JP2001028484A - Package for electronic part - Google Patents

Package for electronic part

Info

Publication number
JP2001028484A
JP2001028484A JP11201252A JP20125299A JP2001028484A JP 2001028484 A JP2001028484 A JP 2001028484A JP 11201252 A JP11201252 A JP 11201252A JP 20125299 A JP20125299 A JP 20125299A JP 2001028484 A JP2001028484 A JP 2001028484A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lid
base
corner
shape
corners
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11201252A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3694887B2 (en
Inventor
Hiroyoshi Matsuura
宏嘉 松浦
Minoru Iizuka
実 飯塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daishinku Corp
Original Assignee
Daishinku Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daishinku Corp filed Critical Daishinku Corp
Priority to JP20125299A priority Critical patent/JP3694887B2/en
Publication of JP2001028484A publication Critical patent/JP2001028484A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3694887B2 publication Critical patent/JP3694887B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a package for electronic part which is effective in manufacture. SOLUTION: The package comprises a rectangular substrate 1 in top view, provided with a recess where an element 3 is housed, and a rectangular lid 2 in top view which corresponds to the top surface shape of the substrate and seals it in air-tight, with a sealing material 22 formed at the bonding surface between the lid and the substrate. Here, one corner of the lid is different in shape from other corner. A different-shaped corner of the lid is so arranged as to correspond to a specified corner of the substrate, with the main surface of the lid where a sealing material is formed facing down to contact the bonding surface for the substrate.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、水晶振動子、水晶
フィルタ、水晶発振器などの電子部品用パッケージおよ
びその製造方法に関するものであり、特に、蓋体の表裏
区別、ならびに電子部品の端子方向の区別が必要な電子
部品用パッケージに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a package for electronic parts such as a crystal unit, a crystal filter, and a crystal oscillator, and a method of manufacturing the same. The present invention relates to electronic component packages that need to be distinguished.

【0002】[0002]

【従来の技術】気密封止を必要とする電子部品の例とし
て、水晶振動子、水晶フィルタ、水晶発振器等の水晶応
用製品があげられる。これらはいずれも水晶振動板の表
面に金属薄膜電極を形成し、この金属薄膜電極を外気か
ら保護するため、気密封止されている。
2. Description of the Related Art Examples of electronic components requiring hermetic sealing include quartz crystal products such as quartz oscillators, quartz filters and quartz oscillators. In each of these, a metal thin-film electrode is formed on the surface of a quartz vibrating plate and hermetically sealed to protect the metal thin-film electrode from the outside air.

【0003】近年、特開平8−46075号に示すよう
に、電子ビーム溶接あるいはレーザービーム溶接によ
り、基体の開口部に蓋体(コバール等のリッド材)を被
せ、直接、前記蓋体に形成された封止材を溶融接合する
ことにより、容易かつ安価に気密封止を行う方法が考え
られている。また、シーム溶接による封止でも、高価な
シールリング(コバール等)を用いずに基体の開口部に
金属メッキが形成され、当該メッキに直接、蓋体に形成
された封止材を溶融接合することにより、容易かつ安価
に気密封止を行う方法が考えられている。
In recent years, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-46075, a lid (lid material such as Kovar) is placed over the opening of the base by electron beam welding or laser beam welding, and the lid is formed directly on the lid. A method of easily and inexpensively performing hermetic sealing by melting and joining the sealing materials that have been used has been considered. Further, even in sealing by seam welding, metal plating is formed in the opening of the base without using an expensive seal ring (such as Kovar), and the sealing material formed on the lid is directly melt-bonded to the plating. Thus, a method of performing airtight sealing easily and inexpensively has been considered.

【0004】なお、このような構成では、必要となる封
止領域のみに封止材を形成することで、溶融初期に発生
する余分なガスの排出を抑えることができるうえで好ま
しく、蓋体の溶接側の主面と、基体の封止側の蓋体との
接触部分にのみ、封止材としての金属ロウ材(銀ろう、
金ろう、ニッケルろう、はんだろう、金錫ろう等)、金
属メッキ等(銀メッキ、金メッキ、ニッケルメッキ、は
んだメッキ、金錫メッキ等)を形成したものが用いられ
ることがあった。そして、これらの蓋体には、腐蝕防止
のために、ニッケルフラッシュメッキが上記蓋体の少な
くとも表裏面に形成されている。
In such a configuration, it is preferable to form a sealing material only in a necessary sealing region, because it is possible to suppress the discharge of excess gas generated at the initial stage of melting. Metal brazing material (silver brazing, silver brazing,
In some cases, those formed with gold brazing, nickel brazing, solder brazing, gold tin brazing, etc., and metal plating (silver plating, gold plating, nickel plating, solder plating, gold tin plating, etc.) are used. Then, on these lids, nickel flash plating is formed on at least the front and back surfaces of the lids to prevent corrosion.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の構成
では、気密封止する際に蓋体の露出面(表面とする)と
溶接面(裏面とする)とで表裏の区別が必要であるにも
かかわらず、蓋体の表裏色調があまり変わらず表裏判定
が行いにくい。特に、蓋体の表裏面にニッケルフラッシ
ュメッキが形成された構成では、前記表裏の色調は全く
同じであるため表裏判定が極めて困難であった。また、
完成した電子部品として、端子に方向性がある場合(入
力側端子と出力側端子との区別、あるいは入力端子とア
ース端子との区別、出力端子とアース端子との区別等)
に、製品の端子方向の判定が困難であった。このため、
製造装置における画像認識できず、自動化にも適しにく
いといった問題が考えられる。
However, in the above configuration, it is necessary to distinguish between the exposed surface (the front surface) and the welded surface (the back surface) of the lid at the time of hermetic sealing. Nevertheless, the color tone of the front and back of the lid does not change so much and it is difficult to make the front and back judgment. In particular, in a configuration in which nickel flash plating is formed on the front and back surfaces of the lid, it is extremely difficult to determine the front and back because the front and back colors are exactly the same. Also,
If the finished electronic component has directionality in the terminals (differentiation of input and output terminals, or distinction between input and ground terminals, distinction between output and ground terminals, etc.)
In addition, it was difficult to determine the terminal direction of the product. For this reason,
There is a problem that the image cannot be recognized in the manufacturing apparatus and it is not suitable for automation.

【0006】そこで、前記蓋体の表面側の一端部分にお
いて印刷等によりマーキングを設ける構成が提案されて
いる(図14参照)。しかしながら、上記構成では、端
子方向の判定はできるものの、前記封止材の形成後にマ
ーキングを印刷するため、表裏の判定は前述同様に困難
であり、表裏の判定については確実性に乏しい構成であ
った。そして、工程の増加、コストアップは招くことも
避けられなかった。
In view of this, there has been proposed a configuration in which a marking is provided at one end on the front side of the lid by printing or the like (see FIG. 14). However, in the above configuration, although the terminal direction can be determined, since the marking is printed after the formation of the sealing material, the determination of the front and back is difficult as described above, and the determination of the front and back is poor in configuration. Was. Inevitably, an increase in the number of steps and an increase in cost are inevitable.

【0007】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたもので、工程の増加、コストアップすることなく、
気密封止する際の蓋体の露出面と溶接面との区別が確実
かつ容易に行え、完成した電子部品として、端子方向性
の区別も確実かつ容易に行える。製造上有効な電子部品
用パッケージを提供することを目的とするものである。
[0007] The present invention has been made to solve the above problems, and without increasing the number of steps and cost.
At the time of hermetic sealing, the exposed surface of the lid and the welded surface can be reliably and easily distinguished, and as a completed electronic component, the directionality of the terminals can be reliably and easily distinguished. It is an object of the present invention to provide an electronic component package that is effective in manufacturing.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、上記
問題点を解決するために、特許請求項1に示すように、
素子が収容された凹部を具備してなる平面長方形状の基
体と、前記基体の上面形状に対応し、当該基体を気密封
止してなる平面長方形状の蓋体とを具備し、前記蓋体の
基体との接合面には、封止材が形成されてなる電子部品
用パッケージにおいて、 前記蓋体の一つの角部は、他の角部と形状が異なるよ
うに構成されており、 当該蓋体の形状の異なる角部が、前記基体の所定の一
角部に対応配置されて、前記蓋体の封止材が形成された
主面が下面を向き、基板との接合面に接するように構成
されてなることを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems.
A flat rectangular base having a concave portion in which the element is accommodated, and a flat rectangular lid corresponding to the upper surface shape of the base and hermetically sealing the base; In a package for an electronic component in which a sealing material is formed on a joint surface with the base, one corner of the lid is configured to have a shape different from that of another corner, The corners having different body shapes are arranged so as to correspond to predetermined corners of the base, and the main surface of the lid on which the sealing material is formed faces the lower surface and is in contact with the joint surface with the substrate. It is characterized by being done.

