JP3540797B2 - 7ポート型コリレータとその校正方法および7ポート型コリレータを用いたベクトル・ネットワーク・アナライザ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、高周波領域(特に、マイクロ波帯、ミリ波帯、サブミリ波帯)や光領域(赤外線、可視光線、紫外線)などにおける、位相測定技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
高周波領域におけるデバイス、回路や機器の研究・開発にとって、位相差を測定することは不可欠なことである。
従来からVNA(Vector Network Analyzer:ベクトル・ネットワーク・アナライザ)がその役割を果たしてきた。
VNAは、DUT(Device Under Test:被測定デバイス)の入射波と反射波、または入射波と透過波の振幅比と位相差(Sパラメータ:散乱行列要素)を測定するための装置であり、図4に従来型VNAの構成を示す。
【0003】
従来型VNAは、中核部分が局部発振器とミクサから成るPLL(Phase-Locked Loop)回路を用いたヘテロダイン計測方式で構成されている。
また、一般にVNAは1ポートまたは2ポートDUT測定用の、スイッチ回路と方向性結合器(テストセット)を装備している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来型VNAの測定精度は、その構成上、位相検出器を含む装置を構成する個々の部品の精度と確度に大きく依存する。
また、VNAを従来方式で構成している限り、測定周波数が高くなるに従って局部発振器とミクサの段数が増えるために、装置は複雑になることは避けられず、価格が著しく上昇する問題がある。
さらに、上記の理由により、周波数が高くなるに従って高精度測定が困難になり、現在のところ、従来の方式では200GHz(自由空間で波長が約1.5mm)程度が限界であると考えられており、今や測定限界周波数に限りなく近づいている。
そして、これらの問題は、未踏周波数領域であるサブミリ波や光領域のデバイス、回路や装置の研究・開発にとって大きな障害となっている。
【0005】
1970年代、米国電気標準局(現NIST)のG.F.Engenが、図5に示す6ポート型リフレクトメータ(Six-Port Reflectometer)を考案した。
この方式は、従来方式では周波数が高くなるに従って高精度な測定が困難となる位相差を、電磁波計測において基本測定量であり、かつ、計測精度が周波数に殆ど依存しない、電力値というスカラー量の計測を基に求めることができる。
即ち、従来の高精度なハードウェアの要請から開放され、4つの電力測定と、ハードウェアの不完全さを校正と呼ばれるソフトウェア(システムパラメータ)で補正することが特徴である。
【0006】
本願出願人は、6ポート型リフレクトメータを1個の複素反射係数未知の可動負荷校正器と、1個の複素反射係数既知の標準器のみで高精度に校正できる方式を考案した。
さらに、上記方式を発展させて6ポート型コリレータ(Six-Port based Wave-Correlator)を考案した。
6ポート型コリレータの回路構成は図6に示す通りであり、その機能を簡単に説明すると次の通りである。
図6に示すQnは、図7に示す90°ハイブリッドであって、入力された波a,bに対し、それぞれc,dが(1−1)、(1−2)式に示す波を出力する回路である。
【数1】
6ポート型コリレータは、それぞれ2つの入力ポート1と入力ポート2に入力された波a1,a2の複素振幅比W=a2/a1を、残り4つのポートの電力値P3〜P6から算出することができるように構成してある。
また、基準ポート3に対する各ポートの電力比3Pi=Pi/P3は次式のように記述できる。
【数2】
ここで、3Ti,tiは、6ポート型コリレータの回路構成と周波数に依存するシステムパラメータで、3個の実数量3T4,3T5,3T6と、4個の複素量(8個の実数)t3,t4,t5,t6の、合わせて11個の実数から成る。
複素振幅比Wは、複素平面上で3つのポート電力比と、システムパラメータで決定される3つの円の交点として得られる。
円の中心は、システムパラメータのみによって決定され、円の半径はシステムパラメータとa1,a2の振幅比によって決定される。理論的には3つの円の交点は1点で交わる。
6ポート型コリレータにより、従来の6ポート型リフレクトメータでは不可能であった2つの波の情報を全て計測に使用でき、かつ、校正操作が移相器(Phase Shifter)の任意の位置から1周期分動かしながら、各ステップにおける電力値P3〜P6を求める操作のみで済むようになるため、校正精度が向上した。
【0007】
【課題を解決するための手段】
しかし乍ら、実際の計測では、a2の振幅がa1の振幅より大きくなる(|a1|<|a2|)と、複素平面上で複素振幅比Wが3つの円の中心を頂点とする三角形の外側となり、三角形重心より遠くになるに従って(|W|>>1)測定精度が悪くなる問題がある。
一般に3つの円は、電力計測の誤差などのために1点で交わらない。3つの円が交わる範囲が広くなるほど、測定精度が悪くなる。
複素振幅比Wが三角形の内側に収まる場合(|a1|≧|a2|)は、3つの円が交わる範囲は小さいため精度は良いが、外側にある場合(|a1|<|a2|)は、内側に収まる場合に比べて3つの円が交わる範囲が広くなるため、精度が悪くなる。
【0008】
本発明に係る7ポート型コリレータ(Seven-Port based Wave-Correlator)は、上述した従来技術の欠点を解消するためになされたものであって、それぞれa1のみに依存するポートと、a2のみに依存するポートを設け、a1,a2の振幅を比較することにより、複素振幅比Wが複素平面上で常に単位円内に拘束できる手段を備えるようにしたものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明に係る7ポート型コリレータの構成図であって、11,12,13は無反射終端を示し、21,22,23,24,25は90°ハイブリッドを示す。
