JP2003203823A - グリーンシートの積層方法および積層型電子部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】グリーンシートの積層体の表面に変形を生じさ
せず、グリーンシートの積層体を簡単に吸着ヘッドから
取り外すことができるとともに、保持基板とグリーンシ
ートの積層体との熱収縮の違いによる反りの発生を防止
できるグリーンシートの積層方法を提供する。 【解決手段】受圧テーブル６上に、キャリアフィルム２
により裏打ちされたグリーンシート３を吸引保持する工
程と、吸着面１０ｂを有する吸着ヘッド１０を受圧テー
ブル６に近接させ、グリーンシート３をキャリアフィル
ム２から吸着ヘッド１０上に移し替えて複数枚のグリー
ンシートを吸着面上に熱圧着積層させる工程とを備える
グリーンシートの積層方法において、吸着ヘッド１０の
吸着面１０ｂ上に、金属製の保持基板１７を吸着保持さ
せ、この保持基板１７の上にグリーンシートを圧着し、
次にこのグリーンシート上に順次グリーンシートを熱圧
着積層する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、受圧テーブル上
に、キャリアフィルムにより裏打ちされたグリーンシー
トを吸引保持し、吸着面を有する吸着ヘッドを受圧テー
ブルに近接させ、グリーンシートをキャリアフィルムか
ら吸着ヘッド上に移し替えて熱圧着積層させるグリーン
シートの積層方法およびこの積層方法を用いた積層型電
子部品の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、積層コンデンサなどの積層型電子
部品を製造する方法として、キャリアフィルムに裏打ち
された連続状グリーンシートを受圧テーブル上にシート
送り機構により搬送、位置決めし、このグリーンシート
に切断刃を持つ吸着ヘッドを近接させ、切断刃によって
閉ループをなす切断線を形成した後、切断刃内にグリー
ンシートを熱圧着して積層体を形成する方法が知られて
いる（特許第２５０４２７６号公報参照）。ところが、
吸着ヘッドの吸着面には真空吸引装置と接続された吸引
穴が設けられており、この吸着面上にグリーンシートを
直接積層すると、吸着面に密着した最外層のグリーンシ
ートに吸引穴による吸引跡が生じるとともに、吸引穴に
対応する部分には圧力がかからず、デラミネーション等
の不良の原因となるという問題がある。また、吸着面に
グリーンシートが密着するため、吸着ヘッドから積層体
を取り外す際に、吸着面にグリーンシートの一部が残存
し、吸着面が汚染されるという問題がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】そこで、吸着ヘッドの
吸着面に保持基板またはフィルムを吸着保持し、この保
持基板にグリーンシートを熱圧着積層したものが提案さ
れている（特開平７−７８７２５号公報）。保持基板と
しては、例えば表面が離型処理されたＰＥＴなどの弾性
シートが使用される。この場合には、吸着ヘッドとグリ
ーンシートとの間に保持基板が介在しているので、グリ
ーンシートの表面に吸引穴による吸引跡が発生するのを
防止でき、かつ吸引を停止するだけで、グリーンシート
の積層体と保持基板とを簡単に吸着ヘッドから取り外す
ことができる。

【０００４】ところが、グリーンシートの積層体と保持
基板とを吸着ヘッドから取り外した時、急に冷やされる
ため熱収縮が起こり、保持基板とグリーンシートの積層
体との熱収縮の違いにより反りが発生するという問題が
あった。一般に、グリーンシートの積層体の方がＰＥＴ
に比べて熱収縮が大きい。グリーンシートの積層体に対
しては、その後で熱圧着プレスを行う必要があるが、反
りが発生したままではプレス金型にセットできないの
で、従来では熱を加えたり、圧縮したりして反り戻し工
程を実施する必要があり、作業工程が増えるという不具
合があった。また、保持基板と積層体との熱収縮の違い
による反りを少なくするため、保持基板を厚くする方法
もあるが、これでは吸着ヘッドの熱がグリーンシートに
伝わりにくくなり、グリーンシート同士の熱圧着・積層
に不具合をきたす欠点がある。

