JP2003197794A - Package for electronic component - Google Patents

Package for electronic component

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JP2003197794A
JP2003197794A JP2001395907A JP2001395907A JP2003197794A JP 2003197794 A JP2003197794 A JP 2003197794A JP 2001395907 A JP2001395907 A JP 2001395907A JP 2001395907 A JP2001395907 A JP 2001395907A JP 2003197794 A JP2003197794 A JP 2003197794A
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JP
Japan
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ceramic
lid
package
identification mark
colored film
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Application number
JP2001395907A
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Japanese (ja)
Inventor
Tatsuya Murakami
達也 村上
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Daishinku Corp
Original Assignee
Daishinku Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16152Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the clearness of an identification mark made by laser impression without giving damage such as a crack, breakage or the like to a ceramic package due to the laser impression, to allow the ceramic package adaptable to a thin-thick one, and to reduce a size and a height. <P>SOLUTION: The package for an electronic component is provided with a ceramic substrate 1 mounting an electronic element and a ceramic lid 2 for sealing the mounted electronic element airtightly. On the upper surface of at least one plane of the ceramic substrate or the ceramic lid, a color film H1 having a color different from that of the ceramic substrate or the ceramic lid. Then, the upper surface is irradiated with such a low-power laser which burns up only the color film to form an identification mark M where the ceramic substrate or the ceramic lid is partially exposed. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は電子部品用セラミッ
クパッケージに識別マークを形成する構成に関するもの
であり、特に、圧電振動子や圧電フィルタなどの圧電振
動デバイス用パッケージに適用されるものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure for forming an identification mark on a ceramic package for electronic parts, and particularly to a structure for a piezoelectric vibration device such as a piezoelectric vibrator or a piezoelectric filter.

【0002】[0002]

【従来の技術】気密封止を必要とする電子部品用パッケ
ージの例として、水晶振動子、水晶フィルタ、水晶発振
器あるいはSAWフィルタ等の圧電振動デバイス用パッ
ケージがあげられる。これらはいずれも水晶振動板(圧
電振動板)の表面に金属薄膜電極を形成し、この金属薄
膜電極を外気から保護するため、気密封止されている。
2. Description of the Related Art An example of a package for electronic parts which requires hermetic sealing is a package for a piezoelectric vibrating device such as a crystal oscillator, a crystal filter, a crystal oscillator or a SAW filter. In all of these, a metal thin film electrode is formed on the surface of a quartz diaphragm (piezoelectric diaphragm), and the metal thin film electrode is hermetically sealed in order to protect the metal thin film electrode from the outside air.

【0003】これら圧電振動デバイス製品は部品の表面
実装化の要求から、セラミックパッケージ(一般的には
アルミナ含有量が90%前後であり、素地が黒色のセラ
ミック)に気密的に収納する構成が増加している。この
ようなセラミックパッケージを用いる場合、パッケージ
基体と蓋との接合は多種多様の接合方法が検討されてい
る。例えばはんだ接合、樹脂接合、低融点ガラス接合、
抵抗溶接、電子ビーム溶接等各種の接合方法があげられ
るが、よく用いられる接合方法の1つとして、低融点ガ
ラスによる気密封止がある。
Due to the requirement for surface mounting of these piezoelectric vibrating device products, the structure in which they are hermetically housed in a ceramic package (generally, the alumina content is about 90% and the base is black ceramic) is increasing. is doing. When using such a ceramic package, various bonding methods for bonding the package base and the lid have been studied. For example, solder joint, resin joint, low melting point glass joint,
There are various joining methods such as resistance welding and electron beam welding. One of the joining methods that is often used is hermetic sealing with low melting point glass.

【0004】この低融点ガラスによる気密封止は、封止
に伴う部品コストの低下が可能であり、しかも接合の
際、多数個の接合を一括して行えるバッチ処理が可能と
なるため、製造コストも低下できる。また、パッケージ
の封止構成が比較的単純であるため、小型化、低背化に
対応させやすく、電子素子の収容領域も比較的広く確保
できるといった利点を有している。
The airtight sealing using the low melting point glass can reduce the cost of the parts associated with the sealing, and further, the batch processing can be performed so that a large number of joints can be performed at the same time. Can also be reduced. Further, since the package has a relatively simple sealing structure, it has advantages that it is easy to cope with downsizing and height reduction, and a relatively large area for accommodating electronic elements can be secured.

【0005】特に、厚みすべり振動する表面実装型水晶
振動子の場合、水晶振動素子のサイズが比較的大きな低
周波タイプのものに使用されることが多く、パッケージ
としても薄型かつ比較的幅広の形態をとっている。
In particular, in the case of a surface mount type crystal resonator that vibrates in thickness shear vibration, it is often used for a low frequency type crystal resonator element having a relatively large size, and the package is thin and relatively wide. Is taking.

