JP2003210957A - マイクロミキサー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 混合する溶液が３種類以上である場合でも、
混合する溶液の種類に等しい本数の給液路をミキサー本
体に形成し、これらの給液路から溶液を薄片状の層流と
してミキシング流路へ供給する。 【解決手段】 ベースプレート１２の表面部１２Ａには
一対の給液路３６，１０２が形成されており、一対の給
液路３６，１０２における櫛歯状のマイクロチャンネル
部４０，１０６は互いに平行に延在している。また裏面
部１２Ｂにも、一対の給液路４４，５４が形成されてお
り、一対の給液路４４，５４における櫛歯状のマイクロ
チャンネル部４８，５８も互いに平行に延在している。
ベースプレート１２には、一対の給液路４４，５４のマ
イクロチャンネル部４８，５８の底面部分からミキシン
グ流路６４へ連通する貫通部５０，６０が穿設されてい
る。これらのマイクロチャンネル４０，１０６，４８，
５８の幅は１μｍ〜５００μｍの範囲で設定されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体を複数本の流
体供給路から１本のミキシング流路内へ導入し、これら
流体を層流状態としてミキシング流路内を流通させつ
つ、流体同士をその接触界面の法線方向へ拡散し、混合
するマイクロミキサーに関し、更に詳しくは、３種類以
上の流体の混合に適した構造を有するマイクロミキサー
に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、写真感光材料に用いられる乳剤製
造等の化学産業の分野では、マイクロミキサー又はマイ
クロリアクターと呼ばれる微小容器を用いた新しい製造
プロセスの開発が進められている。マイクロミキサー及
びマイクロリアクターには、等価直径が数μｍ〜数百μ
ｍ程度の複数本のマイクロチャンネル及び、これらのマ
イクロチャンネルと繋がる混合空間が設けられており、
このマイクロミキサー及びマイクロリアクターでは、複
数本のマイクロチャンネルを通して複数の溶液をそれぞ
れ混合空間へ導入することで、複数の溶液を混合し、又
は混合と共に化学反応を生じさせる。なお、マイクロミ
キサーとマイクロリアクターとは基本的な構造が共通と
されているが、特に、複数の溶液を混合する際に化学反
応を伴うものをマイクロリアクターと言う場合がある。
このことから、マイクロミキサーには、マイクロリアク
ターが含まれるものとして以下の説明を行う。このよう
なマイクロミキサーとしては、例えば、特表平９−５１
２７４２号、ＰＣＴ国際公開ＷＯ ００／６２９１３号
公報に開示されているものがある。これらのマイクロミ
キサーは、何れも、２種類の溶液をそれぞれ微細なマイ
クロチャンネル等と呼ばれる流路を通し、極めて薄い薄
片状の断面を有する層流として混合空間内へ供給するこ
とで、この混合空間内で二種類の溶液同士を混合及び反
応させるものである。

【０００３】次に、上記のようなマイクロミキサーによ
る混合及び反応がタンク等を用いたバッチ方式と異なる
点を説明する。すなわち、液相の化学反応は、一般に反
応液の界面において分子同士が出会うことによって反応
が起こるので、微小空間内で反応を行うと相対的に界面
の面積が大きくなり、反応効率は著しく増大する。また
分子の拡散そのものも拡散時間は距離の二乗に比例す
る。このことは、スケールを小さくするに従って反応液
を能動的に混合しなくても、分子の拡散によって混合が
進み、反応が起こり易くなることを意味している。ま
た、微小空間においては、スケールが小さいために層流
支配の流れとなり、溶液同士が層流状態となって拡散混
合される。

【０００４】上記のような特徴を有するマイクロミキサ
ーを用いれば、例えば、タンク等を用いた従来のバッチ
方式と比較し、溶液同士の反応時間及び温度の高度制御
が可能になり、また一次生成物が反応容器内に滞留する
間に引き続き反応を受けてしまうことを抑止できるの
で、従来では取り出すことが困難であった純粋な一次生
成物を取り出すことも可能になる。また、実験的な製造
設備により製造された少量の化学物質を大規模の製造設
備により多量に製造（スケールアップ）する際には、従
来、実験的な製造設備に対し、大規模の製造設備での再
現性を得るために多大の労力及び時間を要していたが、
必要となる製造量に応じてマイクロミキサーからなる製
造ラインを並列化することにより、このような再現性を
得るための労力及び時間を大幅に減少できる可能性があ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のような化学物質
の製造プロセスにおいては、３種類以上の溶液を急速に
混合及び反応させることが要求されることがあるが、特
表平９−５１２７４２号、ＷＯ ００／６２９１３号等
に開示された従来のマイクロミキサーは、２種類の溶液
を混合及び反応させるためのものである。このため、従
来のマイクロミキサーにより３種類以上の溶液を混合及
び反応させる場合には、２個以上のマイクロミキサーを
配管等により直列的に接続した流体回路を構成し、この
流体回路により３種類以上の溶液を段階的に混合及び反
応させる必要があった。しかし、流体回路では、上流側
に配置されたマイクロミキサーと下流側に配置されたマ
イクロミキサーとの距離を短縮することには限界があ
り、２種類の溶液の混合容器に他の溶液を混合するまで
には一定の時間を要し、３種類の溶液を同時に混合する
ことはできない。また流体回路では、供給される溶液の
種類が増加するに従って回路を構成する素子（マイクロ
ミキサー）の個数が増加し、回路構造が複雑になってし
まう。

【０００６】本発明の目的は、上記事実を考慮して、混
合する流体が３種類以上である場合でも、混合する流体
の種類に等しい本数の流体供給路をミキサー本体に簡単
に形成でき、これらの流体供給路から流体をそれぞれ薄
片状の層流としてミキシング流路へ供給できるマイクロ
ミキサーを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係るマイクロミ
キサーでは、ベースプレートの表面部に沿って形成され
た第１の流体供給路に、ベースプレートの表面部に開口
しミキサー本体の外部から流体が供給される第１のヘッ
ダ部及び、この第１のヘッダ部と繋がりベースプレート
の表面部に開口するスリット状の第１の供給口が設けら
れると共に、ベースプレートに形成された第２の流体供
給路に、ベースプレートの裏面部に開口しミキサー本体
の外部から流体が供給される第２のヘッダ部及び、ベー
スプレートを貫通する貫通部を介して第２のヘッダ部と
繋がり、第１の供給口と幅方向に沿って隣接するように
ベースプレートの表面部に開口するスリット状の第２の
供給口が設けられていることにより、第２の流体供給路
におけるヘッダ部及びこのヘッダ部を第２の供給口へ繋
げる微細な溝部（マイクロチャンネル部）をベースプレ
ートの表面部に形成する必要がなくなる。

