JP2003141988A - シャドウマスク板の製造方法及びシャドウマスク板用保護フィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 工程内での加熱や乾燥による粘着力の昂進に
起因する重剥離現象の発生が殆どないので、特別な設備
上の工夫や加熱等を要することなく、シャドウマスク素
材から剥離する際のスリップ＆スティック現象に起因す
る剥離力のバラツキや振動の発生等を殆ど来さず、従っ
て生産ラインにおける機械適性に優れる保護フィルムを
用いることによる効率的且つ簡便なシャドウマスク板の
製造方法、及び、上記シャドウマスク板用保護フィルム
を提供する。 【解決手段】 前後２段エッチングによりシャドウマス
ク板を製造するシャドウマスク板の製造方法において、
非エッチング面を保護するために用いられる保護フィル
ムが、レジスト膜への初期粘着力が２Ｎ／２５ｍｍ以上
であり、エッチング工程終了後の剥離力が０．１〜３Ｎ
／２５ｍｍであることを特徴とするシャドウマスク板の
製造方法、及び、上記初期粘着力及び剥離力を示すこと
を特徴とするシャドウマスク板用保護フィルム。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー受像用のブ
ラウン管内で使用されるシャドウマスク板の製造方法及
びシャドウマスク板用保護フィルムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、カラー受像用のブラウン管内
で使用される電子線の線束矯正用のシャドウマスク板を
製造する工程において、シャドウマスク素材の一方の面
にエッチング加工を施す際に、シャドウマスク素材の他
方の面（非エッチング加工面）をマスキング（保護）す
るために保護フィルムが使用されている。

【０００３】上記保護フィルムとしては、例えば、ポリ
エチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン、ポリ塩化ビニル等からなるフィルム（シートも含
む）を支持体とし、その一方の面に粘着剤層が形成され
てなる保護フィルムが一般的に用いられている。

【０００４】このような保護フィルムは、工場の生産ラ
インの中で量産を図るために、巻重体からの巻き戻し
（展開）、シャドウマスク素材への貼着、用済み後にお
けるシャドウマスク素材からの剥離等が自動機械を用い
て行われているので、優れた機械適性が要求される。

【０００５】ところが、従来の保護フィルムは、シャド
ウマスク素材に貼着された後、工程内での加熱や乾燥に
よって粘着力（接着力）が昂進して、いわゆる重剥離現
象が発生するため、用済み後にシャドウマスク素材から
剥離するのが困難となり、剥離時にシャドウマスク素材
と保護フィルムとの間でいわゆるスリップ＆スティック
現象（パラ剥離現象）が発生して、剥離力のバラツキが
大きくなるため、機械適性が不十分であるという問題点
がある。又、スリップ＆スティック現象の発生に伴って
振動も発生するため、シャドウマスク素材に変形、損
傷、切断等の不具合が起こりがちであり、この振動を打
ち消すために、特別な設備上の工夫を要するという問題
点もある。

【０００６】シャドウマスク素材からの保護フィルムの
剥離性を向上させるために、例えば、特開平５−１１４
３５７号公報には、保護フィルムの剥離工程において、
保護フィルムを加熱してシャドウマスク素材のエッチン
グ抵抗層との粘着力を弱めた後、保護フィルムを剥離す
るシャドウマスク板の製造方法が開示されている。

【０００７】しかし、上記公報に開示されている製造方
法の場合、保護フィルムの剥離時に加熱を要するため、
工程が煩雑になったり、エネルギーコスト的にも不利に
なるという問題点がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
問題点に鑑み、工程内での加熱や乾燥による粘着力の昂
進に起因する重剥離現象の発生が殆どないので、特別な
設備上の工夫や加熱等を要することなく、シャドウマス
ク素材から剥離する際のスリップ＆スティック現象に起
因する剥離力のバラツキや振動の発生等を殆ど来さず、
従って生産ラインにおける機械適性に優れる保護フィル
ムを用いることによる効率的且つ簡便なシャドウマスク
板の製造方法、及び、上記シャドウマスク板用保護フィ
ルムを提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明のシャドウマスク
板の製造方法は、所定パターンに従って部分的に金属面
を露出させているレジスト膜が両面に形成されたシャド
ウマスク素材の第１の面に保護フィルムを貼着した後、
第１の面の他面である第２の面からエッチングを行っ
て、第２の面の金属露出部分に凹部を形成する第一エッ
チング工程と、この第２の面のレジスト膜を剥離し又は
剥離することなく第２の面にエッチング抵抗剤を塗布し
てエッチング抵抗層を形成し、このエッチング抵抗層上
に保護フィルムを貼着する保護層形成工程と、上記保護
層形成工程に引き続き、第１の面から保護フィルムを剥
離した後、この第１の面からエッチングを行って、第１
の面側に上記第２の面に形成された凹部に連通する凹孔
を形成する第二エッチング工程と、上記凹孔を形成した
後、第２の面のエッチング抵抗層上の保護フィルムを剥
離すると共にエッチング抵抗層及び要すればレジスト膜
を除去するエッチング抵抗層除去工程とを備えるシャド
ウマスク板の製造方法において、上記保護フィルムは、
レジスト膜への初期粘着力が２Ｎ／２５ｍｍ以上であ
り、エッチング工程終了後の剥離力が０．１〜３Ｎ／２
５ｍｍであることを特徴とする。

