JP2000264647A - 多孔質ガラス母材 - Google Patents
多孔質ガラス母材Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
- C03B2207/52—Linear array of like burners
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B2207/00—Glass deposition burners
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ガラス母材の不均一性を生じさせることのない
多孔質ガラス母材、およびその製造方法を提供する。 【解決手段】基材ガラス棒１の長手方向に往復動を繰り
返し、ガラス成分の原料ガスの供給を受け燃焼作用によ
りガラス微粒子３を生成するバーナー２から、回転して
いる基材ガラス棒１の側面に、ガラス微粒子３を噴きつ
けて順次堆積させ、多孔質ガラス母材４を製造する方法
において、バーナー２の片道移動あたりに堆積するガラ
ス微粒子３の密度を、往復移動の初期よりも中期で小さ
くし、かつ往復移動の中期以降で均一に制御する
多孔質ガラス母材、およびその製造方法を提供する。 【解決手段】基材ガラス棒１の長手方向に往復動を繰り
返し、ガラス成分の原料ガスの供給を受け燃焼作用によ
りガラス微粒子３を生成するバーナー２から、回転して
いる基材ガラス棒１の側面に、ガラス微粒子３を噴きつ
けて順次堆積させ、多孔質ガラス母材４を製造する方法
において、バーナー２の片道移動あたりに堆積するガラ
ス微粒子３の密度を、往復移動の初期よりも中期で小さ
くし、かつ往復移動の中期以降で均一に制御する
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバーの原
材料として使用されるガラス母材を製造するための多孔
質ガラス母材、およびその製造方法に関するものであ
る。
材料として使用されるガラス母材を製造するための多孔
質ガラス母材、およびその製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバーは、大径なガラス母材から
成形した小径なガラスロッド、いわゆる光ファイバープ
リフォームを線曳きして製造される。この大径なガラス
母材は、従来、軸付け法や外付け法と呼ばれる方法で多
孔質なガラス母材が製造され、それを熱処理により透明
ガラス化して得られていた。
成形した小径なガラスロッド、いわゆる光ファイバープ
リフォームを線曳きして製造される。この大径なガラス
母材は、従来、軸付け法や外付け法と呼ばれる方法で多
孔質なガラス母材が製造され、それを熱処理により透明
ガラス化して得られていた。
【０００３】図1に示す装置は、多孔質ガラス母材４を
製造するためのものである。出発基材である基材ガラス
棒１の長手方向に往復動を繰り返すバーナー２からガラ
ス微粒子（スート）３を生成させながら基材ガラス棒１
の側面に噴きつけて堆積させ径方向に成長させる。その
際、堆積効率の維持や、バーナー２と成長しつつある多
孔質ガラス母材４との接触防止のため、成長に合わせて
バーナー２を後退させる必要がある。さらにバーナー２
が後退することと多孔質ガラス母材４が成長して表面積
が増加することに合わせてバーナー２に供給するガス量
も調整していた。
製造するためのものである。出発基材である基材ガラス
棒１の長手方向に往復動を繰り返すバーナー２からガラ
ス微粒子（スート）３を生成させながら基材ガラス棒１
の側面に噴きつけて堆積させ径方向に成長させる。その
際、堆積効率の維持や、バーナー２と成長しつつある多
孔質ガラス母材４との接触防止のため、成長に合わせて
バーナー２を後退させる必要がある。さらにバーナー２
が後退することと多孔質ガラス母材４が成長して表面積
が増加することに合わせてバーナー２に供給するガス量
も調整していた。
【０００４】多孔質ガラス母材４は、図２に示す装置で
透明ガラス化される。この透明ガラス化装置では、多孔
質ガラス母材４が円筒ヒータ５内の中央部を貫通する炉
心管６内に鉛直方向に保持され、上方から下方に移動し
つつ加熱され、下端から順に半溶融してガラス化され
る。尚、炉心管６内は脱水用ガスおよび不活性ガスが供
給、排気されている。
透明ガラス化される。この透明ガラス化装置では、多孔
質ガラス母材４が円筒ヒータ５内の中央部を貫通する炉
心管６内に鉛直方向に保持され、上方から下方に移動し
つつ加熱され、下端から順に半溶融してガラス化され
る。尚、炉心管６内は脱水用ガスおよび不活性ガスが供
給、排気されている。