【０００８】従って、スペース的な制約によりベースプ
レートの表面部に第１の流体供給路を２本以下しか形成
できない場合でも、ベースプレートの表面部に１μm〜
５００μmの微小な開口幅しかない第２の供給口を開口
させることにより、第１の供給口及び第２の供給口を通
して流体をミキシングプレートに形成されたミキシング
流路へ導入できるので、ベースプレートに１本又は２本
の第２の流体供給路を形成すれば、第１及び第２の流体
供給路を通して２種類乃至４種類の流体をミキシング流
路へ導入し、これらの流体を第１及び第２の供給口の開
口幅に対応する微小幅の層流としてミキシング流路内を
流通させつつ、これらの流体同士を拡散混合できるよう
になる。

【０００９】また本発明に係るマイクロミキサーによれ
ば、特に、流体供給路における供給口がヘッダ部から複
数に分岐して櫛歯状に配置される場合には、異なる流体
供給路に繋がった複数の供給口を互い違いに配置しつ
つ、ベースプレートの片側の面（表面部又は裏面部）に
形成できる流体供給路の最大本数は事実上、２本に制限
されてしまうので、このような場合でも、３種類又は４
種類の流体が混合可能なマイクロミキサーを簡単に実現
できる。

【００１０】また本発明に係るマイクロミキサーにおい
て、外部から複数の流体供給路に供給される流体として
は、例えば、液体、気体、液体中に金属微粒子等が分散
された固液混合物、気体中に金属微粒子等が分散された
固気混合物、液体中に気体が溶解せずに分散した気液混
合物等も対象となり、また流体の種類が異なるとは、化
学組成が異なる場合のみならず、例えば、温度、固液比
等の状態が異なる場合も含まれる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態に係るマ
イクロミキサーについて図面を参照して説明する。

【００１２】（第１の実施形態）図１及び図２には本発
明の第１の実施形態に係るマイクロミキサーの一例が示
されている。このマイクロミキサー１０は、３種類の溶
液Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３を同時に混合し、これらの溶液Ｌ
１、Ｌ２、Ｌ３が均一に混合された溶液ＬＭを生成する
ためのものである。ここで、マイクロミキサー１０によ
り溶液Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３を混合する際には、溶液Ｌ１、
Ｌ２、Ｌ３間に化学反応が生じる場合と生じない場合と
が考えられるが、本実施形態に係るマイクロミキサー１
０は何れの場合にも用いることができる。

【００１３】図１に示されるように、マイクロミキサー
１０は全体として略円柱状に形成されており、ベースプ
レート１２、ミキシングプレート１４及びカバープレー
ト１６，１８がプレートの厚さ方向（矢印Ｔ方向）に沿
って積層されて構成されている。これら４枚のプレート
１０，１２，１４，１６は、それぞれ外径が同一寸法と
された円板状に形成されている。ここで、ベースプレー
ト１２及びミキシングプレート１４は溶液Ｌ１、Ｌ２、
Ｌ３を混合するためのミキサー本体２０を構成してお
り、カバープレート１６，１８は、ミキサー本体２０を
厚さ方向に沿って両側から挟持するように配置されてい
る。なお、図１（Ｂ）の紙面上、各プレート１０，１
２，１４，１６における上側にそれぞれ位置する面を表
面部と言い、下側にそれぞれ位置する面を裏面部と言う
ものとする。

【００１４】カバープレート１６、ミキシングプレート
１４及びベースプレート１２には、その外周部に厚さ方
向へ貫通する複数の挿通穴２２，２４，２６が穿設さ
れ、カバープレート１８の外周部には、複数の挿通穴２
２，２４，２６にそれぞれ対応するように複数のねじ穴
２８が厚さ方向に沿って穿設されている。プレート１
０，１２，１４，１６は、その挿通穴２２，２４，２６
及びねじ穴２８が一致するように積層された後、連結ボ
ルト３０がカバープレート１６側から挿通穴２２，２
４，２６内へ挿入され、カバープレート１８のねじ穴２
８内へねじ込まれることにより、連結ボルト３０により
連結されマイクロミキサー１０として組み立てられてい
る。

【００１５】図１（Ｂ）に示されるように、カバープレ
ート１６の裏面部１６Ｂ、ミキシングプレート１４の裏
面部１４Ｂ、カバープレート１８の表面部１８Ａには、
それぞれ挿通穴２４，２６又はねじ穴２８に対して僅か
に内周側に周方向に沿って環状溝３２が形成されてお
り、これらの環状溝３２内には、それぞれシリコンゴム
等の弾性材料により成形されたＯリング３４（図２参
照）が嵌挿されている。これらの３個のＯリング３４
は、それぞれプレート１４，１６間、プレート１２，１
４間及びプレート１２，１８間で厚さ方向に沿って圧縮
状態とされ、プレート１２，１４、プレート１４，１６
及びプレート１２，１８における面間からの溶液Ｌ１，
Ｌ２，Ｌ３，ＬＭの漏洩を防止している。

【００１６】図２に示されるように、ベースプレート１
２の表面部１２Ａには、凹状の給液路３６が形成されて
いる。給液路３６には、表面部１２Ａの外周寄りの部位
にヘッダ部３８が設けられており、このヘッダ部３８
は、面方向に沿った形状が外周側から中心側へ向って幅
が広くなる扇状とされている。また給液路３６には、ヘ
ッダ部３８の中心側の端部から延出する複数本（図２で
は６本）のマイクロチャンネル部４０が一体的に形成さ
れている。これらのマイクロチャンネル部４０は、それ
ぞれベースプレート１２の径方向に沿って互いに平行に
延在する細長い溝状に形成され、全体としては櫛歯状の
配置になっている。複数本のマイクロチャンネル部４０
は、それぞれベースプレート１２の表面部１２Ａにスリ
ット状の給液口４２を開口させており、これらの給液口
４２の開口幅Ｗ１（図２参照）は、溶液Ｌ１の種類、供
給量等に応じて１μｍ以上で５００μｍ以下の範囲で適
宜設定される。またマイクロチャンネル部４０の深さ
も、溶液Ｌ１の供給量に応じて適宜設定されるが、好ま
しくは開口幅Ｗ１の１倍以上、更に好ましくは開口幅Ｗ
１の２倍以上となるように設定される。またヘッダ部３
８から延出するマイクロチャンネル部４０の本数も溶液
Ｌ１の供給量に応じて適宜設定され、開口幅Ｗ１が一定
である場合には、供給量の増加に従って本数を増加する
必要がある。

