JP2003195947A

JP2003195947A - 微小変位装置

Info

Publication number: JP2003195947A
Application number: JP2001399432A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Yamamiya; 広之山宮; Mineo Mizumura; 峯夫水村; Mitsuo Yamaguchi; 三雄山口
Original assignee: SIGMAKOKI Co Ltd
Current assignee: SIGMAKOKI Co Ltd
Priority date: 2001-12-28
Filing date: 2001-12-28
Publication date: 2003-07-11

Abstract

(57)【要約】【課題】圧電アクチュエータの作用方向と略々平行に
移動部が移動し、かつ変位拡大部は、一平面に配置され
るので、力点及び支点連結部が互いに干渉して所望のて
こ比を得ることができず、特にＺ方向変位部を薄くでき
ない。【解決手段】固定部３５と移動部３６とを平行平板の
撓み梁４１ａ，４１ｂにて連結し、固定部及び移動部と
の間に、作用点連結部４２及び支点連結部４３により変
位拡大部３７を連結する。固定部３５に結合固定部４６
を結合し、変位拡大部３７に結合拡大部４９を連結し、
結合固定部に一端を固定した圧電アクチュエータ５０
に、結合拡大部の屈曲部４９ａに螺合した調整スクリュ
ー７の先端を当接して力点とする。該力点と支点連結部
４３とが異なる平面にて近接配置されると共に、力点の
Ｆｙ方向の変位により、作用点連結部４２を介して移動
部をＦｚ方向に変位する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体の製造、光
ファイバーの接続、高倍率顕微鏡等の微小範囲の位置決
めを必要とする分野において用いられる微小変位装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、位置決め装置は、ネジ機構が用
いられるが、近時、超精密加工、半導体の製造、バイオ
テクノロジー、光ファイバーの接続等の分野では、μｍ
オーダ、サブμｍオーダ、更にはｎｍオーダの微小範囲
の位置決めが求められており、該微小範囲の変位装置と
しては、ピエゾ素子等の圧電アクチュエータが用いられ
ている。

【０００３】上記圧電アクチュエータの変位量は、一定
の微小量からなるため、該圧電アクチュエータの変位量
では、所望の変位量を得ることができず、このため、例
えば特公平７−１４５７号公報及び特公平７−１４５８
号公報に示されるように、圧電アクチュエータの変位
を、複数のてこからなる変位拡大機構を介して移動部に
伝達し、所定変位量を得る微小変位装置が提案されてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記微小変位装置は、
固定側剛体部及び移動側剛体部を、それぞれ薄肉の弾性
ヒンジで連結した２個の梁又は全長に亘り可撓性を有す
る平行平板（以下、これらを撓み梁という）にて連結
し、これら両剛体部及び両撓み梁で囲まれた空間内にお
ける同一平面に、上記圧電アクチュエータ（微小変位ア
クチュエータ）及び変位拡大機構（変位変更手段）を配
置している。従って、上記圧電アクチュエータは、その
変位方向が上記撓み梁の長手方向と交差する方向に配置
され、このため、該微小変位装置は、薄型に構成しよう
としても、圧電アクチュエータの長さに規定されて、充
分にコンパクトな構造とすることができない。

【０００５】特に、ＸＹ方向微小変位装置上に、Ｚ方向
微小変位装置を配置し、ＸＹＺ方向の微小変位を可能と
するＸＹＺ微小変位装置にあっては、Ｚ方向微小変位装
置の上下方向を薄く構成する必要があり、上記圧電アク
チュエータの長さ（変位方向）に規定されない、薄い構
造の微小変位装置の現出が望まれている。

【０００６】また、上記変位拡大機構は、支点となる連
結部、作用点となる連結部及び圧電アクチュエータ又は
伝達部材に連係して力点となる連結部を同一平面上に配
置することになり、上記支点、作用点及び力点となる連
結部分が同一平面内にて干渉しないように所定間隔を存
して配置する必要がある。

【０００７】従って、支点及び力点となる連結・連係部
分が所定間隔以下に近づけて配置することが困難である
ため、上記変位拡大機構のてこ比が規制され、１個当り
のてこ倍率を充分にとれず、所望の拡大比（変倍比）を
得るためには、てこを何段にも重ねる必要があり、変位
拡大機構、ひいては微小変位装置のコンパクト化を困難
にしていると共に、変位拡大機構のヒンジ数が多くなる
ことによるエネルギー損の増大により、圧電アクチュエ
ータのエネルギが移動部の移動に有効に用いられない。

【０００８】そこで、本発明は、微小変位アクチュエー
タ及び／又は変位変更手段の配置を工夫し、もって上述
した課題を解決した微小変位装置を提供することを目的
とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る本発明は
（例えば図５，図６，図８，図９参照）、相対移動自在
に支持された少なくとも２個の剛体部（３５，４６）
（３６）と、前記２個の剛体部に相対変位を生じる微小
変位アクチュエータ（５０）と、を備えてなる微小変位
装置において、前記２個の剛体部にそれぞれ連結される
と共に前記微小変位アクチュエータに連係し、前記２個
の剛体部の内の一方（３５）に連結する連結部（４３，
４３’）を支点とし、他方（３６）に連結する連結部
（４２）を作用点とし、前記微小変位アクチュエータ
（５０）との連係部（７）を力点として、前記一方の剛
体部との間で前記微小変位アクチュエータが前記力点に
生じる変位を、変倍して前記作用点から前記他方の剛体
部へ伝達する変位変更手段（３７，３７’，４９）を備
え、前記力点（７ｂ）に前記微小変位アクチュエータ
（５０）から作用する変位方向（Ｆｙ）と、前記作用点
（４２）から前記他方の剛体部（３６）に作用する変位
方向（Ｆｚ）とが、略々９０度異なる、ことを特徴とす
る微小変位装置にある。

【００１０】請求項２に係る本発明は、前記変位変更手
段（３７，３７’，４９）は、剛体からなり、前記微小
変位アクチュエータの長手方向と略々平行に延びる第１
の剛体部（３７，３７’，４９）と、該第１の剛体部と
略々直交する方向に延びる第２の剛体部（４９ａ）と、
を有し、前記第１の剛体部を、前記作用点となる連結部
（４２）にて前記他方の剛体部に連結し、前記第２の剛
体部を、前記力点となる連係部（７ｂ）にて前記微小変
位アクチュエータ（５０）に連係してなる、請求項１記
載の微小変位装置にある。