【０００５】多孔質ガラス母材４は、このように吊下げ
保持されるため、多孔質ガラス体３が剥げ落ちない程度
の強度で堆積付着している必要がある。剥げ落ちは基材
ガラス棒１と堆積された多孔質ガラス体３との境界近傍
で最も発生しやすいため、堆積初期に多孔質ガラス体３
の密度を高めることが好ましい。そのため特開平２−２
０４３４０号公報には、バーナーが往復動を繰り返す初
期の片道移動１０回程度は密度を高め、その後所定の密
度へ徐々に下げていくことが記載されている。同公報に
は、それ以降に、バーナーの移動毎に堆積する多孔質ガ
ラス体の密度分布については記載されていない。しか
し、この多孔質ガラス体について、全体的に密度を上げ
ることは、透明ガラス化工程における脱水作用ガスの拡
散が阻害され、所望の透明ガラス化が行えず、伝送特性
に悪影響を与えることになる。
保持されるため、多孔質ガラス体３が剥げ落ちない程度
の強度で堆積付着している必要がある。剥げ落ちは基材
ガラス棒１と堆積された多孔質ガラス体３との境界近傍
で最も発生しやすいため、堆積初期に多孔質ガラス体３
の密度を高めることが好ましい。そのため特開平２−２
０４３４０号公報には、バーナーが往復動を繰り返す初
期の片道移動１０回程度は密度を高め、その後所定の密
度へ徐々に下げていくことが記載されている。同公報に
は、それ以降に、バーナーの移動毎に堆積する多孔質ガ
ラス体の密度分布については記載されていない。しか
し、この多孔質ガラス体について、全体的に密度を上げ
ることは、透明ガラス化工程における脱水作用ガスの拡
散が阻害され、所望の透明ガラス化が行えず、伝送特性
に悪影響を与えることになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記公報に記載された
多孔質ガラス体の堆積層は、各堆積層の相互の密度は必
ずしも一定となっていない。この堆積層の密度の差は、
透明ガラス化工程における母材半径方向のガラス化速度
に微妙な差となって現れる。ガラス化速度に差がある
と、透明ガラス化したガラス母材の多孔質体の熔け残り
や、泡、脈理などが残留して、最終製品である光ファイ
バーの伝送特性や、強度の欠陥となってしまう。
多孔質ガラス体の堆積層は、各堆積層の相互の密度は必
ずしも一定となっていない。この堆積層の密度の差は、
透明ガラス化工程における母材半径方向のガラス化速度
に微妙な差となって現れる。ガラス化速度に差がある
と、透明ガラス化したガラス母材の多孔質体の熔け残り
や、泡、脈理などが残留して、最終製品である光ファイ
バーの伝送特性や、強度の欠陥となってしまう。
【０００７】本発明は、このようなガラス母材の不均一
性を生じさせることのない多孔質ガラス母材、およびそ
の製造方法を提供することを目的とする。
性を生じさせることのない多孔質ガラス母材、およびそ
の製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めになされた本発明の製造方法は、実施例に対応する図
１を参照すると、基材ガラス棒１の長手方向に往復動を
繰り返し、ガラス成分の原料ガスの供給を受け燃焼作用
によりガラス微粒子３を生成するバーナー２から、回転
している基材ガラス棒１の側面に、ガラス微粒子３を噴
きつけて順次堆積させ、多孔質ガラス母材４を製造する
方法において、バーナー２の片道移動あたりに堆積する
ガラス微粒子３の密度を、初期よりも中期で小さくし、
かつ中期以降で均一に制御することを特徴としている。
めになされた本発明の製造方法は、実施例に対応する図
１を参照すると、基材ガラス棒１の長手方向に往復動を
繰り返し、ガラス成分の原料ガスの供給を受け燃焼作用
によりガラス微粒子３を生成するバーナー２から、回転
している基材ガラス棒１の側面に、ガラス微粒子３を噴
きつけて順次堆積させ、多孔質ガラス母材４を製造する
方法において、バーナー２の片道移動あたりに堆積する
ガラス微粒子３の密度を、初期よりも中期で小さくし、
かつ中期以降で均一に制御することを特徴としている。
【０００９】上記本発明の製造方法は、ガラス微粒子３
の密度の制御がバーナー２へ供給される該原料ガスの量
を制御により実施できる。
の密度の制御がバーナー２へ供給される該原料ガスの量
を制御により実施できる。
【００１０】ガラス微粒子３の密度の均一な制御が最大
でもガラス微粒子の堆積密度に対して１０％に抑制され
ていることが好ましい。
でもガラス微粒子の堆積密度に対して１０％に抑制され
ていることが好ましい。
【００１１】同じく本発明の多孔質ガラス母材４は、基
材ガラス棒１の長手方向に往復動を繰り返し、ガラス成
分の原料ガスの供給を受け燃焼作用によりガラス微粒子
