JP2003174067A - 薄板用収納保管容器用蓋開閉装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 種類の異なる薄板用収納保管容器の蓋体を自
動的に着脱する。 【解決手段】 薄板用収納保管容器１６に半導体ウエハ
を自動的に出し入れさせるために蓋体１６Ａを自動的に
着脱させる薄板用収納・保管容器用蓋開閉装置１であ
る。各部品を収納支持する筐体２と、薄板用収納保管容
器１６を正確に位置決めして支持する容器載置台３と、
容器載置台３を前後へ移動させる容器載置台移動機構４
と、薄板用収納保管容器１６の種類に応じて容器載置台
移動機構４による薄板用収納保管容器１６の移動距離等
を制御するために薄板用収納保管容器の種類を判別する
種類判別センサと、容器載置台３に載置された薄板用収
納保管容器１６に面して設けられ薄板用収納保管容器１
６の蓋体１６Ａを把持して着脱させる蓋体着脱機構６
と、蓋体着脱機構６を支持して昇降させる昇降機構７と
から構成した。筐体２内には送風機８を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、自動化された製造
ライン等において、薄板用収納保管容器に収納された薄
板を自動的に取り出したり、からの薄板用収納保管容器
に薄板を自動的に収納したりするために、蓋体を自動的
に着脱させる薄板用収納保管容器用蓋開閉装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体シリコンウエハを収納し
た薄板用収納保管容器を自動化された製造ライン等に用
いる場合は、予め蓋体を作業者が取り外す。即ち、作業
者が薄板用収納保管容器から蓋体を取り外して、製造ラ
イン等に設置していた。

【０００３】係る手間を省くために、蓋体を自動的に着
脱させる蓋開閉装置が開発されている。この蓋開閉装置
は、規格で決められた薄板用収納保管容器に応じて各部
の設定がなされている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、薄板用収納
保管容器は、その主要部分の構成を規格で決められてい
るが、蓋体の部分には、各容器に応じて種々の相違点が
ある。このため、蓋開閉装置は特定種類の薄板用収納保
管容器にしか適用できないという問題点がある。

【０００５】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、複数種類の薄板用収納保管容器に対応できる薄板
用収納保管容器用蓋開閉装置を提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に第１の発明に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置
は、薄板用収納保管容器に薄板を自動的に出し入れさせ
るために蓋体を自動的に着脱させる薄板用収納保管容器
用蓋開閉装置において、各部品を収納支持する筐体と、
上記薄板用収納保管容器を正確に位置決めして支持する
容器載置台と、当該容器載置台を前後へ移動させる容器
載置台移動機構と、上記薄板用収納保管容器の種類に応
じて上記容器載置台移動機構による上記薄板用収納保管
容器の移動距離等を制御するために薄板用収納保管容器
の種類を判別する種類判別センサと、上記容器載置台に
載置された薄板用収納保管容器に面して設けられ当該薄
板用収納保管容器の蓋体を把持して着脱させる蓋体着脱
機構と、当該蓋体着脱機構を支持して昇降させる昇降機
構とから構成されたことを特徴とする。

【０００７】以上の構成により、種類判別センサで、薄
板用収納保管容器の種類を判別し、その薄板用収納保管
容器に応じた距離だけ容器載置台移動機構で薄板用収納
保管容器を蓋体着脱機構まで移動させる。次いで、蓋体
着脱機構で薄板用収納保管容器の蓋体を取り外し、昇降
機構で蓋体着脱機構と共に蓋体を下部に降下させて、薄
板用収納保管容器を開放させる。その後、薄板用収納保
管容器に対して薄板を自動的に出し入れさせる。

【０００８】第２の発明に係る薄板用収納保管容器用蓋
開閉装置は、第１の発明に係る薄板用収納保管容器用蓋
開閉装置において、上記筐体が、装置の両側を覆う両側
板と、当該両側板と相まって上記容器載置台移動機構、
蓋体着脱機構及び昇降機構を覆うと共に全体を支える芯
板とを備えて構成されたことを特徴とする。

【０００９】以上の構成により、薄板用収納保管容器用
蓋開閉装置の各部品は、両側板と芯板とで支えられた筐
体内に収納される。

【００１０】第３の発明に係る薄板用収納保管容器用蓋
開閉装置は、第１又は第２の発明に係る薄板用収納保管
容器用蓋開閉装置において、上記容器載置台移動機構、
蓋体着脱機構及び昇降機構が上記筐体内に装着されると
共に、当該筐体の下部に送風機が設けられたことを特徴
とする。

