JP2003139805A - インピーダンス測定システムおよびインピーダンス測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 環状接続された複数の電子部品のインピーダ
ンスを短時間で測定する。 【解決手段】 ネットワーク素子ＮＣ１内のコンデンサ
Ｃ１〜Ｃ８のうちの複数をＬＣＲ測定装置１−１，１−
２に接続してその容量を同時に測定するシステムであっ
て、各電極Ｔ１〜Ｔ８に接触させられたプローブＰ１〜
Ｐ８から制御信号Ｓｃに従っていずれかのプローブを選
択してＬＣＲ測定装置に接続するスキャナ装置１１を備
え、スキャナ装置１１は、コンデンサＣ１と他のコンデ
ンサＣ５との間に接続されるコンデンサの数が２つ以上
となる接続条件を常に満たすように各プローブを各ＬＣ
Ｒ測定装置に接続し、かつコンデンサＣ１，Ｃ５以外の
コンデンサが２つ以上連続して接続されている部位にお
ける電極の１つをグランド電位ＧＬに接続し、測定装置
は、スキャナ装置１１によって接続処理が実行された後
にコンデンサＣ１，Ｃ５の容量を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の電子部品を
環状接続して構成されたネットワーク素子におけるその
各電子部品各々のインピーダンスを測定するインピーダ
ンス測定システムおよびインピーダンス測定方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】図５に示すように複数の電子部品（一例
として８個のコンデンサＣ１〜Ｃ８、以下、区別しない
ときには、「コンデンサＣ」ともいう）を環状接続して
構成されたネットワーク素子ＮＣ１における各コンデン
サＣのインピーダンスを測定するインピーダンス測定方
法として、以下に説明する測定方法が従来から一般的に
用いられている。

【０００３】この従来の測定方法では、ＬＣＲ測定装置
１（以下、「測定装置１」ともいう）を一台使用して、
コンデンサＣ１〜Ｃ８の容量を一つずつ順に測定する。
具体的には、まず、測定装置１の出力端子に接続された
プローブＰＨと入力端子に接続されたプローブＰＬとを
電子部品同士が相互接続された電極Ｔ１〜Ｔ８（以下、
区別しないときには、「電極Ｔ」ともいう）のいずれか
隣り合う２つに接続する。一例としてコンデンサＣ１を
測定対象電子部品とするときには、コンデンサＣ１の一
端に接続された電極Ｔ１と他端に接続された電極Ｔ２と
にそれぞれ接続する。この場合、測定装置１の入力端子
は基準電位（以下、一例としてグランド電位ＧＬとす
る）に仮想接地されている。また、コンデンサＣ２〜Ｃ
８間における電極Ｔ３〜Ｔ８のうちのいずれか一つの電
極Ｔ（一例としてコンデンサＣ７，Ｃ８間の電極Ｔ８）
をグランド電位ＧＬに接続する。

【０００４】次に、測定装置１を起動して、プローブＰ
Ｈから交流電圧の測定用信号を電極Ｔ１に出力し、この
ときに、電極Ｔ２を介してプローブＰＬに流れ込む電流
ＩとコンデンサＣ１の両端電圧Ｖ（電極Ｔ１，Ｔ２間の
電圧）とを測定する。この場合、測定装置１の入力端子
（プローブＰＬ）と、電極Ｔ８とが共に基準電位に維持
されている。したがって、測定装置１のプローブＰＨか
ら出力されてコンデンサＣ１通過する電流Ｉは、コンデ
ンサＣ２〜Ｃ７には流れずに、コンデンサＣ１のみを流
れる。したがって、測定装置１では、測定した両端電圧
Ｖと電流Ｉとに基づいて、並列接続されたコンデンサＣ
２〜Ｃ８の影響を受けずに、コンデンサＣ１のみの容量
を算出することが可能となる。次いで、プローブＰＨ，
ＰＬの接続を変えながら、同様にして他のコンデンサＣ
２〜Ｃ８の容量を一つずつ順に測定することにより、す
べてのコンデンサＣ１〜Ｃ８の容量を個別的に測定す
る。以上の測定処理により、環状に接続された他のコン
デンサＣの影響を受けることなく、すべてのコンデンサ
Ｃ１〜Ｃ８の容量が正確に測定される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
容量測定方法には以下の問題点がある。すなわち、この
容量測定方法では、環状接続された各コンデンサＣに対
して一つずつその容量を順に測定する。このため、この
従来の容量測定方法には、すべてのコンデンサＣの容量
を測定するために長時間を要し、その結果、測定コスト
が高騰しているという問題点がある。特に、ネットワー
ク素子ＮＣ１を量産する場合、そのネットワーク素子Ｎ
Ｃ１が個々の仕様を満足しているかを検査する必要があ
るため、この容量測定のコストが、ネットワーク素子Ｎ
Ｃ１の製造コストを高騰させる要因となっている。