３を生成するバーナーから、回転している基材ガラス棒
１の側面に、ガラス微粒子３を噴きつけて順次堆積させ
たものであって、バーナー2の片道移動あたりに堆積す
るガラス微粒子3の密度が、堆積工程の初期よりも中期
で大きく、かつ堆積工程の中期以降で均一になってい
る。
材ガラス棒１の長手方向に往復動を繰り返し、ガラス成
分の原料ガスの供給を受け燃焼作用によりガラス微粒子
３を生成するバーナーから、回転している基材ガラス棒
１の側面に、ガラス微粒子３を噴きつけて順次堆積させ
たものであって、バーナー2の片道移動あたりに堆積す
るガラス微粒子3の密度が、堆積工程の初期よりも中期
で大きく、かつ堆積工程の中期以降で均一になってい
る。
【００１２】上記本発明の多孔質ガラス母材４は、堆積
工程の中期以降に堆積させたバーナー２の片道移動あた
りのガラス微粒子３の密度差が、最大でも１０％である
ことが好ましい。
工程の中期以降に堆積させたバーナー２の片道移動あた
りのガラス微粒子３の密度差が、最大でも１０％である
ことが好ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明を適用する多孔質ガラス母
材の製造方法の好ましい実施形態を、図面により以下に
説明する。図１は本発明の多孔質ガラス母材の製造方法
を実施するための装置の概略構成図である。装置は、火
炎７を基材ガラス棒１に噴付けるバーナー２、バーナー
２を基材ガラス棒１の軸方向と平行方向に往復移動させ
る機構１２、基材ガラス棒１を回転させるモータ１１を
有している。
材の製造方法の好ましい実施形態を、図面により以下に
説明する。図１は本発明の多孔質ガラス母材の製造方法
を実施するための装置の概略構成図である。装置は、火
炎７を基材ガラス棒１に噴付けるバーナー２、バーナー
２を基材ガラス棒１の軸方向と平行方向に往復移動させ
る機構１２、基材ガラス棒１を回転させるモータ１１を
有している。
【００１４】バーナー２は、原料ガス源のボンベ２２・
２３・２４に流量制御器（マスフローコントローラ）２
０を介して繋がり、流量制御器２０とバーナー２の間に
は駆動源付のバルブ２５が連結されている。流量制御器
２０と駆動源付のバルブ２５には、制御回路１４からの
作動指令信号が入力するように連結されている。
２３・２４に流量制御器（マスフローコントローラ）２
０を介して繋がり、流量制御器２０とバーナー２の間に
は駆動源付のバルブ２５が連結されている。流量制御器
２０と駆動源付のバルブ２５には、制御回路１４からの
作動指令信号が入力するように連結されている。
【００１５】さらにバーナー２は、基材ガラス棒１の軸
方向と鉛直方向に移動させるための螺合式の直進駆動機
構１５に取り付けられている。直進駆動機構１５は直進
駆動機構１２の上に設置されている。直進駆動機構１２
は、基材ガラス棒１の軸方向と平行方向に往復移動させ
るための螺合形式になっており、駆動モータ１３の回転
により駆動されるものである。直進駆動機構１５は駆動
モータ１６の回転により駆動されるものである。駆動モ
ータ１３および駆動モータ１６は前記の制御回路１４を
介して駆動電源に繋がっている。制御回路１４はモータ
の回転／停止および回転方向の作動指令信号を出力する
機能を有している。
方向と鉛直方向に移動させるための螺合式の直進駆動機
構１５に取り付けられている。直進駆動機構１５は直進
駆動機構１２の上に設置されている。直進駆動機構１２
は、基材ガラス棒１の軸方向と平行方向に往復移動させ
るための螺合形式になっており、駆動モータ１３の回転
により駆動されるものである。直進駆動機構１５は駆動
モータ１６の回転により駆動されるものである。駆動モ
ータ１３および駆動モータ１６は前記の制御回路１４を
介して駆動電源に繋がっている。制御回路１４はモータ
の回転／停止および回転方向の作動指令信号を出力する
機能を有している。
【００１６】モータ１１は基材ガラス棒１の一方を銜え
るチャック付の軸受け１０ａに連結し、さらに基材ガラ
ス棒１の他方はチャック付の軸受け１０ｂに銜えられる
ようになっている。またバーナー２の上方には、バーナ
ー２の往復移動に連動する排気装置１７を備えている。
制御回路１４のプログラムメモリ領域には図３にフロー
チャートで示す制御手順が記憶されている。
るチャック付の軸受け１０ａに連結し、さらに基材ガラ
ス棒１の他方はチャック付の軸受け１０ｂに銜えられる
ようになっている。またバーナー２の上方には、バーナ
ー２の往復移動に連動する排気装置１７を備えている。
制御回路１４のプログラムメモリ領域には図３にフロー
チャートで示す制御手順が記憶されている。
【００１７】図１の装置で本発明の多孔質ガラス母材４