【００１１】上記構成により、送風機が作動すると、空
気が筐体の出入口から流入して筐体内を通過して送風機
から外部に排出される。このとき、各機構の作動等によ
って生じた塵埃等は、空気と共に外部に排出され、処理
される。

【００１２】第４の発明に係る薄板用収納保管容器用蓋
開閉装置は、第３の発明に係る薄板用収納保管容器用蓋
開閉装置において、上記送風機が、高性能フィルタを備
えたことを特徴とする。

【００１３】上記構成により、高性能フィルタで塵埃等
が濾過される。濾過された後の空気は、室内の排気側に
送ってもよく、問題にならなければ室内にそのまま排出
してもよい。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を添付図
面に基づいて説明する。

【００１５】図１は本実施形態に係る薄板用収納保管容
器用蓋開閉装置を示す側面断面図、図２は本実施形態に
係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置を示す側面断面
図、図３は本実施形態に係る薄板用収納保管容器用蓋開
閉装置を示す平面断面図、図４は本実施形態に係る薄板
用収納保管容器用蓋開閉装置の種類判別センサの部分を
示す要部拡大図、図５は本実施形態に係る薄板用収納保
管容器用蓋開閉装置の蓋体着脱機構を示す平面図、図６
は本実施形態に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置の
蓋体着脱機構を示す側面図、図７は本実施形態に係る薄
板用収納保管容器用蓋開閉装置の蓋体把持部を示す側面
図、図８は本実施形態に係る薄板用収納保管容器用蓋開
閉装置の第２機構部を示す平面図、図９は本実施形態に
係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置の第２機構部を示
す平面図、図１０は本実施形態に係る薄板用収納保管容
器用蓋開閉装置の蓋体着脱機構を示す側面図、図１１は
本実施形態に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置を示
す平面断面図、図１２は本実施形態に係る薄板用収納保
管容器用蓋開閉装置を示す側面断面図、図１３は本実施
形態に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置を示す正面
断面図である。

【００１６】本実施形態に係る薄板用収納保管容器用蓋
開閉装置１は図１〜図３に示すように主に、筐体２と、
容器載置台３と、容器載置台移動機構４と、種類判別セ
ンサ５と、蓋体着脱機構６と、昇降機構７と、送風機８
とから構成されている。

【００１７】筐体２は、装置全体を支えるための部材で
ある。この筐体２は、装置の両側を覆う２つ側板９，１
０と、この両側板９，１０と相まって容器載置台移動機
構４、蓋体着脱機構６及び昇降機構７を覆うと共に全体
を支える芯板１１と、これらを覆うカバー１２とから構
成されている。

【００１８】側板９，１０は、奥側（図１中の右側）に
位置する昇降室１４の側壁を構成する縦長部と、手前側
に位置する収納室１５の側壁を構成する五角形部とから
構成されている。芯板１１は、装置の中央部を縦方向に
仕切るための板材である。この芯板１１によって、昇降
室１４と収納室１５とが仕切られていると共に昇降室１
４の手前側壁が構成されている。芯板１１の上部には、
昇降室１４へ薄板用収納保管容器１６（図４参照）を出
し入れするための出入口１４Ａが設けられている。昇降
室１４のうち出入口１４Ａの反対側には、搬送装置等に
よって半導体シリコンウエハが出し入れされる開口１４
Ｂが設けられている。

【００１９】昇降室１４及び収納室１５は、側板９，１
０と芯板１１とカバー１２とで形成されている。昇降室
１４は、蓋体着脱機構６を収納してその昇降を許容する
ための縦長の部屋である。収納室１５は、容器載置台移
動機構４及び送風機８を収納するための部屋である。上
記側板９，１０、芯板１１で装置全体を支えて、各部品
が収納支持されている。

【００２０】容器載置台３は、薄板用収納保管容器１６
を正確に位置決めして支持するための部材である。この
容器載置台３の上側面には、薄板用収納保管容器１６を
正確に位置決めするための位置決めピン１８が３カ所に
設けられている。容器載置台３は、容器載置台移動機構
４に支持されて、薄板用収納保管容器用蓋開閉装置１の
前後（図１中の左右方向）へ移動されるようになってい
る。