【０００６】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
ものであり、環状接続された複数の電子部品各々のイン
ピーダンスを短時間で測定し得るインピーダンス測定シ
ステムおよびインピーダンス測定方法を提供することを
主目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく請
求項１記載のインピーダンス測定システムは、環状接続
された６つ以上の電子部品のうちの複数を測定対象電子
部品として当該複数の測定対象電子部品の各々に測定装
置をそれぞれ接続してその各インピーダンスを同時に測
定可能なインピーダンス測定システムであって、前記各
電子部品同士の各接続点にそれぞれ接触させられた複数
のプローブから制御信号に従っていずれかのプローブを
選択すると共に当該選択した各プローブと前記複数の測
定装置とを接続する選択接続装置を備え、前記選択接続
装置は、前記制御信号に従い、任意の１の前記測定対象
電子部品と他の任意の１の前記測定対象電子部品との間
に接続される前記電子部品の数が２つ以上となる接続条
件を常に満たすように前記各プローブを前記各測定装置
にそれぞれ接続し、かつ前記測定対象電子部品以外の前
記電子部品が２つ以上連続して接続されている部位にお
ける当該各電子部品同士の接続点の少なくとも１つに接
続されている前記プローブを前記基準電位に接続する選
択接続処理を実行可能に構成され、前記測定装置は、そ
の出力部が前記測定対象電子部品の一端に接続されて当
該測定対象電子部品に測定用信号を出力する信号出力部
と、基準電位に仮想接地された入力部が前記測定対象電
子部品の他端に接続されて当該測定対象電子部品に流れ
る電流を検出する電流検出部と、前記測定対象電子部品
の両端電圧を検出する電圧検出部と、前記検出した電流
および両端電圧に基づいて前記測定対象電子部品のイン
ピーダンスを算出するインピーダンス算出部とを備える
と共に前記選択接続装置によって前記選択接続処理が実
行された状態において前記測定対象電子部品のインピー
ダンスを測定可能に構成されている。なお、本発明にお
いて、「インピーダンス」には、容量、抵抗およびイン
ダクタンスが含まれる。また、「接続部」には、電極、
接続端子およびリード線などが含まれる。

【０００８】また、請求項２記載のインピーダンス測定
システムは、請求項１記載のインピーダンス測定システ
ムにおいて、前記制御信号を前記選択接続装置に出力す
る制御装置を備えて構成されている。

【０００９】さらに、請求項３記載のインピーダンス測
定システムは、請求項２記載のインピーダンス測定シス
テムにおいて、前記制御装置は、前記制御信号を出力す
ると共に測定開始信号を出力可能に構成され、前記各測
定装置は、前記測定開始信号を入力したときに前記イン
ピーダンスの測定をそれぞれ開始する。

【００１０】また、請求項４記載のインピーダンス測定
方法は、その出力部が測定対象電子部品の一端に接続さ
れて当該測定対象電子部品に測定用信号を出力する信号
出力部と、基準電位に仮想接地された入力部が前記測定
対象電子部品の他端に接続されて当該測定対象電子部品
に流れる電流を検出する電流検出部と、前記測定対象電
子部品の両端電圧を検出する電圧検出部と、前記検出し
た電流および両端電圧に基づいて前記測定対象電子部品
のインピーダンスを算出するインピーダンス算出部とを
備えた測定装置を複数使用して、環状接続された６つ以
上の電子部品のうちの複数を前記測定対象電子部品とし
て前記各測定装置をそれぞれ接続してその各インピーダ
ンスを同時に測定可能なインピーダンス測定方法であっ
て、任意の１の前記測定対象電子部品と、他の任意の１
の前記測定対象電子部品との間に接続される前記電子部
品の数が２つ以上となる接続条件を常に満たすように、
前記各測定装置を前記各測定対象電子部品にそれぞれ接
続し、前記測定対象電子部品以外の前記電子部品が２つ
以上連続して接続されている部位における当該各電子部
品同士の接続点の少なくとも１つを前記基準電位に接続
し、その状態において前記各測定装置を用いて前記各測
定対象電子部品のインピーダンスをそれぞれ測定する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係るインピーダンス測定システムおよびインピーダ
ンス測定方法の好適な実施の形態について説明する。

【００１２】最初に、図１を参照して、インピーダンス
測定方法に使用する測定装置１−１〜１−３（同一に構
成されているため、以下、区別しないときには、単に
「測定装置１」ともいう）の構成について説明する。

【００１３】測定装置１は、図１に示すように、出力端
子２、入力端子３、信号生成部４、電流検出部５、電圧
検出部６、インピーダンス算出部７、およびグランド電
位（基準電位）ＧＬに接続されたグランド端子８を備え
ている。この場合、出力端子２および入力端子３には、
測定用のプローブＰＨ，ＰＬがそれぞれ接続されてい
る。このプローブＰＨ，ＰＬは、測定対象としての電子
部品の一端および他端に接続された一対の電極Ｔ，Ｔに
接続される。また、グランド端子８には、プローブＰＧ
が接続されており、このプローブＰＧは、ガード電極と
して機能する。

