JP2003137606A - 情報記録媒体用ガラス基板の化学強化処理装置及び化学強化処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 化学強化槽を収容する収容室内の雰囲気を清
浄にし、ガラス基板表面の汚染を抑制するとともに、化
学強化処理における生産効率を向上させることができる
情報記録媒体用ガラス基板の化学強化処理装置及び化学
強化処理方法を提供する。 【解決手段】 複数の化学強化槽１２ａ〜１２ｄは有底
四角筒状に形成され、硝酸カリウムを含む化学強化塩の
溶融液１８が収容されている。その中にはホルダーに保
持され、そのホルダーがケージ３０に収容された状態で
浸漬され、ガラス基板の化学強化が行われる。化学強化
塩溶融槽１３は化学強化塩を予め溶融する。化学強化槽
１２ａ〜１２ｄは第２収容室１５に収容され、化学強化
塩溶融槽１３はそれとは別個の第１収容室１４に収容さ
れている。化学強化槽１２ａ〜１２ｄから排出される廃
液を溜める廃液槽４２も第１収容室１４に収容されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスク等
の磁気ディスク、光磁気ディスク、光ディスク等として
使用される情報記録媒体用ガラス基板の化学強化処理装
置及び化学強化処理方法に関するものである。さらに詳
しくは、ガラス基板の化学強化工程において、ガラス基
板表面の清浄度を向上させることができるとともに、製
造効率を高めることができる情報記録媒体用ガラス基板
の化学強化処理装置及び化学強化処理方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】近年、情報技術（ＩＴ）の進歩は著し
く、磁気ディスク等の各種情報記録媒体の開発が盛んに
行われている。そして、例えばハードディスク（ＨＤ
Ｄ）用のガラス基板においては、電子製品の機能向上に
伴って高い表面平滑性と強い強度が要求されている。そ
のような要求を満たすために、ガラス基板表面に化学強
化処理を施すことが行われている。この化学強化処理
は、ガラス中に含まれるイオンをそれより大きなイオン
半径を有するイオンに置換することにより、ガラス基板
の表面に圧縮応力層を形成して強化するものである。

【０００３】その後、精密研磨工程、水洗工程、乾燥工
程等を経て目的とする磁気記録媒体等に用いられるガラ
ス基板が製造される。このような化学強化処理工程、精
密研磨工程、水洗工程及び乾燥工程を経てガラス基板が
製造される過程でガラス基板表面が汚染される。そこ
で、特開平１０−１９４７８５号公報においては、その
ような工程でガラス基板表面を清浄に維持する方法が開
示されている。

【０００４】すなわち、ガラス基板の化学強化処理工
程、最終の研磨工程以後の洗浄工程、乾燥工程等の中の
少なくとも一工程を、ガラス基板にパーティクルが付着
しないように濾過された清浄な空気を循環した雰囲気下
で行うものである。又は、０．３〜１００ミクロンの大
きさのパーティクルが１０００個／立方フィート・メー
トル以下の清浄度の空気を循環した雰囲気下で行うもの
である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、化学強化処
理工程において使用される化学強化処理装置の化学強化
槽は、硝酸カリウムを含む化学強化塩によりガラス基板
の化学強化を行うとともに、化学強化塩を予め溶融する
ようになっている。

【０００６】ところが、化学強化塩は粉末状であり、化
学強化槽への投入時に化学強化塩の粉末が飛散したり、
化学強化塩の溶融後に化学強化槽の壁面に付着した溶融
塩が乾燥して飛散したりする場合がある。そのような場
合、化学強化処理装置を収容する収容室内の雰囲気の清
浄度が低下し、ガラス基板表面が汚染されるという問題
があった。

【０００７】しかも、化学強化槽において必要な化学強
化塩が溶融され、その後溶融塩中にガラス基板が浸漬さ
れてガラス基板の化学強化処理が行われる。そのため、
化学強化塩の溶融が完了するまでは化学強化処理を行う
ことができず、化学強化処理における生産効率が悪いと
いう問題があった。