【００１７】図３（Ｄ）及び図４に示されるように、ベ
ースプレート１２の裏面部１２Ｂにはそれぞれ凹状とさ
れた一対の給液路４４，５４が形成されている。これら
の給液路４４，５４にも、表面部１２Ａにおける給液路
３６と同様な形状を有するヘッダ部４６，５６が形成さ
れており、これらのヘッダ部４６，５６は、マイクロミ
キサー１０の軸心Ｓを中心として互いに対称的に配置さ
れている。一方の給液路４４には、ヘッダ部４６の中心
側の端部から複数本（図３及び図４では６本）のマイク
ロチャンネル部４８が一体的に形成されている。これら
のマイクロチャンネル部４８は、それぞれ径方向に沿っ
て互いに平行に延在する細長い溝状に形成され、全体と
しては櫛歯状の配置になっている。これらのマイクロチ
ャンネル部４８は、それぞれ給液路３６のマイクロチャ
ンネル部４０に対し、チャンネル幅方向（矢印Ｗ方向）
に沿って所定距離だけ偏倚し、かつチャンネル長方向
（矢印Ｅ方向）ではマイクロチャンネル部４０と略一致
するように配置されている。

【００１８】また、他方の給液路５４にも、ヘッダ部５
６の中心側の端部から複数本（図３及び図４では６本）
のマイクロチャンネル部５８が一体的に形成されてい
る。これらのマイクロチャンネル部５８は、それぞれ径
方向に沿って互いに平行に延在する細長い溝状に形成さ
れ、全体としては櫛歯状の配置になっている。これらの
マイクロチャンネル部５８は、それぞれチャンネル幅方
向に沿ってマイクロチャンネル部４０とマイクロチャン
ネル部４８との中間に位置し、かつチャンネル長方向で
はマイクロチャンネル部４８，５８と略一致するように
配置されている。ここで、ベースプレート１２の表面部
１２Ａにミキシングプレート１４の裏面部１４Ｂが密着
することにより、この裏面部１４Ｂにより給液路３６の
ミキシングプレート１４側の開口が閉塞され、給液路３
６内に外部から区画された空間が形成される。またベー
スプレート１２の裏面部１２Ｂにカバープレート１８の
表面部１８Ａが密着することにより、この表面部１８Ａ
により給液路４４，５４のカバープレート１８側の開口
が閉塞され、給液路４４，５４内に外部から区画された
空間がそれぞれ形成される。

【００１９】図３（Ｂ）及び（Ｃ）に示されるように、
給液路４４，５４には、それぞれマイクロチャンネル部
４８，５８の底面部分から厚さ方向に沿ってベースプレ
ート１２の表面部１２Ａへ貫通する貫通部５０，６０が
形成されている。これら貫通部５０，６０の表面部１２
Ａの開口端は、チャンネル長方向に沿って細長いスリッ
ト状の給液口５２，６２とされている。これらの給液口
５２，６２は、図３（Ａ）に示されるように給液路３６
の給液口４２と平行に延在している。また３種類の給液
口４２，５２，６２は、チャンネル幅方向に沿って互い
違いとなるように配置されている。ここで、給液口５
２，６２のチャンネル幅方向に沿った開口幅Ｗ２、Ｗ３
は、給液口４２と同様に、溶液Ｌ２、Ｌ３の種類、供給
量等に応じて１μｍ以上で５００μｍ以下の範囲で適宜
設定されるが、本実施形態では開口幅Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３
が同一寸法とされている。また３種類の給液口４２，５
２，６２間のチャンネル幅方向に沿ったピッチは、淀み
の発生を抑制して溶液Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３の混合時間を短
縮する観点からは、可能な限り狭いことが望ましい。

【００２０】図２及び図５に示されるように、ミキシン
グプレート１４の中央部には裏面部１４Ｂから表面部１
４Ａへ貫通するミキシング流路６４が穿設されている。
このミキシング流路６４は、その断面形状が給液口４
２，５２，６２と直交する方向（チャンネル幅方向）に
沿って細長く、チャンネル長方向における開口幅が狭い
スリット状とされている。ミキシング流路６４は、チャ
ンネル幅方向に沿った開口長が裏面部１４Ｂから表面部
１４Ａへ向ってテーパ状に狭くなっており、裏面部１４
Ｂ及び表面部１４Ａにそれぞれチャンネル幅方向へ細長
い入液口６６及び出液口６８を開口させている。入液口
６６は、ベースプレート１２の給液口４２，５２，６２
と正対し、給液口４２，５２，６２の中央部をチャンネ
ル幅方向に沿って横断するように配置されている。これ
により、給液路３６，４４，５４は、給液口４２，５
２，６２が中央部のみが入液口６６によりミキシング流
路６４へ連通する状態となる。ここで、ミキシング流路
６４のチャンネル長方向に沿った開口幅Ｗ４（図２参
照）は、給液口４２，５２，６２の開口幅Ｗ１、Ｗ２、
Ｗ３、給液口４２，５２，６２からの溶液Ｌ１、Ｌ２、
Ｌ３の給液量等に応じて１μｍ〜５００μｍの範囲内で
適宜設定される。

【００２１】図１に示されるように、下側のカバープレ
ート１８には、厚さ方向に沿って２本の注液穴７０，７
２が穿設されており、これらの注液穴７０，７２はカバ
ープレート１８を貫通している。注液穴７０，７２の一
端部はそれぞれ給液路４４，５４におけるヘッダ部４
６，５６に接続され、また他端部にはそれぞれ雌ねじ部
７０Ａ，７２Ａが形成されている。これらの雌ねじ部７
０Ａ，７２Ａには、筒状に形成されたニップル部材７４
の雄ねじ部がねじ込まれている。一対の注液穴７０，７
２には、一対のニップル部材７４を介してそれぞれ給液
配管（図示省略）が接続され、これら一対の給液配管を
通して加圧状態の溶液Ｌ２，Ｌ３が供給される。

