JP2003192368A - ガラス管内面の表面処理方法 - Google Patents
ガラス管内面の表面処理方法Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
- C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
- C03B37/01228—Removal of preform material
- C03B37/01237—Removal of preform material to modify the diameter by heat-polishing, e.g. fire-polishing
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 エッチング屑の付着を防止して、平滑なガラ
ス管内面を得ることのできるガラス管内面の表面処理方
法を提供する。 【解決手段】 ガラス管３１の内部にエッチングガス３
２を流しながら、熱源３３をガラス管３１に沿って相対
的に上流側から下流側へ往復移動させて加熱し、ガラス
管３１の内面をエッチングする際に、所定回数往復移動
してエッチング処理が終了した後は、下流側で熱源３３
をＯＦＦにする。また、下流側で熱源３３をＯＦＦにす
る際に、同時にエッチングガス３２の供給を停止する。
ス管内面を得ることのできるガラス管内面の表面処理方
法を提供する。 【解決手段】 ガラス管３１の内部にエッチングガス３
２を流しながら、熱源３３をガラス管３１に沿って相対
的に上流側から下流側へ往復移動させて加熱し、ガラス
管３１の内面をエッチングする際に、所定回数往復移動
してエッチング処理が終了した後は、下流側で熱源３３
をＯＦＦにする。また、下流側で熱源３３をＯＦＦにす
る際に、同時にエッチングガス３２の供給を停止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、光ファイバに用
いられるガラス管の内面を平滑に処理するためのガラス
管内面の表面処理方法に関するものである。
いられるガラス管の内面を平滑に処理するためのガラス
管内面の表面処理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、光通信技術の進歩に伴い、光ファ
イバの利用が急速に高まっている。この光通信技術を支
えるためには高品質の光ファイバが要求されており、光
ファイバの作製に用いられるプリフォームとしてのガラ
ス管の内面の平滑性が重要な要素となっている。このた
め、ガラス管３１の内面を平滑にするための表面処理方
法としては、図３（ａ）および（ｂ）に示すように、ガ
ラス管３１の内部にＳＦ6等のエッチングガス３２を流
しつつ、ガラス管３１の外側を、熱源として例えば誘導
加熱炉のような炉体３３により加熱しながら炉体３３を
上流側から下流側（図3（ａ）から図3（ｂ））へ移動さ
せて、ガラス管３１の内面を平滑にするエッチングが施
されている。
イバの利用が急速に高まっている。この光通信技術を支
えるためには高品質の光ファイバが要求されており、光
ファイバの作製に用いられるプリフォームとしてのガラ
ス管の内面の平滑性が重要な要素となっている。このた
め、ガラス管３１の内面を平滑にするための表面処理方
法としては、図３（ａ）および（ｂ）に示すように、ガ
ラス管３１の内部にＳＦ6等のエッチングガス３２を流
しつつ、ガラス管３１の外側を、熱源として例えば誘導
加熱炉のような炉体３３により加熱しながら炉体３３を
上流側から下流側（図3（ａ）から図3（ｂ））へ移動さ
せて、ガラス管３１の内面を平滑にするエッチングが施
されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来技術においては、炉体３３を所定回数往復移動さ
せた後、炉体３３をガス流の上流側へ戻してから炉体３
３をＯＦＦにして温度を下げているので、炉体３３が上
流側へ移動完了するまでガラス管３１は依然加熱されて
おり、エッチングが進行してエッチング屑（ＳｉＯ
2粉）がガラス管３１の内面に付着して平滑性を損ねて
いるという問題がある。
た従来技術においては、炉体３３を所定回数往復移動さ
せた後、炉体３３をガス流の上流側へ戻してから炉体３
３をＯＦＦにして温度を下げているので、炉体３３が上
流側へ移動完了するまでガラス管３１は依然加熱されて
おり、エッチングが進行してエッチング屑（ＳｉＯ
2粉）がガラス管３１の内面に付着して平滑性を損ねて
いるという問題がある。
【０００４】本発明は、前記実情に鑑みてなされたもの