【００２１】容器載置台移動機構４は、容器載置台３を
前後へ移動させるための装置である。この容器載置台移
動機構４は、載置台側スライダ２０と、載置台側案内レ
ール２１と、移動側スライダ２２と、移動側案内レール
２３と、駆動シリンダ２４から構成されている。

【００２２】載置台側スライダ２０は容器載置台３に固
定され、載置台側案内レール２１に摺動可能に支持され
ている。載置台側案内レール２１は、筐体２側に装置の
前後方向へ向けて設けられ、載置台側スライダ２０を装
置の前後方向に移動させるようになっている。移動側ス
ライダ２２は、載置台側スライダ２０に固定され、一体
的に移動するようになっている。移動側案内レール２３
は、移動側スライダ２２と係止されると共に、駆動シリ
ンダ２４に固定されている。駆動シリンダ２４は筐体２
側に固定されている。移動側案内レール２３は斜めに配
設され、駆動シリンダ２４で左右に移動されることで、
載置台側スライダ２０（移動側スライダ２２）を前後に
移動させるようになっている。即ち、筐体２に支持され
た駆動シリンダ２４が移動側案内レール２３を左右に移
動させることにより、移動側スライダ２２がこの移動側
案内レール２３に沿って移動し、載置台側スライダ２０
が載置台側案内レール２１に沿って前後に移動するよう
になっている。

【００２３】駆動シリンダ２４は、その移動距離が正確
に制御されている。さらに、移動側案内レール２３を斜
めに配設することで、載置台側スライダ２０（容器載置
台３）の移動距離が正確に制御されている。

【００２４】種類判別センサ５は、薄板用収納保管容器
１６の種類を判別するセンサである。この種類判別セン
サ５としては、種々の方式のセンサを用いることができ
る。ここでは、光学式センサを用いている。具体的に
は、検出光を照射し、対象物に反射して戻ってきた反射
光を検出することで薄板用収納保管容器１６の存在を検
出する。このとき、薄板用収納保管容器１６が異なる種
類の場合、本体側は規格で決められて共通しているが、
蓋体１６Ａが薄板用収納保管容器１６の種類に応じて異
なっている。即ち、本体側が容器載置台３に正確に位置
決めされている場合、蓋体１６Ａの位置（高さ）が異な
ってくる。このため、その位置を検出することで、薄板
用収納保管容器１６の種類を特定することができる。こ
こでは、二種類の薄板用収納保管容器１６を特定するた
めに、２つの種類判別センサ５を並べて配設されてい
る。各種類判別センサ５は、図４に示すように、芯板１
１の出入口１４Ａの外側に配設されている。

【００２５】蓋体着脱機構６は、薄板用収納保管容器１
６の蓋体１６Ａを着脱させるための装置である。この蓋
体着脱機構６は、図３及び図５〜図１０に示すように、
昇降機構７に支持された状態で、容器載置台３に載置さ
れた薄板用収納保管容器１６に面して設けられている。
蓋体着脱機構６は、容器支持部３１と、筐体部３２と、
出入れ部３３と、第１機構部３４と、第２機構部３５と
から構成されている。ここでは、二種類の薄板用収納保
管容器１６に対応させているため、第１機構部３４及び
第２機構部３５の２種類の機構が設けられている。

【００２６】容器支持部３１は、出入口１４Ａの周縁部
の４カ所の位置に内側へ向けて設けられ、薄板用収納保
管容器１６の本体側を支持するための装置である。この
容器支持部３１は、出没シリンダ３１Ａと、係止爪３１
Ｂとから構成されている。出没シリンダ３１Ａのピスト
ン軸に係止爪３１Ｂが取り付けられ、出没シリンダ３１
Ａの伸張によって係止爪３１Ｂ薄板用収納保管容器１６
の本体側に係止して本体側を支持するようになってい
る。

