JP2003156011A - 流体圧シリンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ピストンロッドを回転させることのない流体
圧シリンダを小型かつ低コストにて提供する。 【解決手段】 それぞれ円筒形外周面を有し、相互に中
心軸Ｃｐ２，Ｃｒ２が偏心したピストン２０とピストン
ロッド１２とを備えた軸部材１５と、ピストンロッド１
２を外部に突出させて軸部材１５を直線往復動自在に支
持するシリンダ本体１１とを有する。シリンダ本体１１
に、ピストン２０を摺動自在に支持するピストン摺動孔
１９を形成し、ピストンロッド１２を摺動自在に支持す
るロッド摺動孔２２をピストン摺動孔１９に対して偏心
させて形成する。ピストンロッド１２の回転は中心軸Ｃ
ｐ２が偏心するピストン２０によって防止される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は流体圧力によりロッ
ドが往復動する流体圧シリンダに関する。

【０００２】

【従来の技術】流体圧シリンダは、シリンダチューブや
シリンダブロックなどからなるシリンダ本体と、シリン
ダ本体内に形成された円筒状室内に往復動自在に収容さ
れるピストンと、ピストンに一体となってシリンダ本体
の外部に突出するピストンロッドとを有している。ピス
トンの両端面に作動流体を給排することによるピストン
の往復動はピストンロッドを介して外部に伝達されるこ
ととなる。

【０００３】流体圧シリンダには作動形式により、ピス
トン両側に形成される圧力室の一方にのみ作動流体を供
給し、逆方向の移動はばねや外力により行うようにする
単動形と、ピストンロッドの前進移動と後退移動をとも
に作動流体によって行うようにする複動形とがある。ま
た、ピストンの両側にピストンロッドが設けられたタイ
プは両ロッド形と言われ、一方側にピストンロッドが設
けられたタイプは単ロッド形と言われる。このような流
体圧シリンダとしては、作動流体として空気を用いた空
気圧シリンダや、大きな出力を必要とする場合には鉱油
系作動油を用いた油圧シリンダがあり用途に応じて選択
される。

【０００４】空気圧シリンダを用いた装置としては、生
産ラインの工程から工程へワークを搬送する搬送装置等
がある。たとえば、半導体チップなどの電子部品を検査
する場合、トレイなどに配置された多数の電子部品を搬
送装置により検査ボードに搭載するようにしている。ま
た、実装基板に電子部品を搭載する場合にも搬送装置を
用いて所定の順序で電子部品を実装基板に搭載するよう
にしている。

【０００５】このような搬送装置には、水平方向に移動
自在な搬送ヘッドが設けられ、搬送ヘッドには垂直方向
に移動自在な上下動部材が取り付けられている。また、
上下動部材の先端には吸着具が装着されており、吸着さ
れた電子部品は上昇移動された後に水平移動され下降移
動されることにより所定の位置まで搬送される。この上
下動部材として空気圧シリンダが用いられており、ピス
トンロッドの先端に吸着具を設け空気圧シリンダに圧縮
空気を供給制御することにより、電子部品の上昇および
下降移動を可能とする。

【０００６】また、電子部品を実装基板に搭載する際に
は、所定の位置はもちろんのこと所定の向きに電子部品
を搭載する必要があるため、吸着時の向きを維持すべく
ピストンロッドの回転を防止する空気圧シリンダが開発
されている。このような空気圧シリンダとしては、ピス
トンロッドの断面形状を矩形または楕円等に加工するこ
とによりピストンロッドの回転を防止するものや、シリ
ンダ本体に案内されるガイドピンを備えたフランジ部材
をピストンロッドに固定することによりピストンロッド
の回転を防止するものがある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ピスト
ンロッドの断面形状を矩形や楕円等に加工する空気圧シ
リンダにあっては、ピストンロッドの加工が困難である
とともに、軸受やシール部材についても専用のものが必
要であり製造コストが増大するおそれがある。

【０００８】また、ガイドピンを備えたフランジ部材を
ピストンロッドに固定する空気圧シリンダにあっては、
ピストンロッドに重量物であるフランジ部材を装着する
ため、必要以上にピストンを大径化して対応する必要が
あるとともに、ガイドピンを空気圧シリンダのシリンダ
本体に挿入するため、全体として空気圧シリンダが大型
化するおそれがあった。

