KR100503758B1 - 중합체형 습도 센서 - Google Patents

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Abstract

전자레인지에서 사용하기 위한 중합체형 습도 센서는 고무와 미리 설정된 양의 탄소로 구성되는 중합체 물질을 갖고, 또 이 중합체 물질에 연결되는 한 쌍의 전극을 갖는다. 본 발명에 따른 중합체형 습도 센서는 빠른 응답 속도와 내구성, 뛰어난 점착성, 낮은 히스테리시스, 높은 온도와 높은 상대 습도에 노출된 경우의 높은 안정성을 갖는다.

Description

중합체형 습도 센서{POLYMER-TYPE HUMIDITY SENSOR}
본 발명은 습도 센서에 관한 것으로, 특히 전자레인지 및 그 제조 방법에 응용되는 중합체형(Polymer-Type) 습도센서에 관한 것이다.
센서들은 마이크로프로세서로 다양한 정보를 제공하고, 마이크로프로세서는 이 정보를 처리하여 사용자에게 유용한 정보를 제공한다. 광범위하고 다양한 정보가 컴퓨터와 마이크로프로세서에 의해 처리되어 사람 또는 기계와 같은 수령자/사용자에게 전달된다. 그러나 컴퓨터에서 사용하기 위한 기본적인 정보를 감지하여 검출하는 것을 기본 목적으로 하는 센서 기술은 높은 복잡성 때문에 컴퓨터 기술이나 통신 기술에 비해 상당히 뒤떨어져 있다. 이 때문에 센서는 여러 시스템을 기능적으로 개선하는데 주요한 장애 요소가 되었다.
습도는 공통 환경에 대한 일반 변수인데, 이 습도를 제어하는 것은 정밀 제조업, 섬유, 음식, 전자 산업과 같은 다양한 분야에서 매우 중요하게 인식된다.
전자레인지에서는 조리되는 음식의 조리 또는 가열 상태를 감시하기 위해 적외선 온도 센서나 기체 센서, 습도 센서 등이 사용된다. 적외선 온도 센서는 다른 센서에 비해 높은 정밀도를 갖지만, 가격이 비싸고 음식 용기의 형태나 모양에 따라 에러를 유발한 수 있다. 기체 센서는 적외선 온도 센서보다는 가격이 싸지만 여러 음식의 종류에 따라 발생하는 다양한 종류의 기체 가운데 원하는 기체를 선택적으로 감지할 수 없으며, 이는 단일 음식의 경우에도 마찬가지이다. 이와 달리, 습도 센서의 가격은 상대적으로 싸다. 또한 습도 센서는 모든 유형의 음식물이 가열될 때 발생하는 물 분자나 수분을 검출하여 그 음식물의 조리 상태를 감시하도록 설계된다. 이와 같은 장점 때문에 습도 센서는 일반 목적의 전자레인지에 매우 광범위하게 이용된다.
종래의 MgCr2O4-TiO2 광물 고용체(固溶體) 웨이퍼를 이용한 습도 센서가 Nitta의 특허(US 4,080,564)를 통해 처음으로 개발되었다. 그 후 계속해서 TiO2-V2O5 , MgAl2O4, ZnCr2O-LiZnVO4, Al2O3 등을 이용한 세라믹 습도 센서가 개발되었다. 그 뒤에 중합체(Polymer)를 이용한 습도 센서가 보고 되었다. 현재는 CMOS 기술의 장점을 이용한 박막 또는 MOS 커패시터 습도 센서의 개발을 위해 활발한 연구 활동이 진행되고 있다. 세라믹 또는 후막형(厚膜形) 습도 센서는 상대적으로 제조가 단순하지만 생산성이 낮고 쉽게 오염되며, 박막 또는 CMOS 커패시터형 습도 센서는 제조 공정이 매우 복잡하다.
유기 중합체 물질은 유연성과 가벼움, 내부식성, 전기적 절연성 덕분에 지난 수십 년 동안 폭넓게 사용되어 왔다. 그러나 유기 중합체 물질은 낮은 경도(硬度)와 내구성, 그리고 비유기 물질에 비해 낮은 전도성 등과 같은 고유의 특성 때문에 그 사용이 제한적이었다. 그러나 근래에는 중합체의 조사(照射, irradiation)의 발전에 의해 중합체의 물리적 특성과 화학적 특성을 변화시킬 수 있게 되었다(화학 처리와 가열, X-선 조사, 자외선 그리고/또는 고에너지 전자 빔이 조사로서 일반화되었음). 산업과 의료 분야에서 이와 같은 처리를 통해 중합체 변형, 표면 코팅, 열수축 튜브의 생산, 열 및 전기적 저항을 가진 절연체, 생물의학 물질 등의 수많은 응용분야를 발견하였다.
