JP2003165867A - シランカップリング剤 - Google Patents
シランカップリング剤Info
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- JP2003165867A JP2003165867A JP2001362938A JP2001362938A JP2003165867A JP 2003165867 A JP2003165867 A JP 2003165867A JP 2001362938 A JP2001362938 A JP 2001362938A JP 2001362938 A JP2001362938 A JP 2001362938A JP 2003165867 A JP2003165867 A JP 2003165867A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高温加熱を必要とする樹脂を無機系の基材に
良好に密着させることができるシランカップリング剤を
提供するものである。 【解決手段】 下記一般式（Ｉ） で示される、高温加
熱を必要とする樹脂用のシランカップリング剤。 【化１】 （式中、Ｒ１、Ｒ２はそれぞれ独立に炭素数１〜４のア
ルキル基、Ｒ３は２価の有機基、４価の有機基、ｎは１
〜３の整数を示す）
良好に密着させることができるシランカップリング剤を
提供するものである。 【解決手段】 下記一般式（Ｉ） で示される、高温加
熱を必要とする樹脂用のシランカップリング剤。 【化１】 （式中、Ｒ１、Ｒ２はそれぞれ独立に炭素数１〜４のア
ルキル基、Ｒ３は２価の有機基、４価の有機基、ｎは１
〜３の整数を示す）
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高温加熱を必要と
する樹脂を無機系の基材に良好に密着させることができ
るシランカップリング剤に関する。 【０００２】 【従来の技術】近年、耐熱性材料としてポリイミド、ポ
リベンゾオキサゾールが注目されてきている。それらの
材料は溶剤への溶解性が良くないため、塗膜を形成する
場合、ポリイミドの場合はポリアミド酸、ポリアミド酸
エステル、ポリイソイミド（以下、それらを総称してポ
リアミド酸前駆体と呼ぶ）を含む塗液、ポリベンゾオキ
サゾールの場合はヒドロキシポリアミド（以下、ポリベ
ンズオキサゾール前駆体と呼ぶ）を含む塗液を塗布し、
高温で加熱することによりそれらの塗膜を得ていた。 【０００３】一般に、樹脂塗膜と無機系の基材との密着
性を向上させるためにシランカップリング剤が用いら
れ、ポリイミド膜及びポリベンゾオキサゾール膜の場
合、アミノ基を含有するシランカップリング剤が多く使
用されていた。 【０００４】しかし、ポリアミド酸エステルやポリイソ
イミドを含む塗液にアミノ基含有シランカップリング剤
を添加した場合、その塩基性によりそれらの化合物が変
質してしまう問題があった。また、塗液中にｏ−キノン
ジアジド等の塩基性条件で反応してしまう化合物を含む
場合、添加できないという問題があった。これらの問題
を解決するため、アミノ基含有シランカップリング剤に
酸無水物を反応させてアミドカルボン酸とする方法が提
案されている（特開平１０−１０７２７号公報、特開平
１０−１０７４０号公報）。 【０００５】しかし、このアミドカルボン酸含有シラン
カップリング剤は、ポリアミド酸前駆体及びポリベンゾ
オキサゾール前駆体からなる塗膜をポリイミド及びポリ
ベンゾオキサゾールに変換させるために高温で加熱した
際、アミドカルボン酸含有シランカップリング剤自身の
分子内脱水閉環が優先して起こり、ポリアミド酸前駆体
及びポリベンゾオキサゾール前駆体との結合を形成せず
所望の密着性が得られない場合があった。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】本発明は、高温加熱を
必要とする樹脂を無機系の基材に良好に密着させること