【００１０】本発明のシャドウマスク板の製造方法で用
いられるシャドウマスク素材とは、巻取りロールから供
給された長尺帯状の金属素材であり、上記シャドウマス
ク素材は、所定パターンに従って部分的に金属面を露出
させているレジスト膜が両面に形成されている。

【００１１】上記レジスト膜の形成は、例えば、長尺帯
状のシャドウマスク素材の両面に先ず感光膜を形成し、
その両面の感光膜のそれぞれにネガ原版を密着して露光
し、現像して、ネガ原版のパターンに対応するパターン
からなるレジスト膜を形成すれば良い。

【００１２】次に、上記レジスト膜が両面に形成された
シャドウマスク素材の第１の面（一方の面）に後述する
保護フィルムを貼着した後、第１の面の他面である第２
の面（他方の面）からエッチングを行って、第２の面の
金属露出部分に凹部を形成する（第一エッチング工
程）。

【００１３】次に、上記第２の面に例えばエポキシ樹脂
などからなるエッチング抵抗剤を塗布してエッチング抵
抗層を形成した後、このエッチング抵抗層上に保護フィ
ルムを貼着して保護層を形成する（保護層形成工程）。
尚、上記エッチング抵抗剤の塗布は、第２の面のレジス
ト膜を剥離した後に行っても良いし、レジスト膜を剥離
することなく行っても良い。

【００１４】次に、上記保護層の形成に引き続き、第１
の面から保護フィルムを剥離した後、この第１の面から
エッチングを行って、第１の面側に上記第一エッチング
工程において第２の面に形成された凹部に連通する凹孔
を形成して電子ビーム通過孔を得る（第二エッチング工
程）。

【００１５】次に、第２の面のエッチング抵抗層上の保
護フィルムを剥離した後、露出したエッチング抵抗層に
例えば水酸化ナトリウム水溶液のような苛性アルカリ水
溶液をスプレーしてエッチング抵抗層を膨潤させ、更に
温水をスプレーして、その膨潤したエッチング抵抗層を
除去する（エッチング抵抗層除去工程）。

【００１６】次いで、第１の面のレジスト膜を剥離する
と共に、必要であれば第２の面のレジスト膜を剥離する
ことにより、所望のシャドウマスク板を製造することが
できる。

【００１７】本発明の製造方法で用いられる保護フィル
ムは、レジスト膜への初期粘着力が２Ｎ／２５ｍｍ以上
であり、エッチング工程終了後の剥離力が０．１〜３Ｎ
／２５ｍｍであることが必要である。尚、本発明で言う
初期粘着力及び剥離力とは、ＪＩＳ Ｚ−０２３７「粘
着テープ・粘着シート試験方法」に準拠して測定された
１８０度引きはがし粘着力を意味する。

【００１８】保護フィルムのレジスト膜への初期粘着力
が２Ｎ／２５ｍｍ未満であると、レジスト膜に対する保
護フィルムの密着性が不十分となって、非エッチング面
を十分に保護できなくなる。

【００１９】又、保護フィルムのエッチング工程終了後
の剥離力が０．１Ｎ／２５ｍｍ未満であると、シャドウ
マスク板の製造工程において、保護フィルムがシャドウ
マスク素材から自然剥離し、非エッチング面を保護でき
なくなり、逆に３Ｎ／２５ｍｍを超えると、用済み後の
保護フィルムをシャドウマスク素材から剥離する際に重
剥離現象やそれに伴うスリップ＆スティック現象が発生
して、シャドウマスク素材に変形、損傷、切断等の不具
合が生じたり、作業性が悪くなる。

【００２０】次に、本発明のシャドウマスク板用保護フ
ィルム（以下、単に「保護フィルム」と略記する）は、
上記初期粘着力及び剥離力を示すことを特徴とする。

【００２１】本発明の保護フィルムは、上記初期粘着力
及び剥離力を示すので、シャドウマスク板の製造工程に
おいて極めて好適に用いられる。

【００２２】本発明の保護フィルムは、保護フィルムを
レジスト膜から一定の剥離速度で剥離する際に、剥離さ
れた保護フィルムの任意の０．２ｍ区間における剥離力
のバラツキが最大値−最小値≦１Ｎ／２５ｍｍであるこ
とが好ましく、より好ましくは最大値−最小値≦０．５
Ｎ／２５ｍｍである。