【0009】上記構成により、蓋作成の段階で、一つの
角部を他の角部と形状が異なるように予め作成してお
き、かつ、基体に対する当該形状の異なる角部の位置を
予め定義づけることで、工程の増加、コスト的な増加を
招くことなく、気密封止する際に蓋体の露出面(表面と
する)と溶接面(裏面とする)とで表裏の区別が容易に
行える。
According to the above configuration, at the stage of forming the lid, one corner is formed in advance so as to have a different shape from the other corner, and the position of the corner having the different shape with respect to the base is defined in advance. This makes it possible to easily distinguish between the front and back sides of the exposed surface (the front surface) and the welded surface (the back surface) of the lid during hermetic sealing without increasing the number of steps and cost.

【0010】また、特許請求項2に示すように、素子が
収容された凹部を具備してなる平面長方形状の基体と、
前記基体の上面形状に対応し、当該基体を気密封止して
なる平面長方形状の蓋体とを具備し、前記蓋体の基板と
の接合面には、封止材が形成されてなる電子部品用パッ
ケージにおいて、 前記蓋体の一つの対角線にある二つの角部は、同一形
状に構成され、かつ、他の対角線にある二つの角部と形
状が異なるように構成されており、 当該蓋体の同一形状で対角線にある二つの角部が、前
記基体の所定の対角線に対応配置されて、前記蓋体の封
止材が形成された主面が下面を向き、基板との接合面に
接するように構成されてなることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a substrate having a flat rectangular shape having a concave portion in which an element is accommodated,
A lid having a flat rectangular shape corresponding to the shape of the top surface of the base and hermetically sealing the base, and a sealing material formed on a joint surface of the lid with the substrate. In the component package, two corners on one diagonal of the lid are configured to have the same shape, and have different shapes from two corners on the other diagonal. Two diagonal corners of the same shape of the body are arranged corresponding to a predetermined diagonal of the base, the main surface of the lid on which the sealing material is formed faces the lower surface, and the bonding surface with the substrate is It is characterized by being constituted so that it may touch.

【0011】上記構成により、蓋作成の段階で、一つの
対角線にある二つの角部を同一形状で、かつ、他の対角
線にある二つの角部と形状が異なるように予め作成して
おき、かつ、基体に対する当該同一形状で対角線にある
二つの角部の対角線位置を予め定義づけることで、工程
の増加、コスト的な増加を招くことなく、気密封止する
際に蓋体の露出面(表面とする)と溶接面(裏面とす
る)とで表裏の区別が容易に行える。
According to the above configuration, at the stage of forming the lid, two corners on one diagonal are formed in advance so that they have the same shape and have different shapes from the two corners on the other diagonal. In addition, by defining the diagonal positions of the two diagonal corners of the same shape with respect to the base body in advance, the exposed surface ( The front and back sides can be easily distinguished between the front side) and the welding side (back side).

【0012】また、特許請求項3に示すように、素子が
収容された凹部を具備してなる平面長方形状の基体と、
前記基体の上面形状に対応し、当該基体を気密封止して
なる平面長方形状の蓋体とを具備し、前記基体の長手方
向一端側のみに入力端子を有する電子部品用パッケージ
において、 前記蓋体の一つの角部は、他の角部と形状が異なるよ
うに構成されており、 当該蓋体の形状の異なる角部側の長手方向端部位置に
入力端子が配置されるように構成されてなることを特徴
とする。
A flat rectangular base having a recess in which the element is accommodated,
An electronic component package having a flat rectangular lid corresponding to the top surface shape of the base and hermetically sealing the base, and having an input terminal only at one end in the longitudinal direction of the base; One corner of the body is configured to have a different shape from the other corners, and the input terminal is configured to be disposed at a longitudinal end position on the corner side having a different shape of the lid. It is characterized by becoming.

【0013】上記構成により、蓋作成の段階で、一つの
角部を他の角部と形状が異なるように予め作成してお
き、前記形状の異なる角部の位置により、工程の増加、
コスト的な増加を招くことなく、入力端子の存在する電
子部品用パッケージの端部位置を示す目印となる。この
ため、完成した電子部品として、入力側端子と出力側端
子との区別、あるいは入力端子とアース端子との区別、
出力端子とアース端子との区別等、端子に方向性がある
場合に、製品の端子方向の判定も容易に行える。
According to the above configuration, at the stage of forming the lid, one corner is formed in advance so as to have a shape different from that of the other corners.
This serves as a mark indicating the position of the end of the electronic component package where the input terminal exists, without increasing the cost. Therefore, as a completed electronic component, the distinction between the input terminal and the output terminal, or the distinction between the input terminal and the ground terminal,
When the terminals have directionality, such as the distinction between the output terminal and the ground terminal, the terminal direction of the product can be easily determined.

【0014】また、特許請求項4に示すように、素子が
収容された凹部を具備してなる平面長方形状の基体と、
前記基体の上面形状に対応し、当該基体を気密封止して
なる平面長方形状の蓋体とを具備し、前記基体の長手方
向一端側のみに入力端子を有する電子部品用パッケージ
において、 前記蓋体の一つの角部は、他の角部と形状が異なるよ
うに構成されており、 当該蓋体の形状の異なる角部側の長手方向端部と対向
する端部位置に入力端子が配置されるように構成されて
なることを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a flat rectangular base having a concave portion in which the element is accommodated.
An electronic component package having a flat rectangular lid corresponding to the top surface shape of the base and hermetically sealing the base, and having an input terminal only at one end in the longitudinal direction of the base; One corner of the body is configured to have a different shape from the other corners, and an input terminal is arranged at an end position facing a longitudinal end of the corner having a different shape of the lid. It is characterized by being comprised so that.

【0015】上記構成により、蓋作成の段階で、一つの
角部を他の角部と形状が異なるように予め作成してお
き、前記形状の異なる角部の位置により、工程の増加、
コスト的な増加を招くことなく、入力端子の存在しない
電子部品用パッケージの端部位置を示す目印となる。従
って、完成した電子部品として、入力側端子と出力側端
子との区別、あるいは入力端子とアース端子との区別、
出力端子とアース端子との区別等、端子に方向性がある
場合に、製品の端子方向の判定も容易に行える。
According to the above configuration, at the stage of forming the lid, one corner is formed in advance so as to have a shape different from that of the other corner, and the number of steps can be increased by changing the position of the corner having the different shape.
This serves as a mark indicating the end position of the electronic component package having no input terminal without increasing the cost. Therefore, as a completed electronic component, the distinction between the input terminal and the output terminal, or the distinction between the input terminal and the ground terminal,
When the terminals have directionality, such as the distinction between the output terminal and the ground terminal, the terminal direction of the product can be easily determined.

【0016】また、特許請求項5に示すように、素子が
収容された凹部を具備してなる平面長方形状の基体と、
前記基体の上面形状に対応し、当該基体を気密封止して
なる平面長方形状の蓋体とを具備し、前記蓋体の基体と
の接合面には、封止材が形成されてなり、前記基体の長
手方向一端側のみに入力端子を有する電子部品用パッケ
ージにおいて、 前記蓋体の一つの角部は、他の角部と形状が異なるよ
うに構成されており、 当該蓋体の形状の異なる角部が、前記基体の所定の一
角部に対応配置されて、前記蓋体の封止材が形成された
主面が下面を向き、基板との接合面に接するとともに、 前記蓋体の形状の異なる角部側の長手方向端部位置に
入力端子が配置されるように構成されてなることを特徴
とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a flat rectangular substrate having a concave portion in which the element is accommodated.
Corresponding to the top surface shape of the base, a flat rectangular lid formed by hermetically sealing the base, and a sealing material is formed on a joint surface of the lid with the base, In the electronic component package having an input terminal only on one end side in the longitudinal direction of the base, one corner of the lid is configured to be different in shape from another corner, and the shape of the lid is The different corners are arranged corresponding to the predetermined corners of the base, and the main surface of the lid on which the sealing material is formed faces the lower surface and is in contact with the joint surface with the substrate, and the shape of the lid The input terminals are arranged at different longitudinal end positions on the side of the corners.

【0017】上記構成により、蓋作成の段階で、一つの
角部を他の角部と形状が異なるように予め作成してお
き、かつ、基板に対する当該形状の異なる角部の位置を
予め定義づけることで、工程の増加、コスト的な増加を
招くことなく、気密封止する際に蓋体の露出面(表面と
する)と溶接面(裏面とする)とで表裏の区別が容易に
行える。しかも、前記形状の異なる角部の位置により、
工程の増加、コスト的な増加を招くことなく、入力端子
の存在する電子部品用パッケージの端部位置を示す目印
となる。このため、完成した電子部品として、入力側端
子と出力側端子との区別、あるいは入力端子とアース端
子との区別、出力端子とアース端子との区別等、端子に
方向性がある場合に、製品の端子方向の判定も容易に行
える。
According to the above configuration, at the stage of forming the lid, one corner is formed in advance so as to have a different shape from the other corners, and the position of the corner having the different shape with respect to the substrate is defined in advance. This makes it possible to easily distinguish between the front and back sides of the exposed surface (the front surface) and the welded surface (the back surface) of the lid during hermetic sealing without increasing the number of steps and cost. Moreover, due to the positions of the corners having different shapes,
This serves as a mark indicating the position of the end of the electronic component package where the input terminal is located, without increasing the number of steps and cost. For this reason, as a completed electronic component, if the terminal has directionality, such as the distinction between the input terminal and the output terminal, the distinction between the input terminal and the ground terminal, the distinction between the output terminal and the ground terminal, etc. Can easily be determined.

