JP2003158279A

JP2003158279A - 光起電力素子、光起電力素子集合体及び光起電力素子の製造方法

Info

Publication number: JP2003158279A
Application number: JP2002246599A
Authority: JP
Inventors: Kenji Takada; 健司高田; Morio Kiso; 盛夫木曾
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2001-09-04
Filing date: 2002-08-27
Publication date: 2003-05-30

Abstract

(57)【要約】【課題】安価な製造設備で、発電領域をさほど損なわ
ず、信頼性の高い光起電力素子、光起電力素子集合体、
及び光起電力素子の製造方法を提供する。【解決手段】少なくとも、第一の電極層３０７と、光
起電力層３０６と、第二の電極層３０５と、をこの順に
有し、第一の電極層３０７又は第二の電極層３０５と電
気的に接続された配線部材を有する光起電力素子であっ
て、光起電力層３０６の端部に、該光起電力層上に第二
の電極層３０５が存在しない線状の領域が存在し、前記
配線部材が設けられた領域と該配線部材が設けられてい
ない領域との境界上での前記線状の領域の幅が、前記配
線部材が設けられていない領域上の前記線状の領域のう
ちもっとも幅が狭い部分の幅よりも大きいことを特徴と
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光起電力素子、光
起電力素子集合体、及び光起電力素子の製造方法に関す
る。より詳しくは、光起電力素子集合体を分割して得ら
れた光起電力素子及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、地球温暖化ガス削減等のために、
太陽光発電が注目されている。そのような状況の中、基
板上に光起電力層を形成するタイプの光起電力素子は、
大面積化が容易であり、発電コストを下げられるものと
して期待されている。太陽光発電が普及するには光起電
力素子を安価に製造する方法の開発が不可欠である。光
起電力素子を安価に製造する方法としては予め大面積で
光起電力素子集合体を製造し、用途に応じて光起電力素
子集合体を分割して使用するいわゆる多面取りという手
法が好ましい。多面取りに関する特許としては、例えば
特開平７−３２１３５４号公報や特開２００１−５３３
０１号公報が知られている。

【０００３】特開平７−３２１３５４号公報に開示され
ている光起電力素子の製造方法は、大面積の基板に光起
電力層や裏面電極層や透明電極層を成膜し、配線部材を
透明電極層上に形成して光起電力素子集合体を製造した
後に、必要なサイズや形状に応じてこの光起電力素子集
合体を分離している。これにより後工程が容易で、光起
電力素子を安価に生産できる。具体的な特徴としては単
に光起電力層を大面積に成膜した後、切断する部分に分
割ライン（エッチングライン）を設けて分割することに
より、切断部の信頼性を確保する構成となっている。

【０００４】以下に更に詳細に説明を述べる。

【０００５】図１（ａ）は、特開平７−３２１３５４号
公報に記載されている光起電力素子集合体の一例の上面
図である。１０９、１１１は配線部材であり、１１１は
銅ワイヤーからなる集電電極、１０９は銅箔からなる正
極バスバーである。光起電力素子集合体の表面に発生し
た電気を集電電極で集め、更に正極バスバーに集約し外
部に取り出す役割を担っている。１０１、１０３はエッ
チングにより透明導電層１０５を除去したエッチングラ
インである。エッチングライン１０１は光起電力素子集
合体の端部での裏面電極層１０７と透明電極層１０５の
短絡を防止している。エッチングライン１０３は、切断
される領域であり、この領域に切断刃が入り、正極バス
バー１０９、絶縁テープ１１０ともども光起電力素子集
合体１００を２つに分離する。

【０００６】図１（ｂ）は図１（ａ）Ａ−Ａ’断面図で
ある。基板１０８上に裏面電極層１０７、光起電力層１
０６、透明電極層１０５が形成されている。光起電力素
子集合体の２辺には絶縁テープ１１０と正極バスバー１
０９が設けられている。絶縁テープ１１０と正極バスバ
ー１０９の下にはエッチングライン１０２が存在する。
エッチングライン１０２は透明電極層１０５を除去して
おり、エッチングライン１０１と同様に光起電力素子集
合体の端部での裏面電極層１０７と透明電極層１０５の
短絡を防止している。エッチングライン１０１、１０
２、１０３で囲まれた領域が発電領域となり、この発電
領域が光を受け電気を発生する部分となる。それゆえに
なるべく発電領域以外の領域に絶縁テープ１１０と正極
バスバー１０９を配置して太陽光が照射する面積を大き
くし、光起電力素子の出力を高めている。またエッチン
グライン１０３部分も非発電領域となる為、なるべく幅
を小さくしているが、分離手段の切断位置精度等を考慮
して幅を決める。

【０００７】図１（ｃ）は図１（ａ）Ｂ−Ｂ’断面図で
ある。つまり光起電力素子集合体１００の分割後の断面
である。分割はシャー刃のせん断応力を利用したプレス
切断機等で行い、エッチングライン１０３の中心を切断
する。光起電力素子集合体１００を分離するにあたって
注意すべき点は、正極と負極の短絡である。特に数ミク
ロン〜数十ミクロン程度の薄い光起電力層１０６を隔て
て裏面電極層１０７と透明電極層１０５が向き合ってい
る部分を分離する時は、切断刃が光起電力層を押しつぶ
し、裏面電極層１０７と透明電極層１０５が短絡する可
能性がある。または短絡しなくとも分離面での透明電極
層１０５と裏面電極層１０７の距離が数ミクロン〜数十
ミクロンの場合、長期信頼性においてマイグレーション
による短絡が発生する恐れがある。

【０００８】本従来例の特徴は、光起電力素子集合体１
００の透明電極層１０５を除去したエッチングライン１
０３上で切断することで、分割後の光起電力素子の透明
導電層１０５と裏面電極層１０７の距離を有し、短絡及
びマイグレーションを防ぐ構造となっていることであ
る。これにより光起電力素子の分割部分の信頼性を保っ
ている。

【０００９】また正極バスバー電極１０９部分の分割に
おいても短絡を防止する構成となっている。正極バスバ
ー電極１０９は透明電極層１０５の上に数百ミクロン厚
の絶縁テープ１１０を設けることで、分割時に発生する
正極バスバー電極１０９のバリが裏面電極層１０７や基
板１０８と接触し、短絡することを防止する構造となっ
ている。

【００１０】光起電力素子が屋外で十分な発電を行う為
には、正極と負極間の短絡抵抗が５０ｋΩｃｍ²以上必
要であり、上記により分割後の光起電力素子の短絡抵抗
５０ｋΩｃｍ²以上を確保している。

【００１１】図２は、特開２００１−５３３０１号公報
に記載されている光起電力素子集合体の一例であり、２
０１は基板、２０２は裏面電極層、２０３は光起電力
層、２０４は透明電極層、２０５は封止樹脂を示してい
る。２０６は光起電力素子セルであり、２０７は分離を
行うために設けた分離予定領域である。本従来例も、こ
の領域において、少なくとも透明導電膜２０４を分離す
る部分から除去する事で、透明導電膜２０４と裏面電極
層２０２の短絡を防止する。また、本従来例では、更に
切断によって、裏面電極層と光起電力層の界面が剥離す
る現象が危惧されており、この裏面電極層と光起電力層
の剥離による光起電力素子の信頼性の低下を防ぐ解決手
段として、切断予定領域から、光起電力層２０３も除
去、あるいは光起電力層２０３と裏面電極層２０２の双
方を除去する製造方法が記載されている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところが、特開平７−
３２１３５４号公報のような光起電力素子集合体１００
を分離した時、長期間の屋外暴露で、マイグレーション
等の現象で、光起電力素子の短絡抵抗が低下し、光起電
力素子の信頼性が損なわれる恐れが生じた。