ができるシランカップリング剤を提供するものである。 【０００７】 【課題を解決するための手段】本発明は、下記一般式
（Ｉ） で示される、高温加熱を必要とする樹脂用のシ
ランカップリング剤に関する。 【化２】 （式中、Ｒ１、Ｒ２はそれぞれ独立に炭素数１〜４のア
ルキル基、Ｒ３は２価の有機基、４価の有機基、ｎは１
〜３の整数を示す） 【発明の実施の形態】 【０００８】本発明のシランカップリング剤は、アミノ
基を有するシランカップリング剤１当量に対しテトラカ
ルボン酸二無水物１当量を反応させることによって得ら
れる。アミノ基を有するシランカップリング剤としては
例えば、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−
アミノプロピルトリエトキシシラン、３−アミノプロピ
ルメチルジメトキシシラン、３−アミノプロピルエチル
ジエトキシシラン、３−アミノプロピルジメチルメトキ
シシラン、３−アミノプロピルジエチジエトキシシラン
等が挙げられる。 【０００９】テトラカルボン酸二無水物としては例え
ば、ピロメリット酸二無水物、オキシジフタル酸、３，
３'，４，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、３，
３'，４，４'−ビフェニルテトラカルボン酸、１，２，
５，６−ナフタレンテトラカルボン酸、２，３，６，７
−ナフタレンテトラカルボン酸、１，４，５，８−ナフ
タレンテトラカルボン酸、２，３，５，６−ピリジンテ
トラカルボン酸、３，４，９，１０−ペリレンテトラカ
ルボン酸、スルホニルジフタル酸、ｍ−ターフェニル−
３，３'，４，４'−テトラカルボン酸、ｐ−ターフェニ
ル−３，３'，４，４'−テトラカルボン酸、１，１，
１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−ビス（２，
３−又は３，４−ジカルボキシフェニル）プロパン、
２，２−ビス（２，３−又は３，４−ジカルボキシフェ
ニル）プロパン、２，２−ビス［４'−（２，３−又は
３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］プロパ
ン、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２
−ビス［４'−（２，３−又は３，４−ジカルボキシフ
ェノキシ）フェニル］プロパン等が挙げられる。 【００１０】本発明のシランカップリング剤を得るため
に、アミノ基を有するシランカップリング剤とテトラカ
ルボン酸二無水物を反応させる際に使用する有機溶媒と
しては、生成するシランカップリング剤を完全に溶解す
る極性溶媒が好ましく、例えば、Ｎ−メチル−２−ピロ
リドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメ
チルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、テトラメチ
ル尿素、ヘキサメチルリン酸トリアミド、γ−ブチロラ
クトン等が挙げられる。 【００１１】また、これらの極性溶媒以外にケトン類、
エステル類、ラクトン類、エーテル類、ハロゲン化炭化
水素類、炭化水素類等も使用することができ、例えば、
アセトン、ジエチルケトン、メチルエチルケトン、メチ
ルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸メチル、
酢酸エチル、酢酸ブチル、シュウ酸ジエチル、マロン酸
ジエチル、ジエチルエーテル、エチレングリコールジメ
チルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテ
ル、テトラヒドロフラン、ジクロロメタン、１，２−ジ
クロロエタン、１，４−ジクロロブタン、トリクロロエ
タン、クロロベンゼン、ｏ−ジクロロベンゼン、ヘキサ
ン、ヘプタン、オクタン、ベンゼン、トルエン、キシレ
ン等が挙げられ、これらの有機溶媒は、単独で又は２種