【0018】また、特許請求項6に示すように、素子が
収容された凹部を具備してなる平面長方形状の基体と、
前記基体の上面形状に対応し、当該基体を気密封止して
なる平面長方形状の蓋体とを具備し、前記蓋体の基体と
の接合面には、封止材が形成されてなり、前記基体の長
手方向一端側のみに入力端子を有する電子部品用パッケ
ージにおいて、 前記蓋体の一つの角部は、他の角部と形状が異なるよ
うに構成されており、 当該蓋体の形状の異なる角部が、前記基体の所定の一
角部に対応配置されて、前記蓋体の封止材が形成された
主面が下面を向き、基板との接合面に接するとともに、 前記蓋体の形状の異なる角部側の長手方向端部と対向
する端部位置に入力端子が配置されるように構成されて
なることを特徴とする。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a substrate having a flat rectangular shape having a concave portion in which an element is accommodated,
Corresponding to the top surface shape of the base, a flat rectangular lid formed by hermetically sealing the base, and a sealing material is formed on a joint surface of the lid with the base, In the electronic component package having an input terminal only on one end side in the longitudinal direction of the base, one corner of the lid is configured to be different in shape from another corner, and the shape of the lid is The different corners are arranged corresponding to the predetermined corners of the base, and the main surface of the lid on which the sealing material is formed faces the lower surface and is in contact with the joint surface with the substrate, and the shape of the lid The input terminal is arranged at an end position facing a longitudinal end on a different corner side of the input terminal.

【0019】上記構成により、蓋作成の段階で、一つの
角部を他の角部と形状が異なるように予め作成してお
き、かつ、基板に対する当該形状の異なる角部の位置を
予め定義づけることで、工程の増加、コスト的な増加を
招くことなく、気密封止する際に蓋体の露出面(表面と
する)と溶接面(裏面とする)とで表裏の区別が容易に
行える。しかも、前記形状の異なる角部の位置により、
工程の増加、コスト的な増加を招くことなく、入力端子
の存在しない電子部品用パッケージの端部位置を示す目
印となる。このため、完成した電子部品として、入力側
端子と出力側端子との区別、あるいは入力端子とアース
端子との区別、出力端子とアース端子との区別等、端子
に方向性がある場合に、製品の端子方向の判定も容易に
行える。
According to the above configuration, at the stage of lid production, one corner is formed in advance so as to have a different shape from the other corners, and the position of the corner having the different shape with respect to the substrate is defined in advance. This makes it possible to easily distinguish between the front and back sides of the exposed surface (the front surface) and the welded surface (the back surface) of the lid during hermetic sealing without increasing the number of steps and cost. Moreover, due to the positions of the corners having different shapes,
This is a mark indicating the end position of the electronic component package having no input terminal without increasing the number of processes and cost. For this reason, as a completed electronic component, if the terminal has directionality, such as the distinction between the input terminal and the output terminal, the distinction between the input terminal and the ground terminal, the distinction between the output terminal and the ground terminal, etc. Can easily be determined.

【0020】また、特許請求項7に示すように、前記蓋
体の形状の異なる角部として、R面、またはC面を形成
してもよい。このような、角部形状は極めて容易に構成
することができるとともに、封止エリアを極端に狭めて
パッケージの気密封止に悪影響を与えることなく、確実
な目印として機能する。しかも、これらのR面、C面は
蓋作成の段階で、容易に形成しておくこともできるた
め、工程の増加、コスト的な増加を招くことがほとんど
ない。
[0020] As described in claim 7, an R surface or a C surface may be formed as a corner having a different shape of the lid. Such a corner shape can be very easily formed, and functions as a reliable mark without extremely narrowing the sealing area and adversely affecting the hermetic sealing of the package. In addition, since the R surface and the C surface can be easily formed at the stage of forming the lid, there is almost no increase in steps and cost.

【0021】また、特許請求項8に示すように、前記封
止材が形成された少なくとも蓋体の表裏主面に、ニッケ
ルフラッシュメッキを形成することで、蓋体の耐腐蝕性
が向上し、より信頼性の高い電子部品用パッケージが得
られる。
Further, as described in claim 8, by forming nickel flash plating on at least the front and back main surfaces of the lid on which the sealing material is formed, the corrosion resistance of the lid is improved, A more reliable electronic component package can be obtained.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】本発明の第1の実施形態を表面実
装型の水晶振動子を例にとり図1,図2,図3とともに
説明する。図1は本実施の第1の形態を示す分解斜視図
であり、図2は図1を組み立てた状態の斜視図である。
図3は本実施の第1の形態の製造方法を示す模式図であ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1, 2 and 3 taking a surface mount type crystal unit as an example. FIG. 1 is an exploded perspective view showing a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing a state where FIG. 1 is assembled.
FIG. 3 is a schematic view illustrating the manufacturing method according to the first embodiment.

【0023】基本構成は図1で示すような構成であり、
上部が開口した凹形で、平面長方形状で、セラミック製
の基体1と、当該基体の中に収納される電子素子である
水晶振動板3と、基体の開口部に接合される平面長方形
状で、金属製の蓋体2とからなる。
The basic configuration is as shown in FIG.
A concave, open-top rectangular, ceramic base 1 having a top open, a quartz vibrating plate 3, which is an electronic element housed in the base, and a flat rectangular, bonded to the opening of the base. , And a metal lid 2.

【0024】断面でみて凹形の基体1は、セラミック基
体10と、凹形周囲の開口部に形成される周状の金属層
11とからなる。金属層11は、例えば、タングステン
等からなるメタライズ層と、その上部に形成されるニッ
ケル等からなる下部メッキ層と、その上部に形成される
金等からなる上部メッキ層とからなる。
The substrate 1 having a concave shape in cross section includes a ceramic substrate 10 and a peripheral metal layer 11 formed in an opening around the concave shape. The metal layer 11 includes, for example, a metallized layer made of tungsten or the like, a lower plated layer made of nickel or the like formed thereon, and an upper plated layer made of gold or the like formed thereon.

【0025】また、セラミック基体10の内部底面には
図示しないが電極パッドが形成されており、これら電極
パッドは図示しないが引出電極を介して、基体の長手方
向一端部の外部側底面に入力端子12、出力端子13と
して電気的に引き出されている。また、前記電極パッド
上部には電子素子である矩形の水晶振動板3が搭載され
ている。なお、水晶振動板3の表裏面には図示していな
いが一対の励振電極が形成されており、各々前記電極パ
ッドに引き出されており、図示しない導電性接合材によ
り電気的機械的に接続されている。
Although not shown, electrode pads (not shown) are formed on the inner bottom surface of the ceramic base 10, and these electrode pads are connected to input terminals (not shown) on the outer bottom surface at one end in the longitudinal direction of the base through extraction electrodes. Reference numeral 12 denotes an output terminal which is electrically drawn. A rectangular crystal vibrating plate 3 as an electronic element is mounted on the electrode pad. Although not shown, a pair of excitation electrodes are formed on the front and back surfaces of the quartz vibrating plate 3, each of which is led out to the electrode pad and electrically and mechanically connected by a conductive bonding material (not shown). ing.

【0026】気密封止する蓋体2は、コバール等の金属
母材20からなり、一つの角部が他の角部と形状が異な
るようにC面21が構成されている。この金属母材20
の下面に、封止材として、前記周状の金属層11に対応
した周状の銀ろう層22が形成されている。なお、この
銀ろう層22のかわりに他の公知の金属ろう材層、他の
公知の金属メッキ層を用いてもよい。また、前記銀ろう
層を含む蓋体の表裏主面、側面の表面には、腐蝕防止の
ためのニッケルフラッシュメッキが形成されている。
The lid 2 to be hermetically sealed is made of a metal base material 20 such as Kovar, and has a C surface 21 such that one corner is different in shape from another corner. This metal base material 20
A peripheral silver brazing layer 22 corresponding to the peripheral metal layer 11 is formed as a sealing material on the lower surface of the substrate. Instead of the silver brazing layer 22, another known metal brazing material layer or another known metal plating layer may be used. Further, nickel flash plating for corrosion prevention is formed on the front and back principal surfaces and side surfaces of the lid including the silver brazing layer.