【００１４】信号生成部４は、本発明における信号出力
部に相当し、測定用信号として例えば１０ＫＨｚの交流
信号を生成する信号源４ａと出力抵抗４ｂとを備えてい
る。この場合、出力抵抗４ｂは、一端が信号源４ａに接
続され、他端が出力部４ｃを介して出力端子２に接続さ
れている。電流検出部５は、一例としてオペアンプ５ａ
とフィードバック用の抵抗５ｂとを備えて構成されてい
る。この場合、抵抗５ｂは、その抵抗値Ｒが既知であっ
て、オペアンプ５ａの出力端子と反転入力端子との間に
接続されている。また、オペアンプ５ａの反転入力端子
は、出力部５ｃを介して入力端子３に接続され、オペア
ンプ５ａの非反転入力端子は基準電位（一例としてグラ
ンド電位ＧＬ）に接地されている。この場合、オペアン
プ５ａの反転入力端子と非反転入力端子とは仮想的に短
絡状態となるため、入力部５ｃは基準電位としてのグラ
ンド電位ＧＬに仮想接地される。この構成により、電流
検出部５は、プローブＰＨを介して電子部品に測定用信
号が印加された際に、測定対象電子部品としてのコンデ
ンサＣおよびプローブＰＬを流れる電流Ｉを電圧（Ｒ×
Ｉ）に変換して出力する。

【００１５】電圧検出部６は、出力端子２と入力端子３
との間の電位差、つまりプローブＰＨ，ＰＬが接続され
た電子部品の両端電圧Ｖを検出する。インピーダンス算
出部７は、一対のＡ／Ｄ変換器７ａ，７ｂおよび演算部
７ｃを備えている。この場合、Ａ／Ｄ変換器７ａは、電
圧検出部６によって検出された両端電圧Ｖをディジタル
データに変換して電圧データＤｖとして出力する。ま
た、Ａ／Ｄ変換器７ｂは、電流検出部５によって検出さ
れた電圧（Ｒ×Ｉ）をディジタルデータに変換して電流
データＤｉとして出力する。演算部７ｃは、例えばＣＰ
Ｕで構成され、概念的には、Ａ／Ｄ変換器７ｂから出力
される電流データＤｉに基づく電流値を抵抗５ｂの抵抗
値Ｒで除算することによって電子部品に流れる電流Ｉの
値を求め、求めた電流値で電圧データＤｖに基づく電圧
値を除算することにより、電子部品の抵抗、容量（キャ
パシタンス）およびインダクタンスなどのインピーダン
スを算出する。より具体的には、容量やインダクタンス
を求めるときには、電圧検出部６によって検出される両
端電圧Ｖの位相、および電流検出部５によって検出され
る電流の位相にも基づいて、そのインピーダンスを算出
する。

【００１６】次に、複数の測定装置１を使用して、ネッ
トワーク素子内の各電子部品各々のインピーダンスを測
定するインピーダンス測定方法について、図２を参照し
て説明する。なお、一例として８個のコンデンサＣ１〜
Ｃ８を環状接続して構成されたネットワーク素子ＮＣ１
を一例として２台の測定装置１−１，１−２を使用して
測定する例について説明する。

【００１７】まず、測定装置１−１を接続して容量を測
定すべき測定対象のコンデンサＣ１〜Ｃ８のうちの任意
の一つと、測定装置１−２を接続して容量を測定すべき
他の任意の一つのコンデンサＣとの間に接続されるコン
デンサＣの数が２つ以上となる接続条件を常に満たすよ
うに、測定対象電子部品を特定する。具体的には、図２
に示すように、一例としてコンデンサＣ１を１つの測定
対象電子部品とする場合、測定対象電子部品となり得る
他のコンデンサＣは、コンデンサＣ１との間に２つのコ
ンデンサＣが介在する接続条件下では、コンデンサＣ４
およびコンデンサＣ６が該当する。本実施の形態では、
コンデンサＣ４を他の測定対象電子部品として特定す
る。次に、さらに他のコンデンサＣが測定対象電子部品
となり得るかを判別する。この例では、上記のコンデン
サＣ６がさらに他の測定対象部品となり得るかを判別す
る。この場合、コンデンサＣ６を測定対象電子部品とし
たときには、コンデンサＣ６とコンデンサＣ４との間に
は１つのコンデンサＣ５のみが存在する。したがって、
コンデンサＣ６は測定対象電子部品とはなり得ない。次
いで、測定装置１−１のプローブＰＨ，ＰＬを電極Ｔ
１，Ｔ２にそれぞれ接続し、測定装置１−２のプローブ
ＰＨ，ＰＬを電極Ｔ４，Ｔ５にそれぞれ接続する。

【００１８】次に、各測定装置１−１，１−２の各グラ
ンド電位ＧＬを共通接続する。次いで、測定対象電子部
品としたコンデンサＣ１，Ｃ４以外のコンデンサＣが２
つ以上連続して接続されている部位における各電極（接
続点）Ｔの少なくとも１つをガード電極として各測定装
置１のプローブＰＧを接続する。具体的には、この部位
として、コンデンサＣ２，Ｃ３が連続する部位、および
コンデンサＣ５〜Ｃ８が連続する部位が該当する。した
がって、コンデンサＣ２，Ｃ３同士の接続点である電極
Ｔ３、およびコンデンサＣ５〜Ｃ８間の３つの電極Ｔ６
〜Ｔ８のうちの少なくとも１つとして電極Ｔ８をグラン
ド電位ＧＬにそれぞれ接続する。具体的には、例えば、
測定装置１−１のプローブＰＧを電極Ｔ８に接続し、測
定装置１−２のプローブＰＧを電極Ｔ３に接続する。

