JP2003195918A - 搬送先指示装置及び搬送先指示システム - Google Patents

搬送先指示装置及び搬送先指示システム

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JP2003195918A
JP2003195918A JP2001392588A JP2001392588A JP2003195918A JP 2003195918 A JP2003195918 A JP 2003195918A JP 2001392588 A JP2001392588 A JP 2001392588A JP 2001392588 A JP2001392588 A JP 2001392588A JP 2003195918 A JP2003195918 A JP 2003195918A
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JP2001392588A
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Yoshinori Inoue
善規 井上
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Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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    • Y02P90/30Computing systems specially adapted for manufacturing

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  • General Factory Administration (AREA)
  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フープの搬送先を迅速に各作業者に知らせる
ことができ、迅速にワークを装置に移動することができ
る搬送先指示装置を提供すること 【解決手段】 フープ排出フラグがONになったのをデ
ータベース検索部11が検出すると、メールサーバ13
がPDA20に通知する。PDAから携帯端末サーバ1
0にアクセスし、Webサーバ14からQTAT状態画
面の表示を受ける。QTAT状態画面は、搬送待ちのフ
ープと保管場所等が表示されるので、それを見た作業者
は、自分が搬送できるか否かを判断し、搬送可能な場合
には確認メールを通知する。また、フープの保管場所に
到達すると、IDタグを読み込み、フープID情報をサ
ーバに送ることにより、搬送先に関する情報画面の提供
を受け、それに基づき搬送可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、搬送先指示装置
及び搬送先指示システムに関するものである。
【0002】
【発明の背景】例えば、半導体製造工場の場合、フープ
(FOUP)と称される容器内に複数枚のウエハを積層
状態(上下のウエハ同士はもちろん離れている)で実装
し、そのフープ単位或いは複数のフープからなるロット
単位で各製造プロセスを実行する。そして、半導体製造
工場では、原則として搬送並びに各製造プロセスを自動
実行するようになっている。
【0003】すなわち、フープの表面所定位置には、工
程順などを記憶させたチップを取り付けておく。これに
より、搬送装置や、各製造プロセスを実行する装置に、
上記チップを読み取るリーダーを取り付けると、搬送装
置では、そのフープの搬送先(次工程を実施するための
装置)を認識して自動搬送が行え、また、各製造プロセ
スを実行する装置は、与えられたフープが、処理対象の
ものか否かを判別し、処理対象のフープのみが装置内に
投入され、所定の製造プロセスを実行後搬出することが
できる。これを適宜繰り返すことにより、複数の製造プ
ロセスを所定の順で実行し、製造することができる。
【0004】ところで、半導体の工場運営では、工程優
先順位の変更が行われることがある。つまり、たとえば
その日の朝(始業前)に決めた工程にしたがって製造し
ていたところ、ある装置が故障してしまうと、その装置
を使用する工程は停止してしまい、係る決めた工程通り
に製造することができなくなる。この場合、好ましく
は、代替え可能な装置を抽出し、効率の良い工程順を組
み直す必要がある。
【0005】すると、チップに工程順を記憶させている
場合には、上記組み直しにともない、記憶内容の書き換
えが必要となるが、係る処理が煩雑であるばかりでな
く、書き換えを間違えると、正しい製造が行えなくな
る。
【0006】係る問題を解決するため、たとえばIDタ
グに、フープIDなどの他のフープと識別するための情
報を付し、そのフープIDに基づいて生産管理システム
が工程順を管理することができる。すなわち、上記した
装置や搬送装置は、MESと称される生産管理システム
にネットワークを介して接続される。この生産管理シス
テムは、各装置等の処理状態を把握し、どのフープをど
こに搬送し、処理をすればよいかを判断し、その判断結
果を各装置等に伝える。つまり、あるロット番号のID
タグが付されたフープが次に行う製造プロセス(装置)
は、生産管理システムが把握しているので、所定の装置
や搬送装置に対して、処理対象のフープのフープID
や、そのフープがどこに存在しているかなどの情報を与
えることにより、係る情報を受けた装置等が所定の動作
を行い、目的とするフープに収納されたウエハに対する
処理が行える。
【0007】すると、これにより、途中で工程順を変更
したとしても、その変更内容を生産管理システムが把握
しておけば、その変更後の内容に従って制御命令を出力
することにより臨機応変に対応できる。
【0008】一方、上記した通常の工程とは別に、特急
処理(優先処理)をする必要があるウエハ(フープ)が
存在する。係る特急処理の場合、作業者が搬送装置の代
わりをなし、人手(作業者)が、特急処理(QTAT
(Quick Turnaround Time)処理
とも称される)のフープを持って移動し、所望の装置に
供給し、その装置で製造されたフープを次の場所(装置
であったり、一時保管する棚など)まで搬送する。
【0009】ところで、このような特急処理をする場