【００１１】請求項３に係る本発明は、前記２個の剛体
部（３６）（３５）は、互いに平行に配置された梁（４
１ａ，４１ｂ）にて連結・支持され、前記一方の剛体部
に対して前記他方の剛体部を平行に変位してなり、これ
ら梁の長手方向と前記微小変位アクチュエータ（５０）
の変位方向とが略々平行である、請求項１又は２記載の
微小変位装置にある。

【００１２】なお、上記梁は、略々全長に亘り可撓性を
有する薄肉平板からなる梁を含むことは勿論、両端部分
に回転対偶（いわゆる弾性ヒンジ）を有する剛体からな
る梁を含むものである。

【００１３】請求項４に係る本発明は、前記一方の剛体
部（３５，３６）に前記微小変位アクチュエータ（５
０）の基端部（５０ａ）を固定し、該一方の剛体部（４
６）に臨んで、前記微小変位アクチュエータの先端部
（５０ｂ）が当接して力点となる前記連係部（７ｂ）を
配置してなる、請求項１ないし３のいずれか記載の微小
変位装置にある。

【００１４】請求項５に係る本発明は（例えば図５，図
６，図８，図９参照）、相対移動自在に支持された少な
くとも２個の剛体部（３５，４６）（３６）と、前記２
個の剛体部に相対変位を生じる微小変位アクチュエータ
（５０）と、を備えてなる微小変位装置において、前記
２個の剛体部にそれぞれ連結されると共に前記微小変位
アクチュエータに連係し、前記２個の剛体部の内の一方
（３５）に連結する連結部（４３，４３’）を支点と
し、他方（３６）に連結する連結部（４２）を作用点と
し、前記微小変位アクチュエータ（５０）との連係部
（７）（４９ａ）を力点として、前記一方の剛体部との
間で前記微小変位アクチュエータが前記力点に生じる変
位を、変倍して前記作用点から前記他方の剛体部へ伝達
する変位変更手段（３７，３７’，４９）を備え、該変
位変更手段における前記力点（７，４９ａ）、前記支点
（４３，４３’）及び作用点（４２）となる連係部又は
連結部の少なくとも２個を、異なる平面に配置してな
る、ことを特徴とする微小変位装置にある。

【００１５】なお、上記平面とは、該平面と直交する方
向にある幅を有しており、上記異なる平面とは、ある幅
を有する平面（空間）に力点、支点及び作用点の一部が
配置され、それと異なる平面（空間）に他の部分が配置
されることを意味する。

【００１６】請求項６に係る本発明は、前記力点となる
連係部（７，４９ａ）と、前記支点となる連結部（４
３，４３’）とを、異なる平面にて近接して配置し、前
記変位変更手段（３７，３７’，４９）が、変位拡大機
構として機能してなる、請求項５記載の微小変位装置に
ある。

【００１７】請求項７に係る本発明は、前記２個の剛体
部（３５，４６）（３６）と、これら剛体部を相対移動
自在に連結・支持する梁（４１ａ，４１ｂ）と、前記変
位変更手段の一部分（３７，３７’）とを、一体物とし
て設け、前記一方の剛体部（３５）に固定される結合剛
体部（４６）と、該結合剛体部に一端が固定される前記
微小変位アクチュエータ（５０）と、前記変位変更手段
の一部（３７，３７’）に固定される他の部分（４９）
とを、前記一体物に隣接して並設してなる、請求項５又
は６のいずれか記載の微小変位装置にある。

【００１８】請求項８に係る本発明は、前記力点となる
連係部は、前記変位変更手段に貫通・螺合された調整ス
クリューの先端（７ａ）当接部である、請求項１ないし
７のいずれか記載の微小変位装置にある。

【００１９】請求項９に係る本発明は（例えば図５参
照）、前記作用点となる連結部（４２）は、前記剛体部
（３６）の相対移動方向に延びる薄肉平板からなり、前
記支点となる連結部（４３）は、前記互いに直交する方
向に延びる２個の薄肉平板（４３ａ）からなる、請求項
１ないし８のいずれか記載の微小変位装置にある。

【００２０】請求項１０に係る本発明は（例えば図８参
照）、前記作用点となる連結部（４２）は、前記剛体の
相対移動方向に延びる薄肉平板からなり、前記支点とな
る連結部は、前記一方の剛体部（３５）に植設されたピ
ン（４３’）である、請求項１ないし８のいずれか記載
の微小変位装置にある。

【００２１】なお、上記カッコ内の符号は、図面と対照
するためのものであるが、これは、実施の形態との対応
を容易にして理解の迅速化を図る便宜的なものであり、
これにより請求項の構成に何等影響を及ぼすものではな
い。

【００２２】

【発明の効果】請求項１に係る本発明によると、変位変
更手段の力点に微小変位アクチュエータから作用する変
位方向と、作用点から他方の剛体部に作用する変位方向
とが、略々９０度異なるので、微小変位アクチュエータ
の長手方向に規定されることなく、微小変位装置をコン
パクト、特に薄く構成することができる。

【００２３】請求項２に係る本発明によると、変位変更
手段は、第１の剛体部と、該第１の剛体部と略々直交す
る第２の剛体部とを有するので、上述した力点方向と作
用点方向とを略々９０度異ならせることを容易に行わせ
ることができ、かつ第１の剛体部と微小変位アクチュエ
ータの長手方向とを略々平行に配置して、微小変位装置
をコンパクト、特に薄く構成することができる。

【００２４】請求項３に係る本発明によると、２個の剛
体部を連結・支持する平行梁の長手方向が、微小変位ア
クチュエータの変位方向（長手方向）と略々平行に配置
されるので、微小変位装置は、その変位方向に対して薄
く構成することができ、単軸、又はＸＹ方向に付加した
Ｚ方向の微小変位装置として、更にはＸＹＺ方向の微小
変位装置に適用して、コンパクト化を可能とすることが
でき、特にＸＹＺ方向変位装置の上方にＺ方向変位部を
設けてＸＹＺ方向変位装置を構成する場合、該Ｚ方向変
位部に上記微小変位装置を適用して、変位方向であるＺ
方向に対して薄く構成して、コンパクトな微小変位装置
を提供することができる。

