JP2003148382A - ターボ分子ポンプ及びターボ分子ポンプ運転制御方法 - Google Patents
ターボ分子ポンプ及びターボ分子ポンプ運転制御方法Info
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- JP2003148382A JP2003148382A JP2001342531A JP2001342531A JP2003148382A JP 2003148382 A JP2003148382 A JP 2003148382A JP 2001342531 A JP2001342531 A JP 2001342531A JP 2001342531 A JP2001342531 A JP 2001342531A JP 2003148382 A JP2003148382 A JP 2003148382A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来よりも低電流容量でなおかつ安価な電源
装置で駆動できるターボ分子ポンプ及びその運転制御方
法の提供を課題とする。 【解決手段】 各ラジアル磁気軸受及びスラスト磁気軸
受のそれぞれに対する起動時電力投入を順番に行う構成
／方法を採用した。
装置で駆動できるターボ分子ポンプ及びその運転制御方
法の提供を課題とする。 【解決手段】 各ラジアル磁気軸受及びスラスト磁気軸
受のそれぞれに対する起動時電力投入を順番に行う構成
／方法を採用した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置等の真空排気ポンプとして用いられるターボ分子ポ
ンプとその運転制御方法とに関する。
装置等の真空排気ポンプとして用いられるターボ分子ポ
ンプとその運転制御方法とに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造は、光学的処理や化学的処
理などの様々な工程を経てなされるものである。光学的
処理の代表的処理例としては、例えばウェハ面への回路
パターン焼き付けを行う露光処理が挙げられ、また化学
的処理の代表的処理例としては、例えばウェハ面に薄膜
を形成する表面処理、エッチング処理、洗浄処理等が挙
げられる。前記表面処理においては、今や半導体製造に
おいて必須となった製造技術としてＣＶＤ（Chemical V
apor Deposition）技術がある。このＣＶＤは、ウェハ
等の基板上に対して原料ガスを供給し、この基板上での
ガスの吸着及び化学反応を経て、該基板上に薄膜を形成
する技術である。この技術は、半導体高集積化を実現さ
せるためには欠くことのできないものとなっている。
理などの様々な工程を経てなされるものである。光学的
処理の代表的処理例としては、例えばウェハ面への回路
パターン焼き付けを行う露光処理が挙げられ、また化学
的処理の代表的処理例としては、例えばウェハ面に薄膜
を形成する表面処理、エッチング処理、洗浄処理等が挙
げられる。前記表面処理においては、今や半導体製造に
おいて必須となった製造技術としてＣＶＤ（Chemical V
apor Deposition）技術がある。このＣＶＤは、ウェハ
等の基板上に対して原料ガスを供給し、この基板上での
ガスの吸着及び化学反応を経て、該基板上に薄膜を形成
する技術である。この技術は、半導体高集積化を実現さ
せるためには欠くことのできないものとなっている。
【０００３】ところで、前記ＣＶＤを実現するために
は、前記原料ガスの安定した供給を確保するための機器
や、基板表面上の化学反応を有効に促進させるために基
板表面周囲の領域をクリアに保つ環境保持用の機器等が
必要となってくる。これらのうち、基板表面周囲の領域
をクリアにする方法としては、真空排気装置によって真
空雰囲気を形成する手段が用いられている。この真空排
気装置では、大気圧からの多段階排気を可能とするロー
タリポンプ、ディフュージョンポンプ、ターボ分子ポン
プなど、複数のポンプを組み合わせた構成が一般的に用
いられている。
は、前記原料ガスの安定した供給を確保するための機器
や、基板表面上の化学反応を有効に促進させるために基
板表面周囲の領域をクリアに保つ環境保持用の機器等が
必要となってくる。これらのうち、基板表面周囲の領域
をクリアにする方法としては、真空排気装置によって真
空雰囲気を形成する手段が用いられている。この真空排