【０００５】そこで、本発明の目的は、上述のような問
題点を解消できるグリーンシートの積層方法を提供する
ことにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明は、受圧テーブル上に、キャ
リアフィルムにより裏打ちされたグリーンシートを吸引
保持する工程と、吸着面を有する吸着ヘッドと受圧テー
ブルとを近接させ、グリーンシートをキャリアフィルム
から吸着ヘッド上に移し替えて複数枚のグリーンシート
を吸着面上に熱圧着積層させる工程とを備えるグリーン
シートの積層方法において、上記吸着ヘッドの吸着面上
に、金属製の保持基板を吸着保持させ、この保持基板上
に上記グリーンシートを圧着し、次にこのグリーンシー
ト上に順次グリーンシートを熱圧着積層することを特徴
とするグリーンシートの積層方法を提供する。

【０００７】本発明では、保持基板としてＰＥＴなどの
樹脂板ではなく、金属板を使用している。グリーンシー
トを積層した状態で保持基板を吸着ヘッドから取り外し
た時、保持基板と積層体との熱収縮差があっても、金属
製の保持基板は剛性が高いので、反りが発生しにくい。
そのため、反り戻し工程を実施する必要がない。また、
当然ながら、吸着ヘッドに吸引穴が設けられていても、
積層体の表面に吸引跡が残ることがない。さらに、積層
体を吸着ヘッドから取り外すとき、保持基板と一緒に取
り外せばよいので、吸着ヘッドにグリーンシートが残存
せず、取り外し作業が容易になるとともに、積層体にダ
メージが加わることがない。また、吸着ヘッドにヒータ
を設けた場合には、金属製保持基板の熱伝導性がよいの
で、ヒータの熱が保持基板に積層された積層体に効率よ
く伝達され、熱圧着性が向上するという特徴がある。

【０００８】一般的なセラミックグリーンシート、ＰＥ
Ｔ、金属板の各熱膨張係数（×１０^-5／℃）、熱伝導率
（ｋ／Ｗ／ｍ^-1・Ｋ^-1）、弾性係数（Ｅ／Ｐａ）は次の
通りである。

【０００９】

【表１】

【００１０】セラミックグリーンシートの場合、熱膨張
係数は組成により大きく変化し、１〜２０×１０^-5／℃
である。ＰＥＴは、上述のように幅方向と長手方向とで
熱膨張係数が異なり、特に長手方向の熱膨張係数が大き
い。一方、金属板の場合、ＰＥＴと同様にセラミックグ
リーンシートとの熱膨張係数差が大きいが、ＰＥＴに比
べて弾性係数が１００倍以上であり、積層されたグリー
ンシートの熱収縮力による反りの発生を防止できる。ま
た、金属板の熱伝導率がＰＥＴに比べて５０倍以上であ
り、熱伝導性が良好であるため、厚肉板を用いても熱伝
導性を低下させない。金属板としては、例えばＳＵＳ４
３０，ＳＫ材，ＳＣ材，ＳＵＳ３０４などを使用するこ
とができる。この中で、ＳＵＳ４３０，ＳＫ材，ＳＣ材
は磁性を有するが、ＳＵＳ３０４は磁性を有しない。

【００１１】保持基板を吸着ヘッドに吸着保持する方法
として、請求項２のように、吸着ヘッドの吸着面に保持
基板を真空吸着する吸引穴を設け、金属板を吸着保持し
てもよい。真空吸引を解除することによって、金属板と
積層体とを吸着ヘッドから簡単に取り外すことができ
る。また、保持基板が磁性を有する金属板の場合には、
請求項３のように、吸着ヘッドに保持基板を吸着面に吸
着する磁石を設けてもよい。例えば電磁石を用いた場合
には、グリーンシートの積層中は電磁石を励磁して保持
基板を吸着ヘッドに吸着しておき、電磁石を消磁するこ
とにより金属板と積層体とを吸着ヘッドから簡単に取り
出すことができる。

