JP2005161694A

JP2005161694A - 露光装置

Info

Publication number: JP2005161694A
Application number: JP2003404142A
Authority: JP
Inventors: Kazunobu Ookubo; 和展大久保; Hiroaki Hiuga; 浩彰日向
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 2003-12-03
Filing date: 2003-12-03
Publication date: 2005-06-23
Also published as: CN1624577A; US20050122388A1; TWI259152B; US7142229B2; CN100514178C; TW200524751A; KR20050053519A

Abstract

【課題】副走査方向において露光位置のずれを防止し、高解像度での露光が行える露光装置を提供する。
【解決手段】複数の陰極ラインが副走査方向と同じ方向に発光時間ｔで順次点灯される場合には、陰極ラインの移動量及び移動方向、即ち、露光装置の副走査方向の移動量及び移動方向を予め考慮して、各発光部の副走査方向のピッチＴを（ｍ−１／ｎ）Ｐで表す値とする。Ｐは露光画素のピッチ、ｍは２以上の整数、ｎは陰極ライン数である。ピッチＴを（ｍ−１／ｎ）Ｐとした場合には、第２の陰極ラインが点灯した時にも所定画素位置を露光することができ、露光位置のずれによる解像度の低下を防止することができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、露光装置に係り、特に、複数の発光素子が主走査方向に所定間隔で配列された素子列が、副走査方向に複数配列された露光装置に関する。

蛍光性の有機物質を発光層に用いた有機電界発光素子は、有機ＥＬ素子と称され、他の発光素子に比べて製造が容易であり、薄型かつ軽量の発光素子が構成できる等の利点により、従来、薄型ディスプレイ用素子として研究開発が進められてきた。近年では、発光輝度、発光効率、耐久性等の点でも発光ダイオード（ＬＥＤ）に匹敵する高性能の有機ＥＬ素子が得られていることから、ハロゲン化銀感光体等の感光体を露光する露光装置への応用が検討されている。

有機ＥＬ素子を用いた露光装置としては、例えば、図８に示すように、赤色（Ｒ）緑色（Ｇ）青色（Ｂ）各色に発光する有機ＥＬ素子８０を各色毎に主走査方向に複数配列して形成された素子列をＲＧＢ３色１組として副走査方向に複数組（図８では２組）並べたものがある。なお、図８では、ＲＧＢ各色の有機ＥＬ素子８０を区別するために符号末尾に対応する色を示すアルファベット（Ｒ／Ｇ／Ｂ）を付して示している。この露光装置では、各素子間での光量バラツキにより、画像上において副走査方向に筋ムラが発生してしまう。

この問題を解決するために、複数の素子列を副走査方向に配列し、複数の素子列で１主走査ラインを繰り返し露光（多重露光）することで、素子間の光量バラツキを平均化して筋ムラを解消する技術が提案されている（特許文献１）。
特開２００１−３５６４２２号公報

しかしながら、従来の多重露光装置では、副走査方向に配列した複数の素子列により１主走査ライン上を多重露光するが、副走査方向に露光位置がずれることにより解像度が低下するという問題があった。

本発明は、上記問題を解決すべく成されたものであり、本発明の目的は、副走査方向において露光位置のずれを防止し、高解像度での露光が行える露光装置を提供することにある。

上記目的を達成するために本発明の第1の露光装置は、複数の発光素子が感光材料に対して副走査方向に並ぶように、各々独立に駆動制御が可能な発光素子が前記副走査方向と交差する主走査方向に沿って複数個配列された素子列が前記副走査方向に複数配列された発光素子アレイと、前記副走査方向に配列された複数の素子列が時分割で順次点灯されるように、前記発光素子の各々を駆動制御する駆動制御手段と、を備え、前記複数の素子列が副走査方向と同じ方向に順次点灯される場合には、前記素子列を下記式（１）で表されるピッチで配列すると共に、前記複数の素子列が副走査方向と逆方向に順次点灯される場合には、前記素子列を下記式（２）で表されるピッチで配列したことを特徴とする。

式（１）及び（２）中、Ｐは露光画素のピッチ、ｍは２以上の整数、ｎは副走査方向に配列された素子列の数である。

本発明の第１の露光装置は、複数の発光素子が感光材料に対して副走査方向に並ぶように、各々独立に駆動制御が可能な発光素子が副走査方向と交差する主走査方向に沿って複数個配列された素子列が前記副走査方向に複数配列された発光素子アレイを備えており、副走査方向に並んだ複数の発光素子により感光材料の同一位置が多重露光される。駆動制御手段は、発光素子アレイの副走査方向に配列された複数の素子列が時分割で順次点灯されるように、即ち、いわゆるパッシブ駆動されるように、発光素子の各々を駆動制御する。