気装置では、大気圧からの多段階排気を可能とするロー
タリポンプ、ディフュージョンポンプ、ターボ分子ポン
プなど、複数のポンプを組み合わせた構成が一般的に用
いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記ターボ分子ポンプ
は、一端側に動翼、他端側にスラスト磁気ディスクを備
えてモータにより回転駆動されるロータと、該ロータを
回転方向中心位置に保持する複数のラジアル磁気軸受
と、前記スラスト磁気ディスクを保持して、前記ロータ
を軸線方向回転位置に保持するスラスト磁気軸受とを有
し、吸気口からのガスを排気口へと真空排気する構成を
備えている。ところで、この従来のターボ分子ポンプで
は、その起動時において、前記各ラジアル磁気軸受と前
記スラスト磁気軸受との全てに同時に電力を投入するた
め、例えば図４に示すようなピーク状の過大な電流が一
度に流れる傾向にある。このような関係上、ターボ分子
ポンプに電力を供給する電源装置としては、この起動時
のピーク上昇分を見越した電流容量を持つものを採用す
る必要がある。しかしながら、実際の定常運転時では、
このような大きな電流は流れないので、定常運転時の観
点から見ると、オーバースペックかつ高価な電源装置を
採用せざるを得ないという問題を生じることとなる。
は、一端側に動翼、他端側にスラスト磁気ディスクを備
えてモータにより回転駆動されるロータと、該ロータを
回転方向中心位置に保持する複数のラジアル磁気軸受
と、前記スラスト磁気ディスクを保持して、前記ロータ
を軸線方向回転位置に保持するスラスト磁気軸受とを有
し、吸気口からのガスを排気口へと真空排気する構成を
備えている。ところで、この従来のターボ分子ポンプで
は、その起動時において、前記各ラジアル磁気軸受と前
記スラスト磁気軸受との全てに同時に電力を投入するた
め、例えば図４に示すようなピーク状の過大な電流が一
度に流れる傾向にある。このような関係上、ターボ分子
ポンプに電力を供給する電源装置としては、この起動時
のピーク上昇分を見越した電流容量を持つものを採用す
る必要がある。しかしながら、実際の定常運転時では、
このような大きな電流は流れないので、定常運転時の観
点から見ると、オーバースペックかつ高価な電源装置を
採用せざるを得ないという問題を生じることとなる。
【０００５】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、従来よりも低電流容量でなおかつ安価な電源装
置で駆動できるターボ分子ポンプ及びその運転制御方法
の提供を目的とする。
であり、従来よりも低電流容量でなおかつ安価な電源装
置で駆動できるターボ分子ポンプ及びその運転制御方法
の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために以下の手段を採用した。すなわち、請求項
１に記載のターボ分子ポンプは、端部にスラスト磁気デ
ィスクを備え、モータにより回転駆動されるロータと、
該ロータを回転方向中心位置に保持する複数のラジアル
磁気軸受と、前記スラスト磁気ディスクを保持して、前
記ロータを軸線方向回転位置に保持するスラスト磁気軸
受とを有するターボ分子ポンプにおいて、前記各ラジア
ル磁気軸受及び前記スラスト磁気軸受のそれぞれに対す
る起動時電力投入を順番に行う制御手段が備えられてい
ることを特徴とする。上記請求項１に記載のターボ分子
ポンプによれば、起動時に生じる電流ピークが、従来の
ように、各ラジアル磁気軸受及びスラスト磁気軸受の全
てに同時に電力を投入する場合に比較して、本発明のよ
うに、制御手段によって、各ラジアル磁気軸受及びスラ
スト磁気軸受毎に分けて徐々に流すようにすることで、
比較的低い複数の電流ピークに分散させることができる
ようになる。
決するために以下の手段を採用した。すなわち、請求項
１に記載のターボ分子ポンプは、端部にスラスト磁気デ
ィスクを備え、モータにより回転駆動されるロータと、
該ロータを回転方向中心位置に保持する複数のラジアル
磁気軸受と、前記スラスト磁気ディスクを保持して、前
記ロータを軸線方向回転位置に保持するスラスト磁気軸
受とを有するターボ分子ポンプにおいて、前記各ラジア
ル磁気軸受及び前記スラスト磁気軸受のそれぞれに対す
る起動時電力投入を順番に行う制御手段が備えられてい
ることを特徴とする。上記請求項１に記載のターボ分子
ポンプによれば、起動時に生じる電流ピークが、従来の
