JP2003172721A - ポリマータイプの湿度センサ - Google Patents

ポリマータイプの湿度センサ

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JP2003172721A JP2002244215A JP2002244215A JP2003172721A JP 2003172721 A JP2003172721 A JP 2003172721A JP 2002244215 A JP2002244215 A JP 2002244215A JP 2002244215 A JP2002244215 A JP 2002244215A JP 2003172721 A JP2003172721 A JP 2003172721A
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鐘哲 孫
Jung-Eui Hoh
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根錫 呉
Won-Woo Lee
源雨 李
So-Hyun Lee
昭顯 李
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子レンジ及びその製造方法に応用されるポ
リマータイプ(Polymer-Type)湿度センサを提供する。 【解決手段】 電子レンジで使用するためのポリマータ
イプ湿度センサはゴムと予め設定された量の炭素で構成
される重合体構造物を有し、また該重合体構造物に連結
される一対の電極を有する。本発明に係るポリマータイ
プ湿度センサは早い応答速度と耐久性、優れた粘着性、
低いヒステリシス、高温と高い相対湿度に露出された場
合の高い安定性を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は湿度センサに係り、
特に電子レンジ及びその製造方法に応用されるポリマー
タイプ(Polymer-Type)湿度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】センサはマイクロプロセッサに多様な情
報を提供し、マイクロプロセッサはこの情報を処理して
ユーザに有用な情報を提供する。広範であり多様な情報
がコンピュータとマイクロプロセッサにより処理され人
または機械のような受領者/ユーザに伝達される。しか
し、コンピュータで使用するための基本的な情報を感知
して検出することを基本目的とするセンサ技術は高い複
雑性のためコンピュータ技術や通信技術に比べて相当に
遅れている。このため、センサは多様なシステムを機能
的に改善するのに大きな障害要素になった。
【０００３】湿度は共通環境に対する一般変数である
が、この湿度を制御することは精密製造業、繊維、食
品、電子産業のような多様な分野において極めて重要な
ものとして認識される。
【０００４】電子レンジでは調理される食品の調理また
は加熱状態を監視するために赤外線温度センサや気体セ
ンサ、湿度センサなどが使用される。赤外線温度センサ
は他のセンサに比べて高い精度を有するが、高価で容器
の形態によりエラーを誘発する場合がある。気体センサ
は赤外線温度センサよりは低廉であるが、多種の食品に
応じて発生する多種の気体のうち所望の気体を選択的に
感知できず、これは単一食品の場合も同様である。これ
とは違って、湿度センサのコストは相対的に低廉であ
る。また、湿度センサは全類型の食品が加熱される際発
生する水分子や水分を検出してその食品の調理状態を監
視するよう設計される。このような長所のため湿度セン
サは一般目的の電子レンジに極めて広範囲に用いられ
る。
【０００５】従来のＭｇＣｒ２Ｏ４-ＴｉＯ２鉱物固溶
体ウェーハを用いた湿度センサがNittaの特許(ＵＳ４、
０８０、５６４)を通して最初に開発された。その後引
き続きＴｉＯ２-Ｖ２Ｏ５、ＭｇＡｌ２Ｏ４、ＺｎＣｒ
２Ｏ-ＬｉＺｎＶＯ４、Ａｌ２Ｏ３などを用いたセラミ
ック湿度センサが開発された。その後ポリマー(Polyme
r)を用いた湿度センサが報告された。現在はＣＭＯＳ技
術の長所を用いた薄膜またはＭＯＳキャパシタ湿度セン
サの開発のために活発な研究活動がなされつつある。セ