【０００８】この発明は、このような従来技術に存在す
る問題点に着目してなされたものである。その目的とす
るところは、化学強化槽を収容する収容室内の雰囲気を
清浄にし、ガラス基板表面の汚染を抑制するとともに、
化学強化処理における生産効率を向上させることができ
る情報記録媒体用ガラス基板の化学強化処理装置及び化
学強化処理方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明の情報記録媒体用ガラス基
板の化学強化処理装置は、硝酸カリウムを含む化学強化
塩によりガラス基板の化学強化処理を行うための化学強
化槽と、該化学強化槽で用いられる化学強化塩を予め溶
融する化学強化塩溶融槽とを備え、これら化学強化槽と
化学強化塩溶融槽とを別個の収容室に収容したことを特
徴とするものである。

【００１０】請求項２に記載の発明の情報記録媒体用ガ
ラス基板の化学強化処理装置は、請求項１に記載の発明
において、前記化学強化槽から排出される廃液を排出管
を介して化学強化槽の外部に設けられた廃液槽で受ける
ように構成したものである。

【００１１】請求項３に記載の発明の情報記録媒体用ガ
ラス基板の化学強化処理装置は、請求項１又は請求項２
に記載の発明において、前記化学強化槽を収容する収容
室は、その雰囲気中の１立方フィート（０．０２８立方
メートル）当たり０．３μｍ以上の微粒子が１万個以下
のクリーンルームであるものである。

【００１２】請求項４に記載の発明の情報記録媒体用ガ
ラス基板の化学強化処理装置は、請求項１から請求項３
のいずれか一項に記載の発明において、前記化学強化塩
溶融槽は加熱装置を備え、その加熱装置による加熱温度
を化学強化槽の加熱温度より高く設定して化学強化塩を
溶融するように構成したものである。

【００１３】請求項５に記載の発明の情報記録媒体用ガ
ラス基板の化学強化処理方法は、請求項１に記載の情報
記録媒体用ガラス基板の化学強化処理装置を使用し、化
学強化塩溶融槽で化学強化塩を溶融した後、化学強化槽
で化学強化処理を行うことを特徴とするものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施形
態について図面に従って詳細に説明する。まず、磁気記
録媒体等の情報記録媒体用ガラス基板の製造装置は、表
面研磨処理装置、化学強化処理装置及び水洗処理装置等
を備えている。そして、これらの装置を用い、シート状
に形成されたガラス素板の表面研磨処理、化学強化処理
及び水洗処理等を施すことにより情報記録媒体用のガラ
ス基板が得られる。

【００１５】ガラス素板はシート状のガラスであれば、
どのような製造方法によって製造されたものであっても
よい。例えば、酸化スズ等の溶融金属上で所定の厚みに
成形されるフロート法によって製造されたガラス、重力
を利用したダウンドロー法によって製造されたガラス、
インゴットガラスをリドロー法でシート状にしたガラ
ス、金型上に落されたガラスをプレスして成形されたガ
ラス等であってもよい。

【００１６】ガラス素板としては、二酸化珪素（ＳｉＯ
₂）、酸化ナトリウム（Ｎａ₂Ｏ）及び酸化カルシウム
（ＣａＯ）を主成分としたソーダライムガラス、二酸化
珪素、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、酸化ナトリウム及び酸化
リチウム（Ｌｉ₂Ｏ）を主成分としたアルミノシリケー
トガラス、その他ボロシリケートガラス、酸化リチウム
−二酸化珪素系ガラス、酸化リチウム−アルミナ−二酸
化珪素系ガラス等のガラスが使用される。また、その他
の成分として酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）、酸化チタ
ン（ＴｉＯ₂）、酸化ストロンチウム（ＳｒＯ）等を含
有する化学強化用ガラスも使用される。ガラス素板は超
硬合金又はダイヤモンドを用いて円盤状（ドーナツ状）
に切断される。その大きさは、情報記録用のディスクと
して２インチ、２．５インチ、３インチなどの大きさに
対応して設定される。

【００１７】表面研磨処理はガラス基板の周面の研磨、
記録面のラッピング研磨、精密研磨などから構成され
る。精密研磨は通常複数回に分けて順に研磨精度を高め
るように行われる。水洗処理は複数回行われ、加熱水を
使用したり、超音波を照射したりして行われる。

【００１８】図１に示すように、化学強化処理装置１１
は、ガラス基板の化学強化処理を行うための複数の化学
強化槽１２ａ〜１２ｄと、その化学強化槽１２ａ〜１２
ｄで用いられる化学強化塩を予め溶融する化学強化塩溶
融槽１３とよりなっている。