【００１２】請求項４のように、グリーンシートが積層
される保持基板の表面に、グリーンシート接着層を設け
るのがよい。金属板よりなる保持基板にグリーンシート
が接着された時、保持基板の性質によってはグリーンシ
ートと強く接着できず、キャリアフィルムからグリーン
シートを剥離する際に逆に保持基板から剥離してしまう
可能性がある。そこで、保持基板の表面にグリーンシー
トとの接着性のよい接着層を設けることで、グリーンシ
ートを強く接着でき、積層作業を効率良く行なうことが
できる。

【００１３】請求項５のように、キャリアフィルム上に
連続的に形成された連続グリーンシートから所定の大き
さの方形グリーンシートを切断する切断刃を吸着ヘッド
に設け、方形グリーンシートを切断刃の内側に配置され
た保持基板上に積層するのがよい。すなわち、キャリア
フィルム上の連続グリーンシートをカッティングヘッド
で方形グリーンシートに切断した後、別の吸着ヘッドを
方形グリーンシート上に密着させ、方形グリーンシート
をキャリアフィルムから剥離するとともに積層する方法
もあるが、この場合には、切断された方形グリーンシー
トと吸着ヘッドとの位置合わせが必要になる。これに対
し、吸着ヘッドに切断刃を設ければ、吸着ヘッドを受圧
テーブル上の連続グリーンシートに押し付けることによ
り、切断刃によるグリーンシートの切断、方形グリーン
シートへの圧着、切断刃の内側への積層を一工程で実施
できるので、位置合わせの必要がなく、作業効率が向上
するとともに、位置精度も高い。

【００１４】本発明の金属製保持基板は、グリーンシー
トの積層工程だけでなく、その後の熱プレス工程および
チップ状へのカット工程にも用いることができる。すな
わち、請求項６では、複数の方形グリーンシートを保持
基板上に熱圧着積層した後、グリーンシートの積層体を
保持基板に接着したまま吸着ヘッドから取り外し、吸着
ヘッドから取り外されたグリーンシートの積層体を保持
基板とともに熱プレスし、プレス後のグリーンシートの
積層体を保持基板に接着したままチップ状にカットし、
積層型電子部品を得ている。このように保持基板を熱プ
レス時の加圧金型として用いることができるので、積層
工程の後工程にそのまま送ることができる。さらに、積
層体が金属板に固定されているため、この金属板の外形
を基準として位置決めが可能であり、位置決め機構が単
純になるとともに、積層体にダメージを与えることな
く、取り扱いが容易となる。なお、保持基板を加圧金型
として用いる場合には、平面度が十分でたもの（好まし
くは１０μｍ以下）とするのがよい。

【００１５】本発明にかかる金属製保持基板の厚みは、
グリーンシートの積層体の搬送時における反りを防止す
るのに十分な剛性を備え、かつ軽量化のために０．５〜
２ｍｍとするのが好ましい。一方、保持基板を熱プレス
用の治具にも使用するのであれば、より高い剛性が必要
とされるので、３〜５ｍｍとするのが好ましい。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１は本発明にかかるグリーンシ
ートの積層装置の第１実施例を示す。連続体シート１
は、図２に示すように、長尺なキャリアフィルム２の上
に薄層のセラミックグリーンシート３を連続的にシート
成形したものであり、グリーンシート３の表面には所定
ピッチ間隔で電極パターン４が印刷等にて形成されてい
る。

【００１７】連続体シート１はシート送り機構（図示せ
ず）によって印刷面を上向きにして定尺ずつ間欠搬送さ
れ、受圧テーブル６の上に送られる。受圧テーブル６
は、グリーンシート３を熱圧着に適した温度（例えば７
０℃〜１５０℃）に加熱するためのヒータ７と、連続体
シート１の裏面を吸着保持する吸引穴８とを備えてお
り、上記連続体シート１の電極パターン４が形成された
部位を位置決めすることができる。