【0027】次に、上述した基本構成の製造方法を図3
とともに説明する。第1の工程は、図3(a)に示すよ
うに、前記蓋体2のうち、一つの角部を他の三つの角部
と形状が異なるように、C面21を形成する。このC面
は、あらかじめ蓋体を成形する際に、プレス成形等によ
り一体的に形成するのが好ましい。なお、この段階で
は、四つの角部のうちどの角部に形成してもよい。
Next, a method of manufacturing the above-described basic structure will be described with reference to FIG.
It will be explained together. In the first step, as shown in FIG. 3A, a C-plane 21 is formed such that one corner of the lid 2 has a different shape from the other three corners. This C surface is preferably formed integrally by press molding or the like when the lid is molded in advance. Note that, at this stage, any of the four corners may be formed.

【0028】第2の工程は、図3(b)に示すように、
前記蓋体の長手方向を縦側に配置したときに、当該蓋体
のC面21を有する角部を、例えば右上部分(左上部
分、右下部分、左下部分でもよい)に位置させ、この状
態で配置された蓋体の対向主面に前記周状の銀ろう層2
2を形成する。この銀ろう層22の形成は、圧延の手法
を用いて形成する。
In the second step, as shown in FIG.
When the longitudinal direction of the lid is arranged on the vertical side, the corner having the C surface 21 of the lid is positioned, for example, at the upper right portion (or the upper left portion, the lower right portion, or the lower left portion). The peripheral silver brazing layer 2 is formed on the opposing main surface of the lid arranged in the above manner.
Form 2 The silver brazing layer 22 is formed by using a rolling technique.

【0029】第3の工程は、図3(c)に示すように、
第2の工程で得られた蓋体の表面全面にニッケルフラッ
シュメッキ23を形成する。なお、図3(c)の上側の
図は蓋体の表面、下側の図は蓋体の溶接面(前記対向主
面)を示す。ニッケルフラッシュメッキとは、厚さ0.
3μm〜1μmで形成されたニッケルメッキのことであ
る。
In the third step, as shown in FIG.
Nickel flash plating 23 is formed on the entire surface of the lid obtained in the second step. The upper part of FIG. 3 (c) shows the surface of the lid, and the lower part shows the welding surface of the lid (the opposite main surface). Nickel flash plating means a thickness of 0.
This refers to nickel plating formed with a thickness of 3 μm to 1 μm.

【0030】第4の工程は、図3(d)に示すように、
水晶振動板3が搭載された前記基体1の長手方向を縦側
に配置したときに、当該基体の入力端子12側の端部を
上部分に位置させる。そして、図3(e)に示すよう
に、前記蓋体の長手方向を縦側に配置したときに、当該
蓋体のC面21を有する角部を、左上部分(前記第2の
工程で、左上に定義すれば右上、右下であれば左下、左
下であれば右下)に位置するようにして、当該基体の開
口部に前記蓋体を重ね合わせ、搭載する。これにより、
蓋体の銀ろう層が形成された主面が必然的に基体と対向
し、表裏の区別が明確に行える。また、C面側の端部で
ある上部分に入力端子が位置されるように定義づけられ
る。
In the fourth step, as shown in FIG.
When the longitudinal direction of the base 1 on which the quartz vibrating plate 3 is mounted is arranged on the vertical side, the end of the base on the input terminal 12 side is positioned at the upper part. Then, as shown in FIG. 3E, when the longitudinal direction of the lid is arranged on the vertical side, the corner having the C surface 21 of the lid is moved to the upper left portion (in the second step, The lid is superimposed and mounted on the opening of the base so as to be located at the upper right, defined as the upper left, lower left at the lower right, and lower right at the lower left. This allows
The main surface of the lid on which the silver brazing layer is formed inevitably faces the base, so that the front and back sides can be clearly distinguished. Further, it is defined such that the input terminal is located at the upper portion which is the end on the C-plane side.

【0031】第5の工程は、図3(f)に示すように、
前記蓋体の上部から電子ビーム、あるいはレーザービー
ムを照射し、前記基体の金属層と当該蓋体の銀ろうとを
溶融させ、前記基体と当該蓋体を溶接することで、気密
封止されている。
In the fifth step, as shown in FIG.
By irradiating an electron beam or a laser beam from above the lid, the metal layer of the base and the silver solder of the lid are melted, and the base and the lid are welded to be hermetically sealed. .

【0032】なお、第1の実施例において、端子の方向
を特に区別する必要がない構成であれば、2通りのC面
位置を定義することができる。つまり、上述のC面位置
以外に、図4(第1の他の実施例を示す平面図)に示す
ように、前記基体1の長手方向を縦側に配置したとき
に、当該基体の入力端子12側の端部を上部分に位置さ
せ、前記蓋体2の長手方向を縦側に配置したときに、当
該蓋体のC面21を有する角部が、右下部分(前記第2
の工程で、左上に定義すれば左下、右下であれば右上、
左下であれば左上)に位置するようにしてもよい。この
場合も、蓋体の銀ろう層が形成された主面が必然的に基
体と対向し、表裏の区別が明確に行える。
In the first embodiment, two types of C-plane positions can be defined as long as it is not necessary to distinguish the terminal direction. That is, as shown in FIG. 4 (a plan view showing another first embodiment), when the longitudinal direction of the base 1 is arranged on the vertical side in addition to the above-described C-plane position, the input terminals of the base 1 When the end portion on the 12th side is located in the upper portion and the longitudinal direction of the lid 2 is arranged on the vertical side, the corner having the C surface 21 of the lid is in the lower right portion (the second portion).
In the process of, if it is defined in the upper left, it is lower left,
(If it is the lower left, it may be located at the upper left). Also in this case, the main surface of the lid on which the silver brazing layer is formed necessarily faces the base, so that the front and back sides can be clearly distinguished.

【0033】次に、本発明の第2の実施形態を表面実装
型の水晶振動子を例にとり図5,図6,図7とともに説
明する。図5は本実施の第2の形態を示す分解斜視図で
あり、図6は図5を組み立てた状態の斜視図である。図
7は本実施の第2の形態の製造方法を示す模式図であ
る。なお、本発明の第1の実施形態と同様の部分につい
ては同番号を付すとともに、説明の一部を割愛した。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 5, FIG. 6, and FIG. FIG. 5 is an exploded perspective view showing the second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a perspective view showing a state where FIG. 5 is assembled. FIG. 7 is a schematic view showing a manufacturing method according to the second embodiment. The same parts as those in the first embodiment of the present invention are denoted by the same reference numerals, and a part of the description is omitted.

【0034】第2の実施形態では、セラミック基体10
の長手方向両端部の外部の側底面に入力端子14、出力
端子15として電気的に引き出されている。また、気密
封止する蓋体2は、一つの角部が他の角部と形状が異な
るようにR面24が構成され、この金属母材20の下面
全面に銀メッキ層25が形成されている。なお、この銀
メッキ層25のかわりに他の公知の金属メッキ層、他の
公知の金属ろう材層を用いてもよい。また、前記銀メッ
キ層を含む蓋体の表裏主面、側面の表面には、腐蝕防止
のためのニッケルフラッシュメッキ23が形成されてい
る。
In the second embodiment, the ceramic base 10
Are electrically drawn out as input terminals 14 and output terminals 15 on the outer side bottom surfaces at both ends in the longitudinal direction. Further, the lid 2 to be hermetically sealed has an R surface 24 configured such that one corner is different in shape from the other corner, and a silver plating layer 25 is formed on the entire lower surface of the metal base material 20. I have. Instead of the silver plating layer 25, another known metal plating layer or another known metal brazing material layer may be used. Further, nickel flash plating 23 for preventing corrosion is formed on the front and back main surfaces and side surfaces of the lid including the silver plating layer.

【0035】次に、上述した基本構成の製造方法を図7
とともに説明する。第1の工程は、図7(a)に示すよ
うに、前記蓋体2のうち、一つの角部を他の三つの角部
と形状が異なるように、R面24を形成する。このR面
は、あらかじめ蓋体を成形する際に、プレス成形等によ
り一体的に形成するのが好ましい。なお、この段階で
は、四つの角部のうちどの角部に形成してもよい。
Next, a method of manufacturing the above-described basic structure will be described with reference to FIG.
It will be explained together. In the first step, as shown in FIG. 7A, the R surface 24 is formed so that one corner of the lid 2 is different in shape from the other three corners. It is preferable that the R surface is integrally formed by press molding or the like when the lid is formed in advance. Note that, at this stage, any of the four corners may be formed.

【0036】第2の工程は、図7(b)に示すように、
前記蓋体の長手方向を縦側に配置したときに、当該蓋体
のR面24を有する角部を、例えば左上部分(左下部
分、右上部分、右下部分でもよい)に位置させ、この状
態で配置された蓋体の対向主面に銀メッキ層25を形成
する。この銀メッキ層25の形成は、公知のメッキ技術
を用いて容易に形成することができる。
In the second step, as shown in FIG.
When the longitudinal direction of the lid is arranged on the vertical side, the corner having the R surface 24 of the lid is positioned, for example, at the upper left portion (or the lower left portion, the upper right portion, or the lower right portion). The silver plating layer 25 is formed on the opposing main surface of the lid arranged in the above. The silver plating layer 25 can be easily formed by using a known plating technique.