類以上を組み合わせて使用される。 【００１２】本発明のシランカップリング剤を得るため
の反応温度は、０〜６０℃、好ましくは０〜４０℃、反
応時間は、５〜５００分、好ましくは、３０〜１２０分
程度である。 【００１３】 【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。 合成例１ 攪拌機、窒素導入管、滴下ロート及び温度計を備えた１
Ｌ四つ口セパラブルフラスコにピロメリット酸二無水物
２１．８ｇ（０．１モル）をＮ−メチルピロリドン（以
下ＮＭＰと略す）１２０．０ｇに溶解した溶液を加え、
氷浴で冷却した状態で撹拌しながら３−アミノプロピル
トリエトキシシラン２２．１ｇ（０．１モル）をＮＭＰ
５５．６ｇに溶解した溶液を滴下した。滴下終了後、氷
浴をはずし室温で４時間撹拌した後高速液体クロマトグ
ラフィー（以下ＨＰＬＣと略す）で反応液を確認したと
ころ、原料は殆ど検出されず、生成物が単一ピークとし
て純度９９％で検出された。得られたシランカップリン
グ剤（Ｓ−１）の構造を示す。 【化３】 【００１４】合成例２ 攪拌機、窒素導入管、滴下ロート及び温度計を備えた１
Ｌ四つ口セパラブルフラスコにベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物３２．２ｇ（０．１モル）をＮＭＰ１
５０．０ｇに溶解した溶液を加え、氷浴で冷却した状態
で撹拌しながら３−アミノプロピルトリエトキシシラン
２２．１ｇ（０．１モル）をＮＭＰ６７．２ｇに溶解し
た溶液を滴下した。滴下終了後、氷浴をはずし室温で４
時間撹拌した後高速液体クロマトグラフィー（以下ＨＰ
ＬＣと略す）で反応液を確認したところ、原料は殆ど検
出されず、生成物が単一ピークとして純度９９％で検出
された。得られたシランカップリング剤（Ｓ−２）の構
造を示す。 【化４】 【００１５】合成例３ 攪拌機、窒素導入管、滴下ロート及び温度計を備えた１
Ｌ四つ口セパラブルフラスコに無水フタル酸１４．８ｇ
（０．１モル）をＮＭＰ１００．０ｇに溶解した溶液を
加え、氷浴で冷却した状態で撹拌しながら３−アミノプ
ロピルトリエトキシシラン２２．１ｇ（０．１モル）を
ＮＭＰ４７．６ｇに溶解した溶液を滴下した。滴下終了
後、氷浴をはずし室温で４時間撹拌した。高速液体クロ
マトグラフィー（以下ＨＰＬＣと略す）で反応液を確認
したところ、原料は殆ど検出されず、生成物が単一ピー
クとして純度９９％で検出された。得られたシランカッ
プリング剤（Ｓ−３）の構造を示す。 【化５】 【００１６】合成例４ 攪拌機、窒素導入管及び温度計を備えた１Ｌ四つ口セパ
ラブルフラスコに−ジアミノジフェニルエーテル５２．
１ｇ（０．２６モル）及びＮＭＰ７７０．１ｇを添加し
溶解した。室温で３，３'，４，４'−ベンゾフェノンテ
トラカルボン酸８３．８ｇ（０．２６モル）を添加し５
時間撹拌した。この溶液をＮＭＰ８００ｇで希釈し、水
に高速撹拌下で滴下しポリマを析出させ、これを回収
し、水洗・脱水後、４０℃で真空乾燥しポリアミド酸
（Ｐ−１）を得た。 合成例５ 攪拌機、窒素導入管、冷却管及び温度計を備えた１Ｌ四
つ口セパラブルフラスコに３，３'，４，４'−ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸４６．１ｇ（０．１４モル）、
ヒドロキシエチルメタクリレート３７．２ｇ（０．２８
モル）、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−
ウンデセン０．７ｇ（４．３ミリモル）、ヒドロキノン
０．１ｇ（１．０ミリモル）及びＮＭＰ３１７．４ｇを
加え、７０℃で６時間撹拌した。氷浴で冷却した状態で
撹拌しながら塩化チオニル３７．４ｇ（０．３１モル）
を滴下し、滴下終了後１時間撹拌した。冷却管を滴下ロ
ートに変えて、氷浴で冷却した状態で３，４−ジアミノ
ジフェニルエーテル２８．６ｇ（０．１４モル）、ピリ
ジン４９．８ｇ（０．６３モル）及びヒドロキノン０．
１ｇ（１．０ミリモル）をＮＭＰ３１７．１ｇに溶解し