【００１３】以下に図を用いて詳細に説明する。

【００１４】図３（ａ）は光起電力素子集合体を分離し
て得られる光起電力素子の上面図である。分離はエッチ
ングライン３０３上をプレス切断で分割切断し、絶縁テ
ープ３１０、正極バスバー３０９も同時に分離されてい
る。３０１は光起電力素子３００の端部のエッチングラ
イン、３１１は集電電極である。

【００１５】光起電力素子の製造工程において、分割さ
れた光起電力素子３００は全数外観検査を行っており、
この外観検査において図３（ａ）のＢ部分に時々膜剥れ
が発生することが判った。

【００１６】これらを解決する手段としては、例えば、
特開２００１−５３３０１号公報に記載されているよう
に、剥離の原因となる光起電力層と裏面電極層の界面を
切断面よりなくすために、光起電力層あるいは、光起電
力層と裏面電極層の双方を除去すればよい。しかしなが
ら、透明導電膜と光起電力層の化学的物性は大きく異な
るため、透明導電膜と光起電力層の双方を除去すること
は容易ではない。

【００１７】例えば、特開平７−３２１３５４号公報の
光起電力素子集合体は、基板上に光起電力層を一旦全面
に形成する。そして、上述した通り基板の端や切断部分
の周辺には光起電力層の短絡を防ぐため、透明導電膜が
存在しないエッチングラインを形成する。光起電力層
は、透明導電層に比較して、高抵抗であるため、このよ
うなエッチング領域は、発電に寄与しない非発電領域と
なる。そして光起電力素子の出力を上げる上では、この
ような部分は無駄である。そのため、このような非発電
領域は可能な限り狭く形成しなければならない。一般的
にはその領域幅は２ｍｍ程度以下にする必要がある。こ
のような領域幅を維持しつつ、大きく異なる物性を有す
る光起電力層と透明導電膜を１つの薬液でエッチングす
ることは容易ではない。また、光起電力層を溶解させる
には、フッ酸等の強力な薬液を使用することが必要であ
り、これらの薬液は、取り扱いが難しく現実的では無
い。

【００１８】本発明は、上記のような課題に対応するも
のであり、安価な製造設備で、光起電力素子の発電領域
をさほど損なわず、光起電力素子の信頼性を向上させる
光起電力素子、光起電力素子集合体、及び光起電力素子
の製造方法を提供することを目的としている。

【００１９】

【課題を解決するための手段】我々は、上記問題点を解
決すべく、外観検査で膜剥れが発生した光起電力素子３
００を詳しく分析した。

【００２０】最初に図３（ａ）Ｂ部分に発生した膜剥れ
を観察した。図３（ｃ）はＢ部分を上面から見た拡大図
である。膜剥れ３１４は上述の通り正極バスバー３０
９、絶縁テープ３１０の側近の切断部分で発生してお
り、膜剥れの一部はエッチングライン３０３を超えて透
明電極層３０５まで及んでいる。

【００２１】この膜剥れは長期屋外曝露で、マイグレー
ション現象により光起電力素子の短絡抵抗が低下し、光
起電力素子の信頼性が損なわれるが可能性がある。

【００２２】これについて以下に説明をする。

【００２３】図３（ｄ）は膜剥れが発生していない正常
部分Ｃ−Ｃ'の断面図である。裏面電極層３０７と透明
電極層３０５は光起電力層３０６を隔てて距離を有して
いる。具体的には分割後のエッチングライン３０３は
０．７ｍｍとなる。つまり透明電極層３０５と裏面電極
層３０７は０．７ｍｍの距離を有することとなる。この
構成によれば、分割後の短絡を防止し光起電力素子とし
ての短絡抵抗５０ｋΩｃｍ²以上を十分実現する。

【００２４】図３（ｅ）はエッチングライン３０３の内
側で膜剥れが発生しているＤ−Ｄ’の断面図である。こ
の場合、透明電極層３０５と裏面電極層３０７の距離は
正常な図３（ｄ）の０．７ｍｍより小さくなる。更に図
３（ｆ）は透明電極層３０５まで膜剥れが発生している
Ｅ−Ｅ’の断面図である。この場合、透明電極層３０５
と裏面電極層３０６の距離は光起電力層３０６の厚みで
ある数ミクロンとなっている。いずれの場合も短絡した
り、また、短絡せずとも、長期間の屋外暴露で、マイグ
レーション等の現象で、光起電力素子の短絡抵抗が低下
し、光起電力素子の安定発電が損なわれる恐れが生じ
る。

【００２５】次に図３（ｂ）のＢ側面図をＣＣＤカメラ
で観察した。基板３０８に変形が見られ、この部分で膜
剥れが発生していることが判った。変形する理由として
は光起電力素子集合体の正極バスバー電極３０９のある
付近と、正極バスバー電極３０９のない部分では、それ
ぞれを形成する層の硬さや厚みが大きく異なるためであ
り、切断刃にかかるせん断応力が、正極バスバー電極３
０９のある領域から正極バスバー電極３０９のない領域
に移った際、あるいはその逆の場合に、急激に応力変化
を発生させる為である。更に膜剥れの剥離界面について
は光起電力層３０６が多結晶系や結晶系の半導体膜を含
む場合、一般的に金属酸化物である裏面電極層３０７よ
り硬質でもろい為、光起電力層３０６と裏面電極層３０
７との界面で剥離が生じることが判明した。

【００２６】また、我々は、上記、切断部について信頼
性の調査を行った。その結果、透明導電膜３０５と裏面
電極層３０７の距離が０．８５ｍｍ以上あれば光起電力
素子として短絡抵抗５０ｋΩｃｍ²以上を満足できる事
が判った。これは光起電力層３０６の体積低効率１Ωｃ
ｍ、厚み０．００１μｍを用いて計算により導いてい
る。

【００２７】つまり膜剥れが発生しても膜剥れ部分がエ
ッチングラインの内側に納まって、透明導電膜３０５と
裏面電極層３０７の距離が０．８５ｍｍ以上確保できれ
ば良い。

【００２８】このことから、上記課題を解決する以下の
知見を得た。

【００２９】すなわち、本発明は、少なくとも、第一の
電極層と、光起電力層と、第二の電極層と、をこの順に
有し、前記第一の電極層又は前記第二の電極層と電気的
に接続された配線部材を有する光起電力素子であって、
前記光起電力層の端部に、該光起電力層上に前記第二の
電極層が存在しない線状の領域が存在し、前記配線部材
が設けられた領域と該配線部材が設けられていない領域
との境界上での前記線状の領域の幅が、前記配線部材が
設けられていない領域上の前記線状の領域のうちもっと
も幅が狭い部分の幅よりも大きいことを特徴とする光起
電力素子を提供する。