合、作業者は、処理対象のフープを探し、そのフープを
どこに持っていけばよいかを認識する必要があるが、上
記したようにIDタグにロット番号のみを格納している
と、そのIDタグを読み取るリーダーを持っていたとし
ても、その場で搬送先を知ることはできない。
【0010】そこで、係るIDタグを読み取ってロット
番号を取得すると、例えば生産管理システムを操作し、
そのフープIDの搬送先を含む最新の工程順を取得し、
それにしたがって特急処理を実施することになる。よっ
て、いちいち生産管理システムを操作する必要があるの
で、作業が繁雑であるばかりでなく、係る生産管理シス
テムまで移動して操作する必要があるので、煩雑であ
る。
【0011】さらに、特急処理対象のフープの場合、一
時的に棚に置くことになるが、生産管理システムでは、
各フープが工場内のどこかの棚に置かれている(ある装
置での処理済みの通知を受け,待機中である)ことは認
識しているものの、具体的にどの棚に置かれているかま
では認識できない。従って、作業者は、工場内の各棚を
調べ、処理対象のフープを探す必要があるので、煩雑で
あり、時間のロスを招く。
【0012】この発明は、ワークの搬送先を迅速に各作
業者に知らせることができるとともに、効率よくフープ
等のワーク(処理対象物)を目的地に移動することがで
きる搬送先指示装置及び搬送先指示システムを提供する
ことを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】この発明による搬送先指
示装置は、ワークの搬送状況を管理し、携帯端末に対し
て前記ワークの搬送先情報を提供する搬送先指示装置で
ある。そして、搬送待ちのワークの存在の有無を監視す
る監視手段と、前記監視手段が前記搬送待ちのワークを
検出した場合に、前記携帯端末に対して通知メールを発
信するとともに、前記携帯端末からの確認メールの返信
を受信するメール手段と、前記携帯端末に対し、指示画
面を表示する画面表示手段とを備え、前記画面表示手段
は、前記ワークを特定する認識情報,そのワークが存在
している位置を特定する位置情報,搬送中か否かの状態
情報を含むワーク状態画面を表示する機能と、前記携帯
端末から取得した前記認識情報に対応する前記ワークの
搬送先に関する情報を含む搬送先画面を表示する機能を
備えるようにした。
【0014】また、前記監視手段による監視手法は各種
のものが採れるが、工程順を決定する生産管理システム
のデータベースを監視し、そのデータベースに格納され
たワークの搬送中か否かを特定する情報に基づいて前記
搬送待ちのワークの存在の有無を判断するものとするこ
とができる。
【0015】ここで、ワークは実施の形態ではフープ2
に対応する。搬送先指示装置は、実施の形態では携帯端
末サーバ10に対応する。監視手段は、実施の形態では
データベース検索部11,データベース検索アプリケー
ション11′に対応する。メール手段は、実施の形態で
は、メールサーバ13,13′に対応する。画面表示手
段は、実施の形態では、Webサーバ14,14′に対
応する。認識情報は、実施の形態ではフープIDに対応
する。そして、この認識情報をワークに付す方法として
は、実施の形態のようにフープIDを格納したIDタグ
を取り付けることができる。また、認識情報を格納する
媒体としては、IDタグに限ることなく、バーコードや
2次元バーコードの他、各種のものを利用できる。位置
情報は、実施の形態では最終投入装置IDや、棚IDな
どのワークが存在している位置を特定するための情報で
有ればよい。状態情報は、実施の形態では搬送中フラグ
に対応する。搬送先画面は、実施の形態では行き先表示
画面に対応する。搬送先画面を表示する機能は、実施の
形態では最新の情報を生産管理システム4(データベー
ス4a)から取得し表示するものに対応する。
【0016】この発明によれは、監視手段により搬送待
ちのワークが存在しているか否かを判断し、搬送待ちが
生じた場合には、携帯端末に向けて通知メールを発信す
る。これにより、携帯端末を保有している作業者は、搬
送すべきワークが存在していることを知ることができ
る。そして、係るワークがどこに存在しており、どこに
搬送すればよいかなどの情報は、搬送先指示装置にアク
セスし、所定の表示画面を携帯端末の表示画面に出力表
示させ、その内容を確認することにより知ることができ
る。次いで、自分で搬送することができる場合には、確
認メールを返信することにより、搬送先指示装置に対し
て搬送処理者がいることを通知することができる。
【0017】また、前記ワーク状態画面を表示する機能
は、前記確認メールを受信した場合に、その確認メール
の発信者をワークの搬送予定者と判定し、前記状態情報
を搬送中にするとともに、その判定予定者を特定する情
報を出力するものとするとよい。このようにすると、誰
かが確認メールを返信し、ワークを搬送しようとしてい
ることを他の作業者に知らせることができる。よって、
複数の作業者が1つのワークを搬送しようとしてそのワ
ークの存在位置に向かうという無駄を無くすことができ
る。
【0018】また、実際のワークの搬送者に関する搬送
者情報を取得し、前記搬送予定者と一致しない場合に
は、その搬送予定者に対して電子メールで通知する機能
を備えるとよい。例えば、搬送予定者が登録されている
にもかかわらず、ワークの搬送が完了しない状態が続く
場合、何かしらの原因により搬送予定者が搬送処理がで
きなくなったおそれが高い。このような場合、他の作業
者が表示画面を見て係る状態を知徳した場合、搬送登録
者に変わって他の作業者が搬送することができるように
すると、臨機応変の対応により、搬送作業の効率アップ
をすることができる。そして、搬送予定者に対して他の
作業者が搬送したことを通知すると、搬送予定者は他の
処理に移行することができる。
【0019】前記ワークの搬送先である装置に取り付け
られたその装置識別情報を前記携帯端末を介して受信し
た場合に、そのワークの搬送を完了したと判定し、所定
の処理をする機能を備えるとよい。ここで、所定の機能
とは、搬送者の情報や、搬送時刻などを登録したり、表
示画面の表示内容の変更などがある。
【0020】なお、前記メールの送受信並びに前記指示
画面の表示は、それぞれ別々の通信プロトコルに従って
行うようにしても良いし、共通のWeb画面上で行われ
るようにしてもよい。