뿐만 아니라, 중합 기술은 중합체가 그 양단에 전기 단자를 가질 수 있는 정도까지 발전되어, 중합체가 마치 저항 센서처럼 동작할 수 있게 되었다. 중합체의 분극은 이온을 주입하거나 건식 공정에서 강한 외부 전계를 가함으로써 얻어지는데, 이를 이온 변형이라고 한다. 이 기술은 강한 전계의 인가를 요하는 고에너지 조사를 통해 이루어진다. 고에너지 이온 빔의 조사 기술은 중합체의 전도성을 향상시킬 수 있고, 또 통신 분야의 도파(waveguide)에 적용하는 것으로 발전하였다.
도 1a는 전자레인지(10) 등에서 사용되는 종래의 세라믹 습도 센서(4)를 나타낸 도면이다. 마그네트론(2)은 고주파 전자기파를 발생시키는데, 이 전자기파는 음식물(3)을 조리하는 것과 관련된 것이다. 세라믹 습도 센서(4)는 조리 도중에 음식물(3)로부터 발생되는 수증기(도시하지 않았음)를 검출하여 마이크로컴퓨터(5)로 신호를 출력하며, 마이크로컴퓨터(5)는 마그네트론(2)을 제어한다. 일반적으로 종래의 세라믹 습도 센서(4)는 MgCrO4-TiO2에 기초한 반도체 세라믹으로부터 만들어진다.
도 1b는 MgCrO4-TiO2에 기초한 반도체 세라믹으로 만들어진 세라믹 습도 센서(4)의 표면과 접촉하는 수증기를 나타낸 도면이다. 저항 값을 변화시키기 위해 작은 물방울들(41)이 세라믹 습도 센서(4)의 표면에 형성된 수많은 흡수공들(42)을 통해 세라믹 습도 센서(4)로 유입되면 센서의 저항은 감소한다.
습도 센서(4)를 이용한 습도 변화의 검출은 습도 센서(4)에 사용된 수분 감지 물질의 전기적 저항 또는 커패시턴스의 변화를 근간으로 하며, 그 변화는 수분 감지 물질에 흡수 또는 응축되는 수분에 의해 결정된다. 습도 센서(4)의 수분 감지 물질에는 LiCl 등의 전해질, Se, Ge 등의 금속성 물질, MgCr2O4, ZnCr2O 4, TiO2, SnO2 등의 소결(燒結)된 금속 산화물, Al2O3 등의 다공성 금속 산화막, 나일론 등의 전도성 미립자 분산형 중합체 물질, 유기 또는 무기 중합체 전해질 막 등이 포함된다.
세라믹 물질로 만들어진 습도 센서(4)는 넓은 습도 범위에서의 습도 검출이 가능하고, 열 저항 특성이 매우 우수하다. 그러나 이 습도 센서(4)는 사용된 금속 산화물의 불안정한 특성 때문에 실내 온도로 유지되도록 허용되어 있는 경우 조차도 시종속 변화를 한다. 특히, 금속 산화물에 흡수된 수분에 기인하여 형성되는 수산화물이나, 수분 감지 면적의 감소를 유발하는 퇴적물에 의해 수분에 대한 감도가 비교적 빨리 나빠진다. 이와 같은 이유로, 습도 센서를 매 20~40 분마다 400~450℃로 가열하여 습도 센서 본래의 기능이 회복되도록 할 필요가 있다.
뿐만 아니라, 세라믹 물질로 만들어진 습도 센서(4)의 감지 능력은 기본적으로 흡수공(42)을 통한 수분의 물리적 흡수를 근간으로 하기 때문에 감지 장치들 사이의 에러를 줄이는 것이 어렵다. 또한 흡입공의 크기와 분포, 공극률 등의 미세 구조를 바꾸는 것뿐만 아니라 세라믹 물질의 특성을 바꾸어도 신뢰할 수 있는 검출 특성을 얻는 것은 역시 어렵다.