【００１９】次いで、この接続状態において各測定装置
１−１，１−２を用いてコンデンサＣ１，Ｃ４の各容量
をそれぞれ同時に測定する。この場合、測定装置１−１
のプローブＰＬ、電極Ｔ３、測定装置１−２のプローブ
ＰＬ、および電極Ｔ８が共にグランド電位ＧＬに共通接
続されている。このため、各測定装置１−１，１−２の
各プローブＰＨからコンデンサＣ１，Ｃ４のそれぞれの
一端に測定用信号が出力された場合、コンデンサＣ２、
コンデンサＣ５〜Ｃ７には電流は流れない。したがっ
て、測定装置１−１のプローブＰＨから出力された測定
用信号に基づいてコンデンサＣ１を通過する電流は、コ
ンデンサＣ１からなる電流経路Ｋのみを流れる。同様に
して、測定装置１−２のプローブＰＨから出力された測
定用信号に基づいてコンデンサＣ４を通過する電流は、
コンデンサＣ４のみからなる電流経路Ｌのみを流れる。
この結果、測定装置１−１の電圧検出部６によって検出
されるコンデンサＣ１の両端電圧Ｖは、他のコンデンサ
Ｃ２〜Ｃ８の影響を受けることなく、また測定装置１−
２の電圧検出部６によって検出されるコンデンサＣ４の
両端電圧Ｖも、他のコンデンサＣ１〜Ｃ３，Ｃ５〜Ｃ８
の影響を受けることなく、それぞれ正確に測定される。
したがって、測定装置１−１は、コンデンサＣ１のみに
流れる電流Ｉと、この電流Ｉが流れることによってコン
デンサＣ１の両端に発生する両端電圧Ｖとに基づいて、
コンデンサＣ１の容量を精度よく測定する。同様にし
て、測定装置１−２は、コンデンサＣ４のみに流れる電
流Ｉと、この電流Ｉが流れることによってコンデンサＣ
４の両端に発生する両端電圧Ｖとに基づいて、コンデン
サＣ４の容量を精度よく測定する。この後、演算部７ｃ
は、演算した容量値をインピーダンスデータとして図示
しない表示部に表示させると共に装置外部に測定データ
として出力する。

【００２０】次に、図３を参照して、９個のコンデンサ
Ｃ１〜Ｃ９を環状接続して構成されたネットワーク素子
ＮＣ２を測定する例について説明する。

【００２１】最初に、上記した接続条件を満足するよう
な測定対象のコンデンサＣを特定する。この例では、ま
ず、コンデンサＣ１を測定対象電子部品とする。次い
で、他の測定対象電子部品となり得るコンデンサＣを特
定する。この例では、同図に示すように、コンデンサＣ
１との間に２つのコンデンサＣが介在する接続条件下で
は、コンデンサＣ４およびコンデンサＣ７が該当する。
次に、他の測定対象電子部品となり得るコンデンサＣを
特定する。この例では、コンデンサＣ７がさらに他の測
定対象部品となり得るかを判別する。この場合、コンデ
ンサＣ７を測定対象電子部品としたときには、コンデン
サＣ７とコンデンサＣ１との間、およびコンデンサＣ７
とコンデンサＣ４との間にはそれぞれ２つのコンデンサ
Ｃが存在する。したがって、コンデンサＣ７も測定対象
電子部品となり得ると判別する。次いで、測定装置１−
１のプローブＰＨ，ＰＬを電極Ｔ１，Ｔ２にそれぞれ接
続し、測定装置１−２のプローブＰＨ，ＰＬを電極Ｔ
４，Ｔ５にそれぞれ接続し、測定装置１−３のプローブ
ＰＨ，ＰＬを電極Ｔ７，Ｔ８にそれぞれ接続する。

【００２２】次に、各測定装置１−１，１−２，１−３
の各グランド電位ＧＬを共通接続する。次いで、測定対
象電子部品としたコンデンサＣ１，Ｃ４，Ｃ７以外のコ
ンデンサＣが２つ以上連続して接続されている部位にお
ける各電極Ｔの少なくとも１つをグランド電位ＧＬに接
続する。具体的には、この部位として、コンデンサＣ
２，Ｃ３が連続する部位、コンデンサＣ５，Ｃ６が連続
する部位、およびコンデンサＣ８，Ｃ９が連続する部位
が該当する。したがって、一例として、測定装置１−１
のプローブＰＧをコンデンサＣ８，Ｃ９同士の接続点で
ある電極Ｔ９に接続し、測定装置１−２のプローブＰＧ
をコンデンサＣ２，Ｃ３同士の接続点である電極Ｔ３に
接続し、測定装置１−３のプローブＰＧをコンデンサＣ
５，Ｃ６同士の接続点である電極Ｔ６に接続する。

【００２３】次いで、この接続状態において各測定装置
１−１，１−２，１−３を用いてコンデンサＣ１，Ｃ
４，Ｃ７の各容量をそれぞれ同時に測定する。この場
合、上記した測定原理と同様にして、測定装置１−１
は、コンデンサＣ１のみに流れる電流Ｉと、この電流Ｉ
が流れることによってコンデンサＣ１の両端に発生する
両端電圧Ｖとに基づいて、コンデンサＣ１の容量を精度
よく測定する。また、測定装置１−２は、コンデンサＣ
４のみに流れる電流Ｉと、この電流Ｉが流れることによ
ってコンデンサＣ４の両端に発生する両端電圧Ｖとに基
づいて、コンデンサＣ４の容量を精度よく測定する。さ
らに、測定装置１−３は、コンデンサＣ７のみに流れる
電流Ｉと、この電流Ｉが流れることによってコンデンサ
Ｃ７の両端に発生する両端電圧Ｖとに基づいて、コンデ
ンサＣ７の容量を精度よく測定する。