【００２５】請求項４に係る本発明によると、固定側と
なる一方の剛体部に微小変位アクチュエータの基端部を
固定すると共に、該一方の剛体部に臨んで、上記アクチ
ュエータの先端部が当接して力点となる連係部を配置し
たので、微小変位装置をコンパクトに構成し得ると共に
製造が容易となる。

【００２６】請求項５に係る本発明によると、変位変更
手段は、力点、支点及び作用点の少なくとも２個を異な
る平面に配置されるので、これら２個は互いに干渉する
ことなく近接して配置することが可能となり、大きなて
こ比を得ることができ、コンパクトな構成にて、微小変
位アクチュエータと移動側となる一方の剛体部との間で
所望の変倍を得ることができる。

【００２７】請求項６に係る本発明によると、力点とな
る連係部と、支点となる連結部とを、異なる平面に近接
して配置し、コンパクトな構成にて、拡大比の大きなて
こからなる変位拡大機構を得ることができ、例えばＸＹ
Ｚ方向微小変位装置におけるＺ方向変位部に適用して、
コンパクトな微小変位装置を得ることができる。

【００２８】請求項７に係る本発明によると、一体物と
して構成した２個の剛体部撓み梁及び変位変更手段の一
部と、微小変位アクチュエータ、それを固定する結合剛
体部及び上記変位変更手段の他の部分とを隣接して並設
し、簡単な製造方法にて異なる平面からなる変位変更手
段を有する微小変位装置を得ることができる。

【００２９】請求項８に係る本発明によると、変位変更
手段に螺合した調整スクリュー先端を微小変位アクチュ
エータに当接して力点としたので、調整スクリューの手
動操作により大体の位置決め調整ができ、この状態で微
小変位アクチュエータにより微小範囲での位置調整を行
って、使い勝手のよい微小変位装置を得ることができ
る。

【００３０】請求項９に係る本発明によると、一方の連
結部を移動方向に延びる薄肉平板にて形成し、他方の連
結部を互いに直交する方向に延びる２個の薄肉平板とし
たので、拡大変更手段を、回動支点となる連結部も含め
てすべて薄肉平板により構成し、放電加工機により１ブ
ロックから成形することが可能となる。

【００３１】請求項１０に係る本発明によると、回動支
点となる連結部を、一方の剛体部に植設されたピンとす
るので、該回動支点、ひいては変位変更部の剛性を高め
て信頼性を向上することができる。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、図面に沿って、本発明の実
施の形態について説明する。図１及び図２は、本発明に
係るＸＹＺ方向の微小変位装置（位置決め装置）の組立
てられた状態での外観を示す図で、該微小変位装置１
は、平面視略々正方形からなり、基台に固定又は載置さ
れる基盤２と、微細動を要求される移動部材に連結され
る移動ステージ３とを有しており、該移動ステージ３
は、Ｘ，Ｙ，Ｚの３方向に微小変位（位置決め）し得
る。なお、移動ステージ３は、平面視（図１（ａ）参
照）略々矩形状（角部分が切欠かれている）からなり、
上面３ａ、各辺において直交する方向に垂下する各側面
３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅを有しており、側面３ｂにＸ方
向移動確認装置１０（図２（ｂ）参照）、側面３ｃにＹ
方向移動確認装置１１及びＺ方向移動確認装置１２が設
けられている。該移動ステージ３を粗動して、大体の位
置決めをするＸ方向調整スクリュー５、Ｙ方向調整スク
リュー６、Ｚ方向調整スクリュー７がそれぞれ設けられ
ている。なお、これら調整スクリューは、図示のように
単純な調整ネジでもよく、また周知のマイクロメータで
もよい。また、１３は、コントローラ等に接続する端子
である。

【００３３】図３は、ＸＹ方向の変位部分を示す図で、
図１及び２において、Ｚ方向変位部分及び移動ステージ
３を取り外した図であり、また端子等の説明に不要な部
分は省略してある。該ＸＹ変位部分Ｉは、１個の金属ブ
ロックをワイヤカット放電加工機により加工して構成さ
れた固定部１５、Ｘ方向変位拡大部（変位変更手段）１
６、Ｘ方向移動部１７、Ｙ方向変位拡大部（変位変更手
段）１８、Ｙ方向移動部２４を有しており、これら各部
は剛体部からなる。

【００３４】固定部１５は、前記基盤２にネジ１４（図
７（ｂ）参照）にて固定されており、一側面（図中右側
面）に開口する圧電アクチュエータ収納部１５ａ及びＸ
方向移動部１７側に開口する凹部１５ｂを有している。
該固定部１５とＸ方向移動部１７とは、左右側面部に離
れて配置された平行な２個の撓み梁１９ａ，１９ｂにて
互に連結されており、これら撓み梁１９ａ，１９ｂは、
薄肉平板からなりかつ固定部及びＸ方向移動部に一体に
形成されて連結されている。従って、Ｘ方向移動部１７
は、固定部１５に対して、上記平行な撓み梁１９ａ，１
９ｂが撓み変形することによりＸ方向に平行に移動し得
る。

【００３５】前記収納部１５ａには、所定数のピエゾ素
子を積層して微小変位アクチュエータを構成する圧電ア
クチュエータ２０がその一端を該収納部の底面に固定し
て配置されており、また前記凹部１５ｂには、固定部１
５とＸ方向移動部１７とに亘って板ばね２１がその両端
を固定されてかつ所定量偏倚されて配置されている。ま
た、前記一体ブロックからなる固定部１５及びＸ方向移
動部１７の一側方（図面右側）の外側には、Ｘ方向変位
拡大部１６が配置されている。該Ｘ方向変位拡大部１６
は、固定部１５との間で一体に形成されている薄肉平板
の撓み梁からなる連結部２２と、Ｘ方向移動部１７との
間で一体に形成されている同じく薄肉平板の撓み梁から
なる連結部２３とによりそれぞれ固定部及びＸ方向移動
部１７に連結されており、かつその一端部にネジ孔が貫
通されて前記Ｘ方向調整スクリュー５が螺合している。
該スクリュー５の操作ノブ５ａは外方に突出して位置し
ており、かつその先端５ｂは前記圧電アクチュエータ２
０の他端に当接している。