発光素子アレイにおいては、複数の素子列が副走査方向と同じ方向に順次点灯される場合には、素子列を上記式（１）で表されるピッチで配列する。また、複数の素子列が副走査方向と逆方向に順次点灯される場合には、素子列を上記式（２）で表されるピッチで配列する。式（１）及び（２）では、露光装置の副走査方向の移動量及び移動方向を予め考慮して、露光装置が移動した場合にも所定の画素位置を露光するように、各発光部の副走査方向のピッチＴを決めているので、副走査方向において露光位置のずれを防止することができる。また、パッシブ駆動により露光するので、副走査方向での露光量分布が狭くなる。この結果、高解像度で多重露光を行うことができる。

上記目的を達成するために本発明の第２の露光装置は、複数の発光素子が感光材料に対して副走査方向に並ぶように、各々独立に駆動制御が可能な発光素子が前記副走査方向と交差する主走査方向に沿って複数個配列された素子列が前記副走査方向に複数配列された発光素子アレイと、前記副走査方向に配列された複数の素子列が時分割で順次点灯されるように、前記発光素子の各々を駆動制御する駆動制御手段と、を備え、各素子列の発光時間をｔ、フレーム間のインターバル時間をｔ₁という条件の下で、前記複数の素子列が副走査方向と同じ方向に順次点灯される場合には、前記素子列を下記式（４）で表されるピッチで配列すると共に、前記複数の素子列が副走査方向と逆方向に順次点灯される場合には、前記素子列を下記式（５）で表されるピッチで配列したことを特徴とする。

式（４）及び（５）中、Ｐは露光画素のピッチ、ｍは２以上の整数、ｎは副走査方向に配列された素子列の数である。

第２の露光装置では、露光装置の副走査方向の移動量及び移動方向に加え、フレーム間のインターバル時間をも予め考慮して、露光装置が移動した場合にも所定の画素位置を露光するように、各発光部の副走査方向のピッチＴ´を決めているので、実際の駆動シーケンスで、副走査方向における露光位置のずれを防止することができる。また、パッシブ駆動により露光するので、副走査方向での露光量分布が狭くなる。この結果、高解像度で多重露光を行うことができる。

上記の第１の露光装置においては、上記式（３）で表される副走査速度ｖで感光材料を走査露光することになる。また、上記の第２の露光装置においては、上記式（６）で表される副走査速度ｖ´で感光材料を走査露光することになる。なお、発光素子アレイには有機ＥＬ素子を用いることが好ましく、この場合、有機ＥＬ素子の各発光部が本発明の「発光素子」に相当する。

本発明によれば、副走査方向において露光位置のずれを防止し、高解像度での露光が行える、という効果が得られる。

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。

図１に示すように、本実施の形態に係る露光装置は、透明基板１０と、透明基板１０上に蒸着により形成された有機ＥＬ素子２０と、有機ＥＬ素子２０の発光光を集光して感光材料４０に照射するセルフォックレンズアレイ（以下、「ＳＬＡ」という）３０と、透明基板１０やＳＬＡ３０を支持する支持体５０とを備えている。

有機ＥＬ素子２０は、透明基板１０上に、透明陽極２１、発光層を含む有機化合物層２２、金属陰極２３が順次積層されて形成されている。発光層を含む有機化合物層２２の材料を適宜選択することで所望の色の発光光を得ることができ、透明基板１０上には、赤色（Ｒ）光を発光する発光部２０Ｒ、緑色（Ｇ）光を発光する発光部２０Ｇ、及び青色（Ｂ）光を発光する発光部２０Ｂが、後述する所定のパターンで形成されている。なお、有機ＥＬ素子の場合は、各発光部が本発明の「発光素子」に相当する。

この有機ＥＬ素子２０は、例えば、図１に示すステンレス製缶等の封止部材６０により覆われている。封止部材６０の縁部と透明基板１０とは接着されて、乾燥窒素ガスで置換された封止部材６０内に有機ＥＬ素子２０が封止されている。この有機ＥＬ素子２０の透明陽極２１と金属陰極２３との間に所定電圧が印加されると、有機化合物層２２に含まれる発光層が発光し、発光光が透明陽極２１及び透明基板１０を介して取り出される。なお、有機ＥＬ素子２０は、波長安定性に優れる特性がある。

