JP2003182137A - 露光装置 - Google Patents

露光装置

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JP2003182137A
JP2003182137A JP2001380449A JP2001380449A JP2003182137A JP 2003182137 A JP2003182137 A JP 2003182137A JP 2001380449 A JP2001380449 A JP 2001380449A JP 2001380449 A JP2001380449 A JP 2001380449A JP 2003182137 A JP2003182137 A JP 2003182137A
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Kazunobu Ookubo
和展 大久保
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構成でデータ電極の特性やドライバの
バラツキに起因する副走査方向の筋ムラを低減する。 【解決手段】 金属陰極23は、各素子列の主走査方向
に配列された有機EL素子20についての共通電極とさ
れ、透明基板10上には複数の陰極ライン231〜23m
が走査電極として形成されている。透明陽極21は、副
走査方向位置が異なる有機EL素子20についての共通
電極とされ、透明基板10上には、複数の陰極ライン2
1〜23mと交差し、且つ副走査方向に対して所定角度
θを成すように傾斜させて複数の陽極ライン211〜2
mがデータ電極として形成されている。この陽極ライ
ンの傾斜により、陰極ライン231〜23m間において、
同一の陽極ラインを共通する有機EL素子20同士は主
走査方向の位置が互いに異なり、同一の主走査方向の位
置となるのは、互いに異なる陽極ラインを用いる有機E
L素子20同士とすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、露光装置に係わ
り、特に、主走査方向に対応する方向のライン状の走査
電極を副走査方向に複数備えると共に、前記副走査方向
に対応する方向のデータ電極を主走査方向に複数備え、
前記走査電極及び前記データ電極の交差位置に、該走査
電極及び該データ電極による電圧印加を受けて発光する
発光素子が形成された露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、感光体を露光して画像を記録
する露光装置として、複数の発光素子を主走査方向に配
列したものがある。このような露光装置では、素子毎の
発光光量のバラツキにより画像上に副走査方向に筋ムラ
が発生してしまう。このため、複数の素子列を副走査方
向に配列し、複数の素子列で1主走査ラインを繰り返し
露光することで、素子毎の発光量のバラツキを平均化し
て該筋ムラを解消する技術がある。
【0003】この場合に、発光素子に所定電圧(又は電
流)を印加して発光させるための一対の電極(陽極及び
陰極)のうち、一方の電極は素子列毎に設け、該素子列
を構成する主走査方向に配列された複数の発光素子で共
通の走査電極とし、他方の電極は素子列毎に設けられた
複数の走査電極と交差するように設け、複数の素子列間
で副走査方向に並んだ複数の発光素子で共通のデータ電
極として用いることがある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術では、同一画素を露光する副走査方向に並んだ複数の
発光素子は同一のデータ電極により電圧が印加されるた
め、データ電極毎にその特性やドライバからの駆動電圧
にばらつきが生じている場合、たとえ各発光素子が均一
に形成されていたとしても、副走査方向に筋ムラが発生
してしまうという問題があった。画素毎の光量やプリン
ト濃度を測定し、素子毎に駆動する電圧(又は電流)値
や露光時間等を調整して露光ばらつきを抑えることも考
えられるが、複雑な制御システムが必要とされ現実的で
はない。
【0005】本発明は上記問題点を解消するためになさ
れたもので、データ電極の特性やドライバのバラツキに
起因する副走査方向の筋ムラを低減することができ、且
つ簡単な構成で実現可能な露光装置を提供することを目
的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に記載の発明は、主走査方向に対応する方
向のライン状の走査電極を副走査方向に複数備えると共
に、前記副走査方向に対応する方向のデータ電極を主走
査方向に複数備え、前記走査電極及び前記データ電極の
交差位置に、該走査電極及び該データ電極による電圧印
加を受けて発光する発光素子が形成された露光装置にお
いて、副走査したときに、異なるデータ電極に形成され
た発光素子による露光位置が略同一位置になるように、
前記複数のデータ電極各々を前記副走査方向に対して所
定の角度を有するように設けた、ことを特徴としてい
る。
【0007】請求項1に記載の露光装置は、副走査方向
に対応する方向に配列された複数の主走査方向に対応す
る方向にライン状に形成された走査電極と、この複数の
走査電極と交差するように設けられた複数のデータ電極
とを備え、走査電極及びデータ電極の交差位置に、該走
査電極及び該データ電極による電圧印加を受けて発光す
る発光素子が形成されている。より詳しくは、副走査し
たときに、互いに異なるデータ電極に形成された発光素
子による露光位置が略同一位置となるように、複数のデ
ータ電極各々を副走査方向に対して所定の角度を有する
ように設けたことにより、露光の際に副走査すると、異
なるデータ電極に形成された発光素子により同一画素が
繰返し露光(多重露光)されるので、データ電極毎にそ
の特性やドライバからの駆動電圧にばらつきが生じてい
ても、該ばらつきの影響が平均化され、副走査方向の筋
ムラを低減することができる。また、データ電極を副走
査方向に対して傾けて配置するだけでよく複雑な制御シ
ステムも不要である。
【0008】なお、上記の露光装置においては、前記走
査電極を前記主走査方向に対して所定の角度を有するよ
うに設けてもよい。
【0009】また、上記の露光装置においては、発光素
子として、有機電界発光素子、又は無機電界発光素子、
又は発光機能を有する液晶素子を用いることができる。
【0010】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照して本発明に係
る実施形態の1例を詳細に説明する。 <第1の実施の形態>図1に示すように、第1の実施の
形態に係る露光装置1は、透明基板10と、透明基板1
0上に蒸着により形成された有機EL素子20と、有機
EL素子20の発光する光を集光して感光体40に照射
させるセルフォックレンズアレイ(以下、「SLA」と
いう)30と、透明基板10やSLA30を支持する支
持体50とを備えている。
【0011】有機EL素子20は、透明基板10上に、
透明陽極21、発光層を含む有機化合物層22、金属陰
極23が順次蒸着により積層されて形成されている。こ
の有機EL素子20は、例えば図1に示すステンレス製
缶等の封止部材60により覆われている。封止部材60
の縁部と透明基板10とは接着されて、乾燥窒素ガスで
置換された封止部材60内に有機EL素子20が封止さ
れている。この有機EL素子20の透明陽極21と金属
陰極23との間に所定電圧が印加されると、有機化合物
層22に含まれる発光層が発光し、発光光が透明陽極2
1及び透明基板10を介して取り出される。なお、有機
EL素子20は、波長安定性に優れる特性がある。
【0012】透明陽極21は、400nm〜700nm
の可視光の波長領域において、少なくとも50パーセン
ト以上、好ましくは70パーセント以上の光透過率を有
するものが好ましい。透明陽極21を構成するための材
料としては、酸化錫、酸化錫インジウム(ITO)、酸
化亜鉛インジウムなどの透明電極材料として公知の化合
物のほか、金や白金など仕事関数が大きい金属からなる
薄膜を用いてもよい。また、ポリアニリン、ポリチオフ
ェン、ポリピロールまたはこれらの誘導体などの有機化
合物でもよい。透明導電膜については、沢田豊監修「透
明導電膜の新展開」シーエムシー刊(1999年)に詳
細に記載されており、本発明に適用することができる。
また、透明陽極21は、真空蒸着法、スパッタリング
法、イオンプレーティング法などにより、透明基板10
上に形成することができる。
【0013】有機化合物層22は、発光層のみからなる
単層構造であってもよいし、発光層の外に、ホール注入
層、ホール輸送層、電子注入層、電子輸送層等のその他
の層を適宜有する積層構造であってもよい。有機化合物
層22の具体的な構成(電極を含む)としては、陽極/
ホール注入層/ホール輸送層/発光層/電子輸送層/陰
極、陽極/発光層/電子輸送層/陰極、陽極/ホール輸
送層/発光層/電子輸送層/陰極などが挙げられる。ま
た、発光層、ホール輸送層、ホール注入層、電子注入層
を複数設けてもよい。
【0014】金属陰極23は、仕事関数の低いLi、K
などのアルカリ金属、Mg、Caなどのアルカリ土類金
属、及びこれらの金属とAgやAlなどとの合金や混合
物等の金属材料から形成されるのが好ましい。陰極にお
ける保存安定性と電子注入性とを両立させるために、上
記材料で形成した電極を仕事関数が大きく導電性の高い
Ag、Al、Auなどで更に被覆してもよい。なお、金
属陰極23も透明陽極21と同様に、真空蒸着法、スパ
ッタ法、イオンプレーティング法などの公知の方法で形
成することができる。
【0015】SLA30は、複数のセルフォックレンズ
で構成されている。セルフォックレンズは、断面の半径
方向に屈折率分布をもつ棒状の厚肉レンズである。セル
フォックレンズに入射された光は、光軸に対して正弦波
状に蛇行しながら進行し、感光体40表面上で結像して
露光スポット70を結ぶように感光体40に向けて出力
される。
【0016】次に、透明陽極及び金属陰極の配置につい
て説明する。図2に示すように、透明基板10上には、
主走査方向に複数の有機EL素子20を配列した素子列
を副走査方向に所定間隔隔てて複数配列した素子列郡2
4が構成されるように各有機EL素子20が配置されて
いる。
【0017】金属陰極23は、各素子列の主走査方向に
配列された有機EL素子20についての共通電極とさ
れ、透明基板10上には有機EL素子の配置レイアウト
に応じて、主走査方向にライン状に形成された複数の陰
極ライン231〜23mが副走査方向に所定間隔隔てて形
成されている。一方、透明陽極21は、副走査方向位置
が異なる有機EL素子20についての共通電極とされ、
透明基板10上には有機EL素子の配置レイアウトに応
じて、複数の陰極ライン231〜23mと交差するように
複数の陽極ライン211〜21nが主走査方向に所定間隔
隔てて形成されている。
【0018】なお、本実施の形態では、各陰極ライン2
1〜23mが走査電極、各陽極ライン211〜21mがデ
ータ電極に対応するように金属陰極23及び透明陽極2
1を形成した場合を例に用いたが、逆に、陽極ラインを
走査電極、陰極ラインをデータ電極とするように形成し
てもよい。
【0019】これらの陽極ライン211〜21nと陰極ラ
イン231〜23mとの間に電圧が印加されると、陽極ラ
イン211〜21nと陰極ライン231〜23mとが交差す
る部分に積層された有機化合物層22に含まれる発光層
から発光し、この発光光が透明基板10側から取り出さ
れる。
【0020】ここで、陽極ライン211〜21nは、より
詳しくは、副走査方向に対して所定角度θを成すように
傾斜して形成されており、陰極ライン231〜23m間に
おいて、同一の陽極ラインを共通する有機EL素子20
同士は主走査方向の位置が互いに異なり、主走査方向の
位置が略同一になるのは、互いに異なる陽極ラインを用
いる有機EL素子20同士とされている。すなわち、副
走査したときに、互いに異なる陽極ラインを用いる有機
EL素子20の露光位置が略同一となるようになってい
る。また、陽極ライン211〜21nは、1主走査ライン
を構成する各画素と1対1に対応するように設けられて
おり、陰極ライン231〜23m各々を共通に用いた有機
EL素子20で構成された各素子列で1主走査ラインを
隙間なく露光するようになっている。
【0021】以上のように構成された露光装置1におい
ては、有機EL素子20の発光光はSLA30によって
集光されて感光体40に照射され、同一の陰極ラインを
共通に用いた有機EL素子20で構成された素子列で1
主走査ラインを露光すると共に、露光装置1を感光体4
0に対して副走査方向に相対移動して、該主走査ライン
を異なる素子列により多重露光する。このとき、主走査
ライン中の各画素については、陽極ライン211〜21n
を副走査方向に対して傾斜して設けたことにより、互い
に異なる陽極ラインを用いた有機EL素子20により多
重露光される。
【0022】このように、異なる陰極ラインを用いた複
数の素子列で1主走査ラインが多重露光されるので、有
機EL素子20毎のばらつきの影響を低減することがで
きると共に、この多重露光の際に、異なる陽極ラインを
用いた有機EL素子20により同一画素が露光されるの
で、陽極ライン(データ電極)の特性やドライバのバラ
ツキに起因する副走査方向の筋ムラを低減することがで
きる。また、陽極ライン(データ電極)を副走査方向に
対して所定角度θだけ傾けて配置するだけでよく、複雑
な制御システムも必要としない。
【0023】なお、本実施の形態は、陽極ライン211
〜21nを副走査方向に対して傾斜して設けて、互いに
異なる陰極ライン間で、互いに異なる陽極ラインを用い
る有機EL素子20同士が同一の主走査方向に位置とす
ることが本質であり、上記構成に限定されるものではな
い。例えば、上記では、陽極ライン211〜21nを、1
主走査ラインを構成する各画素と1対1に対応するよう
に設けた場合を例に説明したが、本発明はこれに限定さ
れるものではない。例えば、図3に示すように、副走査
方向に対して所定角度θだけ傾斜させた陽極ライン間の
間隔を図2の2倍にし、2画素毎に1本の陽極ラインを
設けて、陰極ライン232k-1(k:1以上の整数)を用
いた有機EL素子20で構成された素子列で、陰極ライ
ン232kを用いた有機EL素子20で構成された素子列
による露光スポット間を埋めるようにし、2本の素子列
で1主走査ラインを補間し合って隙間なく露光するよう
にしてもよい。この場合、陰極ライン232k-1及び陰極
ライン232k+1を用いた素子列で同一画素を多重露光
し、陰極ライン232k-1及び陰極ライン232k+1を用い
た素子列で同一画素を多重露光するが、各陰極ラインに
おいて同一画素を露光する有機EL素子の陽極ラインが
異なることは言うまでもない。
【0024】このように所定画素毎に陽極ラインを設け
る場合の陽極ラインの副走査方向に対する傾斜角度θ
は、有機EL素子20の配置レイアウトに応じて適宜設
定すればよく、陽極ラインをj画素毎(j:1以上の整
数)に設け、複数本の素子列で1主走査ラインを補間し
合って隙間なく露光する場合、有機EL素子20の主走
査方向の配列ピッチ(陽極ラインの配列ピッチに対応)
をpx、(副走査方向の配列ピッチ(陰極ラインの配列
ピッチに対応)をpyとして、tanθ=px/(j×
py)を満たすように設定される。
【0025】なお、有機EL素子の主走査方向の配列ピ
ッチpxは、有機EL素子の主走査方向寸法の整数倍で
ある必要はなく、画質に影響を与えない範囲であれば、
異なる素子列で1主走査ラインを補間しあって露光する
際に、互いの露光スポットの一部が重なるようにしても
よいし、或いは互いの露光スポット間に若干の隙間があ
ってもよい。また、有機EL素子の副走査方向の配列ピ
ッチpyについては、露光装置を感光体に対して副走査
方向に相対的に移動させるときの移動量で副走査方向の
画像解像度を調整可能であるので、任意に設定可能であ
る。
【0026】また、上記では、陽極ライン陽極ライン2
1〜21nを陰極ライン231〜23mに渡って副走査方
向に対する傾斜角度θを一定にして設けた場合を例に説
明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例
えば、図4に示すように、陰極ラインと交差する毎に陽
極ライン211〜21nの副走査方向に対する傾斜方向を
切り替えて、副走査方向に対してθ1、θ2だけ傾斜した
構成が繰り返されるように、陽極ライン211〜21n
ジグザグに配列してもよい。
【0027】<第2の実施の形態>なお、本発明は、上
述した第1の実施の形態に限定されず、以下に示す構成
であってもよい。なお、以下の説明では、上述した部位
と同じ部位には同一の符号を付し、また重複する説明に
ついては省略する。
【0028】図5に示すように、第2の実施の形態に係
わる露光装置は、第1の実施の形態で説明した露光装置
において、陰極ライン231〜23mを主走査方向に対し
て所定角度θを成すように傾斜して形成したものであ
る。このような露光装置は、例えば、走査電極としての
陰極ライン231〜23mに対して、データ電極としての
陽極ライン211〜21nとが直交するように形成すると
共に、陽極ラインが副操作方向に対して所定角度θだけ
傾斜させるために、陰極ラインおよび陽極ラインの全体
が回転角度θだけ回転することで構成することができ
る。なお、図5では、一例として、陽極ライン211
21nを互いに間隔を設けて2画素毎に1本の陽極ライ
ンを配置した場合を示しているが、1主走査ラインを構
成する各画素と1対1に設けてもよい。
【0029】このように、陰極ラインおよび陽極ライン
の全体を回転させて、陽極ラインが副操作方向に対して
所定角度θだけ傾斜させることによっても、第1の実施
の形態と同様に、異なる陰極ラインを用いた複数の素子
列で1主走査ラインが多重露光されるので、有機EL素
子毎のばらつきの影響を低減することができると共に、
この多重露光の際に、異なる陽極ラインを用いた有機E
L素子により同一画素が露光されるので、陽極ライン
(データ電極)の特性やドライバのバラツキに起因する
副走査方向の筋ムラを低減することができる。
【0030】なお、上記第1及び第2の実施の形態で
は、1つの素子列郡のみを備えている露光装置を例に示
したが、複数の素子列郡を備えてもよい。例えば、図6
のように、2つの素子列郡24A、25Bを主走査方向
にpx/2だけずらして配置すれば、各素子列郡におい
て上記と同様に同一画素を多重露光すると共に、素子列
郡24Aによる露光スポット間の隙間を素子列郡24B
で埋めるように露光でき、より高解像度の画像形成が可
能となる。
【0031】また、上記では、同一色の発光光を出力す
る1種類の有機EL素子20のみを用いる場合を前提に
説明したが、複数の発光光を出力する複数種類の有機E
L素子を用いてもよい。例えば、図7に示すように、赤
(R)の発光光を出力する有機EL素子20Rで構成さ
れた素子列郡24R、緑(G)の発光光を出力する有機
EL素子20Gで構成された素子列郡24G、青(B)
の発光光を出力する有機EL素子20Bで構成された素
子列郡24Bを同一透明基盤上に形成すれば、カラー画
像形成に対応可能となる。なお、RGB以外の色(或い
は波長)の発光光を出力する有機EL素子を用いてもよ
い。
【0032】また、上記では、有機EL素子20の発光
部形状は陰極ラインと陽極ラインの交差領域の形状によ
って定まり、露光スポットの形状もこの交差領域の形状
に依存してしまう。このため、図8に示すように、透明
陽極21と有機化合物層22との間に、二酸化ケイ素な
どの電気絶縁性を有する材料を薄膜形成して絶縁層25
を設け、この絶縁層25をフォトリソグラフィーにより
パターニングして正方形など所望の形状の開口部を形成
して、有機EL素子20の発光部形状を所望の形状と
し、露光スポットの形状を制御してもよい。なお、絶縁
層25は、有機化合物層22と金属陰極23との間に設
けてもよい。また、図6に示すように、透明基板10と
透明陽極21との間に、所望の形状の開口を有するマス
クを用いる等して、Al、Au、Cr等の金属、或いは
光を遮る機能を有する材料による遮光層26を形成して
も同様の効果がある。なお、遮光層26は、透明陽極2
1と有機化合物層22との間、或いは有機化合物層22
と金属陰極23との間、或いは、有機EL素子形成面と
対向する透明基板10の表面に設けてもよい。また、有
機発光層26を形成する際に、所望形状の開口を有する
マスクを用いるなどして、有機発光層26の形状を所望
形状にしてもよい。
【0033】また、上記では、発光素子として有機EL
素子を用いた場合を例に説明したが、無機EL素子を用
いてもよい。また、本発明は、発光素子として発光機能
を有する液晶素子を用いた露光装置にも容易に適用可能
である。
【0034】
【発明の効果】上記に示したように、本発明は、データ
電極の特性やドライバのバラツキに起因する副走査方向
の筋ムラを低減することができ、且つ簡単な構成で実現
できるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施の形態に係わる露光装置
の構成を示す断面図である。
【図2】 本発明の第1の実施の形態に係る露光装置の
有機EL素子、及び電極の配置関係を模式的に表す平面
図である。
【図3】 本発明の第1の実施の形態に係る有機EL素
子、及び電極の配置関係の別の一例を模式的に表す平面
図である。
【図4】 本発明の第1の実施の形態に係る有機EL素
子、及び電極の配置関係の別の一例を模式的に表す平面
図である。
【図5】 本発明の第2の実施の形態に係る露光装置の
有機EL素子、及び電極の配置関係を模式的に表す平面
図である。
【図6】 本発明のその他の実施の形態に係わる露光装
置の複数の素子列郡を有する場合の有機EL素子、及び
電極の配置関係を模式的に表す平面図である。
【図7】 本発明のその他の実施の形態に係わる露光装
置の複数の素子列郡を有する場合の有機EL素子、及び
電極の配置関係を模式的に表す平面図である。
【図8】 透明陽極と有機化合物層の間に絶縁層を装荷
して各有機EL素子を所望の形状(矩形)に形成した場
合を示す透明基板の上面図(A)及び露光装置の断面図
(B)である。
【図9】 透明基板と透明陽極の間に遮光層を形成して
各有機EL素子を所望の形状(矩形)に形成した場合を
示す露光装置の断面図である。
【符号の説明】
1 露光装置 10 透明基板 20、20R、20G、20B 有機EL素子 21 透明陽極 22 有機化合物層 23 金属陰極 24、24A、24B、24R、24G、24B 素
子列郡 25 絶縁層 26 遮光層 40 感光体

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 主走査方向に対応する方向のライン状の
    走査電極を副走査方向に複数備えると共に、前記副走査
    方向に対応する方向のデータ電極を主走査方向に複数備
    え、前記走査電極及び前記データ電極の交差位置に、該
    走査電極及び該データ電極による電圧印加を受けて発光
    する発光素子が形成された露光装置において、 副走査したときに、異なるデータ電極に形成された発光
    素子による露光位置が略同一位置になるように、前記複
    数のデータ電極各々を前記副走査方向に対して所定の角
    度を有するように設けた、 ことを特徴とする露光装置。
  2. 【請求項2】 前記走査電極を前記主走査方向に対して
    所定の角度を有するように設けた、 ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
  3. 【請求項3】 前記発光素子が、有機電界発光素子、又
    は無機電界発光素子、又は発光機能を有する液晶素子で
    ある、 ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の露光装
    置。
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