합성 수지, 나일론 등으로 대표되는 중합체는 단위체(monomer)로 불리는 단순한 분자들의 결합을 통해 형성되는 거대 분자로 만들어지는 물질이다. 중합체형 습도 센서는 습도를 결정하기 위하여 센서의 저항 또는 커패시턴스의 변화량을 나타내도록 설계된다. 습도 센서(4)에 사용된 유기 중합체의 예를 들면, 아세트산 섬유소, 아세트산 섬유소 부티르산염, 폴리에스테르(4-vinyl pyridine), 그 밖에 다양한 혼성 중합체 등이다. 그러나 이 습도 센서(4)에 사용된 일반적인 중합체 물질들은 응답 속도가 느리고, 히스테리시스가 크며, 수명이 짧다. 이 단점들은 높은 온도와 상대 습도에 노출되면 특히 심해진다.
세라믹 습도 센서와 달리, 중합체 전해질 막과 같은 박막 물질을 이용한 습도 센서(4)는 수분 감지 물질들이 가지고 있는 수분 감응 성질(hydroscopicity)과 이온 전도성 등의 특성을 이용한다. 그러므로 수분 감지 특성은 수분 감지 물질의 미세 구조보다는 물리화학적 특성에 의해 결정되는 것이다.
중합체 전해질 막에 흡수된 수분은 이온 물질의 분해를 도와 사용 가능한 이온의 수를 증가시키고, 결국 특정 저항률을 크게 감소시킨다. 중합체 전해질 막을 사용한 습도 센서(4)는 흡수된 수분의 양이 대기의 수분 함유량에 따라 가역적으로 변화함으로써 이온 생성 및 그에 따른 전기적 전도성의 변화를 초래하는 현상을 이용한 것이다.
박막 물질은 재생 가능한 감도를 갖는데, 그 이유는 박막 물질이 그 제조 조건의 영향을 거의 받지 않기 때문이다. 또한 각 제품마다 일정한 물리적 특성을 갖도록 하는 것이 비교적 쉬운데, 이는 여러 개의 습도 센서(4)를 동일한 기판위에서 제조할 수 있기 때문이다. 더욱이 박막 물질은 세라믹 물질과는 달리 습도 센서(4)를 만들기 위해 특별히 높은 온도를 필요로 하지 않는다. 그러므로 전극을 형성하고 도선을 고정하는 공정에서 특별한 물질이나 기술이 필요치 않다. 이 장점들은 주변 회로에 쉽게 집적할 수 있도록 할 뿐만 아니라, 소자의 가격을 낮추고 작고 가볍게 만들 수 있도록 한다. 그러나 종래의 박막형 습도 센서는 복잡한 제조 생산 공정이 요구된다.
본 발명의 목적은 빠른 응답 속도와 내구성, 우수한 점착력, 낮은 히스테리시스, 낮은 가격의 중합체형 습도 센서 및 그 제조 방법을 제공하는데 있다.
본 발명에 따른 중합체형 습도 센서는 고무와 탄소로 구성되고 한 쌍의 전극이 형성된 중합체 물질을 포함한다. 이 고무는 특수 합성 고무(NBR-Acrylonitrile Butadiene Rubber), 이다. 중합체에 첨가되는 탄소는 고무의 중량(weight)에 대해 15wt%~20wt%(±5wt%)의 범위를 갖는다. 중합체형 습도 센서는 500㏀~2㏁의 범위를 갖는다. 중합체형 습도 센서는 0%와 100%의 상대 습도에서 2×106Ω과 5×105Ω의 임피던스를 갖고, 모든 상대 습도 범위에 걸친 임피던스 변화가 일어난다. 중합체형 습도 센서의 제조 방법은, 고무와 탄소를 포함하는 혼합물을 획득하고, 이 혼합물을 이용하여 한 쌍의 전극이 형성되는 미리 설정된 모양의 중합체 물질을 형성시킨다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 중합체형 습도 센서(200)의 사시도이다. 중합체형 습도 센서(200)는 중합체(210)의 미리 설정된 위치에 전극들(220)을 갖는다. 전극(220)은 중합체(210) 내에 서로 떨어져서 삽입된다. 수분 접촉면(230)과 같은 중합체(210)의 표면은 그 표면에 접촉한 수분을 감지하기 위한 수분 감지면을 제공한다. 중합체형 습도 센서(200)의 중합체(210)와 전극(220)은 응용 시스템의 필요에 따라 미리 설정된 다양한 모양과 위치를 가질 수 있다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 중합체형 습도 센서의 사시도이다. 중합체형 습도 센서(300)는 중합체(310)의 양단에 한 쌍의 브래킷(315)을 이용하여 형성되는 미리 설정된 모양의 외부 전극(320)을 갖는다.