【００１９】化学強化塩溶融槽１３は第１収容室１４に
収容され、複数の化学強化槽１２ａ〜１２ｄは第１収容
室１４とは別個の第２収容室１５に収容されている。化
学強化塩溶融槽１３の斜め上方位置には、粉末状の化学
強化塩１６を化学強化塩溶融槽１３に投入するための投
入用容器１７が配設されている。化学強化塩溶融槽１３
の側壁には加熱装置４４が配設され、化学強化塩溶融槽
１３内に投入された粉末状の化学強化塩１６を加熱溶融
して溶融液１８を形成するようになっている。また、化
学強化塩溶融槽１３には化学強化塩１６の溶融時に溶融
液１８が飛散しないように蓋板１９が備えられている。

【００２０】そして、投入用容器１７から化学強化塩溶
融槽１３に投入された化学強化塩１６は加熱されて溶融
されるとともに、エージングされて溶融液１８となる。
この溶融液１８が長時間加熱されることにより、内部の
気泡が除去され、ガラス基板表面に付着する気泡が減少
して局部的に化学強化処理が不充分なスポットを生ずる
のを抑制するようになっている。しかも、ガラス基板表
面を荒らす亜硝酸塩〔亜硝酸カリウム（ＫＮＯ₂）な
ど〕を分解して除去し、化学強化後のガラス基板表面を
平滑なものにするようになっている。化学強化塩溶融槽
１３における化学強化塩１６の加熱温度は３８０〜４３
０℃であり、後述する化学強化槽１２ａ〜１２ｄの加熱
温度より３０〜６０℃程度高く設定することが望まし
い。化学強化塩１６の加熱温度をこのように高く設定す
ることにより、亜硝酸塩を充分に分解して除去し、化学
強化槽１２ａ〜１２ｄでの亜硝酸塩の存在量を低減させ
ることができる。

【００２１】第１収容室１４に収容される化学強化塩溶
融槽１３の１槽当たり、第２収容室１５に収容される化
学強化槽１２ａ〜１２ｄは２〜１０槽であることが、化
学強化における生産効率を向上させるために望ましい。

【００２２】化学強化槽１２は有底四角箱状をなし、第
１から第４化学強化槽１２ａ〜１２ｄの４槽よりなる
が、図中二点鎖線で示す第４化学強化槽１２ｄは必要に
応じて配設されるものである。また、この実施形態では
第１化学強化槽１２ａ及び第２化学強化槽１２ｂの２槽
を使用し、第３化学強化槽１２ｃはしない。各化学強化
槽１２ａ〜１２ｄの側壁及び底壁には、加熱装置として
のシーズヒータ４５が設けられている。また、各化学強
化槽１２ａ〜１２ｄには化学強化処理時に内部の加熱状
態を保持するための蓋体２０が備えられている。

【００２３】ここで、円盤状をなす多数枚のガラス基板
を保持する化学強化用のホルダーについて説明する。図
２に示すように、ホルダー２１のホルダー本体２２は、
左右一対の側板２５が複数の連結板２６で連結されてい
る。両側板２５にはそれぞれ複数のスリット２７が互い
に対向するように設けられ、それらスリット２７にはガ
ラス基板２８を支持する板状の支持部材２９の両端が挿
入係止されている。

【００２４】この支持部材２９はガラス基板２８の中心
を通る水平線上の前後に一対及び底部に１個の合計３箇
所に配置され、そのような構成が前後に２列設けられて
いる。また、支持部材２９は長さ方向に波状に形成され
るとともに、幅方向に湾曲形成され、その膨出部がガラ
ス基板を支持する側に向いている。そして、多数のガラ
ス基板２８は支持部材２９の波状に形成されたそれらの
溝部に支持されるようになっている。例えば、１列に５
０枚のガラス基板２８を収容すると、化学強化用のホル
ダー２１が１個で１００枚のガラス基板２８が保持され
る。

【００２５】続いて、化学強化用のホルダー２１を収容
するケージについて説明する。図３に示すように、ケー
ジ３０を構成するケージ本体３１は枠体３２によって四
角枠状に形成され、水平方向に延びる支持枠３３が上下
方向に複数段にわたって支持されている。そして、前記
ホルダー２１が上下左右に並べて収容されるようになっ
ている。従って、例えば１個のケージ３０に４８個のホ
ルダー２１が収容されると、ケージ３０が１個で４８０
０枚のガラス基板２８が収容される。