【００２２】ミキシングプレート１４及び上側のカバー
プレート１６にも、厚さ方向に沿って注液穴７６，７８
が厚さ方向に沿って穿設され、これらの注液穴７６，７
８は、それぞれミキシングプレート１４及びカバープレ
ート１６を貫通すると共に、ミキシングプレート１４と
カバープレート１６の裏面部１６Ｂとの面間で互いに接
続されている。注液穴７６の一端部は給液路３６におけ
るヘッダ部３８に接続され、また注液路７８の他端部に
は雌ねじ部７８Ａが形成されている。この雌ねじ部７８
Ａには、ニップル部材７４の雄ねじ部がねじ込まれてい
る。注液穴７６，７８には、ニップル部材７４を介して
給液配管（図示省略）が接続され、この給液配管を通し
て加圧状態の溶液Ｌ１が供給される。またカバープレー
ト１６の裏面部１６Ｂには、注液路７８の外周側に環状
溝が形成されており、この環状溝内には、図１（Ｂ）に
示されるようにＯリング１９が挿入され、このＯリング
１９はカバープレート１９とミキシングプレート１４と
の間で軸方向へ圧縮されている。これにより、注液路７
６，７８内を流通する溶液Ｌ３がカバープレート１６の
裏面部１６Ｂとミキシングプレート１４の表面部１４Ａ
との間から洩れることが防止されている。

【００２３】図１に示されるように、上側のカバープレ
ート１６には、軸心Ｓに沿って出液穴８０が穿設されて
おり、この出液穴８０はカバープレート１６を貫通して
いる。出液穴８０の一端部はミキシング流路６４の出液
口６８に接続され、また他端部には雌ねじ部８０Ａが形
成されている。この雌ねじ部８０Ａには、筒状に形成さ
れたニップル部材８２の雄ねじ部がねじ込まれている。
出液穴８０にはニップル部材８２を介して出液配管（図
示省略）が接続される。これにより、３種類の溶液Ｌ
１，Ｌ２，Ｌ３が混合された溶液ＬＭは、カバープレー
ト１６の出液穴８０を通して出液配管内へ送り出され、
この出液配管を通して次の処理工程が行われる他のマイ
クロミキサーや溶液ＬＭを貯留する溶液タンク等へ送ら
れる。

【００２４】上記のように構成された本実施形態に係る
マイクロミキサー１０では、注液穴７０，７２，７６，
７８を通してベースプレート１２の表面部１２Ａ及び裏
面部１２Ｂにそれぞれ形成されたヘッダ部３８，４６，
５６に溶液Ｌ１〜Ｌ３を供給することにより、これらの
溶液Ｌ１〜Ｌ３がマイクロチャンネル部４０，４８，５
８の給液口４２，５２，６２を通ってミキシング流路６
４内へ導入される。このとき、給液口４２，５２，６２
の開口幅Ｗ１〜Ｗ３が１μｍ〜５００μｍという微小幅
とされていることから、給液口４２，５２，６２からミ
キシング流路６４内へ吐出され溶液Ｌ１〜Ｌ３は、それ
ぞれ開口幅Ｗ１〜Ｗ３に対応する幅を有する薄片状の層
流となって入液口６６から出液口６８側へ流れつつ、各
層流の界面ではその法線方向に沿って分子拡散が生じて
溶液Ｌ１〜Ｌ３が混合し、出液口６８の手前側で溶液Ｌ
１〜Ｌ３が均一に混合された溶液ＬＭが生成される。従
って、マイクロミキサー１０によれば、３種類の溶液Ｌ
１〜Ｌ３をミキシング流路６４内で同時に混合し、これ
らが均一に混合し、又は混合と共に所要の化学反応が完
了した溶液ＬＭをニップル部材８２に接続された出液配
管へ供給できる。

【００２５】次に、本発明の第１の実施形態に係るマイ
クロミキサーの変形例について説明する。図６及び図７
には、それぞれ本発明の第１の実施形態に係るマイクロ
ミキサーの変形例が示されている。

【００２６】図６に示されるマイクロミキサー８６は、
図１及び図２に示されるマイクロミキサー１０と同様
に、３種類の溶液Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３を混合して溶液ＬＭ
を生成するためのものである。このマイクロミキサー８
６におけるマイクロミキサー１０に対する主要な変更点
は、ベースプレート１２の裏面部１２Ｂに形成された１
本の給液路５４が省略されている点及び、ベースプレー
ト１２の表面部１２Ａに給液路８８が追加して形成され
ている点である。

【００２７】ベースプレート１２の表面部１２Ａに追加
形成された給液路８８は、他方の給液路３６と同様に、
ヘッダ部９０及びマイクロチャンネル部９２を備えてお
り、軸心Ｓを中心として他方の給液路３６と対称的に配
置されている。これらの主要な変更点に対応して、マイ
クロミキサー８６では、下側のカバープレート１８を貫
通する１本の注液穴７２が省略されると共に、ミキシン
グプレート１４及び上側のカバープレート１６にそれぞ
れ注液穴９６，９８が追加して追加して穿設されてい
る。この注液穴９６，９８は、他方の注液穴７６，７８
と同様な形状とされており、その一端部が表面部１２Ａ
に追加形成された給液路８８ヘッダ部９０に接続されて
おり、また他端部には雌ねじ部（図示省略）が形成さ
れ、この雌ねじ部には、他の注液穴７６，７８と同様
に、ニップル部材７４（図１参照）がねじ込まれてい
る。注液穴９６，９８にはニップル部材７４を介して給
液配管（図示省略）が接続され、この給液配管を通して
加圧状態の溶液Ｌ３が供給される。

【００２８】図６（Ａ）に示されるように、ベースプレ
ート１２の表面部１２Ａに形成された給液路３６のマイ
クロチャンネル部４０と給液路８８のマイクロチャンネ
ル部９２とは、チャンネル幅方向に沿って互いに隣接す
るように配置され、それぞれ表面部１２Ａに給液口４２
及び給液口９４を開口させている。ここで、給液口９４
のチャンネル幅方向に沿った開口幅Ｗ５は、他の給液口
４２と同様に、溶液Ｌ３の種類、供給量等に応じて１μ
ｍ以上で５００μｍ以下の範囲で適宜設定される。また
マイクロチャンネル部９２の深さも、他のマイクロチャ
ンネル部４０と同様に、好ましくは開口幅Ｗ１の１倍以
上、更に好ましくは開口幅Ｗ４の２倍以上となるように
設定される。これらの給液口４２，９４と裏面部１２Ｂ
に形成された給液路４４に繋がった給液口５２とは、チ
ャンネル幅方向に沿って互い違いとなるように配置され
ている。これらの給液口４２，５２，９４はそれぞれミ
キシング流路６４の入液口６６に接続される。これによ
り、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３は、給液口４２，５２，９４及び
入液口６６を通して給液路３６，４４，８８からミキシ
ング流路６４内へ導入され、このミキシング流路６４内
を通って溶液ＬＭとして出液配管へ供給される。