【0006】また、上述のようなセラミックパッケージ
製品では、その蓋の上面部や基体の底面部、側面部の1
部等に、製造会社名、製造品名、製造ロットナンバーな
どの識別マークが捺印される。この識別マークのマーキ
ング手段としては、近年、インクを用いたオフセット捺
印に代わり、レーザーなどを照射するレーザー捺印が普
及している。これは、オフセット捺印に比べて、捺印ス
ピードが極めて早くかつ正確に行え、捺印も消えにく
い。また、刻印がいらず、捺印工程を短縮できるといっ
たレーザー捺印に特有の利点があるからである。
Further, in the ceramic package product as described above, one of the top surface of the lid, the bottom surface of the base, and the side surface is
An identification mark such as a manufacturing company name, a product name, and a manufacturing lot number is imprinted on a department or the like. As a marking means for this identification mark, in recent years, a laser marking for irradiating a laser or the like has been widely used instead of the offset marking using ink. Compared with the offset marking, the marking speed is extremely fast and accurate, and the marking is hard to erase. Further, there is an advantage peculiar to the laser marking that the marking step can be shortened without the need for marking.

【0007】しかしながら、セラミックパッケージで
は、レーザー捺印による識別マークは不鮮明になりやす
く、鮮明度を向上させるために、レーザーのパワーを上
げてセラミックパッケージを焼失させる必要があった。
レーザーのパワーを上げてセラミックパッケージを焼失
させると、セラミック基体とセラミック蓋の封止部分に
クラックが入ったり、薄物のセラミックパッケージでは
セラミック自体が破壊されることもあった。特に、ガラ
ス封止製品ではガラス封止部分にクラックが入りやす
く、最悪の場合、気密不良などを招くこともあった。ま
た、レーザー捺印による識別マークは、薄物のセラミッ
クパッケージに対応できず、セラミックパッケージ小形
化、低背化の妨げとなっていた。
However, in the ceramic package, the identification mark by the laser marking is liable to be unclear, and in order to improve the sharpness, it is necessary to increase the laser power to burn out the ceramic package.
When the power of the laser is increased to burn out the ceramic package, cracks may occur in the sealing portion between the ceramic base and the ceramic lid, or the ceramic itself may be broken in the thin ceramic package. In particular, in a glass-sealed product, cracks are likely to occur in the glass-sealed portion, and in the worst case, airtightness may be deteriorated. Further, the identification mark by laser marking cannot be applied to a thin ceramic package, which hinders downsizing and height reduction of the ceramic package.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点を
解決するためになされたもので、レーザー捺印によるセ
ラミックパッケージへのクラック、破壊等のダメージを
与えることなく、レーザー捺印による識別マークの鮮明
度を向上させるとともに、薄物のセラミックパッケージ
にも対応でき、小形化、低背化が行える電子部品用パッ
ケージを提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and a clear identification mark by laser marking can be provided without damaging the ceramic package by laser marking such as cracking or destruction. We provide a package for electronic parts that can be made compact and have a low profile while also improving the flexibility and supporting thin ceramic packages.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は請求項1に示すように、電子素子を搭載す
るセラミック基体と、搭載された電子素子を気密封止す
るセラミック蓋とを具備してなる電子部品用パッケージ
であって、前記セラミック基体、またはセラミック蓋の
少なくとも1平面の上面には、前記セラミック基体、ま
たはセラミック蓋と色合いの異なる有色膜が形成されて
おり、当該有色膜のみを焼失させる程度の低パワーでレ
ーザーを照射して、前記セラミック基体、またはセラミ
ック蓋の1部が露出した識別マークを形成してなること
を特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a ceramic base on which an electronic element is mounted, and a ceramic lid for hermetically sealing the mounted electronic element. An electronic component package comprising: a colored film having a color different from that of the ceramic base or the ceramic lid is formed on an upper surface of at least one plane of the ceramic base or the ceramic lid. It is characterized in that an identification mark is formed by exposing the ceramic substrate or a part of the ceramic lid by irradiating a laser with a power low enough to burn out only the film.

【0010】また、特許請求項2に示すように、上述の
構成に加え、前記セラミック基体と前記セラミック蓋と
はガラス封止されてなることを特徴とする。
Further, as set forth in claim 2, in addition to the above-mentioned constitution, the ceramic base and the ceramic lid are glass-sealed.

【0011】また、特許請求項3に示すように、上述の
構成に加え、前記識別マークを形成してなるセラミック
基体、あるいは前記識別マークを形成してなるセラミッ
ク蓋の少なくとも一方は、白色の高純度アルミナセラミ
ックで構成し、暗色の有色膜が形成されてなることを特
徴とする。
Further, as described in claim 3, in addition to the above-mentioned structure, at least one of the ceramic substrate having the identification mark or the ceramic lid having the identification mark has a white color. It is characterized in that it is composed of a pure alumina ceramic and is formed with a dark colored film.

【0012】また、特許請求項4に示すように、上述の
構成に加え、前記セラミック蓋の上面に識別マークを形
成してなり、当該セラミック蓋は、白色の高純度アルミ
ナセラミックで構成し、暗色の有色膜が形成されてなる
とともに、そのセラミック蓋を0.25mmより薄く形成
してなることを特徴とする。
In addition to the above-mentioned structure, an identification mark is formed on the upper surface of the ceramic lid, and the ceramic lid is made of white high-purity alumina ceramic and has a dark color. The colored film is formed, and the ceramic lid is formed to be thinner than 0.25 mm.