ように、各ラジアル磁気軸受及びスラスト磁気軸受の全
てに同時に電力を投入する場合に比較して、本発明のよ
うに、制御手段によって、各ラジアル磁気軸受及びスラ
スト磁気軸受毎に分けて徐々に流すようにすることで、
比較的低い複数の電流ピークに分散させることができる
ようになる。
【０００７】請求項２に記載のターボ分子ポンプ運転制
御方法は、端部にスラスト磁気ディスクを備え、モータ
により回転駆動されるロータと、該ロータを回転方向中
心位置に保持する複数のラジアル磁気軸受と、前記スラ
スト磁気ディスクを保持して、前記ロータを軸線方向回
転位置に保持するスラスト磁気軸受とを有するターボ分
子ポンプを運転制御する方法において、前記各ラジアル
磁気軸受及び前記スラスト磁気軸受のそれぞれに対する
起動時電力投入を、順番に行うことを特徴とする。上記
請求項２にターボ分子ポンプ運転制御方法によれば、起
動時に生じる電流ピークが、従来のように、各ラジアル
磁気軸受及びスラスト磁気軸受の全てに同時に電力を投
入する場合に比較して、本発明のように、各ラジアル磁
気軸受及びスラスト磁気軸受毎に分けて徐々に流すよう
にすることで、比較的低い複数の電流ピークに分散させ
ることができるようになる。
御方法は、端部にスラスト磁気ディスクを備え、モータ
により回転駆動されるロータと、該ロータを回転方向中
心位置に保持する複数のラジアル磁気軸受と、前記スラ
スト磁気ディスクを保持して、前記ロータを軸線方向回
転位置に保持するスラスト磁気軸受とを有するターボ分
子ポンプを運転制御する方法において、前記各ラジアル
磁気軸受及び前記スラスト磁気軸受のそれぞれに対する
起動時電力投入を、順番に行うことを特徴とする。上記
請求項２にターボ分子ポンプ運転制御方法によれば、起
動時に生じる電流ピークが、従来のように、各ラジアル
磁気軸受及びスラスト磁気軸受の全てに同時に電力を投
入する場合に比較して、本発明のように、各ラジアル磁
気軸受及びスラスト磁気軸受毎に分けて徐々に流すよう
にすることで、比較的低い複数の電流ピークに分散させ
ることができるようになる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明のターボ分子ポンプ及びタ
ーボ分子ポンプ運転制御方法の一実施形態についての説
明を、図１〜図３を参照しながら以下に行うが、本発明
がこれのみに限定解釈されるものでないことはもちろん
である。なお、図１は、本実施形態のターボ分子ポンプ
の斜視図である。また、図２は、同ターボ分子ポンプの
各軸受機構を説明するための図であって、ロータ回り
を、その軸線を含む断面で見た場合の概略断面図であ
る。また、図３は、同ターボ分子ポンプの運転制御方法
を説明する図であって、その起動時の投入電流の軌跡を
示すグラフである。
ーボ分子ポンプ運転制御方法の一実施形態についての説
明を、図１〜図３を参照しながら以下に行うが、本発明
がこれのみに限定解釈されるものでないことはもちろん
である。なお、図１は、本実施形態のターボ分子ポンプ
の斜視図である。また、図２は、同ターボ分子ポンプの
各軸受機構を説明するための図であって、ロータ回り
を、その軸線を含む断面で見た場合の概略断面図であ
る。また、図３は、同ターボ分子ポンプの運転制御方法
を説明する図であって、その起動時の投入電流の軌跡を
示すグラフである。
【０００９】本実施形態のターボ分子ポンプは、例えば
半導体製造に用いられるＣＶＤ装置（図示せず）など
に、ロータリポンプやディフュージョンポンプ等ととも
に排気系の一部として装備され、チャンバ内の排気に利
用される装置である。図１に示すように、本実施形態の
ターボ分子ポンプは、分割ケーシング１ａ，１ｂからな
るケーシング１内に、各種機器を収めた構成となってい
る。分割ケーシング１ａには吸気口１ｃが形成され、ま
た分割ケーシング１ｂには排気口１ｄが形成されてい
る。
半導体製造に用いられるＣＶＤ装置（図示せず）など
に、ロータリポンプやディフュージョンポンプ等ととも
に排気系の一部として装備され、チャンバ内の排気に利
用される装置である。図１に示すように、本実施形態の
ターボ分子ポンプは、分割ケーシング１ａ，１ｂからな
るケーシング１内に、各種機器を収めた構成となってい
る。分割ケーシング１ａには吸気口１ｃが形成され、ま
た分割ケーシング１ｂには排気口１ｄが形成されてい
る。
【００１０】ケーシング１内部のロータ室２には、ロー