【０００９】本発明の目的は、ピストンロッドを回転さ
せることのない流体圧シリンダを小型かつ低コストにて
提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の流体圧シリンダ
は、それぞれ円筒形外周面を有し、相互に中心軸が偏心
したピストンとピストンロッドとを備えた軸部材と、前
記ピストンロッドを外部に突出させて前記軸部材を直線
往復動自在に支持するシリンダ本体とを有し、前記ピス
トンを摺動自在に支持するピストン摺動孔を前記シリン
ダ本体に形成し、 前記ピストンロッドを摺動自在に支
持するロッド摺動孔を、前記ピストン摺動孔に対して偏
心させて前記シリンダ本体に形成し、前記軸部材の回転
を防止することを特徴とする。

【００１１】本発明の流体圧シリンダは、それぞれ円筒
形外周面を有し、ピストンとその一端に設けられたピス
トンロッドと他端に設けられた回り止めロッドとを備
え、前記ピストンと前記回り止めロッドとの中心軸が相
互に偏心した軸部材と、前記ピストンロッドを外部に突
出させて前記軸部材を直線往復動自在に支持するシリン
ダ本体とを有し、前記ピストンを摺動自在に支持するピ
ストン摺動孔と前記ピストンロッドを摺動自在に支持す
るロッド摺動孔とを前記シリンダ本体に形成し、前記回
り止めロッドを摺動自在に支持するロッド摺動孔を、前
記ピストン摺動孔に対して偏心させて前記シリンダ本体
に形成し、前記軸部材の回転を防止することを特徴とす
る。

【００１２】本発明の流体圧シリンダは、前記摺動孔を
前記シリンダ本体に組み込まれる滑り軸受に形成したこ
とを特徴とする。

【００１３】本発明の流体圧シリンダは、前記滑り軸受
を多孔質性の空気軸受により形成したことを特徴とす
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００１５】図１は本発明の一実施の形態である流体圧
シリンダ１０を示す斜視図である。図１に示すように、
ほぼ長方体形状を有するシリンダ本体１１には、このシ
リンダ本体１１の外部に突出するピストンロッド１２が
摺動自在に装着されており、シリンダ本体１１の上端面
に形成される２つの給排ポート１３，１４のそれぞれに
圧縮空気を供給制御することにより、ピストンロッド１
２の往復動を得るものである。

【００１６】図２（Ａ）は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図
であり、（Ｂ）は軸部材１５を示す斜視図である。図２
（Ａ）に示すように、シリンダ本体１１内部には、長手
方向に向けてピストン収容孔１６とロッド収容孔１７が
形成されている。

【００１７】ピストン収容孔１６には多孔質材料からな
る空気軸受１８が装着され、この空気軸受１８の内方に
形成されるピストン摺動孔１９にピストン２０が摺動自
在に収容されている。同様に、ピストン２０の一端面側
のロッド収容孔１７には多孔質材料からなる空気軸受２
１が装着され、この空気軸受２１の内方に形成されるロ
ッド摺動孔２２には、端面に雌ねじ部１２ａを有するピ
ストンロッド１２が摺動自在に装着されている。このピ
ストンロッド１２とピストン２０とによって軸部材１５
が構成されている。

【００１８】ここで、ピストン２０にピストンロッド１
２は固定されており、軸部材１５として一体となって軸
方向摺動自在にシリンダ本体１１に支持されている。ま
た、固定されることでピストンロッド１２のピストン２
０に対する相対的な回転、つまりピストン２０を停止さ
せた状態でのピストンロッド１２の回転は制止される。
なお、ピストン２０とピストンロッド１２の固定手段と
しては、締結部材を用いて固定しても良く、一体に成形
しても良く、嵌合や接着により固定しても良い。