た溶液を滴下した。滴下終了後氷浴をはずし１時間撹拌
した。この溶液をＮＭＰ６５０ｇで希釈し、水に高速撹
拌下で滴下しポリマを析出させ、これを回収し、水洗・
脱水後、４０℃で真空乾燥しポリアミド酸エステル（Ｐ
−２）を得た。 【００１７】合成例６ 攪拌機、窒素導入管、滴下ロート及び温度計を備えた１
Ｌ四つ口セパラブルフラスコにイソフタル酸４９．８ｇ
（０．３モル）をＮＭＰ６００．０ｇに溶解した溶液を
加え、氷浴で冷却した状態で撹拌しながら塩化チオニル
８３．３ｇ（０．７モル）を滴下し１時間撹拌した。こ
の溶液を、別途、攪拌機、窒素導入管、滴下ロート及び
温度計を備えた２Ｌ四つ口セパラブルフラスコに２，２
−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）−ヘキ
サフルオロプロパン１０９．９ｇ（０．３モル）とピリ
ジン５５．４ｇ（０．７モル）をＮＭＰ３０５．０ｇに
溶解した溶液を加え、氷浴で冷却した状態で滴下した。
滴下終了後氷浴をはずし１時間撹拌した。この溶液をＮ
ＭＰ１０００ｇで希釈し、水に高速撹拌下で滴下しポリ
マを析出させ、これを回収し、水洗・脱水後、４０℃で
真空乾燥しヒドロキシポリアミド（Ｐ−３）を得た。 【００１８】実施例及び比較例 表１に示した組成の塗液を調整し、シリコンウエハにス
ピン塗布後、ホットプレート上９０℃で２分間・窒素雰
囲気下３５０℃で１時間加熱して５ミクロンのポリイミ
ド膜を作製した。得られたポリイミド膜が塗布されたウ
エハを１２０℃、２気圧においてプレッシャークッカー
で所定時間処理した後、クロスカットによるテープ剥離
試験を実施した。表２に示したように本発明のシランカ
ップリング剤を使用した場合、良好な密着性が得られ
た。 【００１９】 【表１】 【００２０】 【表２】 【００２１】 【発明の効果】本発明のシランカップリング剤を用いれ
ば、高温加熱を必要とする樹脂を無機系の基材に良好に
させることができる。
する樹脂を無機系の基材に良好に密着させることができ
るシランカップリング剤に関する。 【０００２】 【従来の技術】近年、耐熱性材料としてポリイミド、ポ
リベンゾオキサゾールが注目されてきている。それらの
材料は溶剤への溶解性が良くないため、塗膜を形成する
場合、ポリイミドの場合はポリアミド酸、ポリアミド酸
エステル、ポリイソイミド（以下、それらを総称してポ
リアミド酸前駆体と呼ぶ）を含む塗液、ポリベンゾオキ
サゾールの場合はヒドロキシポリアミド（以下、ポリベ
ンズオキサゾール前駆体と呼ぶ）を含む塗液を塗布し、
高温で加熱することによりそれらの塗膜を得ていた。 【０００３】一般に、樹脂塗膜と無機系の基材との密着
性を向上させるためにシランカップリング剤が用いら
れ、ポリイミド膜及びポリベンゾオキサゾール膜の場
合、アミノ基を含有するシランカップリング剤が多く使
用されていた。 【０００４】しかし、ポリアミド酸エステルやポリイソ
イミドを含む塗液にアミノ基含有シランカップリング剤
を添加した場合、その塩基性によりそれらの化合物が変
質してしまう問題があった。また、塗液中にｏ−キノン
ジアジド等の塩基性条件で反応してしまう化合物を含む
場合、添加できないという問題があった。これらの問題
を解決するため、アミノ基含有シランカップリング剤に
酸無水物を反応させてアミドカルボン酸とする方法が提
案されている（特開平１０−１０７２７号公報、特開平
１０−１０７４０号公報）。 【０００５】しかし、このアミドカルボン酸含有シラン
カップリング剤は、ポリアミド酸前駆体及びポリベンゾ
オキサゾール前駆体からなる塗膜をポリイミド及びポリ
ベンゾオキサゾールに変換させるために高温で加熱した
際、アミドカルボン酸含有シランカップリング剤自身の
分子内脱水閉環が優先して起こり、ポリアミド酸前駆体
及びポリベンゾオキサゾール前駆体との結合を形成せず
所望の密着性が得られない場合があった。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】本発明は、高温加熱を