【００３６】従って、前記圧電アクチュエータ２０及び
Ｘ方向変位拡大部１６は、２個の剛体部からなる固定部
１５及びＸ方向移動部１７と、これらを連結する撓み梁
１９ａ，１９ｂとにより囲まれた空間部Ｃの外側に配置
されている。また、前記Ｘ方向変位拡大部１６は、前記
一方の撓み梁１９ａの外側を覆うように略々平行に配置
されており、また前記薄肉の両連結部２２，２３は、上
記変位拡大部の長手方向と直交する方向に延びて、それ
ぞれ回動支点を構成しており、従って固定部側連結部２
２が支点、Ｘ方向移動部側連結部２３が作用点、そして
圧電アクチュエータ２０に当接する調整スクリュー５部
分が力点となって、上記変位拡大部１６は、拡大てこ機
構を構成している。なお、前記板ばね２１は、固定部１
５に対してＸ方向移動部１７を矢印Ｘ１方向に付勢して
おり、従って作用点連結部２３を介してＸ方向変位拡大
部１６を、支点連結部２２を中心に時計方向に回転付勢
し、力点であるスクリュー５の先端５ｂが、常に圧電ア
クチュエータ２０に当接するように付勢している。

【００３７】一方、前記Ｘ方向移動部１７は、前記固定
部の収納部１５ａに対して直交する方向に延びて一側面
（図中上側面）にて開口する圧電アクチュエータ収納部
１７ａと、Ｙ方向移動部２４用の凹部１７ｂを有してお
り、かつ該Ｘ方向移動部１７とＹ方向移動部２４とは、
該Ｙ方向移動部を挟むように配置された平行な２個の撓
み梁２５ａ，２５ｂにて互に連結されている。これら撓
み梁２５ａ，２５ｂは、先に説明した撓み梁１９ａと同
様に、薄肉平板からなりかつＸ方向及びＹ方向移動部に
一体に形成されて連結されており、かつ前記撓み梁１９
ａ，１９ｂとは直交する方向に延びている。従って、Ｙ
方向移動部２４は、Ｘ方向移動部１７に対して、上記平
行な撓み梁２５ａ，２５ｂが撓み変形することによりＹ
方向に平行に移動し得る。なお、上記Ｘ方向移動部１７
は、上述したように、Ｘ方向に対して固定部１５に対し
て移動部を構成するが、Ｙ方向に対しては、Ｙ方向移動
部２４に対する固定部となる。

【００３８】前記収納部１７ａには、先のＸ方向と同様
な所定数のピエゾ素子を積層した圧電（微小変位）アク
チュエータ２６がその一端を該収納部の底面に固定され
て配置されており、また上記凹部１７ｂにはＹ方向移動
部２４が配置されている。更に、Ｘ方向移動部１７とＹ
方向移動部２４との間には板ばね２７がその両端が固定
されてかつ所定量偏倚されて配置されており、かつ該板
ばね２７は先の板ばね２１とその付勢方向が直交する向
きに配置されている。また、一体ブロックからなる前記
Ｘ方向移動部１７及びＹ方向移動部２４の一側方（図面
上側）には前記Ｙ方向変位拡大部１８が配置されてい
る。

【００３９】従って、前記圧電アクチュエータ２６及び
Ｙ方向変位拡大部１８は、２個の剛体部からなるＸ方向
移動部１７及びＹ方向移動部部２４と、これらを連結す
る撓み梁２５ａ，２５ｂとにより囲まれた空間部Ｃの外
側に配置されている。また、該Ｙ方向変位拡大部１８
は、前記一方の撓み梁２５ａの外側を覆うように略々平
行に配置されており、Ｘ方向移動部１７との間で一体に
形成されている薄肉の連結部２９と、Ｙ方向移動部２４
との間で一体に形成されている薄肉の連結部３０とによ
りそれぞれＸ方向移動部１７及びＹ方向移動部２４に連
結されている。更に、該変位拡大部１８の一端部にネジ
孔が貫通されて前記Ｙ方向調整スクリュー６が螺合して
おり、該スクリューの操作部６ａが外方に突出して位置
しており、かつその先端部６ｂは前記圧電アクチュエー
タ２６の他端に当接している。前記薄肉の両連結部２
９，３０は上記変位拡大部１８の長手方向と直交する方
向に延びて回動支点を構成しており、従ってＸ方向移動
部側連結部３０が支点、Ｙ方向移動部側連結部２９が作
用点、そして圧電アクチュエータ２６に当接する調整ス
クリュー６部分が力点となって、上記変位拡大部１８は
拡大てこ機構を構成している。

【００４０】なお、上記板ばね２１は、Ｘ方向移動部１
７に対してＹ方向移動部２４を矢印Ｙ１方向に付勢して
おり、従って作用点連結部２９を介して変位拡大部１８
を、支点連結部３０を中心に時計方向に回動付勢して、
調整スクリュー６の先端６ｂが圧電アクチュエータ２６
の他端に常に当接するように付勢している。また、前述
したように、ＸＹ方向とも、一方の撓み梁１９ａ，２５
ａは、その外側を変位拡大部１６，１８に覆われて保護
されているが、他方の撓み梁１９ｂ，２５ｂは、固定部
１５、Ｘ方向移動部１７のに内部に設けられて、外から
のダメージを受けることはない。

【００４１】ついで、上述したＸＹ方向部分Ｉの作用に
ついて説明する。Ｘ方向の粗動変位調整（位置決め）
は、Ｘ方向調整スクリュー５をノブ５ａにて回転するこ
とにより行われ、この際、圧電アクチュエータ２０は電
圧が供給されていない状態では一定長さに維持されてい
るので、上記スクリューの進退に基づき、Ｘ方向変位拡
大部１６が支点連結部２２を中心に回動して、平行撓み
梁１９ａ，１９ｂにて支持されているＸ方向移動部１７
を、作用点連結部２３を介して固定部１５に対してＸ方
向に移動する。

【００４２】同様に、Ｙ方向の粗動位置調整（位置決
め）はＹ方向調整スクリュー６をノブ６ａにて回動する
ことにより行われ、先端６ｂが圧電アクチュエータ２６
に当接して固定状態にあるので、Ｙ方向変位拡大部１８
が支点連結部３０を中心に回動して、平行撓み梁２５
ａ，２５ｂにて支持されているＹ方向移動部２４を、作
用点２９を介してＸ方向移動部１７に対してＹ方向に移
動する。これにより、固定部１５と一体の基盤２に対し
て、後述するＺ方向変位部を介して前記Ｙ方向移動部２
４とＸＹ方向に一体の移動ステージ３が、上記調整スク
リュー５，６によりＸ方向及びＹ方向に粗動位置調整さ
れる。