【００２３】保護フィルムの上記最大値−最小値が１Ｎ
／２５ｍｍを超えると、用済み後の保護フィルムをシャ
ドウマスク素材から剥離する際に重剥離現象やそれに伴
うスリップ＆スティック現象が発生して、シャドウマス
ク素材に変形、損傷、切断等の不具合が生じたり、作業
性が悪くなることがある。

【００２４】又、本発明においては、上記一定の剥離速
度は特に限定されるものではないが、実生産のラインス
ピードを考慮すれば、１〜３０ｍ／分であることが好ま
しく、より好ましくは１０ｍ前後／分である。１ｍ／分
未満であると、シャドウマスク板の生産性に対応でき
ず、逆に３０ｍ／分を超えると、シャドウマスク素材に
変形、損傷、切断等の不具合が生じる。

【００２５】即ち、本発明の保護フィルムは、前記本発
明のシャドウマスク板の製造方法におけるレジスト膜へ
の初期粘着力が２Ｎ／２５ｍｍ以上であり、エッチング
工程終了後の剥離力が０．１〜３Ｎ／２５ｍｍであり、
且つ、保護フィルムをレジスト膜から好ましくは１〜３
０ｍ／分、より好ましくは１０ｍ前後／分の一定の剥離
速度で剥離する際に、剥離された保護フィルムの任意の
０．２ｍ区間における剥離力のバラツキが好ましくは最
大値−最小値≦１Ｎ／２５ｍｍ、より好ましくは最大値
−最小値≦０．５Ｎ／２５ｍｍである特性を有するもの
が最も好ましい。

【００２６】本発明の保護フィルムは、上記特性を発現
し得るものであれば如何なる保護フィルムであっても良
いが、なかでも支持体の一方の面に粘着剤層が形成され
てなる巻重体状の保護フィルムであることが好ましい。

【００２７】保護フィルムを構成する支持体は、如何な
る材質からなる支持体であっても良いが、なかでもポリ
オレフィン系樹脂からなる支持体であることが好まし
い。

【００２８】上記ポリオレフィン系樹脂としては、例え
ば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度
ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、エチレンと
エチレン以外のα−オレフィンとのエチレンを主体とす
る共重合体などのポリエチレン系樹脂；ポリプロピレン
系樹脂；エチレン−エチルアクリレート共重合体、エチ
レン−ｎ−ブチルアクリレート共重合体、エチレン−メ
チルメタクリレート共重合体などのエチレン−アルキル
（メタ）アクリレート共重合体；エチレン−酢酸ビニル
共重合体等が挙げられるが、なかでも、強度や耐熱性に
優れることから、ポリプロピレン系樹脂が好適に用いら
れる。上記共重合体は、ランダム共重合体であっても良
いし、ブロック共重合体であっても良い。又、これらの
ポリオレフィン系樹脂は、単独で用いられても良いし、
２種類以上が併用されても良い。

【００２９】上記ポリプロピレン系樹脂としては、例え
ば、プロピレンの単独重合体、プロピレンとプロピレン
以外のα−オレフィンとのプロピレンを主体とするラン
ダム共重合体、プロピレンとプロピレン以外のα−オレ
フィンとのプロピレンを主体とするブロック共重合体等
が挙げられる。これらのポリプロピレン系樹脂は、単独
で用いられても良いし、２種類以上が併用されても良
い。

【００３０】上記プロピレン以外のα−オレフィンとし
ては、例えば、エチレン、１−ブテン、１−ペンテン、
１−ヘキセン、４−メチル−１−ペンテン、１−ヘプテ
ン、１−オクテン等が挙げられる。これらのプロピレン
以外のα−オレフィンは、単独で用いられても良いし、
２種類以上が併用されても良い。

【００３１】上記ポリプロピレン系樹脂は、特に限定さ
れるものではないが、重量平均分子量（Ｍｗ）が８万〜
６０万であるものが好ましい。ポリプロピレン系樹脂の
Ｍｗが８万未満であると、得られる支持体や保護フィル
ムの強度や耐熱性が不十分となることがあり、逆に６０
万を超えると、得られる支持体や保護フィルムの柔軟性
やシャドウマスク素材の凹凸への追従性が不十分となる
ことがある。

【００３２】支持体を構成するポリオレフィン系樹脂の
好ましい例としては、例えば、Ｍｗが８万〜６０万のポ
リプロピレン系樹脂５０〜９９．９重量％及びポリプロ
ピレン系樹脂以外の前記ポリオレフィン系樹脂０．１〜
５０重量％が含有されてなるポリオレフィン系樹脂組成
物が挙げられる。

【００３３】上記ポリオレフィン系樹脂組成物中におけ
るポリプロピレン系樹脂の含有量が５０重量％未満であ
るか、ポリプロピレン系樹脂以外のポリオレフィン系樹
脂の含有量が５０重量％を超えると、得られる支持体や
保護フィルムの強度や耐熱性が不十分となることがあ
り、逆にポリプロピレン系樹脂の含有量が９９．９重量
％を超えるか、ポリプロピレン系樹脂以外のポリオレフ
ィン系樹脂の含有量が０．１重量％未満であると、得ら
れる支持体や保護フィルムの柔軟性やシャドウマスク素
材の凹凸への追従性が不十分となることがある。