【００１８】受圧テーブル６の上方には、吸着ヘッド１
０が配置されている。吸着ヘッド１０は、その上面に突
設したガイド軸１１を固定台１２に設けたガイド１３に
挿通することにより、上下動自在に支持されている。吸
着ヘッド１０の上面中央部には、固定台１２に固定され
たシリンダ等の加圧離反機構１４の可動ロッド１４ａが
係合する係合部１０ａが設けられており、吸着ヘッド１
０は加圧離反機構１４によって上下方向に駆動され、受
圧テーブル６に対して接近・離反可能である。加圧離反
機構１４は、熱圧着に適した加圧力、例えば５〜５０Ｍ
Ｐａでの加圧が可能である。吸着ヘッド１０の内部に
は、熱圧着時にグリーンシート（積層体５）を熱圧着に
適した温度（例えば７０℃〜１５０℃）に均一に加熱す
ることができるヒータ１５が設けられている。

【００１９】この実施例の吸着ヘッド１０には、吸着手
段である磁石１６が固定されており、この磁石１６の磁
力により保持基板１７が下面（吸着面）１０ｂに吸着保
持されている。保持基板１７は、ＳＵＳ４３０，ＳＫ
材，ＳＣ材のような磁性金属板で構成され、平坦度が１
０μｍ以下の平板がよい。保持基板１７は、後述する積
層体５とともに吸着ヘッド１０から取り外した時、積層
体５の熱収縮力によって撓みが発生しないだけの剛性を
備えたものが望ましい。磁石１６としては永久磁石でも
よいが、磁力を制御できる電磁石を用いてもよい。ま
た、吸着ヘッド１０自体は非磁性材料で形成するのがよ
い。

【００２０】吸着ヘッド１０の周囲には、グリーンシー
ト３に閉ループ状の切断線ＣＬ（図２参照）を形成する
切断刃１８が配置されている。切断刃１８は環状のホル
ダ１８ａに固定されており、ホルダ１８ａは固定台１２
の支持台１２ａ上に支持された切断刃駆動手段１９によ
って吸着ヘッド１０に対して上下動可能である。なお、
切断刃１８は枠状に組み合わせた一体刃でもよいし、独
立に駆動可能な４枚の刃で構成してもよい。

【００２１】次に、上記構成よりなるグリーンシートの
積層装置の動作を説明する。まず、連続体シート１が受
圧テーブル６上に搬送され、吸引穴８から吸引すること
で位置決めされる。連続体シート１のキャリアフィルム
２上には連続グリーンシート３がシート成形され、グリ
ーンシート３の上にはスクリーン印刷等により電極パタ
ーン４が所定ピッチ間隔で形成されている（図２参
照）。次に、加圧離反機構１４によって吸着ヘッド１０
を下方へ駆動すると同時に、切断刃駆動手段１９によっ
て切断刃１８を降下させる。そして、切断刃１８を先に
連続グリーンシート３に押し当て、グリーンシート３に
閉ループ状の切断線ＣＬを形成する。切断刃１８による
切断の後、吸着ヘッド１０の吸着面１０ｂに吸着された
保持基板１７を切断された方形グリーンシートに熱圧着
させる。保持基板１７と方形グリーンシートは、共にヒ
ータ１５，７によって加熱されているので、グリーンシ
ートに含まれるバインダが溶融して保持基板１７に接着
される。なお、吸着ヘッド１０の熱圧着時に切断刃１８
がキャリアフィルム２を切断しないように、切断刃１８
は吸着ヘッド１０に対して相対的に上方へ移動する。次
に、切断刃１８を上昇させるとともに、吸着ヘッド１０
を上昇させる。この時、方形グリーンシートはキャリア
フィルム２に比べて保持基板１７との接着力の方が強い
ので、方形グリーンシートはキャリアフィルム２から剥
離されて保持基板１７に乗り移る。グリーンシートをキ
ャリアフィルム２から剥離しやすくするため、キャリア
フィルム２の表面に予め離型処理を施してもよい。１回
目の熱圧着が終了した後、上記の切断ステップ、熱圧着
ステップ、剥離ステップを繰り返すことで、複数の方形
グリーンシートが切断刃１８で囲まれた保持基板１７上
に積層され、積層体５となる。