タ４が配設されている。このロータ４は、ロータシャフ
ト４ａと、該ロータシャフト４ａの一端部の周囲に放射
状に配置固定された動翼５とを備えた構成となってい
る。また、分割ケーシング１ｂ側には静翼３が固定され
ている。ロータ４は、例えば90,000rpm（1,500回転／
秒）で高速回転する部材であることから、一般的には軽
量かつ応力強度の高いアルミニウム合金などがその素材
として好適に用いられる。
タ４が配設されている。このロータ４は、ロータシャフ
ト４ａと、該ロータシャフト４ａの一端部の周囲に放射
状に配置固定された動翼５とを備えた構成となってい
る。また、分割ケーシング１ｂ側には静翼３が固定され
ている。ロータ４は、例えば90,000rpm（1,500回転／
秒）で高速回転する部材であることから、一般的には軽
量かつ応力強度の高いアルミニウム合金などがその素材
として好適に用いられる。
【００１１】前記ロータシャフト４ａの、前記一端側と
は反対側の他端部には、スラスト磁気ディスク６が固定
されている。このスラスト磁気ディスク６に対応して、
その表面及び裏面を間に挟み込むようにスラスト磁気軸
受８が配置されている。このスラスト磁気軸受８は、電
力供給を受けた場合に、スラスト磁気ディスク６を保持
することにより、ロータ４をその軸線方向回転位置に保
持する磁気軸受である。また、ロータシャフト４ａは、
分割ケーシング１ｂの内部に固定された一対のラジアル
磁気軸受７ａ，７ｂの内部に、保持されるようになって
いる。これらラジアル磁気軸受７ａ，７ｂは、電力供給
を受けた場合に、ロータシャフト４ａをその回転方向中
心位置に保持する磁気軸受である。
は反対側の他端部には、スラスト磁気ディスク６が固定
されている。このスラスト磁気ディスク６に対応して、
その表面及び裏面を間に挟み込むようにスラスト磁気軸
受８が配置されている。このスラスト磁気軸受８は、電
力供給を受けた場合に、スラスト磁気ディスク６を保持
することにより、ロータ４をその軸線方向回転位置に保
持する磁気軸受である。また、ロータシャフト４ａは、
分割ケーシング１ｂの内部に固定された一対のラジアル
磁気軸受７ａ，７ｂの内部に、保持されるようになって
いる。これらラジアル磁気軸受７ａ，７ｂは、電力供給
を受けた場合に、ロータシャフト４ａをその回転方向中
心位置に保持する磁気軸受である。
【００１２】さらに、電力が供給されていない場合に
は、ロータシャフト４ａの前記一端側は、分割ケーシン
グ１ｂの内部に配置されたボールベアリング９で支持さ
れ、また、前記他端側は、同じく分割ケーシング１ｂの
内部に配置されたボールベアリング１０で支持されてい
る。さらに、ロータシャフト４ａは、ボールベアリング
９，１０間に位置して分割ケーシング１ｂ内に固定され
たロータ駆動用モータ１１（モータ）の内部に挿通され
ており、このロータ駆動用モータ１１によってその軸線
回りに回転駆動されるようになっている。
は、ロータシャフト４ａの前記一端側は、分割ケーシン
グ１ｂの内部に配置されたボールベアリング９で支持さ
れ、また、前記他端側は、同じく分割ケーシング１ｂの
内部に配置されたボールベアリング１０で支持されてい
る。さらに、ロータシャフト４ａは、ボールベアリング
９，１０間に位置して分割ケーシング１ｂ内に固定され
たロータ駆動用モータ１１（モータ）の内部に挿通され
ており、このロータ駆動用モータ１１によってその軸線
回りに回転駆動されるようになっている。
【００１３】そして、本実施形態のターボ分子ポンプ
は、前記ラジアル磁気軸受７ａ，７ｂ及び前記スラスト
磁気軸受８のそれぞれに対する起動時電力投入を順番に
行う制御装置（制御手段。図示せず）を備えた点が特に
特徴的となっている。これについて、図２及び図３を参
照しながら以下に説明を行う。なお、図２では、説明の
ためにロータ４の形状を簡略化して図示している。
は、前記ラジアル磁気軸受７ａ，７ｂ及び前記スラスト
磁気軸受８のそれぞれに対する起動時電力投入を順番に
行う制御装置（制御手段。図示せず）を備えた点が特に
特徴的となっている。これについて、図２及び図３を参
照しながら以下に説明を行う。なお、図２では、説明の
ためにロータ４の形状を簡略化して図示している。
【００１４】本実施形態のターボ分子ポンプでは、前記
制御装置が、その起動時における各磁気軸受への電力投
入を、まず、図２に示すラジアル磁気軸受７ａまたはラ
ジアル磁気軸受７ｂまたはスラスト磁気軸受８のいずれ
か１個所に対して行い、その次に、残りの２個所のいず
れか一方に対して行い、そして最後に、残りの１個所に
対して行うものとなっている。以下の説明においては、
ラジアル磁気軸受７ａに対して最初に電力投入を行い、
続いてラジアル磁気軸受７ｂ、そして最後にスラスト磁
気軸受８の順番に行うものとして説明する。
制御装置が、その起動時における各磁気軸受への電力投
入を、まず、図２に示すラジアル磁気軸受７ａまたはラ
ジアル磁気軸受７ｂまたはスラスト磁気軸受８のいずれ
か１個所に対して行い、その次に、残りの２個所のいず
れか一方に対して行い、そして最後に、残りの１個所に
対して行うものとなっている。以下の説明においては、
ラジアル磁気軸受７ａに対して最初に電力投入を行い、
続いてラジアル磁気軸受７ｂ、そして最後にスラスト磁
気軸受８の順番に行うものとして説明する。
【００１５】図３に示すように、各磁気軸受への電力投
入を時間差をおいて行うことにより、その起動時に生じ
る電流ピーク形状が、２点鎖線の電流ピークＰ０に示す
従来の制御方法（各ラジアル磁気軸受及びスラスト磁気
軸受の全てに同時に投入する方法）に比較して、実線に
示す極めて低い複数の電流ピークＰ１〜Ｐ３に分散させ
ることができるようになる。これにより、各磁気軸受を
駆動する電源装置の電流容量が、従来であれば同図の投
入電流Ｉａをカバーできるものを採用する必要があった
が、本実施形態では、より低い投入電流Ｉｂをカバー出
来れば良いことになる。
入を時間差をおいて行うことにより、その起動時に生じ
る電流ピーク形状が、２点鎖線の電流ピークＰ０に示す
従来の制御方法（各ラジアル磁気軸受及びスラスト磁気
軸受の全てに同時に投入する方法）に比較して、実線に
示す極めて低い複数の電流ピークＰ１〜Ｐ３に分散させ
ることができるようになる。これにより、各磁気軸受を
駆動する電源装置の電流容量が、従来であれば同図の投
入電流Ｉａをカバーできるものを採用する必要があった
が、本実施形態では、より低い投入電流Ｉｂをカバー出
来れば良いことになる。
【００１６】なお、本実施形態では、ラジアル磁気軸受
７ａ，ラジアル磁気軸受７ｂ，スラスト磁気軸受８の順
番に電力投入を行う場合を例に説明したが、これに限ら
ず、まず、ラジアル磁気軸受７ｂまたはスラスト磁気軸
受８のいずれか一方に行い、続いて他方またはラジアル
磁気軸受７ａのいずれかに行い、そして最後に残りの磁
気軸受に行うものとしても良い。さらには、ラジアル磁
気軸受７ａとラジアル磁気軸受７ｂとを一纏めにして電
力投入を一括して行い、続いて、スラスト磁気軸受８に
電力投入するものとしても良い（その逆も可能であ
る）。
７ａ，ラジアル磁気軸受７ｂ，スラスト磁気軸受８の順
番に電力投入を行う場合を例に説明したが、これに限ら
ず、まず、ラジアル磁気軸受７ｂまたはスラスト磁気軸
受８のいずれか一方に行い、続いて他方またはラジアル
磁気軸受７ａのいずれかに行い、そして最後に残りの磁
気軸受に行うものとしても良い。さらには、ラジアル磁
気軸受７ａとラジアル磁気軸受７ｂとを一纏めにして電
力投入を一括して行い、続いて、スラスト磁気軸受８に
電力投入するものとしても良い（その逆も可能であ
る）。
【００１７】以上説明の本実施形態のターボ分子ポンプ
及びその運転制御方法の効果について纏めると、前記制
御装置を備えて、ラジアル磁気軸受７ａ，ラジアル磁気
軸受７ｂ，スラスト磁気軸受８のそれぞれに対する起動
時電力投入を順番に行う構成／方法を採用した。これに
よれば、起動時に生じる電流ピークは、従来のように、
各ラジアル磁気軸受及びスラスト磁気軸受の全てに同時
に投入する場合に比較して、比較的低い複数の電流ピー
クに分散させることができるようになる。これにより、
起動時に流れる電流ピークが、従来よりも格段に低くな
るので、従来よりも低電流容量でなおかつ安価な電源装
置で駆動することが可能となる。また、上述のように一
度に過大な電流が流れなくなるので、過電流による素子
の破損を防止することも可能となる。
及びその運転制御方法の効果について纏めると、前記制
御装置を備えて、ラジアル磁気軸受７ａ，ラジアル磁気
軸受７ｂ，スラスト磁気軸受８のそれぞれに対する起動
時電力投入を順番に行う構成／方法を採用した。これに
よれば、起動時に生じる電流ピークは、従来のように、
各ラジアル磁気軸受及びスラスト磁気軸受の全てに同時
に投入する場合に比較して、比較的低い複数の電流ピー
クに分散させることができるようになる。これにより、
起動時に流れる電流ピークが、従来よりも格段に低くな
るので、従来よりも低電流容量でなおかつ安価な電源装
置で駆動することが可能となる。また、上述のように一
度に過大な電流が流れなくなるので、過電流による素子
の破損を防止することも可能となる。
【００１８】
【発明の効果】本発明の請求項１に記載のターボ分子ポ
ンプは、各ラジアル磁気軸受及びスラスト磁気軸受のそ
れぞれに対する起動時電力投入を順番に行う制御手段を
備える構成を採用した。この構成によれば、起動時に生
じる電流ピークは、従来のように、各ラジアル磁気軸受
及びスラスト磁気軸受の全てに同時に投入する場合に比
較して、本発明のように、各ラジアル磁気軸受及びスラ
スト磁気軸受毎に分けて徐々に流すようにすることで、
比較的低い複数の電流ピークに分散させることができる
ようになる。これにより、起動時に流れる電流ピーク
が、従来よりも格段に低くなるので、従来よりも低電流
容量でなおかつ安価な電源装置で駆動することが可能と
なる。
ンプは、各ラジアル磁気軸受及びスラスト磁気軸受のそ
れぞれに対する起動時電力投入を順番に行う制御手段を
備える構成を採用した。この構成によれば、起動時に生
じる電流ピークは、従来のように、各ラジアル磁気軸受
及びスラスト磁気軸受の全てに同時に投入する場合に比
較して、本発明のように、各ラジアル磁気軸受及びスラ
スト磁気軸受毎に分けて徐々に流すようにすることで、
比較的低い複数の電流ピークに分散させることができる
ようになる。これにより、起動時に流れる電流ピーク
が、従来よりも格段に低くなるので、従来よりも低電流
容量でなおかつ安価な電源装置で駆動することが可能と
なる。
【００１９】本発明の請求項２に記載のターボ分子ポン
プ運転制御方法は、各ラジアル磁気軸受及びスラスト磁
気軸受のそれぞれに対する起動時電力投入を、順番に行
う方法を採用した。この方法によれば、起動時に生じる
電流ピークは、従来のように、各ラジアル磁気軸受及び
スラスト磁気軸受の全てに同時に投入する場合に比較し
て、本発明のように、各ラジアル磁気軸受及びスラスト
磁気軸受毎に分けて徐々に流すようにすることで、比較
的低い複数の電流ピークに分散させることができるよう
になる。これにより、起動時に流れる電流ピークが、従
来よりも格段に低くなるので、従来よりも低電流容量で
なおかつ安価な電源装置で駆動することが可能となる。
プ運転制御方法は、各ラジアル磁気軸受及びスラスト磁
気軸受のそれぞれに対する起動時電力投入を、順番に行
う方法を採用した。この方法によれば、起動時に生じる
電流ピークは、従来のように、各ラジアル磁気軸受及び
スラスト磁気軸受の全てに同時に投入する場合に比較し
て、本発明のように、各ラジアル磁気軸受及びスラスト
磁気軸受毎に分けて徐々に流すようにすることで、比較
的低い複数の電流ピークに分散させることができるよう
になる。これにより、起動時に流れる電流ピークが、従
来よりも格段に低くなるので、従来よりも低電流容量で
なおかつ安価な電源装置で駆動することが可能となる。
【図１】 本発明のターボ分子ポンプの一実施形態を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図２】 同ターボ分子ポンプの各軸受機構を説明す
るための図であって、ロータ回りを、その軸線を含む断
面で見た場合の概略断面図である。
るための図であって、ロータ回りを、その軸線を含む断
面で見た場合の概略断面図である。
【図３】 同ターボ分子ポンプの運転制御方法を説明
する図であって、その起動時の投入電流の軌跡を示すグ
ラフである。
する図であって、その起動時の投入電流の軌跡を示すグ
ラフである。
【図４】 従来のターボ分子ポンプを起動する際の投
入電流の軌跡を示すグラフであって、横軸が起動開始か
らの時間ｔを示し、縦軸がこの時間ｔに沿った投入電流
の軌跡を示している。
入電流の軌跡を示すグラフであって、横軸が起動開始か
らの時間ｔを示し、縦軸がこの時間ｔに沿った投入電流
の軌跡を示している。
４・・・ロータ
６・・・スラスト磁気ディスク
７ａ，７ｂ・・・ラジアル磁気軸受
８・・・スラスト磁気軸受
１１・・・ロータ駆動用モータ（モータ）
─────────────────────────────────────────────────────