【００３４】支持体を構成するポリオレフィン系樹脂に
は、本発明の課題達成を阻害しない範囲で必要に応じ
て、例えば、透明性や光沢性を向上させるためにベンジ
リデンソルビトールのような結晶核剤や、充填剤、増量
剤、軟化剤（可塑剤）、界面活性剤、カップリング剤、
酸化防止剤（老化防止剤）、熱安定剤、光安定剤、紫外
線吸収剤、着色剤、滑剤、帯電防止剤、難燃剤等の各種
添加剤の１種類もしくは２種類以上が添加されていても
良い。

【００３５】支持体の成形方法としては、例えば、ポリ
オレフィン系樹脂及び必要に応じて添加される各種添加
剤からなるポリオレフィン系樹脂組成物を常法により予
め調製した後、このポリオレフィン系樹脂組成物を押出
機にて溶融混練して押出し、Ｔダイやサーキュラーダイ
等を用いて、フィルム状（シート状も含む）に成形する
方法や、ポリオレフィン系樹脂組成物を有機溶剤などの
溶媒に溶解もしくは分散させた後、キャスト方式でフィ
ルム状に成形する方法、又、ポリオレフィン系樹脂組成
物と後述する粘着剤層を形成するために用いられる粘着
剤との共押出を行って、支持体の成形と粘着剤層の形成
とを同時に一括して行う方法等が挙げられ、いずれの方
法が採られても良いが、生産性に優れることから、共押
出法を採ることが好ましい。

【００３６】こうして得られる支持体は、単層構成であ
っても良いし、２層以上の複層構成であっても良い。

【００３７】又、支持体の厚みは、特に限定されるもの
ではないが、２０〜１５０μｍであることが好ましい。
支持体の厚みが２０μｍ未満であると、得られる保護フ
ィルムの強度や用済み後の剥離性が不十分となることが
あり、逆に１５０μｍを超えると、得られる保護フィル
ムの柔軟性やシャドウマスク素材の凹凸への追従性が不
十分となることがある。

【００３８】保護フィルムを構成する粘着剤層の形成に
用いられる粘着剤としては、例えば、ゴム（エラストマ
ー）系粘着剤、アクリル系粘着剤、エチレン−酢酸ビニ
ル系粘着剤、ポリビニルエーテル系粘着剤、シリコーン
系粘着剤等が挙げられる。これらの粘着剤は、単独で用
いられても良いし、２種以上が併用されても良い。

【００３９】上記粘着剤は、それぞれの主成分であるゴ
ムや合成樹脂に対して、本発明の課題達成を阻害しない
範囲で必要に応じて、例えば、粘着性付与樹脂、剥離性
調整剤、架橋剤、充填剤、増量剤、軟化剤（可塑剤）、
界面活性剤、カップリング剤、酸化防止剤（老化防止
剤）、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、着色剤、滑
剤、帯電防止剤、難燃剤等の各種添加剤の１種類もしく
は２種類以上が添加されてなるものであっても良い。

【００４０】上記粘着剤の形態は、特に限定されるもの
ではなく、例えば、溶剤型粘着剤、エマルジョン型粘着
剤、ホットメルト型粘着剤、光重合型粘着剤等のいずれ
の形態であっても良い。又、上記粘着剤は、非架橋型粘
着剤であっても良いし、架橋型粘着剤であっても良く、
１液型粘着剤であっても良いし、２液以上の多液型粘着
剤であっても良い。

【００４１】本発明の保護フィルムにおいては、上記粘
着剤のなかでもゴム系粘着剤が好適に用いられる。上記
ゴム系粘着剤としては、例えば、天然ゴム；スチレン−
ブタジエン共重合ゴム、ポリイソプレンゴム、ブチルゴ
ムなどの合成ゴム；スチレン−ブタジエン−スチレンブ
ロック共重合体（ＳＢＳ）、スチレン−イソプレン−ス
チレンブロック共重合体（ＳＩＳ）、これらの共役ジエ
ン部分に水素添加して得られるスチレン−エチレン−ブ
チレン−スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ）やスチ
レン−エチレン−プロピレン−スチレンブロック共重合
体（ＳＥＰＳ）などのＡ−Ｂ−Ａ型ブロック共重合体；
スチレン−ブタジエンブロック共重合体（ＳＢ）、スチ
レン−イソプレンブロック共重合体（ＳＩ）、これらの
共役ジエン部分に水素添加して得られるスチレン−エチ
レン−ブチレンブロック共重合体（ＳＥＢ）やスチレン
−エチレン−プロピレンブロック共重合体（ＳＥＰ）な
どのＡ−Ｂ型ブロック共重合体等を主成分とする粘着剤
が挙げられるが、なかでも上記Ａ−Ｂ−Ａ型ブロック共
重合体又はＡ−Ｂ−Ａ型ブロック共重合体とＡ−Ｂ型ブ
ロック共重合体との混合物を主成分とする粘着剤が好適
に用いられる。これらのゴム系粘着剤は、単独で用いら
れても良いし、２種類以上が併用されても良い。