であり、エッチング屑の付着を防止し、平滑なガラス管
内面を得ることのできるガラス管内面の表面処理方法を
提供することを目的とする。
であり、エッチング屑の付着を防止し、平滑なガラス管
内面を得ることのできるガラス管内面の表面処理方法を
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のガラス管内面の表面処理方法は、ガラス管
の内部にエッチングガスを流しガス流を形成する共に、
熱源をガラス管に対して相対的に前記ガス流の上流側か
ら下流側へ移動させることによりガラス管を加熱して、
ガラス管の内面を表面処理するガラス管の表面処理方法
において、前記表面処理を行った後、下流側において前
記熱源の移動をＯＦＦにすることを特徴とする。
め、本発明のガラス管内面の表面処理方法は、ガラス管
の内部にエッチングガスを流しガス流を形成する共に、
熱源をガラス管に対して相対的に前記ガス流の上流側か
ら下流側へ移動させることによりガラス管を加熱して、
ガラス管の内面を表面処理するガラス管の表面処理方法
において、前記表面処理を行った後、下流側において前
記熱源の移動をＯＦＦにすることを特徴とする。
【０００６】かかる構成によれば、ガラス管の内部にエ
ッチングガスを流しながら、熱源をガラス管に沿って上
流側から下流側へ移動させて加熱し、ガラス管の内面を
表面処理（エッチング）する際に、エッチング処理が終
了した後は、下流側で熱源の移動をＯＦＦにするように
しているため、発生したエッチング屑は供給ガスととも
に下流側に運ばれ、ガラス管の外部に放出されるためエ
ッチング屑が付着することもない。
ッチングガスを流しながら、熱源をガラス管に沿って上
流側から下流側へ移動させて加熱し、ガラス管の内面を
表面処理（エッチング）する際に、エッチング処理が終
了した後は、下流側で熱源の移動をＯＦＦにするように
しているため、発生したエッチング屑は供給ガスととも
に下流側に運ばれ、ガラス管の外部に放出されるためエ
ッチング屑が付着することもない。
【０００７】望ましくは、前記熱源への通電の電力を下
流側においてＯＦＦまたは減少する際に、同時に前記エ
ッチングガスの供給を停止することを特徴としている。
かかる構成によれば、熱源を所定回数往復移動させた
後、下流側で熱源への通電の電力をＯＦＦまたは減少す
る際に、同時にエッチングガスの供給を停止する。そし
て、望ましくは不活性ガスを流すようにすれば、エッチ
ング屑は不活性ガスとともに効率よく外部に排出され、
より清浄なガラス管内面を得ることができる。
流側においてＯＦＦまたは減少する際に、同時に前記エ
ッチングガスの供給を停止することを特徴としている。
かかる構成によれば、熱源を所定回数往復移動させた
後、下流側で熱源への通電の電力をＯＦＦまたは減少す
る際に、同時にエッチングガスの供給を停止する。そし
て、望ましくは不活性ガスを流すようにすれば、エッチ
ング屑は不活性ガスとともに効率よく外部に排出され、
より清浄なガラス管内面を得ることができる。
【０００８】望ましくは、前記熱源は、誘導コイルと、
加熱媒体とで形成せしめられる誘導加熱炉で構成されて
おり、前記ガラス管内部にエッチングガスを流しつつ、
誘導加熱炉をスキャンすることにより、前記誘導コイル
への通電により形成される帯状の加熱ゾーンを、所定の
速度で移動しつつ、前記ガラス管の長手方向に沿って、
加熱を行う加熱工程とを含むことを特徴とする。特に横
型誘導加熱炉を用いた場合、エッチング屑がより付着し
易いが、かかる構成によれば、効率よくエッチング屑が
外部に放出され、清浄なガラス管内面を得ることが可能
となる。
加熱媒体とで形成せしめられる誘導加熱炉で構成されて
おり、前記ガラス管内部にエッチングガスを流しつつ、
誘導加熱炉をスキャンすることにより、前記誘導コイル
への通電により形成される帯状の加熱ゾーンを、所定の
速度で移動しつつ、前記ガラス管の長手方向に沿って、
加熱を行う加熱工程とを含むことを特徴とする。特に横
型誘導加熱炉を用いた場合、エッチング屑がより付着し
易いが、かかる構成によれば、効率よくエッチング屑が
外部に放出され、清浄なガラス管内面を得ることが可能
となる。
【０００９】また、本発明のガラス管内面の表面処理方
法では、熱源の移動に際して、前記熱源は下流側への移
動時にのみ駆動せしめられ、上流側への移動時には前記
熱源への通電の電力はＯＦＦ又は減少せしめられている
ことを特徴とする。従って、ガラス管の内部にエッチン
グガスを流しながら、熱源をガラス管に沿って上流側か
ら下流側へ往復移動させて加熱し、ガラス管の内面をエ
ッチングする際に、下流側へ移動した熱源はＯＦＦある