【0013】[0013]

【発明の効果】本発明の特許請求項1により、有色膜は
識別マークが形成される部分でレーザー照射されて焼失
され、有色膜と色合いの異なるセラミック基体、あるい
はセラミック蓋の素地が露出した識別マークが施される
ので、当該識別マークと有色膜とのコントラストがよく
なり、より鮮明に識別マークが表記できる。また、当該
有色膜のみを焼失させる程度の低パワーでレーザーを照
射するので、セラミックにレーザーが照射されたとして
も、セラミックが晶質化を伴わない溶融となり、レーザ
ー捺印によるセラミックパッケージへのクラック、破壊
等のダメージを与えることもない。
According to the first aspect of the present invention, the colored film is burned by being irradiated with the laser at the portion where the identification mark is formed, and the ceramic substrate having a different color from the colored film or the base material of the ceramic lid is exposed. Since the mark is provided, the contrast between the identification mark and the colored film is improved, and the identification mark can be written more clearly. Further, since the laser is irradiated with a power low enough to burn off only the colored film, even if the ceramic is irradiated with the laser, the ceramic is melted without crystallization, and cracks in the ceramic package by laser marking, It does not cause damage such as destruction.

【0014】本発明の特許請求項2により、上述の作用
効果に加え、レーザー捺印をガラス封止製品に適用して
もガラス封止部分にクラックが入りことがなくなり、気
密不良などを防止する。
According to the second aspect of the present invention, in addition to the above-described effects, even if the laser marking is applied to the glass-sealed product, cracks are not formed in the glass-sealed portion, and airtightness is prevented.

【0015】本発明の特許請求項3により、上述の作用
効果に加え、少なくとも識別マークを形成してなるセラ
ミック基体、あるいはセラミック蓋を白色の高純度アル
ミナセラミックで構成することで、従来のセラミックパ
ッケージに比べて、高密度、高強度のセラミックパッケ
ージが得られる。そして、高密度、高強度のセラミック
パッケージであるため、パッケージ素材としての気密性
が向上し、しかもレーザー捺印によるクラック、破壊の
影響も飛躍的に低減できる。また、前記セラミックパッ
ケージでは、暗色の有色膜中に白色の識別マークを施す
ので、識別マークの鮮明度が向上される。
According to claim 3 of the present invention, in addition to the above-described effects, the ceramic base body having at least the identification mark or the ceramic lid is made of a white high-purity alumina ceramic, thereby providing a conventional ceramic package. Compared with, high density and high strength ceramic package can be obtained. Further, since it is a high-density and high-strength ceramic package, the airtightness as a package material is improved, and the effects of cracking and breaking due to laser marking can be dramatically reduced. Further, in the ceramic package, since the white identification mark is formed in the dark colored film, the definition of the identification mark is improved.

【0016】本発明の特許請求項4により、上述の作用
効果に加え、セラミックパッケージのさらなる小形化、
低背化を実現できる。また、電子部品用セラミックパッ
ケージとしては、最も目に付きやすいセラミック蓋の上
面に識別マークを形成し、かつ当該セラミック蓋では、
暗色の有色膜中に白色の識別マークを施すので、識別マ
ークの認識度、鮮明度が飛躍的に向上する。
According to claim 4 of the present invention, in addition to the above-mentioned effects, further miniaturization of the ceramic package,
Low profile can be realized. In addition, as a ceramic package for electronic parts, an identification mark is formed on the upper surface of the ceramic lid that is most noticeable, and in the ceramic lid,
Since the white identification mark is formed in the dark colored film, the recognition degree and sharpness of the identification mark are dramatically improved.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】本発明の第1の実施形態による電
子部品用パッケージとして、表面実装型の水晶振動子を
例にとり図1、図2とともに説明する。図1は本発明の
第1の実施形態を示す斜視図であり、図2は図1のA−
A断面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS As a package for electronic parts according to a first embodiment of the present invention, a surface mount type crystal resonator will be described as an example with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is A- of FIG.
FIG.

【0018】表面実装型水晶振動子は、全体として直方
体形状で、平板形状のセラミック基体1と、当該基体の
上面に搭載される電子素子としての水晶振動板3と、こ
れらの上部に被せる逆凹形に開口したセラミック蓋2と
からなる。この蓋の逆凹部分により、水晶振動素子の収
容スペース(搭載スペース)を形成している。
The surface-mount type crystal unit has a rectangular parallelepiped shape as a whole, a flat plate-shaped ceramic base 1, a crystal vibrating plate 3 as an electronic element mounted on the upper surface of the base, and a reverse concave covering the upper part thereof. And a ceramic lid 2 that is open in shape. An accommodation space (mounting space) for the crystal vibrating element is formed by the reverse recessed portion of the lid.