また、有機ＥＬ素子２０の透明電極２１と金属電極２３の両電極は、複数の発光部の各々を独立に駆動（パッシブ駆動）する駆動回路（図示せず）に接続されている。この駆動回路は、フレームメモリ（図示せず）を介して制御部（図示せず）に接続されている。

駆動回路は、両電極間に電圧を印加する電源（図示せず）及びトランジスタやサイリスタで構成されたスイッチング素子（図示せず）を含んで構成されており、フレームメモリを介して制御部から入力される制御信号に基づいて駆動信号を生成し、複数の発光部の各々を発光駆動している。

透明基板１０は、発光光に対して透明な基板であり、ガラス基板、プラスチック基板等を用いることができる。また、透明基板１０には、一般的な基板特性として、耐熱性、寸法安定性、耐溶剤性、電気絶縁性、加工性、低通気性、低吸湿性等が要求される。

透明陽極２１は、４００ｎｍ〜７００ｎｍの可視光の波長領域において、少なくとも５０パーセント以上、好ましくは７０パーセント以上の光透過率を有するものが好ましい。透明陽極２１を構成するための材料としては、酸化錫、酸化錫インジウム（ＩＴＯ）、酸化亜鉛インジウムなどの透明電極材料として公知の化合物のほか、金や白金など仕事関数が大きい金属からなる薄膜を用いてもよい。また、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリピロールまたはこれらの誘導体などの有機化合物でもよい。透明導電膜については、沢田豊監修「透明導電膜の新展開」シーエムシー刊（１９９９年）に詳細に記載されており、本発明に適用することができる。また、透明陽極２１は、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などにより、透明基板１０上に形成することができる。

有機化合物層２２は、発光層のみからなる単層構造であってもよいし、発光層の外に、ホール注入層、ホール輸送層、電子注入層、電子輸送層等のその他の層を適宜有する積層構造であってもよい。有機化合物層２２の具体的な構成（電極を含む）としては、陽極／ホール注入層／ホール輸送層／発光層／電子輸送層／陰極、陽極／発光層／電子輸送層／陰極、陽極／ホール輸送層／発光層／電子輸送層／陰極などが挙げられる。また、発光層、ホール輸送層、ホール注入層、電子注入層を複数設けてもよい。

有機化合物層２２の各層は、透明電極２１側の層から低分子系の各有機材料を蒸着によって順次薄膜形成して積層させることで形成することができる。この際、蒸着マスクを用いることで、簡単にパターンニングすることができる。

金属陰極２３は、仕事関数の低いＬｉ、Ｋなどのアルカリ金属、Ｍｇ、Ｃａなどのアルカリ土類金属、及びこれらの金属とＡｇやＡｌなどとの合金や混合物等の金属材料から形成されるのが好ましい。陰極における保存安定性と電子注入性とを両立させるために、上記材料で形成した電極を仕事関数が大きく導電性の高いＡｇ、Ａｌ、Ａｕなどで更に被覆してもよい。なお、金属陰極２３も透明陽極２１と同様に、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法などの公知の方法で形成することができる。

ＳＬＡ３０は、複数のセルフォックレンズ３１で構成されている。セルフォックレンズ３１は、断面の半径方向に屈折率分布をもつ棒状の厚肉レンズである。セルフォックレンズ３１に入射された光は、光軸に対して正弦波状に蛇行しながら進行し、感光材料４０表面上で結像して露光スポット７０を結ぶように感光材料４０に向けて出力される。

また、露光スポットを絞り、光学的クロストークを抑制するために、このセルフォックレンズ３１の開口部は有機ＥＬ素子２０の各発光部の発光領域よりも大きく形成され、且つ隣り合うセルフォックレンズ３１同士は互いに接するように配列されてされている。なお、セルフォックレンズ３１は発光部と１対１で対応するように設けてもよいし、副走査方向に並んだ１組の発光部２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂに１つ又は２つというように、個々のセルフォックレンズ３１が複数の発光部に対応するように設けてもよい。