【００２４】このように、このインピーダンス測定方法
によれば、任意の１の測定対象電子部品としてのコンデ
ンサＣと、他の任意の１の測定対象電子部品としてのコ
ンデンサＣの間に接続されるコンデンサＣの数が２つ以
上となる接続条件を常に満たすように、各測定装置１を
各測定対象電子部品としてのコンデンサＣにそれぞれ接
続し、各測定装置１のグランド電位ＧＬを共通接続し、
測定対象電子部品以外のコンデンサＣが２つ以上連続し
て接続されている部位における各電極Ｔの少なくとも１
つをグランド電位ＧＬに接続し、その状態において各測
定装置１を用いて各コンデンサＣの容量をそれぞれ測定
することにより、１回の測定時間内で複数のコンデンサ
Ｃの容量を同時に測定することができるため、複数のコ
ンデンサＣの容量を測定するのに要する測定時間を大幅
に短縮することができる。したがって、数多くのネット
ワーク素子ＮＣ１内の各コンデンサＣの容量を測定する
際には、その測定時間を格段に短縮することができる。

【００２５】この場合、１回の測定で使用することがで
きる測定装置１の最大数Ｘは、以下の式で表される。な
お、以下の式において、ネットワーク素子内の電極（接
続点）Ｔの総数をＷ個、およびグランド電位（基準電
位）ＧＬに接続すべき電極Ｔの数をＹ個とする。また、
１台の測定装置１が２つのプローブＰＨ，ＰＬを有する
ため、Ｘ台の測定装置１で同時に測定する際には、２・
Ｘの電極Ｔが使用される。また、グランド電位ＧＬに接
続すべき電極Ｔの数Ｙは、少なくとも同時に使用される
測定装置１の数Ｘとなる。したがって、上記の値（２・
Ｘ）と値（Ｘ）との加算値は、ネットワーク素子におけ
るすべての電極数以下となるため、下記の式が成立す
る。 Ｗ≧（２・Ｘ）＋（Ｘ）＝３・Ｘ・・・・式 したがって、下記の式が成立する。 Ｘ≦Ｗ／３・・・・・・・・・・・・・・式 このため、上記の式を満足するＸ台の測定装置１を測
定対象電子部品に接続することで、最も少ない測定回数
でネットワーク素子内の各コンデンサＣの容量を測定す
ることができる。

【００２６】次に、複数の測定装置１を使用して、ネッ
トワーク素子内の各電子部品各々のインピーダンスを測
定するインピーダンス測定システムＳＹＳ１（以下、
「測定システムＳＹＳ１」ともいう）について、図４を
参照して説明する。なお、一例として、８個のコンデン
サＣ１〜Ｃ８を環状接続して構成されたネットワーク素
子ＮＣ１を２台の測定装置１−１，１−２を使用して測
定するのに適したシステム例について説明する。

【００２７】図４に示すように、この測定システムＳＹ
Ｓ１は、２台の測定装置１−１，１−２と、本発明にお
ける選択接続装置に相当するスキャナ装置１１と、制御
装置１２と、複数の接触型のプローブＰ１〜Ｐ８（以
下、区別しないときには、「プローブＰ」ともいう）と
を備えて構成されている。

【００２８】スキャナ装置１１は、制御装置１２から出
力される制御信号Ｓｃに従ってネットワーク素子ＮＣ１
の各電極Ｔ１〜Ｔ８に接続されたプローブＰ１〜Ｐ８の
うちのいずれか６つを選択すると共に、選択した各プロ
ーブＰと各測定装置１の各プローブＰＨ，ＰＬ，ＰＧと
を接続可能に構成されている。具体的には、一例とし
て、スキャナ装置１１は、連動して切り替えが可能に構
成された８つのスイッチＳ１〜Ｓ８（以下、区別しない
ときには、「スイッチＳ」ともいう）を備えている。こ
の場合、スイッチＳ１のａ接点、スイッチＳ２のｂ接
点、スイッチＳ３のｃ接点およびスイッチＳ４のｄ接点
が互いに共通接続されて接続端子１１ａに接続され、ス
イッチＳ８のａ接点、スイッチＳ１のｂ接点、スイッチ
Ｓ２のｃ接点およびスイッチＳ３のｄ接点が互いに共通
接続されて接続端子１１ｂに接続され、スイッチＳ７の
ａ接点、スイッチＳ８のｂ接点、スイッチＳ１のｃ接点
およびスイッチＳ２のｄ接点が互いに共通接続されて接
続端子１１ｃに接続されている。また、スイッチＳ５の
ａ接点、スイッチＳ６のｂ接点、スイッチＳ７のｃ接点
およびスイッチＳ８のｄ接点が互いに共通接続されて接
続端子１１ｄに接続され、スイッチＳ４のａ接点、スイ
ッチＳ５のｂ接点、スイッチＳ６のｃ接点およびスイッ
チＳ７のｄ接点が互いに共通接続されて接続端子１１ｅ
に接続され、スイッチＳ３のａ接点、スイッチＳ４のｂ
接点、スイッチＳ５のｃ接点およびスイッチＳ６のｄ接
点が互いに共通接続されて接続端子１１ｆに接続されて
いる。さらに、各スイッチＳ１〜Ｓ８の各ｅ接点は、そ
れぞれプローブＰ１〜Ｐ８に接続され、各プローブＰ１
〜Ｐ８は、図外のプローブ自動接続機構によってネット
ワーク素子ＮＣ１の電極Ｔ１〜Ｔ８に接続される。