【0019】セラミック基体1は、素地が黒色のセラミ
ック(例えば、アルミナ含有用が90%)により、平板
形状に構成されいる。セラミック基体の封止エリア11
には、封止用の低融点ガラスGが印刷形成されている。
セラミック基体の水晶振動素子搭載面12には、短辺方
向に並んで電極パッド13,14(13は図示せず)が
形成されている。これら電極パッドは連結電極15,1
6(15は図示せず)を介して、セラミック基体の底面
に引出電極17,18(17は図示せず)として電気的
に引き出されている。前記電極パッド13,14には、
矩形の水晶振動板3が搭載され、その長辺方向の一端が
片持ち支持されている。水晶振動板3の表裏面には図示
していないが一対の励振電極が形成され、各々電極パッ
ド13,14部分に引き出されており、導電性接合材S
により導電接合されている。前述の電極パッド13,1
4、連結電極15,16、および引出電極17,18
は、メタライズにより形成される。
The ceramic substrate 1 is made of a black ceramic (for example, 90% alumina-containing ceramics) in a flat plate shape. Ceramic base sealing area 11
A low melting point glass G for sealing is formed by printing.
Electrode pads 13 and 14 (13 is not shown) are formed side by side in the short side direction on the crystal vibrating element mounting surface 12 of the ceramic base. These electrode pads are connection electrodes 15 and 1
Via 6 (15 is not shown), electrodes 17 and 18 (17 are not shown) are electrically drawn to the bottom surface of the ceramic substrate. The electrode pads 13 and 14 include
A rectangular crystal diaphragm 3 is mounted, and one end in the long side direction is cantilevered. Although not shown, a pair of excitation electrodes are formed on the front and back surfaces of the crystal diaphragm 3 and are extended to the electrode pads 13 and 14, respectively, and the conductive bonding material S
Are electrically conductively joined together. The above-mentioned electrode pads 13, 1
4, connection electrodes 15 and 16, and extraction electrodes 17 and 18
Are formed by metallization.

【0020】セラミック蓋2は、素地が黒色のセラミッ
ク(例えば、アルミナ含有用が90%)により、断面で
見て逆凹形状に形成され、開口端部21と被覆面部22
を具備している。これらの形状は、セラミック積層技術
により容易に作成することができる。前記開口端部21
には、封止用の低融点ガラスGが印刷形成されており、
前記被覆面部22の上面には、不滅インク等からなる白
色の有色膜H1が形成されている。
The ceramic lid 2 is made of black ceramic (for example, 90% alumina-containing material) in a concave shape when viewed in cross section, and has an open end portion 21 and a covering surface portion 22.
It is equipped with. These shapes can be easily created by ceramic lamination technology. The open end 21
A low melting point glass G for sealing is formed by printing on
A white colored film H1 made of immortal ink or the like is formed on the upper surface of the covering surface portion 22.

【0021】そして、前記セラミック基体の封止エリア
11の上に、前記セラミック蓋の開口端部21を搭載
し、この状態で加熱炉に所定時間投入し、低融点ガラス
Gを溶融させ、その後常温に冷やすことで前記低融点ガ
ラスを硬化し、気密封止される。なお、前記有色膜は気
密封止された後に形成してもよい。
Then, the opening end 21 of the ceramic lid is mounted on the sealing area 11 of the ceramic substrate, and in this state, it is put into a heating furnace for a predetermined time to melt the low melting point glass G, and then at room temperature. The low melting point glass is hardened by cooling to a low temperature, and is hermetically sealed. The colored film may be formed after being hermetically sealed.

【0022】前記気密封止された水晶振動子パッケージ
は、前記セラミック蓋の上面に、製造会社名、製造品
名、製造ロットナンバーなどの識別マークMがレーザー
捺印される。本発明の第1の実施形態では、蓋2の上面
部に形成された前記白色の有色膜H1のみを焼失させる
低パワーでレーザーを照射して、蓋の素地(黒色)を露
出させて識別マークMを形成している。前記レーザーの
パワーとしては、通常のパワー15〜16mAに対して、
12〜13mAとしており、通常パワーの70%〜90%
程度に下げればよい。
In the hermetically sealed crystal unit package, an identification mark M such as a manufacturer name, a product name, and a production lot number is laser-printed on the upper surface of the ceramic lid. In the first embodiment of the present invention, a laser is irradiated with low power that burns out only the white colored film H1 formed on the upper surface of the lid 2 to expose the base material (black) of the lid and identify the mark. Forming M. As the power of the laser, the normal power of 15 to 16 mA,
12 to 13 mA, 70% to 90% of normal power
You can lower it to some extent.

【0023】上記第1の実施例では、有色膜として、黒
色のセラミックパッケージ(蓋)と色合いの異なる白色
を例にしたが、黒色に対してコントラストの優れた明色
であれば好ましい。黄色、赤色などであっても特に問題
はない。また有色膜は、識別マークが形成される蓋の上
面のみに形成しているが、蓋全体、あるいは基体を含め
たパッケージ全体に有色膜を形成してもよい。
In the first embodiment described above, the colored film is white, which has a different color from the black ceramic package (lid). However, it is preferable that the colored film is a bright color having an excellent contrast with respect to black. Even if it is yellow or red, there is no particular problem. Although the colored film is formed only on the upper surface of the lid on which the identification mark is formed, the colored film may be formed on the entire lid or the entire package including the base.

【0024】本発明の第2の実施形態による電子部品用
パッケージとして、表面実装型の水晶振動子を例にとり
図3、図4とともに説明する。図3は本発明の第2の実
施形態を示す斜視図であり、図4は図3のB−B断面図
である。なお、第1の実施形態と同様の部分については
同番号を付すとともに、説明の1部を割愛した。
As a package for electronic parts according to the second embodiment of the present invention, a surface mount type crystal resonator will be described as an example with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 3 is a perspective view showing a second embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG. The same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and part of the description is omitted.