【0037】第3の工程は、図7(c)に示すように、
第2の工程で得られた蓋体の表面全面にニッケルフラッ
シュメッキ23を形成する。なお、図7(c)の上側の
図は蓋体の表面、下側の図は蓋体の溶接面(前記対向主
面)を示す。
In the third step, as shown in FIG.
Nickel flash plating 23 is formed on the entire surface of the lid obtained in the second step. The upper part of FIG. 7 (c) shows the surface of the lid, and the lower part shows the welding surface (the opposite main surface) of the lid.

【0038】第4の工程は、図7(d)に示すように、
水晶振動板3が搭載された前記基体1の長手方向を縦側
に配置したときに、当該基体の入力端子14側の端部を
上部分に位置させる。そして、図7(e)に示すよう
に、前記蓋体の長手方向を縦側に配置したときに、当該
蓋体のR面24を有する角部を、左下部分(前記第2の
工程で、左下に定義すれば左上、右上であれば右下、右
下であれば右上)に位置するようにして、当該基体の開
口部に前記蓋体を重ね合わせ、搭載する。これにより、
蓋体の銀メッキ層が形成された主面が必然的に基体と対
向し、表裏の区別が明確に行える。また、R面側の端部
である下部分と対向する上部分に入力端子が位置される
ように定義づけられる。
In the fourth step, as shown in FIG.
When the longitudinal direction of the base 1 on which the quartz vibrating plate 3 is mounted is arranged on the vertical side, the end of the base on the input terminal 14 side is positioned at the upper part. Then, as shown in FIG. 7E, when the longitudinal direction of the lid is arranged on the vertical side, the corner having the R surface 24 of the lid is moved to the lower left portion (in the second step, The lid is superimposed on the opening of the base and mounted on the upper left, defined at the upper left, defined at the upper left, defined as the lower right at the upper right, and defined as the upper right at the lower right. This allows
The main surface of the lid on which the silver plating layer is formed inevitably faces the base, so that the front and back sides can be clearly distinguished. In addition, it is defined that the input terminal is located at the upper portion facing the lower portion which is the end on the R surface side.

【0039】第5の工程は、図7(f)に示すように、
シーム溶接と同じ手法にて、前記蓋体の上側稜部分を通
電ローラで押圧しながら走行し、前記基体の金属層11
と当該蓋体の銀メッキ層とを溶融させ、前記基体と当該
蓋体を溶接することで、気密封止されている。
In the fifth step, as shown in FIG.
In the same manner as in seam welding, the lid travels while pressing the upper ridge portion of the lid with an energizing roller, and the metal layer 11
And the silver plating layer of the lid are melted, and the base and the lid are welded to be hermetically sealed.

【0040】なお、第2の実施例において、端子の方向
を特に区別する必要がない構成であれば、2通りのR面
位置を定義することができる。つまり、上述のR面位置
以外に、図8(第2の他の実施例を示す平面図)に示す
ように、前記基体1の長手方向を縦側に配置したとき
に、当該基体の入力端子14側の端部を上部分に位置さ
せ、前記蓋体2の長手方向を縦側に配置したときに、当
該蓋体のR面24を有する角部が、右上部分(前記第2
の工程で、左下に定義すれば右下、右上であれば左上、
右下であれば左下)に位置するようにしてもよい。この
場合も、蓋体の銀メッキ層が形成された主面が必然的に
基体と対向し、表裏の区別が明確に行える。
In the second embodiment, two types of R-plane positions can be defined as long as it is not necessary to distinguish the terminal direction. That is, as shown in FIG. 8 (a plan view showing another second embodiment), when the longitudinal direction of the base 1 is arranged on the vertical side, in addition to the above-mentioned R-plane position, the input terminals of the base 1 When the end on the 14 side is located in the upper part and the longitudinal direction of the lid 2 is arranged on the vertical side, the corner having the R surface 24 of the lid is in the upper right part (the second section).
In the process of, if it is defined as lower left, it is lower right, if it is upper right, it is
(If it is the lower right, it may be located at the lower left). Also in this case, the main surface of the lid on which the silver plating layer is formed necessarily faces the base, so that the front and back sides can be clearly distinguished.

【0041】前記第1の実施例、第2の実施例では、四
つの角部のうち、一つの角部にC面・R面を形成した
が、三つの角部にC面・R面を形成してもよい。また、
三つの角部にR面、またはC面を形成し、残りの角部に
C面、またはR面を形成してもよい。
In the first and second embodiments, the C-plane and the R-plane are formed at one of the four corners, but the C-plane and the R-plane are formed at the three corners. It may be formed. Also,
An R-plane or a C-plane may be formed at three corners, and a C-plane or an R-plane may be formed at the remaining corners.

【0042】次に、本発明の第3の実施形態を表面実装
型の水晶振動子を例にとり図9,図10とともに説明す
る。図9は本実施の第3の形態を示す斜視図であり、図
10は本実施の第3の形態の製造方法を示す模式図であ
る。なお、本発明の第1,第2の実施形態と同様の部分
については同番号を付すとともに、説明の一部を割愛し
た。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 9 and 10, taking a surface-mount type crystal unit as an example. FIG. 9 is a perspective view showing the third embodiment, and FIG. 10 is a schematic view showing a manufacturing method according to the third embodiment. The same portions as those in the first and second embodiments of the present invention are denoted by the same reference numerals, and a part of the description is omitted.

【0043】第3の実施形態では、基本構成は第1の実
施例と同様であるが、気密封止する蓋体2は、一つの対
角線にある二つの角部が、他の対角線にある二つの角部
と形状が異なるようにC面21,21が構成されてい
る。
In the third embodiment, the basic structure is the same as that of the first embodiment. However, the lid 2 to be hermetically sealed has two corners on one diagonal and two on the other diagonal. The C-planes 21 and 21 are configured to have different shapes from the two corners.

【0044】次に、上述した基本構成の製造方法を図1
0とともに説明する。第1の工程は、図10(a)に示
すように、前記蓋体2のうち、一つの対角線にある二つ
の角部を他の対角線にある二つの角部と形状が異なるよ
うに、C面21,21を形成する。このC面は、あらか
じめ蓋体を成形する際に、プレス成形等により一体的に
形成するのが好ましい。なお、この段階では、どちらの
対角線の角部に形成してもよい。
Next, a method of manufacturing the above-described basic structure will be described with reference to FIG.
It will be described together with 0. In the first step, as shown in FIG. 10A, of the cover 2, two corners on one diagonal line are different in shape from two corners on the other diagonal line. Surfaces 21 and 21 are formed. This C surface is preferably formed integrally by press molding or the like when the lid is molded in advance. In addition, at this stage, it may be formed at any diagonal corner.

【0045】第2の工程は、図10(b)に示すよう
に、前記蓋体の長手方向を縦側に配置したときに、当該
蓋体のC面21,21を有する対角線を、例えば右上部
分と左下部分(左上部分と右下部分でもよい)に位置さ
せ、この状態で配置された蓋体の対向主面に前記周状の
銀ろう層22を形成する。この銀ろう層22の形成は、
圧延の手法を用いて形成する。
In the second step, as shown in FIG. 10B, when the longitudinal direction of the lid is arranged on the vertical side, a diagonal line having the C faces 21 and 21 of the lid is, for example, shifted to the upper right. The peripheral silver brazing layer 22 is formed on the opposing main surface of the lid placed in this state at the upper left and lower left portions (or upper left and lower right portions). The formation of this silver brazing layer 22
It is formed using a rolling technique.

【0046】第3の工程は、図10(c)に示すよう
に、第2の工程で得られた蓋体の表面全面にニッケルフ
ラッシュメッキ23を形成する。なお、図10(c)の
上側の図は蓋体の表面、下側の図は蓋体の溶接面(前記
対向主面)を示す。
In the third step, as shown in FIG. 10C, nickel flash plating 23 is formed on the entire surface of the lid obtained in the second step. The upper part of FIG. 10 (c) shows the surface of the lid, and the lower part shows the welding surface of the lid (the opposite main surface).