【００２７】筐体部３２は、両側壁３２Ａ，３２Ｂと、
背面壁３２Ｃとから構成されている。これらに囲まれて
第１機構部３４等が設けられている。

【００２８】出入れ部３３は、支持板部３８と、前後移
動案内部３９と、出入れ駆動部４０とから構成されてい
る。

【００２９】支持板部３８は、薄板用収納保管容器１６
の蓋体１６Ａよりも多少大きい四角形状の板材で構成さ
れ、第１機構部３４及び第２機構部３５を支持してい
る。

【００３０】前後移動案内部３９は、支持板部３８の両
側を支持して支持板部３８を前後に移動させるための装
置である。前後移動案内部３９は、前後方向に向けて設
けられた案内棒３９Ａと、この案内棒３９Ａに摺動可能
に支持されたスライダ３９Ｂとから構成されている。案
内棒３９Ａは金属棒で構成されている。スライダ３９Ｂ
は、摺動性に優れ、かつ塵埃等の発生の少ない合成樹脂
で構成されている。

【００３１】出入れ駆動部４０は、一端が支持板部３８
の中央部に連結されて左右の延びた２つのリンク部４２
と、このリンク部４２の他端に連結された２つのスライ
ダ４３と、背面壁３２Ｃに取り付けられて各スライダ４
３を左右方向に案内する２つの案内レール４４と、各案
内レール４４と同じ方向に配設されて背面壁３２Ｃに取
り付けられスライダ４３に連結されてこのスライダ４３
を左右に移動させる２つ駆動シリンダ４５とから構成さ
れている。

【００３２】リンク部４２は、支持板部３８とスライダ
４３を直接に連結する第１リンク４２Ａと、支持板部３
８に固定された支持筒４２Ｂに摺動可能に挿入された摺
動軸４２Ｃとスライダ４３を連結する第２リンク４２Ｄ
とから構成されている。この第１リンク４２Ａ及び第２
リンク４２Ｄによって、左右のスライダ４３が同期され
るようになっている。これにより、支持板部３８が安定
して出し入れされる。

【００３３】第１機構部３４は、蓋体把持部４７と、ロ
ック解除部４８と、蓋体押圧部４９とから構成されてい
る。

【００３４】蓋体把持部４７は、蓋体１６Ａを両側から
把持するための部材である。支持板部３８の４カ所に位
置に設けられている。ここでは、蓋体把持部４７とし
て、２種類の装置を説明する。第１の蓋体把持部４７
は、図５に示すように、駆動シリンダ４７Ａと、係止爪
４７Ｂとから構成されている。駆動シリンダ４７Ａは、
出入れ部３３の支持板部３８の左右に２つ設けられてい
る。各駆動シリンダ４７Ａはそのピストン軸が左右方向
外方へ向けて出没動するように配設されている。さら
に、各駆動シリンダ４７Ａは支持板部３８の内側面に取
り付けられられている。即ち、昇降室１４の内側に設け
られている。係止爪４７Ｂは、支持板部３８に設けられ
た案内レール４７Ｃに支持された状態で左右に移動可能
に取り付けられている。各係止爪４７Ｂは、各駆動シリ
ンダ４７Ａのピストン軸にそれぞれ連結されている。

【００３５】第２の蓋体把持部４７は、図７に示すよう
に、駆動部４７Ｄと、係止爪４７Ｂとから構成されてい
る。駆動部４７Ｄは、出没ネジ棒４７Ｅと、駆動ナット
４７Ｆと駆動モータ（図示せず）とから構成されてい
る。係止爪４７Ｂは上記同様である。これにより、駆動
モータで駆動ナット４７Ｆが回転されて、出没ネジ棒４
７Ｅが出没動して係止爪４７Ｂが回動される。

【００３６】ロック解除部４８は、駆動シリンダ４８Ａ
と、押圧片４８Ｂとから構成されている。駆動シリンダ
４８Ａは、支持板部３８に垂直に取り付けられている。
即ち、駆動シリンダ４８Ａのピストン軸が外側（手前
側）へ出没するように取り付けられている。押圧片４８
Ｂは、薄板用収納保管容器１６のロック機構のレバー部
（図示せず）を押圧してロックを解除するための部材で
ある。押圧片４８Ｂは塵埃等の発生の少ない合成樹脂で
成形されている。ロック解除部４８は、薄板用収納保管
容器１６のロック機構に応じた個数だけ設けられる。ロ
ック機構は通常、薄板用収納保管容器１６の四隅に設け
られるので、ここでは４個設けられている。

【００３７】蓋体押圧部４９は、薄板用収納保管容器１
６の蓋体１６Ａを押圧して蓋体１６Ａを本体側に確実に
固定するための部材である。蓋体押圧部４９は、ロック
解除部４８と同様に、駆動シリンダ４９Ａと、押圧片４
９Ｂとから構成されている。さらに、蓋体押圧部４９
は、ロック解除部４８の外側に設けられ、蓋体１６Ａの
縁部に当接して押圧するようになっている。