【００４２】上記Ａ−Ｂ−Ａ型ブロック共重合体及びＡ
−Ｂ型ブロック共重合体において、Ａはスチレン系重合
体ブロックを示し、Ｂはブタジエン重合体ブロックもし
くはイソプレン重合体ブロック又はこれらを水素添加し
て得られるオレフィン系重合体ブロックを示す。

【００４３】上記スチレン系重合体ブロック（Ａ）は、
特に限定されるものではないが、そのＭｗが１万２千〜
１０万程度であるものが好ましく、そのガラス転移温度
（Ｔｇ）が２０℃以上であるものが好ましい。

【００４４】又、上記ブタジエン重合体ブロックもしく
はイソプレン重合体ブロック又はこれらを水素添加して
得られるオレフィン系重合体ブロック（Ｂ）は、特に限
定されるものではないが、そのＭｗが１万〜３０万程度
であるものが好ましく、そのＴｇが−２０℃以下である
ものが好ましい。

【００４５】上記Ａ−Ｂ−Ａ型ブロック共重合体及びＡ
−Ｂ型ブロック共重合体において、ＡブロックとＢブロ
ックとの構成割合は、特に限定されるものではないが、
重量比で、Ａ／Ｂ＝５／９５〜５０／５０であるものが
好ましく、より好ましくはＡ／Ｂ＝１０／９０〜３０／
７０のものである。

【００４６】上記Ａ−Ｂ−Ａ型ブロック共重合体又はＡ
−Ｂ−Ａ型ブロック共重合体とＡ−Ｂ型ブロック共重合
体との混合物を主成分とする粘着剤の好ましい例として
は、例えば、Ａ−Ｂ−Ａ型ブロック共重合体又はＡ−Ｂ
−Ａ型ブロック共重合体とＡ−Ｂ型ブロック共重合体と
の混合物１００重量部に対して、粘着性付与樹脂１０〜
２００重量部（好ましくは２０〜１５０重量部、より好
ましくは２０〜１００重量部）及び高級アルキル基が導
入されたポリエチレンイミン０．０１〜５重量部（好ま
しくは０．１〜２重量部、より好ましくは０．２〜１．
２重量部）が含有されてなる粘着剤が挙げられる。

【００４７】上記粘着剤においては、主成分として、Ａ
−Ｂ−Ａ型ブロック共重合体のみが用いられても良い
し、Ａ−Ｂ−Ａ型ブロック共重合体とＡ−Ｂ型ブロック
共重合体との混合物が用いられても良い。

【００４８】Ａ−Ｂ−Ａ型ブロック共重合体とＡ−Ｂ型
ブロック共重合体との混合割合は、特に限定されるもの
ではないが、重量比で、Ａ−Ｂ−Ａ型ブロック共重合体
／Ａ−Ｂ型ブロック共重合体＝９９／１〜２０／８０で
あることが好ましく、より好ましくは、Ａ−Ｂ−Ａ型ブ
ロック共重合体／Ａ−Ｂ型ブロック共重合体＝９９／１
〜５０／５０である。

【００４９】上記粘着性付与樹脂としては、上記ブロッ
ク共重合体中のブタジエン重合体ブロックもしくはイソ
プレン重合体ブロック又はこれらを水素添加して得られ
るオレフィン系重合体ブロック（Ｂ）に選択的に相溶す
るものが好ましく、例えば、脂肪族系石油樹脂、脂環族
系石油樹脂、芳香族系石油樹脂、ロジン系樹脂、テルペ
ン系樹脂、クマロンインデン系樹脂及びこれらの水素添
加物等が挙げられる。これらの粘着性付与樹脂は、単独
で用いられても良いし、２種類以上が併用されても良
い。

【００５０】上記粘着剤において、Ａ−Ｂ−Ａ型ブロッ
ク共重合体又はＡ−Ｂ−Ａ型ブロック共重合体とＡ−Ｂ
型ブロック共重合体との混合物１００重量部に対する上
記粘着性付与樹脂の含有量が１０重量部未満であると、
得られる保護フィルム（粘着剤層）の粘着性（タック）
や粘着力が不十分となることがあり、逆に２００重量部
を超えると、粘着剤層の凝集力が弱くなって、得られる
保護フィルムの粘着力や用済み後の剥離性が阻害される
ことがある。

【００５１】上記高級アルキル基が導入されたポリエチ
レンイミンは、いわゆる剥離性調整剤として機能し、保
護フィルム（粘着剤層）の粘着性（タック）や粘着力を
適正な水準に維持しつつ、用済み後の保護フィルムをシ
ャドウマスク素材から剥離する際の剥離性向上に寄与す
る。