【００３０】また、本発明は、少なくとも、第一の電極
層と、光起電力層と、複数に分割された第二の電極層
と、をこの順に有し、前記第一の電極層又は前記第二の
電極層と電気的に接続された配線部材を有する光起電力
素子集合体であって、前記第二の電極層が線状の領域に
よって分割されており、前記配線部材が設けられた領域
と該配線部材が設けられていない領域との境界上での前
記線状の領域の幅が、前記配線部材が設けられていない
領域上の前記線状の領域のうちもっとも幅が狭い部分の
幅よりも大きいことを特徴とする光起電力素子集合体を
提供する。

【００３１】さらに本発明は、少なくとも、第一の電極
層と、光起電力層と、第二の電極層と、をこの順に有
し、前記第一の電極層又は前記第二の電極層と電気的に
接続された配線部材を有する光起電力素子集合体を分離
する工程を有する光起電力素子の製造方法において、長
さ方向に幅の異なる部分を有する線状の領域を形成する
ことによって、前記第二の電極層を分割する工程と、前
記配線部材が設けられた領域と該配線部材が設けられて
いない領域との境界上での前記線状の領域の幅が、前記
配線部材が設けられていない領域上の前記線状の領域の
うちもっとも幅が狭い部分の幅よりも大きくなるよう
に、前記配線部材を設ける工程と、前記線状の領域内で
前記光起電力素子集合体を分離する工程と、を少なくと
も有する光起電力素子の製造方法、及び、少なくとも、
第一の電極層と、光起電力層と、第二の電極層と、をこ
の順に有し、前記第一の電極層又は前記第二の電極層と
電気的に接続された配線部材を有する光起電力素子集合
体を分離する工程を有する光起電力素子の製造方法にお
いて、配線部材を設ける工程と、前記配線部材が設けら
れた領域と該配線部材が設けられていない領域との境界
上での幅が、前記配線部材が設けられていない領域上の
前記線状の領域のうちもっとも幅が狭い部分の幅よりも
大きくなるように、長さ方向に幅の異なる部分を有する
線状の領域を形成して、前記第二の電極層を分割する工
程と、前記線状の領域内で前記光起電力素子集合体を分
離する工程と、を少なくとも有する光起電力素子の製造
方法、を提供する。

【００３２】

【発明の実施の形態】上述した本発明の提供する光起電
力素子及び光起電力素子集合体において、第一の電極
層、第二の電極層のいずれかは透明電極層であることが
好ましい。通常、かかる透明電極層が光の入射面となり
光起電力素子としての機能を持つ。

【００３３】配線部材とは基板に発生する電気を集電す
る為の集電電極とその集電電極の電気を集約する為のバ
スバー電極がある。いずれも材料としては導体であれば
良く、特に限定されるものはない。例えば銅、銀、金、
ニッケル、半田等が挙げられる。形状としても箔状、ワ
イヤー状等何でも良い。好ましくは導電性の高い銅や銀
であり、銀の低い接触抵抗と銅の低コストの両方のメリ
ットが得られる銀クラッド銅もしくは銀メッキ銅がより
好ましい。

【００３４】配線部材は上記のように少なくとも電極の
役割を行えば良く、構造は限定されない。例えば導体の
表面を絶縁部材で被覆した構成のものでもよい。この場
合は電気的に接続する部分だけを必要に応じて絶縁部材
を除去して使用すれば良い。

【００３５】また配線部材は通常は電極層上に設けられ
るが、特に限定は無く光起電力層上に直接設けても良
く、光起電力素子の出力が最大になるような設計が行わ
れる。

【００３６】配線部材は光起電力素子集合体の分割切断
の際に同時に切断されてもいいし、予め分割切断部分に
は設けないようにしても良い。配線部材と同時に分割切
断する場合、配線部材は銅等の軟質なものが好ましい。
また厚みが１００μｍ程の薄いものが好ましい。そうす
ることで分割切断時の光起電力素子の変形を小さく出
来、より膜剥れの少ない切断分割が行える。このため信
頼性の高い光起電力素子を得ることが出来る。

【００３７】表面保護膜である樹脂層は光起電力素子の
ハンドリング性、静電対策等の理由で設けるが、特に有
っても無くても構わない。形成する場合、材料、構成に
関して特に限定されない。入射面側の表面に設ける場合
は透明であることが望ましい。透明電極層、配線部材上
をカバーし光起電力素子の表面を保護するように設けら
れる。特に全面であることもなく必要に応じて部分的に
設けても良い。材料としては例えばウレタン系、ウレタ
ン−アクリル系、ＥＶＡ系、フッ素系等などが挙げられ
る。

【００３８】線状の領域は、光起電力層上の第二の電極
層（支持体が存在する場合、通常光起電力層からみて支
持体と反対側の電極層であることが一般的である）の存
在しない領域であり、例えば、従来の技術として述べた
エッチング領域がこれにあたる。線状の領域はエッチン
グラインともいう。エッチングラインの形状は直線状、
曲線状など特に限定はないが、あとで分割切断を行う場
合は直線状が好ましい。直線状であれば分割切断がシャ
ーリング等の切断機で簡単に行える為、安価な光起電力
素子が提供できる。

【００３９】第二の電極層が存在しない領域が矩形の素
子の４辺にあるような場合、複数の線状の領域のうち配
線部材と交差する線状の領域の少なくとも一つが、前記
配線部材が設けられた領域と該配線部材が設けられてい
ない領域との境界上での前記線状の領域の幅が、前記配
線部材が設けられていない領域上の前記線状の領域のう
ちもっとも幅が狭い部分の幅よりも大きい、という特徴
を有している。

【００４０】かかる特徴は、例えば配線部材がある領域
と無い領域との境界（素子断面の厚さが変化する境界と
考えられる）で、線状の領域の幅が大きくなっていると
いうことである。これは、後述の実施例で具体的に述べ
るように、境界ではない部分では問題とならない膜剥れ
の影響が、この境界領域で無視出来ないからである。

【００４１】なお、前記線状の領域のうちもっとも幅が
狭い部分は、好ましくは、配線部材に近接していない部
分に、ある程度の長さをもってほぼ一定の幅となるよう
に形成される。このように形成するのが簡便だからであ
る。

【００４２】後述の実施例では、境界近傍で幅が広く、
その他の領域で幅が狭い線状の領域を形成している（長
方形の集合体となっている）。しかしながら、幅が連続
的に変化するようにすることも可能である。要は、膜剥
れが生じる領域を含むように線状の領域を形成できれば
その形状は問わない。

【００４３】形状は例えば後述の実施例のように四角状
に太くなっていてもいいし、円状や三角状に太くなって
いてもかまわない。

【００４４】上記光起電力素子及び光起電力素子集合体
においては、好ましい形態の例として以下のものが挙げ
られる。

【００４５】即ち、前記配線部材と前記第一の電極層と
が、集電電極を介して電気的に接続されているもの、前
記第一の電極層に接して支持体を有するもの、前記支持
体が導電体であり、前記支持体の前記第一の電極層と反
対側に前記配線部材を有するもの、前記第二の電極層上
に樹脂層を有するもの、前記配線部材が光起電力素子の
少なくとも一辺に沿って設けられているもの、前記線状
の領域の一部と前記配線部材が交差しているものであ
る。