【００２９】上記のように構成された本実施形態に係る
マイクロミキサー８６によっても、図１及び図２に示さ
れるマイクロミキサー１０と同様に、３種類の溶液Ｌ１
〜Ｌ３をミキシング流路６４内で同時に混合し、これら
が均一に混合し、又は混合と共に所要の化学反応が完了
した溶液ＬＭをニップル部材８２に接続された出液配管
へ供給できる。

【００３０】図７に示されるマイクロミキサー１００
は、４種類の溶液Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４を混合して溶
液ＬＭを生成するためのものである。このマイクロミキ
サー１００におけるマイクロミキサー１０に対する主要
な変更点は、ベースプレート１２の表面部１２Ａに給液
路１０２が追加して形成されている点である。

【００３１】ベースプレート１２の表面部１２Ａに形成
された給液路１０２は、他方の給液路３６と同様に、ヘ
ッダ部１０４及びマイクロチャンネル部１０６を備えて
おり、軸心Ｓを中心として他方の給液路３６と対称的に
配置されている。この主要な変更点に対応して、マイク
ロミキサー１００では、ミキシングプレート１４及び上
側のカバープレート１６にそれぞれ互いに連通する注液
穴９６，９８が追加して追加して穿設されている。この
注液穴９６，９８は、他方の注液穴７６，７８と同様な
形状とされており、その一端部が表面部１２Ａに追加形
成された給液路１０２のヘッダ部１０４に接続されてい
る。また注液穴９８の他端部には雌ねじ部（図示省略）
が形成され、この雌ねじ部にはニップル部材７４（図１
参照）がねじ込まれている。注液穴９６，９８にはニッ
プル部材７４を介して給液配管（図示省略）が接続さ
れ、この給液配管を通して加圧状態の溶液Ｌ４が供給さ
れる。

【００３２】図７（Ａ）に示されるように、ベースプレ
ート１２の表面部１２Ａに形成された給液路３６のマイ
クロチャンネル部４０と給液路１０２のマイクロチャン
ネル部１０６とは、チャンネル幅方向に沿って給液口５
２又は給液口６２を挟んで互いに隣接するように配置さ
れ、それぞれ表面部１２Ａに給液口４２及び給液口９４
を開口させている。ここで、給液口９４のチャンネル幅
方向に沿った開口幅Ｗ６は、他の給液口４２，５２，６
２と同様に、溶液Ｌ４の種類、供給量等に応じて１μｍ
以上で５００μｍ以下の範囲で適宜設定される。これら
の給液口４２，５２，６２，９８は、チャンネル幅方向
に沿って互い違いとなるように配置されている。これら
４種類の給液口４２，５２，６２，９４はそれぞれミキ
シング流路６４の入液口６６に接続される。これによ
り、給液配管を通して給液路３６，４４，５４，１０２
内にそれぞれ供給されたＬ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４は、給
液口４２，５２，６２，９４及び入液口６６を通してミ
キシング流路６４内へ導入され、ミキシング流路６４内
を通って溶液ＬＭとして出液配管へ供給される。

【００３３】上記のように構成された本実施形態に係る
マイクロミキサー１００によれば、４種類の溶液Ｌ１〜
Ｌ４をミキシング流路６４内で同時に混合し、これらが
均一に混合し、又は混合と共に所要の化学反応が完了し
た溶液ＬＭをニップル部材８２に接続された出液配管へ
供給できる。

【００３４】次に、本実施形態に係るマイクロミキサー
１０，８６，１００の製造方法について説明する。マイ
クロミキサー１０，８６，１００を構成する各プレート
１０，１２，１４，１６の素材については、強度、溶液
Ｌ１〜Ｌ４に対する耐腐食性等の化学的安定性、溶液Ｌ
１〜Ｌ４との接触界面における流動性等を考慮する必要
があり、具体的には、例えば、ステンレス（ＳＵＳ
系）、非鉄金属材料、ファインセラミックス、特殊セラ
ミックス、プラスチック等が用いられ、これらの素材に
必要に応じてコーティング等の表面処理が施されたもの
がプレート１０，１２，１４，１６の素材として用いら
れる。これらの素材及びこれらの素材を加工するための
主な加工法を下記の（表１）に示す。

【００３５】

【表１】 例えば、ベースプレート１２を金属材料により形成した
場合に、このベースプレート１２には、次の〜に記
載された方法により給液路３６を加工することができ
る。

【００３６】 ベースプレート１２の表面部１２Ａに
放電加工によりマイクロチャンネル部４０を掘り込んで
形成した後、ヘッダ部３８の開口形状に対応する面形状
を有する電極を用いて表面部１２Ａを型削り放電加工し
てヘッダ部３８を形成する。

【００３７】 ベースプレート１２の表面部１２Ａに
型削り放電加工によりヘッダ部３８を形成した後、マイ
クロチャンネル部４０をその開口幅Ｗ１に対応する数μ
ｍ〜２０μｍ程度の直径を有する微細電極を用いた放電
加工により形成する。

【００３８】 マイクロチャンネル部４０の開口幅Ｗ
１が１０μｍ程度より広い場合は、ベースプレート１２
の表面部１２Ａに、マイクロチャンネル部４０の溝形状
に対応する電極を用いた微細放電加工によりマイクロチ
ャンネル部４０を形成するか、超精密機械加工(マイク
ロ切削加工)を用いてマイクロチャンネル部４０を形成
した後、型削り放電加工によりヘッダ部３８を形成す
る。

【００３９】なお、ベースプレート１２に給液路４４，
５４を形成する場合には、上記〜３記載の何れかの方
法により方法によりベースプレート１２の裏面部１２Ｂ
にマイクロチャンネル部４８，５８及びヘッダ部４６，
５７を形成した後、微細電極を用いた放電加工によりマ
イクロチャンネル部４８，５８の底面部分から表面部１
２Ａへ貫通する貫通部５０，６０を形成することで、こ
れらの給液路４４，５４も形成できる。

【００４０】またベースプレート１２がガラス等の導電
性の無い素材により形成されている場合には、給液路３
６，４４，５４，８８，１００は、例えば、超精密切削
加工、超精密研削加工、ＩＣＰ等のドライエッチング加
工によりベースプレート１２に形成することが可能であ
る。