【００３８】第２機構部３５は、他の薄板用収納保管容
器１６に対応したものであるが、ここでは二種類の構成
を示す。図３、図８及び図９に示す第２機構部３５は、
支持板部３８の両側端部にそれぞれ設けられている。こ
の第２機構部３５は、腕部５１と、爪部５２と、押圧部
５３とから構成されている。

【００３９】腕部５１は、支持板部３８の両側にそれぞ
れ設けられている。腕部５１の基端部は支持板部３８の
左右の端部に回動可能にそれぞれ支持されている。さら
に、腕部５１の基端部には、駆動シリンダ５１Ａが取り
付けられている。この駆動シリンダ５１Ａは、支持板部
３８にその基端部が支持され、先端部が腕部５１の基端
部に取り付けられている。駆動シリンダ５１Ａが伸縮す
ることで、左右の腕部５１が回動して、互いに近接離間
するようになっている。これにより、各腕部５１の先端
部が薄板用収納保管容器１６の蓋体１６Ａを把持したり
離したりする。爪部５２は、腕部５１の先端部に回動可
能に取り付けられている。爪部５２の基端部は駆動シリ
ンダ５２Ａの先端に連結されている。駆動シリンダ５２
Ａの基端は腕部５１に支持され、この駆動シリンダ５２
Ａが伸縮することで爪部５２が回動して薄板用収納保管
容器１６のラッチ１６Ｃを把持したり離したりするよう
になっている。押圧部５３は、腕部５１のうち上記爪部
５２の基端側に回動可能に支持されている。この押圧部
５３は、ラッチ１６Ｃの係止片１６Ｄを押圧して押し広
げるための部材である。なお、係止片１６Ｄは本体側に
係止して蓋体１６Ａを本体側に固定するための部材であ
る。押圧部５３は、腕部５１に支持された駆動シリンダ
５３Ａの先端に連結されている。この駆動シリンダ５３
Ａが収縮することで、押圧部５３が回動してその先端部
が延出し、図８の状態から図９の状態のように、係止片
１６Ｄを押し曲げる。

【００４０】図１０に示す第２機構部３５Ａは、腕部５
５と、爪部５６と、押圧部５７とから構成されている。
腕部５５及び爪部５６は、上記第２機構部３５と同様の
機能を有している。押圧部５７は、シリンダ５７Ａと、
押圧片５７Ｂとから構成されている。シリンダ５７Ａで
押圧片５７Ｂが出没されることで、図のように係止片１
６Ｄを押し曲げる。

【００４１】昇降機構７は蓋体着脱機構６を支持して昇
降させるための装置である。この昇降機構７は、図１〜
３及び図１３に示すように、昇降室１４側に位置して蓋
体着脱機構６の支持板部３８に一体的に連結されて下方
へ垂下された昇降支持板部６１と、この昇降支持板部６
１から左右の長穴６２を介して収納室１５側に回り込ん
で形成された２つの支持腕部６３ と、各支持腕部６３
に連結されて上下に昇降させる２つのスライダ６４と、
芯板１１の収納室１５側に設けられて各スライダ６４が
支持される縦方向に配設された２つの案内レール６５
と、各支持腕部６３を互いに連結して移動を同期させる
連結腕部６６と、この連結腕部６６に取り付けられて蓋
体着脱機構６を昇降させる昇降シリンダ６７とから構成
されている。案内レール６５は収納室１５側に、しかも
長穴６２から十分な距離を置いて設けられている。これ
により、案内レール６５で塵埃等が発生しても昇降室１
４側に飛散しないようにするためである。