の製造方法を実施するには、例えば化学気相成長法（Ｃ
ＶＤ）により製造した基材ガラス棒１の両端部を軸受け
１０ａおよび１０ｂのチャックで銜え、モータ１１を回
転させる。一方、ガス源から流量を制御されて供給され
る原料ガスがバーナーで火炎燃焼反応し、炎７として生
成するガラス微粒子３が基材ガラス棒１乃至は多孔質ガ
ラス母材４に噴きつけられ堆積して行く。このとき駆動
モータ１３が回転し進退駆動機構１２によりバーナー２
が基材ガラス棒１の軸方向と平行方向に往復移動し、こ
の往復移動の片道毎に駆動モータ１６が回転し進退駆動
機構１５によりバーナー２が基材ガラス棒１乃至は多孔
質ガラス母材４の軸方向と鉛直に後退してゆく。
の製造方法を実施するには、例えば化学気相成長法（Ｃ
ＶＤ）により製造した基材ガラス棒１の両端部を軸受け
１０ａおよび１０ｂのチャックで銜え、モータ１１を回
転させる。一方、ガス源から流量を制御されて供給され
る原料ガスがバーナーで火炎燃焼反応し、炎７として生
成するガラス微粒子３が基材ガラス棒１乃至は多孔質ガ
ラス母材４に噴きつけられ堆積して行く。このとき駆動
モータ１３が回転し進退駆動機構１２によりバーナー２
が基材ガラス棒１の軸方向と平行方向に往復移動し、こ
の往復移動の片道毎に駆動モータ１６が回転し進退駆動
機構１５によりバーナー２が基材ガラス棒１乃至は多孔
質ガラス母材４の軸方向と鉛直に後退してゆく。
【００１８】バーナー２により基材ガラス棒１に噴きつ
けられ堆積して行くガラス微粒子３の密度は、単位面積
あたりに堆積するガラス微粒子３の量に逆比例、すなわ
ち供給される原料ガスの量に逆比例するから、流量制御
器（マスフローコントローラ）２０を通過する原料ガス
の量により制御される。したがって、流量制御器２０を
通過する原料ガスの量を多くすればガラス微粒子３の密
度が小さくなるという関係になる。
けられ堆積して行くガラス微粒子３の密度は、単位面積
あたりに堆積するガラス微粒子３の量に逆比例、すなわ
ち供給される原料ガスの量に逆比例するから、流量制御
器（マスフローコントローラ）２０を通過する原料ガス
の量により制御される。したがって、流量制御器２０を
通過する原料ガスの量を多くすればガラス微粒子３の密
度が小さくなるという関係になる。
【００１９】流量制御器２０を通過する原料ガスの流
量、および駆動モータ１３、１６の回転が制御回路１４
により制御される手順を図３のフローチャートにより説
明する。
量、および駆動モータ１３、１６の回転が制御回路１４
により制御される手順を図３のフローチャートにより説
明する。
【００２０】装置の動作開始時には、ステップ１０１で
流量制御器２０の流量をＶn=Ｖ0に設定する。尚、Ｖ
0は、バーナーの往復移動の初期である第1層として基材
ガラス棒１に堆積するガラス微粒子３を適正な密度にす
るため、バーナー２が必要とする原料ガスの流量であ
る。流量制御器２０の流量を設定したら、ステップ１０
２でモータ１３を正回転させると、バーナー２が右行し
ながら基材ガラス棒１にガラス微粒子３の第１層を堆積
して行く。第１層の堆積が終了したら、ステップ１０３
でモータ１６を回転させるとバーナー２が第１層をガラ
ス微粒子３の堆積厚みだけ後退する。ステップ１０４で
流量制御器２０の流量をＶn=Ｖn＋vに設定する。vは前
回の流量Vnに追加すべき流量である。追加すべき流量ｖ
は、第１層のガラス微粒子３が堆積して基材ガラス棒１
が多孔質ガラス母材４の中間体として太くなった分、単
位表面積あたりに噴きつけられるガラス微粒子３の量が
減るのでそれを補う量である。
流量制御器２０の流量をＶn=Ｖ0に設定する。尚、Ｖ
0は、バーナーの往復移動の初期である第1層として基材
ガラス棒１に堆積するガラス微粒子３を適正な密度にす
るため、バーナー２が必要とする原料ガスの流量であ
る。流量制御器２０の流量を設定したら、ステップ１０
２でモータ１３を正回転させると、バーナー２が右行し
ながら基材ガラス棒１にガラス微粒子３の第１層を堆積
して行く。第１層の堆積が終了したら、ステップ１０３
でモータ１６を回転させるとバーナー２が第１層をガラ
ス微粒子３の堆積厚みだけ後退する。ステップ１０４で
流量制御器２０の流量をＶn=Ｖn＋vに設定する。vは前
回の流量Vnに追加すべき流量である。追加すべき流量ｖ
は、第１層のガラス微粒子３が堆積して基材ガラス棒１
が多孔質ガラス母材４の中間体として太くなった分、単
位表面積あたりに噴きつけられるガラス微粒子３の量が
減るのでそれを補う量である。
【００２１】次いでステップ１０３でモータ１３を逆回
転させると、バーナー２が左行しながら多孔質ガラス母
材４の中間体の第１層のガラス微粒子３の上にさらに第