【００４１】また、マイクロミキサー１０，８６，１０
０では、マイクロチャンネル部４０，４８，５８，９
２，１０６の等価直径（チャンネルの断面形状を円形に
換算した場合の内径）が小さくなるに従って、溶液Ｌ１
〜Ｌ４の粘性の影響が増大して流動性が悪化するおそれ
がある。このような流動性の低下は、例えば、マイクロ
チャンネル部４０，４８，５８，９２，１０６の内面
を、酸性溶液等の薬液を用いた湿式研磨によりＲmax≦
０.２μｍの超平滑面に仕上げるか、これとは逆に、梨
地処理等の粗面化処理を施すことで、効果的に抑制する
ことが可能である。さらにマイクロチャンネル部４０，
４８，５８，９２，１０６の内面に、Ｓｉ₃Ｎ₄、ＳｉＯ
₂、Ａｌ₂Ｏ₃等のセラミックスコーティングを施すこと
も流動性の低下防止に有効であり、また流動性の低下防
止に有効な素材としては、例えば、ＳＵＳ３１６が挙げ
られる。

【００４２】また、特に腐食性が強い溶液Ｌ１〜Ｌ４を
処理することが考えられる場合には、各プレート１２，
１４，１６，１８における溶液Ｌ１〜Ｌ４との接触部に
テフロン（Ｒ）、ＴｉＮ、ＳｉＣ等のコーティングを施
すか、金（Ａｕ）等の化学的安定性の高い金属をメッキ
することにより、腐食性を有する溶液Ｌ１〜Ｌ４に対す
る耐蝕性を上できる。

【００４３】（第２の実施形態）図８には本発明の第２
の実施形態に係るマイクロミキサーが示されている。こ
のマイクロミキサー１１０は、８種類のＬ１〜Ｌ８を混
合して溶液ＬＭを生成するためのものである。なお、図
８に示されるマイクロミキサー１１０において、第１の
実施形態に係るマイクロミキサー１０，８６，１００と
構成及び作用が共通の部材については同一符合を付して
説明を省略する。

【００４４】本実施形態に係るマイクロミキサー１１０
では、図８（Ｂ）に示されるように、ミキサー本体１１
２がシールプレート１２２を介して２枚のベースプレー
ト１１４，１１６が積層され、さらにベースプレート１
１６上に１枚のミキシングプレート１４が積層されて構
成されている。マイクロミキサー１１０は、ミキサー本
体１１２の両側にそれぞれカバープレート１６，１８が
積層され、これらが連結ボルト（図示省略）により連結
されることより組み立てられている。図８（Ｂ）で下側
に示されたベースプレート１１４には、その表面部１１
４Ａに一対の給液路１１８，１２４が形成されると共に
裏面部１１４Ｂに一対の給液路１３０，１３６が形成さ
れている。下側のベースプレート１１４と同様に、上側
に示されたベースプレート１１６にも、その表面部１１
６Ａに一対の給液路１４８，１５４が形成されると共に
裏面部１１６Ｂに一対の給液路１６０，１６６が形成さ
れている。

【００４５】下側のベースプレート１１４に形成された
給液路１１８，１２４及び給液路１３０，１３６は、基
本的には、第１の実施形態に係るマイクロミキサー１０
０のベースプレート１２に形成された給液路４４，５４
及び給液路３６，１０２と同一構造とされており、それ
ぞれヘッダ部１１９，１２５，１３１，１３７、こらら
のヘッダ部１１９，１２５，１３１，１３７の内周側の
端部から延出する複数本（本実施形態では２本）のマイ
クロチャンネル部１２０，１２６，１３２，１３８及
び、マイクロチャンネル部１３２，１３８の底面部分か
ら表面部１１４Ａに貫通する貫通部１３３，１３９を備
えている。

【００４６】ここで、下側のカバープレート１８及びベ
ースプレート１１４には、一端部がヘッダ部１１９，１
２５，１３１，１３７に接続され、他端部がマイクロミ
キサー１１０の外部へ開口する４本の注液穴１４２，１
４３，１４４，１４５が穿設されている。これらの注液
穴１４２，１４３，１４４，１４５の他端部には給液配
管（図示省略）が接続され、これらの給液配管及び注液
穴１４２，１４３，１４４，１４５を通してヘッダ部１
１９，１２５，１３１，１３７には溶液Ｌ１〜Ｌ４がそ
れぞれ供給される。

【００４７】上側のベースプレート１１６に形成された
給液路１４８，１５４及び給液路１６０，１６６も、基
本的には、第１の実施形態に係るマイクロミキサー１０
０のベースプレート１２に形成された給液路４４，５４
及び給液路３６，１０２と同一構造とされており、それ
ぞれヘッダ部１４９，１５５，１６１，１６７、これら
のヘッダ部１４９，１５５，１６１，１６７の内周側の
端部から延出する複数本（本実施形態では２本）のマイ
クロチャンネル部１５０，１５６，１６２，１６８及
び、マイクロチャンネル部１６２，１６８の底面部分か
ら表面部１１６Ａに貫通する貫通部１６３，１６９（図
８（Ｂ）参照）を備えている。

【００４８】ここで、上側のカバープレート１６、ミキ
シングプレート１４及び上側のベースプレート１１６に
は、一端部がヘッダ部１４９，１５５，１６１，１６７
に接続され、他端部がマイクロミキサー１１０の外部へ
開口する４本の注液穴（図示省略）が穿設されている。
これらの注液穴１７２，１７３，１７４，１７５の他端
部には給液配管（図示省略）が接続され、これらの給液
配管及び注液穴１７２，１７３，１７４，１７５を通し
てヘッダ部１４９，１５５，１６１，１６７には溶液Ｌ
５〜Ｌ８がそれぞれ供給される。

【００４９】上側のベースプレート１１６には、図８
（Ｂ）に示されるように、その裏面部１１６Ｂから表面
部１１６Ａに貫通する延長路１７８，１８０，１８２，
１８４が穿設されている。ここで、延長路１７８，１８
０は、その下側の開口端がベースプレート１１４の表面
部１１４Ａに開口する貫通部１３３，１３９に接続され
ると共に、上側の開口端がベースプレート１１６の表面
部１１６Ａに開口して給液口１７９，１８１を形成して
いる。また延長路１８２，１８４は、その下側の開口端
がベースプレート１１４の表面部１１４Ａに開口するマ
イクロチャンネル部１２０，１２６に接続されると共
に、上側の開口端がベースプレート１１６の表面部１１
６Ａに開口して給液口１８３，１８５を形成している。
またシールプレート１２２には、貫通部１３３，１３９
及びマイクロチャンネル部１２０，１２６との対向部分
に厚さ方向へ貫通する開口部が形成されており、これら
の開口部は、それぞれ延長路１７８，１８０，１８２，
１８４の一部を構成している。