【００４２】送風機８は、筐体２内の空気を外部に排出
するための装置である。送風機８は収納室１５の下部に
設けられ、収納室１５の空気を直接的に排出する。昇降
室１４と収納室１５とは、芯板１１の長穴６２を介して
連通されている。これにより、空気は、筐体２の出入口
１４Ａから昇降室１４内に流入し、昇降室１４内を下降
して、長穴６２から収納室１５内に流入し、送風機８に
よって外部に排出されるようになっている。送風機８に
は高性能フィルタ６９が設けられ、塵埃等を除去するよ
うになっている。高性能フィルタ６９はＨＥＰＡフィル
タによって構成されている。送風機８の吹き出し口側に
はダクト７０が設けられている。このダクト７０は、薄
板用収納保管容器用蓋開閉装置１の設置場所の状況に応
じて配管される。空気清浄機の吸引部が床部設けられて
いる場合は、その吸引部に接続される。高性能フィルタ
６９を設けずに、ダクト７０を外部まで配設する場合も
ある。また、クリーン度があまり高くないところでは、
ダクト７０を設けず、高性能フィルタ６９を通すだけで
室内に排出する場合もある。

【００４３】上記構成の各シリンダは、油圧又は空気圧
を用いたシリンダで、制御部（図示せず）に個別に配管
接続され、それぞれ個別に制御されるようになってい
る。具体的な制御は後述する。

【００４４】［動作］以上のように構成された薄板用収
納保管容器用蓋開閉装置１は、次のようにして使用され
る。

【００４５】まず、薄板用収納保管容器１６は容器載置
台３に載置される。これにより、容器載置台３が作動す
る。具体的には、駆動シリンダ２４が移動側案内レール
２３を左右に移動させて移動側スライダ２２及び載置台
側スライダ２０を介して容器載置台３に支持された薄板
用収納保管容器１６を前方へ移動させる。設定位置まで
移動されると、種類判別センサ５が蓋体１６Ａの位置を
検出して薄板用収納保管容器１６の種類を判別する。こ
の種類判別センサ５の判別に応じて蓋体１６Ａの取り外
し作業が行われる。具体的には次の２通りとなる。

【００４６】第１の取り外し作業は次のようになる。容
器載置台移動機構４で薄板用収納保管容器１６設定位置
まで前進されると、容器支持部３１の係止爪３１Ｂが出
没シリンダ３１Ａによって延出されて薄板用収納保管容
器１６の本体側を支持する。次いで、蓋体着脱機構６の
出入れ駆動部４０の駆動シリンダ４５が作動し、リンク
部４２によって支持板部３８が薄板用収納保管容器１６
の蓋体１６Ａに接触する位置まで延出される。

【００４７】次いで、各蓋体把持部４７の駆動シリンダ
４７Ａが作動して係止爪４７Ｂが互いに近接する方向に
移動し、蓋体１６Ａのフランジ部を把持する。次いで、
ロック解除部４８の駆動シリンダ４８Ａが作動して押圧
片４８Ｂが延出されて、蓋体１６Ａのロック機構が解除
される。

【００４８】この状態で、蓋体着脱機構６の出入れ駆動
部４０の駆動シリンダ４５が作動して蓋体１６Ａを昇降
室１４内へ引き込む。蓋体１６Ａが昇降室１４内に完全
に引き込まれた後は、容器載置台移動機構４が多少後退
して薄板用収納保管容器１６の本体側を手前に引き、蓋
体１６Ａと接触しないようにして、昇降機構７の昇降シ
リンダ６７を作動させる。昇降シリンダ６７を収縮させ
て、蓋体着脱機構６を昇降室１４内の下方へ引き下げ
る。これにより、昇降室１４の上部の出入口１４Ａ及び
開口１４Ｂが開放され、容器載置台移動機構４によって
薄板用収納保管容器１６の本体が前方へ延出される。こ
の状態で、半導体シリコンウエハの出し入れ作業が行わ
れる。

【００４９】半導体シリコンウエハの出し入れ作業が終
了すると、容器載置台移動機構４が薄板用収納保管容器
１６の本体を手前側へ移動させ、昇降機構７の昇降シリ
ンダ６７が作動して蓋体着脱機構６を昇降室１４の上方
に上昇させる。

【００５０】次いで、容器載置台移動機構４が薄板用収
納保管容器１６の本体を僅かに前方へ移動させ、容器支
持部３１の出没シリンダ３１Ａを作動させて係止爪３１
Ｂで本体を支持する。次いで、蓋体着脱機構６の駆動シ
リンダ４５が作動して蓋体１６Ａを本体に挿入する。次
いで、蓋体１６Ａを本体側に押圧して装着する。この処
理、駆動シリンダ４５をそのまま作動させて蓋体１６Ａ
を本体側へ押圧する場合と、蓋体押圧部４９の駆動シリ
ンダ４９Ａを作動させて押圧片４９Ｂで蓋体１６Ａの周
縁部を押圧する場合とがある。