【００５２】上記高級アルキル基としては、一般に炭素
数が１２以上のアルキル基が好ましく、なかでもオクタ
デシル基が特に好ましい。又、上記ポリエチレンイミン
としては、数平均分子量が１千〜２万のものが好まし
い。

【００５３】ポリエチレンイミンに高級アルキル基を導
入する方法としては、例えば、ポリエチレンイミンに過
剰の高級アルキルイソシアネート化合物を加えて付加反
応させる方法が挙げられ、このような方法を採ることに
より、ポリエチレンイミンに高級アルキル基を容易に導
入することができる。

【００５４】高級アルキル基の導入量は、特に限定され
るものではないが、ポリエチレンイミンのイミン基に対
して、高級アルキル基０．５〜１．０当量であることが
好ましく、より好ましくは０．７〜１．０当量である。

【００５５】上記粘着剤において、Ａ−Ｂ−Ａ型ブロッ
ク共重合体又はＡ−Ｂ−Ａ型ブロック共重合体とＡ−Ｂ
型ブロック共重合体との混合物１００重量部に対する上
記高級アルキル基が導入されたポリエチレンイミンの含
有量が０．０１重量部未満であると、得られる保護フィ
ルム（粘着剤層）の粘着力が工程内での加熱や乾燥によ
って上昇し、用済み後の剥離が困難となることがあり、
逆に５重量部を超えると、高級アルキル基が導入された
ポリエチレンイミンが粘着剤層の表面に多量にブリード
アウトして、保護フィルム（粘着剤層）の粘着性（タッ
ク）や粘着力が阻害されたり、シャドウマスク素材の表
面を汚染する等の不具合が生じることがある。

【００５６】本発明で用いられる粘着剤の調製方法は、
特に限定されるものではなく、例えば、ミキサー、ニー
ダー、ロール、押出機等の通常の攪拌混練機を用いて、
粘着剤の主成分として用いられる前記ゴムや合成樹脂の
各所定量と必要に応じて添加される前記各種添加剤の１
種類もしくは２種類以上の各所定量とを、常温下もしく
は加温下で、均一に攪拌混練することにより、所望の粘
着剤を得ることができる。

【００５７】保護フィルムの作製方法としては、例え
ば、ロールコーター等の通常の塗工機を用いて、前記支
持体の所定の面に粘着剤を直接的に塗工し、必要に応じ
て乾燥、冷却、光照射等の工程を経て、粘着剤層を形成
した後、必要に応じて離型紙や離型フィルム等の離型材
の離型処理面を粘着剤層に積層する直接塗工法、離型材
の離型処理面に上記と同様の方法で粘着剤層を形成した
後、この粘着剤層を支持体の所定の面に積層して、粘着
剤層を支持体の所定の面に転写する転写法、支持体用の
例えばポリオレフィン系樹脂と粘着剤層用の粘着剤との
共押出を行って、支持体の成形と粘着剤層の形成とを同
時に一括して行う共押出法等が挙げられ、いずれの方法
が採られても良いが、生産性に優れることから、共押出
法を採ることが好ましい。尚、支持体の所定の面には、
粘着剤層の密着性をより高めるために、予めコロナ放電
処理、プラズマ放電処理、プライマー塗工等の表面処理
が施されていても良い。

【００５８】上記粘着剤層の厚みは、特に限定されるも
のではないが、３〜５０μｍであることが好ましく、よ
り好ましくは５〜３０μｍである。粘着剤層の厚みが３
μｍ未満であると、得られる保護フィルムの粘着性（タ
ック）や粘着力が不十分となることがあり、逆に５０μ
ｍを超えると、得られる保護フィルムをシャドウマスク
素材から用済み後に剥離する際の剥離性が阻害された
り、得られる保護フィルムのコストが高くなることがあ
る。

【００５９】

【発明の実施の形態】本発明をさらに詳しく説明するた
め以下に実施例を挙げるが、本発明はこれら実施例のみ
に限定されるものではない。尚、実施例中の「部」は
「重量部」を意味する。

【００６０】（実施例１）支持体用のポリオレフィン系
樹脂としてポリプロピレン系樹脂｛商品名「Ｊ２１５
Ｗ」、密度：０．９１ｇ／ｃｍ³ 、メルトフローレート
（ＭＦＲ）：９ｇ／１０分（２３０℃）、グランドポリ
マー社製｝を準備した。又、Ａ−Ｂ−Ａ型ブロック共重
合体からなるＳＥＢＳ（商品名「タフテックＨ１０５
２」、旭化成工業社製）１００部、粘着性付与樹脂とし
て脂環族系水添石油樹脂（商品名「アルコンＰ１０
０」、荒川化学工業社製）２０部及び高級アルキル基が
導入されたポリエチレンイミンとしてオクタデシルイソ
シアネートをイミン基に対して０．８当量付加反応させ
たポリエチレンイミン（数平均分子量：１万）１部から
なる粘着剤層用の粘着剤ペレットを調製した。