【００２２】上記のようにして複数のグリーンシートを
積層してなる積層体５は、吸着ヘッド１０の磁石１６の
磁力を解除することにより、保持基板１７とともに吸着
ヘッド１０から取り出される。取り出された保持基板１
７および積層体５は、図３の（ａ）に示すような一体構
造物であるから、ハンドリングが容易であり、積層体５
に応力が加わることがなく、積層体５へのダメージがな
い。また、保持基板１７が剛性のある金属板であるか
ら、積層体５の熱収縮による反りの発生もない。積層体
５の内部には電極パターン４よりなる内部電極が形成さ
れている。保持基板１７および積層体５は、後述する熱
プレス工程へ搬送される。

【００２３】なお、保持基板１７と積層体５との接着力
を高めるため、図３の（ｂ）のように保持基板１７の表
面に予め接着層９を設けてもよい。接着層９としては、
例えばバインダ成分が他のグリーンシートより多いグリ
ーンシートを用いてもよいし、グリーンシート３および
金属板１７に対する接着性の良好な樹脂層を用いてもよ
い。樹脂層としては、例えば表面粗さＲａ＝５０〜２０
０ｎｍの樹脂フィルムを用いてもよい。さらに、保持基
板１７の表面を表面粗さＲａ＝５０〜２００ｎｍ程度の
粗面としたものでもよい。

【００２４】図４は熱プレス装置２０を示す。吸着ヘッ
ド１０から取り外された保持基板１７および積層体５
は、熱プレス装置２０へ搬送され、ここで熱プレスが実
施される。熱プレス装置２０は、図４の（ａ）のように
下金型２１と、枠金型２２とを備えており、保持基板１
７が上金型として機能する。なお、下金型２１と保持基
板１７とを上下逆にしてもよい。下金型２１の凸部２１
ａに枠金型２２の穴２２ａを嵌合させ、その上から積層
体５を下向きにして保持基板１７を枠金型２２の穴２２
ａに挿入する。そして、下金型２１と保持基板１７との
間に２０〜１００ＭＰａ程度の圧力と熱を加えて加圧す
ると、圧密状態の積層体５となる。保持基板１７は、熱
プレス工程を複数回繰り返しても変形しないだけの強度
を備えたものが望ましい。

【００２５】上記のように熱プレス工程が終了した保持
基板１７および積層体５は、次にチップカット工程に搬
送される。ここで、積層体５は所定寸法にカットされ、
未焼成チップとなる。なお、カット時においてチップが
保持基板１７から剥離するのを防止するため、図３の
（ｂ）に示す接着層９付きの保持基板１７を用いるのが
よい。保持基板１７は、チップカット工程において積層
体５を保持する保持具としての機能を有するので、カッ
トずれを防止でき、高精度なチップを得ることができ
る。チップ状にカットされた未焼成チップは、その後、
保持基板１７から取り外され、脱脂・焼成処理が行なわ
れて焼成チップとなる。このチップに外部電極を形成す
ることにより、積層コンデンサなどの積層型電子部品が
完成する。

【００２６】上記のように、保持基板１７は積層工程〜
熱プレス工程〜チップカット工程において継続的に使用
される。保持基板１７は剛性のある金属板であるため、
保持基板１７に接着された積層体５は各工程の搬送中、
変形や外力の影響を受けず、しかも保持基板１７と積層
体５とは輪郭寸法が同一のため、保持基板１７を位置決
めすれば、同時に積層体５も位置決めしたことになり、
ハンドリング、位置決め作業が容易となる。そして、保
持基板１７は繰り返して何度も使用できるため、経済的
である。