【0047】第4の工程は、図10(d)に示すよう
に、水晶振動板3が搭載された前記基体1の長手方向を
縦側に配置する。そして、図10(e)に示すように、
前記蓋体の長手方向を縦側に配置したときに、当該蓋体
のC面21,21を有する対角線を、左上部分と右下部
分(前記第2の工程で、左上部分と右下部分に定義すれ
ば右上部分と左下部分)に位置するようにして、当該基
体の開口部に前記蓋体を重ね合わせ、搭載する。これに
より、蓋体の銀ろう層が形成された主面が必然的に基体
と対向し、表裏の区別が明確に行える。
In the fourth step, as shown in FIG. 10D, the longitudinal direction of the base 1 on which the quartz vibrating plate 3 is mounted is arranged on the vertical side. Then, as shown in FIG.
When the longitudinal direction of the lid is arranged on the vertical side, the diagonal line having the C surfaces 21 and 21 of the lid is placed on the upper left portion and the lower right portion (the upper left portion and the lower right portion in the second step). The lid is superposed and mounted on the opening of the base so as to be positioned at the upper right portion and the lower left portion if defined. As a result, the main surface of the lid on which the silver brazing layer is formed necessarily faces the base, so that the front and back sides can be clearly distinguished.

【0048】第5の工程は、図10(f)に示すよう
に、前記蓋体の上部から電子ビーム、あるいはレーザー
ビームを照射し、前記基体の金属層と当該蓋体の銀ろう
とを溶融させ、前記基体と当該蓋体を溶接することで、
気密封止されている。
In a fifth step, as shown in FIG. 10F, an electron beam or a laser beam is irradiated from above the lid to melt the metal layer of the base and the silver solder of the lid. By welding the base and the lid,
Hermetically sealed.

【0049】次に、本発明の第4の実施形態を表面実装
型の水晶振動子を例にとり図11,図12,図13とと
もに説明する。図11は本実施の第4の形態を示す分解
斜視図であり、図12は図11を組み立てた状態の斜視
図である。図13は本実施の第4の形態の製造方法を示
す模式図である。なお、本発明の第1,第2,第3の実
施形態と同様の部分については同番号を付すとともに、
説明の一部を割愛した。
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 11, 12 and 13 by taking a surface-mount type crystal unit as an example. FIG. 11 is an exploded perspective view showing the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a perspective view showing a state where FIG. 11 is assembled. FIG. 13 is a schematic view showing a manufacturing method according to the fourth embodiment. The same parts as those in the first, second and third embodiments of the present invention are denoted by the same reference numerals,
Some explanations have been omitted.

【0050】第4の実施形態では、セラミック基体10
の角部の側底面に端子16,17,18,19が形成さ
れており、入力端子は17、出力端子19として電気的
に引き出されている。また、気密封止する蓋体2は、三
つの角部にR面24,24,24を形成し、一つの角部
が他の角部と形状が異なるようにC面21が構成され、
この金属母材20の上下面全面に銀メッキ層25が形成
されている。なお、この銀メッキ層25のかわりに他の
公知の金属メッキ層、他の公知の金属ろう材層を用いて
もよい。また、前記銀メッキ層を含む蓋体の表裏主面、
側面の表面には、腐蝕防止のためのニッケルフラッシュ
メッキ23が形成されている。
In the fourth embodiment, the ceramic base 10
Terminals 16, 17, 18, and 19 are formed on the side bottom surfaces of the corners, and the input terminal is electrically drawn as 17 and the output terminal 19. Further, the lid 2 to be hermetically sealed has R surfaces 24, 24, 24 formed at three corners, and the C surface 21 is configured such that one corner has a different shape from the other corners,
A silver plating layer 25 is formed on the entire upper and lower surfaces of the metal base material 20. Instead of the silver plating layer 25, another known metal plating layer or another known metal brazing material layer may be used. Further, the front and back principal surfaces of the lid including the silver plating layer,
Nickel flash plating 23 for corrosion prevention is formed on the side surface.

【0051】次に、上述した基本構成の製造方法を図1
3とともに説明する。第1の工程は、図13(a)に示
すように、前記蓋体2のうち、三つの角部にR面24,
24,24を形成し、一つの角部を他の三つの角部と形
状が異なるように、C面21を形成する。このR面、な
らびにC面は、あらかじめ蓋体を成形する際に、プレス
成形等により一体的に形成するのが好ましい。なお、こ
の段階では、四つの角部のうちどの角部にC面形成して
もよい。
Next, a method of manufacturing the above-described basic structure will be described with reference to FIG.
It will be described together with 3. In the first step, as shown in FIG. 13A, three corners of the lid 2
24, 24 are formed, and the C-plane 21 is formed so that one corner is different in shape from the other three corners. It is preferable that the R surface and the C surface are integrally formed by press molding or the like when the lid is formed in advance. At this stage, the C plane may be formed at any of the four corners.

【0052】第2の工程は、図13(b)に示すよう
に、第1の工程で得られる蓋体の対向主面と他の主面に
銀メッキ層25を形成する。この銀メッキ層25の形成
は、公知のメッキ技術を用いて容易に形成することがで
きる。なお、図13(b)の上側の図は蓋体の前記他の
主面、下側の図は蓋体の前記対向主面を示す。
In the second step, as shown in FIG. 13B, a silver plating layer 25 is formed on the opposing main surface and the other main surface of the lid obtained in the first step. The silver plating layer 25 can be easily formed by using a known plating technique. In addition, the upper drawing of FIG. 13B shows the other main surface of the lid, and the lower drawing shows the opposite main surface of the lid.

【0053】第3の工程は、図13(c)に示すよう
に、第2の工程で得られた蓋体の表面全面にニッケルフ
ラッシュメッキ23を形成する。
In the third step, as shown in FIG. 13C, nickel flash plating 23 is formed on the entire surface of the lid obtained in the second step.

【0054】第4の工程は、図13(d)に示すよう
に、水晶振動板3が搭載された前記基体1の長手方向を
縦側に配置したときに、当該基体の入力端子17側の端
部を上部分に位置させる。このときの入力端子17は左
上部分に位置される。そして、図13(e)に示すよう
に、前記蓋体の長手方向を縦側に配置したときに、当該
蓋体のC面21を有する角部を、左上部分に位置するよ
うにして、当該基体の開口部に前記蓋体を重ね合わせ、
搭載する。これにより、C面の存在する角部位置に入力
端子が位置されるように構成される。
In a fourth step, as shown in FIG. 13D, when the longitudinal direction of the base 1 on which the quartz vibrating plate 3 is mounted is arranged on the vertical side, the input terminal 17 side of the base is arranged. Position the end in the upper part. At this time, the input terminal 17 is located at the upper left portion. Then, as shown in FIG. 13 (e), when the longitudinal direction of the lid is arranged on the vertical side, the corner having the C surface 21 of the lid is positioned at the upper left portion, and Laying the lid on the opening of the base,
Mount. Thus, the input terminal is configured to be located at the corner where the C plane exists.

【0055】第5の工程は、図13(f)に示すよう
に、シーム溶接と同じ手法にて、前記蓋体の上側稜部分
を通電ローラで押圧しながら走行し、前記基体の金属層
11と当該蓋体の銀メッキ層とを溶融させ、前記基体と
当該蓋体を溶接することで、気密封止されている。
In the fifth step, as shown in FIG. 13 (f), the lid is run while pressing the upper ridge portion of the lid with an energizing roller by the same method as seam welding, and the metal layer 11 And the silver plating layer of the lid are melted, and the base and the lid are welded to be hermetically sealed.

【0056】前記第1〜4の実施例において、C面、R
面は封止性を確実にするとともに目印としての機能を低
下させない様にするため、蓋体の角部頂点から0.2〜
0.3mmの位置に、C面、R面を構成することが実施す
るうえで好ましい。
In the first to fourth embodiments, the C plane, R
The surface should be 0.2 to 0.2 mm from the top of the corner of the lid in order to ensure the sealing performance and not to reduce the function as a mark.
It is preferable in practice to configure the C plane and the R plane at a position of 0.3 mm.

【0057】なお、本発明の実施例に限らず、第1〜第
4の実施例おける各構成要素を選択的に組み変えて適用
したり、これらを組み合わせて適用することも可能であ
る事は言うまでもない。さらに、本発明は表面実装型の
水晶振動子を例示したが、水晶フィルタや水晶発振器用
のパッケージに適用してもよく、また、他の気密封止を
必要とされる電子部品に適用してもよい。そして、これ
らのパッケージでは、入力端子と出力端子以外にアース
端子についても構成されることがあるが、本発明を適用
することにより、入力側端子と出力側端子との区別、あ
るいは入力端子とアース端子との区別、出力端子とアー
ス端子との区別等、端子方向の判定も容易に行える。ま
た、本発明の電子部品用パッケージでは、電子ビームや
レーザービーム等によるビーム封止方法、シーム溶接等
による抵抗加熱封止方法について説明したが、これらの
ものに限らず、高周波誘電加熱封止、高周波誘導加熱等
であってもよい。
It is to be noted that the present invention is not limited to the embodiment of the present invention, and it is also possible to selectively rearrange and apply the components in the first to fourth embodiments or to apply them in combination. Needless to say. Furthermore, although the present invention has exemplified the surface mount type crystal unit, the present invention may be applied to a package for a crystal filter or a crystal oscillator, or may be applied to other electronic components requiring hermetic sealing. Is also good. In these packages, a ground terminal may be configured in addition to the input terminal and the output terminal. By applying the present invention, the input terminal and the output terminal can be distinguished from each other, or the input terminal and the ground terminal can be connected. The direction of the terminal, such as the distinction between the terminal and the output terminal and the ground terminal, can be easily determined. In the electronic component package of the present invention, a beam sealing method using an electron beam, a laser beam, or the like, or a resistance heating sealing method using seam welding or the like has been described. High-frequency induction heating or the like may be used.