【００２９】制御装置１２は、スキャナ装置１１および
各測定装置１−１，１−２の測定を制御する装置であっ
て、制御信号Ｓｃを出力して各スイッチＳ１〜Ｓ８の切
替を制御すると共にスタート信号Ｓｔを出力して各測定
装置１の測定を開始させる。一方、測定装置１−１のプ
ローブＰＬ，ＰＨ，ＰＧは、スキャナ装置１１の接続端
子１１ａ，１１ｂ，１１ｃにそれぞれ接続され、測定装
置１−２のプローブＰＬ，ＰＨ，ＰＧは、スキャナ装置
１１の接続端子１１ｄ，１１ｅ，１１ｆにそれぞれ接続
される。

【００３０】この測定システムＳＹＳ１では、インピー
ダンス（容量）測定の際に、プローブ自動接続機構が、
図外の搬送機構によって測定位置まで搬送された測定対
象のネットワーク素子ＮＣ１における各電極Ｔ１〜Ｔ８
にスキャナ装置１１の各プローブＰ１〜Ｐ８をそれぞれ
自動接続する。次いで、制御装置１２が、制御信号Ｓｃ
を出力することにより、各スイッチＳを切り替え制御し
てｅ接点とｂ接点とを接続する。この際には、プローブ
Ｐ１が測定装置１−１のプローブＰＨに接続されると共
にプローブＰ２が測定装置１−１のプローブＰＬに接続
され、かつプローブＰ８が測定装置１−１のプローブＰ
Ｇに接続されると共にプローブＰ４が測定装置１−２の
プローブＰＧに接続される。また、プローブＰ５が測定
装置１−２のプローブＰＨに接続されると共にプローブ
Ｐ６が測定装置１−２のプローブＰＬに接続される。し
たがって、コンデンサＣ１，Ｃ５が測定対象電子部品と
して自動選択されると共に電極Ｔ８，Ｔ４がガード電極
として選択され、上記した接続条件が満たされる。次い
で、制御装置１２は、スタート信号Ｓｔを両測定装置１
−１，１−２に出力する。これにより、両測定装置１−
１，１−２は、容量測定を開始し、容量測定を終了した
時点で、制御装置１２に対して測定終了信号Ｓｅを出力
する。

【００３１】続いて、制御装置１２は、制御信号Ｓｃを
出力することにより、各スイッチＳを切り替え制御して
ｅ接点とｃ接点とを接続する。この際には、プローブＰ
２が測定装置１−１のプローブＰＨに接続されると共に
プローブＰ３が測定装置１−１のプローブＰＬに接続さ
れ、かつプローブＰ１が測定装置１−１のプローブＰＧ
に接続されると共にプローブＰ５が測定装置１−２のプ
ローブＰＧに接続される。また、プローブＰ６が測定装
置１−２のプローブＰＨに接続されると共にプローブＰ
７が測定装置１−２のプローブＰＬに接続される。した
がって、コンデンサＣ２，Ｃ６が測定対象電子部品とし
て自動選択されると共に電極Ｔ１，Ｔ５がガード電極と
して選択され、上記した接続条件が満たされる。次い
で、上記の処理と同様にして、両測定装置１−１，１−
２によって容量測定が開始され、その後に測定が終了す
る。

【００３２】次いで、制御装置１２は、制御信号Ｓｃを
出力することにより、各スイッチＳを切り替え制御して
ｅ接点とｄ接点とを接続する。この際には、プローブＰ
３が測定装置１−１のプローブＰＨに接続されると共に
プローブＰ４が測定装置１−１のプローブＰＬに接続さ
れ、かつプローブＰ２が測定装置１−１のプローブＰＧ
に接続されると共にプローブＰ６が測定装置１−２のプ
ローブＰＧに接続される。また、プローブＰ７が測定装
置１−２のプローブＰＨに接続されると共にプローブＰ
８が測定装置１−２のプローブＰＬに接続される。した
がって、コンデンサＣ３，Ｃ７が測定対象電子部品とし
て自動選択されると共に電極Ｔ２，Ｔ６がガード電極と
して選択され、上記した接続条件が満たされる。次い
で、上記の処理と同様にして、両測定装置１−１，１−
２によって容量測定が開始され、その後に測定が終了す
る。

【００３３】最後に、制御装置１２は、制御信号Ｓｃを
出力することにより、各スイッチＳを切り替え制御して
ｅ接点とａ接点とを接続する。この際には、プローブＰ
４が測定装置１−２のプローブＰＨに接続されると共に
プローブＰ５が測定装置１−２のプローブＰＬに接続さ
れ、かつプローブＰ３が測定装置１−２のプローブＰＧ
に接続されると共にプローブＰ７が測定装置１−１のプ
ローブＰＧに接続される。また、プローブＰ８が測定装
置１−１のプローブＰＨに接続されると共にプローブＰ
１が測定装置１−１のプローブＰＬに接続される。した
がって、コンデンサＣ４，Ｃ８が測定対象電子部品とし
て自動選択されると共に電極Ｔ３，Ｔ７がガード電極と
して選択され、上記した接続条件が満たされる。次い
で、上記の処理と同様にして、両測定装置１−１，１−
２によって容量測定が開始され、その後に測定が終了す
る。