【００２７】図５は本発明にかかるグリーンシートの積
層装置の第２実施例を示す。なお、図１と同一機能部分
には同一符号を付して重複説明を省略するこの実施例で
は、吸着ヘッド１０に設けられる吸着手段として、磁石
に代えて真空吸引装置と接続された吸引穴３０を吸着面
１０ｂに設けたものである。この場合には、保持基板１
７として必ずしも磁性金属板を使用する必要はなく、例
えばＳＵＳ３０４やアルミニウムのような非磁性金属板
であってもよい。また、切断刃１８は、吸着ヘッド１０
の側部に上下動可能に取り付けられ、スプリング３１に
よって下方に突出するように付勢されている。吸着ヘッ
ド１０を降下させて切断刃１８をグリーンシート３に押
し付けると、グリーンシート３のみを閉ループ状に切断
し、さらに吸着ヘッド１０を降下させても切断刃１８は
上方へ退避できるようになっている。そして、吸着ヘッ
ド１０を上昇させれば、それに遅れて切断刃１８も上昇
する。この構造の場合には、切断刃１８の駆動機構が簡
素にかつ小型になる。

【００２８】図６は本発明にかかるグリーンシートの積
層装置の第３実施例を示す。この実施例は第１実施例の
変形例であり、吸着ヘッド１０の周囲に切断刃１８に代
わって積層枠４０を設けたものである。キャリアフィル
ム２上の連続グリーンシート３は、吸着ヘッド１０とは
別に設けたカッティングヘッドによって予め方形グリー
ンシートにカットされる。そして、方形グリーンシート
の上方に吸着ヘッド１０を位置決めし、積層枠４０を方
形グリーンシートの周囲のグリーンシートに押し付けた
後で、保持基板１７またはその上に積層された積層体５
を方形グリーンシートに熱圧着する。その後、吸着ヘッ
ド１０を引き上げることにより、キャリアフィルム２か
ら方形グリーンシートのみを剥離し、その後、遅れて積
層枠４０が連続グリーンシート３から離れることで、積
層枠４０の内側の保持基板１７にグリーンシートを積層
できる。なお、積層枠４０を駆動する駆動機構１９とし
ては、図６のような吸着ヘッド１０と独立して駆動でき
るものに限らず、図５のようなスプリング３１を用いて
もよい。

【００２９】上記実施例では、切断刃または積層枠を先
にグリーンシートに押し当て、その後で保持基板または
その上に積層された積層体をグリーンシートに熱圧着す
るようにしたが、切断刃または積層枠の押し当てと、保
持基板またはその上に積層された積層体による熱圧着と
を同時にしてもよいし、熱圧着を先に行い、遅れて切断
してもよい。また、熱圧着時に連続グリーンシートおよ
び積層体を加熱するため、受圧テーブル６および吸着ヘ
ッド１０の双方にヒータ７，１５を設けたが、いずれか
一方にのみ設けてもよい。

【００３０】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、吸着ヘッドの吸着面上に、金属製の保持基板を
吸着保持させ、この保持基板の上にグリーンシートを熱
圧着積層するようにしたので、グリーンシートを積層し
た状態で保持基板を吸着ヘッドから取り外した時、保持
基板と積層体との熱収縮差があっても、金属製の保持基
板は剛性が高いので、反りが発生しにくい。そのため、
反り戻し工程を実施する必要がない。また、吸着ヘッド
の吸着面に吸引穴が設けられていても、積層体の表面に
吸引跡が残ることがなく、積層体にデラミネーションな
どの不具合を発生させることもない。さらに、積層体を
吸着ヘッドから取り外すとき、保持基板と一緒に取り外
せばよいので、吸着ヘッドにグリーンシートが残存せ
ず、取り外し作業が容易になるとともに、積層体にダメ
ージが加わることがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るグリーンシートの積層装置の第１
実施例の全体図である。