【００１９】図２（Ａ）に示すように、シリンダ本体１
１の下端面には、空気軸受１８，２１に圧縮空気を供給
するため収容孔１６，１７に連通して軸受ポート２３，
２４がそれぞれ形成されており、シリンダ本体１１の上
端面には、空気軸受１８，２１からの圧縮空気を排出す
るためロッド収容孔１７に連通して排気ポート２５が形
成されている。このようなシリンダ本体１１のピストン
収容孔１６の開放端側には、Ｏリング２６ａを備えるシ
ール部材２６が挿入されるとともにスナップリング２７
によりシリンダ本体１１に固定されている。

【００２０】また、ピストン２０の一端面側のシリンダ
本体１１内部には後退空気圧室２８が形成され、ピスト
ン２０の他端面側のシリンダ本体１１内部には前進空気
圧室２９が形成されている。この後退空気圧室２８と前
進空気圧室２９のそれぞれには、シリンダ本体１１の上
端面に形成された給排ポート１３，１４がそれぞれに連
通しており、図示しない圧縮空気供給装置が給排ポート
１３，１４に接続される。

【００２１】この圧縮空気供給装置を作動させ、給排ポ
ート１３より圧縮空気を案内して給排ポート１４より圧
縮空気を排出すると、ピストン２０は後退空気圧室２８
の圧縮空気に押圧され後退限位置に摺動し、ピストンロ
ッド１２をシリンダ本体１１内に収容する。一方、給排
ポート１４より圧縮空気を案内して給排ポート１３より
圧縮空気を排出すると、ピストン２０は前進空気圧室２
９の圧縮空気に押圧され前進限位置に摺動し、ピストン
ロッド１２をシリンダ本体１１外に突出させる。なお、
図２（Ａ）に示す状態は、ピストン２０は後退限位置に
作動し、ピストンロッド１２が内部に収容された状態を
示している。

【００２２】また、圧縮空気供給装置は軸受ポート２
３，２４にも接続され、圧縮空気を供給すると、空気軸
受１８とピストン２０の間に空気層を形成し、同様に空
気軸受２１とピストンロッド１２の間に空気層を形成す
ることで摺動抵抗を減少することができる。この圧縮空
気は排気ポート２５より排出されるとともに、給排ポー
ト１３，１４の排気側より排出される。また、排気ポー
ト２５に図示しない真空供給装置を接続することにより
空気層の形成を促進させると共に、軸受より漏れた空気
を吸引することによって発塵を防ぐようにしても良い。

【００２３】このようなピストン２０を保持するピスト
ン摺動孔１９と、ピストンロッド１２を保持するロッド
摺動孔２２とは、相互に偏心するように形成されてい
る。つまり、図２（Ａ）に一点差線で示すピストン摺動
孔１９の中心線Ｃｐ１と、ロッド摺動孔２２の中心線Ｃ
ｒ１とが一定の間隔αを有するように、オフセット状態
となって形成されている。

【００２４】さらに、一定の間隔αつまりオフセット量
αに対応して、ピストン２０にピストンロッド１２は固
定されている。つまり、ピストン２０の中心軸Ｃｐ２と
ピストンロッド１２の中心軸Ｃｒ２とが相互に偏心し、
前述の中心線Ｃｐ１，Ｃｒ１とそれぞれ同一となるよう
に固定されている。

【００２５】したがって、ピストンロッド１２とピスト
ン２０が一体となる軸部材１５は軸方向に摺動できると
ともに、たとえば外部からピストンロッド１２を回転さ
せようとする回転力に対しては、シリンダ本体１１によ
り回転力に伴うピストン２０の公転が制止され、この制
止によりピストンロッド１２の回転は防止される。

【００２６】このように、ピストン２０にピストンロッ
ド１２を偏心させて固定し、シリンダ本体１１に往復動
自在に収容することにより、軸部材１５はピストンロッ
ド１２を回転させることなく、軸方向に往復動すること
ができる。なお、前述したピストンの中心軸Ｃｐ２とピ
ストン摺動孔の中心線Ｃｐ１、およびピストンロッドの
中心軸Ｃｒ２とピストンロッド摺動孔の中心線Ｃｒ１は
完全に同一である必要はなく、軸部材１５が軸方向に摺
動可能であれば良いことは言うまでもない。

