JP2003183037A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. ２５０ｎｍ以下の波長の紫外線透過用光学部材のための石英ガラスブランクであって、実質的に酸素欠損部位の無いガラス構造を有し、Ｈ₂含有量が３×１０¹⁷分子／ｃｍ³〜２．０×１０¹⁸分子／ｃｍ³の範囲であり、ＯＨ含有量が５００重量ｐｐｍ〜１０００重量ｐｐｍの範囲であり、ＳｉＨ基含有量が２×１０¹⁷分子／ｃｍ³未満であり、塩素含有量６０重量ｐｐｍ〜１２０重量ｐｐｍの範囲であり、屈折率の不均質性△ｎが２ｐｐｍ未満であり、ひずみ複屈折が２ｎｍ／ｃｍ未満である、石英ガラスブランク。
2. 前記ＯＨ含有量は６００重量ｐｐｍ〜９００重量ｐｐｍの範囲で、好ましくは、７５０重量ｐｐｍ〜９００重量ｐｐｍの範囲であることを特徴とする、請求項１に記載の石英ガラスブランク。
3. 前記Ｈ₂含有量は５×１０¹⁷分子／ｃｍ³〜１×１０¹⁸分子／ｃｍ³の範囲であることを特徴とする、請求項１または２に記載の石英ガラスブランク。
4. 前記塩素含有量は８０重量ｐｐｍ〜１００重量ｐｐｍの範囲あることを特徴とする、請求項１に記載の石英ガラスブランク。
5. ２５０ｎｍ以下の波長の紫外線透過と組み合わせてマイクロリソグラフィーで使用される部材を製造するための、請求項１〜４のいずれか１項に記載の石英ガラスブランクの利用であって、少なくとも０．０５ｍＪ／ｃｍ²の所定のパルスエネルギー密度εで、かつ所定のパルス数Ｐの紫外線照射とともに使用するために、以下の規定式：
   Ｃ_H2min（分子／ｃｍ³）＝１．０×１０⁸ε²Ｐ （２）、および、
   Ｃ_H2max（分子／ｃｍ³）＝２×１０¹⁹ε （３）
   に従う、最小水素含有量Ｃ_H2minおよび最大水素含有量Ｃ_H2maxを有する石英ガラスが選択されることを特徴とする、石英ガラスブランクの利用。
6. 以下の規定式：
   Ｃ_OH（重量ｐｐｍ）＝１７００ε（ｍＪ／ｃｍ²）^0.4±５０ （４）
   に従う、ＯＨ含有量Ｃ_OHを有する石英ガラスが選択されることを特徴とする、請求項５に記載の石英ガラスブランクの利用。
7. パルスエネルギー密度εは０．３ｍＪ／ｃｍ²未満で、特に、０．１５ｍＪ／ｃｍ²より小さいことを特徴とする、請求項５に記載の石英ガラスブランクの利用。