【００３４】このように、この測定システムＳＹＳ１に
よれば、スキャナ装置１１が制御装置１２によって制御
されることによって測定装置１のプローブＰＨ，ＰＬ，
ＰＧとネットワーク素子ＮＣ１の各電極Ｔとを上記の接
続条件を満たすように自動接続することにより、１回の
測定時間内で複数のコンデンサＣの容量を同時に測定す
ることができるため、ネットワーク素子ＮＣ１内の複数
のコンデンサＣの容量を測定するのに要する測定時間を
大幅に短縮することができる。したがって、数多くのネ
ットワーク素子ＮＣ１内の各コンデンサＣの容量を測定
する際には、その測定時間を格段に短縮することができ
る。また、ネットワーク素子ＮＣ１の各電極Ｔと各プロ
ーブＰとを自動接続し、かつ各測定装置１が制御装置１
２の制御に従って容量を自動測定することにより、人件
費が不要となる結果、ネットワーク素子ＮＣ１に対する
測定コストを格段に低減することができる。

【００３５】なお、本発明は、上記した実施の形態に示
した構成に限定されず、適宜変更することが可能であ
る。例えば、測定システムＳＹＳ１では、８個のコンデ
ンサＣ１〜Ｃ８を環状接続して構成されたネットワーク
素子ＮＣ１を２台の測定装置１−１，１−２を使用して
測定するのに適した構成が採用されているが、本発明に
係る測定システムの構成は、これに限らない。例えば、
９個以上の電子部品を環状接続して構成されたネットワ
ーク素子を２台以上の測定装置１を使用して測定する際
には、電子部品の数と等しい数のスイッチを備えてスキ
ャナ装置を構成するなど、各構成要素を適宜変更して構
成することができる。また、ネットワーク素子内の各電
子部品を測定する順序を問わないのは勿論である。

【００３６】また、例えば、ネットワーク素子内の素子
の種類はコンデンサＣに限らず、抵抗やインダクタなど
であってもよい。また、コンデンサ、抵抗およびインダ
クタが混在しているネットワーク素子であってもよいの
は勿論である。また、本発明におけるインピーダンス測
定装置はＬＣＲ測定装置１に限らず、ネットワーク素子
内の電子部品を測定するのに適した各種測定装置を用い
ることができる。例えば、ネットワーク素子として、複
数の抵抗を環状接続したタイプのものであれば、インピ
ーダンス測定装置として、抵抗計を使用することができ
る。

【００３７】

【発明の効果】以上のように、本発明に係るインピーダ
ンス測定システムによれば、選択接続装置が、制御信号
に従い、任意の１の測定対象電子部品と他の任意の１の
測定対象電子部品との間に接続される電子部品の数が２
つ以上となる接続条件を常に満たすように各プローブを
各測定装置にそれぞれ接続し、かつ測定対象電子部品以
外の電子部品が２つ以上連続して接続されている部位に
おける各電子部品同士の接続点の少なくとも１つに接続
されているプローブを基準電位に接続する選択接続処理
を実行することにより、１回の測定時間内で複数の測定
対象電子部品のインピーダンスを同時に測定することが
できるため、ネットワーク素子内の複数の電子部品のイ
ンピーダンスを測定するのに要する測定時間を大幅に短
縮することができる。したがって、数多くのネットワー
ク素子内の各電子部品のインピーダンスを測定する際の
測定時間を大幅に短縮することができる。また、選択接
続装置が制御信号に従って選択接続処理を自動実行し、
かつ各測定装置が選択接続装置によって選択接続処理が
実行された状態においてインピーダンスを自動測定する
ことにより、人件費が不要となる結果、ネットワーク素
子に対する測定コストを格段に低減することができる。

【００３８】また、本発明に係るインピーダンス測定シ
ステムによれば、制御信号を選択接続装置に出力する制
御装置を備えたことにより、選択接続装置による選択接
続処理を自動的に実行させるシステムを構築することが
できる。

【００３９】さらに、本発明に係るインピーダンス測定
システムによれば、制御装置が制御信号を出力すると共
に測定開始信号を出力し、測定装置が測定開始信号を入
力したときにインピーダンスの測定を開始することによ
り、測定装置による測定を自動的に実行させるシステム
を構築することができる。

【００４０】また、本発明に係るインピーダンス測定方
法によれば、任意の１の測定対象電子部品と、他の任意
の１の測定対象電子部品との間に接続される電子部品の
数が２つ以上となる接続条件を常に満たすように、各測
定装置を各測定対象電子部品にそれぞれ接続し、測定対
象電子部品以外の電子部品が２つ以上連続して接続され
ている部位における各電子部品同士の接続点の少なくと
も１つを基準電位に接続し、その状態において各測定装
置を用いて各測定対象電子部品のインピーダンスをそれ
ぞれ測定することにより、１回の測定時間内で複数の測
定対象電子部品のインピーダンスを同時に測定すること
ができるため、ネットワーク素子内の複数の電子部品の
インピーダンスを測定するのに要する測定時間を大幅に
短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る測定装置１の構成を
示すブロック図である。