【0025】表面実装型水晶振動子は、全体として直方
体形状で、平板形状のセラミック基体1と、当該基体の
上面に搭載される電子素子としての水晶振動板3と、こ
れらの上部に被せる逆凹形に開口したセラミック蓋4と
からなる。この蓋の逆凹部分により、水晶振動素子の収
容スペース(搭載スペース)を形成している。
The surface-mount type crystal unit is a rectangular parallelepiped-shaped ceramic substrate as a whole, a flat plate-shaped ceramic substrate 1, a crystal diaphragm 3 as an electronic element mounted on the upper surface of the substrate, and a reverse recessed portion to cover the upper part thereof. A ceramic lid 4 which is open in shape. An accommodation space (mounting space) for the crystal vibrating element is formed by the reverse recessed portion of the lid.

【0026】セラミック蓋4は、素地が白色の高純度ア
ルミナセラミック(例えば、アルミナ含有用が96%)
により、断面で見て逆凹形状に形成され、開口端部41
と被覆面部42を具備している。これらの形状は、セラ
ミック積層技術により容易に作成することができる。前
記開口端部41には、封止用の低融点ガラスGが印刷形
成されており、前記被覆面部42の上面には、不滅イン
ク等からなる黒色(暗色)の有色膜H2が形成されてい
る。また、当該セラミック蓋の被覆面部42は、その厚
みを0.15mmに形成した。このため、一般的なガラス
封止セラミックパッケージにおける蓋の厚み0.25mm
に対して、0.1mmの低背化が可能となった。
The ceramic lid 4 is a high-purity alumina ceramic with a white base (for example, 96% for containing alumina).
Is formed in an inverted concave shape when viewed in cross section by the opening end portion 41.
And a covering surface portion 42. These shapes can be easily created by ceramic lamination technology. A low melting point glass G for sealing is formed by printing on the opening end portion 41, and a black (dark color) colored film H2 made of immortal ink or the like is formed on the upper surface of the covering surface portion 42. . Further, the covering surface portion 42 of the ceramic lid is formed to have a thickness of 0.15 mm. For this reason, the lid thickness of a general glass-sealed ceramic package is 0.25 mm.
On the other hand, it has become possible to reduce the height by 0.1 mm.

【0027】本発明の実施形態の蓋は、高純度アルミナ
セラミックで構成しているため、当該蓋を0.1mm以上
の厚みとし、かつ0.25mmより薄く構成することで、
パッケージ蓋としての気密性を低下させることなく低背
化を実現できる。この蓋を、0.1mmより薄く形成する
と、蓋の曲げ強度が低下して、蓋の反りを招き、パッケ
ージの蓋としての気密性が著しく低下するといった問題
点がある。一方、この蓋を、0.25mm以上の厚みで形
成すると、従来の一般的なガラス封止セラミックパッケ
ージにおける蓋の厚み0.25mmに対して低背化が実現
できず、高純度アルミナセラミックを用いる利点が得ら
れない。
Since the lid of the embodiment of the present invention is made of high-purity alumina ceramic, by making the lid to have a thickness of 0.1 mm or more and thinner than 0.25 mm,
A low profile can be realized without reducing the airtightness of the package lid. If the lid is formed to be thinner than 0.1 mm, the bending strength of the lid is reduced, the lid is warped, and the airtightness of the package as the lid is significantly reduced. On the other hand, if this lid is formed to have a thickness of 0.25 mm or more, it is not possible to achieve a low profile compared with the lid thickness of 0.25 mm in the conventional general glass-sealed ceramic package, and high purity alumina ceramic is used. No benefit.

【0028】そして、前記セラミック基体の封止エリア
11の上に、前記セラミック蓋の開口端部41を搭載
し、この状態で加熱炉に所定時間投入し、低融点ガラス
Gを溶融させ、その後常温に冷やすことで前記低融点ガ
ラスを硬化し、気密封止される。なお、前記有色膜は気
密封止された後に形成してもよい。
Then, the open end portion 41 of the ceramic lid is mounted on the sealing area 11 of the ceramic substrate, and in this state, it is placed in a heating furnace for a predetermined time to melt the low melting point glass G, and then at room temperature. The low melting point glass is hardened by cooling to a low temperature, and is hermetically sealed. The colored film may be formed after being hermetically sealed.

【0029】前記気密封止された水晶振動子パッケージ
は、前記セラミック蓋の上面に、製造会社名、製造品
名、製造ロットナンバーなどの識別マークMがレーザー
捺印される。本発明の第2の実施形態では、蓋2の上面
部に形成された前記黒色の有色膜H2のみを焼失させる
低パワーでレーザーを照射して、蓋の素地(白色)を露
出させて識別マークMを形成している。前記レーザーの
パワーとしては、通常のパワー15〜16mAに対して、
12〜13mAとしており、通常パワーの70%〜90%
程度に下げればよい。
In the hermetically sealed crystal unit package, an identification mark M such as a manufacturer name, a product name, and a production lot number is laser-printed on the upper surface of the ceramic lid. In the second embodiment of the present invention, a laser is irradiated with a low power that burns out only the black colored film H2 formed on the upper surface of the lid 2 to expose the base material (white) of the lid to expose the identification mark. Forming M. As the power of the laser, the normal power of 15 to 16 mA,
12 to 13 mA, 70% to 90% of normal power
You can lower it to some extent.