【００２６】図１に示すように、ケージ本体３１を吊り
下げ、化学強化槽１２ａ内の化学強化塩１６の溶融液１
８中に降ろして浸漬させるようになっている。この場
合、ケージ本体３１を予熱してから化学強化槽１２ａ内
の溶融液１８中に降ろして浸漬させるようにしてもよ
い。その後、蓋体２０を閉めて化学強化塩１６の溶融液
１８を加熱することにより、ホルダー２１に保持された
多数のガラス基板２８表面が化学強化処理される。

【００２７】すなわち、化学強化塩１６は硝酸カリウム
と硝酸ナトリウムとの混合物よりなり、投入用容器１７
中では粉末状の形態をなしている。この化学強化塩１６
は化学強化塩溶融槽１３で加熱溶融され、第１及び第２
化学強化槽１２ａ,１２ｂに貯留される。そして、ガラ
ス基板２８が各化学強化槽１２ａ,１２ｂ中の溶融液１
８中に浸漬され、ガラス中のナトリウムイオン（Ｎ
ａ⁺）及びリチウムイオン（Ｌｉ⁺）がそれらよりイオン
半径の大きいカリウムイオン（Ｋ⁺）又はナトリウムイ
オン（Ｎａ⁺）に置き換えられる（イオン交換され
る）。これにより、ガラス基板２８表面に圧縮応力層が
形成され、ガラス表面が強化されるようになっている。

【００２８】表面に化学強化処理が施されたガラス基板
２８は、ガラス基板２８の取扱い時の機械的な衝撃やガ
ラス基板２８表面に磁性膜を形成する際に受ける熱衝撃
に耐えることができ、ハードディスクドライブに組み込
まれた後の長期間の使用での信頼性も高めることができ
る。

【００２９】化学強化塩溶融槽１３の底部から供給管３
６が延設され、その供給管３６から枝分かれした複数の
供給用分岐管３７が各化学強化槽１２ａ〜１２ｄに接続
されている。化学強化塩溶融槽１３の近傍に位置する供
給管３６には元バルブ３８が設けられ、各供給用分岐管
３７には、化学強化塩溶融槽１３で溶融された化学強化
塩１６の溶融液１８を化学強化槽１２に供給するための
供給用バルブ３９が設けられている。

【００３０】各化学強化槽１２ａ〜１２ｄは、第２収容
室１５内において同一の高さに設置され、前記化学強化
塩溶融槽１３は各化学強化槽１２ａ〜１２ｄより高い位
置に設置されている。そして、化学強化塩溶融槽１３で
溶融された溶融液１８が重力によって供給管３６及び各
供給用分岐管３７を介して各化学強化槽１２ａ〜１２ｄ
に供給されるようになっている。この場合、ポンプを用
いて溶融液１８を供給しないので、ポンプから微量漏れ
る溶融液１８による発塵を防止することができるように
構成されている。

【００３１】各化学強化槽１２ａ〜１２ｄの底部には排
出用分岐管４０の一端が接続され、それら排出用分岐管
４０の他端はそれぞれ排出管４１に接続されている。排
出管４１の先端部は、第１収容室１４に設けられた廃液
槽４２に達している。各排出管４１には、排出用バルブ
４３が設けられ、溶融液１８を繰り返し使用した後に排
出するようになっている。そして、各化学強化槽１２ａ
〜１２ｄから排出される溶融液１８が排出用分岐管４０
及び排出管４１を経て廃液槽４２に排出されるようにな
っている。

【００３２】前記第２収容室１５はクリーンルーム、す
なわちその雰囲気中に１立方フィート（０．０２８立方
メートル）当たり０．３μｍ以上の粒径を有する微粒子
が好ましくは１万個以下、さらに好ましくは１０００個
以下の清浄度を有する部屋である。第２収容室１５は空
気清浄装置により、常に上記清浄度に維持されるように
なっている。この雰囲気中の清浄度が１万個を越える場
合、ガラス基板２８表面が汚染されやすくなって好まし
くない。なお、微粒子の粒径の上限については特に規定
されないが、通常は１００μｍ程度である。

【００３３】前記化学強化槽１２ａ〜１２ｄは耐火物
（セラミックス）で形成され、化学強化塩溶融槽１３、
供給管３６、各供給用分岐管３７、排出用分岐管４０、
排出管４１等はステンレス鋼で形成されている。