【００６１】次いで、共押出機を用いて、支持体用のポ
リプロピレン系樹脂「Ｊ２１５Ｗ」と上記で得られた粘
着剤層用の粘着剤ペレットとの２層共押出を行って、支
持体の厚みが３０μｍ、粘着剤層の厚みが１０μｍ、全
厚みが４０μｍの保護フィルムを作製した。

【００６２】（実施例２）支持体用のポリオレフィン系
樹脂としてポリプロピレン系樹脂「Ｊ２１５Ｗ」８０部
及び直鎖状低密度ポリエチレン（商品名「Ｍ１２」、三
井化学社製）２０部からなるポリオレフィン系樹脂組成
物を用いたこと以外は実施例１の場合と同様にして、保
護フィルムを作製した。

【００６３】（実施例３及び比較例１，２）支持体用の
ポリオレフィン系樹脂として実施例２で用いたポリオレ
フィン系樹脂組成物を用い、粘着剤層用の粘着剤ペレッ
トを表１に示す組成としたこと以外は実施例１の場合と
同様にして、保護フィルムを作製した。

【００６４】（比較例３）支持体用のポリオレフィン系
樹脂として実施例２で用いたポリオレフィン系樹脂組成
物を用い、粘着剤層用として、スチレン−ジエン系炭化
水素ランダム共重合体の水素添加物（商品名「ダイナロ
ン１９１０Ｐ」、ジェイエスアール社製）１００部、脂
環族系水添石油樹脂「アルコンＰ１００」２０部及びオ
クタデシルイソシアネートをイミン基に対して０．８当
量付加反応させたポリエチレンイミン１部からなる粘着
剤ペレットを用いたこと以外は実施例１の場合と同様に
して、保護フィルムを作製した。

【００６５】（比較例４）支持体用のポリオレフィン系
樹脂として実施例２で用いたポリオレフィン系樹脂組成
物を用い、粘着剤層用の粘着剤ペレットを表１に示す組
成としたこと以外は実施例１の場合と同様にして、保護
フィルムを作製した。

【００６６】実施例１〜実施例３、及び、比較例１〜比
較例４で得られた保護フィルムの性能（初期粘着力、
加熱後剥離力、剥離力のバラツキ、機械適性、
エッチング性）を以下の方法で評価した。その結果は表
１に示した。

【００６７】初期粘着力 被着体としてＪＩＳ Ｚ−０２３７に規定するステンレ
ス板、及び、表面が平滑なアルミキルド低炭素鋼板（板
厚：０．１３ｍｍ）にポリビニルアルコール系レジスト
剤を塗布乾燥してレジスト膜を形成したレジスト鋼板の
２種類を用い、巻重体から巻き戻した保護フィルムをラ
ミネーターで上記２種類の被着体のそれぞれに貼り付
け、２３℃の雰囲気下に３０分間放置した後、同雰囲気
下で、ＪＩＳＺ−０２３７に準拠して、剥離速度１０ｍ
／分で１８０度引きはがし粘着力を測定した。

【００６８】加熱後剥離力 巻重体から巻き戻した保護フィルムをラミネーターで上
記２種類の被着体のそれぞれに貼り付け、８０℃で３０
分間加熱した後、２３℃の雰囲気下に３０分間放置し、
同雰囲気下で、ＪＩＳ Ｚ−０２３７に準拠して、剥離
速度１０ｍ／分で１８０度引きはがし粘着力を測定し
た。

【００６９】剥離力のバラツキ 巻重体から巻き戻した保護フィルムをラミネーターで上
記レジスト鋼板に貼り付け、８０℃で３０分間加熱した
後、２３℃の雰囲気下に３０分間放置し、同雰囲気下
で、ＪＩＳ Ｚ−０２３７に準拠して、剥離速度１ｍ／
分及び２〜３０ｍ／分の場合の１８０度引きはがし粘着
力を測定し、下記方法で剥離力のバラツキを求めた。 （１）剥離速度１ｍ／分：予め１ｍ／分の剥離速度で保
護フィルムをレジスト鋼板から連続的に剥離し、剥離さ
れた保護フィルムの任意の０．２ｍ区間における剥離力
をアナログ的に読み取り、データの最大値−最小値を代
表値とした。 （２）剥離速度２〜３０ｍ／分：予め２ｍ／分の剥離速
度で保護フィルムをレジスト鋼板から連続的に剥離し、
剥離された保護フィルムの任意の０．２ｍ区間における
剥離力をアナログ的に読み取り、データの最大値−最小
値をＲ２とする。同様の方法で、剥離速度３〜３０ｍ／
分の１ｍ／分刻みの各々について、最大値−最小値（Ｒ
３〜Ｒ３０）を求め、得られたＲ２〜Ｒ３０の２９個の
データの内、最大のものを代表値とした。