【0030】上記第2の実施例では、有色膜として、白
色のセラミック蓋と色合いの異なる黒色を例にしたが、
白色に対してコントラストの優れた暗色であれば好まし
い。灰色、茶色などであっても特に問題はない。前記有
色膜は、識別マークが形成される蓋の上面のみに形成し
ているが、蓋全体、あるいは基体を含めたパッケージ全
体に有色膜を形成してもよい。
In the second embodiment, the colored film is made of black, which has a different color from the white ceramic lid.
It is preferable that the color is a dark color having an excellent contrast with respect to white. There is no particular problem even if it is gray or brown. Although the colored film is formed only on the upper surface of the lid on which the identification mark is formed, the colored film may be formed on the entire lid or the entire package including the substrate.

【0031】次に、本発明の第3の実施形態による電子
部品用パッケージとして、表面実装型の水晶振動子を例
にとり図5、図6とともに説明する。図5は本発明の第
3の実施形態を示す斜視図であり、図6は図5のC−C
断面図である。なお、第1,第2の実施形態と同様の部
分については同番号を付している。
Next, as a package for electronic parts according to the third embodiment of the present invention, a surface mount type crystal oscillator will be described as an example with reference to FIGS. FIG. 5 is a perspective view showing a third embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a sectional view taken along line CC of FIG.
FIG. The same parts as those in the first and second embodiments are designated by the same reference numerals.

【0032】表面実装型水晶振動子は、全体として直方
体形状で、上部が開口した凹部を有するセラミック基体
5と、当該基体の中に収容される電子素子としての矩形
水晶振動板3と、前記セラミック基体の開口部に接合さ
れる平板状のセラミック蓋6とからなる。なお、前記セ
ラミック基体の凹部分により、水晶振動素子の収容スペ
ース(素子搭載部)を形成している。
The surface mount type crystal unit is a rectangular parallelepiped as a whole, and has a ceramic base 5 having a concave portion with an open top, a rectangular crystal vibrating plate 3 as an electronic element housed in the base, and the ceramic. It is composed of a flat plate-shaped ceramic lid 6 joined to the opening of the base. The concave portion of the ceramic base forms a housing space (element mounting portion) for the crystal vibrating element.

【0033】セラミック基体5は、素地が白色の高純度
アルミナセラミック(例えば、アルミナ含有用が96
%)により、断面で見て凹形状に形成され、開口端部5
1を有する周壁部52と素子搭載部53を具備してい
る。素子搭載部53には、短辺方向に並んで電極パッド
54,55(54は図示せず)が形成されており、これ
ら電極パッドは連結電極56,57(56は図示せず)
を介して、セラミック基体の底面に引出電極58,59
(58は図示せず)として電気的に引き出されている。
これらの形状は、セラミック積層技術により容易に作成
することができる。また、前記開口端部51には、封止
用の低融点ガラスGが印刷形成されており、前記周壁部
52の側面には、不滅インク等からなる黒色(暗色)の
有色膜H2が形成されている。前記電極パッド54,5
5には、矩形の水晶振動板3が搭載され、その長辺方向
の一端が片持ち支持されている。水晶振動板3の表裏面
には図示していないが一対の励振電極が形成され、各々
電極パッド54,55部分に引き出されており、導電性
接合材Sにより導電接合されている。前述の電極パッド
54,55、連結電極56,57、および引出電極5
8,59は、メタライズにより形成される。
The ceramic substrate 5 is a high-purity alumina ceramic with a white base (for example, 96 for alumina-containing material).
%), It is formed in a concave shape when viewed in cross section, and the opening end 5
1 is provided with the peripheral wall portion 52 and the element mounting portion 53. Electrode pads 54 and 55 (54 is not shown) are formed side by side in the short side direction on the element mounting portion 53, and these electrode pads are connection electrodes 56 and 57 (56 is not shown).
To the bottom surface of the ceramic substrate via the extraction electrodes 58, 59.
(58 is not shown) is electrically drawn out.
These shapes can be easily created by ceramic lamination technology. Further, a low melting point glass G for sealing is formed by printing on the opening end portion 51, and a black (dark color) colored film H2 made of immortal ink or the like is formed on a side surface of the peripheral wall portion 52. ing. The electrode pads 54, 5
A rectangular crystal diaphragm 3 is mounted on the disk 5, and one end in the long side direction is cantilevered. Although not shown, a pair of excitation electrodes are formed on the front and back surfaces of the crystal diaphragm 3, and they are led out to the electrode pads 54 and 55, respectively, and conductively bonded by the conductive bonding material S. The electrode pads 54 and 55, the connecting electrodes 56 and 57, and the extraction electrode 5 described above.
8, 59 are formed by metallization.