いは電力を減少してから上流側へ移動させることにな
る。
法では、熱源の移動に際して、前記熱源は下流側への移
動時にのみ駆動せしめられ、上流側への移動時には前記
熱源への通電の電力はＯＦＦ又は減少せしめられている
ことを特徴とする。従って、ガラス管の内部にエッチン
グガスを流しながら、熱源をガラス管に沿って上流側か
ら下流側へ往復移動させて加熱し、ガラス管の内面をエ
ッチングする際に、下流側へ移動した熱源はＯＦＦある
いは電力を減少してから上流側へ移動させることにな
る。
【００１０】かかる構成によれば、上流側への移動時に
はエッチング屑は発生せず、下流側への移動に際して発
生した残さを排出するのみであり、交互にエッチングと
エッチング屑の排出とをおこなうようにしているため、
清浄なガラス管内面を得ることが可能となる。
はエッチング屑は発生せず、下流側への移動に際して発
生した残さを排出するのみであり、交互にエッチングと
エッチング屑の排出とをおこなうようにしているため、
清浄なガラス管内面を得ることが可能となる。
【００１１】望ましくは、表面処理を行った後、下流側
へ移動しその後、前記熱源への通電を終了することを特
徴とする。
へ移動しその後、前記熱源への通電を終了することを特
徴とする。
【００１２】かかる構成によれば、より完全にエッチン
グ屑を排出することが可能となる。
グ屑を排出することが可能となる。
【００１３】また望ましくは、前記熱源への通電の電力
を下流側においてＯＦＦ又は減少し、同時に、前記エッ
チングガスの供給を停止するようにしたことを特徴とす
る。
を下流側においてＯＦＦ又は減少し、同時に、前記エッ
チングガスの供給を停止するようにしたことを特徴とす
る。
【００１４】かかる構成によればエッチングが停止し、
エッチング屑の発生が停止する。そして、望ましくは不
活性ガスを流すようにすれば、エッチング屑は不活性ガ
スとともに効率よく外部に排出され、より清浄なガラス
管内面を得ることができる。
エッチング屑の発生が停止する。そして、望ましくは不
活性ガスを流すようにすれば、エッチング屑は不活性ガ
スとともに効率よく外部に排出され、より清浄なガラス
管内面を得ることができる。
【００１５】望ましくは、前記熱源は、誘導コイルと、
加熱媒体とで形成せしめられる誘導加熱炉で構成されて
おり、前記ガラス管内部にエッチングガスを流しつつ、
誘導加熱炉をスキャンすることにより、前記誘導コイル
への通電により形成される帯状の加熱ゾーンを、所定の
速度で移動しつつ、前記ガラス管の長手方向に沿って、
加熱を行う加熱工程とを含むことを特徴とする。
加熱媒体とで形成せしめられる誘導加熱炉で構成されて
おり、前記ガラス管内部にエッチングガスを流しつつ、
誘導加熱炉をスキャンすることにより、前記誘導コイル
への通電により形成される帯状の加熱ゾーンを、所定の
速度で移動しつつ、前記ガラス管の長手方向に沿って、
加熱を行う加熱工程とを含むことを特徴とする。
【００１６】特に、横型誘導加熱炉を用いた場合、エッ
チング屑がより付着し易いが、かかる構成によれば、効
率よくエッチング屑が外部に放出され、清浄なガラス管
内面を得ることが可能となる。
チング屑がより付着し易いが、かかる構成によれば、効
率よくエッチング屑が外部に放出され、清浄なガラス管
内面を得ることが可能となる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る実施の形態を
図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に説明する
実施の形態において、既に図３（ａ）、（ｂ）において
説明した部材等については、同一符号あるいは相当符号
を付すことにより説明を簡略化あるいは省略する。
図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に説明する
実施の形態において、既に図３（ａ）、（ｂ）において
説明した部材等については、同一符号あるいは相当符号
を付すことにより説明を簡略化あるいは省略する。
【００１８】本発明に係るガラス管内面の表面処理方法
は、例えばクラッド用ガラス管にコア用ロッドを挿通
し、加熱することにより溶着一体化するコラプス工程の
前処理として、クラッド用ガラス管の内面をエッチング
処理するのに用いられる。
は、例えばクラッド用ガラス管にコア用ロッドを挿通
し、加熱することにより溶着一体化するコラプス工程の
前処理として、クラッド用ガラス管の内面をエッチング
処理するのに用いられる。
【００１９】図１は、本発明に係るガラス管内面の表面