【００４６】そして、前記配線部材が設けられていない
領域上の前記線状の領域のうちもっとも幅が狭い部分の
幅は、光起電力素子においては１ｍｍ以下であることが
好ましく、光起電力素子集合体においては２ｍｍ以下で
あることが好ましい。かかる値は、光起電力素子の有効
面積を必要以上に減じないという観点に基づくものであ
る。素子と集合体で範囲が異なるのは、線状の領域で集
合体を分離して素子を形成することを前提としているか
らである。また、線状の領域を素子を分離（分割）する
ための領域と考えた場合、あまりにも狭いと分離の精度
を低下させるおそれがある。一般的には、分割後の光起
電力素子において１ｍｍ以上の幅を設けることが好まし
いが、分離手段によってはさらに狭くても構わない。

【００４７】また、前記配線部材が設けられた領域と該
配線部材が設けられていない領域との境界上での前記線
状の領域の幅は、光起電力素子においては２ｍｍ以上５
ｍｍ以下、光起電力素子集合体においては４ｍｍ以上１
０ｍｍ以下であることが好ましい。これらの値の下限
は、膜剥れによる悪影響を防止しうる好適な範囲、つま
り膜剥れが発生しても透明電極層と裏面電極層との距離
が少なくとも０．８５ｍｍ以上となるように定めてい
る。上限は、光起電力素子の有効面積を必要以上に減じ
ないという観点に基づくものである。

【００４８】さらに、上記集合体においては、前記配線
部材を複数設ける場合には、そのいずれかが前記線状の
領域上で二分割されていることが好ましい。そして、集
合体を二つに分離する場合には、分割された配線部材の
存在しない領域で行うことが好ましい。このようにする
ことで、集合体を分離する際に加わる応力の大きさを抑
制することが可能になる（後述の実施例２参照）。

【００４９】また、上記製造方法において、線状の領域
をエッチングによって形成することが好ましい。エッチ
ング方法は特に限定されずレジスト印刷によるエッチン
グやレーザースクライブや電解エッチングなど何でも良
い。また複数回に渡ってエッチングしてもよい。電解エ
ッチングはエッチング液内でエッチングラインを形成し
たい領域に選択的に電流を流して行う。

【００５０】光起電力素子集合体の分離方法は、レーザ
ビーム等特に限定されないが、簡便で安定生産が行える
プレス切断によって行うことが好ましい。

【００５１】更に詳しい、光起電力素子の構造、及び製
造方法の例は、以下の実施例において明らかにする。

【００５２】

【実施例】以下に本発明における実施例を示す。しかし
ながら本発明は以下の実施例に限定されない。

【００５３】（実施例１）本実施例は透明電極層の上に
バスバー電極と集電電極の配線部材を有する光起電力素
子とその製造方法であり、光起電力素子集合体を２分割
に切断分割する時にバスバー電極も同時に切断して得る
タイプの光起電力素子である。

【００５４】図４は実施例１の光起電力素子の上面図及
び断面図である。この光起電力素子４００は光起電力素
子集合体（不図示）をＡ−Ａ’で２つに分割して得るこ
とができる。つまり図４（ａ）は分割後の光起電力素子
の上面図、図４（ｂ）はＡ−Ａ’分割後の側面図、図４
（ｃ）はＢ’拡大図、図４（ｄ）はＢ拡大図、図４
（ｅ）は分割切断時に発生した膜剥れ領域のＣ−Ｃ’断
面図、図４（ｆ）は分割切断時に発生した膜剥れ領域の
Ｄ−Ｄ’断面図である。詳細についての説明は以下の製
造方法の中で述べる。

【００５５】以下に、本実施例の光起電力素子の構成及
び製造方法について詳細に述べる。

【００５６】図５は本発明の実施例１のロール状態の光
起電力素子用基板である。支持体であるロール状態の基
板５０８上にロールツーロールという方法で第一の電極
層である裏面電極層５０７、光起電力層５０６、第二の
電極層である透明電極層５０５を順に形成する。材料と
しては、基板５０８はステンレス板であり、裏面電極層
５０７（反射層も兼ねる）はＡｇ膜／ＺｎＯ膜、光起電
力層５０６はμｃ−Ｓｉ半導体膜／ａ−Ｓｉ半導体膜、
透明電極層５０５はＩｎ₂Ｏ₃膜である。形成方法は、裏
面電極５０７はスパッタ法、光起電力層５０６はＣＶＤ
法、透明電極層５０５はスパッタ法である。

【００５７】ロールツーロールという方法を簡単に説明
する。一例として光起電力層５０６であるμｃ−Ｓｉ半
導体膜／ａ−Ｓｉ半導体膜の成膜について述べる。ロール状の基板をロール送り出し室に取付け、ロール
状の基板を引出して、各層を成膜する複数の処理室を通
して、ロール巻き取り室にセットする。各処理室を真空ポンプで真空排気し、不活性ガス、水
素、シランガス等の原料ガスを処方の流量で導入し、各
処理室を所定の圧力に調整する。各処理室をヒーターユニットと温度センサーにより処
理室内及び基板を成膜温度条件に調整する。各処理室には電源ユニットが設置されており、電源ユ
ニットから電力を供給してマイクロ波やＲＦの放電によ
り電界を発生させ、基板の搬送をスタートする。基板の搬送は一定速度で且つ連続で行い、基板上に各
処理室でそれぞれ順にμｃ−Ｓｉ半導体膜／ａ−Ｓｉ半
導体膜を成膜している。ロール全長にわたり成膜を行い、基板搬送が終了した
らロール状基板を巻き取り室から取り出す。

【００５８】なお、基板５０８をガラス基板等の透光性
基板とする場合には、５０７は透明電極となる。またガ
ラス等の非可撓性基板の場合はロールツーロール方式で
はなく、バッチ処理方式などで製造してもよい。また、
５０５に反射層の役割を持たせることが好ましい。

【００５９】次に、先に述べたロール状態の光起電力用
基板を切断機により、各枚葉に切断する。この切断によ
り、光起電力素子集合体の外周（大きさ・形状）が決定
する。

【００６０】図６は本発明の実施例１の光起電力素子集
合体のエッチング後半製品である。上記で述べた光起電
力用基板を各枚葉に切断したものにエッチング工程を施
した後である。

【００６１】エッチングは光起電力素子の外周付近で透
明電極層と裏面電極層が短絡しているのを、透明電極を
除去することで電気的に分離する役割を持っている。

【００６２】光起電力素子集合体のエッチング後半製品
の長辺側端部に設けるエッチングライン６０１は上記の
ロール切断機による切断時の歪みより発生する裏面電極
層６０７と透明電極層６０５との短絡を除くために、透
明電極層６０５を一部除去している。

【００６３】また短辺側端部に設けるエッチングライン
６０２は、上記ロールツーロール方式での成膜する際、
ロール状の基板の端部から裏側へ成膜が回り込むことに
よって起こる透明電極層６０５が裏面電極層６０７へ短
絡するのを除くために、透明電極層６０５を除去してい
る。また本実施例１のようにバスバー電極を端部に設け
る場合は、その内側にエッチングライン６０２を形成す
る。これはバスバー電極部分は陰になる為、非有効領域
となることと、バスバー電極形成の時に、バスバー電極
の下に設ける絶縁テープの貼付け工程で、傷付けにより
透明電極層６０５と裏面電極層６０７が短絡する恐れが
あるからである。