必要とする樹脂を無機系の基材に良好に密着させること
ができるシランカップリング剤を提供するものである。 【０００７】 【課題を解決するための手段】本発明は、下記一般式
（Ｉ） で示される、高温加熱を必要とする樹脂用のシ
ランカップリング剤に関する。 【化２】 （式中、Ｒ１、Ｒ２はそれぞれ独立に炭素数１〜４のア
ルキル基、Ｒ３は２価の有機基、４価の有機基、ｎは１
〜３の整数を示す） 【発明の実施の形態】 【０００８】本発明のシランカップリング剤は、アミノ
基を有するシランカップリング剤１当量に対しテトラカ
ルボン酸二無水物１当量を反応させることによって得ら
れる。アミノ基を有するシランカップリング剤としては
例えば、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−
アミノプロピルトリエトキシシラン、３−アミノプロピ
ルメチルジメトキシシラン、３−アミノプロピルエチル
ジエトキシシラン、３−アミノプロピルジメチルメトキ
シシラン、３−アミノプロピルジエチジエトキシシラン
等が挙げられる。 【０００９】テトラカルボン酸二無水物としては例え
ば、ピロメリット酸二無水物、オキシジフタル酸、３，
３'，４，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、３，
３'，４，４'−ビフェニルテトラカルボン酸、１，２，
５，６−ナフタレンテトラカルボン酸、２，３，６，７
−ナフタレンテトラカルボン酸、１，４，５，８−ナフ
タレンテトラカルボン酸、２，３，５，６−ピリジンテ
トラカルボン酸、３，４，９，１０−ペリレンテトラカ
ルボン酸、スルホニルジフタル酸、ｍ−ターフェニル−
３，３'，４，４'−テトラカルボン酸、ｐ−ターフェニ
ル−３，３'，４，４'−テトラカルボン酸、１，１，
１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−ビス（２，
３−又は３，４−ジカルボキシフェニル）プロパン、
２，２−ビス（２，３−又は３，４−ジカルボキシフェ
ニル）プロパン、２，２−ビス［４'−（２，３−又は
３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］プロパ
ン、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２
−ビス［４'−（２，３−又は３，４−ジカルボキシフ
ェノキシ）フェニル］プロパン等が挙げられる。 【００１０】本発明のシランカップリング剤を得るため
に、アミノ基を有するシランカップリング剤とテトラカ
ルボン酸二無水物を反応させる際に使用する有機溶媒と
しては、生成するシランカップリング剤を完全に溶解す
る極性溶媒が好ましく、例えば、Ｎ−メチル−２−ピロ
リドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメ
チルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、テトラメチ
ル尿素、ヘキサメチルリン酸トリアミド、γ−ブチロラ
クトン等が挙げられる。 【００１１】また、これらの極性溶媒以外にケトン類、
エステル類、ラクトン類、エーテル類、ハロゲン化炭化
水素類、炭化水素類等も使用することができ、例えば、
アセトン、ジエチルケトン、メチルエチルケトン、メチ
ルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸メチル、
酢酸エチル、酢酸ブチル、シュウ酸ジエチル、マロン酸
ジエチル、ジエチルエーテル、エチレングリコールジメ
チルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテ
ル、テトラヒドロフラン、ジクロロメタン、１，２−ジ
クロロエタン、１，４−ジクロロブタン、トリクロロエ
タン、クロロベンゼン、ｏ−ジクロロベンゼン、ヘキサ