２層のガラス微粒子３を堆積して行く。第２層の堆積が
終了したら、ステップ１０６でモータ１６を回転させる
とバーナー２が第１層をガラス微粒子３の堆積厚みだけ
後退する。
転させると、バーナー２が左行しながら多孔質ガラス母
材４の中間体の第１層のガラス微粒子３の上にさらに第
２層のガラス微粒子３を堆積して行く。第２層の堆積が
終了したら、ステップ１０６でモータ１６を回転させる
とバーナー２が第１層をガラス微粒子３の堆積厚みだけ
後退する。
【００２２】ステップ１０７でバーナー２の移動回数ｎ
が２であるから、ステップ１０１に戻り、流量制御器２
０の流量をＶn=Ｖn＋vに設定する。このときのvは前記
と同様の条件で変化する追加流量である。このようにス
テップ１０１からステップ１０７までの工程を、バーナ
ー２の往復移動の初期に相当する片道移動回数ｎが２０
まで繰り返す。すなわち往復移動の初期の最終に相当す
る第２０層のガラス微粒子３が形成される。
が２であるから、ステップ１０１に戻り、流量制御器２
０の流量をＶn=Ｖn＋vに設定する。このときのvは前記
と同様の条件で変化する追加流量である。このようにス
テップ１０１からステップ１０７までの工程を、バーナ
ー２の往復移動の初期に相当する片道移動回数ｎが２０
まで繰り返す。すなわち往復移動の初期の最終に相当す
る第２０層のガラス微粒子３が形成される。
【００２３】ｎが２０になったらステップ０７からステ
ップ１０８、すなわちバーナー２の往復移動の中期に進
み、流量制御器２０の流量をＵN=Ｕ0＋uに設定する。Ｕ
0は、バーナー２の往復移動中期の初めの層である第Ｎ
層（＝第ｎ＋1層）として多孔質ガラス母材４の中間体
に堆積するガラス微粒子３を適正な密度にするため、バ
ーナー２が必要とする原料ガスの流量である。尚、バー
ナー２の往復移動中期に堆積するガラス微粒子の密度は
往復移動の初期よりも中期で小さくするため、原料ガス
の流量Ｕ0は、往復移動の初期の最終に相当する第２０
層を形成するときの流量Ｖ20よりも多くなる。
ップ１０８、すなわちバーナー２の往復移動の中期に進
み、流量制御器２０の流量をＵN=Ｕ0＋uに設定する。Ｕ
0は、バーナー２の往復移動中期の初めの層である第Ｎ
層（＝第ｎ＋1層）として多孔質ガラス母材４の中間体
に堆積するガラス微粒子３を適正な密度にするため、バ
ーナー２が必要とする原料ガスの流量である。尚、バー
ナー２の往復移動中期に堆積するガラス微粒子の密度は
往復移動の初期よりも中期で小さくするため、原料ガス
の流量Ｕ0は、往復移動の初期の最終に相当する第２０
層を形成するときの流量Ｖ20よりも多くなる。
【００２４】ステップ１０８からステップ１１４まで
は、前記ステップ１０１からステップ１０７までと同様
な工程を繰り返す。ただステップ１０７およびステップ
１１１で設定される流量Un=Un＋uの前回の流量Unに追加
すべき流量uは、第Ｎ層のガラス微粒子３が堆積して基
材ガラス棒１が多孔質ガラス母材４の中間体として太く
なった分、単位表面積あたりに噴きつけられるガラス微
粒子３の量が減るのでそれを補う量である。したがっ
て、この追加流量uが層毎に関数的に変化することによ
って、バーナー２の往復移動中期に堆積するガラス微粒
子の密度は各層で同一になる。ステップ１１４でバーナ
ー２の往復移動中期の片道移動回数Ｎが規定の回数、す
なわち移動中期に堆積するガラス微粒子の堆積層数Ｎが
規定の層数なったことを確認したら、工程を終了する。
その結果、堆積層数Ｎのガラス微粒子３は、各層で同一
の密度となる。
は、前記ステップ１０１からステップ１０７までと同様
な工程を繰り返す。ただステップ１０７およびステップ
１１１で設定される流量Un=Un＋uの前回の流量Unに追加
すべき流量uは、第Ｎ層のガラス微粒子３が堆積して基
材ガラス棒１が多孔質ガラス母材４の中間体として太く
なった分、単位表面積あたりに噴きつけられるガラス微
粒子３の量が減るのでそれを補う量である。したがっ
て、この追加流量uが層毎に関数的に変化することによ
って、バーナー２の往復移動中期に堆積するガラス微粒
子の密度は各層で同一になる。ステップ１１４でバーナ
ー２の往復移動中期の片道移動回数Ｎが規定の回数、す
なわち移動中期に堆積するガラス微粒子の堆積層数Ｎが
規定の層数なったことを確認したら、工程を終了する。
その結果、堆積層数Ｎのガラス微粒子３は、各層で同一
の密度となる。
【００２５】また堆積初期の片道移動回数ｎ＝２０まで
をバーナー２の移動速度を均一にしてあるが、この間の
初めの片道移動５回程度、バーナー２の移動速度を遅く
することで密度を高め、その後、バーナー２の移動速度
を片道移動回数ｎ＝２０に達するまで徐々に上げて、所
定の密度へ徐々に下げてもよい。