【0034】セラミック蓋6は、素地が白色の高純度ア
ルミナセラミック(例えば、アルミナ含有用が96%)
により、平板形状に構成されている。セラミック蓋の封
止エリア61には、封止用の低融点ガラスGが印刷形成
されており、前記蓋の上面には、不滅インク等からなる
黒色(暗色)の有色膜H2が形成されている。また、当
該セラミック蓋は、その厚みを0.15mmに形成した。
このため、一般的なガラス封止セラミックパッケージに
おける蓋の厚み0.25mmに対して、0.1mmの低背化
が可能となった。
The ceramic lid 6 is a high-purity alumina ceramic with a white base (for example, 96% for containing alumina).
Is formed into a flat plate shape. A low melting point glass G for sealing is printed on the sealing area 61 of the ceramic lid, and a black (dark) colored film H2 made of immortal ink or the like is formed on the upper surface of the lid. . The ceramic lid was formed to have a thickness of 0.15 mm.
For this reason, it is possible to reduce the height by 0.1 mm compared with the lid thickness of 0.25 mm in a general glass-sealed ceramic package.

【0035】本発明の実施形態の蓋は、高純度アルミナ
セラミックで構成しているため、当該蓋を0.1mm以上
の厚みとし、かつ0.25mmより薄く構成することで、
パッケージ蓋としての気密性を低下させることなく低背
化を実現できる。この蓋を、0.1mmより薄く形成する
と、蓋の曲げ強度が低下して、蓋の反りを招き、パッケ
ージの蓋としての気密性が著しく低下するといった問題
点がある。一方、この蓋を、0.25mm以上の厚みで形
成すると、従来の一般的なガラス封止セラミックパッケ
ージにおける蓋の厚み0.25mmに対して低背化が実現
できず、高純度アルミナセラミックを用いる利点が得ら
れない。
Since the lid of the embodiment of the present invention is made of high-purity alumina ceramic, by making the lid to have a thickness of 0.1 mm or more and thinner than 0.25 mm,
A low profile can be realized without reducing the airtightness of the package lid. If the lid is formed to be thinner than 0.1 mm, the bending strength of the lid is reduced, the lid is warped, and the airtightness of the package as the lid is significantly reduced. On the other hand, if this lid is formed to have a thickness of 0.25 mm or more, it is not possible to achieve a low profile compared with the lid thickness of 0.25 mm in the conventional general glass-sealed ceramic package, and high purity alumina ceramic is used. No benefit.

【0036】そして、前記セラミック基体の開口端部5
1の上に、前記セラミック蓋の封止エリア61を重ね合
わせて搭載し、この状態で加熱炉に所定時間投入し、低
融点ガラスGを溶融させ、その後常温に冷やすことで前
記低融点ガラスを硬化し、気密封止される。なお、前記
有色膜は気密封止された後に形成してもよい。また、前
記蓋に形成される有色膜については、量産性を考慮し
て、有色膜が形成されたセラミックウェハーをあらかじ
め作成し、その後個々の蓋に切断してもよい。
The open end 5 of the ceramic substrate
1, the sealing area 61 of the ceramic lid is mounted in an overlapping manner, and in this state is put into a heating furnace for a predetermined time to melt the low-melting glass G, and then cooled to room temperature to cool the low-melting glass. It hardens and is hermetically sealed. The colored film may be formed after being hermetically sealed. Regarding the colored film formed on the lid, in consideration of mass productivity, a ceramic wafer on which the colored film is formed may be prepared in advance and then cut into individual lids.

【0037】前記気密封止された水晶振動子パッケージ
は、前記セラミック基体の側面部とセラミック蓋の上面
に、製造会社名、製造品名、製造ロットナンバーなどの
識別マークMがレーザー捺印される。本発明の第3の実
施形態では、前記基体5の側面部と前記蓋6の上面部に
形成された前記黒色の有色膜H2のみを焼失させる低パ
ワーでレーザーを照射して、蓋の素地(白色)を露出さ
せて識別マークMを形成している。前記レーザーのパワ
ーとしては、通常のパワー15〜16mAに対して、12
〜13mAとしており、通常パワーの70%〜90%程度
に下げればよい。
In the hermetically sealed crystal unit package, identification marks M such as a manufacturer name, a product name, and a production lot number are laser-printed on the side surface of the ceramic base and the upper surface of the ceramic lid. In the third embodiment of the present invention, laser irradiation is performed with low power to burn off only the black colored film H2 formed on the side surface portion of the base body 5 and the upper surface portion of the lid 6, and the base material of the lid ( The identification mark M is formed by exposing (white). The power of the laser is 12 with respect to the normal power of 15 to 16 mA.
It is set to ˜13 mA, and may be reduced to about 70% to 90% of the normal power.

【0038】上記第3の実施例では、有色膜として、白
色のセラミック蓋と色合いの異なる黒色を例にしたが、
白色に対してコントラストの優れた暗色であれば好まし
い。灰色、茶色などであっても特に問題はない。前記有
色膜は、識別マークが形成される蓋の上面と基体の側面
の1部のみに形成しているが、パッケージ全体に有色膜
を形成してもよい。
In the third embodiment, the color film is made of black, which has a different color from the white ceramic lid.
It is preferable that the color is a dark color having an excellent contrast with respect to white. There is no particular problem even if it is gray or brown. The colored film is formed only on a part of the upper surface of the lid on which the identification mark is formed and the side surface of the base body, but the colored film may be formed on the entire package.