【００６４】更にエッチングライン６０３、６０４は光
起電力素子集合体の完成後に分割するための線状領域で
あり、予め透明電極層６０５を一部除去し、分割時に裏
面電極層６０７と透明電極層６０５との短絡を防ぐ構造
としておく。

【００６５】こうして得られる光起電力素子は光起電力
層の有効領域の端部にエッチングラインを有する。これ
が「光起電力層の端部に、光起電力層上に第二の電極層
が存在しない線状の領域が存在する」にあたる。

【００６６】このように透明電極層６０５の除去をエッ
チングといい、これにより形成された除去部分をエッチ
ングライン６０１、６０２、６０３、６０４という。そ
してこれらエッチングラインに囲まれた部分が電気的に
独立した有効領域となり、光起電力素子の発電に寄与す
る。

【００６７】以下にエッチングラインに関して更に詳し
く述べる。

【００６８】光起電力素子集合体の長辺側の端部に設け
るエッチングライン６０１は１．０ｍｍ幅であり、光起
電力素子が発電する有効領域を最大にするようにできる
だけ細くしている。上記のロール切断機による切断時の
歪みより発生する裏面電極層６０７と透明電極層６０５
との短絡を除くために、透明電極層６０５を一部除去し
ている。

【００６９】エッチングライン６０２は１．４ｍｍであ
り、光起電力素子集合体の短辺側の端部の短絡を防止す
るために設けられている。エッチングライン６０２の外
側部分はバスバー電極を設ける部分である。バスバー電
極を設ける部分は発電に寄与しない非有効領域となる
為、この領域は出来るだけ小さな面積と成るように設計
されている。バスバー電極は形成のために溶接や接着を
行う場合が多く、その時に裏面電極６０７と透明電極層
６０５が短絡するとこもある為、エッチングライン６０
２はバスバー電極形成部分より内側となている。この場
合バスバー電極は５．５ｍｍ幅としている。エッチング
ライン６０２は細くしても発電に寄与する有効領域を大
きくすることが出来ないので、安定して得られる幅とし
て、この場合１．４ｍｍとしている。

【００７０】分割部に予め設けるエッチングライン６０
３は、分割精度を考慮して１．８ｍｍ幅としている。こ
のエッチングライン６０３が、本発明の「線状の領域」
に相当する。そして、この１．８ｍｍという幅は、「配
線部材が設けられていない領域上の前記線状の領域のう
ちもっとも幅が狭い部分の幅」にあたる。

【００７１】また有効領域内で配線部材と交差する部分
（境界領域も含む）にあるエッチングライン６０４はエ
ッチングライン６０３外側に形成されて前記線状の領域
を５．０ｍｍ幅と部分的に大きくしている。この幅が、
「配線部材が設けられた領域と該配線部材が設けられて
いない領域との境界上での前記線状の領域の幅」にあた
る。

【００７２】エッチングの方法としては特に限定されな
いが、酸性の電解液を用い、透明電極層の除去したい部
分に選択的に電流を流して透明電極層を除去する電解エ
ッチング方法を行っている。具体的にはＰＨ約１．５の
酸性の電解液中で、最初に除去したい透明電極層の直上
にエッチング電極を配置する。エッチング電極は除去し
たい透明電極層の幅より僅か細い幅の金属からなり、エ
ッチング電極と透明電極層との間の隙間は１．０ｍｍ以
下としている。次にこの状態でエッチング電極と裏面電
極層との間で電流を流すことで、除去したい透明電極層
の部分に選択的に電流が流れ透明電極層を電気分解する
ことでエッチングが行える。

【００７３】次に上記エッチング後半製品の透明電極層
６０５の上に集電電極やバスバー電極といった配線部材
を形成する。

【００７４】図７は本発明の実施例１の光起電力素子集
合体７００である。集電電極７１１は透明電極層７０５
上に発生している電気を集電する役割であり、材料とし
てはカーボンコート銀クラッド銅ワイヤーを用いてい
る。バスバー電極７０９は集電電極７１１に集められた
電気を集約する役割であり、銀クラッド銅箔を用いてい
る。形成方法としては光起電力素子集合体のエッチング
後半製品の端部に絶縁用両面テープ７１０を貼付け、そ
の上に集電電極７１１を貼り付ける。更にその絶縁用両
面テープ７１０の上にバスバー電極７０９を貼付けて絶
縁用両面テープ７１０とバスバー電極７０９で集電電極
７１１を挟むような構造とする。

【００７５】その後、熱プレスすることで、集電電極７
１１を透明電極層７０５とバスバー電極７０９に接着す
る。

【００７６】最後に受光面に透明保護膜（樹脂層）７１
２を形成する。材料はアクリル−ウレタン系樹脂を用
い、熱硬化することにより形成する。これにより実施例
１の光起電力素子集合体７００が得られた。

【００７７】図４は実施例１の光起電力素子である。光
起電力素子集合体をＡ−Ａ’で分割することで、図４の
光起電力素子４００が得られる。分割は予め形成したエ
ッチングライン４０３上をシャー刃を用いたプレス型で
切断するが、バスバー電極との交差部分で切断時の歪み
により光起電力層４０６と裏面電極層４０７の界面で膜
剥れが生じている。バスバー電極と分割部が交差する部
分は予め他の部分よりもエッチングラインの幅を大きく
している。エッチングライン４０３の中心で分割が行わ
れるとエッチングライン４０４がある幅広領域は片側
２．５ｍｍとなり、膜剥れはこの範囲で収まる。これに
より膜剥れが発生しても透明電極層４０５と裏面電極層
４０７の距離が確保でき光起電力素子の短絡抵抗５０ｋ
Ωｃｍ²とし、長期信頼性を確保できた。

【００７８】（実施例２）本実施例は透明電極層の上に
正極バスバー電極と集電電極を配し、正極バスバー電極
はエッチングラインを隔てて予め２分割されている。更
に基板の裏面側に裏面バスバー電極を２本有する光起電
力素子であり、光起電力素子集合体を２分割に切断分割
する時に、裏面バスバー電極が同時に切断して得るタイ
プの光起電力素子である。

【００７９】図８は実施例２の光起電力素子の上面図及
び断面図である。この光起電力素子８００は光起電力素
子集合体をＡ−Ａ’で２つに分割して得ている。図８
（ａ）は分割後の光起電力素子の上面図、図８（ｂ）は
Ａ−Ａ’断面図、図８（ｃ）はＢ’拡大図、図８（ｄ）
はＢ拡大図、図８（ｅ）は分割切断時に発生した膜剥れ
領域のＣ−Ｃ’断面図、（ｆ）は分割切断時に発生した
膜剥れ領域のＤ−Ｄ’断面図である。詳細についての説
明は以下の製造方法の中で述べる。

【００８０】以下に光起電力素子の構成及び製造方法に
ついて詳細に述べる。

【００８１】図９は本発明の実施例２の光起電力素子集
合体９００の上面図及び断面図である。この光起電力素
子集合体９００をＡ−Ａ’で２つに分割して光起電力素
子を得ている。図９（ａ）は光起電力素子集合体の上面
図、図９（ｂ）はＡ−Ａ’断面図、図９（ｃ）はＢ’拡
大図、図９（ｄ）はＢ拡大図、図９（ｅ）はＣ−Ｃ’断
面図、（ｆ）はＤ−Ｄ’断面図である。