【００７０】機械適性 ＪＩＳ Ｚ−０２３７に規定されている標準状態におい
て、貼付試験機（型式「９８−５０型」、西村工機社
製）を用い、上記レジスト鋼板の長さ１０ｍに予め保護
フィルムを貼り付けた。次に、上記保護フィルムが貼り
付けられたレジスト鋼板を８０℃のオーブン内で１０分
間加熱した後、２３℃の雰囲気下に３０分間放置した。
次いで、同雰囲気下で、上記貼付試験機を用いて、剥離
速度１０ｍ／分で保護フィルムを剥離し、（１）スリッ
プ＆スティック現象の発生の有無、（２）レジスト鋼板
の変形の有無、（３）レジスト鋼板の損傷の有無を目視
で観察した。

【００７１】エッチング性 上記保護フィルムが貼り付けられたレジスト鋼板を７０
℃に温調したボーメ濃度４５の塩化第二鉄水溶液に３分
間浸漬し、エッチング不良の有無を目視で観察した。

【００７２】

【表１】

【００７３】

【発明の効果】以上述べたように、本発明のシャドウマ
スク板の製造方法によれば、工程内での加熱や乾燥によ
る粘着力の昂進に起因する重剥離現象の発生が殆どない
ので、シャドウマスク素材から剥離する際のスリップ＆
スティック現象に起因する剥離力のバラツキや振動の発
生等を殆ど来さず、従って生産ラインにおける機械適性
に優れる保護フィルムを用いるので、特別な設備上の工
夫や加熱等を要することなく、効率的且つ簡便にシャド
ウマスク板を製造することができる。

【００７４】又、本発明の保護フィルムは、工程内での
加熱や乾燥による粘着力の昂進に起因する重剥離現象の
発生が殆どないので、シャドウマスク素材から剥離する
際のスリップ＆スティック現象に起因する剥離力のバラ
ツキや振動の発生等を殆ど来さず、従って生産ラインに
おける機械適性に優れるので、シャドウマスク板用の保
護フィルムとして好適に用いられる。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定パターンに従って部分的に金属面を
   露出させているレジスト膜が両面に形成されたシャドウ
   マスク素材の第１の面に保護フィルムを貼着した後、第
   １の面の他面である第２の面からエッチングを行って、
   第２の面の金属露出部分に凹部を形成する第一エッチン
   グ工程と、この第２の面のレジスト膜を剥離し又は剥離
   することなく第２の面にエッチング抵抗剤を塗布してエ
   ッチング抵抗層を形成し、このエッチング抵抗層上に保
   護フィルムを貼着する保護層形成工程と、上記保護層形
   成工程に引き続き、第１の面から保護フィルムを剥離し
   た後、この第１の面からエッチングを行って、第１の面
   側に上記第２の面に形成された凹部に連通する凹孔を形
   成する第二エッチング工程と、上記凹孔を形成した後、
   第２の面のエッチング抵抗層上の保護フィルムを剥離す
   ると共にエッチング抵抗層及び要すればレジスト膜を除
   去するエッチング抵抗層除去工程とを備えるシャドウマ
   スク板の製造方法において、上記保護フィルムは、レジ
   スト膜への初期粘着力が２Ｎ／２５ｍｍ以上であり、エ
   ッチング工程終了後の剥離力が０．１〜３Ｎ／２５ｍｍ
   であることを特徴とするシャドウマスク板の製造方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の初期粘着力及び剥離力
   を示すことを特徴とするシャドウマスク板用保護フィル
   ム。
3. 【請求項３】 保護フィルムをレジスト膜から一定の剥
   離速度で剥離する際に、剥離された保護フィルムの任意
   の０．２ｍ区間における剥離力のバラツキが最大値−最
   小値≦１Ｎ／２５ｍｍであることを特徴とする請求項２
   に記載のシャドウマスク板用保護フィルム。
4. 【請求項４】 ポリオレフィン系樹脂からなる支持体の
   一方の面に粘着剤層が形成されてなる巻重体状の保護フ
   ィルムであって、上記粘着剤層は、Ａ−Ｂ−Ａ型ブロッ
   ク共重合体又はＡ−Ｂ−Ａ型ブロック共重合体とＡ−Ｂ
   型ブロック共重合体との混合物（但し、Ａはスチレン系
   重合体ブロックを示し、Ｂはブタジエン重合体ブロック
   もしくはイソプレン重合体ブロック又はこれらを水素添
   加して得られるオレフィン系重合体ブロックを示す）１
   ００重量部に対して、粘着性付与樹脂１０〜２００重量
   部及び高級アルキル基が導入されたポリエチレンイミン
   ０．０１〜５重量部が含有されてなる粘着剤から形成さ
   れていることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載
   のシャドウマスク板用保護フィルム。