【0021】本発明に係る搬送先指示システムとして
は、上記した各発明の搬送先指示装置と、その搬送先指
示装置と無線による通信が可能な複数の携帯端末とを備
えたワークの搬送先指示システムであって、前記搬送先
指示装置から前記携帯端末に向けて発信する通知メール
を発信し、前記携帯端末は、前記搬送先指示装置にアク
セスして所定の指示画面の提供を受け、前記ワークの搬
送が可能な場合に、前記携帯端末から前記搬送先指示装
置に向けて確認メールを返信するようにする。
【0022】好ましくは、前記携帯端末は、少なくとも
ワークに設置された認識情報を読み取る読み取り装置を
備え、前記携帯端末の保有者が搬送対象の前記ワークを
搬送するに際し、前記読み取り装置を用いて取得した前
記ワークの認識情報を前記搬送先指示装置に送り、前記
搬送先指示装置は、取得した認識情報に基づきそのワー
クに関する搬送先画面を前記携帯端末に向けて提供する
ように構成することである。
【0023】さらに、前記携帯端末は、前記読み取り装
置を介して取得した前記ワークの搬送先の装置に取り付
けられた装置識別情報を前記搬送先指示装置に送り、前
記搬送先指示装置は、装置識別情報を受信した場合に、
そのワークの搬送を完了したと判定し、所定の処理をす
ることもできる。
【0024】この発明による搬送先指示装置を構成する
各手段を専用のハードウエア回路によって実現すること
ができるし、プログラムされたコンピュータによって実
現することもできる。
【0025】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の好適な一実施の
形態を示している。図1に示すように、半導体製造工場
では、各種の製造プロセスを実行するための複数の装置
1が配置され、各装置1に対し、図示省略する自動搬送
装置(搬送ロボット)を用いてフープ2と称される半導
体ウエハを収納する容器を供給する。すると、装置1が
稼動し、フープ(FOUP)2を装置1内部に取り込
む。フープ2は、前開きの容器であり例えば300mm
のウエハを上下に複数枚積層した状態で収納保持するよ
うになっている。そして、装置1の内部に取り込まれた
状態で、フープ2内に収納されたウエハが取り出され、
所定の処理が実行される。
【0026】これら各装置1は、イーサネット(登録商
標)等のネットワーク3を介してMESと称される生産
管理システム4に接続されており、装置1の動作状況が
生産管理システム4に伝達される。また、生産管理シス
テム4から装置1に対しては、次に処理をするフープ2
を特定する情報が送られてくる。
【0027】すなわち、フープ2には、データの読み取
りと書きこみが可能な素子であるIDタグ5が取り付け
られている。このIDタグ5には、フープ2を識別する
ためのロット番号が格納されている。また、装置1に
は、IDタグ5に格納されたデータを読み取る装置が実
装されている。これにより、生産管理システム4から装
置1に対しては、次に処理すべきフープ2のロット番号
が通知され、装置1にもIDタグ5の読取装置を実装し
ておくことにより、その装置1側で投入されてきたフー
プ2のIDタグ5を読み取り、正規の処理対象であるか
否かを判断し、正規の処理対象の場合には所定の製造プ
ロセスを実行し、正規の処理対象でない場合には、処理
することなく搬出する。これにより、誤作動することな
く製造工程を順次実行することができ、また、生産管理
システム4で急遽工程順を変更しても、リアルタイムで
その変更に対応することができる。
【0028】ところで、上記した自動生産処理される場
合には、処理待ちのフープ2は、図示省略ストッカーと
称される保管棚に一時的に保管され、自動搬送装置はそ
のストッカーに保管された所望のフープ2を取り出し
て、目的の装置1に搬送したり、装置1から搬出された
フープ2を所定のストッカーに収納したりする。
【0029】一方、特急処理対象のフープ2の処理は、
棚(上記ストッカーとは別)6に一時保管されたフープ
2や、装置1から搬出されたフープ2を次の製造プロセ
スを実行するための装置1まで人手により搬送し、その
装置1の投入口に置き、装置1を稼働させる。
【0030】このとき、フープ2に付けたIDタグ5に
は、フープ2を特定するための情報(ロット番号等)が
格納されているので、作業者は、保有するIDタグ用の
リーダーを用いて、ロット番号等を確認し、処理対象の
フープ2か否かを確認することができる。但し、IDタ
グ5にはフープIDなどのそのフープ2を特定する情報
は記憶されているものの、どの製造プロセスまで終了
し、次にどの装置に持っていけばよいかなどの工程に関
する情報は格納されていない。
【0031】そこで、係る工程に関する情報は、生産管
理システム4に接続されたデータベース4aに格納さ
れ、その生産管理システム4によって逐次最新のデータ
に更新されているので、本実施の形態では、そのデータ
ベース4aをアクセスし、現在処理対象となっているフ
ープに関する情報を取得するとともに、その情報に基づ
き、作業者に対して特急処理をするのに必要な情報を配
信(通知),管理する携帯端末サーバ10を設けた。
【0032】この携帯端末サーバ10とデータベース4
a(生産管理システム4)は、イーサネット(登録商
標)等のネットワーク7を介して接続されている。この
ネットワーク7と、装置1が接続されるネットワーク3
とは、図では別の構成として示したが、同一ネットワー
クとしても良いし、別のネットワークとして設置しても
良い。
【0033】さらに、携帯端末サーバ10と各作業者と
の間の情報交換は、各作業者に携帯させた携帯端末を介
して行うようにしている。本実施の形態では、携帯端末
としては、PDA20を用いている。従って、このPD
A20と携帯端末サーバ10との間の通信環境は、携帯
端末サーバ10とネットワーク7を介して接続された無
線LANアクセスポイント8を介して通信するようにし
ている。
【0034】さらに、本実施の形態では、装置1や棚6
にもIDタグ5を設け、携帯端末サーバ10は、各フー
プ2が、現在どの装置1,棚6に存在しているかを管理
できるようにした。そして、携帯端末サーバ10とPD
A20の間では、携帯端末サーバ10からPDA20に
向けて電子メールにより特急処理対象のフープ2が存在
することを通知し、さらに特急処理対象のフープについ
ての工程順に関する情報をWeb画面で提供するように