【００２７】以下、本発明の他の実施の形態である流体
圧シリンダ３０について詳細に説明する。

【００２８】図３は本発明の他の実施の形態である流体
圧シリンダ３０を示す斜視図である。図３に示すよう
に、ほぼ長方体形状を有するシリンダ本体３１はピスト
ンブロック３１ａと制止ブロック３１ｂにより構成さ
れ、このシリンダ本体３１内部には外部に突出するピス
トンロッド３２が摺動自在に装着されており、シリンダ
本体３１の上端面に形成される２つの給排ポート３３，
３４のそれぞれに圧縮空気を供給制御することにより、
ピストンロッド３２の往復動を得るものである。

【００２９】図４（Ａ）は図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図
であり、（Ｂ）は軸部材３５を示す斜視図である。図４
（Ａ）に示すように、ピストンブロック３１ａの長手方
向にピストン収容孔３６が形成されており、制止ブロッ
ク３１ｂ内の長手方向にロッド収容孔３７が形成されて
いる。これらのブロック３１ａ，３１ｂがねじ部材３８
により締結されることでシリンダ本体３１は形成されて
いる。

【００３０】ピストンブロック３１ａのピストン収容孔
３６には、多孔質材料からなる空気軸受３９が装着さ
れ、この空気軸受３９の内方にはピストン摺動孔４０と
ロッド摺動孔４１が同軸上に形成されており、ピストン
摺動孔４０にピストン４２が摺動自在に収容され、ロッ
ド摺動孔４１にピストンロッド３２が摺動自在に収容さ
れている。ピストン４２の一端面にピストンロッド３２
は固定され一体となって摺動する。

【００３１】同様に、制止ブロック３１ｂのロッド収容
孔３７には、多孔質材料からなる空気軸受４３が装着さ
れ、この空気軸受４３の内方に形成されるロッド摺動孔
４４に回り止めロッド４５が摺動自在に収容されてい
る。この回り止めロッド４５はピストン４２の他端面に
固定されることにより、ピストン４２およびピストンロ
ッド３２とともに軸部材３５として一体となって摺動す
る。なお、軸部材３５を構成するピストン４２とロッド
３２，４５との固定手段としては、締結部材を用いて固
定しても良く、一体に成形しても良く、嵌合や接着によ
り固定しても良い。

【００３２】図４（Ａ）に示すように、シリンダ本体３
１の下端面には、空気軸受３９，４３に圧縮空気を供給
するため収容孔３６，３７に連通して軸受ポート４６
ａ，４６ｂ，４７が形成されており、シリンダ本体３１
の上端面には、空気軸受３９を経た圧縮空気を排出する
ためピストン収容孔３６に連通して排気ポート４８が形
成されている。また、回り止めロッド４５の開放端側の
制止ブロック３１ｂ内部には真空室４９が形成されてお
り、この真空室４９に連通して真空ポート５０がシリン
ダ本体３１の上端面に形成されている。さらに、軸部材
３５にピストンロッド３２の開放端面から回り止めロッ
ド４５の開放端面にかけて流路５１が形成されるととも
に、ピストンロッド３２端部の流路５１には雌ねじ部３
２ａが形成されている。

【００３３】また、ピストン４２の一端面側にはピスト
ンブロック３１ａにより後退空気圧室５２が形成され、
ピストン４２の他端面側には制止ブロック３１ｂにより
前進空気圧室５３が形成されている。この後退空気圧室
５２と前進空気圧室５３のそれぞれには、シリンダ本体
３１の上端面に形成された給排ポート３３，３４がそれ
ぞれ連通している。さらに、図示しない圧縮空気供給装
置が給排ポート３３，３４に接続される。

【００３４】この圧縮空気供給装置を作動させ、給排ポ
ート３３より圧縮空気を案内して給排ポート３４より圧
縮空気を排出すると、ピストン４２は後退空気圧室５２
の圧縮空気に押圧され後退限位置に摺動してピストンロ
ッド３２をシリンダ本体３１内に収容する一方、給排ポ
ート３４より圧縮空気を案内して給排ポート３３より圧
縮空気を排出すると、ピストン４２は前進空気圧室５３
の圧縮空気に押圧され前進限位置に摺動してピストンロ
ッド３２をシリンダ本体３１外に突出させる。なお、図
４（Ａ）に示す状態は、ピストン４２は後退限位置に作
動し、ピストンロッド３２が内部に収容された状態を示
している。