【００５１】これにより、蓋体１６Ａが本体側に取り付
けられた後、容器載置台移動機構４が薄板用収納保管容
器１６を手前側に戻して、作業は完了する。

【００５２】第２の取り外し作業は次のようになる。な
お、全体的な作業は上記第１の取り外し作業とどうよう
であるため、ここでは、蓋体１６Ａの取り外し作業のみ
を説明する。

【００５３】支持板部３８が薄板用収納保管容器１６側
へ延出されたあと、第２機構部３５の腕部５１の駆動シ
リンダ５１Ａが作動して腕部５１を回動させる。これに
より、腕部５１の先端の爪部５２が薄板用収納保管容器
１６の蓋体１６Ａのラッチ１６Ｃに係止する。この状態
で、爪部５２の駆動シリンダ５２Ａが作動して爪部５２
が回動され、ラッチ１６Ｃの先端に引っかかってラッチ
１６Ｃを把持する。次いで、押圧部５３の駆動シリンダ
５３Ａが収縮して押圧部５３が回動し、押圧部５３の先
端部が延出して、図８の状態から図９の状態のように、
係止片１６Ｄを押し曲げる。これにより、蓋体１６Ａが
本体側から解除される。この状態で、蓋体１６Ａが昇降
室１４内に引き込まれ、上記同様の作業が行われる。

【００５４】送風機８は作業中は常時作動されており、
図１１〜図１３に示すように、薄板用収納・保管容器用
蓋開閉装置１の周囲の空気は、出入口１４Ａの両側から
昇降室１４内に流入し、長穴６２から収納室１５内に流
入して送風機８から外部に排出される。即ち、薄板用収
納・保管容器用蓋開閉装置１内をダクトのようにして装
置全体に空気が流れる。このとき、内部で塵埃等が飛散
した場合、や空気中に塵埃等が混入している場合は、そ
の塵埃等を空気と一緒に送風機８側へ流し、高性能フィ
ルタ６９で濾過し、外部への飛散を防止する。

【００５５】［効果］以上のように、種類判別センサ５
で、薄板用収納保管容器１６の種類を判別し、その薄板
用収納保管容器１６に応じた蓋体着脱作業を自動的に行
うことができる。即ち、種類の異なる薄板用収納保管容
器の蓋体を自動的に着脱することができるようになる。

【００５６】側板９，１０と芯板１１とで全体を支え
て、各部品を収納支持するようにしたので、構造が簡単
で、小型化することができる。

【００５７】収納室１５に送風機８を設け、薄板用収納
・保管容器用蓋開閉装置１内をダクトのようにして全体
に空気を流すようにしたので、装置内の空気は塵埃等と
一緒に排出され、周囲に飛散することがなくなる。

【００５８】送風機８には高性能フィルタ６９を設けた
ので、塵埃等が濾過され、周囲に飛散するのを防止する
ことができる。

【００５９】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の薄板用収
納保管容器によれば次のような効果を奏する。

【００６０】（１） 種類判別センサで薄板用収納保管
容器の種類を判別するので、その薄板用収納保管容器に
応じた蓋体着脱作業を自動的に行うことができる。

【００６１】（２） 両側板と芯板とで全体を支えて、
各部品を収納支持するようにしたので、構造が簡単で、
小型化することができる。

【００６２】（３） 収納室に送風機を設け、薄板用収
納・保管容器用蓋開閉装置内をダクトのようにして全体
に空気を流すようにしたので、装置内の空気は塵埃等と
一緒に排出され、周囲に飛散することがなくなる。

【００６３】（４） 送風機には高性能フィルタを設け
たので、塵埃等が濾過され、周囲に飛散するのを防止す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置
を示す側面断面図である。

【図２】本発明に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置
を示す側面断面図である。

【図３】本発明に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置
を示す平面断面図である。

【図４】本発明に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置
の種類判別センサの部分を示す要部拡大図である。

【図５】本発明に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置
の蓋体着脱機構を示す平面図である。

【図６】本発明に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置
の蓋体着脱機構を示す側面図である。

【図７】本発明に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置
の蓋体把持部を示す側面図である。

【図８】本発明に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置
の第２機構部を示す平面図である。

【図９】本発明に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置
の第２機構部を示す平面図である。

【図１０】本発明に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装
置の蓋体着脱機構を示す側面図である。