【００３４】このようにして化学強化処理されたガラス
基板２８は、精密研磨処理、水洗処理、さらに乾燥処理
が施される。その後、ガラス基板２８の記録面に下地
膜、磁性膜、保護膜、潤滑膜等が形成され、情報記録媒
体用のガラス基板２８が製造される。

【００３５】次に、上述したガラス基板の化学強化処理
装置を用いた化学強化処理方法について説明する。さ
て、図１に示すように、化学強化塩溶融槽１３の蓋板１
９を開いた状態で、投入用容器１７から化学強化塩溶融
槽１３内に粉末状の化学強化塩１６が投入される。化学
強化塩溶融槽１３では加熱により化学強化塩１６が溶融
されて溶融液１８が形成される。一方、化学強化槽１２
ａ〜１２ｄ側では、排出用バルブ４３を閉じ、元バルブ
３８及び供給用バルブ３９を開くことにより、溶融液１
８が供給管３６及び各供給用分岐管３７を介して第１化
学強化槽１２ａ及び第２化学強化槽１２ｂに供給され
る。その後、元バルブ３８及び供給用バルブ３９が閉じ
られる。

【００３６】続いて、多数枚のガラス基板２８が保持さ
れた複数のホルダー２１がケージ３０に収容された状態
（図１の実線）で吊り下げられ、第１化学強化槽１２ａ
内に浸漬される（図１の二点鎖線）。図示しないが、第
２化学強化槽１２ｂ内にもホルダー２１が収容されたケ
ージ３０が浸漬される。そして、各化学強化槽１２ａ〜
１２ｄに蓋体２０が被せられた後、溶融液１８がガラス
の歪点より５０〜１５０℃低い温度、好ましくは溶融液
１８自体の温度が３５０〜４００℃になるように加熱さ
れる。その状態で数時間、例えば３〜５時間保持される
ことにより、ガラス基板２８中のナトリウムイオン及び
リチウムイオンがそれらよりイオン半径の大きいカリウ
ムイオン又はナトリウムイオンに置き換えられる。この
ため、ガラス基板２８表面に１００〜２００μｍ程度の
深さで圧縮応力層が形成され、ガラス基板２８表面が化
学強化される。

【００３７】ガラス基板２８に対する化学強化処理が行
われた後、ホルダー２１を収容したケージ３０が引き上
げられ、冷却される。各化学強化槽１２ａ,１２ｂで
は、このような化学強化処理が新たなガラス基板２８に
ついて所定回数繰返して行われる。その後、排出用バル
ブ４３が開かれることによって、化学強化槽１２ａ,１
２ｂ内の溶融液１８が排出用分岐管４０から排出管４１
を経て廃液槽４２へ流入される。

【００３８】上記のように、第１収容室１４には化学強
化塩溶融槽１３と廃液槽４２とが設けられ、第２収容室
１５には化学強化槽１２ａ,１２ｂのみが設けられてい
る。そのため、第２収容室１５においては、化学強化塩
１６の粉末が舞い上がったり、化学強化塩溶融槽１３や
廃液槽４２に付着した溶融液１８が乾燥して舞い上がっ
たりするおそれがない。従って、第２収容室１５内の雰
囲気の清浄度を良好に維持することができる。

【００３９】しかも、化学強化塩溶融槽１３を、化学強
化槽１２ａ,１２ｂが収容されている第２収容室１５と
は別個の第１収容室１４に設け、化学強化処理とは関係
なく独立して化学強化塩１６の溶融及びエージングを行
うことができる。従って、化学強化処理における作業能
率が良い。

【００４０】以上の実施形態により発揮される効果を以
下にまとめて説明する。 ・ 実施形態で説明した情報記録媒体用ガラス基板の化
学強化処理装置１１では、化学強化塩１６によりガラス
基板２８の化学強化処理を行う第１及び第２化学強化槽
１２ａ,１２ｂと、各化学強化槽１２ａ,１２ｂで用いら
れる化学強化塩１６を予め溶融する化学強化塩溶融槽１
３とを、第２収容室１５と第１収容室１４に別個に収容
した。このため、各化学強化槽１２ａ,１２ｂが収容さ
れた第２収容室１５内においては、化学強化塩溶融槽１
３で発生する汚染を防止でき、第２収容室１５内の雰囲
気を清浄にすることができる。その結果、ガラス基板２
８表面の汚染を抑制することができる。