【００３５】また、圧縮空気供給装置は軸受ポート４６
ａ，４６ｂ，４７にも接続され、圧縮空気を供給する
と、空気軸受３９とピストン４２およびピストンロッド
３２との間に空気層を形成し、同様に空気軸受４３と回
り止めロッド４５の間に空気層を形成することで摺動抵
抗を減少することができる。この圧縮空気は排気ポート
４８より排出されるとともに、給排ポート３３，３４の
排気側より排出される。また、真空ポート５０には真空
供給装置が装着され、真空供給装置を作動すると前後進
に摺動するピストンロッド３２の端部より空気を吸引す
ることができる。なお、排気ポート４８に真空供給装置
を接続することにより空気層の形成を促進させると共
に、軸受より漏れた空気を吸引することによって発塵を
防ぐようにしても良い。

【００３６】このようなピストン４２を保持するピスト
ン摺動孔４０と、回り止めロッド４５を保持するロッド
摺動孔４４とは、相互に偏心するように形成されてい
る。つまり、図４（Ａ）に一点差線で示すピストン摺動
孔４０の中心線Ｃｐ３と、ロッド摺動孔４４の中心線Ｃ
ｒ３とが一定の間隔βを有するように、オフセット状態
となって形成されている。

【００３７】さらに、一定の間隔βつまりオフセット量
βに対応して、ピストン４２に回り止めロッド４５は固
定されている。つまり、ピストン４２の中心軸Ｃｐ４と
回り止めロッド４５の中心軸Ｃｒ４とが相互に偏心し、
前述の中心線Ｃｐ３，Ｃｒ３とそれぞれ同一となるよう
に固定されている。

【００３８】したがって、ピストン４２、ピストンロッ
ド３２、および回り止めロッド４５が一体となる軸部材
３５は軸方向に摺動できるとともに、たとえば外部から
ピストンロッド３２を回転させようとする回転力に対し
ては、シリンダ本体３１により回転力に伴う回り止めロ
ッド４５の公転が制止され、この制止に伴いピストンロ
ッド３２の回転は防止される。

【００３９】このように、同軸上にピストンロッド３２
を有するピストン４２に回り止めロッド４５を偏心させ
て固定し、シリンダ本体３１に往復動自在に収容するこ
とにより、軸部材３５はピストンロッド３２を回転させ
ることなく、軸方向に往復動することができる。なお、
前述したピストン４２の中心軸Ｃｐ４とピストン摺動孔
４０の中心線Ｃｐ３、および回り止めロッド４５の中心
軸Ｃｒ４とロッド摺動孔４４の中心線Ｃｒ３は完全に同
一である必要はなく、軸部材３５が軸方向に摺動可能で
あれば良いことは言うまでもない。

【００４０】さらに、ピストンロッド３２とは別に回り
止めロッド４５をピストン４２に対して設けることによ
り、ピストン４２とピストンロッド３２とを同軸上に形
成することができ、ピストンロッド３２の軸方向に対す
る耐荷重を上げることができる。

【００４１】図５に示す流体圧シリンダ５４は、図４
（Ａ）に示す流体圧シリンダ３０の空気軸受３９，４３
を樹脂素材からなる滑り軸受５５，５６，５７に変更し
たものである。このように、滑り軸受５５，５６，５７
を使用する場合、流体圧シリンダ３０に形成される軸受
ポート４６ａ，４６ｂ，４７と排気ポート４８を削減
し、より簡潔な構造の流体圧シリンダ５４とすることが
できる。なお、図２（Ａ）に示す流体圧シリンダ１０に
ついても軸受ポート２３，２４と排気ポート２５を削減
し、空気軸受１８，２１に代えて滑り軸受を使用するこ
とができる。

【００４２】これまで説明した流体圧シリンダ１０，３
０，５４を、半導体チップなどの電子部品を吸着して部
品収容部から実装基板やテストボードに搭載する搬送装
置に使用する場合には、電子部品を吸着する図示しない
吸着具がピストンロッド１２，３２端に形成される雌ね
じ部１２ａ，３２ａに取り付けられる。なお、流体圧シ
リンダ３０，５４にあっては、軸部材３５に流路が形成
されるため、吸着具に真空を供給する配管を設ける必要
がない。