【００８２】実施例１のエッチング後半製品を用い、透
明電極層９０５の上に集電電極９１１や正極バスバー電
極９０９や基板の裏面側に裏面バスバー９１３といった
配線部材を形成する。集電電極９１１は透明電極層９０
５上に発生している電気を集電する役割であり、材料と
してはカーボンコート銀クラッド銅ワイヤーを用いてい
る。バスバー電極９０９は集電電極９１１に集められた
電気を集約する役割であり、銀クラッド銅箔を用いる。
実施例２では正極バスバー電極９０９は分割部分で予め
分割した状態で設けられており、分割時に切断される構
造ではない。裏面バスバー９１３はステンレス基板９０
８に発生している電気を効率よく集約する役割であり、
銅箔を用いている。

【００８３】形成方法としてはまず裏面バスバー電極９
１３を基板９０８にレーザー溶接により接着する。この
場合レーザー溶接部はエッチングライン（不図示）の外
側に位置するようにする。そのことで有効領域内の光起
電力層のレーザーによる破壊を防ぐ。次に光起電力素子
集合体９００の端部に絶縁用両面テープ９１０を貼付
け、その上に集電電極９１１を貼り付ける。更にその絶
縁用両面テープ９１０の上に予め２つに分割されたバス
バー電極９０９をエッチングラインを隔てて対向するよ
うに貼り付けて、絶縁用両面テープ９１０とバスバー電
極９０９で集電電極９１１を挟むような構造とする。

【００８４】その後、熱プレスすることで、集電電極９
１１を透明電極層９０５と正極バスバー９０９に接着す
る。

【００８５】最後に受光面に透明保護膜（樹脂層）９１
２を形成する。材料はアクリル−ウレタン系樹脂を用
い、熱硬化することにより形成する。これにより実施例
２の光起電力素子集合体９００が得られた。

【００８６】図８は実施例２の光起電力素子である。上
記光起電力素子集合体をＡ−Ａ’で分割することで、図
８の光起電力素子８００が得られる。分割は予め形成し
たエッチングライン８０３上をシャー刃を用いたプレス
型で切断するが、裏面バスバー電極との交差部分で切断
時の歪みにより光起電力層８０６と裏面電極層８０７の
界面で膜剥れが生じている。裏面バスバー電極と分割部
が交差する部分は予め他の部分よりもエッチングライン
の幅を大きくしている。エッチングライン８０３の中心
で分割が行われるとエッチングライン８０４がある幅広
領域は片側２．５ｍｍとなり、膜剥れはこの範囲で収ま
る。これにより膜剥れが発生しても透明電極層８０５と
裏面電極層８０７の距離が確保でき光起電力素子の短絡
抵抗５０ｋΩｃｍ²とし、長期信頼性を確保できた。

【００８７】本実施例では正極バスバー電極８０９は予
め分割してあり、バスバー電極８０９が存在しない領域
で分割することから、膜はがれの大きさを抑制できると
ともに、バスバー電極８０９と裏面電極層８０７または
基板８０８間でのショートも防止できるという効果もあ
る。

【００８８】（実施例３）本実施例は透明電極層の上に
バスバー電極と集電電極を、基板の裏面側に裏面バスバ
ー電極を一本有する光起電力素子集合体であり、２もし
くは３分割に切断分割することが出来るように設計され
たものである。裏面バスバー電極は基板の中央付近に配
置している。分割切断時には表面側のバスバー電極と裏
面バスバー電極も同時に切断分割される。

【００８９】図１０は本発明の実施例３の光起電力素子
集合体の上面図及び断面図である。この光起電力素子集
合体１０００は、必要に応じて２ヶ所のＡ−Ａ’で２つ
もしくは３つに分割して光起電力素子を得ることができ
る。図１０（ａ）は分割前の光起電力素子集合体の上面
図、図１０（ｂ）はＡ−Ａ’断面図、図１０（ｃ）は
Ｂ’拡大図、図１０（ｄ）はＣ’拡大図、図１０（ｅ）
はＢ拡大図、図１０（ｆ）はＣ拡大図である。光起電力
素子の構成及び製造方法についてはおおよそ実施例１、
２と同様にして作成する。

【００９０】光起電力素子集合体１０００は必要に応じ
て２ヶ所のＡ−Ａ’で分割切断することができる。これ
より３分の１サイズの光起電力素子や、３分の２サイズ
の光起電力素子が得られる。切断分割はエッチングライ
ン１００３で行うが、分割工程で正極バスバー電極１０
０９と裏面バスバー電極１０１３は共に分割切断され
る。これらの配線部材と交差部分は光起電力素子の変形
が大きく、大きな膜剥れが発生する可能性が高い。その
為本実施例では交差部分にはエッチングライン１００４
を設け、通常のエッチングライン１００３より幅を大き
くしている。バスバー電極１００９との交差部分は図１
０（ｅ）に示すように５ｍｍ角の四角型、また裏面バス
バー電極との交差部分は５ｍｍφの丸型にエッチング領
域が大きくなっている。

【００９１】これにより、分割後に大きな膜剥れが発生
してもその部分には、エッチングライン１００４を設け
てエッチング領域が幅広になっているため、透明電極層
１００５と裏面電極層１００７との距離が確保でき、信
頼性を確保できる。

【００９２】（実施例４）本実施例は透明電極層の上に
バスバー電極と集電電極の配線部材を有する光起電力素
子とその製造方法であり、光起電力素子集合体を２分割
に切断分割する時に集電電極も同時に切断して得るタイ
プの光起電力素子である。

【００９３】図１１は実施例４の光起電力素子の上面図
及び断面図である。この光起電力素子１１００は光起電
力素子集合体（不図示）をＡ−Ａ’で２つに分割して得
る。

【００９４】図１１（ａ）は分割後の光起電力素子の上
面図、図１１（ｂ）はＡ−Ａ’分割部分の側面図、図１
１（ｃ）はＢ’拡大図、図１１（ｄ）はＢ拡大図、図１
１（ｅ）は分割切断時に発生した膜剥れ領域のＣ−Ｃ’
断面図である。分割時の膜剥れがエッチングラインの幅
を広くした部分に収まっている為、長期信頼性が向上し
ている。

【００９５】以下に詳細に説明する。

【００９６】図１２は本発明の実施例４のエッチング後
半製品である。本発明の実施例１と同様な方法で光起電
力用基板を各枚葉に切断したものにエッチング工程を施
している。

【００９７】エッチング後半製品の長辺側端部に設ける
エッチングライン１２０１とエッチングライン１２０２
は実施例１と同様に設けている。

【００９８】実施例４ではＡ−Ａ’のエッチングライン
１２０３を設けている。これは光起電力素子集合体の完
成後に光起電力素子へと分割切断する為に設けており、
予め透明電極層１２０５を一部除去し、分割切断時に裏
面電極層１２０７と透明電極層１２０５との短絡を防ぐ
構造としている。エッチングライン１２０３は集電電極
と交差する部分にはエッチングライン１２０４（斜線
部）を設けて、その部分の線状のエッチングライン領域
の幅を広げている。この幅が広くなっている部分の断面
が図１２（ｄ）のＣ−Ｃ’断面図であり、通常の幅の部
分が図１２（ｃ）のＢ−Ｂ´断面図である。