【００５０】従って、上側のベースプレート１１６の表
面部１１６Ａには、その表面部１１６Ａ及び裏面部１１
６Ｂに形成された給液路１４８，１５４及び給液路１６
０，１６６にそれぞれ繋がった給液口１５１，１５７及
び給液口１６４，１７０が開口すると共に、延長路１７
８，１８０，１８２，１８４を介して下側のベースプレ
ート１１４の表面部１１４Ａ及び裏面部１１４Ｂに形成
された給液路１１８，１２４及び給液路１３０，１３６
にそれぞれ繋がった給液口１７９，１８１及び給液１８
３，１８５が開口する。これらの給液口１５１，１５
７，１６４，１７０，１７９，１８１，１８３，１８５
は、チャンネル幅方向に沿って互い違いとなるように配
置されており、その開口幅がそれぞれ１μｍ〜５００μ
ｍ範囲で適宜設定される。これらの開口幅は、基本的に
第１の実施形態に係るマイクロミキサー１０，８６，１
００の場合と同様な方法により設定される。

【００５１】ベースプレート１１６に開口する給液口１
５１，１５７，１６４，１７０，１７９，１８１，１８
３，１８５は、それぞれミキシングプレート１４に形成
されたミキシング流路６４の入液口６６に接続される。
これにより、ヘッダ部１１９，１２５，１３１，１３
７，１４９，１５５，１６１，１６７にそれぞれ供給さ
れた溶液Ｌ１〜Ｌ８は、給液口１５１，１５７，１６
４，１７０，１７９，１８１，１８３，１８５及び入液
口６６を通してミキシング流路６４内へ導入され、この
ミキシング流路６４内を通って溶液ＬＭとして出液配管
へ供給される。

【００５２】上記のように構成された本実施形態に係る
マイクロミキサー１１０によれば、８種類の溶液Ｌ１〜
Ｌ８をミキシング流路６４内で同時に混合し、これらが
均一に混合し、又は混合と共に所要の化学反応が完了し
た溶液ＬＭを出液穴８０に接続された出液配管へ供給で
きる。またマイクロミキサー１１０により処理する溶液
の種類が８種類よりも少ない場合、すなわち５〜７種類
の場合には、溶液の種類に応じて給液路１１８，１２
４，１３０，１３６，１４２，１４８，１５４，１６
０，１６６の両端部を１本〜３本塞ぐことで、マイクロ
ミキサー１１０により５〜７種類の溶液が混合された溶
液ＬＭを生成できるようになる。

【００５３】以上説明した本発明の第１の実施形態に係
るマイクロミキサー１０、８６，１００によれば、ベー
スプレート１２の表面部１２Ａに１本又は２本の給液路
３６，８８，１０２を形成すると共に、裏面部１２Ｂに
１本又は２本の給液路４４，５４におけるヘッダ部４
６，５６及びマイクロチャンネル部４８，５８を形成
し、このマイクロチャンネル部４８，５８の底面部分か
ら表面部１２Ａへ貫通する貫通部５０，６０をベースプ
レート１２に穿設することにより、給液路４４，５４に
ついてはそのヘッダ部４６，５６及びマイクロチャンネ
ル部４８，５８をベースプレート１２の表面部１２Ａに
形成する必要がなくなる。

【００５４】従って、ベースプレート１２の表面部１２
Ａには、給液路４４，５４に繋がる給液口５２，６２を
開口させるだけで、３種類又は４種類の溶液Ｌ１〜Ｌ４
をミキシングプレート１４に形成されたミキシング流路
６４へ導入して拡散混合できるようになる。

【００５５】また、本発明の第２の実施形態に係るマイ
クロミキサー１１０によれば、第１の実施形態に係るマ
イクロミキサー１００におけるベースプレート１２と略
同一構造の２枚のベースプレート１１４，１１６及びミ
キシングプレート１４を積層してミキサー本体１１２を
構成することで、５種類〜８種類の溶液Ｌ１〜Ｌ８をミ
キシングプレート１４に形成されたミキシング流路６４
へ導入して拡散混合できるようになる。

【００５６】なお、以上説明した第１及び第２の実施形
態に係るマイクロミキサー１０，８６，１００，１１０
では、複数種類の溶液が層流状態となってミキシング流
路６４を流通する際には、複数種類の溶液からなる層流
がミキシング流路６４内で対称的で、かつ各溶液からな
る層流数が等しくなるような配置（例えば、Ｌ１−Ｌ２
−Ｌ３−Ｌ１−・・・）とされていたが、ミキシング流
路６４内において複数種類の溶液を必ずしもこのような
配置とする必要はなく、所定の２種類の溶液からなる層
流間に他の溶液からなる層流が常に介在（例えば、Ｌ１
−Ｌ３−Ｌ２−Ｌ３−Ｌ１−Ｌ３−Ｌ２−・・・）する
ように、ミキシング流路６４内に複数種類の溶液を供給
しても良い。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るマイク
ロミキサーによれば、混合する流体が３種類以上である
場合でも、混合する流体の種類に等しい本数の流体供給
路をミキサー本体に簡単に形成でき、これらの流体供給
路から流体を薄片状の層流としてミキシング流路へ供給
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施形態に係るマイクロミキ
サーの一例についての構成を示す平面図及び側面断面図
である。

