JP2003207738A - 光照射装置 - Google Patents

光照射装置

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JP2003207738A
JP2003207738A JP2002008131A JP2002008131A JP2003207738A JP 2003207738 A JP2003207738 A JP 2003207738A JP 2002008131 A JP2002008131 A JP 2002008131A JP 2002008131 A JP2002008131 A JP 2002008131A JP 2003207738 A JP2003207738 A JP 2003207738A
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light
frame
reflecting mirror
frame body
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Shiyouchi Yoshiyasu
勝置 美安
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Ushio Denki KK
Ushio Inc
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Ushio Denki KK
Ushio Inc
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21VFUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V15/00Protecting lighting devices from damage
    • F21V15/01Housings, e.g. material or assembling of housing parts
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21VFUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V17/00Fastening of component parts of lighting devices, e.g. shades, globes, refractors, reflectors, filters, screens, grids or protective cages
    • F21V17/10Fastening of component parts of lighting devices, e.g. shades, globes, refractors, reflectors, filters, screens, grids or protective cages characterised by specific fastening means or way of fastening
    • F21V17/12Fastening of component parts of lighting devices, e.g. shades, globes, refractors, reflectors, filters, screens, grids or protective cages characterised by specific fastening means or way of fastening by screwing

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  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
  • Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Projection Apparatus (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の目的は、反射鏡の交換及び、光学系
の位置決めの容易な光照射装置を提供することである。 【解決手段】 本発明の請求項1に記載の光照射装置
は、ランプと、ランプからの光を反射する反射鏡と、反
射した光を取り込んで放射する出射光学ユニットと、該
出射光学ユニットを取り付ける出射光学ユニット取付部
材と、該ランプの点灯を制御する制御部とを備えた光照
射装置において、上記ランプと、反射鏡と、出射光学ユ
ニット取付部材とを固定する、第1の枠体と、上記制御
部を固定する、第2の枠体とを設け、上記第1の枠体
を、第2の枠体より着脱自在に設けたことを特徴として
いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、ショートアーク型
の光源ランプから放射される光を被処理物に照射する光
照射装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】光照射装置から放射される光を被処理物
である接着剤、塗料、インキ、レジスト等に照射して硬
化させたり乾燥させることが行われている。また、逆
に、これらの被処理物を溶融させたり軟化させるなどの
さまざまな処理が行われている。ここで、上記光照射装
置の光源としては、一般に、キセノンランプや超高圧水
銀ランプ等の、ショートアーク型の放電ランプが用いら
れている。そして、光ディスク用のピックアップレンズ
を接着したり、電子部品を基板へ接着したりする等、微
小域に光を照射する必要がある場合には、上記光照射装
置の出射光学ユニット取付部材(後述する。)に、出射
光学ユニット(後述する。)として導光ファイバー(後
述する。)を取り付け、光源ランプの光を導光ファイバ
ーで導いて微小域に照射する。また、情報記録層として
アルミニウムが蒸着された光ディスク基板の保護膜の硬
化や貼り合わせ、カラーフィルタが設けられた液晶基板
の貼り合わせ等、比較的広い領域に、照度分布の均一な
光を照射する必要がある場合には、上記光照射装置の出
射光学ユニット取付部材に、出射光学ユニットとしてレ
ンズユニット(後述する。)を取り付け、光源ランプの
光を、レンズユニットを介して、照射領域が広く、照度
分布の均一な光とし、該光を被処理物に照射する。
【0003】図1に、従来の光照射装置の断面図を示
す。光照射装置1は、枠体10の外装を装置カバー(図
示しない)で覆ってなり、枠体10の内部には、光学系
2と、該光学系の構成であるランプ(後述する)の点灯
・消灯を制御する制御部3が設けられている。上記光学
系2は、具体的には、内部に電極を有するショートアー
ク型の放電ランプ2a、例えばキセノンランプや超高圧
水銀ランプと、該ランプから放射される光を反射する反
射鏡2b、例えば楕円反射鏡(断面が楕円形状)を備え
てなり、該ランプ2aの発光部2a1が楕円反射鏡2b
の第1焦点F1またはその近傍となるように調整され、
枠体10にそれぞれ固定されている。したがって、ラン
プ2aより放射され、反射鏡2bによって反射された光
は、該反射鏡2bの第2焦点F2に集光される。一方、
上記制御部3は、具体的には、放電ランプ2aを点灯さ
せるための電気回路基板や部品など(一次側電流平滑回
路、インバータ回路、二次側整流平滑回路、スタータ例
えばトランス、コンデンサ、IC部品など)からなり、
光源部2と同様に、枠体10に内包されて固定されてい
る。そして、ランプ2aと制御部3とは、配線ケーブル
4によって接続され、電源(図示しない)より供給され
た電力が、制御部3を介してランプ2aに供給される。
【0004】ところで、ランプ2aより放射され、反射
鏡2bによって反射された光は、該反射鏡2bの第2焦
点F2に集光されて、光照射装置1の外部に放射される
が、微小域に、照度分布が均一で、高強度の光を照射す
る必要がある場合には、第2焦点F2の位置に、導光フ
ァイバー5の入射端面5aを位置させて、ランプ2aの
光を導光ファイバー5で導き、出射端面5bに設けられ
たレンズ5cを介して微小域に照射し、比較的広い領域
に、照度分布の均一な光を照射する必要がある場合に
は、第2焦点F2の位置に、レンズや反射ミラーで構成
されたレンズユニット6の第2焦点設定点6a1(レン
ズユニットの光学設計を行う上で、第2焦点を設定した
位置)を位置させて、ランプ2aの光を、レンズユニッ
ト6を介して、照射領域が広く、照度分布の均一な光と
して照射していた。ここで、導光ファイバー5の入射端
面5aや、レンズユニット6の第2焦点設定点6a1を
第2焦点F2の位置に位置させる、すなわち特定の位置
に位置決めするのは、ランプ2aより放射され、反射鏡
2bによって反射された光を最大限に取り込むことがで
きるようにし、かつ上記出射光学ユニットから照射され
る光の照度分布を均一なものとするためである。
【0005】上記したように、微小域に、照度分布が均
一で、高強度の光を照射する為、または比較的広い領域
に、照度分布の均一な光を照射する為には、導光ファイ
バー5の入射端面5a、またはレンズユニット6の第2
焦点設定点6aを第2焦点F2の位置に位置させる必要
が有る。従来の光照射装置1においては、上記出射光学
ユニット(導光ファイバー5、レンズユニット6)の位
置決めをするための、出射光学ユニット取付部材7を枠
体10に設けて、導光ファイバー5の入射端面5a、ま
たはレンズユニット6の第2焦点設定点6a1を第2焦
点F2の位置に位置させていた。実際には、図1に示す
ように、出射光学ユニット取付部材7は、内径φA,φ