【図１１】本発明に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装
置を示す平面断面図である。

【図１２】本発明に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装
置を示す側面断面図である。

【図１３】本発明に係る薄板用収納保管容器用蓋開閉装
置を示す正面断面図である。

【符号の説明】

１：薄板用収納・保管容器用蓋開閉装置、２：筐体、
３：容器載置台、４：容器載置台移動機構、５：種類判
別センサ、６：蓋体着脱機構、７：昇降機構、８：送風
機、９，１０：側板ハンドル、１１：芯板、１２：カバ
ー、１４：昇降室、１４Ａ：出入口、１４Ｂ：開口、１
５：収納室、１６：薄板用収納保管容器、１６Ａ：蓋
体、１８：位置決めピン、２０：載置台側スライダ、２
１：載置台側案内レール、２２：移動側スライダ、２
３：移動側案内レール、２４：駆動シリンダ、３１：容
器支持部、３１Ａ：出没シリンダ、３１Ｂ：係止爪、３
２：筐体部、３２Ａ，３２Ｂ：両側壁、３２Ｃ：背面
壁、３３：出入れ部３４：第１機構部、３５：第２機構
部、３８：支持板部、３９：前後移動案内部、３９Ａ：
案内棒、３９Ｂ：スライダ、４０：出入れ駆動部、４
２：リンク部、４２Ａ：第１リンク、４２Ｂ：支持筒、
４２Ｃ：摺動軸、４２Ｄ：第２リンク、４３：スライ
ダ、４４：案内レール、４５：駆動シリンダ、４７：蓋
体把持部、４７Ａ：駆動シリンダ、４７Ｂ：係止爪、４
７Ｃ：案内レール、４７Ｄ：駆動部、４７Ｅ：出没ネジ
棒、４７Ｆ：駆動ナット、４８：ロック解除部、４８
Ａ：駆動シリンダ、４８Ｂ：押圧片、４９：蓋体押圧
部、４９Ａ：駆動シリンダ、４９Ｂ：押圧片、５１：腕
部、５１Ａ：駆動シリンダ、５２：爪部、５２Ａ：駆動
シリンダ、５３：押圧部、５３Ａ：駆動シリンダ、５
５：腕部、５６：爪部、５７：押圧部、５７Ａ：シリン
ダ、５７Ｂ：押圧片、６１：昇降支持板部、６２：長
穴、６３：支持腕部、６４：スライダ、６５：案内レー
ル、６６：連結腕部、６７：昇降シリンダ、６９：高性
能フィルタ、７０：ダクト。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄板用収納保管容器に薄板を自動的に出
   し入れさせるために蓋体を自動的に着脱させる薄板用収
   納保管容器用蓋開閉装置において、 各部品を収納支持する筐体と、 上記薄板用収納保管容器を正確に位置決めして支持する
   容器載置台と、 当該容器載置台を前後へ移動させる容器載置台移動機構
   と、 上記薄板用収納保管容器の種類に応じて上記容器載置台
   移動機構による上記薄板用収納保管容器の移動距離等を
   制御するために薄板用収納保管容器の種類を判別する種
   類判別センサと、 上記容器載置台に載置された薄板用収納保管容器に面し
   て設けられ当該薄板用収納保管容器の蓋体を把持して着
   脱させる蓋体着脱機構と、 当該蓋体着脱機構を支持して昇降させる昇降機構とから
   構成されたことを特徴とする薄板用収納保管容器用蓋開
   閉装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の薄板用収納保管容器用
   蓋開閉装置において、 上記筐体が、装置の両側を覆う両側板と、当該両側板と
   相まって上記容器載置台移動機構、蓋体着脱機構及び昇
   降機構を覆うと共に全体を支える芯板とを備えて構成さ
   れたことを特徴とする薄板用収納保管容器用蓋開閉装
   置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載の薄板用収納保管
   容器用蓋開閉装置において、 上記容器載置台移動機構、蓋体着脱機構及び昇降機構が
   上記筐体内に装着されると共に、当該筐体の下部に送風
   機が設けられたことを特徴とする薄板用収納保管容器用
   蓋開閉装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の薄板用収納保管容器用
   蓋開閉装置において、 上記送風機が、高性能フィルタを備えたことを特徴とす
   る薄板用収納保管容器用蓋開閉装置。