【0039】上記第1〜第3の実施形態では、セラミッ
ク蓋の上面、またはセラミック基体の側面に色合いの異
なる有色膜を形成し、レーザー捺印したものを例にして
いるが、セラミック蓋の側面部、セラミック基体の底面
部等、他の平面にレーザー捺印を形成してもよく、これ
ら複数の平面にレーザー捺印を形成してもよい。
In the above-mentioned first to third embodiments, the case where a colored film having a different color is formed on the upper surface of the ceramic lid or the side surface of the ceramic substrate and laser-printed is taken as an example. The laser marking may be formed on another plane such as the bottom surface of the ceramic substrate, or the laser marking may be formed on a plurality of these planes.

【0040】有色膜として、不滅インクを例にしたが、
酸化珪素等を蒸着したもの等であってもよく、メッキや
メタライズにより形成することも可能である。さらに、
有色膜として、アルミナセラミック膜を採用し、黒パッ
ケージ素地に対して白、白パッケージ素地に対して黒と
いう具合に互いに色の異なるアルミナ膜を形成してもよ
く、前記黒色のセラミックの上部に白セラミックを積層
したり、前記白色のセラミックの上部に黒セラミックを
積層した後、上層のセラミック層のみを焼失してもよ
い。
An immortal ink was used as an example of the colored film.
It may be a vapor-deposited material such as silicon oxide, or may be formed by plating or metallization. further,
An alumina ceramic film may be used as the colored film, and alumina films of different colors may be formed such that white is used for the black package substrate and black is used for the white package substrate. After laminating ceramics or laminating black ceramics on top of the white ceramics, only the upper ceramic layer may be burned down.

【0041】また、水晶振動デバイスの保持形態とし
て、片端保持構造のものを例にしているが、両端保持構
造のものにも適用できる。さらに、電子部品の例とし
て、水晶振動子の例を示したが、水晶発振器、水晶フィ
ルタ、SAWフィルタ等の他の圧電振動デバイスにも適
用できる。
Further, as the holding mode of the crystal vibrating device, the one-end holding structure is taken as an example, but it can also be applied to the both-end holding structure. Furthermore, although an example of a crystal oscillator is shown as an example of the electronic component, the present invention can be applied to other piezoelectric vibrating devices such as a crystal oscillator, a crystal filter, and a SAW filter.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態を示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of the present invention.

【図2】図1のA−A断面図。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.

【図3】本発明の第2の実施形態を示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing a second embodiment of the present invention.

【図4】図3のB−B断面図。4 is a sectional view taken along line BB of FIG.

【図5】本発明の第3の実施形態を示す斜視図。FIG. 5 is a perspective view showing a third embodiment of the present invention.

【図6】図5のC−C断面図。6 is a cross-sectional view taken along line CC of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,5・・・セラミック基体 2,4,6・・・セラミック蓋 3・・・水晶振動板(電子素子) 1, 5 ... Ceramic substrate 2, 4, 6 ... Ceramic lid 3 ... Crystal diaphragm (electronic element)

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電子素子を搭載するセラミック基体と、
搭載された電子素子を気密封止するセラミック蓋とを具
備してなる電子部品用パッケージであって、前記セラミ
ック基体、またはセラミック蓋の少なくとも1平面の上
面には、前記セラミック基体、またはセラミック蓋と色
合いの異なる有色膜が形成されており、当該有色膜のみ
を焼失させる程度の低パワーでレーザーを照射して、前
記セラミック基体、またはセラミック蓋の1部が露出し
た識別マークを形成してなることを特徴とする電子部品
用パッケージ。
1. A ceramic substrate on which an electronic element is mounted,
An electronic component package comprising a ceramic lid that hermetically seals mounted electronic elements, wherein the ceramic base or the ceramic lid is provided on the upper surface of at least one plane of the ceramic base or the ceramic lid. A colored film having a different color is formed, and the identification mark is formed by exposing the ceramic substrate or a part of the ceramic lid by irradiating a laser with low power enough to burn out only the colored film. A package for electronic parts.
【請求項2】 前記セラミック基体と前記セラミック蓋
とはガラス封止されてなることを特徴とする特許請求項
1記載の電子部品用パッケージ。
2. The electronic component package according to claim 1, wherein the ceramic base and the ceramic lid are glass-sealed.
【請求項3】 前記識別マークを形成してなるセラミッ
ク基体、あるいは前記識別マークを形成してなるセラミ
ック蓋の少なくとも一方は、白色の高純度アルミナセラ
ミックで構成し、暗色の有色膜が形成されてなることを
特徴とする特許請求項1,2記載の電子部品用パッケー
ジ。
3. At least one of the ceramic substrate having the identification mark and the ceramic lid having the identification mark is made of white high-purity alumina ceramic, and a dark colored film is formed. The package for electronic parts according to claim 1, wherein
【請求項4】 前記セラミック蓋の上面に識別マークを
形成してなり、当該セラミック蓋は、白色の高純度アル
ミナセラミックで構成し、暗色の有色膜が形成されてな
るとともに、そのセラミック蓋を0.25mmより薄く形
成してなることを特徴とする特許請求項3項記載の電子
部品用パッケージ。
4. An identification mark is formed on an upper surface of the ceramic lid, the ceramic lid is made of white high-purity alumina ceramic, and a dark colored film is formed on the ceramic lid. The electronic component package according to claim 3, wherein the package is formed to be thinner than 0.25 mm.
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