Bの貫通孔7a,7bを有しており、導光ファイバー5
の入射端に設けた係合部材8の端面8a、またはレンズ
ユニット6の入射端部の端面6aを、出射光学ユニット
取付部材7の突き当て部7cに突き当てて、上記出射光
学ユニット導光ファイバー5、レンズユニット6)のX
方向の位置決めを行っていた。また、係合部材8及びレ
ンズユニット6の入射端部は、外径寸法がφAより僅か
に小さい円筒形状を有しており、係合部材8またはレン
ズユニット6の入射端部を、出射光学ユニット取付部材
7の内径φAを有する貫通孔に嵌め合わせることによ
り、X方向と直交する方向の位置決めを行っていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した光
学系2を構成する反射鏡2bは、使用寿命や劣化が生じ
るため、定期的または不定期に交換する必要が生じる。
従来の光照射装置1においては、反射鏡2bを交換した
後、反射鏡2bの第1焦点F1にランプ2aの発光部2
a1が位置するように、また出射光学ユニット取付部材
7の予め設定された位置に反射鏡2a1の第2焦点F2
が位置するように、反射鏡2bの位置決め調整を行って
いたが、この位置決め調整作業は非常に手間が掛かり、
接着剤、塗料、インキ、レジスト等を硬化・乾燥させた
り、被処理物を溶融・軟化させるなどの処理の生産性を
低下させる原因となっていた。
【0007】本発明は、以上のような事情に基づいてな
されたものであって、本発明の目的は、反射鏡の交換を
速やかに行うことができ、且つ接着剤、塗料、インキ、
レジスト等を硬化・乾燥させたり、被処理物を溶融・軟
化させるなどの処理を行う生産現場における、反射鏡の
位置決め調整の不要な光照射装置を提供することであ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に記載
の光照射装置は、ランプと、ランプからの光を反射する
反射鏡と、反射した光を取り込んで放射する出射光学ユ
ニットと、該出射光学ユニットを取り付ける出射光学ユ
ニット取付部材と、該ランプの点灯を制御する制御部と
を備えた光照射装置において、上記ランプと、反射鏡
と、出射光学ユニット取付部材とを固定する、第1の枠
体と、上記制御部を固定する、第2の枠体とを設け、上
記第1の枠体を、第2の枠体より着脱自在に設けたこと
を特徴としている。また、本発明の請求項2に記載の光
照射装置は、ランプと、ランプからの光を反射する反射
鏡と、反射した光を取り込んで放射する出射光学ユニッ
トと、該出射光学ユニットを取り付ける出射光学ユニッ
ト取付部材と、該ランプの点灯を制御する制御部とを備
えた光照射装置において、上記出射光学ユニット取付部
材を固定する、第1の枠体と、上記制御部を固定する、
第2の枠体とを設け、上記ランプと、反射鏡を固定す
る、第3の枠体とを設け、上記第1の枠体を、第2の枠
体より着脱自在に設け、上記第3の枠体を、第1の枠体
より着脱自在に設けたことを特徴としている。
【0009】
【作用】本発明の請求項1,2に記載の光照射装置によ
れば、第1の枠体は、第2の枠体より着脱自在となって
いる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施例に係る光
照射装置について説明する。本発明の実施例に係る光照
射装置の構成は、図1に示したものとほぼ同一の構成を
有し、詳細には、枠体の構成に差異を有する。図2に本
発明の実施例に係る光照射装置の断面図を示す。本発明
の実施例に係る光照射装置100は、従来の光照射装置
1と同様に、外装を装置カバー(図示しない)で覆って
なり、該光照射装置100の内部には、光学系2と、該
光学系2の構成であるランプの点灯・消灯を制御する制
御部3が備えられている。上記光学系2は、内部に電極
を有するショートアーク型の放電ランプ2aと、該ラン
プから放射される光を反射する楕円反射鏡2bを備えて
なり、該ランプ2aの発光部2a1が楕円反射鏡2b
(断面が楕円形)の第1焦点F1またはその近傍となる
ように調整されている。したがって、ランプ2aより放
射され、反射鏡2bによって反射された光は、該反射鏡
2bの第2焦点F2に集光される。そして、ランプ2a
と制御部3とは、配線ケーブル4によって接続され、電
源(図示しない)より供給された電力が、制御部3を介
してランプ2aに供給される。また、出射光学ユニット
(導光ファイバー5、レンズユニット6)の位置決めを
するための、出射光学ユニット取付部材7が、光照射装
置100の内部に備えられており、導光ファイバー5の
入射端面5a、またはレンズユニット6の第2焦点設定
点6aを、第2焦点F2の位置に位置決めすることが可
能になっている。
【0011】そして、上述の光照射装置100の内部に
備えられた、上記光学系2(ランプ2a,反射鏡2
b)、制御部3、出射光学ユニット取付部材7は、2つ