次に、有機ＥＬ素子２０の発光部の配置について説明する。

図２に示すように、透明基板１０上には、発光部２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂが形成されている。より詳しくは、複数の発光部２０Ｒが主走査方向に所定間隔ずつ隔てて配列された発光部列Ｒが、副走査方向に複数列配列されている。同様に、複数の発光部２０Ｇを主走査方向に所定間隔ずつ隔てて配列した発光部列Ｇが、副走査方向に複数列配列され、複数の発光部２０Ｂを主走査方向に所定間隔ずつ隔てて配列した発光部列Ｂが、副走査方向に複数列配列されている。有機ＥＬ素子はＲ色の発光強度が小さくという特性を有している。このため、発光部列Ｒの列数を多くすることが好ましい。この例では、４列の発光部列Ｒ、２列の発光部列Ｇ、及び２列の発光部列Ｂが、副走査方向にＲＧＢの順で配列されている。従って、合計７個の発光部が副走査方向に並ぶことになる。

以上の通り構成された露光装置では、有機ＥＬ素子２０の副走査方向に配列された各発光部（２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂ）からの発光光は、ＳＬＡ３０により集光されて、感光材料４０の同一位置が露光され、露光スポット７０が形成される。また、この露光装置が、感光材料４０に対して副走査方向に相対移動されることで、感光材料４０が走査露光される。

次に、各発光部の副走査方向のピッチについて説明する。

上述した通り、複数の発光部の各々は、駆動回路（図示せず）によりパッシブ駆動されている。パッシブ駆動とは、金属陰極に沿った発光部列（陰極ライン）を時分割線順次走査し、走査中の陰極ラインと交差する発光部（陽極ライン）を駆動信号に応じて駆動して、走査を全陰極ラインに順次行き渡らせる駆動方法である。

複数の陰極ラインが副走査方向と同じ方向に発光時間ｔで順次点灯される場合には、陰極ラインの移動量及び移動方向、即ち、露光装置の副走査方向の移動量及び移動方向を予め考慮して、各発光部の副走査方向のピッチＴを下記式（１）で表す値とする。

式（１）中、Ｐは露光画素のピッチ、ｍは２以上の整数、ｎは副走査方向に配列された発光部列の数である。副走査方向に配列されたｎ個の発光部により、同一画素がｎ回多重露光される。

図３（Ａ）に示すように、順次点灯する第１の陰極ラインと第２の陰極ラインとの間のピッチＴを、露光画素のピッチＰの整数倍（図では３倍）とした場合には、第１の陰極ラインを点灯した時には、感光材料上の所定画素位置を露光することができるが、ｔ秒後に第１の陰極ラインを消灯して第２の陰極ラインを点灯した時には、第２の陰極ラインは副走査方向にＰ／ｎ移動しており、所定画素位置から副走査方向下流側にＰ／ｎずれた位置を露光することになる。

なお、陰極ラインの副走査方向の移動量がＰ／ｎとなるのは、１本の陰極ラインで１主走査ラインを露光する場合（アクティブ駆動の場合）には、発光時間の間に陰極ラインが露光画素ピッチＰだけ移動すれば良いが、パッシブ駆動では、ｎ本の陰極ラインで１主走査ラインを多重露光する場合には、各陰極ラインの発光時間ｔはアクティブ駆動する場合の１／ｎとなるためである。換言すれば、副走査速度ｖは下記式（３）で表される。

これに対し、図３（Ｂ）に示すように、ピッチＴを上記式（１）で表す値とした場合には、第２の陰極ラインを点灯した時にも所定画素位置を露光することができ、露光位置のずれによる解像度の低下を防止することができる。

また、アクティブ駆動する場合には、図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、陰極ラインは露光画素ピッチＰだけ移動する間点灯しているので、図４（Ｃ）に示す露光量分布で露光されることになり、露光画素は副走査方向に間延びした形状となる。このため、解像度が低下する。これに対し、パッシブ駆動する場合には、図５（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、陰極ラインはＰ／ｎ移動する間点灯しているだけなので、図５（Ｃ）に示すように、露光量分布も狭くなり、解像度が向上する。

以上説明した通り、本実施の形態の露光装置では、露光装置の副走査方向の移動量及び移動方向を予め考慮して、露光装置が移動した場合にも所定の画素位置を露光するように、各発光部の副走査方向のピッチＴを決めているので、副走査方向において露光位置のずれを防止することができる。また、パッシブ駆動により露光するので、副走査方向での露光量分布が狭くなる。この結果、高解像度で多重露光を行うことができる。

なお、上記実施の形態では、複数の陰極ラインが副走査方向と同じ方向に発光時間ｔで順次点灯される場合について説明したが、複数の陰極ラインが副走査方向と逆方向に順次点灯される場合には、各発光部の副走査方向のピッチＴを下記式（２）で表す値とする。