【００４１】・ また、第１収容室１４に収容された化
学強化塩溶融槽１３にて化学強化槽１２ａ,１２ｂでの
化学強化処理とは関係なく、化学強化塩１６の溶融を行
うことができる。すなわち、化学強化槽１２ａ,１２ｂ
での化学強化処理と、化学強化塩１６の溶融とを同時に
併行して行うことが可能である。従って、化学強化処理
における生産効率を向上させることができる。

【００４２】・ 各化学強化槽１２ａ,１２ｂから排出
される廃液を排出管４１を介して化学強化塩溶融槽１３
を収容する第１収容室１４に収容された廃液槽４２で受
けるように構成した。このため、各化学強化槽１２ａ,
１２ｂから排出される廃液に基づく汚染を防止して第２
収容室１５内の雰囲気をより清浄にし、ガラス基板２８
表面の汚染をさらに抑制することができる。

【００４３】・ 化学強化槽１２ａ,１２ｂを収容する
第２収容室１５を、その雰囲気に０．３μｍ以上の微粒
子が１万個以下となるクリーンルームとした。従って、
化学強化槽１２ａ,１２ｂを収容する第２収容室１５の
清浄度を高めることができる。

【００４４】・ 化学強化塩１６のエージングを化学強
化槽１２ａ,１２ｂを収容する第２収容室１５とは異な
る第１収容室１４の化学強化塩溶融槽１３にて行うよう
にしたので、生産効率を一層向上させることができる。

【００４５】・ 実施形態における情報記録媒体用ガラ
ス基板の化学強化処理方法によれば、上記製造装置の発
明の効果に加え、ガラス基板２８の化学強化を簡単な操
作で円滑に行うことができる。

【００４６】なお、本実施形態は、次のように変更して
具体化することも可能である。 ・ 耐火物により形成された各化学強化槽１２ａ〜１２
ｄをステンレス鋼などの容器で覆うように構成してもよ
い。このように構成した場合、耐火物よりなる化学強化
槽１２ａ〜１２ｄからの発塵を抑制することができる。

【００４７】・ 第２収容室１５を、第１〜第４化学強
化槽１２ａ〜１２ｄ毎に区画壁を設けて４つの部屋に分
けてもよい。この構成によれば、例えば第１化学強化槽
１２ａについて、その他の第２化学強化槽１２ｂ等の化
学強化塩１６に基づく汚染を防止することができる。

【００４８】・ 第１収容室１４を、化学強化塩溶融槽
１３を有する部屋と廃液槽４２を有する部屋に分けても
よい。この場合、化学強化塩溶融槽１３を有する部屋の
雰囲気が廃液槽４２の廃液に基づく発塵により汚染され
るのを防止することができる。

【００４９】・ 化学強化塩溶融槽１３における化学強
化塩１６の溶融を撹拌機で強制的に撹拌して行うように
構成してもよい。 ・ ホルダー２１の各側板２５にＵ字状又はＶ字状の切
欠きを設けたり、複数の孔をあけたりしてもよい。或い
は、各側板２５を格子状に構成することにより、各側板
２５に孔を設けてもよい。このように構成した場合、化
学強化塩１６の溶融液１８が各側板２５側から流通し、
ガラス基板２８の化学強化を一層効率良く行うことがで
きる。

【００５０】次に上記実施形態から把握できる技術的思
想について以下に追記する。 （１） 前記化学強化塩溶融槽１槽当たり、化学強化槽
が２〜１０槽である請求項１から請求項４のいずれか一
項に記載の情報記録媒体用ガラス基板の化学強化処理装
置。このように構成した場合、化学強化処理における生
産効率を向上させることができる。 （２） 前記化学強化槽と化学強化塩溶融槽とを化学強
化塩が溶融された溶融液を供給する供給管で接続すると
ともに、化学強化塩溶融槽を化学強化槽より高い位置に
設置し、溶融液を化学強化塩溶融槽から化学強化槽へ供
給管を介して重力により供給するように構成した請求項
１から請求項４のいずれか一項に記載の情報記録媒体用
ガラス基板の化学強化処理装置。このように構成した場
合、溶融液の供給をポンプを用いることなく行うことが
でき、ポンプから漏洩する溶融液による収容室の汚染を
防止することができる。 （３） 表面研磨処理装置、化学強化処理装置及び水洗
処理装置を用い、シート状に形成されたガラス素板の表
面研磨処理、化学強化処理及び水洗処理を施して情報記
録媒体用ガラス基板を製造する情報記録媒体用ガラス基
板の製造装置であって、化学強化処理装置は、硝酸カリ
ウムを含む化学強化塩によりガラス基板の化学強化処理
を行うための化学強化槽と、前記化学強化槽で用いられ
る化学強化塩を予め溶融する化学強化塩溶融槽とを備
え、これら各槽を別個の収容室に収容したことを特徴と
する情報記録媒体用ガラス基板の製造装置。