の枠体、すなわち第1の枠体101と、第2の枠体10
2とに別々にに固定されており、第1の枠体101に
は、光学系2と出射光学ユニット取付部材7とが位置決
めされた状態で固定され、第2の枠体102には、制御
部3が固定されている。そして、第2の枠体102に対
して、第1の枠体101は、取付け・取外しが可能な固
定手段、例えばネジ103によってネジ止めすることに
より固定されている。したがって、第1の枠体101
は、第2の枠体102に対して着脱自在な構成となって
いる。
【0012】次に、第1の枠体101の構造について、
図3を用いて説明する。図3は、第1の枠体101の構
造を示す斜視図である。なお、ランプ2aとランプ2a
を固定する手段は省略している。第1の枠体101は、
変形の起りにくい直方体形状をなしており、第1の枠体
101の下面に、第2の枠体102に固定するための固
定板101aが設けられている。そして、固定板101
aには、第2の枠体102に設けられたネジ穴(図示し
ない)と一致した位置に、貫通孔101bが設けられて
おり、該貫通孔101bを介してネジ103を第2の枠
体102に固定するようになっている。
【0013】次に、反射鏡2bを交換し、位置決め調整
をする場合の手順について説明する。 光照射器100の装置カバー(図示しない)を取り外
した後、ランプ2aを取り外す。 次に、ネジ103を取り外して、第2の枠体102よ
り第1の枠体101を取り外す。 第1の枠体101より、交換すべき反射鏡2bを取り
外し、新しい反射鏡2bと、ランプ2aを第1の枠体1
01に取り付ける。 反射鏡2bの第1焦点F1にランプ2aの発光部2a
1が位置するように、また出射光学ユニット取付部材7
の予め設定された位置に反射鏡2bの第2焦点F2が位
置するように、反射鏡2bを正確に位置決めする。 ネジ103によってネジ止めすることにより、第1の
枠体101を第2の枠体102に固定する。
【0014】次に、本発明の実施例の作用・効果を説明
する。本発明の実施例に係る光照射装置100によれ
ば、ランプ2aと、反射鏡2bと、出射光学ユニット取
付部材7とを固定する、第1の枠体101と、制御部3
を固定する、第2の枠体102とを設け、第1の枠体1
01を、第2の枠体102より着脱自在に設けたので、
反射鏡2bの第1焦点F1にランプ2aの発光部2a1
が位置するように、また出射光学ユニット取付部材7の
予め設定された位置に反射鏡2bの第2焦点F2が位置
するように、反射鏡2bを正確に位置決めして第1の枠
体101に固定した、新たなユニット(光学系2と出射
光学ユニット取付部材7が固定された、第1の枠体10
1)を予め用意しておけば、該ユニットごと交換するだ
けで、反射鏡2bの交換を行うことができ、且つ生産現
場における反射鏡2bの位置決め調整が不要となる。
【0015】図4に、本発明の実施例に係る光照射装置
の、第1の枠体の、他の構造を示す。図4は、第1の枠
体111の構造を示す斜視図である。なお、ランプ2a
とランプ2aを固定する手段は省略している。第1の枠
体111は、前述の第1の枠体101と同様に、変形の
起りにくい直方体形状をなしており、第1の枠体111
の下面に、第2の枠体102に固定するための固定板1
11aが設けられている。そして、固定板111aに
は、第2の枠体102に設けられたネジ穴(図示しな
い)と一致した位置に、貫通孔111bが設けられてお
り、該貫通孔111bを介してネジ103を第2の枠体
102に固定するようになっている。また、第1の枠体
111には、着脱自在に設けられた第3の枠体112が
設けられており、該枠体112には、光学系2の構成で
ある反射鏡2bが、反射鏡支持軸112a、反射鏡支持
板112bによって、支持、固定されている。そして、
第1の枠体111への第3の枠体112の取付け・取外
しは、ネジ111cの取付け・取外しによって行えるよ
うになっている。
【0016】次に、反射鏡2bを交換し、位置決め調整
をする場合の手順について説明する。 光照射器100の装置カバー(図示しない)とランプ
2aを取り外す。 次に、ネジ103を取り外して、第2の枠体102よ
り第1の枠体111を取り外す。(この状態とすること
により、反射鏡2bを装置100本体より離れた場所で
交換できるようになる。) 更に、ネジ111cを取り外して、第1の枠体111
より第3の枠体112を取り外す。(この状態とするこ
とにより、反射鏡2bを第1の枠体111の外部で交換
することができる。) 第3の枠体112より、交換すべき反射鏡2bを取り
外し、新しい反射鏡2bと、ランプ2aを第3の枠体1
12に取り付ける。 ネジ111cによってネジ止めすることにより、第3
の枠体112を第1の枠体111に固定する。 反射鏡2bの第1焦点F1にランプ2aの発光部2a
1が位置するように、また出射光学ユニット取付部材7