【００４３】該粗動位置調整された状態で、コントロー
ラにより圧電アクチュエータ２０，２６に所定電圧を供
給する。該圧電アクチュエータは、その供給電圧と変位
との間に所定関係を備えており、上記所定電圧の印加に
より所定の微小変位を生ずる。この状態では、調整スク
リュー５，６は所定螺合状態に保持されており、かつ上
述したように、板ばね（付勢手段）２１，２７によりス
クリューの先端５ｂ，６ｂと圧電アクチュエータ２０，
２６の先端とは常に当接した状態にあり、上述した圧電
アクチュエータ２０，２６の微小変位は、それぞれＸ方
向変位拡大部１６及びＹ方向変位拡大部１８の力点であ
るスクリュー部分に作用し、これら変位拡大部１６，１
８は、支点連結部２２，３０を支点として、作用点連結
部２３，２９に変位を拡大して作用する。一例として、
圧電アクチュエータ２０，２６の最大変位が約１７［μ
ｍ］であり、上記変位拡大部１６，１９によるてこ比に
より、５〜１１倍に拡大されて、作用点での変位は、８
５〜１８７［μｍ］となる。

【００４４】そして、上述した調整スクリュー５，６に
よる粗動と同様に、上記圧電アクチュエータ１６に基づ
く変位拡大部１６の作用点連結部２３の変位は、平行な
２個の撓み梁１９ａ，１９ｂにより固定部１５に対して
平行支持されているＸ方向移動部１７をＸ方向に移動
し、また上記圧電アクチュエータ２６に基づく変位拡大
部１８の作用点連結部２９の変位は、平行な２個の撓み
梁２５ａ，２５ｂによりＸ方向移動部に対して平行支持
されているＹ方向移動部２４をＹ方向に移動し、これに
より該Ｙ方向移動部にＺ方向変位部を介して連動されて
いる移動ステージ３が、Ｘ方向及びＹ方向に所定量微小
変位する。

【００４５】ついで、図４ないし図６に沿って、本発明
の要部となるＺ方向変位部分について説明する。該Ｚ方
向変位部分IIは、図４に示すように、前記ＸＹ変位部分
Ｉの上部において長手方向をＹ軸方向に向けて配置され
ており、図５（ａ）に示す拡大変位・移動部Ａと、図５
（ｂ）に示す駆動部Ｂの２部分からなる。上記拡大変位
・移動部Ａは、１個の金属ブロックを放電加工により加
工された一体物からなる固定部３５、Ｚ方向移動部３６
及びＺ方向変位拡大部（変更手段）３７を有しており、
上記各部は剛体部からなる。そして、上記固定部３５
は、前述したＹ方向移動部２４にネジ３９（図２（ｂ）
参照、ネジ孔を図３に３９ａ，３９ａに示す）により固
定されており、またＺ方向移動部３６は、ネジ４０（図
２（ｂ）参照、図５（ａ）に１点鎖線でまた図４及び図
６（ａ）にネジ孔４０ａ，４０ａを示す）により移動ス
テージ３に固定されている。

【００４６】そして、上記固定部３５及びＺ方向移動部
３６は、一体に形成されかつ上下方向に隔てられて配置
された薄肉平板からなる平行の２個の撓み梁４１ａ，４
１ｂにより互に連結されている。従って、Ｚ方向移動部
３６は、固定部３５に対して上下方向即ちＺ方向に、上
記互に平行な２個の撓み梁４１ａ，４１ｂが撓み変形す
ることにより移動（変位）し得る。また、固定部３５と
移動部３６との間には、両端が固定されてかつ所定量偏
倚されて板ばね４４が配置されている。なお、上記固定
部３５は、Ｙ方向移動部２４に一体に固定されており、
該Ｙ方向移動部２４は、Ｙ方向に対してはＸ方向移動部
１７を固定部として移動部となるが、Ｚ方向に対して
は、Ｚ方向移動部３６に対する固定部となる。

【００４７】また、前記Ｚ方向変位拡大部３７は、上記
固定部３５、移動部３６及び２個の平行撓み梁４１ａ，
４１ｂに囲まれて配置されており、かつその両端部がそ
れぞれ一体に形成されている薄肉からなる連結部（弾性
ヒンジ）４２，４３にて連結されている。一方の連結部
４２は上下方向に延びており、従って該連結部４２は、
上下方向（Ｚ方向）には一体に移動し、左右方向（Ｙ方
向）に対して相対移動を許容する。他方の連結部４３
は、短いが水平方向（Ｙ方向）に延びる部分４３ａと、
上下方向（Ｚ方向）に延びる部分４３ｂとからなり、従
って該連結部４３は、上方向（Ｚ方向）及び左右方向
（Ｙ方向）の移動を制限し、概ね回動支点となる。

【００４８】一方、駆動部Ｂは、前記固定部３５とネジ
４５，４５（図５（ａ）にネジ孔４５ａ，４５ａを示
す）により一体に結合されている結合固定部４６と、前
記拡大変位部３７にネジ４７，４７（図５（ａ）にネジ
孔４７ａ，４７ａを示す）により一体に結合されている
結合拡大変位部４９と、を有し、これら各部は剛体部か
らなる。上記結合固定部４６の一端にて上方に延びてい
る突出部４６ａには、前述と同様な複数個のピエゾ素子
を積層して構成される圧電アクチュエータ５０の一端５
０ａが固定されている。また、上記結合拡大変位部４９
の他端にて上方に延びている突出部４９ａには前記Ｚ方
向調整スクリュー７がその操作ノブ７ａを前記Ｙ方向調
整スクリュー６と同じ側にて外方に突出して螺合されて
いる。該スクリューの先端７ｂは、前記圧電アクチュエ
ータ５０の他端５０ｂに当接し、かつ前述と同様に、板
ばね４４により該当接が常に保持されている。

【００４９】そして、図６に示すように、上記拡大変位
移動部Ａと駆動部Ｂとは、互に並設して一体に結合され
ている。従って、上記変位拡大部３７は、２方向連結部
４３が回動支点となり、他方の連結部４２が作用点とな
る。また、上記圧電アクチュエータ５０に当接するスク
リューの先端７ｂは力点となるが、該力点は、上記作用
点及び回動支点を有する空間とはＸ方向にずれた、異な
る空間に配置されている。即ち、該Ｚ方向変位拡大部３
７（４９）は、その回動支点４３と力点７ｂ（４９ａ）
とが、回動支点の軸方向に所定量ずれて配置されてお
り、これにより、同一平面上に位置するものに比して、
支点と力点とを近づけて配置することが可能となり、コ
ンパクトな構成にて所定量拡大した、てこ比を得ること
ができる。