ラミックまたは厚膜形湿度センサは相対的に製造が単純
であるが生産性が低く汚れやすく、薄膜またはＣＭＯＳ
キャパシタ型湿度センサは製造工程が極めて複雑であ
る。
【０００６】有機重合体物質は柔軟性と軽さ、耐腐食
性、電気的絶縁性のため数十年以上幅広く使用されてき
た。しかし、有機重合体物質は低硬度と耐久性、そして
無機物質に比べて低い伝導性などのような固有の特性の
ためその使用が制限的であった。しかし、近年は重合体
の照射(irradiation)の発展により重合体の物理的特性
と化学的特性を変化させうるようになった(化学処理と
加熱、Ｘ線照射、紫外線及び/または高エネルギー電子
ビームが照射として一般化された)。産業と医療分野に
おいてこのような処理を通して重合体変形、表面コーテ
ィング、熱収縮チューブの生産、熱的及び電気的抵抗を
有する絶縁体、生物医学物質などの数多くの応用分野を
発見した。
【０００７】のみならず、重合技術は重合体がその両端
に電気端子を有することができるほどまで発展して、重
合体があたかも抵抗センサのように動作できるようにな
った。重合体の分極はイオンを注入したり乾式工程で強
い外部電界を加えることにより得られるが、これをイオ
ン変形と称する。この技術は、強い電界の印加を要する
高エネルギー照射を通してなされる。高エネルギーイオ
ンビームの照射技術は重合体の伝導性を向上させること
ができ、また通信分野の導波路(waveguide)に適用する
ように発展してきた。
【０００８】図１（ａ）は電子レンジ１０で使用される
従来のセラミック湿度センサ４を示した図である。マグ
ネトロン２は高周波電磁波を発生させるが、この電磁波
は食品３を調理することと関連する。セラミック湿度セ
ンサ４は調理途中に食品３から発生する水蒸気(図示せ
ず)を検出してマイコン５に信号を出力し、マイコン５
はマグネトロン２を制御する。一般に、従来のセラミッ
ク湿度センサ４は ＭｇＣｒＯ４-ＴｉＯ２に基づいた半
導体セラミックで作られる。
【０００９】図１（ｂ）はＭｇＣｒＯ４-ＴｉＯ２に基
づいた半導体セラミックで作られたセラミック湿度セン
サ４の表面と接触する水蒸気を示した図である。抵抗値
を変わらせるために小さい水滴４１がセラミック湿度セ
ンサ４の表面に形成された数多くの吸収孔４２を通して
セラミック湿度センサ４に流入されればセンサの抵抗は
減少する。
【００１０】湿度センサ４を用いた湿度変化の検出は湿
度センサ４に使用された水分感知物質の電気的抵抗また
はキャパシタンスの変化に基づき、その変化は水分感知
物質に吸収または凝縮される水分により決まる。湿度セ
ンサ４の水分感知物質にはＬｉＣｌなどの電解質、Ｓ
ｅ、Ｇｅなどの金属性物質、ＭｇＣｒ２Ｏ４、ＺｎＣｒ
２Ｏ４、ＴｉＯ２、ＳｎＯ２などの焼結された金属酸化
物、Ａｌ２Ｏ３などの多孔性金属酸化膜、ナイロンなど
の伝導性微粒子分散型重合体物質、有機または無機重合
体電解質膜が含まれる。
【００１１】セラミック物質で作られた湿度センサ４は
広い湿度範囲にわたって湿度検出が可能であり、熱抵抗
特性が極めて優秀である。しかし、この湿度センサ４は
使用された金属酸化物の不安定な特性のため、室内温度
に維持されるよう許容されている場合さえも経時変化を
する。特に、金属酸化物に吸収された水分によって形成
される水酸化物や、水分感知面積の減少を誘発する堆積
物により水分に対する感度が比較的に早く悪化する。こ
のことから、湿度センサを２０〜４０分毎に４００〜４
５０℃で加熱して湿度センサそれ自体の機能が回復され
るようにする必要がある。
【００１２】のみならず、セラミック物質で作られた湿
度センサ４の感知能力は基本的に吸収孔４２を通した水
分の物理的吸収を基にするため、感知装置間のエラーを
減らし難い。また吸込孔のサイズと分布、間隙率などの
微細構造を変えることのみならず、セラミック物質の特
性を変えても信頼できる検出特性がやはり得難い。
【００１３】合成樹脂、ナイロンで代表される重合体は
単量体(monomer)と呼ばれる単純な分子の結合を通して
形成される巨大分子で作られる物質である。ポリマータ
イプ湿度センサは湿度を決めるためにセンサの抵抗また
はキャパシタンスの変化量を示すよう設計される。湿度
センサ４に使用された有機重合体の、例えば酢酸セルロ