している。
【0035】従って、電子メールを受信した作業者は、
PDA20から携帯端末サーバ10にアクセスし、上記
Web画面を見ることにより、工程に関する詳細な情報
(フープが存在する棚や、次に搬送する装置を特定する
情報等)を知ることができる。従って、携帯端末サーバ
10は、上記電子メールを発信するためのメールサーバ
機能と、工程順を表示したり、各作業者からの入力に伴
い工程順の内容の更新処理をするWebサーバ機能と、
生産管理システム4のデータベース4aをアクセスし、
生産管理システム4が管理・決定する現在処理すべき特
急処理すべきフープの存在の有無等の情報を取得するデ
ータベース監視機能を備えている。各機能の詳細な手順
・アルゴリズム等は後述する。
【0036】一方、PDA20には、無線LANアクセ
スポイント8と通信する無線通信機能,メール受信機能
並びにWebを参照するブラウザを備えている。さら
に、IDタグ5を読み取るIDリーダ21を備えてい
る。このIDリーダ21を用いて、図2に示すように、
装置1,フープ2並びに棚6に設けたIDタグ5の記憶
内容を読み取り、処理対象の装置1,フープ2であるか
否かや、フープ2が保管されるべき棚6であるか否かな
どを確認することができる。また、読み取ったIDタグ
5の内容、つまり、装置1,フープ2,棚6を特定する
情報を携帯端末サーバ10に送ることにより、携帯端末
サーバ10側では、フープ2の存在位置を正確に管理す
ることができる。
【0037】さらに、装置1にIDタグを取り付けたこ
とにより、以下のような効果を奏することができる。す
なわち、上記したように、処理対象のフープ2は、作業
者が目的の装置1へ持っていくとともに、装置1にセッ
ト(投入)する。そして、仮に間違った装置にセットし
た場合には、上記したように装置1側でのIDタグの読
み取りに伴う認証処理により、そのまま排出されてくる
が、一旦装置1に対する投入/搬出並びに認証処理にか
かる時間だけ待機することになり、無駄な時間が費やさ
れるので、迅速な処理を実施するために悪影響を与え
る。
【0038】そこで、装置1にIDタグ5を取り付ける
ことにより、作業者は、装置1に到達したならば、その
装置1のIDタグ5を読み取って、正しいものであるこ
とを確認後、実際にフープ2を装置1の投入口にセット
し、稼働させる。これにより、間違った装置1に投入す
ることを未然に防止できる。また、全ての装置1にID
タグ5を付けることにより、ネットワーク3に接続され
ていない装置1についても、携帯端末サーバ10がその
稼働状態を管理できるようになる。つまり、作業者が、
装置1のIDタグ5を読み取るとともに、その装置1の
状態の情報(その装置1に投入/搬出)を携帯端末サー
バ10に伝えることにより、携帯端末サーバ10側で管
理可能となる。なお、係る情報は、生産管理システム4
に送るようにしてももちろん良い。
【0039】また、従来、特急処理対象のフープ2を置
く棚6については、ただの棚でありネットワーク3に接
続されていないことから、従来、生産管理システム4で
は、「フープ2は、工場内のどこかの棚にある」という
程度しか管理できなかった。しかし、本実施の形態で
は、棚6にもIDタグ5を取り付け、作業者がフープ2
を棚6に置くときに、そのIDタグ5を読み取るととも
に、生産管理システム4に伝える。これにより、生産管
理システム4は、各フープ2がそれぞれどの棚6に保管
されていかが管理できる。その結果、作業者に対して処
理対象のフープ2が保管されている棚6を特定する情報
を通知することにより、作業者はスムーズに目的のフー
プ2が保管された棚6に直行することができる。もちろ
ん、作業者は、到着後に棚6に取り付けられたIDタグ
5を読み取ることにより、目的のフープ2が保管されて
いる棚か否かを判断でき、間違った棚を探してしまうこ
とを防止できる。
【0040】次に、携帯端末サーバ10の内部構造を説
明する。図3に示すように、生産管理システム4のデー
タベース4aを監視し、フープ排出フラグのON/OF
Fを監視するデータベース検索部11を備えている。す
なわち、データベース4aには、各フープ2に関する情
報として認識番号(IDタグ5に格納されたロット番号
などのフープID)や、工程順,特急処理対象か否かの
フラグ並びに現在の状態などが格納されている。さら
に、装置1から排出されたことを示すフラグ(排出フラ
グ)も有する。この排出フラグがONになるということ
は、ある装置1における製造プロセスが終了したり、棚
6に保管され、次の装置1への投入待ちの状態、つま
り、作業者が搬送すべき状態のフープといえる。
【0041】このデータベース検索部11は、上記した
ように、フープ排出フラグがONになるのを検出する
と、そのONになったフープについての情報(フープI
D,最終投入装置(今排出されてきた装置)の装置I
D)を取得し、装置IDをメモリ12に格納するととも
に、フープIDをメールサーバ13のメール送信部13
aに渡す。
【0042】メモリ12は、図4(a)に示すように、
排出フラグがONになったフープ2についての排出フー
プテーブルが格納されている。この排出フープテーブル
は、対象となるフープIDと、そのフープを搬送する予
定者を特定する搬送予定者IDと、搬送予定時刻と、実
際に搬送した者を特定する搬送者IDと、実際に搬送を
開始した時刻である搬送開示時刻と、装置に投入した時
刻である搬送完了時刻並びに最後にフープを投入した最
終投入装置ID(データベース検索部11から与えられ
る)を関連付けたテーブルとし、フープID,装置ID
を受け取った際に不明なデータは、空欄にしておく。な
お、最終投入装置IDは、該当するフープを一番最後に
投入した装置のIDが登録されるが、棚6に保管されて
いる場合には、その棚6のIDが登録される。
【0043】また、メモリ12には、装置IDと実際の
装置名称を関連付けた装置名称テーブル(図4(b)参
照)並びに作業者IDと作業者名と、有効/無効フラグ
と、搬送予定者フラグを関連付けた作業者名称テーブル
(図4(c)参照)を備えている。ここで、有効/無効
フラグは、現在作業可能か否かを特定するフラグ、つま
り、工場内で勤務中か否かを特定するフラグである。休
憩中や、休みの人は「×:無効フラグ」となる。また、
搬送予定者フラグは、後述するように、搬送しようとし