【００５０】なお、上記平面とは、図５（ａ）（ｂ）及
び図６（ａ）に示すように、該平面と直交する方向に所
定幅を有する平面（空間）を意味しており、図５（ａ）
に示す作用点連結部４２及び支点連結部４３と、力点と
なるスクリュー７及びその螺合部分４９ａが異なる平面
（空間）に位置することを意味し、これら平面空間は、
図に示すように、完全に異なる空間でも、一部幅方向に
オーバラップする空間も含む。また、図４に示すよう
に、該一体に組立てられたＺ方向変位部分IIは、ＸＹ方
向変位部分Ｉの略々中央部分上部にその長手方向をＹ方
向として配置され、かつ移動ステージ３がその上方に被
せられている。

【００５１】また、上記一体に固定されている変位拡大
部（３７，４９）は、圧電アクチュエータ５０の長手方
向に略々平行に延びる（第１の）剛体部（３７，４９）
と、該剛体部と一体に形成されかつ略々９０度座屈され
た突出部（第２の剛体部）４９ａとを有しており、該突
出部４９ａに前記アクチュエータ５０の先端が当接（連
係）して力点を構成している。

【００５２】ついで、上記Ｚ方向変位部分IIの作用につ
いて説明する。Ｚ方向の位置調整（位置決め）は、ＸＹ
方向と同様に、大体の調整（粗動調整）に関してはＺ方
向調整スクリュー７を人手にて調整することにより行わ
れ、微小範囲の調整（微動調整）に関しては圧電アクチ
ュエータ５０に所定電圧を印加することにより行われ
る。

【００５３】調整スクリュー７又は圧電アクチュエータ
５０は、その長手方向に変位し（Ｆｙ方向）、力点とな
るスクリュー先端７ｂを介してＺ方向変位拡大部３７，
４９の突出部（第２剛体部）４９ａに矢印Ｆｙ方向の力
を作用し、これにより該突出部４９ａは、支点となる連
結部４３を中心に略々矢印Ｆｙ方向に変位する。そし
て、上記支点連結部４３を中心として変位拡大部の回動
は、作用点連結部４２を介してＺ方向移動部（他方の剛
体部）３６に、上記矢印Ｆｙと略々直交する方向（矢印
Ｆｚ）の変位（力）として作用する。

【００５４】一方、上記圧電アクチュエータ５０等によ
るＺ方向変位拡大部３７，４９の力点４９ａの移動は、
該力点と異なる平面における支点連結部４３を中心に上
記変位拡大部３７を回動して、作用点連結部４２に移動
量を拡大して作用する。そして、該作用点４２の移動
は、２個の平行撓み梁４１ａ，４１ｂにより固定部３５
に対して支持されているＺ方向移動部３６をＺ方向に移
動する。なお、板ばね４４は、固定部３５に対してＺ方
向移動部３６を矢印Ｚ１方向に付勢し、更に連結点４２
を介して変位拡大部３７，４９を支点連結部４３を中心
に反時計方向（図５（ａ））に付勢し、これによりスク
リュー７の先端７ｂが圧電アクチュエータ５０の他端に
常に接触するように付勢している。

【００５５】従って、前述したように、基盤２に固定さ
れている固定部１５に対して、Ｘ方向調整スクリュー５
及び／又は圧電アクチュエータ２０によりＸ方向移動部
１７がＸ方向に移動し、更に該Ｘ方向移動部１７に対し
て、Ｙ方向調整スクリュー６及び／又は圧電アクチュエ
ータ２６によりＹ方向移動部２４がＹ方向に移動し、そ
して該Ｙ方向移動部１９に対して、上述したように、Ｚ
方向調整スクリュー７及び／又は圧電アクチュエータ５
０によりＺ方向移動部３６がＺ方向に移動する。これに
より、該Ｚ方向移動部３６に固定されている移動ステー
ジ３が、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に移動する。なお、上述した調
整スクリュー５，６，７のノブ５ａ，６ａ，７ａによる
移動ステージ３の移動は、ノブの手動操作と相俟って目
視で確認することは可能であるが、圧電アクチュエータ
２０，２６，５０による微小範囲での移動ステージ３の
移動は、目視で確認することは困難である。

【００５６】ついで、目視による移動確認装置につい
て、図７及び図２に沿って説明する。基盤２に固定され
ている固定部１５の上面には、図７（ａ），（ｂ），
（ｃ）に示すように、２側面に平行にＬ型ブラケット６
０，６１がそれぞれネジ６２，６３により固定されてい
る。Ｘ方向に平行する一方の側面（移動ステージ３の側
面３ｂ側）に平行面を有するブラケット６０には、所定
角度θ傾けて固定側部材となる枠６５が固定されてお
り、Ｙ方向に平行する一方の側面（移動ステージ３の側
面３ｃ側）に平行面６１ａを有するブラケット６１に
は、同様に、所定角度θ傾けて固定側部材となる２個の
枠６６，６７が固定されている。一方、上記各固定枠６
１，６６，６７に対応する移動ステージ３の側面３ｂ，
３ｃには、図２に示すように、それぞれ各固定枠に対向
して移動側部材となる切欠き窓６９，７０，７１が形成
されている。

【００５７】そして、前記各固定枠６１，６６，６７及
び窓６９，７０，７１には、それぞれ等間隔、例えば
０．１［ｍｍ］にエッチング等にて形成された格子１０
ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂが配設さ
れている。従って、互に対向する各格子１０ａと１０
ｂ，１１ａと１１ｂ，１２ａと１２ｂは、所定角度θ傾
斜して対向配置されるため、上記格子と直交する方向に
正弦波状のモアレ縞を現出する。該モアレ縞の波長Ｌ
は、上記格子のピッチをＰとし、上記所定角度をθとす
ると、Ｌ＝Ｐ／θとなり、角度θの値を小さく取ること
によって、モアレ縞の移動量は、格子の移動量よりも拡
大された大きな移動量となって目視される。例えば、上
記角度θを５度とすると、モアレ縞の移動量は、格子の
移動量の略々１１倍となって目視される。