도 4는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 중합체형 습도 센서의 사시도이다. 중합체형 습도 센서(400)의 중합체(410)는 원기둥 형태를 가지며, 그 원기둥 양단에 전극(420)이 형성된다. 원기둥 형태의 중합체(410) 표면은 그 표면에 닿은 수분을 감지하기 위한 수분 접촉면(430)을 제공한다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 중합체형 습도 센서를 채용한 전자레인지를 나타낸 도면이다. 전자레인지(500)는 조리실(510)과 마그네트론(520), 냉각 팬(530)을 포함하여 구성된다. 또한 도 5에는 음식물(550)에서 발생한 수분(540)이 냉각 팬(530)에 의해 중합체형 습도 센서(200)의 센서 위치(56) 쪽으로 향하는 것을 나타내었다. 음식물(550)을 가열함과 동시에 센서 위치(560)에 위치한 중합체형 습도 센서(200)는 수분(540)을 검출한다. 중합체형 습도 센서(400)에 연결되는 마이크로컴퓨터(도시하지 않았음)는 중합체형 습도 센서(400)의 저항 값의 변화를 검출하고, 음식물(550)의 나머지 가열 시간을 계산하여 자동적으로 전자레인지(500)의 동작을 정지시킨다. 센서 위치(560)는 반드시 냉각 팬(530)의 반대쪽에 위치할 필요는 없으며, 냉각 팬(530)의 근처 또는 조리실(510)로부터 수분(540)이 배출되는 다른 벽 등에 위치해도 좋다.
본 발명의 실시예에서, 중합체형 습도 센서는 0%와 100%의 상대 습도에서 각각 2×106Ω과 5×105Ω의 임피던스를 갖고, 모든 상대 습도 범위에 걸친 임피던스 변화가 일어난다. 또한 수분 흡수 과정(0% RH → 100% RH) 동안의 수분 감지 정도와 수분 탈착 과정(100% RH → 0% RH) 동안의 수분 감지 정도의 차이는 2% RH 이하로 낮다.
이온의 극성(H+)을 이용하면, 중합체형 습도 센서는 전체 습도 범위에 걸쳐 수분의 변화에 대해 응답하는데, 저항의 변화를 통해 그 응답을 표현한다. 또한, 이 중합체형 습도 센서는 제조가 쉽고 크기를 최소화할 수 있어, 생산 비용을 낮추고 가전제품에 집적할 수 있는 장점을 갖는다.
중합체형 습도 센서에 이용되는 본 발명에 따른 중합체는 친수성(親水性) 중합체 물질과 소수성(疏水性) 중합체 물질의 상호 결합 반응을 이용하여 제조한다. 더욱 구체적으로는 본 발명의 중합체는 전기적 전도성이 향상된 천연 고무 화합물로부터 만들어진다. 구체적인 형식은, 감지 특성의 뛰어난 선형성을 가진 전자레인지에서의 사용에 적합하도록 한 것처럼 응용제품의 필요에 의해서 특징지어진다. 예를 들면, 본 발명에 따른 중합체형 습도 센서(200)는 천연 고무와 탄소로 구성된 혼합물로서 500㏀~2㏁의 저항 범위를 갖는다. 중합체형 습도 센서(200)는 전자레인지와 같은 구체적인 혼합물이 용도에서 고무의 중량(weight)에 대해 15wt%~20wt%(±5wt%)의 탄소를 포함하는 것을 특징으로 한다.
고무를 사용하면 접촉 단자 사이의 점착이 개선되고, 접촉 단자의 산화가 방지되며, 습도 센서의 장기간에 걸친 안정성과 내구성의 개선이 이루어진다. 그러므로 이슬점을 이동시키는 것이 가능하다. 또한 작고 저렴한 신뢰할 수 있는 습도 센서를 생산하는 것이 가능하다.
탄소를 사용하면 전도성이 첨가됨으로써 습도와 온도가 변화하는 조건하에서도 습도 검출 특성을 안정화시킬 수 있다. 더욱이, 탄소는 고무의 전도성을 증가시키고, 기계와 전기의 접합에 필요한 호환성을 위한 임피던스와 전류 및 전압 값의 설정이 용이하다. 또한 설계된 기하학적 형태에 따른 물질의 저항을 설정하는 것도 용이하다. 즉, 물질의 임피던스를 바꾸는 것이 용이한 것이다.