た作業者は、携帯端末サーバに自己の作業者IDを登録
するので、係る登録があった作業者IDの搬送予定者フ
ラグはONになる。つまり、この搬送予定者フラグがO
Nとなっている作業者は、現在フープ2の搬送作業中
で、別のフープ2の搬送を行えない状態にある人とな
る。なお、後述するように、搬送処理を完了した場合に
は、搬送が完了したこと並びに搬送者を携帯端末サーバ
に登録するので、それに伴い搬送予定者フラグをOFF
にする。従って、有効フラグを持ち、搬送予定者フラグ
がOFFの作業者が、現在フープ2を搬送可能な作業者
となる。
【0044】そして、メール送信部13aは、フープ排
出フラグがONになった場合に、所定の作業者に対して
搬送対象のフープが存在する旨の電子メールを発信する
(詳細は後述する)。また、メールサーバ13には、上
記した作業者向けの電子メールに対する作業者からの返
信メールを受信するメール受信部13bも備えている。
【0045】さらに携帯端末サーバ10は、メモリ12
に格納されたデータ並びに、生産管理システム4(デー
タベース4a)に格納された工程順などの情報を受け取
り、携帯端末(PDA20)からのアクセスに伴い、W
eb画面を提供するWebサーバ(制御部14)を備え
ている。なお、図3ではメモリ12と、メールサーバ1
3並びにWebサーバ14との間で、各種のデータの送
受が行われることを示しており、図5以降では係る送受
するデータの一部の標記を省略しているが、これは各図
での処理で係るデータを送受しないという意味ではな
く、もちろん、図4に示したデータのうち、必要なもの
が適宜送受される。
【0046】上記した構成の携帯端末サーバ10側で
は、以下に示す各種の処理を行う。図5から図8に示す
ように、フープ排出通知処理を実行する機能を有する。
この処理は、データベース4a側でフープ排出フラグが
ONになり、特急処理(QTAT)による搬送対象のフ
ープが存在した場合に、各作業者に電子メールで通知す
る処理である。
【0047】具体的には、携帯端末サーバ10は、図6
に示すように、生産管理システム4のデータベース4a
の排出フラグを読み見込み(ST1)、排出フラグがO
Nになったか否かを判断する(ST2)。係る判断は、
データベース検索部11が行う。そして、排出フラグが
ON(ステップ2でYes)になったならば、メール送
信部13aに通知し、そのメール送信部13aでは、搬
送予定登録者以外にメール(排出通知メール)を送信す
る(ST3)。つまり、データベース検索部11から受
け取ったフープIDと、メモリ12から読み出した装置
名称(装置IDをキーに対応する装置名称を取得)と、
作業者情報(作業者ID,有効/無効フラグ,搬送予定
者フラグ)を受け取ったならば、有効フラグを持ち、搬
送予定者フラグがONの作業者ID(搬送可能な作業
者)が持つ携帯端末(PDA20)に向けて送信する。
【0048】すると、図5に示すように、メール送信部
13aから、携帯端末(PDA20)に対して排出通知
を電子メールで送信するので、携帯端末20のメール機
能22でその排出通知メールの受信をするとともに、メ
ールを受信したことを所定の方法で報知する。
【0049】すると、排出通知メールを受信した作業者
は、図7に示すフローチャートのような処理を行う。つ
まり、排出通知メールを受信することにより、あるフー
プが排出されたことを知る(ST21)ので、PDAの
ブラウザを起動し、携帯端末サーバ10のWebサーバ
14にアクセスし、現在のQTAT状態画面23を呼び
出す。なお、この排出通知は、単にフープが排出された
こと(どのフープかは分からない)を通知するようにし
ても良いし、具体的なフープIDや、さらに搬送先の装
置等を特定する情報を併せてメールで通知するようにし
ても良い。
【0050】このQTAT状態画面は、図8に示すよう
に、QTAT対象となっているフープ(FOUP)ID
と、最終投入装置名称と、そのフープの状態(搬送
中/未搬送)並びに搬送予定者名称が表示される。
【0051】このQTAT状態画面に表示されるから
の情報は、メモリ12に格納されたテーブルから抽出
して表示することになる。なお、搬送中フラグは、搬
送中の場合には「*」を表示(搬送開始時刻に時刻書き
込み済みのもの)し、未搬送の場合にはブランク(NU
LL)を表示(搬送開始時刻に時刻未書き込みのものを
表示)するようになる。なお、後述するように、行先表
示画面で「搬送開始ボタン」が押下された場合に「搬送
中」の状態になる。
【0052】従って、このQTAT状態画面を見た作業
者は、画面から対処が必要か否かを判断する(ST2
2)。つまり、例えばQTAT状態画面を見たところ、
既に搬送中(他の作業者が搬送の登録済み)になった場
合には、不要となる。
【0053】そして、対処が必要な場合には、フープを
取りに行き、搬送することができるか否かを判断する
(ST23)。対処可能な場合には、メール機能22を
操作し、受信した排出通知メールに対する返信メールを
携帯端末サーバ10に向けて送信する。このとき、少な
くとも自己を特定する作業者IDを送信する。なお、処
理対象のフープ2は、最終投入装置のところに存在する
ため、作業者の現在位置に対する最終投入装置の相対位
置等も判断対象の1つとなる。なおまた、装置から排出
され、棚6に一旦保管されるような場合には、最終投入
装置の表示領域に係る棚を特定する情報が表示される。
【0054】その確認メールを返信した作業者は、自己
が処理すべきフープ2が置かれている最終投入装置(或
いは棚6)へ急行することになる(ST24)。このス
テップ21から24までの処理が、フープ排出通知処理
に対応する携帯端末(PDA20)側の処理である。
【0055】ところで、携帯端末サーバ10では、一定
時間以内にメール受信部13bで返信の確認メールを受
信したか否かを判断し(ST4)、受信しない場合には
全員に排出通知メールを送信する(ST5)。すなわ
ち、ステップ3では、搬送予定登録者以外(搬送予定者
フラグOFFの人)に送信したが、このステップでは、
搬送予定者フラグのON/OFFに関係なく、有効フラ
グをもつ作業者全員に対して送信する。これにより、例
えば現在別のフープの搬送中の人であっても、搬送終了
しそうだとか、最終投入装置の近くにいて、到達しやす
い人などが、確認メールを送信し、搬送の予約をするな
どの対応がとれる。
【0056】なお、メール受信部13bは、図9に示す
ように、作業者IDとともに返信確認メールを受信した
ならば(ST6,ST7)、受信した作業者IDを、メ
モリ12の排出フープテーブルの対応するフープIDの
搬送予定者IDの欄に登録する(ST8)。この登録を
受けて、QTAT状態画面の搬送予定者名称が更新さ
れる。また、返信メールとして、搬送予定時刻を送るよ
うな場合には、排出フープテーブルの該当する搬送予定
時刻に登録する。
【0057】上記した処理手順により、搬送対象のフー
プが発生した場合の作業者への通知並びにそのフープを
搬送する作業者の予約登録処理が完了する。次は、実際
に、搬送対象のフープまで作業者が移動し、フープの搬
送開始に伴い生じる処理(搬送開始処理)について説明
する。
【0058】図7に示すように、フープに急行した作業
者は、目的の搬送予定のフープ2に取り付けられたID
タグ5を読み取り、そのフープ2のフープIDを取得す
る(ST25)。そして、読み取ったフープIDをキー
に、携帯端末サーバ10のWebサーバ14にアクセス
し、そのフープIDについての行先表示画面(図12,
図13参照)を呼び出す。
【0059】この読み出しを行う際の具体的な処理手順
は、まず、上記したようにフープ2のIDタグを読み込
むが、これは、図12に示すような行き先表示画面(初
期画面は、全てのデータが空欄)において、IDリーダ
ーの先端(読み取りヘッド)をIDタグに接近させた状
態で、図12中、画面の左下側に表示された「読込ボタ
ン」を押下することにより、そのIDタグの情報を読み
取る。この読み取ったIDタグの情報が、キャリアID
の欄に表示される。従って、読み込んだ状態では、図1
2中キャリアIDの欄にそのIDが表示され、その他は
空欄となっている。
【0060】次いで、そのキャリアIDをフープIDと
してWebサーバ14に向けて送る。すると、携帯端末
サーバ10側では、図11に示すフローチャートの通
り、受け取ったキャリアID(フープID)に基づき、
生産管理システム4のデータベース4aを検索し、該当
するデータを取得するので、それを行先表示画面の所定
位置に組み込んだ画面を生成し、出力する。
【0061】つまり、読み込んだキャリアIDを元に、
生産管理システム4のデータベース4aからフープID
を検索し、検索結果を表示する。具体的な表示内容とし
ては、最終投入装置名を検索し、検索結果,投入予定装
置名称(搬送先),ロットID,製品ID,レシピID
等がある(図10等参照)。これらは、全て生産管理シ
ステム4のデータベース4aに格納されており、時間経
過に伴い時々刻々と変化する。もちろん、予め携帯端末
サーバ10のメモリ12に格納しておき、Webサーバ
14は、そのメモリ12から上記情報を取得するように
しても良い。
【0062】そこで、PDA20の表示画面に出力表示
された行先表示画面24(具体的な表示内容は、図1
2,図13参照)を見て、自分が担当すべき対処予定の
フープ(ステップ24で確認メールを返信したフープ)
か否かを判断する(ST26)。違う場合には、他のフ
ープに対して上記と同様の処理をする。
【0063】一方、処理対象のフープの場合には、作業
者は、2頁目の画面(図13参照)の右下欄に設定され
た「開始ボタン」を押下し、実際にフープを持って投入
予定の装置まで搬送する(ST27)。この「開始ボタ
ン」の押下に伴い、携帯端末サーバ10に対し、書き込
み要求がなされる。つまり、作業者IDとともに、搬送
開始したことが通知される。ここまでの処理が、搬送開
始処理に対応する作業者(携帯端末)側の処理である。
【0064】なお、この開始ボタンの押下は、搬入予定
者として登録(返信メール)したか否かに関係なく、実
行できる。つまり、そのフープを実際に搬送した際に、
その搬送した作業者の作業者IDを搬送者IDとして送
信する。これは、工場全体としては、誰が搬送したかは
余り重要ではなく、特急処理対象のフープをいかに迅速
に搬送するかが重要な要素となっている。従って、当初
搬送しようとした作業者が何かしらの理由によって処理
対象のフープに到達することができない(搬送もできな
い)場合に、別の作業者が搬送可能で有れば、そのまま
搬送した方が好ましい。よって、開始ボタンの押下は、
自由にできるようにしている。
【0065】そして、この開始ボタンが押下されると、
上記したように携帯端末から携帯端末サーバ10に向け
て、書き込み要求(作業者ID,搬送開始通知等)が送
られるので、Webサーバ14は、受信した書き込み要
求に従ってメモリ12の排出フープテーブルの更新処理
をする(ST10)。
【0066】つまり、対応するフープIDにおける搬送
開始時刻を書き込む。ここで搬送開始時刻は、携帯端末
側から登録する開始時刻を送るようにしても良いし、係
る書き込み要求を受信した時刻を携帯端末サーバ10側
で認識し、それを記録するようにしても良い。また、こ
のとき搬送者IDを登録しても良い。
【0067】さらに、Webサーバ14では、受信した
書き込み要求の作業者IDから実際の搬送者を認識し、
それがメモリ12に格納された搬送予定者と一致するか
否かを判断し、一致しない場合には、搬送予定者に対し
既に別の作業者によって搬送された旨を電子メールで送
信する(ST11)。
【0068】つまり、上記したように開始ボタンの押下
は実際に搬送した作業者の作業者IDが送られて来ると
ともに、その作業者ID(搬送者ID)が搬送予定者I
Dと一致するとは限らない。そこで、一致しない場合に
は、搬送予定者に対してメールを発信して、既に処理対
象であったフープが搬送されたことを教えることによっ
て、搬送後に本来の搬送予定者がフープがあった場所ま
で来てしまう無駄を解消し、迅速に次の搬送処理に対す
る対処ができるようにしている。
【0069】さらに、搬送者IDの受信,搬送開始時刻
の書き込みに伴い、QTAT状態画面の搬送中フラグ
を、対処待ち(未搬送)から搬送開始(搬送中)に変更
する(ST12)。
【0070】また、図7のステップ28,29に示すよ
うに、投入予定の装置にフープを投入し、搬送処理が終
了すると、図14に示す搬送完了入力画面を立ち上げ
(この画面も、携帯端末サーバ10のWebサーバ14
から供給される)、以下の手順に従って処理をし、搬送
完了の登録をする。すなわち、まず搬送したフープ2の
フープIDを読み込む。具体的には、IDリーダー21