【００５８】上記枠６５と窓６９に配置された格子１０
ａ，１０ｂは、垂直方向に設けられていると共に、Ｘ方
向に移動する側の側面３ｂに配置されており、従って移
動ステージ３のＸ方向の動きにより、上記モアレ縞が拡
大して移動して、Ｘ方向の移動確認装置１０を構成し、
また上記枠６６と窓７０に配置された格子１１ａ，１１
ｂも、垂直方向に設けられていると共に、Ｙ方向に移動
する側の側面３ｃに配置されており、従って移動ステー
ジ３のＹ方向の動きにより、上記モアレ縞が拡大して移
動して、Ｙ方向の移動確認装置１１を構成する。更に、
上記枠６７と窓７１に配置された格子１２ａ，１２ｂ
は、水平方向に設けられており、かつ移動ステージのＺ
方向移動に関してはどの側面でも同じであるが、配置効
率及びスペース効率からみて、Ｙ方向確認装置と同じ側
面３ｃに配置され、従って移動ステージ３のＺ方向の動
きにより上記モアレ縞が拡大して移動して、Ｚ方向の移
動確認装置１２を構成する。

【００５９】上記構成により、圧電アクチュエータ２
０，２６，５０に基づき移動ステージ３が微小範囲にて
Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に移動すると、前記各方向の移動確認装
置１０，１１，１２のモアレ縞が目視にて充分に確認で
きるように拡大して移動し、これにより、移動ステージ
３が、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に実際に移動しているこ
とを目視により確認できる。もし、圧電アクチュエータ
への電圧印加によっても、該圧電アクチュエータに対応
する移動確認装置のモアレ縞の移動が目視できない場
合、該移動方向の圧電アクチュエータ又はその配線等に
異常があることが直ちに確認できる。

【００６０】ついで、図８及び図９に沿って、Ｚ方向変
位部分の一部変更した実施の形態について説明する。な
お、本実施の形態は、Ｚ方向変位拡大部３７の回動支点
４３が異なり、他の部分は、図５，図６に示したものと
実質的に同じなので、同一符号を付して説明を省略す
る。

【００６１】本Ｚ方向変形部分II’も、図８（ａ）
（ｂ）に示すように、拡大変位移動部Ａと、駆動部Ｂと
からなり、図９に示すように、これら両部が互いに並設
して一体に結合されている。拡大変位・移動部Ａは、１
個の金属ブロックを放電加工により形成された一体物か
らなる固定部３５、Ｚ方向移動部３６及びＺ方向変位拡
大部（変更手段）３７’を有しており、これら各部は剛
体部からなり、かつ固定部３５及びＺ方向移動部３６
は、薄肉平板からなる２個の平行な撓み梁４１ａ，４１
ｂにより連結されている。前記変位拡大部３７’におい
て、その作用点となる連結部４２は先のものと同様に、
垂直方向に延びる薄肉平板により一体に連結して構成さ
れているが、回動支点となる連結部は、該図８（ａ）に
示す平面にあってはＺ方向移動部３５と連結されていな
い。

【００６２】一方、駆動部Ｂは、前記固定部３５とネジ
４５，４５により一体に結合さている結合固定部４６
と、前記変位拡大部３７’にネジ４７，４７により結合
されている結合変位拡大部４９とを有しており、結合固
定部４６の一端にて上方に延びている突出部４６ａに
は、積層ピエゾ素子からなる圧電アクチュエータ５０の
一端が固定されている。

【００６３】また、前記結合変位拡大部４９は、前記ネ
ジ４７にて固定された点から図中右方向に延びており、
該結合変位拡大部４９と、前記変位拡大部３７’とはＸ
軸方向に異なる平面に配置されている。そして、前記固
定部３５に形成されたピン孔４３’ｃ（図８（ａ）参
照）にはピン４３’が植設されており、該ピン４３’
に、前記変位拡大部４９の延長部４９ｂが回動自在に支
持されている。更に、該延長部の端は上方に屈曲して突
出部４９ａを形成しており、該突出部４９ａにはＺ方向
調整スクリュー７が貫通・螺合して、その先端７ａが前
記圧電アクチュエータ５０の他端に当接している。

【００６４】従って、一体からなる変位拡大部３７’と
結合変位拡大部４９は、固定部３５に植設されたピン４
３’により回動自在に支持されており、該回動支点４
３’の固定部連結点は、固定部３５、即ち図８（ａ）に
示す平面にある。一方、力点となるスクリュー７ｂ部分
は、圧電アクチュエータ５０と同一平面である図８
（ｂ）に示す平面にある。即ち、変位拡大部４９は、そ
の支点となる連結部４３’と力点となる連結部７（４９
ａ）とが異なる平面にあって、互いに近接して位置して
いる。

【００６５】以上構成に基づき、調整スクリュー７又は
圧電アクチュエータ５０による矢印Ｆｙ方向の力は、変
位拡大部（結合変位拡大部３９）３７’，４９の力点と
なる突出部（第２の剛体部）４９ａを矢印Ｆｙ方向に移
動し、更に変位拡大部は、ピン４３’からなる支点連結
部を中心に回動して、作用点連結部４２に、矢印Ｆｚ方
向に移動量を拡大して作用する。該作用点４２の移動
は、２個の平行撓み梁４１ａ，４１ｂにより固定部３５
に対して支持されているＺ方向移動部３６を矢印Ｆｚ
（Ｚ）方向に移動する。なお、先の実施の形態による連
結点４３（図５（ａ）参照）は、水平方向薄肉平板４３
ｂ及び垂直方向薄肉平板４３ａからなる２方向撓み梁に
より回動支点としているが、このため水平（左右）方向
及び垂直（上下）方向、特に上下方向の支持に対して剛
性が不足する虞れがあるが、本実施の形態によるピン４
３’は、固定部３６に対して植設されて充分な剛性を備
えている。