ン、ヘプタン、オクタン、ベンゼン、トルエン、キシレ
ン等が挙げられ、これらの有機溶媒は、単独で又は２種
類以上を組み合わせて使用される。 【００１２】本発明のシランカップリング剤を得るため
の反応温度は、０〜６０℃、好ましくは０〜４０℃、反
応時間は、５〜５００分、好ましくは、３０〜１２０分
程度である。 【００１３】 【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。 合成例１ 攪拌機、窒素導入管、滴下ロート及び温度計を備えた１
Ｌ四つ口セパラブルフラスコにピロメリット酸二無水物
２１．８ｇ（０．１モル）をＮ−メチルピロリドン（以
下ＮＭＰと略す）１２０．０ｇに溶解した溶液を加え、
氷浴で冷却した状態で撹拌しながら３−アミノプロピル
トリエトキシシラン２２．１ｇ（０．１モル）をＮＭＰ
５５．６ｇに溶解した溶液を滴下した。滴下終了後、氷
浴をはずし室温で４時間撹拌した後高速液体クロマトグ
ラフィー（以下ＨＰＬＣと略す）で反応液を確認したと
ころ、原料は殆ど検出されず、生成物が単一ピークとし
て純度９９％で検出された。得られたシランカップリン
グ剤（Ｓ−１）の構造を示す。 【化３】 【００１４】合成例２ 攪拌機、窒素導入管、滴下ロート及び温度計を備えた１
Ｌ四つ口セパラブルフラスコにベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物３２．２ｇ（０．１モル）をＮＭＰ１
５０．０ｇに溶解した溶液を加え、氷浴で冷却した状態
で撹拌しながら３−アミノプロピルトリエトキシシラン
２２．１ｇ（０．１モル）をＮＭＰ６７．２ｇに溶解し
た溶液を滴下した。滴下終了後、氷浴をはずし室温で４
時間撹拌した後高速液体クロマトグラフィー（以下ＨＰ
ＬＣと略す）で反応液を確認したところ、原料は殆ど検
出されず、生成物が単一ピークとして純度９９％で検出
された。得られたシランカップリング剤（Ｓ−２）の構
造を示す。 【化４】 【００１５】合成例３ 攪拌機、窒素導入管、滴下ロート及び温度計を備えた１
Ｌ四つ口セパラブルフラスコに無水フタル酸１４．８ｇ
（０．１モル）をＮＭＰ１００．０ｇに溶解した溶液を
加え、氷浴で冷却した状態で撹拌しながら３−アミノプ
ロピルトリエトキシシラン２２．１ｇ（０．１モル）を
ＮＭＰ４７．６ｇに溶解した溶液を滴下した。滴下終了
後、氷浴をはずし室温で４時間撹拌した。高速液体クロ
マトグラフィー（以下ＨＰＬＣと略す）で反応液を確認
したところ、原料は殆ど検出されず、生成物が単一ピー
クとして純度９９％で検出された。得られたシランカッ
プリング剤（Ｓ−３）の構造を示す。 【化５】 【００１６】合成例４ 攪拌機、窒素導入管及び温度計を備えた１Ｌ四つ口セパ
ラブルフラスコに−ジアミノジフェニルエーテル５２．
１ｇ（０．２６モル）及びＮＭＰ７７０．１ｇを添加し
溶解した。室温で３，３'，４，４'−ベンゾフェノンテ
トラカルボン酸８３．８ｇ（０．２６モル）を添加し５
時間撹拌した。この溶液をＮＭＰ８００ｇで希釈し、水
に高速撹拌下で滴下しポリマを析出させ、これを回収
し、水洗・脱水後、４０℃で真空乾燥しポリアミド酸
（Ｐ−１）を得た。 合成例５ 攪拌機、窒素導入管、冷却管及び温度計を備えた１Ｌ四
つ口セパラブルフラスコに３，３'，４，４'−ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸４６．１ｇ（０．１４モル）、
ヒドロキシエチルメタクリレート３７．２ｇ（０．２８
モル）、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−
ウンデセン０．７ｇ（４．３ミリモル）、ヒドロキノン
０．１ｇ（１．０ミリモル）及びＮＭＰ３１７．４ｇを
加え、７０℃で６時間撹拌した。氷浴で冷却した状態で
撹拌しながら塩化チオニル３７．４ｇ（０．３１モル）
を滴下し、滴下終了後１時間撹拌した。冷却管を滴下ロ
ートに変えて、氷浴で冷却した状態で３，４−ジアミノ