処理方法の第１実施形態を示すフローチャートが示され
ている。このガラス管内面の表面処理方法によると、エ
ッチング処理をスタートしたら（ステップＳＳ１）、例
えばＳＦ6等のエッチングガス３２をガラス管３１の内
部に供給し（ステップＳ１０１）、炉体３３をガラス管
３１に沿って上流側から下流側へ移動させる（ステップ
Ｓ１０２）。
処理方法の第１実施形態を示すフローチャートが示され
ている。このガラス管内面の表面処理方法によると、エ
ッチング処理をスタートしたら（ステップＳＳ１）、例
えばＳＦ6等のエッチングガス３２をガラス管３１の内
部に供給し（ステップＳ１０１）、炉体３３をガラス管
３１に沿って上流側から下流側へ移動させる（ステップ
Ｓ１０２）。
【００２０】そして、炉体３３を所定回数往復移動させ
たか判断し（ステップＳ１０３）、まだ所定回数に達し
ない場合は炉体３３を上流側へ移動させて（ステップＳ
１０４）、往復移動を継続する。
たか判断し（ステップＳ１０３）、まだ所定回数に達し
ない場合は炉体３３を上流側へ移動させて（ステップＳ
１０４）、往復移動を継続する。
【００２１】一方、炉体３３を所定回数往復移動させた
場合は、下流側において炉体３３をＯＦＦにすると共に
エッチングガス３２の供給を停止し（ステップＳ１０
５）、十分に炉体温度が降下したことを確認した後、炉
体３３を上流側へ移動させて（ステップＳ１０６）、エ
ッチング処理を終了する（ステップＳＥ１）。
場合は、下流側において炉体３３をＯＦＦにすると共に
エッチングガス３２の供給を停止し（ステップＳ１０
５）、十分に炉体温度が降下したことを確認した後、炉
体３３を上流側へ移動させて（ステップＳ１０６）、エ
ッチング処理を終了する（ステップＳＥ１）。
【００２２】以上説明したガラス管内面の表面処理方法
によれば、炉体３３をガラス管３１に沿って所定回数往
復移動させてエッチング処理が終了した後は、下流側で
炉体３３をＯＦＦにして、ガラス管３１の温度を反応温
度以下に低下させるので、その後のエッチングの進行を
止めてエッチング屑がガラス管の内面に付着するのを防
止することができ、ガラス管の内面の平滑性を高めるこ
とができる。
によれば、炉体３３をガラス管３１に沿って所定回数往
復移動させてエッチング処理が終了した後は、下流側で
炉体３３をＯＦＦにして、ガラス管３１の温度を反応温
度以下に低下させるので、その後のエッチングの進行を
止めてエッチング屑がガラス管の内面に付着するのを防
止することができ、ガラス管の内面の平滑性を高めるこ
とができる。
【００２３】また、下流側で炉体３３をＯＦＦにすると
同時にエッチングガス３２の供給を停止するようにして
いるため、エッチング屑がガラス管の内面に付着するの
を防止し、より効果的にガラス管３１の内面の平滑性を
高めることができる。
同時にエッチングガス３２の供給を停止するようにして
いるため、エッチング屑がガラス管の内面に付着するの
を防止し、より効果的にガラス管３１の内面の平滑性を
高めることができる。
【００２４】次に、図２には、本発明に係るガラス管内
面の表面処理方法の第２実施形態を示すフローチャート
が示されている。このガラス管内面の表面処理方法によ
ると、エッチング処理をスタートしたら（ステップＳＳ
２）、例えばＳＦ6等のエッチングガス３２をガラス管
３１の内部に供給し（ステップＳ２０１）、炉体３３を
ガラス管３１に沿って上流側から下流側へ移動させる
（ステップＳ２０２）。
面の表面処理方法の第２実施形態を示すフローチャート
が示されている。このガラス管内面の表面処理方法によ
ると、エッチング処理をスタートしたら（ステップＳＳ
２）、例えばＳＦ6等のエッチングガス３２をガラス管
３１の内部に供給し（ステップＳ２０１）、炉体３３を
ガラス管３１に沿って上流側から下流側へ移動させる
（ステップＳ２０２）。
【００２５】炉体３３が下流側に達したら炉体３３をＯ
ＦＦにして（ステップＳ２０３）、炉体３３を所定回数
往復移動させたか判断し（ステップＳ２０４）、まだ所
定回数に達しない場合は熱源を上流側へ移動させて（ス
テップＳ２０５）、往復移動を継続する。一方、ステッ
プＳ２０４において炉体３３を所定回数往復移動させた
と判断された場合は、エッチングガス３２の供給を停止
し（ステップＳ２０６）、炉体３３を上流側へ移動させ
て（ステップＳ２０７）、エッチング処理を終了する
（ステップＳＥ２）。
ＦＦにして（ステップＳ２０３）、炉体３３を所定回数
往復移動させたか判断し（ステップＳ２０４）、まだ所
定回数に達しない場合は熱源を上流側へ移動させて（ス
テップＳ２０５）、往復移動を継続する。一方、ステッ