ース（cellulose acetate）、酢酸酪酸セルロース（cel
lulose acetate butyrate）、ポリエステル(４-vinyl p
yridine)、その他多様な混成重合体などである。しかし
この湿度センサ４に使用された一般の重合体物質は応答
速度が遅く、ヒステリシスが大きく、寿命が縮まる。こ
の短所は高い温度と相対湿度に露出されれば特に酷くな
る。
【００１４】セラミック湿度センサとは違って、重合体
電解質膜のような薄膜物質を用いた湿度センサ４は水分
感知物質が有している水分感応性質(hydroscopicity)と
イオン伝導性などの特性を用いる。従って、水分感知特
性は水分感知物質の微細構造よりは物理化学的特性によ
り決定づけられる。
【００１５】重合体電解質膜に吸収された水分はイオン
物質の分解を助けて使用可能なイオンの数を増やし、結
局特定抵抗率を大幅に減らす。重合体電解質膜を使用し
た湿度センサ４は吸収された水分量が大気の水分含有量
により可逆的に変わることにより、イオン生成及びそれ
による電気的伝導性の変化を招く現象を用いるものであ
る。
【００１６】薄膜物質は再生可能な感度を有するが、そ
れは薄膜物質がその製造条件の影響をほぼ受けないから
である。また、各製品毎に一定した物理的特性を有させ
ることが割合に容易であるが、これは多数個の湿度セン
サ４を同一な基板上で製造できるからである。さらに薄
膜物質はセラミック物質とは違って、湿度センサ４を作
るために特別に高い温度を必要としない。従って、電極
を形成し導線を固定する工程において特別な物質や技術
を必要としない。この長所は周辺回路に集積しやすくな
るのみならず、素子のコストをダウンし小さくて軽く作
られる。しかし、従来の薄膜型湿度センサは複雑な製造
生産構成が要求される。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前述した従来
の技術の問題点を解決するために案出されたもので、そ
の目的は早い応答速度と耐久性、優れた粘着力、低いヒ
ステリシス、低廉なポリマータイプ湿度センサ及びその
製造方法を提供するところにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明に係るポリマータ
イプ湿度センサは、ゴムと炭素で構成され一対の電極が
形成された重合体構造物を備える。このゴムは特殊合成
ゴム(NBR-Acrylic-Nitric Butadiene Rubber)である。
重合体に付加される炭素は１０％〜２５％の範囲を有す
る。ポリマータイプ湿度センサは５００ｋΩ〜２ＭΩの
範囲を有する。ポリマータイプ湿度センサは０％と１０
０％の相対湿度において２×１０６Ωと５×１０５Ωの
インピーダンスを有し、全ての相対湿度範囲にかけたイ
ンピーダンス変化が起こる。ポリマータイプ湿度センサ
の製造方法は、ゴムと炭素を含む混合物を生成し、この
混合物を用いて一対の電極が形成される予め設定された
形態の重合体構造物を形成させる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき本発
明の望ましい実施形態をさらに詳しく説明する。
【００２０】図２は本発明の第１実施形態によるポリマ
ータイプ湿度センサ２００の斜視図である。ポリマータ
イプ湿度センサ２００は重合体２１０の予め設定された
位置に電極２２０を有する。電極２２０は重合体２１０
内に離れて挿入される。水分接触面２３０のような重合
体２１０の表面はその表面に接触した水分を感知するた
めの水分感知面を提供する。ポリマータイプ湿度センサ
２００の重合体２１０と電極２２０は応用システムの必
要に応じて予め設定された多様な形態と位置を有する。
【００２１】図３は本発明の第２実施例によるポリマー
タイプ湿度センサの斜視図である。
【００２２】ポリマータイプ湿度センサ３００は重合体
３１０の両端に互いに対応形成されたブラケット３１５
を用いて形成される予め設定された形態の外部電極３２
０を有する。重合体３１０の表面、すなわち水分接触面
３３０は水分が接触する面積を感知できるようにする。
外部電極３２０とブラケット３１５が単一部品で構成さ
れたり、外部電極３２０とブラケット３１５が別に構成