또한 종래의 습도 센서(4)에 사용된 중합체 물질과는 달리 본 발명의 전도성 중합체는 빠른 응답 속도와 낮은 히스테리시스, 더욱 긴 수명을 갖는 중합체형 습도 센서(200)를 제공한다. 더욱이, 종래의 중합체 물질과는 달리 본 발명의 전도성 중합체는 높은 온도와 높은 상대 습도에 노출되더라도 안정적이다.
중합체 물질의 전기 전도성 미립자 분산 기술을 이용하여 제조하면 본 발명의 중합체형 습도 센서는 천연 고무에 탄소를 수용하여 저항을 일정하게 유지함에 따라 저항 값이 기하학적 형태에 따라 쉽게 변화한다.
본 발명의 중합체형 습도 센서의 습도 감지 원리는 센서 막의 표면에 형성된 흡수공을 통해 이 센서 막에 물리적으로 흡수되는 물 분자의 양으로 결정되기 때문에, 본 발명의 습도 센서의 특성은 흡수공의 크기와 분포, 공극률 등의 미세 구조 뿐만 아니라 센서의 물질적 특성에 의해서도 결정된다. 따라서 본 발명의 중합체형 습도 센서는 단지 허용 범위 내에서만 에러를 유발하여 신뢰할 수 있는 동작 특성을 나타낸다.
도 1a는 종래의 세라믹 습도 센서를 이용하는 전자레인지를 나타낸 도면.
도 1b는 흡수공을 통해 작은 물방울들이 유입된 종래의 세라믹 습도 센서 표면의 단면도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 중합체형 습도 센서의 사시도.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 중합체형 습도 센서의 사시도.
도 4는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 중합체형 습도 센서의 사시도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 중합체형 습도 센서를 채용한 전자레인지를 나타낸 도면.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
2 : 마그네트론
3 : 음식물
4 : 세라믹 습도 센서
5 : 마이크로컴퓨터
10, 500 : 전자레인지
41 : 물방울
42 : 흡수공
200, 300, 400 : 중합체형 습도 센서
210, 310, 410 : 중합체
220, 320, 420 : 전극
230, 330, 430 : 수분 접촉면
315 : 브래킷
510 : 조리실
520 : 마그네트론
530 : 냉각 팬
540 : 수분
550 : 음식물
560 : 센서 위치

Claims (34)

  1. 고무와 탄소를 포함하는 중합체 물질과;
    상대 습도 판별을 위한 임피던스를 측정하기 위하여 상기 중합체 물질에 접촉하는 한 쌍의 전극을 포함하고;
    0%와 100%의 상대 습도에서 각각 2×106Ω과 5×105Ω의 임피던스를 갖고, 모든 상대 습도 범위에서의 상대 습도의 함수로서 임피던스 변화가 일어나는 중합체형 습도 센서.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 중합체 물질에 첨가되는 상기 탄소가 상기 고무의 중량(weight)에 대해 15wt%~20wt%(±5wt%)의 범위를 갖는 중합체형 습도 센서.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 임피던스는 저항 값인 중합체형 습도 센서.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 고무는 천연 고무인 중합체형 습도 센서.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 고무는 특수 합성 고무(NBR-Acrylonitrile Butadiene Rubber)인 중합체형 습도 센서.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 전극들이 상기 중합체 물질에 놓이고, 상기 중합체 물질로부터 외부로 연장되는 중합체형 습도 센서.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 전극들이 상기 중합체 물질의 외부면에 접촉하는 중합체형 습도 센서.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 중합체 물질은 습도를 가진 기체가 접촉하도록 하기 위한 평면을 포함하는 형상을 갖는 중합체형 습도 센서.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 중합체 물질은 습도를 가진 기체가 접촉하도록 하기 위한 곡면을 포함하는 형상을 갖는 중합체형 습도 센서.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 중합체 물질은 양단에 상기 전극들을 가진 원기둥 형태인 중합체형 습도 센서.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 중합체 물질은 테두리에 전극을 가진 코일 형태인 중합체형 습도 센서.