プＳ２０４において炉体３３を所定回数往復移動させた
と判断された場合は、エッチングガス３２の供給を停止
し（ステップＳ２０６）、炉体３３を上流側へ移動させ
て（ステップＳ２０７）、エッチング処理を終了する
（ステップＳＥ２）。
【００２６】以上説明したガラス管内面の表面処理方法
によれば、ガラス管３１の内部にエッチングガス３２を
流しながら、炉体３３をガラス管３１に沿って上流側か
ら下流側へ往復移動させて加熱し、ガラス管３１の内面
をエッチングする際に、下流側へ移動した炉体３３をＯ
ＦＦにしてから上流側へ移動させるので、ガラス管３１
の内部にエッチング屑が侵入するのを防止して、ガラス
管３１の内面の平滑性を高めることができる。
によれば、ガラス管３１の内部にエッチングガス３２を
流しながら、炉体３３をガラス管３１に沿って上流側か
ら下流側へ往復移動させて加熱し、ガラス管３１の内面
をエッチングする際に、下流側へ移動した炉体３３をＯ
ＦＦにしてから上流側へ移動させるので、ガラス管３１
の内部にエッチング屑が侵入するのを防止して、ガラス
管３１の内面の平滑性を高めることができる。
【００２７】なお、本発明のガラス管内面の表面処理方
法は、前述した各実施形態に限定されるものでなく、適
宜変形、改良可能である。
法は、前述した各実施形態に限定されるものでなく、適
宜変形、改良可能である。
【００２８】例えば、エッチングガスの供給を止め、不
活性ガスを流しながら、炉体を上流側に導いた後、所定
回数往復移動を行い、最後に下流側で炉体の移動を停止
するようにしてもよい。
活性ガスを流しながら、炉体を上流側に導いた後、所定
回数往復移動を行い、最後に下流側で炉体の移動を停止
するようにしてもよい。
【００２９】また、前述した各実施形態では、ガラス管
３１を固定して炉体３３を上流側から下流側へ移動させ
たが、反対に炉体３３を固定してガラス管３１を下流側
から上流側へ移動させることも可能である。
３１を固定して炉体３３を上流側から下流側へ移動させ
たが、反対に炉体３３を固定してガラス管３１を下流側
から上流側へ移動させることも可能である。
【００３０】また、前述した各実施形態では、コラプス
の前処理として行われるエッチングについて説明した
が、この他、肉付け用パイプ内に原料ガスを噴射し、加
熱しながらパイプ内壁にガラス微粒子を成長させる、い
わゆるＭＣＶＤ（Modified Chemical Vaporphase De
position）法におけるパイプ内壁の清浄化などにも適用
することができる。
の前処理として行われるエッチングについて説明した
が、この他、肉付け用パイプ内に原料ガスを噴射し、加
熱しながらパイプ内壁にガラス微粒子を成長させる、い
わゆるＭＣＶＤ（Modified Chemical Vaporphase De
position）法におけるパイプ内壁の清浄化などにも適用
することができる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明のガラ
ス管内面の表面処理方法によれば、熱源をガラス管に沿
って所定回数往復移動させてエッチング処理が終了した
後は、下流側で熱源の電力をＯＦＦ又は減少するので、
それ以後ガラス管は反応温度以下に低下してエッチング
は進行しない。このため、エッチング屑がガラス管の内
面に付着するのを防止することができ、ガラス管の内面
の平滑性を高めることができる。
ス管内面の表面処理方法によれば、熱源をガラス管に沿
って所定回数往復移動させてエッチング処理が終了した
後は、下流側で熱源の電力をＯＦＦ又は減少するので、
それ以後ガラス管は反応温度以下に低下してエッチング
は進行しない。このため、エッチング屑がガラス管の内
面に付着するのを防止することができ、ガラス管の内面
の平滑性を高めることができる。
【００３２】また、ガラス管内面の表面処理方法によれ
ば、ガラス管の内部にエッチングガスを流しながら、熱
源をガラス管に沿って上流側から下流側へ往復移動させ
て加熱し、ガラス管の内面をエッチングする際に、下流
側へ移動した熱源の電力をＯＦＦあるいは減少して上流
側へ移動させて往復移動するので、ガラス管内部にエッ
チング屑が侵入するのを防止して、ガラス管内面の平滑
性を高めることができる。
ば、ガラス管の内部にエッチングガスを流しながら、熱
源をガラス管に沿って上流側から下流側へ往復移動させ
て加熱し、ガラス管の内面をエッチングする際に、下流
側へ移動した熱源の電力をＯＦＦあるいは減少して上流
側へ移動させて往復移動するので、ガラス管内部にエッ
チング屑が侵入するのを防止して、ガラス管内面の平滑
性を高めることができる。