され外部電極３２０がブラケット３１５に結合されるよ
うにすることもできる。
【００２３】図４は本発明の第３実施例によるポリマー
タイプ湿度センサの斜視図である。ポリマータイプ湿度
センサ４００の重合体４１０は円筒形を有し、その円筒
の両端に電極４２０が形成される。円筒形の重合体４１
０の表面はその表面に当った水分を感知するための水分
接触面４３０を提供する。
【００２４】図５は本発明の実施例によるポリマータイ
プ湿度センサを採用した電子レンジを示す図である。電
子レンジ５００は調理室５１０とマグネトロン５２０、
冷却ファン５３０とを備えて構成される。また、図５に
は食品５５０から発生した水分５４０が冷却ファン５３
０によりポリマータイプ湿度センサ２００のセンサ位置
５６０側に向けることを示した。食品５５０を加熱する
と同時にセンサ位置５６０に置かれたポリマータイプ湿
度センサ２００は水分５４０を検出する。ポリマータイ
プ湿度センサ４００に連結されるマイコン(図示せず)は
ポリマータイプの湿度センサ４００の抵抗値の変化を検
出し、食品５５０の残り加熱時間を計算して自動的に電
子レンジ５００の動作を止める。センサ位置５６０は必
ずしも冷却ファン５３０の反対側に位置する必要はな
く、冷却ファン５３０の近傍または調理室５１０から水
分５４０が排出される他の壁などに位置しても良い。
【００２５】本発明の実施例において、ポリマータイプ
湿度センサは０％と１００％の相対湿度においてそれぞ
れ２×１０６Ωと５×１０５Ωのインピーダンスを有
し、全ての相対湿度範囲にかけたインピーダンス変化が
起こる。また、水分吸収過程(０％ＲＨ（relative humi
dity）→１００％ＲＨ)中の水分感知程度と水分着脱過
程(１００％ＲＨ→０％ＲＨ)中の水分感知程度の差は２
％ＲＨ以下に低い。
【００２６】イオンの極性(Ｈ＋)を用いれば、ポリマー
タイプ湿度センサは全体湿度範囲にかけて水分の変化に
ついて応答するが、抵抗の変化を通してその応答を表現
する。また、このポリマータイプ湿度センサは製造が容
易であり、サイズを最小化できてコストダウンが可能に
なり、家電製品に集積できる長所を有する。
【００２７】ポリマータイプ湿度センサに用いられる本
発明に係る重合体は親水性重合体物質と疎水性重合体物
質の相互結合反応を用いて製造する。さらに具体的には
本発明の重合体は電気的伝導性が向上された天然ゴム化
合物で作られる。具体的に形式は、感知特性の優れた線
形性を有する電子レンジにおける使用に適するようにし
た通り、応用製品の必要に応じて特徴づけられる。例え
ば、本発明に係るポリマータイプ湿度センサ２００は天
然ゴムと炭素で構成された混合物であって、５００ｋΩ
〜２ＭΩの抵抗範囲を有する。ポリマータイプ湿度セン
サ２００は電子レンジのような具体的な混合物が用途に
おいて重合体構造物の体積によって１０％〜２５％の炭
素を含むことを特徴とする。
【００２８】ゴムを使用すれば接触端子間の粘着が改善
され、接触端子の酸化が防止され、湿度センサの長期間
にかけた安定性と耐久性の改善がなされる。従って、露
点を移動させることが可能である。また小さくて低廉な
信頼できる湿度センサを生産することが可能になる。
【００２９】炭素を使用すれば伝導性が付加されること
により湿度と温度が変わる条件下でも湿度検出特性を安
定化することができる。さらに、炭素はゴムの伝導性を
増やし、機械と電気の接合に必要な互換性のためのイン
ピーダンスと電流及び電圧値の設定が容易である。ま
た、設計された幾何学的形態による物質の抵抗を設定す
ることも容易である。すなわち、物質のインピーダンス
を変えることが容易である。
【００３０】また、従来の湿度センサ４に使用された重
合体物質とは違って、本発明の伝導性重合体は早い応答
速度と低いヒステリシス、さらに長寿命のポリマータイ
プ湿度センサ２００を提供する。さらに、従来の重合体
物質とは違って、本発明の伝導性重合体は高い温度と高
い相対湿度に露出されても安定的である。
【００３１】重合体物質の電気伝導性微粒子分散技術を
用いて製造すれば、本発明のポリマータイプ湿度センサ
は天然ゴムに炭素を収容して抵抗を一定に維持すること
により抵抗値が幾何学的形態により変化しやすくなる。
【００３２】
【発明の効果】以上述べた通り、本発明のポリマータイ