  16. 중합체형 습도 센서의 감지 물질로 동작하는 중합체 물질에 있어서,
    고무와;
    상기 고무에 혼합된 탄소를 포함하고;
    상기 중합체형 습도 센서는 상대 습도 판별을 위한 임피던스를 측정하고, 0%와 100%의 상대 습도에서 각각 2×106Ω과 5×105Ω의 임피던스를 갖고, 모든 상대 습도 범위에서의 상대 습도의 함수로서 임피던스 변화가 일어나는 중합체 물질.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 고무가 천연 고무인 중합체 물질.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 고무는 특수 합성 고무(NBR-Acrylonitrile Butadiene Rubber)인 중합체 물질.
  19. 제 16 항에 있어서,
    상기 중합체 물질에 첨가되는 상기 탄소가 상기 고무의 중량(weight)에 대해 15wt%~20wt%(±5wt%)의 범위를 갖는 중합체 물질.
  20. 제 16 항에 있어서,
    상기 임피던스가 저항인 중합체 물질.
  21. 삭제
  22. 고무와 탄소를 포함하는 혼합물을 획득하는 단계와;
    상기 혼합물을 이용하여 중합체 물질을 형성하는 단계와;
    상기 중합체 물질에 한 쌍의 전극을 연결하는 단계를 포함하고;
    0%와 100%의 상대 습도에서 각각 2×106Ω과 5×105Ω의 임피던스를 갖고, 모든 상대 습도 범위에서의 상대 습도의 함수로서 임피던스 변화가 일어나는 중합체형 습도 센서의 제조 방법.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 고무는 천연 고무인 중합체형 습도 센서의 제조 방법.
  24. 제 22 항에 있어서,
    상기 고무는 특수 합성 고무(NBR-Acrylonitrile Butadiene Rubber)인 중합체형 습도 센서의 제조 방법.
  25. 제 22 항에 있어서,
    상기 혼합물을 획득하는 단계에서 상기 고무에 상기 고무의 중량(weight)에 대해 15wt%~20wt%(±5wt%)의 범위의 상기 탄소를 분산시키는 중합체형 습도 센서의 제조 방법.
  26. 제 22 항에 있어서,
    상기 임피던스가 저항인 중합체형 습도 센서의 제조 방법.
  27. 삭제
  28. 중합체형 습도 센서에서 사용하기 위한 중합체 물질의 제조 방법에 있어서,
    고무와 탄소를 포함하는 혼합물을 획득하는 단계와;
    상기 혼합물을 이용하여 중합체 물질을 형성하는 단계를 포함하고;
    0%와 100%의 상대 습도에서 각각 2×106Ω과 5×105Ω의 임피던스를 갖고, 모든 상대 습도 범위에서의 상대 습도의 함수로서 임피던스 변화가 일어나는 중합체 물질의 제조 방법.
  29. 제 28 항에 있어서,
    상기 고무는 천연 고무인 중합체 물질의 제조 방법.
  30. 제 28 항에 있어서,
    상기 고무는 특수 합성 고무(NBR-Acrylonitrile Butadiene Rubber)인 중합체 물질의 제조 방법.
  31. 제 28 항에 있어서,
    상기 혼합물을 획득하는 단계에서 상기 고무에 상기 고무의 중량(weight)에 대해 15wt%~20wt%(±5wt%)의 범위의 상기 탄소를 분산시키는 중합체 물질의 제조 방법.
  32. 제 28 항에 있어서,
    상기 임피던스가 저항 값인 중합체 물질의 제조 방법.
  33. 삭제
  34. 음식물을 조리하기 위한 전자레인지에 있어서,
    조리실을 포함하는 본체와;
    상기 조리실 내부에서 상기 음식물을 조리하기 위한 가열 장치와;
    상기 가열 장치를 냉각하는 동안 상기 조리실로 대기 중의 공기를 흡입하는 냉각 팬과;
    상기 조리실로부터 공기를 배출시키기 위한 공기 토출 장치와;
    상기 음식물의 조리 과정을 제어하는 제어 장치와;
    고무와 탄소를 갖는 미리 설정된 모양의 중합체 물질과, 상기 중합체 물질과 접촉하는 한 쌍이 전극을 포함하고;
    0%와 100%의 상대 습도에서 각각 2×106Ω과 5×105Ω의 임피던스를 갖고, 모든 상대 습도 범위에서의 상대 습도의 함수로서 임피던스 변화가 일어나며, 상기 공기 토출 장치에 형성되어 상기 배출 공기의 습도에 대한 정보를 획득하기 위한 중합체형 습도 센서를 포함하는 전자레인지.
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