【００４３】流体圧シリンダ１０，３０，５４は、ピス
トンロッド１２，３２が上下方向を向くように図示しな
い搬送装置に取り付けられる。このとき、シリンダ本体
１１，３１の側端面に形成されるねじ孔１１ａ，３１ｃ
を用いて搬送装置に直接流体圧シリンダ１０，３０，５
４を取り付けることができる。

【００４４】このように搬送装置に取り付けられた流体
圧シリンダ１０，３０，５４は、部品収容部においてピ
ストンロッド１２，３２を下降移動させて電子部品を吸
着する。次いで、ピストンロッド１２，３２を上昇移動
させた後に、流体圧シリンダ１０，３０，５４を搬送装
置により水平移動させて実装基板まで移動させる。電子
部品が実装基板上の所定の位置まで搬送された状態のも
とで、ピストンロッド１２，３２を下降移動させて電子
部品を実装基板に搭載する。

【００４５】ピストンロッド１２，３２の上下移動の切
り換え時に、空気圧によるピストン２０，４２への荷重
が抜けてピストンロッド１２，３２が回転するおそれの
ある状況下であっても、ピストンロッド１２，３２の回
転は偏心するピストン２０や、偏心する回り止めロッド
４５により制止され、電子部品の向きを変えることなく
確実に搭載することができる。

【００４６】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
ある。たとえば、図示する流体圧シリンダ１０，３０，
５４は複動形であるが、単動形としても良く、単ロッド
形または両ロッド形のいずれであっても良い。流体圧シ
リンダ３０の回り止めロッド４５の端部をシリンダ本体
３１の外部に突出させ、回り止めロッド４５をピストン
ロッドとして用いることにより両ロッド形の流体圧シリ
ンダとしても良い。また、流体圧シリンダ３０のピスト
ン４２の両端面にそれぞれロッド３２，３６が固定され
ているが、一端面に２つのロッドを固定する流体圧シリ
ンダとしても良い。さらに、ピストン４２の同軸上にピ
ストンロッド３２が設けられているが、同軸上でなくと
も使用することができる。

【００４７】また、空気軸受に用いられる多孔質材料と
しては、焼結銅や焼結アルミニウムなどの焼結金属、焼
結フッ素樹脂などの焼結樹脂、焼結カーボン、および母
金属相中に金属やセラミックスの粒子や繊維を加えて焼
結することにより固体化した焼結複合材料などを使用す
ることができる。

【００４８】さらに、それぞれの摺動孔１９，２２，４
０，４１，４４を形成する空気軸受１８，２１，３９，
４３を設けず、摺動孔１９，２２，４０，４１，４４を
シリンダ本体１１，３１に直接形成しても良いことは言
うまでもない。

【００４９】なお、前記実施の形態においては、流体圧
を圧縮空気による空気圧としたが空気圧に限定されるも
のではない。

【００５０】

【発明の効果】本発明によれば、相互に中心軸の偏心し
たピストンとピストンロッドを備えた軸部材を、ピスト
ン摺動孔とロッド摺動孔とが形成されるシリンダ本体
に、直線往復動自在に支持することにより、円筒形外周
面を有するピストンロッドを回転させることなく往復動
を行う簡潔な構造の流体圧シリンダとすることができ
る。

【００５１】本発明によれば、ピストンの一端に設けら
れるピストンロッドと、ピストンの他端に設けられピス
トンと相互に中心軸の偏心した回り止めロッドとを備え
た軸部材を、ピストン摺動孔とロッド摺動孔とが形成さ
れるシリンダ本体に、直線往復動自在に支持することに
より、円筒形外周面を有するピストンロッドを回転させ
ることなく往復動を行う簡潔な構造の流体圧シリンダと
することができる。

【００５２】本発明によれば、摺動孔を滑り軸受に形成
することにより、軸部材の摺動抵抗を減少し、小さな流
体圧で精度良く往復動を行う簡潔な構造の流体圧シリン
ダとすることができる。