のヘッドをフープ2に設けたIDタグ5に近づけた状態
で、図14に示す搬送完了入力画面の左下に設けた「読
み込み」ボタンを押下することにより、フープIDを読
み込む。そして、投入する装置1に取り付けたIDタグ
に対しても同様の処理を行うことにより、その装置1に
ついての装置IDを読み込む。この読み込んだ装置ID
を元に、生産管理システム4のデータベース4a(携帯
端末サーバ10のメモリ12に保有している場合には、
当該メモリ12)から装置名称を検索し、検索結果(装
置名称)を表示する。
【0071】そして、フープID並びに取得した装置名
称を搬送完了入力画面の所定位置に出力表示する。この
状態で、画面右下に設けた「登録ボタン」を押下するこ
とにより、フープ2の搬送完了とし、書き込み要求(作
業者ID,フープID等)をWebサーバ14に渡す。
【0072】Webサーバ14側では、係る書き込み要
求の受信に伴い、図11に示す搬送管理用処理をする
(ST13)。つまり、排出フープテーブルに対し、搬
送を行った作業者IDを搬送者IDとして登録するとと
もに、対応するフープIDにおける搬送完了時刻を書き
込む。ここで搬送完了時刻は、携帯端末側から登録する
完了時刻を送るようにしても良いし、係る書き込み要求
を受信した時刻を携帯端末サーバ10側で認識し、それ
を記録するようにしても良い。そして、この搬送完了登
録を行うことにより、「QTAT状態画面」の対処中フ
ラグを“未対処”に戻す。
【0073】なお、搬送完了入力画面において「登録ボ
タン」を押下した時に、フープ2が搬送すべき装置でな
い装置に搬送された場合、エラーメッセージが表示され
るようになっている。これにより、誤投入が防止され
る。従って、実際には登録ボタンを押下し、正常に搬送
完了処理が行われた後で、装置1を稼働し、フープ2を
装置1内に供給するようにする。
【0074】本実施の形態によれは、装置から排出され
た時点(或いは棚に置かれた時点)でメールにより通知
される(受信履歴が残っている)ので、処理対象のフー
プが存在することを忘れてしまったりすることを防止で
きる。また、QTAT状態画面23を見ることにより、
特急処理対象のフープの一覧表および現在の工程が分か
るので、作業者自身で作業ボリュームが分かり効率の良
い手順を考えることができる。さらに、搬送者ID,搬
送開始時刻,搬送完了時刻などの情報を保存することに
より、作業者の作業実績を管理することができ、蓄積さ
れたデータを分析&改善することにより、適正な人員配
置を図ることができる。
【0075】上記した実施の形態では、携帯端末として
PDA20を用いた例を示したが、本実施の形態はそれ
に限ることはなくPHSその他の各種の携帯端末に適用
できる。そして、PHSの場合には、例えば図15に示
すようなシステム構成となる。すなわち、電子メールの
送受信をするためには、携帯端末サーバ10は、PBX
40を介して構内基地局41からPHS20′と通信を
行う。また、各種のWeb画面を見るためにルータ42
を設ける。
【0076】さらにまた、上記した実施の形態では、一
旦電子メールを送り、携帯端末のブラウザを立ち上げて
携帯端末サーバ10にアクセスしてQTAT状態画面や
行先表示画面などの各種のWeb画面を見て、情報の入
手を行うようにしたが、本発明はこれに限ることはな
く、メールの送受信もWeb画面で行えるようにしても
良い。
【0077】つまり、携帯端末サーバ10内のWebサ
ーバが、図17に示すような表示画面を用意し、アクセ
スしてきた携帯端末に提供する。この画面50は、情報
に表示部51を有し、下端にツールバー52を設けてい
る。図示の例では、ツールバー52には5種類の画面選
択ボタン52aと、1つのメールボタン52bとを有し
ている。このメールボタン52bは、携帯端末サーバ1
0にアクセス中に自己宛の未読メールがある場合には、
色を変える(例えば赤色に点灯)とともに、通知音を出
力する。これにより、作業者は、メールが来たことを知
る。
【0078】この状態で、メールボタン52bを押下す
ると、図17に示すようなメール一覧画面に切り替わ
る。このメール一覧画面には、そのユーザ宛に必要なメ
ールのみが表示され、対処済みなどの過去の不要なメー
ルは自動的に削除される。なお、Subjictには、
フープIDが表示され、Bodyにはメール本文の最初
の所定数の文字が表示され、Timeにはメールの受信
日時が表示される。そして、携帯端末のカーソルキーな
どを操作し、所定のメールのBodyを押下すると、図
18に示すようなメールの本文が表示される。さらに、
下線の付いた文字列をクリックすることにより、該当す
る画面にジャンプするようになる。つまり、図示のよう
に排出通知メールの場合、「QTAT状態画面へJUM
Pする」をクリックすると、図8に示したような画面
が、表示部51上に表示される。また、「搬送通知メー
ルを送信する」をクリックすると、確認メールを返信す
ることができるようになる。
【0079】ツールバーの画面選択ボタン52aは、Q
TAT状態画面や行先表示画面並びに搬送完了入力画面
などの各種の画面に対応しており、所定のボタンを押下
することにより当該画面を表示するようになる。
【0080】そして、この実施の形態を実施するための
携帯端末サーバの内部構造としては、図19のようにな
る。つまり、携帯端末との間のデータの送受は、Web
サーバ14′が行い、メールサーバ13′は、メール受
信アプリ13′aを介してWebサーバ14′にメール
情報を提供し、携帯端末のWeb画面にメール情報を表
示可能としている。なお、各サーバの実質的・具体的な
処理は、上記した各実施の形態と同様である。また、図
から明らかなように、携帯端末20側には特殊なソフト
をインストールせず、全て携帯端末サーバ10側で処理
するようになっている。
【0081】
【発明の効果】以上のように、この発明では、搬送待ち
のワークが存在すると、それを電子メールを用いて各携
帯端末に通知するとともに、各携帯端末からのアクセス
に基づき搬送先に関する情報を含む表示画面を提供する
ようにしたため、ワークの搬送先を迅速に各作業者に知
らせることができるとともに、効率よくワークを目的地
に移動することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るシステムの一実施の形態を示す図
である。