【図２】ネットワーク素子ＮＣ１内の各コンデンサＣの
容量を測定する際の測定系を示す接続図である。

【図３】ネットワーク素子ＮＣ２内の各コンデンサＣの
容量を測定する際の測定系を示す接続図である。

【図４】測定システムＳＹＳ１の構成を示す構成図であ
る。

【図５】ネットワーク素子ＮＣ１内の各コンデンサＣの
容量を測定する際の従来の測定系を示す接続図である。

【符号の説明】

１，１−１〜１−３ ＬＣＲ測定装置 ２ 出力端子 ３ 入力端子 ４ 信号生成部 ４ｃ 出力部 ５ 電流検出部 ５ｃ 入力部 ６ 電圧検出部 ７ インピーダンス算出部 １１ スキャナ装置 １２ 制御装置 Ｃ１〜Ｃ９ コンデンサ ＧＬ グランド電位 Ｉ 電流 ＮＣ１，ＮＣ２ ネットワーク素子 ＰＨ，ＰＬ，ＰＧ，Ｐ１〜Ｐ８ プローブ ＳＹＳ１ インピーダンス測定システム Ｔ１〜Ｔ９ 電極 Ｖ 両端電圧

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若松 英彰 長野県上田市大字小泉字桜町81番地 日置 電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2G028 AA01 AA02 BB06 CG08 DH05 FK01 FK02 GL07 HN10

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 環状接続された６つ以上の電子部品のう
   ちの複数を測定対象電子部品として当該複数の測定対象
   電子部品の各々に測定装置をそれぞれ接続してその各イ
   ンピーダンスを同時に測定可能なインピーダンス測定シ
   ステムであって、 前記各電子部品同士の各接続点にそれぞれ接触させられ
   た複数のプローブから制御信号に従っていずれかのプロ
   ーブを選択すると共に当該選択した各プローブと前記複
   数の測定装置とを接続する選択接続装置を備え、 前記選択接続装置は、前記制御信号に従い、任意の１の
   前記測定対象電子部品と他の任意の１の前記測定対象電
   子部品との間に接続される前記電子部品の数が２つ以上
   となる接続条件を常に満たすように前記各プローブを前
   記各測定装置にそれぞれ接続し、かつ前記測定対象電子
   部品以外の前記電子部品が２つ以上連続して接続されて
   いる部位における当該各電子部品同士の接続点の少なく
   とも１つに接続されている前記プローブを前記基準電位
   に接続する選択接続処理を実行可能に構成され、 前記測定装置は、その出力部が前記測定対象電子部品の
   一端に接続されて当該測定対象電子部品に測定用信号を
   出力する信号出力部と、基準電位に仮想接地された入力
   部が前記測定対象電子部品の他端に接続されて当該測定
   対象電子部品に流れる電流を検出する電流検出部と、前
   記測定対象電子部品の両端電圧を検出する電圧検出部
   と、前記検出した電流および両端電圧に基づいて前記測
   定対象電子部品のインピーダンスを算出するインピーダ
   ンス算出部とを備えると共に前記選択接続装置によって
   前記選択接続処理が実行された状態において前記測定対
   象電子部品のインピーダンスを測定可能に構成されてい
   るインピーダンス測定システム。
2. 【請求項２】 前記制御信号を前記選択接続装置に出力
   する制御装置を備えて構成されている請求項１記載のイ
   ンピーダンス測定システム。
3. 【請求項３】 前記制御装置は、前記制御信号を出力す
   ると共に測定開始信号を出力可能に構成され、前記各測
   定装置は、前記測定開始信号を入力したときに前記イン
   ピーダンスの測定をそれぞれ開始する請求項２記載のイ
   ンピーダンス測定システム。
4. 【請求項４】 その出力部が測定対象電子部品の一端に
   接続されて当該測定対象電子部品に測定用信号を出力す
   る信号出力部と、基準電位に仮想接地された入力部が前
   記測定対象電子部品の他端に接続されて当該測定対象電
   子部品に流れる電流を検出する電流検出部と、前記測定
   対象電子部品の両端電圧を検出する電圧検出部と、前記
   検出した電流および両端電圧に基づいて前記測定対象電
   子部品のインピーダンスを算出するインピーダンス算出
   部とを備えた測定装置を複数使用して、環状接続された
   ６つ以上の電子部品のうちの複数を前記測定対象電子部
   品として前記各測定装置をそれぞれ接続してその各イン
   ピーダンスを同時に測定可能なインピーダンス測定方法
   であって、 任意の１の前記測定対象電子部品と、他の任意の１の前
   記測定対象電子部品との間に接続される前記電子部品の
   数が２つ以上となる接続条件を常に満たすように、前記
   各測定装置を前記各測定対象電子部品にそれぞれ接続
   し、 前記測定対象電子部品以外の前記電子部品が２つ以上連
   続して接続されている部位における当該各電子部品同士
   の接続点の少なくとも１つを前記基準電位に接続し、 その状態において前記各測定装置を用いて前記各測定対
   象電子部品のインピーダンスをそれぞれ測定するインピ
   ーダンス測定方法。