【００５３】本発明によれば、摺動孔を空気軸受に形成
することにより、軸部材の摺動抵抗をさらに減少し、小
さな流体圧で精度良く往復動を行う簡潔な構造の流体圧
シリンダとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態である流体圧シリンダを
示す斜視図である。

【図２】（Ａ）は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、
（Ｂ）は軸部材を示す斜視図である。

【図３】本発明の他の実施の形態である流体圧シリンダ
を示す斜視図である。

【図４】（Ａ）は図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図であり、
（Ｂ）は軸部材を示す斜視図である。

【図５】本発明の他の実施の形態である流体圧シリンダ
を示す断面図である。

【符号の説明】

１０ 流体圧シリンダ １１ シリンダ本体 １１ａ ねじ孔 １２ ピストンロッド １２ａ 雌ねじ部 １３，１４ 給排ポート １５ 軸部材 １６ ピストン収容孔 １７ ロッド収容孔 １８ 空気軸受 １９ ピストン摺動孔（摺動孔） ２０ ピストン ２１ 空気軸受 ２２ ロッド摺動孔（摺動孔） ２３，２４ 軸受ポート ２５ 排気ポート ２６ａ Ｏリング ２６ シール部材 ２７ スナップリング ２８ 後退空気圧室 ２９ 前進空気圧室 ３０ 流体圧シリンダ ３１ シリンダ本体 ３１ａ ピストンブロック ３１ｂ 制止ブロック ３１ｃ ねじ孔 ３２ ピストンロッド ３２ａ 雌ねじ部 ３３，３４ 給排ポート ３５ 軸部材 ３６ ピストン収容孔 ３７ ロッド収容孔 ３８ ねじ部材 ３９ 空気軸受 ４０ ピストン摺動孔（摺動孔） ４１ ロッド摺動孔（摺動孔） ４２ ピストン ４３ 空気軸受 ４４ ロッド摺動孔（摺動孔） ４５ 回り止めロッド ４６ａ，４６ｂ，４７ 軸受ポート ４８ 排気ポート ４９ 真空室 ５０ 真空ポート ５１ 流路 ５２ 後退空気圧室 ５３ 前進空気圧室 ５４ 流体圧シリンダ ５５，５６，５７ 滑り軸受 Ｃｐ１，Ｃｒ１，Ｃｐ３，Ｃｒ３ 中心線 Ｃｐ２，Ｃｒ２，Ｃｐ４，Ｃｒ４ 中心軸

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 それぞれ円筒形外周面を有し、相互に中
   心軸が偏心したピストンとピストンロッドとを備えた軸
   部材と、 前記ピストンロッドを外部に突出させて前記軸部材を直
   線往復動自在に支持するシリンダ本体とを有し、 前記ピストンを摺動自在に支持するピストン摺動孔を前
   記シリンダ本体に形成し、 前記ピストンロッドを摺動自在に支持するロッド摺動孔
   を、前記ピストン摺動孔に対して偏心させて前記シリン
   ダ本体に形成し、前記軸部材の回転を防止することを特
   徴とする流体圧シリンダ。
2. 【請求項２】 それぞれ円筒形外周面を有し、ピストン
   とその一端に設けられたピストンロッドと他端に設けら
   れた回り止めロッドとを備え、前記ピストンと前記回り
   止めロッドとの中心軸が相互に偏心した軸部材と、 前記ピストンロッドを外部に突出させて前記軸部材を直
   線往復動自在に支持するシリンダ本体とを有し、 前記ピストンを摺動自在に支持するピストン摺動孔と前
   記ピストンロッドを摺動自在に支持するロッド摺動孔と
   を前記シリンダ本体に形成し、 前記回り止めロッドを摺動自在に支持するロッド摺動孔
   を、前記ピストン摺動孔に対して偏心させて前記シリン
   ダ本体に形成し、前記軸部材の回転を防止することを特
   徴とする流体圧シリンダ。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の流体圧シリンダ
   において、前記摺動孔を前記シリンダ本体に組み込まれ
   る滑り軸受に形成したことを特徴とする流体圧シリン
   ダ。
4. 【請求項４】 請求項３記載の流体圧シリンダにおい
   て、前記滑り軸受を多孔質性の空気軸受により形成した
   ことを特徴とする流体圧シリンダ。