【図2】携帯端末が確認認識情報(ID)を読み取る機
構を示す図である。
【図3】携帯端末サーバの内部構造の一例を示す図であ
る。
【図4】メモリの内部構造の一例を示す図である。
【図5】携帯端末サーバと携帯端末とのデータ送受の一
例を説明する図である。
【図6】主に携帯端末サーバにおけるフープ排出通知処
理機能を示すフローチャートである。
【図7】携帯端末の処理の一例を示すフローチャートで
ある。
【図8】QTAT状態画面の一例を示す図である。
【図9】主に携帯端末サーバにおけるフープ搬送確認処
理機能を示すフローチャートである。
【図10】携帯端末サーバと携帯端末とのデータ送受の
一例を説明する図である。
【図11】主に携帯端末サーバにおける搬送開始処理並
びに搬送完了処理機能を示すフローチャートである。
【図12】行先表示画面の一例を示す図(その1)であ
る。
【図13】行先表示画面の一例を示す図(その2)であ
る。
【図14】搬送完了入力画面の一例を示す図である。
【図15】本発明に係るシステムの一実施の形態を示す
図である。
【図16】他の実施の形態における表示画面の一例を示
す図である。
【図17】他の実施の形態における表示画面(メール一
覧)の一例を示す図である。
【図18】他の実施の形態における表示画面(メール本
文表示)の一例を示す図である。
【図19】他の実施の形態におけるシステム全体を示す
図である。
【符号の説明】
1 装置 2 フープ 3 ネットワーク 4 生産管理システム 4a データベース 5 IDタグ 6 棚 7 ネットワーク 8 無線LANアクセスポイント 10 携帯端末サーバ 11 データベース検索部 12 メモリ 13 メールサーバ 13a メール送信部 13b メール受信部 14 Webサーバ(制御部) 20 PDA(携帯端末) 20′ PHS(携帯端末) 21 IDリーダ 22 メール機能 23 QTAT状態画面 24 行先表示画面 40 PBX 41 構内基地局 42 ルータ 50 画面 51 表示部 52 ツールバー 52a 画面選択ボタン 52b メールボタン

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワークの搬送状況を管理し、携帯端末に
    対して前記ワークの搬送先情報を提供する搬送先指示装
    置であって、 搬送待ちのワークの存在の有無を監視する監視手段と、 前記監視手段が前記搬送待ちのワークを検出した場合
    に、前記携帯端末に対して通知メールを発信するととも
    に、前記携帯端末からの確認メールの返信を受信するメ
    ール手段と、 前記携帯端末に対し、指示画面を表示する画面表示手段
    とを備え、 前記画面表示手段は、前記ワークを特定する認識情報,
    そのワークが存在している位置を特定する位置情報,搬
    送中か否かの状態情報を含むワーク状態画面を表示する
    機能と、前記携帯端末から取得した前記認識情報に対応
    する前記ワークの搬送先に関する情報を含む搬送先画面
    を表示する機能を備えたことを特徴とする搬送先指示装
    置。
  2. 【請求項2】 前記監視手段は、工程順を決定する生産
    管理システムのデータベースを監視し、そのデータベー
    スに格納されたワークの搬送中か否かを特定する情報に
    基づいて前記搬送待ちのワークの存在の有無を判断する
    ものであることを特徴とする請求項1に記載の搬送先指
    示装置。
  3. 【請求項3】 前記ワーク状態画面を表示する機能は、
    前記確認メールを受信した場合に、その確認メールの発
    信者をワークの搬送予定者と判定し、前記状態情報を搬
    送中にするとともに、その判定予定者を特定する情報を
    出力するものであることを特徴とする請求項1または2
    に記載の搬送先指示装置。
  4. 【請求項4】 実際のワークの搬送者に関する搬送者情
    報を取得し、前記搬送予定者と一致しない場合には、そ
    の搬送予定者に対して電子メールで通知する機能を備え
    たことを特徴とする請求項3に記載の搬送先指示装置。
  5. 【請求項5】 前記ワークの搬送先である装置に取り付
    けられたその装置識別情報を前記携帯端末を介して受信
    した場合に、そのワークの搬送を完了したと判定し、所
    定の処理をする機能を備えた請求項1から4の何れか1
    項に記載の搬送先指示装置。
  6. 【請求項6】 前記メールの送受信並びに前記指示画面
    の表示は、Web画面で行われるようにしたことを特徴
    とする請求項1から5の何れか1項に記載の搬送先指示
    装置。
  7. 【請求項7】 請求項1から6の何れか1項に記載の搬
    送先指示装置と、その搬送先指示装置と無線による通信
    が可能な複数の携帯端末とを備えたワークの搬送先指示
    システムであって、 前記搬送先指示装置から前記携帯端末に向けて発信する
    通知メールを発信し、 前記携帯端末は、前記搬送先指示装置にアクセスして所
    定の指示画面の提供を受け、 前記ワークの搬送が可能な場合に、前記携帯端末から前
    記搬送先指示装置に向けて確認メールを返信するように
    した搬送先指示システム。
  8. 【請求項8】 前記携帯端末は、少なくともワークに設
    置された認識情報を読み取る読み取り装置を備え、 前記携帯端末の保有者が搬送対象の前記ワークを搬送す
    るに際し、前記読み取り装置を用いて取得した前記ワー
    クの認識情報を前記搬送先指示装置に送り、 前記搬送先指示装置は、取得した認識情報に基づきその
    ワークに関する搬送先画面を前記携帯端末に向けて提供
    するようにしたことを特徴とする請求項7に記載の搬送
    先指示システム。
  9. 【請求項9】 前記携帯端末は、前記読み取り装置を介
    して取得した前記ワークの搬送先の装置に取り付けられ
    た装置識別情報を前記搬送先指示装置に送り、 前記搬送先指示装置は、装置識別情報を受信した場合
    に、そのワークの搬送を完了したと判定し、所定の処理
    をする機能を備えた請求項8に記載の搬送先指示システ
    ム。
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