ジフェニルエーテル２８．６ｇ（０．１４モル）、ピリ
ジン４９．８ｇ（０．６３モル）及びヒドロキノン０．
１ｇ（１．０ミリモル）をＮＭＰ３１７．１ｇに溶解し
た溶液を滴下した。滴下終了後氷浴をはずし１時間撹拌
した。この溶液をＮＭＰ６５０ｇで希釈し、水に高速撹
拌下で滴下しポリマを析出させ、これを回収し、水洗・
脱水後、４０℃で真空乾燥しポリアミド酸エステル（Ｐ
−２）を得た。 【００１７】合成例６ 攪拌機、窒素導入管、滴下ロート及び温度計を備えた１
Ｌ四つ口セパラブルフラスコにイソフタル酸４９．８ｇ
（０．３モル）をＮＭＰ６００．０ｇに溶解した溶液を
加え、氷浴で冷却した状態で撹拌しながら塩化チオニル
８３．３ｇ（０．７モル）を滴下し１時間撹拌した。こ
の溶液を、別途、攪拌機、窒素導入管、滴下ロート及び
温度計を備えた２Ｌ四つ口セパラブルフラスコに２，２
−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）−ヘキ
サフルオロプロパン１０９．９ｇ（０．３モル）とピリ
ジン５５．４ｇ（０．７モル）をＮＭＰ３０５．０ｇに
溶解した溶液を加え、氷浴で冷却した状態で滴下した。
滴下終了後氷浴をはずし１時間撹拌した。この溶液をＮ
ＭＰ１０００ｇで希釈し、水に高速撹拌下で滴下しポリ
マを析出させ、これを回収し、水洗・脱水後、４０℃で
真空乾燥しヒドロキシポリアミド（Ｐ−３）を得た。 【００１８】実施例及び比較例 表１に示した組成の塗液を調整し、シリコンウエハにス
ピン塗布後、ホットプレート上９０℃で２分間・窒素雰
囲気下３５０℃で１時間加熱して５ミクロンのポリイミ
ド膜を作製した。得られたポリイミド膜が塗布されたウ
エハを１２０℃、２気圧においてプレッシャークッカー
で所定時間処理した後、クロスカットによるテープ剥離
試験を実施した。表２に示したように本発明のシランカ
ップリング剤を使用した場合、良好な密着性が得られ
た。 【００１９】 【表１】 【００２０】 【表２】 【００２１】 【発明の効果】本発明のシランカップリング剤を用いれ
ば、高温加熱を必要とする樹脂を無機系の基材に良好に
させることができる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 下記一般式（Ｉ） で示される、高温加
熱を必要とする樹脂用のシランカップリング剤。 【化１】 （式中、Ｒ１、Ｒ２はそれぞれ独立に炭素数１〜４のア
ルキル基、Ｒ３は２価の有機基、４価の有機基、ｎは１
〜３の整数を示す）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001362938A JP2003165867A (ja) | 2001-11-28 | 2001-11-28 | シランカップリング剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001362938A JP2003165867A (ja) | 2001-11-28 | 2001-11-28 | シランカップリング剤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003165867A true JP2003165867A (ja) | 2003-06-10 |
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ID=19173357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001362938A Pending JP2003165867A (ja) | 2001-11-28 | 2001-11-28 | シランカップリング剤 |
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|---|---|
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