プ湿度センサの湿度感知原理は、センサ膜の表面に形成
された吸収孔を通してこのセンサ膜に物理的に吸収され
る水分子の量で決定されるため、本発明の湿度センサの
特性は吸収孔のサイズと分布、間隙率の微細構造のみな
らず、センサの物質的特性によっても決まる。従って、
本発明のポリマータイプ湿度センサはただ許容範囲内で
だけエラーを誘発して信頼できる動作特性を示す。
【図面の簡単な説明】
【図１】 （ａ）従来のセラミック湿度センサを用いる
電子レンジを示した図である。（ｂ）吸収孔を通して小
さい水滴が流入された従来のセラミック湿度センサ表面
の断面図である。
【図２】 本発明の第１実施例によるポリマータイプ湿
度センサの斜視図である。
【図３】 本発明の第２実施例によるポリマータイプ湿
度センサの斜視図である。
【図４】 本発明の第３実施例によるポリマータイプ湿
度センサの斜視図である。
【図５】 本発明の実施例によるポリマータイプ湿度セ
ンサを採用した電子レンジを示した図である。
【符号の説明】
２００ ポリマータイプ湿度センサ ２１０ 重合体 ２２０ 電極 ３００ ポリマータイプ湿度センサ ３１０ 重合体 ３１５ ブラケット ３２０ 外部電極 ４００ ポリマータイプ湿度センサ ４１０ 重合体 ４２０ 電極 ４３０ 水分接触面 ５００ ポリマータイプ湿度センサ ５１０ 調理室 ５２０ マグネトロン ５３０ 冷却ファン ５４０ 水分 ５５０ 食品 ５６０ センサ位置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 呉 根錫 大韓民国京畿道水原市勸善區勸善洞1274 テウォンアパート514−903 (72)発明者 李 源雨 大韓民国京畿道水原市長安區亭子１洞（番 地なし） ハンラビバルディ635−1503 (72)発明者 李 昭顯 大韓民国京畿道水原市八達區忘浦洞486− ８ ドゴファミリータウン７−302 Ｆターム(参考） 2G046 AA09 BA01 BA08 BA09 BC03 DC14 EA02 EA03 EA04 EB07 FA01 3L086 AA01 BA05 BE11 CB11 CB12 DA17 DA18

Claims (29)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ゴムと炭素を含む予め設定された形態の
    重合体構造物と、 該重合体構造物に接触する一対の電極を含むポリマータ
    イプ湿度センサ。
  2. 【請求項２】 前記重合体構造物に付加される前記炭素
    が１０％〜２５％の範囲を有する請求項１に記載のポリ
    マータイプ湿度センサ。
  3. 【請求項３】 前記ポリマータイプ湿度センサが５００
    ｋΩ〜２ＭΩの抵抗範囲を有する請求項１に記載のポリ
    マータイプ湿度センサ。
  4. 【請求項４】 ０％と１００％の相対湿度においてそれ
    ぞれ２×１０６Ωと５×１０５Ωのインピーダンスを有
    し、全ての相対湿度範囲にわたって相対湿度の関数とし
    てインピーダンス変化が起こる請求項１に記載のポリマ
    ータイプ湿度センサ。
  5. 【請求項５】 前記天然ゴムは特殊合成ゴムである請求
    項１に記載のポリマータイプ湿度センサ。
  6. 【請求項６】 前記重合体構造物に付加される前記炭素
    が前記重合体構造物の体積によって１０％〜２５％の範
    囲を有する請求項５に記載のポリマータイプ湿度セン
    サ。
  7. 【請求項７】 前記湿度センサが５００ｋΩ〜２ＭΩの
    抵抗範囲を有する請求項６に記載のポリマータイプ湿度
    センサ。
  8. 【請求項８】 ０％と１００％の相対湿度においてそれ
    ぞれ２×１０６Ωと５×１０５Ωのインピーダンスを有
    し、全ての相対湿度範囲にわたって相対湿度の関数とし
    てインピーダンス変化が起こる請求項７に記載のポリマ
    ータイプ湿度センサ。
  9. 【請求項９】 前記電極が前記重合体構造物の予め設定
    した位置に置かれ、前記重合体構造物から外部に延びる
    請求項８に記載のポリマータイプ湿度センサ。
  10. 【請求項１０】 前記電極が前記重合体構造物の外面に