【0058】[0058]

【発明の効果】本発明によれば、蓋作成の段階で、一つ
の角部を他の角部と形状が異なるように予め作成してお
き、かつ、当該形状の異なる角部の位置を定義づけるこ
とで、工程の増加、コスト的な増加を招くことなく、気
密封止する際に蓋体の露出面(表面とする)と溶接面
(裏面とする)とで表裏の区別が容易に行える。
According to the present invention, at the stage of lid production, one corner is formed in advance so as to have a different shape from the other corners, and the position of the corner having a different shape is defined. By doing so, it is possible to easily distinguish between the front and back surfaces between the exposed surface (the front surface) and the welded surface (the back surface) of the lid during airtight sealing without increasing the number of steps and cost. .

【0059】あるいは、蓋作成の段階で、一つの対角線
にある二つの角部を同一形状で、かつ、他の対角線にあ
る二つの角部と形状が異なるように予め作成しておき、
かつ、基体に対する当該同一形状で対角線にある二つの
角部の対角線位置を予め定義づけることで、工程の増
加、コスト的な増加を招くことなく、気密封止する際に
蓋体の露出面(表面とする)と溶接面(裏面とする)と
で表裏の区別が容易に行える。
Alternatively, at the stage of forming the lid, two corners on one diagonal are formed in advance so that they have the same shape and have different shapes from the two corners on the other diagonal.
In addition, by defining the diagonal positions of the two diagonal corners of the same shape with respect to the base body in advance, the exposed surface ( The front and back sides can be easily distinguished between the front side) and the welding side (back side).

【0060】そして、前記形状の異なる角部の位置によ
り、工程の増加、コスト的な増加を招くことなく、完成
した電子部品として、入力側端子と出力側端子との区
別、あるいは入力端子とアース端子との区別、出力端子
とアース端子との区別等、端子に方向性がある場合に、
製品の端子方向の判定も容易に行える。
The positions of the corners having the different shapes do not increase the number of steps and increase the cost, so that the completed electronic component can be distinguished between the input terminal and the output terminal or the input terminal and the ground. If the terminal has directionality, such as distinction from the terminal, distinction between the output terminal and the ground terminal,
The terminal direction of the product can be easily determined.

【0061】従って、製造装置における画像認識も容易
に行え、自動化にも対応させやすく極めて製造性の高い
ものとなり、製造上有効な電子部品用パッケージを提供
することができる。
Therefore, image recognition in the manufacturing apparatus can be easily performed, automation can be easily performed, and extremely high manufacturability can be obtained, so that an electronic component package effective in manufacturing can be provided.

【0062】特許請求項7によれば、R面、またはC面
といった角部形状は極めて容易に構成することができる
とともに、封止エリアを極端に狭めてパッケージの気密
封止に悪影響を与えることなく、確実な目印として機能
する。しかも、これらのR面、C面は蓋作成の段階で、
容易に形成しておくこともできるため、工程の増加、コ
スト的な増加を招くことがほとんどない。
According to the seventh aspect, the corners such as the R-plane and the C-plane can be formed very easily, and the sealing area is extremely narrowed to adversely affect the hermetic sealing of the package. Function as a reliable landmark. Moreover, these R surface and C surface are in the stage of lid creation,
Since it can be easily formed, there is almost no increase in steps and cost.

【0063】特許請求項8によれば、前記封止材が形成
された少なくとも蓋体の表裏主面に、ニッケルフラッシ
ュメッキを形成することで、蓋体の耐腐蝕性が向上し、
より信頼性の高い電子部品用パッケージが得られる。
According to claim 8, by forming nickel flash plating on at least the front and back main surfaces of the lid on which the sealing material is formed, the corrosion resistance of the lid is improved,
A more reliable electronic component package can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1の実施形態による分解斜視図。FIG. 1 is an exploded perspective view according to a first embodiment.

【図2】第1の実施形態による斜視図。FIG. 2 is a perspective view according to the first embodiment.

【図3】第1の実施形態の製法を示す模式図。FIG. 3 is a schematic view illustrating a manufacturing method according to the first embodiment.

【図4】第1の他の実施形態による平面図。FIG. 4 is a plan view according to a first other embodiment.

【図5】第2の実施形態による分解斜視図。FIG. 5 is an exploded perspective view according to a second embodiment.

【図6】第2の実施形態による斜視図。FIG. 6 is a perspective view according to a second embodiment.

【図7】第2の実施形態の製法を示す模式図。FIG. 7 is a schematic view showing a manufacturing method according to the second embodiment.

【図8】第2の他の実施形態による平面図。FIG. 8 is a plan view according to a second other embodiment.

【図9】第3の実施形態による斜視図。FIG. 9 is a perspective view according to a third embodiment.

【図10】第3の実施形態の製法を示す模式図。FIG. 10 is a schematic view illustrating a manufacturing method according to a third embodiment.

【図11】第1の実施形態による分解斜視図。FIG. 11 is an exploded perspective view according to the first embodiment.

【図12】第1の実施形態による斜視図。FIG. 12 is a perspective view according to the first embodiment.

【図13】第1の実施形態の製法を示す模式図。FIG. 13 is a schematic view showing a manufacturing method according to the first embodiment.

【図14】従来例を示す図。FIG. 14 is a diagram showing a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・基体 10・・・セラミック基体 11・・・金属層 2・・・蓋体 20・・・金属母材 21・・・C面 24・・・R面 3・・・水晶振動板(電子部品素子) DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Base 10 ... Ceramic base 11 ... Metal layer 2 ... Lid 20 ... Metal base material 21 ... C surface 24 ... R surface 3 ... Quartz diaphragm ( Electronic components)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4E360 AB02 AB13 AB33 BA03 BC20 BD03 CA10 ED07 EE12 GA29 GA53 GC06 5J108 BB02 CC04 EE03 EE07 GG03 GG09 GG15 GG16  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 4E360 AB02 AB13 AB33 BA03 BC20 BD03 CA10 ED07 EE12 GA29 GA53 GC06 5J108 BB02 CC04 EE03 EE07 GG03 GG09 GG15 GG16