【００９９】分割部に予め設けるエッチングライン１２
０３は、分割精度を考慮して１．８ｍｍ幅としている。
このエッチングライン１２０３、１２０４により形成さ
れる領域が、本実施例の「線状の領域」に相当する。そ
して、このエッチングライン１２０３の１．８ｍｍとい
う幅は、「配線部材が設けられていない領域上の前記線
状の領域のうちもっとも幅が狭い部分の幅」にあたる。

【０１００】また集電電極と交差する部分（境界領域も
含む）には、エッチングライン１２０４を設けて、線状
の領域の幅を５．０ｍｍ幅と部分的に大きくしている。
この幅が、「配線部材が設けられた領域と該配線部材が
設けられていない領域との境界上での前記線状の領域の
幅」にあたる。

【０１０１】上記エッチング後半製品はその後、エッチ
ングライン１２０３、１２０４上に絶縁テープを設けら
れ、実施例１と同様に集電電極やバスバー電極といった
配線部材を形成していく。集電電極は上述の通りエッチ
ングライン１２０３と交差するが、エッチングライン１
２０４の部分に形成される。

【０１０２】図１３は本発明の実施例４の光起電力素子
集合体１３００である。集電電極１３１１、バスバー電
極１３０９、絶縁用両面テープ１３１０は上記の通り実
施例１と同様である。分割用絶縁テープ１３１７は光起
電力素子集合体を分割切断する部分、つまりエッチング
ライン（不図示）上に設けている。これは分割切断時に
集電電極にバリが発生し、それが裏面電極層に接触し短
絡するのを防止するためである。

【０１０３】図１１は実施例４の光起電力素子である。
光起電力素子集合体をＡ−Ａ’で分割することで、図１
１の光起電力素子１１００が得られる。分割は予め形成
したエッチングライン１１０３上をシャー刃を用いたプ
レス型で切断している。図１１（ｄ）に示す様に集電電
極１１１１はエッチングライン１１０３及び幅広部分を
形成するエッチングライン１１０４と交差している。集
電電極との交差部分は切断時の歪みにより光起電力層１
１０６と裏面電極層１１０７の界面で膜剥れが生じてい
る。この場合の膜剥れは分割絶縁テープ１１１７の下で
ある為、図１１（ｃ）、図１１（ｅ）に示すように膜が
剥れ落ちない。エッチングライン１１０３の中心で分割
が行われると、エッチングライン１１０４がある幅広領
域は片側２．５ｍｍとなり、これにより膜剥れは、図１
１（ｄ）、図１１（ｅ）に示す様に、エッチングライン
の範囲で収まる。よって膜剥れが発生しても透明電極層
１１０５と裏面電極層１１０７の距離が確保でき光起電
力素子の短絡抵抗５０ｋΩｃｍ²とし、長期信頼性を確
保している。

【０１０４】

【発明の効果】本発明によれば、エッチングパターンの
変更のみで、容易に光起電力素子の信頼性の向上が達成
される。また、従来から定評のあるエッチング液や製造
装置が使用できるため、線幅の制御が容易であり、成膜
された光起電力素子の光起電力層を有効に利用できると
いう優れた効果を有している。その結果、光起電力素子
を信頼性を確保しつつ安価に生産できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来からの光起電力素子及びその製造方法の一
例を説明するための概略図である。

【図２】従来からの光起電力素子の別の例を説明するた
めの概略図である。

【図３】従来からの光起電力素子の一例を説明する概略
図である。

【図４】本発明実施例１の光起電力素子の概略図であ
る。

【図５】本発明実施例１のロール状態の光起電力基板の
概略図である。

【図６】本発明実施例１の光起電力素子集合体のエッチ
ング後半製品の概略図である。

【図７】本発明実施例１の光起電力素子集合体の概略図
である。

【図８】本発明実施例２の光起電力素子の概略図であ
る。

【図９】本発明実施例２の光起電力素子集合体の概略図
である。

【図１０】本発明実施例３の光起電力素子集合体の概略
図である。

【図１１】本発明実施例４の光起電力素子の概略図であ
る。

【図１２】本発明実施例４の光起電力素子集合体のエッ
チング後半製品の概略図である。

【図１３】本発明実施例４の光起電力素子集合体の概略
図である。

【符号の説明】

１００、７００、９００、１０００、１３００光起電
力素子集合体３００、４００、８００、１１００光起電力素子５００ロール状態の光起電力素子用基板６００、１２００光起電力素子集合体のエッチング後
半製品１０１、３０１、４０１、６０１、７０１、８０１、９
０１、１００１、１１０１、１２０１エッチングライ
ン（光起電力素子の長辺側の外周部）６０２、１２０２エッチングライン（光起電力素子の
短辺側の外周部）１０３、３０３、４０３、６０３、７０３、８０３、９
０３、１００３、１１０３、１２０３エッチングライ
ン（分割切断する部分）４０４、６０４、７０４、８０４、９０４、１００４、
１１０４、１２０４エッチングライン幅広部分１０５、３０５、４０５、５０５、６０５、７０５、８
０５、９０５、１００５、１１０５、１２０５透明電
極層（第二の電極層）１０６、３０６、４０６、５０６、６０６、７０６、８
０６、９０６、１００６、１１０６、１２０６光起電
力層１０７、３０７、４０７、５０７、６０７、７０７、８
０７、９０７、１００７、１１０７裏面電極層（第一
の電極層）１０８、３０８、４０８、５０８、６０８、７０８、８
０８、９０８、１００８、１１０８、１２０８基板
（支持体）１０９、３０９、４０９、７０９、８０９、９０９、１
００９、１１０９、１３０９正極バスバー電極１１０、３１０、４１０、７１０、８１０、９１０、１
０１０、１１１０、１３１０絶縁テープ１１１、３１１、４１１、７１１、８１１、９１１、１
０１１、１１１１、１３１１集電電極４１２、７１２、８１２、９１２、１０１２透明保護
膜（樹脂層）８１３裏面バスバー電極（配線部材）３１４、４１４、８１４、１１１４、１３１４膜剥れ
が生じた領域５１５光起電力基板５１６合紙２０１基板２０２裏面電極層２０３光起電力層２０４透明電極層２０５封止樹脂２０６セル２０７切断予定領域１１１７分割絶縁テープ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 5F051 AA04 AA05 BA11 CA14 CA22 CB15 CB21 CB27 CB28 EA18 FA04 FA06 FA13 FA14 FA23 FA30 GA05 HA19

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも、第一の電極層と、光起電力
層と、第二の電極層と、をこの順に有し、前記第一の電
極層又は前記第二の電極層と電気的に接続された配線部
材を有する光起電力素子であって、前記光起電力層の端部に、該光起電力層上に前記第二の
電極層が存在しない線状の領域が存在し、前記配線部材が設けられた領域と該配線部材が設けられ
ていない領域との境界上での前記線状の領域の幅が、前
記配線部材が設けられていない領域上の前記線状の領域
のうちもっとも幅が狭い部分の幅よりも大きいことを特
徴とする光起電力素子。
【請求項２】前記線状の領域は直線状であり少なくと
も一部分は幅が異なることを特徴とする請求項１に記載
の光起電力素子。
【請求項３】前記配線部材は少なくとも集電電極を有
することを特徴とする請求項１又は２に記載の光起電力
素子。
【請求項４】前記配線部材は少なくともバスバー電極
を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記
載の光起電力素子。
【請求項５】前記第一の電極層と前記第二の電極層の
いずれかは透明電極層であることを特徴とする請求項１
〜４のいずれかに記載の光起電力素子。
【請求項６】前記第一の電極層に接して支持体を有す
ることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の光
起電力素子。
【請求項７】前記支持体が導電体であり、前記支持体
の前記第一の電極層と反対側に前記配線部材を有するこ
とを特徴とする請求項６に記載の光起電力素子。
【請求項８】前記第二の電極層上に樹脂層を有するこ
とを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の光起電
力素子。
【請求項９】前記配線部材が光起電力素子の少なくと
も一辺に沿って設けられていることを特徴とする請求項
１〜８のいずれかに記載の光起電力素子。
【請求項１０】前記線状の領域の一部と前記配線部材
が交差していることを特徴とする請求項１〜９のいずれ
かに記載の光起電力素子。
【請求項１１】前記配線部材が設けられていない領域
上の前記線状の領域のうちもっとも幅が狭い部分の幅が
１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１〜１０のい
ずれかに記載の光起電力素子。
【請求項１２】前記配線部材が設けられた領域と該配
線部材が設けられていない領域との境界上での前記線状
の領域の幅が２ｍｍ以上５ｍｍ以下であることを特徴と
する請求項１〜１１のいずれかに記載の光起電力素子。
【請求項１３】少なくとも、第一の電極層と、光起電
力層と、複数に分割された第二の電極層と、をこの順に
有し、前記第一の電極層又は前記第二の電極層と電気的
に接続された配線部材を有する光起電力素子集合体であ
って、前記第二の電極層が線状の領域によって分割されてお
り、前記配線部材が設けられた領域と該配線部材が設けられ
ていない領域との境界上での前記線状の領域の幅が、前
記配線部材が設けられていない領域上の前記線状の領域
のうちもっとも幅が狭い部分の幅よりも大きいことを特
徴とする光起電力素子集合体。
【請求項１４】前記線状の領域は直線状であり少なく
とも一部分は幅が異なることを特徴とする請求項１３に
記載の光起電力素子集合体。
【請求項１５】前記配線部材は少なくとも集電電極を
有することを特徴とする請求項１３又は１４に記載の光
起電力素子集合体。
【請求項１６】前記配線部材は少なくともバスバー電
極を有することを特徴とする請求項１３〜１５のいずれ
かに記載の光起電力素子集合体。
【請求項１７】前記第一の電極層と前記第二の電極層
のいずれかは透明電極層であることを特徴とする請求項
１３〜１６のいずれかに記載の光起電力素子集合体。
【請求項１８】前記配線部材が複数存在し、それらの
うちのいずれかが前記線状の領域上で分割されているこ
とを特徴とする請求項１３〜１７のいずれかに記載の光
起電力素子集合体。
【請求項１９】前記第一の電極層に接して支持体を有
することを特徴とする請求項１３〜１８のいずれかに記
載の光起電力素子集合体。
【請求項２０】前記支持体が導電体であり、前記支持
体の前記第一の電極層と反対側に前記配線部材を有する
ことを特徴とする請求項１９に記載の光起電力素子集合
体。
【請求項２１】前記第二の電極層上に樹脂層を有する
ことを特徴とする請求項１３〜２０のいずれかに記載の
光起電力素子集合体。
【請求項２２】前記配線部材が光起電力素子集合体の
少なくとも一辺に沿って設けられていることを特徴とす
る請求項１３〜２１のいずれかに記載の光起電力素子集
合体。
【請求項２３】前記線状の領域の一部と前記配線部材
が交差していることを特徴とする請求項１３〜２２のい
ずれかに記載の光起電力素子集合体。
【請求項２４】前記配線部材が設けられていない領域
上の前記線状の領域のうちもっとも幅が狭い部分の幅が
２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１３〜２３の
いずれかに記載の光起電力素子集合体。
【請求項２５】前記配線部材が設けられた領域と該配
線部材が設けられていない領域との境界上での前記線状
の領域の幅が４ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることを特徴
とする請求項１３〜２４のいずれかに記載の光起電力素
子集合体。
【請求項２６】少なくとも、第一の電極層と、光起電
力層と、第二の電極層と、をこの順に有し、前記第一の
電極層又は前記第二の電極層と電気的に接続された配線
部材を有する光起電力素子集合体を分離する工程を有す
る光起電力素子の製造方法において、長さ方向に幅の異なる部分を有する線状の領域を形成す
ることによって、前記第二の電極層を分割する工程と、前記配線部材が設けられた領域と該配線部材が設けられ
ていない領域との境界上での前記線状の領域の幅が、前
記配線部材が設けられていない領域上の前記線状の領域
のうちもっとも幅が狭い部分の幅よりも大きくなるよう
に、前記配線部材を設ける工程と、前記線状の領域内で前記光起電力素子集合体を分離する
工程と、を少なくとも有することを特徴とする光起電力素子の製
造方法。
【請求項２７】少なくとも、第一の電極層と、光起電
力層と、第二の電極層と、をこの順に有し、前記第一の
電極層又は前記第二の電極層と電気的に接続された配線
部材を有する光起電力素子集合体を分離する工程を有す
る光起電力素子の製造方法において、配線部材を設ける工程と、前記配線部材が設けられた領域と該配線部材が設けられ
ていない領域との境界上での幅が、前記配線部材が設け
られていない領域上の前記線状の領域のうちもっとも幅
が狭い部分の幅よりも大きくなるように、長さ方向に幅
の異なる部分を有する線状の領域を形成して、前記第二
の電極層を分割する工程と、前記線状の領域内で前記光起電力素子集合体を分離する
工程と、を少なくとも有することを特徴とする光起電力素子の製
造方法。
【請求項２８】前記線状の領域をエッチングによって
形成することを特徴とする請求項２６又は２７に記載の
光起電力素子の製造方法。
【請求項２９】前記光起電力素子集合体をせん断応力
を利用して切断することを特徴とする請求項２６〜２８
のいずれかに記載の光起電力素子の製造方法。
【請求項３０】前記配線部材が設けられていない領域
上の前記線状の領域のうちもっとも幅が狭い部分の幅が
２ｍｍ以下となるように前記線状の領域を形成すること
を特徴とする請求項２６〜２９のいずれかに記載の光起
電力素子の製造方法。
【請求項３１】前記配線部材が設けられた領域と該配
線部材が設けられていない領域との境界上での前記線状
の領域の幅が４ｍｍ以上１０ｍｍ以下となるように前記
線状の領域を形成することを特徴とする請求項２６〜３
０のいずれかに記載の光起電力素子の製造方法。
【請求項３２】前記配線部材のいずれかが前記線状の
領域上の一部で分割されるように複数の配線部材を設
け、分割された配線部材の間隙で前記光起電力素子集合
体を分離することを特徴とする請求項２６〜３１のいず
れかに記載の光起電力素子の製造方法。