図６（Ｂ）に示すように、ピッチＴをピッチＰの整数倍とした場合には、第１の陰極ラインを点灯した時には副走査方向の所定画素位置を露光することができるが、第２の陰極ラインを点灯した時には副走査方向の所定画素位置から副走査方向上流側にＰ／ｎずれた位置を露光することになる。これに対し、図６（Ｂ）に示すように、ピッチＴを上記式（２）で表す値とした場合には、第２の陰極ラインを点灯した時にも所定画素位置を露光することができ、露光位置のずれによる解像度の低下を防止することができる。

また、上記実施の形態では、複数の陰極ラインが発光時間ｔで順次点灯される場合について説明したが、実際の駆動シーケンスにおいては、図７に示すように、フレーム毎に１フレーム分のデータを転送するための転送時間ｔ_Dを考慮して、フレームとフレームとの間にインターバル時間ｔ_Iが挿入される。インターバル時間ｔ_Iは転送時間ｔ_Dの最大値Max（ｔ_D）より大きな値とする。このインターバル時間ｔ_Iを考慮せずに露光を実施すると、１フレーム毎に露光する画素位置がｖ・ｔ_Iずれることになる。これでは、露光位置のずれにより、解像度の低下を招いてしまう。従って、上述のインターバル時間ｔ_Iによる露光画素の位置ずれを補正する必要がある。

インターバル時間ｔ_Iも含め１フレーム分のデータに基づき露光を行うのに必要とされる時間を「１フレーム時間」とすると、１フレーム時間はｎ・ｔ＋ｔ₁となる。１フレーム時間毎に露光装置（ヘッド）が露光画素ピッチＰだけ移動するように設計することで、インターバル時間ｔ_Iによるずれ量を１フレーム時間全体で吸収することができ、露光画素の位置ずれを最小限とすることができる。このときのヘッドの移動速度（補正後の副走査速度）ｖ´は下記式（６）で表される。

従って、各発光部の副走査方向のピッチＴ´は下記式で表される。

上記式にｖ´の値を代入すると、下記式（７）を得ることができる。

即ち、複数の陰極ラインが副走査方向と同じ方向に発光時間ｔで順次点灯される場合には、各発光部の副走査方向のピッチＴ´を下記式（４）で表す値とし、複数の陰極ラインが副走査方向と逆方向に順次点灯される場合には、各発光部の副走査方向のピッチＴ´を下記式（５）で表す値とする。

この通り、露光装置の副走査方向の移動量及び移動方向に加え、フレーム間のインターバル時間をも予め考慮して、各発光部の副走査方向のピッチＴ´を決めることで、副走査方向において露光位置のずれを最小限にすることができる。また、パッシブ駆動により露光するので、副走査方向での露光量分布が狭くなる。この結果、高解像度で多重露光を行うことができる。

また、各陰極ラインへの階調割り付けは、色毎に独立して行う。発光部列Ｒが８列、発光部列Ｇが４列、発光部列Ｂが４列で、合計１６列配列されている場合を例に説明する。画像データのビット数をｂとすると、各陰極ラインを駆動するビット数ａは、ａ＝ｂ−ｎで表される。ある露光画素の階調数をｋとした場合、ｋ＜２^bであり、この画素を露光する各陰極ラインの階調数はｋ／２^aとなる。

例えば、各陰極ラインを駆動するビット数は、ｂ＝８ビット（２５６階調）、ｎ＝４とし、ｋ＝２００とした場合、２００／２^8-4＝１２．５となる。なお、小数点以下は階調として実現できないので、端数の部分（２００−１２×１６＝８）は１ずつ各陰極ラインに割り振る。この場合、第１の陰極ラインから第８の陰極ラインまでを１３階調で露光し、第９の陰極ラインから第１６の陰極ラインまでを１２階調で露光すれば、１画素を２００階調で露光することができる。

上記の割り付け方式では、各陰極ラインに略均等に階調を割り付けることができる。従って、一部の発光部の露光時間が長くなるなど、偏った駆動にならず、各発光部の劣化率を略一定にすることができる。その結果、露光装置全体の寿命を向上するすることができる。