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 素子が収容された凹部を具備してなる平
面長方形状の基体と、前記基体の上面形状に対応し、当
該基体を気密封止してなる平面長方形状の蓋体とを具備
し、 前記蓋体の基体との接合面には、封止材が形成されてな
る電子部品用パッケージにおいて、 前記蓋体の一つの角部は、他の角部と形状が異なるよ
うに構成されており、 当該蓋体の形状の異なる角部が、前記基体の所定の一
角部に対応配置されて、前記蓋体の封止材が形成された
主面が下面を向き、基板との接合面に接するように構成
されてなることを特徴とする電子部品用パッケージ。
1. A flat rectangular base having a recess in which an element is accommodated, and a flat rectangular lid corresponding to the top surface shape of the base and hermetically sealing the base. In the electronic component package in which a sealing material is formed on a bonding surface of the lid and the base, one corner of the lid is configured to have a shape different from that of another corner. Corners having different shapes of the lid are arranged corresponding to predetermined corners of the base, and a main surface of the lid on which a sealing material is formed faces a lower surface, and a bonding surface with the substrate. A package for an electronic component, which is configured to be in contact with the electronic component.
【請求項2】 素子が収容された凹部を具備してなる平
面長方形状の基体と、前記基体の上面形状に対応し、当
該基体を気密封止してなる平面長方形状の蓋体とを具備
し、 前記蓋体の基板との接合面には、封止材が形成されてな
る電子部品用パッケージにおいて、 前記蓋体の一つの対角線にある二つの角部は、同一形
状に構成され、かつ、他の対角線にある二つの角部と形
状が異なるように構成されており、 当該蓋体の同一形状で対角線にある二つの角部が、前
記基体の所定の対角線に対応配置されて、前記蓋体の封
止材が形成された主面が下面を向き、基板との接合面に
接するように構成されてなることを特徴とする電子部品
用パッケージ。
2. A flat rectangular base having a recess in which an element is accommodated, and a flat rectangular lid corresponding to the top surface shape of the base and hermetically sealing the base. In the electronic component package in which a sealing material is formed on a bonding surface of the lid with the substrate, two corners on one diagonal line of the lid are configured to have the same shape, and The two corners on the other diagonal are configured to be different in shape, and the two corners on the diagonal with the same shape of the lid are arranged corresponding to the predetermined diagonal of the base, A package for an electronic component, wherein a main surface of a lid on which a sealing material is formed faces a lower surface and is in contact with a bonding surface with a substrate.
【請求項3】 素子が収容された凹部を具備してなる平
面長方形状の基体と、前記基体の上面形状に対応し、当
該基体を気密封止してなる平面長方形状の蓋体とを具備
し、前記基体の長手方向一端側のみに入力端子を有する
電子部品用パッケージにおいて、 前記蓋体の一つの角部は、他の角部と形状が異なるよ
うに構成されており、 当該蓋体の形状の異なる角部側の長手方向端部位置に
入力端子が配置されるように構成されてなることを特徴
とする電子部品用パッケージ。
3. A flat rectangular base having a concave portion in which an element is accommodated, and a flat rectangular lid corresponding to an upper surface shape of the base and hermetically sealing the base. In the electronic component package having an input terminal only on one end side in the longitudinal direction of the base, one corner of the lid is configured to have a different shape from the other corner, and An electronic component package, wherein input terminals are arranged at longitudinal end positions on corners having different shapes.
【請求項4】 素子が収容された凹部を具備してなる平
面長方形状の基体と、前記基体の上面形状に対応し、当
該基体を気密封止してなる平面長方形状の蓋体とを具備
し、前記基体の長手方向一端側のみに入力端子を有する
電子部品用パッケージにおいて、 前記蓋体の一つの角部は、他の角部と形状が異なるよ
うに構成されており、 当該蓋体の形状の異なる角部側の長手方向端部と対向
する端部位置に入力端子が配置されるように構成されて
なることを特徴とする電子部品用パッケージ。
4. A flat rectangular base having a concave portion in which an element is accommodated, and a flat rectangular lid corresponding to the top surface shape of the base and hermetically sealing the base. In the electronic component package having an input terminal only on one end side in the longitudinal direction of the base, one corner of the lid is configured to have a different shape from the other corner, and A package for an electronic component, wherein input terminals are arranged at end positions opposed to longitudinal ends on corner sides having different shapes.
【請求項5】 素子が収容された凹部を具備してなる平
面長方形状の基体と、前記基体の上面形状に対応し、当
該基体を気密封止してなる平面長方形状の蓋体とを具備
し、 前記蓋体の基体との接合面には、封止材が形成されてな
り、前記基体の長手方向一端側のみに入力端子を有する
電子部品用パッケージにおいて、 前記蓋体の一つの角部は、他の角部と形状が異なるよ
うに構成されており、 当該蓋体の形状の異なる角部が、前記基体の所定の一
角部に対応配置されて、前記蓋体の封止材が形成された
主面が下面を向き、基板との接合面に接するとともに、 前記蓋体の形状の異なる角部側の長手方向端部位置に
入力端子が配置されるように構成されてなることを特徴
とする電子部品用パッケージ。
5. A flat rectangular base having a concave portion in which an element is accommodated, and a flat rectangular lid corresponding to the top surface shape of the base and hermetically sealing the base. In a package for an electronic component, wherein a sealing material is formed on a joint surface of the lid with the base, and an input terminal is provided only on one end side in the longitudinal direction of the base, one corner of the lid is provided. Is configured so as to have a shape different from that of the other corners, and the corners having a different shape of the lid are arranged corresponding to a predetermined corner of the base to form a sealing material for the lid. The main surface faces the lower surface and is in contact with the bonding surface with the substrate, and the input terminal is arranged at a longitudinal end position on a corner portion having a different shape of the lid. And electronic components package.
【請求項6】 素子が収容された凹部を具備してなる平
面長方形状の基体と、前記基体の上面形状に対応し、当
該基体を気密封止してなる平面長方形状の蓋体とを具備
し、 前記蓋体の基体との接合面には、封止材が形成されてな
り、前記基体の長手方向一端側のみに入力端子を有する
電子部品用パッケージにおいて、 前記蓋体の一つの角部は、他の角部と形状が異なるよ
うに構成されており、 当該蓋体の形状の異なる角部が、前記基体の所定の一
角部に対応配置されて、前記蓋体の封止材が形成された
主面が下面を向き、基板との接合面に接するとともに、 前記蓋体の形状の異なる角部側の長手方向端部と対向
する端部位置に入力端子が配置されるように構成されて
なることを特徴とする電子部品用パッケージ。
6. A flat rectangular base having a concave portion in which an element is accommodated, and a flat rectangular lid corresponding to an upper surface shape of the base and hermetically sealing the base. In a package for an electronic component, wherein a sealing material is formed on a joint surface of the lid with the base, and an input terminal is provided only on one end side in the longitudinal direction of the base, one corner of the lid is provided. Is configured so as to have a shape different from that of the other corners, and the corners having a different shape of the lid are arranged corresponding to a predetermined corner of the base to form a sealing material for the lid. The main surface faces the lower surface and is in contact with the joint surface with the substrate, and the input terminal is arranged at an end position facing a longitudinal end portion on a corner side having a different shape of the lid. A package for electronic components, comprising:
【請求項7】 前記蓋体の形状の異なる角部として、R
面、またはC面が形成されてなることを特徴とする前記
特許請求項1〜6いずれか1項記載の電子部品用パッケ
ージ。
7. The corner having a different shape of the lid may be R
The package for an electronic component according to any one of claims 1 to 6, wherein a surface or a C surface is formed.
【請求項8】 前記封止材が形成された少なくとも蓋体
の表裏主面には、ニッケルフラッシュメッキが形成され
ていることを特徴とする前記特許請求項1〜7いずれか
1項記載の電子部品用パッケージ。
8. The electronic device according to claim 1, wherein nickel flash plating is formed on at least the front and back main surfaces of the lid on which the sealing material is formed. Package for parts.
JP20125299A 1999-07-15 1999-07-15 Electronic component package and manufacturing method thereof Expired - Fee Related JP3694887B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20125299A JP3694887B2 (en) 1999-07-15 1999-07-15 Electronic component package and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20125299A JP3694887B2 (en) 1999-07-15 1999-07-15 Electronic component package and manufacturing method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001028484A true JP2001028484A (en) 2001-01-30
JP3694887B2 JP3694887B2 (en) 2005-09-14

Family

ID=16437871

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20125299A Expired - Fee Related JP3694887B2 (en) 1999-07-15 1999-07-15 Electronic component package and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3694887B2 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007006149A (en) * 2005-06-23 2007-01-11 Hosiden Corp Electronic part
JP2013015419A (en) * 2011-07-04 2013-01-24 Seiko Epson Corp Electronic device package, electronic device and electronic equipment
JP2013211441A (en) * 2012-03-30 2013-10-10 Seiko Epson Corp Package, manufacturing method of the same, electronic device and electronic apparatus
JP2019121854A (en) * 2017-12-28 2019-07-22 株式会社大真空 Piezoelectric vibration device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007006149A (en) * 2005-06-23 2007-01-11 Hosiden Corp Electronic part
JP2013015419A (en) * 2011-07-04 2013-01-24 Seiko Epson Corp Electronic device package, electronic device and electronic equipment
JP2013211441A (en) * 2012-03-30 2013-10-10 Seiko Epson Corp Package, manufacturing method of the same, electronic device and electronic apparatus
JP2019121854A (en) * 2017-12-28 2019-07-22 株式会社大真空 Piezoelectric vibration device

Also Published As

Publication number Publication date
JP3694887B2 (en) 2005-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60187117A (en) Piezoelectric vibrator
JP3620260B2 (en) Electronic components
JP2001028484A (en) Package for electronic part
JP3911838B2 (en) Method for manufacturing piezoelectric vibrator
JP3401781B2 (en) Electronic component package and method of manufacturing electronic component package
JP5171228B2 (en) Crystal device for surface mounting
JP2002026679A (en) Package for piezoelectric vibration device
JP2001177347A (en) Crystal oscillator
JP2001320256A (en) Air-tight sealing method for piezoelectric vibrating device
JP3374395B2 (en) Package for electronic components
JP2007173973A (en) Manufacturing method of crystal device
JP2007318209A (en) Surface mounted piezoelectric vibrating device, and manufacturing method thereof
JP3685358B2 (en) Electronic component and manufacturing method thereof
JP2001024079A (en) Electronic component sealing structure
JP3158110B2 (en) Electronic device manufacturing method
JP2002033636A (en) Package for piezoelectric vibration device
JP2004179332A (en) Electronic device
JP4012739B2 (en) Composite electronic components
JP2007019537A (en) Electronic apparatus and its manufacturing method
JP4599145B2 (en) Piezoelectric diaphragm
JP2004088036A (en) Electronic device and its manufacturing method
JP2006179614A (en) Electronic component
JP2002076155A (en) Electronic component
JP2002043884A (en) Piezoelectric vibrating device
JP4039969B2 (en) Package for electronic components

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20041108

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041228

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050606

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050619

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 3694887

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080708

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090708

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100708

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110708

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120708

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120708

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130708

Year of fee payment: 8

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees