JP2003145077A

JP2003145077A - ノズル洗浄装置及び方法

Info

Publication number: JP2003145077A
Application number: JP2001352634A
Authority: JP
Inventors: Nozomi Kosaka; 望高坂; Tomoaki Yoshida; 知明吉田
Original assignee: Aloka Co Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2001-11-19
Filing date: 2001-11-19
Publication date: 2003-05-20
Anticipated expiration: 2021-11-19
Also published as: JP3965043B2

Abstract

(57)【要約】【課題】洗浄効果の高いノズル洗浄装置を提供する。【解決手段】ノズル１０を洗浄容器１６へ移送して廃
液槽４２に差し込み、ノズル１０内の分注後の廃液を廃
液槽４２に吐出させる。廃液吐出後、洗浄処理液タンク
２８の洗浄処理液を洗浄槽４４へ注ぎ込み、洗浄槽４４
に貯留させる。ノズル１０を移送して洗浄槽４４へ差し
込み洗浄処理液に接液させる。ノズル１０内にこの洗浄
処理液を吸引させて吐出させ、ノズル１０を洗浄する。
この吐出の際に、洗浄弁６６を開けて洗浄槽４４の液体
を廃棄タンク７０へ送り込む。その後、分注タンク３６
の蒸留水をノズル１０から吐出させて、ノズル１０の内
側を濯ぐ。一方、濯ぎ液タンク３０の蒸留水を洗浄槽４
４内に注ぎ込ませ、ノズル１０の外側表面にかけて濯
ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する分野】本発明は、ノズル洗浄装置及び方
法に関し、特に分注後のノズルの外側と内側を洗浄する
装置及び方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】生化学などの分野では、検体や試薬など
をノズルによって自動的に吸引し、所定量ごとに分注す
るノズル装置が利用される。同一のノズルによって複数
の異なる液体の分注を行う場合には、液体間におけるコ
ンタミネーションを防止するために、分注後、ノズルに
対して洗浄処理が行われる。この洗浄処理では、一般的
に図６に示される方式のノズル洗浄装置が利用されてい
る。このノズル洗浄装置は、外側槽１００の内側に内側
槽１０２が配置された洗浄槽１０４を有しており、分注
後のノズル１０６をこの内側槽１０２内に上方から差し
込む。ノズル１０６に接続された洗浄液タンク１０８か
ら洗浄液をノズル１０６内に導入することによって、ノ
ズル１０６から洗浄液が吐出し、内側槽１０２から溢れ
出る。これにより、ノズル１０６の内側が洗浄されると
同時に、内側槽１０２内の洗浄液によってノズル１０６
の外側が洗浄される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】通常、分注後のノズル
１０６内には少なからず分注液が残留している。この残
留液すなわち廃液は、ノズル１０６内に洗浄液が導入さ
れることにより洗い出され、内側槽１０２に排出され
る。これにより、ノズル１０６の外側は、この残留液を
含む洗浄液に触れることになる。また、このノズル１０
６の外側は、一度ノズル１０６の内側の洗浄に利用され
た洗浄液によって洗浄されることになる。したがって、
洗浄処理に多量の洗浄液（洗浄すすぎ液を含む）を必要
とし、また、洗浄処理に長い時間がかかっていた。

【０００４】本発明は、上記課題に鑑みなされたもので
あり、その目的は、洗浄効率を高めることができるノズ
ル洗浄装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、分注後のノズルを洗浄するノズル洗浄装
置において、残留液廃棄時に、前記ノズルの先端が上方
から差し込まれ、分注後に当該ノズル内に残留している
廃液が流し込まれる廃液槽と、前記廃液槽とは別に設け
られた槽であって、前記残留液廃棄後のノズル洗浄時
に、前記ノズルの先端が上方から差し込まれ、洗浄液に
よるノズルの洗浄が実施される洗浄槽と、を含むことを
特徴とする。

【０００６】上記構成によれば、廃液が捨てられる廃液
槽とは別に、ノズルの洗浄に利用される洗浄槽が設けら
れている。したがって、廃液の廃棄によって汚染されて
いない洗浄槽でノズルを洗浄することができる。また、
例えば、洗浄槽内に洗浄液を貯留してノズルを洗浄する
構成の場合には、その貯留した洗浄液内への廃液の溶け
込みを少なくすることができる。

【０００７】本発明の好適な態様では、閉止時に前記洗
浄槽内の液体を貯留し、開放時に前記洗浄槽内の液体を
排出する洗浄弁を含むことを特徴とする。

【０００８】本発明の好適な態様では、前記洗浄槽に接
続され、第１洗浄液を前記洗浄槽の内部に注ぎ込む第１
洗浄液供給手段と、前記ノズルの基端側に接続され、第
２洗浄液をノズル内へ供給する第２洗浄液供給手段と、
を含み、前記第１洗浄液及び前記第２洗浄液の利用によ
り、前記ノズルの内外が洗浄されることを特徴とする。
また、前記洗浄弁と、前記第１洗浄液供給手段と、前記
第２洗浄液供給手段と、を制御する制御部を含み、前記
制御部は、前記洗浄槽内に前記第１洗浄液を注入させて
貯留させ、その第１洗浄液を前記ノズル内に吸引させた
後に、前記ノズル内に吸引した第１洗浄液を吐出させる
第１内部洗浄制御と、前記ノズル内に前記第２洗浄液を
供給し、前記ノズルから前記第２洗浄液を吐出させる第
２内部洗浄制御と、を実行することを特徴とする。

【０００９】上記構成によれば、ノズル内に第１洗浄液
を吸引し、これを吐出する第１内部洗浄制御、及びノズ
ル内に第２洗浄液を供給してこれを吐出させる第２内部
洗浄制御の２つの洗浄形態によりノズルの内部を洗浄す
ることができる。

【００１０】本発明の好適な態様では、前記制御部は、
貯留した第１洗浄液の液面に前記ノズルの先端を接液さ
せ、前記第１洗浄液の吸引に伴う前記第１洗浄液の液面
の下降に応じて、前記ノズルを追従下降させる追従下降
制御を実行することを特徴とする。これにより、ノズル
の外側表面を不必要に洗浄液内に浸すことなく洗浄する
ことができる。

【００１１】本発明の好適な態様では、前記洗浄弁と、
前記第１洗浄液供給手段と、前記第２洗浄液供給手段
と、を制御する制御部を含み、前記制御部は、前記洗浄
弁を開放させた状態で、前記第１洗浄液供給手段から前
記第１洗浄液を前記ノズルの外側表面に注ぐ外部洗浄制
御を実行することを特徴とする。これにより、例えば、
ノズルの内側の洗浄とは別に、外側表面を直接洗浄する
ことができる。

【００１２】また、本発明の好適な態様では、前記洗浄
槽の上方には、前記第１洗浄液供給手段からの前記第１
洗浄液を前記洗浄槽内に注ぎ込む注ぎ口が設けられてい
ることを特徴とする。ここで、第１洗浄液を洗浄槽内に
注ぎ込む注ぎ口が洗浄槽の上方に設けられているので、
ノズルの外側表面における洗浄すべき領域の全体に第１
洗浄液をかけることができる。

【００１３】本発明の好適な態様では、前記洗浄槽と前
記廃液槽は、互いに隣接配置されて洗浄ユニット槽を形
成し、前記洗浄ユニット槽から溢れ出た液体を受けるド
レイン容器を含むことを特徴とする。また、前記洗浄槽
のオーバーフローレベルよりも、前記洗浄ユニット槽の
オーバーフローレベルの方が高く設定されていることを
特徴とする。これにより、例えば、洗浄ユニット槽にお
いて、詰まりなど排出に支障が生じたとしても、溢れ出
る液体はドレイン容器に流れ込む構成であり、これに対
処できる構成である。

【００１４】本発明の好適な態様では、前記ドレイン容
器内に流れ込む液体の有無を検知する検知手段を含むこ
とを特徴とする。

【００１５】上記課題を解決するために、本発明は、廃
液槽及び洗浄槽を用いて、分注後のノズルを洗浄するノ
ズル洗浄方法において、前記ノズルの先端を上方から前
記廃液槽に差し込み、前記廃液槽に前記分注後の前記ノ
ズル内に残留している液体を流し込む廃液排出工程と、
前記洗浄槽に内外洗浄液を貯留させる準備貯留工程と、
前記残留液廃棄後のノズルを前記洗浄槽に移送し、前記
ノズルの先端を上方から前記洗浄槽に差し込む準備移送
工程と、を有する洗浄準備工程と、前記貯留された内外
洗浄液を前記ノズル内に吸引し、前記吸引した前記内外
洗浄液を前記洗浄槽内に吐出するとともに前記洗浄槽内
の液体を排出させる洗浄工程と、前記ノズルの外側表面
に内外洗浄液を注ぐとともに、前記ノズル内に内部洗浄
液を供給して前記ノズルから前記内部洗浄液を吐出する
濯ぎ工程と、を含むことを特徴とする。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の好適な実施の形態（以
下、実施形態という）について、図面を参照しながら説
明する。図１は、本発明に係るノズル洗浄装置が組み込
まれた分注装置を概略的に示す全体構成図である。

【００１７】分注装置は、分注タンク３６、分注ポンプ
３４、ノズル移送機構１８、制御部２４及び液面検出部
（図示せず）を含み、さらに内外洗浄液供給部１２、洗
浄容器１６、液体回収部２２、ドレイン容器２０、液体
検知器７２及びスピーカ７５等を含む構成を有する。先
ず、これらの構成のうち、分注動作時に作動するものに
ついて説明する。

【００１８】分注動作時においては、主としてノズル１
０、分注タンク３６、分注ポンプ３４、ノズル移送機構
１８、制御部２４及び液面検出部が機能する。ノズル移
送機構１８は、制御部２４に制御されてノズル１０を３
次元的に搬送する。分注タンク３６は、内部に蒸留水が
貯留されている。分注ポンプ３４は、ノズル１０に接続
されているとともに分注タンク３６に接続されており、
制御部２４に制御されて作動して、ノズル１０の先端か
ら分注液を吸引させ、これを吐出させる。このときの吸
引及び吐出動作では、分注タンク３６内の蒸留水が圧力
伝達媒体として利用される。ノズル１０及び液面検出部
については図２を用いて説明する。

【００１９】本実施形態の分注装置では、図２に具体的
に示されたノズル１０を利用する。このノズル１０は、
主としてノズル本体１５、アタッチメント１７、電極１
１及び絶縁体１３から構成されている。ノズル本体１５
は、金属製であり、その先端側はテーパー状に成形さ
れ、ノズル径が小さくなっている。ノズル本体１５の基
端には、アタッチメント１７が固定されている。アタッ
チメント１７は、ノズル移送機構１８に固設され、ノズ
ル本体１５とノズル移送機構１８とを連結する。また、
アタッチメント１７には、分注ポンプ３４に連結された
配管が連結され、この配管を介してノズル本体１５と分
注ポンプ３４とを接続させる。

【００２０】電極１１は、棒状の形状を有し、その一端
（上端）がアタッチメント１７に固定され、ノズル本体
１５の長手方向に沿って伸長配設されており、絶縁体１
３を介してノズル本体１５に固設されている。本実施形
態では、電極１１の下端がノズル本体１５の先端と揃え
られており、ノズル本体１５の先端を液面に接液させる
と、電極１１もまた液体に接触する。液面検出部（図示
せず）は、ノズル本体１５が接液した際におけるノズル
本体１５と電極１１との間の電気抵抗の変化を検知して
液面検出を行う。この液面検出は、分注動作時において
は、分注液の吸引に先立ってノズル１０の先端をその液
面に接液させる際に実行される。なお、分注後のノズル
１０の洗浄工程時にも液面検出が実行されるがこれにつ
いては後述する。

【００２１】図１に戻り、ノズル洗浄装置の説明をす
る。ここで、上記ノズル移送機構１８、分注ポンプ３
４、分注タンク３６及び液面検出部は、制御部２４の制
御の下、ノズル洗浄装置としての機能を有する。ここ
で、本実施形態では、ノズル１０内（ノズル本体１５
内）の洗浄時において、分注タンク３６に貯留されてい
る蒸留水をノズル１０内を濯ぐ洗浄濯ぎ液として利用す
る。

【００２２】内外洗浄液供給部１２は、洗浄容器１６に
接続され、ノズル１０の洗浄に利用される内外洗浄液を
洗浄容器１６に供給する。本実施形態では、内外洗浄液
として、洗浄処理液（薬剤）と、洗浄濯ぎ液としての蒸
留水とが利用される。内外洗浄液供給部１２は、主とし
て、洗浄処理液が貯留されている洗浄処理液タンク２８
と、蒸留水が貯留されている濯ぎ液タンク３０と、注入
弁３２と、注入ポンプ２６とからなる。注入ポンプ２６
は、これら２つのタンクと注入弁３２を介して接続され
ている。制御部２４に制御されて作動する注入ポンプ２
６は、注入弁３２の切換によって選択された洗浄処理液
タンク２８内の洗浄処理液、又は濯ぎ液タンク３０内の
蒸留水を洗浄容器１６内に供給する。

【００２３】洗浄容器１６は、ノズル１０の洗浄で利用
される容器である。洗浄容器１６は、洗浄ユニット槽３
８と、洗浄ユニット槽３８から溢れ出た液体が流れ込む
ためのオーバーフロー槽４０とから構成されている。

【００２４】さらに、洗浄ユニット槽３８は、廃液槽４
２及び洗浄槽４４から構成されている。廃液槽４２は、
分注後のノズル１０内に残留している廃液が流し込まれ
る槽であり、上部には開口が形成され、内部にはこの開
口と連通する空洞部が形成されている。廃液槽４２の底
部には、流し込まれた廃液を排出するための第１排出口
４８が形成されており、この空洞部と連通している。な
お、この第１排出口４８は、廃棄弁６４を介して液体回
収部２２と接続されている。

【００２５】洗浄槽４４は、廃液槽４２に廃液を排出し
た後のノズル１０の洗浄が実施される槽であり、上部に
は開口が形成され、内部にはこの開口と連通する空洞部
が形成されている。洗浄槽４４の底部には、液体を排出
する第２排出口５２が形成されており、この空洞部と連
通している。なお、この第２排出口５２は、洗浄弁６６
を介して液体回収部２２と接続されている。洗浄槽４４
の上方には、注ぎ口５４が形成されており、注入ポンプ
２６から供給される洗浄処理液や蒸留水を洗浄槽４４内
に注ぎ込む。

【００２６】ここで、この注ぎ口５４は、図３に示され
るように、蒸留水を注入した際に、ノズル１０における
外側表面の洗浄を必要とする領域、すなわち外側洗浄領
域の全体に蒸留水をかけることができる位置に配置され
ている。

【００２７】オーバーフロー槽４０の上部には開口が形
成され、内部には、この開口と連通する空洞部が形成さ
れている。一方、底部には、流入した液体を排出する第
３排出口５８が形成されており、この空洞部と連通して
いる。

【００２８】本実施形態の洗浄容器１６は、廃液槽４
２、洗浄槽４４及びオーバーフロー槽４０が一体形成さ
れており、廃液槽４２と洗浄槽４４とは、洗浄壁６０に
よって隔てられ、また洗浄槽ユニット槽３８とオーバー
フロー槽４０は、オーバーフロー壁６２によって隔てら
れている。オーバーフロー壁６２は、洗浄壁６０よりも
高い位置まで伸長形成されている。これにより、洗浄槽
４４のオーバーフローレベルよりも洗浄ユニット槽３８
のオーバーフローレベルの方が高く設定されている。な
お、洗浄壁６０は、注ぎ口５４から注がれる洗浄処理液
や蒸留水が直接廃液槽４２に注がれない高さまで伸長形
成されている。

【００２９】図１及び図３に示された洗浄容器１６で
は、廃液槽４２、洗浄槽４４及びオーバーフロー槽４０
が、一列に配置されて記載されているが、本実施形態の
実際の洗浄容器１６では、これら３つの槽が互いに隣接
配置されており、洗浄容器１６を上方から見ると、図４
に示されるように、あたかも３角形の頂点にこれらの３
つの槽が配置されたような形状を有している。

【００３０】図１に戻り説明を続ける。廃棄弁６４は、
制御部２４に制御されて開閉動作する電磁弁であり、廃
液槽４２内の液体の排出や貯留に利用される。洗浄弁６
６もまた、制御部２４に制御されて開閉動作する電磁弁
であり、洗浄槽４４内の液体の排出や貯留に利用され
る。

【００３１】液体回収部２２は、主として、廃棄ポンプ
６８と廃棄タンク７０とから構成されている。廃棄ポン
プ６８は、制御部２４に制御されて動作し、洗浄ユニッ
ト槽３８から排出される液体を吸引して廃棄タンク７０
に吐出する。廃棄タンク７０は、この吐出された液体を
貯留する。

【００３２】ドレイン容器２０は、オーバーフロー槽４
０に流れ込んだ液体を受ける皿状の容器である。このド
レイン容器２０には、液体検知器７２が設けられてお
り、ドレイン容器２０内への液体の流れ込みを検知す
る。本実施形態の液体検知器７２は、ドレイン容器２０
の底面付近に配置された２つの電極７４を有し、液体の
流れ込みで変化する電極間の電気抵抗に基づいて、この
流れ込みを検知する。

【００３３】スピーカ７５は、ドレイン容器２０への液
体の流れ込みを液体検知器７２で検知した場合、音によ
り警告を発し、ユーザーに報知するためのものである。

【００３４】次に、図１の分注装置に組み込まれたノズ
ル洗浄装置の動作について図５を参照しながら説明す
る。図５は、本実施形態におけるノズル洗浄装置の洗浄
処理を示すフローチャートである。ここで、ノズル１０
は、分注動作時において、その内側が分注液にさらされ
る。また、上述のように、分注液の吸引前にその液面に
接するため、ノズル１０の外側表面には、例えば、先端
からおよそ１ｍｍの高さまで分注液にさらされる。した
がって、ノズル１０の内側と外側表面に、洗浄が必要と
される内側洗浄領域と外側洗浄領域ができる。また、ノ
ズル１０内には、分注液が廃液として残留している。

【００３５】先ず、廃液排出工程が実行される。この工
程では、先ず、洗浄弁６６と廃棄弁６４とが閉止される
（Ｓ２００）。次に、ノズル移送機構１８によって、ノ
ズル１０が移送され、ノズル１０の先端を廃液槽４２の
上方から差し込まれて、所定の高さ位置で停止する（Ｓ
２０２）。そして、分注ポンプ３４が作動して、分注タ
ンク３６内の蒸留水がノズル１０内に供給される。これ
により、ノズル１０内の廃液が押し出され、廃液槽４２
内に流れ込む（Ｓ２０４）。なお、廃液の排出後、引き
続き分注ポンプ３４を作動させる。これにより、分注時
に内側洗浄領域を行き来した蒸留水も廃液槽４０に排出
される。また、吐出される蒸留水によって内側洗浄領域
における汚れ状態が改善される。

【００３６】次に、洗浄準備工程が実行される。この工
程では、先ず、注入弁３２が洗浄処理液タンク２８側に
接続されて洗浄槽４４内に洗浄処理液が注ぎ込まれ、洗
浄槽４４が洗浄処理液で満たされる（Ｓ２０６）。な
お、この洗浄槽４４内に洗浄処理液を貯留する工程は、
上述の廃液排出工程と同時並列的に実行されてもよい。
次に、ノズル１０が廃液槽４２から洗浄槽４４に移送さ
れ、洗浄槽４４の上方からノズル１０が下降していく。
液面検出部によって、ノズル１０の先端が貯留した洗浄
処理液の液面に接したのが検出されると、制御部２４
は、ノズル１０の下降動作を停止させる（Ｓ２０８）。

【００３７】次に、洗浄工程が実行される。この工程で
は、分注ポンプ３４が動作し、ノズル１０内に洗浄槽４
４の洗浄処理液が吸引される。ここで、この洗浄処理液
の吸引に伴って、洗浄槽４４の洗浄処理液の液面が下降
する。制御部２４は、この液面下降に応じてノズル１０
を追従下降させる。これにより、洗浄処理液の吸引時に
亘ってノズル先端の接液状態が維持され、ノズル１０内
を洗浄するのに十分な洗浄処理液がノズル１０内に吸引
される（Ｓ２１０）。また、これにより、吸引時に、貯
留した洗浄処理液内にノズル１０を不必要に浸漬させ、
ノズル１０の外側表面に洗浄処理液を付着させてしまう
ことを防止できる。洗浄処理液は、少なくともノズル１
０内の内側洗浄領域の上端まで吸引され、内側洗浄領域
は洗浄処理液に浸される。その後、洗浄弁６６と廃棄弁
６４とが開放されるとともに、廃棄ポンプ６８が動作を
開始し、洗浄槽４４内に残った洗浄処理液と廃液槽４２
内の液体が廃棄タンク７０内に排出される（Ｓ２１
２）。また、分注ポンプ３４が動作し、ノズル１０から
洗浄処理液が吐出される（Ｓ２１４）。ノズル１０から
吐出された洗浄処理液は、洗浄槽４４から排出される。

【００３８】また、図５のフローチャートの工程として
記載していないが、必要に応じて、追従下降動作後のノ
ズル１０に注ぎ口５４から注ぎ込む洗浄処理液をかけ、
外側洗浄領域を洗浄してもよい。

【００３９】次に、濯ぎ工程が実行される。この工程で
は、図３に示されるように、ノズル１０の内側と外側表
面の濯ぎが行われる。注入弁３２が濯ぎ液タンク３０側
に切り替えられ、注入ポンプ２６の動作により、注ぎ口
５４から洗浄槽４４内に蒸留水が注ぎ込まれる（Ｓ２１
６）。ここで、ノズル１０の外側洗浄領域は、洗浄工程
における追従下降動作によって注ぎ口５４よりも下方に
配置されている。したがって、注ぎ口５４から注がれた
蒸留水は外側洗浄領域にかかり、外側洗浄領域が、濯が
れる。一方、上述のノズル１０内における洗浄処理液の
吐出に引き続き分注ポンプ３４を動作させ、ノズル１０
内に蒸留水を供給し、吐出させる（Ｓ２１８）。これに
より、ノズル１０内が濯がれる。ここで、本実施形態で
は、これらのノズル１０の外側表面の濯ぎと内側の濯ぎ
は同時に実行される。なお、このとき、洗浄弁６６は開
放された状態が保たれ、洗浄槽４４内に流れ込んだ蒸留
水は、廃棄ポンプ６８によって廃棄タンク７０に送り込
まれる。

【００４０】本実施形態におけるノズル１０の洗浄で
は、上述の洗浄準備工程、洗浄工程及び濯ぎ工程からな
る一連の工程が２回繰り返される。なお、必要に応じて
この一連の工程の繰り返し回数を変更可能な構成であっ
てもよい。

【００４１】実施形態のノズル洗浄装置によれば、廃液
が排出された廃液槽４２とは異なる槽でノズル１０が洗
浄される。したがって、使用する洗浄処理液やすすぎ液
を少なくすることができる。また、効率の良い洗浄が実
現できるので、洗浄時間を短くすることができる。

【００４２】なお、仮に、ノズル洗浄時に洗浄槽４４か
らの液体の排出に支障が起き、洗浄槽４４内の液体が溢
れ出したとしても、この液体は廃液槽４２に流れ込み、
廃棄タンク７０に送り込まれる。また、仮に、ノズル１
０の洗浄時に洗浄ユニット槽３８全体における液体の排
出に支障が起き、洗浄ユニット槽３８内の液体が溢れた
としても、この液体は、オーバーフロー槽４０を介して
ドレイン容器２０に流れ込む。この流れ込みは、液体検
知器７２によって検出され、スピーカ７５によって故障
を示す警告音が発せられる。なお、スピーカ７５の代わ
りに、又はスピーカ７５とともに、ディスプレイ等に警
告を表示させる構成であってもよい。このような場合に
は、警告を発するとともに、ノズル洗浄装置を停止さ
せ、不必要な液体の漏れ出しを防止することができる制
御機構とすることが望ましい。

【００４３】

【発明の効果】本発明によれば、洗浄効率を高められる
ノズル洗浄装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るノズル洗浄装置が組み込まれた
分注装置を概略的に示す全体構成図である。

【図２】本発明のノズルを具体的に示す図である。

【図３】本実施形態における濯ぎ工程において、洗浄
槽内でノズルが濯がれている状態を示した図である。

【図４】本実施形態における洗浄容器の平面図であ
る。

【図５】本実施形態におけるノズル洗浄装置の洗浄処
理を示すフローチャートである。

【図６】従来のノズル洗浄装置の概略的な構成を示す
図である。

【符号の説明】

１０ノズル、１２内外洗浄液供給部、１６洗浄容
器、１８ノズル移送機構、２０ドレイン容器、２２
液体回収部、２４制御部、３４分注ポンプ、３６
分注タンク、４０オーバーフロー槽、４２廃液
槽、４４洗浄槽。

フロントページの続きＦターム(参考） 3B116 AA12 AB02 AB47 3B201 AA12 AB02 AB47 BB02 BB92 CB15 4D073 CC02 DC07 DC25