また、上記実施の形態では、有機ＥＬ素子を用いる例について説明したが、無機ＥＬ素子やＬＥＤ素子を用いてもよい。但し、有機ＥＬ素子を用いる場合には、無機ＥＬ素子を用いる場合に比べ低電圧で駆動できるという利点があり、ＬＥＤ素子を用いる場合に比べて、蒸着により一括して全ての素子を形成できるので各素子を所定の位置に正確に配置し易く、また素子毎の光量のバラツキも小さいという利点がある。

本発明の実施の形態に係る露光装置の構成を示す断面図である。有機ＥＬ素子の発光部の形成パターンを示す平面図である。（Ａ）は陰極ラインのピッチＴを露光画素のピッチＰの整数倍とした場合の陰極ラインと露光画素との位置関係を示す図であり、（Ｂ）は陰極ラインのピッチＴを式（１）に従い定めた場合の陰極ラインと露光画素との位置関係を示す図である。アクティブ駆動する場合について、（Ａ）は陰極ライン点灯時の発光光量を示すグラフであり、（Ｂ）は陰極ライン消灯時の発光光量を示すグラフであり、（Ｃ）は感光材料表面での露光量分布を示すグラフである。パッシブ駆動する場合について、（Ａ）は陰極ライン点灯時の発光光量を示すグラフであり、（Ｂ）は陰極ライン消灯時の発光光量を示すグラフであり、（Ｃ）は感光材料表面での露光量分布を示すグラフである。（Ａ）は陰極ラインのピッチＴを露光画素のピッチＰの整数倍とした場合の陰極ラインと露光画素との位置関係を示す図であり、（Ｂ）は陰極ラインのピッチＴを式（１）に従い定めた場合の陰極ラインと露光画素との位置関係を示す図である。各発光部を発光タイミングをフレーム毎に示すグラフである。有機ＥＬ素子を用いた従来の露光装置の構成を示す図である。

符号の説明

１０透明基板
２０有機ＥＬ素子
２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂ発光部
２１透明陽極
２２有機化合物層
２３金属陰極
３０ＳＬＡ
３１セルフォックレンズ
４０感光材料

Claims

複数の発光素子が感光材料に対して副走査方向に並ぶように、各々独立に駆動制御が可能な発光素子が前記副走査方向と交差する主走査方向に沿って複数個配列された素子列が前記副走査方向に複数配列された発光素子アレイと、
前記副走査方向に配列された複数の素子列が時分割で順次点灯されるように、前記発光素子の各々を駆動制御する駆動制御手段と、
を備え、
前記複数の素子列が副走査方向と同じ方向に順次点灯される場合には、前記素子列を下記式（１）で表されるピッチで配列すると共に、前記複数の素子列が副走査方向と逆方向に順次点灯される場合には、前記素子列を下記式（２）で表されるピッチで配列した露光装置。

式（１）及び（２）中、Ｐは露光画素のピッチ、ｍは２以上の整数、ｎは副走査方向に配列された素子列の数である。
下記式（３）で表される副走査速度ｖで感光材料を走査露光する請求項１に記載の露光装置。

式（３）中、Ｐは露光画素のピッチ、ｎは副走査方向に配列された素子列の数、ｔは各素子列の発光時間である。
複数の発光素子が感光材料に対して副走査方向に並ぶように、各々独立に駆動制御が可能な発光素子が前記副走査方向と交差する主走査方向に沿って複数個配列された素子列が前記副走査方向に複数配列された発光素子アレイと、
前記副走査方向に配列された複数の素子列が時分割で順次点灯されるように、前記発光素子の各々を駆動制御する駆動制御手段と、
を備え、
各素子列の発光時間をｔ、フレーム間のインターバル時間をｔ₁という条件の下で、前記複数の素子列が副走査方向と同じ方向に順次点灯される場合には、前記素子列を下記式（４）で表されるピッチで配列すると共に、前記複数の素子列が副走査方向と逆方向に順次点灯される場合には、前記素子列を下記式（５）で表されるピッチで配列した露光装置。

式（４）及び（５）中、Ｐは露光画素のピッチ、ｍは２以上の整数、ｎは副走査方向に配列された素子列の数である。
下記式（６）で表される副走査速度ｖで感光材料を走査露光する請求項１に記載の露光装置。

式（６）中、Ｐは露光画素のピッチ、ｎは副走査方向に配列された素子列の数、ｔは各素子列の発光時間、ｔ₁はフレーム間のインターバル時間である。
前記発光素子が有機ＥＬ素子の各発光部である請求項１乃至４の何れか１項に記載の露光装置。