をバーナー２の移動速度を均一にしてあるが、この間の
初めの片道移動５回程度、バーナー２の移動速度を遅く
することで密度を高め、その後、バーナー２の移動速度
を片道移動回数ｎ＝２０に達するまで徐々に上げて、所
定の密度へ徐々に下げてもよい。
【００２６】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明を適
用した製造方法により造られたガラス母材は、透明ガラ
ス化工程を経ることにより焼け残りや泡の無い良好な光
ファイバ用ガラス母材が得られる。
用した製造方法により造られたガラス母材は、透明ガラ
ス化工程を経ることにより焼け残りや泡の無い良好な光
ファイバ用ガラス母材が得られる。
【図１】本発明の多孔質ガラス母材の製造方法を実施す
るための装置の概略構成図である。
るための装置の概略構成図である。
【図２】透明ガラス化装置の概略図である。
【図３】多孔質ガラスの堆積層の密度を制御する手順の
フローチャートである。
フローチャートである。
１は基材ガラス棒、２はバーナー、３はガラス微粒子、
４は多孔質ガラス母材、５は円筒ヒータ、６は炉心管、
７は炎、１０ａ・１０ｂは軸受け、１１は駆動モータ、
１２は進退駆動機構、１３は駆動モータ、１４は制御回
路、１５は進退駆動機構、１６は駆動モータ、１７は排
気装置、２０は流量制御器、２２・２３・２４は原料ガ
スボンベ、２５は駆動源付のバルブである。
４は多孔質ガラス母材、５は円筒ヒータ、６は炉心管、
７は炎、１０ａ・１０ｂは軸受け、１１は駆動モータ、
１２は進退駆動機構、１３は駆動モータ、１４は制御回
路、１５は進退駆動機構、１６は駆動モータ、１７は排
気装置、２０は流量制御器、２２・２３・２４は原料ガ
スボンベ、２５は駆動源付のバルブである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 畑山 和久 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 島田 忠克 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 Ｆターム(参考） 4G014 AH15 4G021 EA03 EB13 EB26
Claims (6)
- 【請求項１】 基材ガラス棒の長手方向に往復動を繰
り返し、ガラス成分の原料ガスの供給を受け燃焼作用に
よりガラス微粒子を生成するバーナーから、回転してい
る基材ガラス棒の側面に、該ガラス微粒子を噴きつけて
順次堆積させる堆積工程を有する多孔質ガラス母材の製
造方法において、該バーナーの片道移動あたりに堆積す
るガラス微粒子の密度を、堆積工程の初期よりも中期で
小さくし、かつ堆積工程の中期以降で均一に制御するこ
とを特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項２】 前記したガラス微粒子の密度の制御が
該バーナーへ供給される該原料ガスの量を制御すること
によりなされること特徴とする請求項１に記載の多孔質
ガラス母材の製造方法。 - 【請求項３】 前記ガラス微粒子の密度の均一な制御
が最大でも１０％に抑制されていること特徴とする請求
項１に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項４】 前記堆積工程の初期が全往復移動回数
のうち初めの５〜１５％に相当する回数の移動であり、
中期がそれ以降の移動であること特徴とする請求項１、
２または３に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項５】 基材ガラス棒の長手方向に往復動を
繰り返し、ガラス成分の原料ガスの供給を受け燃焼作用
によりガラス微粒子を生成するバーナーから、回転して
いる基材ガラス棒の側面に、ガラス微粒子を噴きつけて
順次堆積させた多孔質ガラス母材であって、該バーナー
の片道移動あたりに堆積するガラス微粒子の密度が、堆
積工程の初期よりも中期で大きく、かつ堆積工程の中期
以降で均一であることを特徴とする多孔質ガラス母材。 - 【請求項６】 前記により堆積工程の中期以降に堆積
させた該バーナーの片道移動あたりの該ガラス微粒子の
密度差が、ガラス微粒子の堆積密度に対して最大でも１
０％であることを特徴とする請求項５に記載の多孔質ガ