の予め設定された位置に反射鏡2bの第2焦点F2が位
置するように、反射鏡2bを正確に位置決めする。 ネジ103によってネジ止めすることにより、第1の
枠体111を第2の枠体102に固定する。
【0017】次に、本発明の実施例の作用・効果を説明
する。本発明の実施例に係る光照射装置100によれ
ば、ランプ2aと、反射鏡2bと、出射光学ユニット取
付部材7とを固定する、第1の枠体111と、制御部3
を固定する、第2の枠体102とを設け、第1の枠体1
11を、第2の枠体102より着脱自在に設けたので、
反射鏡2bの第1焦点F1にランプ2aの発光部2a1
が位置するように、また出射光学ユニット取付部材7の
予め設定された位置に反射鏡2bの第2焦点F2が位置
するように、反射鏡2bを正確に位置決めして第1の枠
体111に固定した、新たなユニット(光学系2と出射
光学ユニット取付部材7が固定された、第1の枠体11
1)を予め用意しておけば、該ユニットごと交換するだ
けで、反射鏡2bの交換を行うことができ、且つ生産現
場における反射鏡2bの位置決め調整が不要となる。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光照射装
置によれば、反射鏡2bの交換を速やかに行うことがで
き、且つ生産現場における反射鏡2bの位置決め調整の
不要な光照射装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来の光照射装置の断面図である。
【図2】 本発明の実施例に係る光照射装置の断面図で
ある。
【図3】 第1の枠体の構造を示す斜視図である。
【図4】 本発明の実施例に係る光照射装置の、第1の
枠体の、他の構造を示す。
【符号の説明】
1,100 光照射装置 2 光学系 2a ランプ 2a1 発光部 2b 反射鏡 3 制御部 4 配線ケーブル 5 導光ファイバー 5a 導光ファイバーの入射端面 5b 導光ファイバーの出射端面 5c レンズ 6 レンズユニット 6a レンズユニットの入射端部の端面 6a1 第2焦点設定点 7 出射光学ユニット取付部材 7a,7b 貫通孔 7c 突き当て部 8 係合部材 8a 係合部材の端面 10 枠体 101,111 第1の枠体 101a,111a 固定板 101b,111b 貫通孔 111c ネジ 102 第2の枠体 103 ネジ 112 第3の枠体 112a 反射鏡支持軸 112b 反射鏡支持板 F1 第1焦点 F2 第2焦点

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ランプと、ランプからの光を反射する反
    射鏡と、反射した光を取り込んで放射する出射光学ユニ
    ットと、該出射光学ユニットを取り付ける出射光学ユニ
    ット取付部材と、該ランプの点灯を制御する制御部とを
    備えた光照射装置において、 上記ランプと、反射鏡と、出射光学ユニット取付部材と
    を固定する、第1の枠体と、 上記制御部を固定する、第2の枠体とを設け、 上記第1の枠体を、第2の枠体より着脱自在に設けたこ
    とを特徴とする光照射装置。
  2. 【請求項2】 ランプと、ランプからの光を反射する反
    射鏡と、反射した光を取り込んで放射する出射光学ユニ
    ットと、該出射光学ユニットを取り付ける出射光学ユニ
    ット取付部材と、該ランプの点灯を制御する制御部とを
    備えた光照射装置において、 上記出射光学ユニット取付部材を固定する、第1の枠体
    と、 上記制御部を固定する、第2の枠体とを設け、 上記ランプと、反射鏡を固定する、第3の枠体とを設
    け、 上記第1の枠体を、第2の枠体より着脱自在に設け、 上記第3の枠体を、第1の枠体より着脱自在に設けたこ
    とを特徴とする光照射装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2951028B2 (ja) * 1991-04-30 1999-09-20 三洋電機株式会社 光学機器の光源用ランプ位置決め取付け装置
JP3419587B2 (ja) * 1995-05-19 2003-06-23 株式会社富士通ゼネラル 液晶プロジェクタの光源装置
KR200160907Y1 (ko) 1997-11-11 1999-11-15 윤종용 램프장착기구
JP3275838B2 (ja) * 1998-07-21 2002-04-22 ウシオ電機株式会社 光照射装置
JP2000206619A (ja) * 1999-01-18 2000-07-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd ランプと液晶プロジェクション装置

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