【図２】 図１に示されるようにマイクロミキサーの分
解斜視図である。

【図３】 図１に示されるマイクロミキサーにおけるベ
ースプレートの構成を示す平面部及び側面断面図であ
る。

【図４】 図１に示されるマイクロミキサーにおけるベ
ースプレートの裏面部を示す斜視図である。

【図５】 図１に示されるマイクロミキサーの構成を模
式的に示す側面断面図であり、マイクロミキサーにおけ
る混合前後の溶液の流れが示されている。

【図６】 本発明の第１の実施形態に係るマイクロミキ
サーの変形例についての構成を示す平面図及び側面断面
図である。

【図７】 本発明の第１の実施形態に係るマイクロミキ
サーの変形例についての構成を示す平面図及び側面断面
図である。

【図８】 本発明の第２の実施形態に係るマイクロミキ
サーについての構成を示す平面図及び側面断面図であ
る。

【符号の説明】

１０ マイクロミキサー １２ ベースプレート １２Ａ 表面部（ベースプレート） １２Ｂ 裏面部（ベースプレート） １４ ミキシングプレート １４Ａ 表面部（ミキシングプレート） １４Ｂ 裏面部（ミキシングプレート） ２０ ミキサー本体 ３６ 給液路（第１の流体供給路） ３８ ヘッダ部（第１のヘッダ部） ４０ マイクロチャンネル部） ４２ 給液口（第１の供給口） ４４ 給液路（第２の供給口） ４６ ヘッダ部（第２のヘッダ部） ４８ マイクロチャンネル部 ５２ 給液口（第２の供給口） ５４ 給液路（第２の流体供給路） ５６ ヘッダ部（第２のヘッダ部） ５８ マイクロチャンネル部 ６２ 給液口（第２の供給口） ６４ ミキシング流路 ６６ 入液口 ６８ 出液口 ８６ マイクロミキサー ８８ 給液路（第１の流体供給路） ９０ ヘッダ部（第１のヘッダ部） ９２ マイクロチャンネル部 ９４ 給液口（第１の給液口） １００ マイクロミキサー １０２ 給液路（第１の流体供給路） １０４ ヘッダ部 １１０ マイクロミキサー １１２ ミキサー本体 １１４ ベースプレート １１４Ａ 表面部（ベースプレート） １１４Ｂ 裏面部（ベースプレート） １１６ ベースプレート １１６Ａ 表面部（ベースプレート） １１６Ｂ 裏面部（ベースプレート） １１８ 給液路（第１の流体供給路） １１９ ヘッダ部（第１のヘッダ部） １２０ マイクロチャンネル １２１ 給液口（第１の供給口） １２４ 給液路（第１の流体供給路） １２５ ヘッダ部（第１のヘッダ部） １２６ マイクロチャンネル １２７ 給液口（第１の供給口） １３０ 給液路（第２の流体供給路） １３１ ヘッダ部（第２のヘッダ部） １３２ マイクロチャンネル １３３ 貫通部 １３６ 給液路（第２の流体供給路） １３７ ヘッダ部（第２のヘッダ部） １３８ マイクロチャンネル １３９ 貫通部 １４８ 給液路（第１の流体供給路） １４９ ヘッダ部（第１のヘッダ部） １５０ マイクロチャンネル １５１ 給液口（第１の供給口） １５４ 給液路（第１の流体供給路） １５５ ヘッダ部（第１のヘッダ部） １５６ マイクロチャンネル １５７ 給液口（第１の供給口） １６０ 給液路（第２の流体供給路） １６１ ヘッダ部（第２のヘッダ部） １６２ マイクロチャンネル １６３ 貫通部 １６４ 給液口（第２の供給口） １６６ ヘッダ部（第２のヘッダ部） １６７ マイクロチャンネル １６８ 貫通部 １６９ 給液口（第２の供給口） １７８，１８０，１８２，１８４ 延長路 １８０，１８２，１８４，１８６ 給液口

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H023 BA07 EA01 4G035 AB02 AB04 AB37 AB52 AC01 AE13

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体を複数の流体供給路から１本のミキ
   シング流路内へ導入し、これらの流体を薄片状の層流と
   して流通させつつ、流体同士をその接触界面の法線方向
   へ拡散し、混合するマイクロミキサーであって、 厚さ方向に沿った両端面がそれぞれ表面部及び裏面部と
   されたベースプレートと、 前記厚さ方向に沿って前記ベースプレートの表面部上に
   積層され、該ベースプレートと共にミキサー本体を構成
   するミキシングプレートと、 前記ベースプレートの表面部に沿って形成され、前記ミ
   キサー本体の外部から流体が供給される第１のヘッダ部
   及び、該第１のヘッダ部と繋がり前記ベースプレートの
   表面部に開口するスリット状の第１の供給口が設けられ
   た第１の流体供給路と、 前記ベースプレートに形成され、該ベースプレートの裏
   面部に開口し前記ミキサー本体の外部から流体が供給さ
   れる第２のヘッダ部及び、前記ベースプレートを貫通す
   る貫通部を介して前記第２のヘッダ部と繋がり、前記第
   １の供給口と幅方向に沿って隣接するように前記ベース
   プレートの表面部に開口するスリット状の第２の供給口
   が設けられた第２の流体供給路と、 前記ミキシングプレートに形成され、前記第１の供給口
   及び前記第２の供給口を前記幅方向に沿って横断するよ
   うに前記ミキシングプレートの裏面部に開口するスリッ
   ト状の入液口及び、前記ミキシングプレートを貫通する
   混合部を介して前記入液口と繋がり、前記ミキシングプ
   レートの表面部に開口する出液口が設けられたミキシン
   グ流路とを有し、 前記前記第１の供給口及び前記第２の供給口の前記幅方
   向に沿った開口幅を１μm以上で５００μm以下としたこ
   とを特徴とするマイクロミキサー。
2. 【請求項２】 前記第１の流体供給路及び前記第２の流
   体供給路の少なくとも一方を前記ベースプレートに２本
   形成したことを特徴とする請求項１記載のマイクロミキ
   サー。
3. 【請求項３】 前記第１の流体供給路を前記第１のヘッ
   ダ部と前記第１の供給口との間で複数に分岐し、前記ベ
   ースプレートの表面部に複数の第１の供給口を櫛歯状に
   開口させると共に、前記第２の流体供給路を前記第２の
   ヘッダ部と前記第２の供給口との間で複数に分岐し、前
   記ベースプレートの表面部に複数の第２の供給口を櫛歯
   状に開口させ、複数の第１の供給口と複数の第２の供給
   口とを前記幅方向に沿って交互に配置したことを特徴と
   する請求項１又は２記載のマイクロミキサー。
4. 【請求項４】 前記厚さ方向に沿って一対の前記ベース
   プレートを積層すると共に、該一対のベースプレート上
   に前記ミキシングプレートを積層して前記ミキサー本体
   を構成し、 前記ミキシングプレートに隣接する一方ベースプレート
   に、他方のベースプレートにおける第１の流体供給路及
   び第２の流体供給路にそれぞれ繋がる延長路を穿設し、
   該延長路により他方のベースプレートにおける第１の流
   体供給路及び第２の流体供給路をそれぞれ一方のベース
   プレートの表面部まで延長し、該表面部に第１の供給口
   及び前記第２の供給口を開口させたことを特徴とする請
   求項１、２又は３記載のマイクロミキサー。