【００６６】また、上述した異平面連結点による変位拡
大機構（部）は、Ｚ方向微小変位装置に適用した実施の
形態について説明したが、これに限らず、Ｘ，Ｙ，Ｚ方
向微小変位装置及びθｘ，θｙ方向の微小変位装置に適
用してもよく、更に単軸方向のみの変位装置、又はＸＹ
方向の変位装置、θｘ又はθｙ方向のみの変位装置にも
同様に適用できる。また、前記変位拡大機構は、てこ比
を拡大として用いているが、これは、圧電アクチュエー
タのストロークの増大及び更に微小な変位（サブμｍオ
ーダ、ｎｍオーダ）の位置決めの要求等により、てこ比
を縮小するように用いてもよく、要はてこ機構による位
置変更手段であればよい。また、前記２個の剛体部３
５，３６は、薄肉平板からなる撓み梁４１ａ，４１ｂで
連結・支持したが、これに限らず、切欠き部からなる回
転対偶（弾性ヒンジ）と剛体からなる梁とで連結・支持
してもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るＸＹＺ方向微小変位装置を示す図
で、（ａ）は背面図、（ｂ）は平面図。

【図２】同じく微小変位装置を示す図で、（ａ）正面
図、（ｂ）は側面図。

【図３】ＸＹ方向変位部分を示す平面図。

【図４】移動ステージを取外した状態の微小変位装置の
正面図。

【図５】Ｚ方向変位部分を示す正面図で、（ａ）は拡大
変位・移動部、（ｂ）は駆動部を示す。

【図６】組立てられたＺ変位部分を示し、（ａ）は平面
図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は背面図。

【図７】移動ステージ及びＺ方向変位部分を取外した状
態の微小変位装置を示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）
は右側面図、（ｃ）は正面図。

【図８】Ｚ方向変位部分を示す一部変更した実施の形態
であり、（ａ）は拡大変位・移動部、（ｂ）は、駆動部
を示す。

【図９】図８に係る組立てられたＺ方向部分を示す正面
図。

【符号の説明】

１微小変位装置７調整スクリュー３５（一方の）剛体部（固定部）３６（他方の）剛体部（Ｚ方向移動部）３７，３７’ 変位変更手段（変位拡大部）４１ａ，４１ｂ連結支持部（撓み梁）４２連結部（作用点）４３，４３’ 連結部（支点）４６結合剛体部（固定部）４９変位変更手段（結合変位拡大部）５０微小変位（圧電）アクチュエータ４９ａ，７ｂ力点となる連係部

フロントページの続き (72)発明者山口三雄東京都墨田区緑１−19−９シグマ光機株式会社東京本社ビル内Ｆターム(参考） 2F078 CA01 CA10 CB09 CB10 CB14 CB18 CC02 CC03 5H303 AA05 AA06 DD14 QQ01 QQ08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】相対移動自在に支持された少なくとも２
個の剛体部と、前記２個の剛体部に相対変位を生じる微
小変位アクチュエータと、を備えてなる微小変位装置に
おいて、前記２個の剛体部にそれぞれ連結されると共に前記微小
変位アクチュエータに連係し、前記２個の剛体部の内の
一方に連結する連結部を支点とし、他方に連結する連結
部を作用点とし、前記微小変位アクチュエータとの連係
部を力点として、前記一方の剛体部との間で前記微小変
位アクチュエータが前記力点に生じる変位を、変倍して
前記作用点から前記他方の剛体部へ伝達する変位変更手
段を備え、前記力点に前記微小変位アクチュエータから作用する変
位方向と、前記作用点から前記他方の剛体部に作用する
変位方向とが、略々９０度異なる、ことを特徴とする微小変位装置。
【請求項２】前記変位変更手段は、剛体からなり、前
記微小変位アクチュエータの長手方向と略々平行に延び
る第１の剛体部と、該第１の剛体部と略々直交する方向
に延びる第２の剛体部と、を有し、前記第１の剛体部を、前記作用点となる連結部にて前記
他方の剛体部に連結し、前記第２の剛体部を、前記力点
となる連係部にて前記微小変位アクチュエータに連係し
てなる、請求項１記載の微小変位装置。
【請求項３】前記２個の剛体部は、互いに平行に配置
された梁にて連結・支持され、前記一方の剛体部に対し
て前記他方の剛体部を平行に変位してなり、これら梁の長手方向と前記微小変位アクチュエータの変
位方向とが略々平行である、請求項１又は２記載の微小変位装置。
【請求項４】前記一方の剛体部に前記微小変位アクチ
ュエータの基端部を固定し、該一方の剛体部に臨んで、
前記微小変位アクチュエータの先端部が当接して力点と
なる前記連係部を配置してなる、請求項１ないし３のいずれか記載の微小変位装置。
【請求項５】相対移動自在に支持された少なくとも２
個の剛体部と、前記２個の剛体部に相対変位を生じる微
小変位アクチュエータと、を備えてなる微小変位装置に
おいて、前記２個の剛体部にそれぞれ連結されると共に前記微小
変位アクチュエータに連係し、前記２個の剛体部の内の
一方に連結する連結部を支点とし、他方に連結する連結
部を作用点とし、前記微小変位アクチュエータとの連係
部を力点として、前記一方の剛体部との間で前記微小変
位アクチュエータが前記力点に生じる変位を、変倍して
前記作用点から前記他方の剛体部へ伝達する変位変更手
段を備え、該変位変更手段における前記力点、前記支点及び作用点
となる連係部又は連結部の少なくとも２個を、異なる平
面に配置してなる、ことを特徴とする微小変位装置。
【請求項６】前記力点となる連係部と、前記支点とな
る連結部とを、異なる平面にて近接して配置し、前記変位変更手段が、変位拡大機構として機能してな
る、請求項５記載の微小変位装置。
【請求項７】前記２個の剛体部と、これら剛体部を相
対移動自在に連結・支持する梁と、前記変位変更手段の
一部分とを、一体物として設け、前記一方の剛体部に固定される結合剛体部と、該結合剛
体部に一端が固定される前記微小変位アクチュエータ
と、前記変位変更手段の一部に固定される他の部分と
を、前記一体物に隣接して並設してなる、請求項５又は６記載の微小変位装置。
【請求項８】前記力点となる連係部は、前記変位変更
手段に貫通・螺合された調整スクリューの先端当接部で
ある、請求項１ないし７のいずれか記載の微小変位装置。
【請求項９】前記作用点となる連結部は、前記剛体部
の相対移動方向に延びる薄肉平板からなり、前記支点と
なる連結部は、前記互いに直交する方向に延びる２個の
薄肉平板からなる、請求項１ないし８のいずれか記載の微小変位装置。
【請求項１０】前記作用点となる連結部は、前記剛体
の相対移動方向に延びる薄肉平板からなり、前記支点と
なる連結部は、前記一方の剛体部に植設されたピンであ
る、請求項１ないし８のいずれか記載の微小変位装置。