波ａ１とａ２の複素振幅比を測定するコリレ
ータであって、 ポート１から見た場合は、ポート１にのみ依存する電力
計測ポート３とポート５〜７を持つ組と、ポート２から
見た場合はポート２にのみ依存する電力計測ポート４と
ポート５〜７を持つ組の、ポート５〜７を共有する２組
の６ポート型コリレータを持ち、入力ポート１と入力ポ
ート２の電力比によって、計測の基準ポートをポート３
またはポート４に切り替えることを特徴とする７ポート
型コリレータ。 - 【請求項３】 発振源からの波を２方向に分配する電力
分配器を設け、前記電力分配器から分配される波ａ１を
入力するポート１と、移相器を介して前記電力分配器か
ら分配される波ａ２を入力するポート２を備えた７ポー
ト型コリレータにおいて、 前記移相器を任意の位置から一周期分動かしながら、そ
れぞれのステップにおける電力計測ポート３〜７に入力
した電力値を求めておき、ポート１に入力した波ａ１の
場合はポート３を基準ポートとしてシステムパラメータ
（校正定数）を求め、ポート２に入力した波ａ２の場合
はポート４を基準ポートとしてシステムパラメータ（校
正定数）を求めるようにしたことを特徴とする請求項１
または請求項２に記載の７ポート型コリレータの校正方
法。 - 【請求項４】 請求項１または請求項２に記載の７ポー
ト型コリレータに、発振源、テストセット、電力計測装
置、およびマイクロコンピュータを設けて構成したこと
を特徴とする７ポート型コリレータを用いたベクトル・
ネットワーク・アナライザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002010352A JP3540797B2 (ja) | 2002-01-18 | 2002-01-18 | ７ポート型コリレータとその校正方法および７ポート型コリレータを用いたベクトル・ネットワーク・アナライザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002010352A JP3540797B2 (ja) | 2002-01-18 | 2002-01-18 | ７ポート型コリレータとその校正方法および７ポート型コリレータを用いたベクトル・ネットワーク・アナライザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003215183A true JP2003215183A (ja) | 2003-07-30 |
| JP3540797B2 JP3540797B2 (ja) | 2004-07-07 |
Family
ID=27648118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002010352A Expired - Lifetime JP3540797B2 (ja) | 2002-01-18 | 2002-01-18 | ７ポート型コリレータとその校正方法および７ポート型コリレータを用いたベクトル・ネットワーク・アナライザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3540797B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005228727A (ja) * | 2003-04-24 | 2005-08-25 | Tokyo Electron Ltd | プラズマモニタリング方法、プラズマモニタリング装置及びプラズマ処理装置 |
| WO2007029495A1 (ja) * | 2005-09-01 | 2007-03-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 被検体の散乱係数の測定方法および測定装置 |
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| JP2009068932A (ja) * | 2007-09-12 | 2009-04-02 | Campus Create Co Ltd | 線形マルチポートのシステムパラメータの測定方法及び装置、ベクトルネットワークアナライザを用いた測定方法並びにプログラム |
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