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】分注後のノズルを洗浄するノズル洗浄装
置において、残留液廃棄時に、前記ノズルの先端が上方から差し込ま
れ、分注後に当該ノズル内に残留している廃液が流し込
まれる廃液槽と、前記廃液槽とは別に設けられた槽であって、前記残留液
廃棄後のノズル洗浄時に、前記ノズルの先端が上方から
差し込まれ、洗浄液によるノズルの洗浄が実施される洗
浄槽と、を含むことを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項２】請求項１記載のノズル洗浄装置におい
て、閉止時に前記洗浄槽内の液体を貯留し、開放時に前記洗
浄槽内の液体を排出する洗浄弁を含むことを特徴とする
ノズル洗浄装置。
【請求項３】請求項２記載のノズル洗浄装置におい
て、前記洗浄槽に接続され、第１洗浄液を前記洗浄槽の内部
に注ぎ込む第１洗浄液供給手段と、前記ノズルの基端側に接続され、第２洗浄液をノズル内
へ供給する第２洗浄液供給手段と、を含み、前記第１洗浄液及び前記第２洗浄液の利用により、前記
ノズルの内外が洗浄されることを特徴とするノズル洗浄
装置。
【請求項４】請求項３記載のノズル洗浄装置におい
て、前記洗浄弁と、前記第１洗浄液供給手段と、前記第２洗
浄液供給手段と、を制御する制御部を含み、前記制御部は、前記洗浄槽内に前記第１洗浄液を注入させて貯留させ、
その第１洗浄液を前記ノズル内に吸引させた後に、前記
ノズル内に吸引した第１洗浄液を吐出させる第１内部洗
浄制御と、前記ノズル内に前記第２洗浄液を供給し、前記ノズルか
ら前記第２洗浄液を吐出させる第２内部洗浄制御と、を実行することを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項５】請求項４記載のノズル洗浄装置におい
て、前記制御部は、貯留した第１洗浄液の液面に前記ノズル
の先端を接液させ、前記第１洗浄液の吸引に伴う前記第
１洗浄液の液面の下降に応じて、前記ノズルを追従下降
させる追従下降制御を実行することを特徴とするノズル
洗浄装置。
【請求項６】請求項３記載のノズル洗浄装置におい
て、前記洗浄弁と、前記第１洗浄液供給手段と、前記第２洗
浄液供給手段と、を制御する制御部を含み、前記制御部は、前記洗浄弁を開放させた状態で、前記第
１洗浄液供給手段から前記第１洗浄液を前記ノズルの外
側表面に注ぐ外部洗浄制御を実行することを特徴とする
ノズル洗浄装置。
【請求項７】請求項６記載のノズル洗浄装置におい
て、前記洗浄槽の上方には、前記第１洗浄液供給手段からの
前記第１洗浄液を前記洗浄槽内に注ぎ込む注ぎ口が設け
られていることを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項８】請求項１記載のノズル洗浄装置におい
て、前記洗浄槽と前記廃液槽は、互いに隣接配置されて洗浄
ユニット槽を形成し、前記洗浄ユニット槽から溢れ出た液体を受けるドレイン
容器を含むことを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項９】請求項８記載のノズル洗浄装置におい
て、前記洗浄槽のオーバーフローレベルよりも、前記洗浄ユ
ニット槽のオーバーフローレベルの方が高く設定されて
いることを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項１０】請求項８記載のノズル洗浄装置におい
て、前記ドレイン容器内に流れ込む液体の有無を検知する検
知手段を含むことを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項１１】廃液槽及び洗浄槽を用いて、分注後の
ノズルを洗浄するノズル洗浄方法において、前記ノズルの先端を上方から前記廃液槽に差し込み、前
記廃液槽に前記分注後の前記ノズル内に残留している液
体を流し込む廃液排出工程と、前記洗浄槽に内外洗浄液を貯留させる準備貯留工程と、
前記残留液廃棄後のノズルを前記洗浄槽に移送し、前記
ノズルの先端を上方から前記洗浄槽に差し込む準備移送
工程と、を有する洗浄準備工程と、前記貯留された内外洗浄液を前記ノズル内に吸引し、前
記吸引した前記内外洗浄液を前記洗浄槽内に吐出すると
ともに前記洗浄槽内の液体を排出させる洗浄工程と、前記ノズルの外側表面に内外洗浄液を注ぐとともに、前
記ノズル内に内部洗浄液を供給して前記ノズルから前記
内部洗浄液を吐出する濯ぎ工程と、を含むことを特徴とするノズル洗浄方法。