【図２】連続体シートの一例の平面図である。

【図３】吸着ヘッドから取り出された積層体と保持基板
の２つの例を示す図である。

【図４】熱プレス装置を示す図である。

【図５】本発明に係るグリーンシートの積層装置の第２
実施例の図である。

【図６】本発明に係るグリーンシートの積層装置の第３
実施例の図である。

【符号の説明】

１ 連続体シート ２ キャリアフィルム ３ 連続グリーンシート ４ 電極パターン ５ 積層体 ６ 受圧テーブル ７ ヒータ ８ 吸引穴 ９ 接着層 １０ 吸着ヘッド １５ ヒータ １６ 磁石 １７ 保持基板 １８ 切断刃 １９ 切断刃駆動手段

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】受圧テーブル上に、キャリアフィルムによ
   り裏打ちされたグリーンシートを吸引保持する工程と、
   吸着面を有する吸着ヘッドと受圧テーブルとを近接さ
   せ、グリーンシートをキャリアフィルムから吸着ヘッド
   上に移し替えて複数枚のグリーンシートを吸着面上に熱
   圧着積層させる工程とを備えるグリーンシートの積層方
   法において、上記吸着ヘッドの吸着面上に、金属製の保
   持基板を吸着保持させ、この保持基板上に上記グリーン
   シートを圧着し、次にこのグリーンシート上に順次グリ
   ーンシートを熱圧着積層することを特徴とするグリーン
   シートの積層方法。
2. 【請求項２】上記吸着ヘッドの吸着面には保持基板を真
   空吸着する吸引穴が設けられていることを特徴とする請
   求項１に記載のグリーンシートの積層方法。
3. 【請求項３】上記保持基板は磁性金属板で構成され、上
   記吸着ヘッドには磁性金属板を吸着面に吸着する磁石が
   設けられていることを特徴とする請求項１に記載のグリ
   ーンシートの積層方法。
4. 【請求項４】上記グリーンシートが積層される保持基板
   の表面に、グリーンシート接着層が設けられていること
   を特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のグリ
   ーンシートの積層方法。
5. 【請求項５】上記キャリアフィルム上に連続的に形成さ
   れた連続グリーンシートから所定の大きさの方形グリー
   ンシートを切断する切断刃が上記吸着ヘッドに設けら
   れ、上記方形グリーンシートは切断刃の内側に配置され
   た保持基板上に積層されることを特徴とする請求項１な
   いし４のいずれかに記載のグリーンシートの積層方法。
6. 【請求項６】キャリアフィルム上に連続的にグリーンシ
   ートを形成する工程と、上記連続グリーンシート上に電
   極パターンを形成する工程と、受圧テーブル上にグリー
   ンシートを支持するキャリアフィルムの裏面を吸引保持
   する工程と、キャリアフィルム上に形成された連続グリ
   ーンシートから電極パターンを含む所定の大きさの方形
   グリーンシートを切断する工程と、吸着ヘッドの吸着面
   上に、上記方形グリーンシートに対応した大きさの金属
   製の保持基板を吸着保持させる工程と、上記吸着ヘッド
   と受圧テーブルとを近接させ、吸着ヘッドに吸着された
   保持基板を方形グリーンシートに熱圧着させる工程と、
   上記吸着ヘッドと受圧テーブルとを離間させ、方形グリ
   ーンシートをキャリアフィルムから剥離するとともに、
   保持基板上に移し替える工程と、上記切断工程と熱圧着
   工程と剥離工程とを順次繰り返すことで、保持基板上に
   複数の方形グリーンシートを積層する工程と、グリーン
   シートの積層体を保持基板に接着したまま吸着ヘッドか
   ら取り外す工程と、吸着ヘッドから取り外されたグリー
   ンシートの積層体を保持基板とともに熱プレスする工程
   と、プレス後のグリーンシートの積層体を保持基板に接
   着したままチップ状にカットする工程と、を有する積層
   型電子部品の製造方法。