ラス母材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6680399A JP2000264647A (ja) | 1999-03-12 | 1999-03-12 | 多孔質ガラス母材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6680399A JP2000264647A (ja) | 1999-03-12 | 1999-03-12 | 多孔質ガラス母材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000264647A true JP2000264647A (ja) | 2000-09-26 |
Family
ID=13326405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6680399A Pending JP2000264647A (ja) | 1999-03-12 | 1999-03-12 | 多孔質ガラス母材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000264647A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001098219A2 (de) * | 2000-06-19 | 2001-12-27 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren für die herstellung eines sio2-rohlings sowie nach dem verfahren hergestellter rohling |
| WO2003037808A1 (de) * | 2001-10-26 | 2003-05-08 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren zur herstellung eines rohres aus quarzglas, rohrförmiges halbzeug aus porösem quarzglas und verwendung desselben |
| JP2014527012A (ja) * | 2011-06-30 | 2014-10-09 | コーニング インコーポレイテッド | 低屈折率のトレンチを有する光ファイバープリフォームの製造方法 |
| JP2016044087A (ja) * | 2014-08-21 | 2016-04-04 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
-
1999
- 1999-03-12 JP JP6680399A patent/JP2000264647A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001098219A2 (de) * | 2000-06-19 | 2001-12-27 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren für die herstellung eines sio2-rohlings sowie nach dem verfahren hergestellter rohling |
| WO2001098219A3 (de) * | 2000-06-19 | 2002-06-20 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren für die herstellung eines sio2-rohlings sowie nach dem verfahren hergestellter rohling |
| WO2003037808A1 (de) * | 2001-10-26 | 2003-05-08 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren zur herstellung eines rohres aus quarzglas, rohrförmiges halbzeug aus porösem quarzglas und verwendung desselben |
| JP2014527012A (ja) * | 2011-06-30 | 2014-10-09 | コーニング インコーポレイテッド | 低屈折率のトレンチを有する光ファイバープリフォームの製造方法 |
| JP2016044087A (ja) * | 2014-08-21 | 2016-04-04 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
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