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(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｆ０４Ｄ 29/04 Ｆ０４Ｄ 29/04 Ｒ
Ｆ１６Ｃ 32/04 Ｆ１６Ｃ 32/04 Ａ
Ｆターム(参考） 3H021 AA08 BA02 BA12 CA07 EA03
3H022 AA01 BA06 CA16 DA09 DA20
3H031 AA11 BA05 BA21 DA02 EA11
FA13
3J102 AA01 BA03 BA11 BA17 BA18
CA28 DA09 GA06 GA08
Claims (2)
- 【請求項１】 端部にスラスト磁気ディスクを備え、
モータにより回転駆動されるロータと、該ロータを回転
方向中心位置に保持する複数のラジアル磁気軸受と、前
記スラスト磁気ディスクを保持して、前記ロータを軸線
方向回転位置に保持するスラスト磁気軸受とを有するタ
ーボ分子ポンプにおいて、 前記各ラジアル磁気軸受及び前記スラスト磁気軸受のそ
れぞれに対する起動時電力投入を順番に行う制御手段が
備えられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 【請求項２】 端部にスラスト磁気ディスクを備え、
モータにより回転駆動されるロータと、該ロータを回転
方向中心位置に保持する複数のラジアル磁気軸受と、前
記スラスト磁気ディスクを保持して、前記ロータを軸線
方向回転位置に保持するスラスト磁気軸受とを有するタ
ーボ分子ポンプを運転制御する方法において、 前記各ラジアル磁気軸受及び前記スラスト磁気軸受のそ
れぞれに対する起動時電力投入を、順番に行うことを特
徴とするターボ分子ポンプ運転制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001342531A JP2003148382A (ja) | 2001-11-07 | 2001-11-07 | ターボ分子ポンプ及びターボ分子ポンプ運転制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001342531A JP2003148382A (ja) | 2001-11-07 | 2001-11-07 | ターボ分子ポンプ及びターボ分子ポンプ運転制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003148382A true JP2003148382A (ja) | 2003-05-21 |
Family
ID=19156371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001342531A Pending JP2003148382A (ja) | 2001-11-07 | 2001-11-07 | ターボ分子ポンプ及びターボ分子ポンプ運転制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003148382A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008063065A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Toshiba Elevator Co Ltd | 非接触走行方式のエレベータ |
-
2001
- 2001-11-07 JP JP2001342531A patent/JP2003148382A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008063065A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Toshiba Elevator Co Ltd | 非接触走行方式のエレベータ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040527 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061207 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061212 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070424 |