【図１】本発明に係るガラス管内面の表面処理方法の第
１実施形態を示すフローチャートである。
１実施形態を示すフローチャートである。
【図２】本発明に係るガラス管内面の表面処理方法の第
２実施形態を示すフローチャートである。
２実施形態を示すフローチャートである。
【図３】エッチング装置の概略図である。
３１ ガラス管
３２ エッチングガス
３３ 炉体（熱源）
Claims (7)
- 【請求項１】 ガラス管の内部にエッチングガスを流し
ガス流を形成する共に、熱源をガラス管に対して相対的
に前記ガス流の上流側から下流側へ移動させることによ
りガラス管を加熱して、ガラス管の内面を表面処理する
ガラス管の表面処理方法において、 前記表面処理を行った後、下流側において前記熱源の移
動をＯＦＦにすることを特徴とするガラス管内面の表面
処理方法。 - 【請求項２】 前記熱源への通電の電力を下流側におい
てＯＦＦ又は減少すると同時に、前記エッチングガスの
供給を停止するようにしたことを特徴とする請求項１記
載のガラス管内面の表面処理方法。 - 【請求項３】 前記熱源は、誘導コイルと、加熱媒体と
で形成せしめられる誘導加熱炉で構成されており、 前記ガラス管内部にエッチングガスを流しつつ、誘導加
熱炉をスキャンすることにより、前記誘導コイルへの通
電により形成される帯状の加熱ゾーンを、所定の速度で
移動しつつ、前記ガラス管の長手方向に沿って、加熱を
行う加熱工程とを含むことを特徴とする請求項１記載の
ガラス管内面の表面処理方法。 - 【請求項４】 ガラス管の内部にエッチングガスを流し
ガス流を形成すると共に、熱源をガラス管に対して相対
的に前記ガス流の上流側から下流側へ移動させることに
よりガラス管を加熱して、ガラス管内面を表面処理する
ガラス管内面の表面処理方法において、 前記熱源の移動に際して、前記熱源は下流側への移動時
にのみ通電せしめられ、上流側への移動時には前記熱源
への通電の電力がＯＦＦ又は減少せしめられていること
を特徴とするガラス管内面の表面処理方法。 - 【請求項５】 前記熱源を所定の回数往復移動させてエ
ッチングを行った後、下流側への移動後、前記熱源への
通電を終了することを特徴とする請求項４記載のガラス
管内面の表面処理方法。 - 【請求項６】 前記熱源への通電の電力を下流側におい
てＯＦＦ又は減少すると同時に、前記エッチングガスの
供給を停止するようにしたことを特徴とする請求項４記
載のガラス管内面の表面処理方法。 - 【請求項７】 前記熱源は、誘導コイルと、加熱媒体と
で形成せしめられる誘導加熱炉で構成されており、 前記ガラス管内部にエッチングガスを流しつつ、誘導加
熱炉をスキャンすることにより、前記誘導コイルへの通
電により形成される帯状の加熱ゾーンを、所定の速度で
移動しつつ、前記ガラス管の長手方向に沿って、加熱を
行う加熱工程とを含むことを特徴とする請求項４記載の
ガラス管内面の表面処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001390673A JP2003192368A (ja) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | ガラス管内面の表面処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001390673A JP2003192368A (ja) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | ガラス管内面の表面処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003192368A true JP2003192368A (ja) | 2003-07-09 |
Family
ID=27598479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001390673A Pending JP2003192368A (ja) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | ガラス管内面の表面処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003192368A (ja) |
-
2001
- 2001-12-21 JP JP2001390673A patent/JP2003192368A/ja active Pending
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