図6に示す6ポート型コリレータが1つの波a1の基準ポート3のみを設定しているのに対し、図1の7ポート型コリレータはa2の基準ポート4を追加した構成になっている。
これにより、それぞれa1,a2の基準ポート3,4を設定することができ、常に2つの振幅比を1以下に拘束することができる。
即ち、|a1|≧|a2|のときはW=a2/a1を計測し、|a1|<|a2|のときはW−1=a1/a2を計測すればよい。
この方法は、基準ポートを2つにしたことにより、他の3つの電力計測ポート5,6,7を共有する2組の6ポート型コリレータを7ポート型コリレータで実現したと言える。
また、|a1|,|a2|の振幅比も容易に測定することができる。
7ポート型コリレータは、6ポート型コリレータと同様に、ハードウェアの不完全さは校正で得られるシステムパラメータで補正するので、主要構成部品は必ずしも精密である必要はなく、汎用の部品でよい。
【0010】
7ポート型コリレータの校正方法は、本願出願人が考案した6ポート型コリレータの校正方法(移相器を任意の位置から1周期分動かす)に基づいて、WとW−1を計測するための2組のシステムパラメータを一度に導出することができる。
図2は7ポート型コリレータを校正する場合の説明図である。
発振源31が発生する波は、電力分配器32に入力して2方向に分配される。7ポート接合34のポート1には電力分配器32から分配された波a1が直接入力するように、ポート2には移相器33を介して電力分配器32から分配される波a2が入力するように構成してある。
ポート3〜7は電力計測ポートであって、ポート1またはポート2から入力した波a1またはa2に対応した電力値を計測する。
移相器33を任意の位置から1周期分動かしながら、それぞれのステップにおける入力波a1およびa2に対応する電力値を電力計測ポート3〜7において計測する。
7ポート型コリレータの構成は、6ポート型コリレータが2組あると考えることができ、それぞれ基準ポート3から見たときのシステムパラメータを3T5,3T6,3T7,t3,t5,t6,t7とし、基準ポート4から見たときのシステムパラメータを4T´5,4T´6,4T´7,t´4,t´5,t´6,t´7として、これら22個を一度の校正操作で同時に求めることができる。
【0011】
また、7ポート型コリレータに、発振源、テストセット、電力計測装置、マイクロコンピュータを加えることで、簡単、高精度かつ安価にVNAを実現することができる。
図3は、7ポート型VNAの構成図である。
例えば、システムパラメータのうちS12(=b1/a2|a1=0)を求める場合、予めテストセットのシステムパラメータを求めておき、スイッチは図3に示す状態で、W(=b´1/a´2)を計測することにより求めることができる。
【0012】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明による7ポート型コリレータとその校正方法および7ポート型コリレータを用いたベクトル・ネットワーク・アナライザ装置は、それぞれa1,a2の基準ポート3,4を設け、2つの波の複素振幅比を複素平面上で常に単位円に拘束することにより、高精度測定を可能にする。
また、7ポート型コリレータを用いることにより、従来方式に比べ簡単かつ安価に高精度なVNAを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る7ポート型コリレータの構成図。
【図2】本発明に係る7ポート型コリレータの校正時の構成図。
【図3】7ポート型VNAの構成図。
【図4】従来型VNAの構成図。
【図5】6ポート型リフレクトメータの構成図。
【図6】6ポート型コリレータの構成図。
【図7】90°ハイブリッドの説明図。
【符号の説明】
1,2 入力ポート
3〜7 電力計測ポート
11〜13 無反射終端
21〜25 90°ハイブリッド
31 発振源
32 電力分配器
33 移相器
34 7ポート接合
Claims (4)
- ポート1とポート2より成る2つの入力ポートと、残り5つのポートを電力計測ポートとして構成した7ポート型コリレータであって、
入力ポート1にのみ依存する電力計測ポート3と、入力ポート2にのみ依存する電力計測ポート4を持ち、入力ポート1と入力ポート2の電力比によって計測の基準ポートをポート3またはポート4に切り替え、入力ポート1と入力ポート2に入力した2つの波a1とa2の複素振幅比を求めることを特徴とする7ポート型コリレータ。 - 2つの入力ポート(ポート1とポート2)と、残りのポートが電力計測ポート(それぞれポート3〜7)より成る入力ポート1と入力ポート2に入力した2つの波a1とa2の複素振幅比を測定するコリレータであって、ポート1から見た場合は、ポート1にのみ依存する電力計測ポート3とポート5〜7を持つ組と、ポート2から見た場合はポート2にのみ依存する電力計測ポート4とポート5〜7を持つ組の、ポート5〜7を共有する2組の6ポート型コリレータを持ち、入力ポート1と入力ポート2の電力比によって、計測の基準ポートをポート3またはポート4に切り替えることを特徴とする7ポート型コリレータ。
- 発振源からの波を2方向に分配する電力分配器を設け、前記電力分配器から分配される波a1を入力するポート1と、移相器を介して前記電力分配器から分配される波a2を入力するポート2を備えた7ポート型コリレータにおいて、
前記移相器を任意の位置から一周期分動かしながら、それぞれのステップにおける電力計測ポート3〜7に入力した電力値を求めておき、ポート1に入力した波a1の場合はポート3を基準ポートとしてシステムパラメータ(校正定数)を求め、ポート2に入力した波a2の場合はポート4を基準ポートとしてシステムパラメータ(校正定数)を求めるようにしたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の7ポート型コリレータの校正方法。 - 請求項1または請求項2に記載の7ポート型コリレータに、発振源、テストセット、電力計測装置、およびマイクロコンピュータを設けて構成したことを特徴とする7ポート型コリレータを用いたベクトル・ネットワーク・アナライザ装置。
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