    接触する請求項８に記載のポリマータイプ湿度センサ。
  11. 【請求項１１】 前記予め設定された形態は湿度を有す
    る気体を接触させるための平面を含む請求項８に記載の
    ポリマータイプ湿度センサ。
  12. 【請求項１２】 前記予め設定された形態は湿度を有す
    る気体が接触するようにするための曲面を含む請求項８
    に記載のポリマータイプ湿度センサ。
  13. 【請求項１３】 前記予め設定された形態は両端に前記
    電極を有する円筒形である請求項１２に記載のポリマー
    タイプ湿度センサ。
  14. 【請求項１４】 前記予め設定された形態は縁部に電極
    を有するコイル状である請求項１２に記載のポリマータ
    イプ湿度センサ。
  15. 【請求項１５】 ポリマータイプ湿度センサの感知構造
    物として動作する重合体構造物において、 天然ゴムと、 該天然ゴムに混合された炭素を含む重合体構造物。
  16. 【請求項１６】 前記天然ゴムは特殊合成ゴムである請
    求項１５に記載の重合体構造物。
  17. 【請求項１７】 前記重合体構造物に付加される前記炭
    素が１０％〜２５％の範囲を有する請求項１６に記載の
    重合体構造物。
  18. 【請求項１８】 ５００ｋΩ〜２ＭΩの抵抗範囲を有す
    る請求項１７に記載の重合体構造物。
  19. 【請求項１９】 ０％と１００％の相対湿度においてそ
    れぞれ２×１０６Ωと５×１０５Ωのインピーダンスを
    有し、全ての相対湿度範囲にわたって相対湿度の関数と
    してインピーダンス変化が起こる請求項１８に記載の重
    合体構造物。
  20. 【請求項２０】 食品を調理するための電子レンジにお
    いて、 調理室を含む本体と、 前記調理室の内部で前記食品を調理するための加熱装置
    と、 前記加熱装置を冷却する中前記調理室に待機中の空気を
    吸い込む冷却ファンと、 前記調理室から空気を排出させるための排気装置と、 前記食品の調理過程を制御する制御装置と、 ゴムと炭素を有する予め設定された形態の重合体構造部
    と、該重合体構造物と接触する一対の電極を含み、前記
    排気装置に形成され前記排気の湿度に対する情報を得る
    ためのポリマータイプ湿度センサを含む電子レンジ。
  21. 【請求項２１】 前記加熱装置を冷却させる間待機中の
    空気を前記調理室に送風するための冷却ファンをさらに
    備えてなる請求項２０に記載の電子レンジ。
  22. 【請求項２２】 前記混合物を得る段階において前記ゴ
    ムに追加される前記炭素が前記重合体構造物の体積によ
    って１０％〜２５％の範囲を有する請求項２０に記載の
    電子レンジ。
  23. 【請求項２３】 前記ポリマータイプ湿度センサが５０
    ０ｋΩ〜２ＭΩの抵抗範囲を有する請求項２０に記載の
    電子レンジ。
  24. 【請求項２４】 前記ポリマータイプ湿度センサは、０
    ％と１００％の相対湿度でそれぞれ２×１０６Ωと５×
    １０５Ωのインピーダンスを有し、全ての相対湿度範囲
    にわたって相対湿度の関数としてインピーダンス変化が
    起こる請求項２０に記載の電子レンジ。
  25. 【請求項２５】 前記天然ゴムは特殊合成ゴムである請
    求項２２に記載の電子レンジ。
  26. 【請求項２６】 ゴムと炭素とからなる重合体構造物
    と、 該重合体構造物の両端にそれぞれ接触される電極を含め
    てなるポリマータイプ湿度センサ。
  27. 【請求項２７】 前記重合体構造物は、両端に前記電極
    を有する円筒形であることを特徴とする請求項２６に記
    載のポリマータイプ湿度センサ。
  28. 【請求項２８】 前記重合体構造物は、両端に前記電極
    を有する角筒形であることを特徴とする請求項２６に記
    載のポリマータイプ湿度センサ。
  29. 【請求項２９】 前記角筒形の重合体構造物が四角の断
    面を有することを特徴とする請求項２８に記載のポリマ
    ータイプ湿度センサ。
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