【００５１】このように構成した場合、化学強化槽を収
容する収容室内の雰囲気を清浄にし、ガラス基板表面の
汚染を抑制できると同時に、化学強化処理における生産
効率を向上させることができる。 （４） 上記（３）に記載の情報記録媒体用ガラス基板
の製造装置を使用し、化学強化塩溶融槽で化学強化塩を
溶融した後、化学強化槽で化学強化処理を行うことを特
徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。

【００５２】この製造方法によれば、化学強化槽を収容
する収容室内の雰囲気を清浄にし、ガラス基板表面の汚
染を抑制するとともに、化学強化処理における生産効率
を向上させることができる。 （５） 前記廃液槽は化学強化塩溶融槽を収容する収容
室に設けられている請求項２に記載の情報記録媒体用ガ
ラス基板の化学強化処理装置。このように構成した場
合、化学強化塩溶融槽を収容する収容室において、化学
強化塩の溶融と化学強化槽から排出される廃液の処理を
行うことができる。

【００５３】

【発明の効果】本発明は以上のように構成されているた
め、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発明の
情報記録媒体用ガラス基板の化学強化処理装置によれ
ば、化学強化槽を収容する収容室内の雰囲気を清浄に
し、ガラス基板表面の汚染を抑制することができるとと
もに、化学強化処理における生産効率を向上させること
ができる。

【００５４】請求項２に記載の発明の情報記録媒体用ガ
ラス基板の化学強化処理装置によれば、請求項１に記載
の発明の効果に加え、化学強化槽から排出される廃液に
基づく汚染を防止して収容室内の雰囲気をより清浄に
し、ガラス基板表面の汚染をさらに抑制することができ
る。

【００５５】請求項３に記載の発明の情報記録媒体用ガ
ラス基板の化学強化処理装置によれば、請求項１又は請
求項２に記載の発明の効果に加え、化学強化槽を収容す
る収容室をクリーンルームにすることにより、その収容
室の清浄度を高めることができる。

【００５６】請求項４に記載の発明の情報記録媒体用ガ
ラス基板の化学強化処理装置によれば、請求項１から請
求項３のいずれか一項に記載の発明の効果に加え、化学
強化後のガラス基板表面を平滑なものにすることができ
る。

【００５７】請求項５に記載の発明の情報記録媒体用ガ
ラス基板の化学強化処理方法によれば、化学強化槽を収
容する収容室内の雰囲気を清浄にし、ガラス基板表面の
汚染を抑制することができるとともに、化学強化におけ
る生産効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施形態における情報記録媒体用ガラス基板
の化学強化装置を示す概略説明図。

【図２】 ガラス基板のホルダーを示す斜視図。

【図３】 ホルダーを収容したケージを示す正面図。

【符号の説明】

１２…化学強化槽、１２ａ…第１化学強化槽、１２ｂ…
第２化学強化槽、１２ｃ…第３化学強化槽、１２ｄ…第
４化学強化槽、１３…化学強化塩溶融槽、１４…第１収
容室、１５…第２収容室、１６…化学強化塩、２８…ガ
ラス基板、４１…排出管、４２…廃液槽、４４…加熱装
置。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 硝酸カリウムを含む化学強化塩によりガ
   ラス基板の化学強化処理を行うための化学強化槽と、該
   化学強化槽で用いられる化学強化塩を予め溶融する化学
   強化塩溶融槽とを備え、これら化学強化槽と化学強化塩
   溶融槽とを別個の収容室に収容したことを特徴とする情
   報記録媒体用ガラス基板の化学強化処理装置。
2. 【請求項２】 前記化学強化槽から排出される廃液を排
   出管を介して化学強化槽の外部に設けられた廃液槽で受
   けるように構成した請求項１に記載の情報記録媒体用ガ
   ラス基板の化学強化処理装置。
3. 【請求項３】 前記化学強化槽を収容する収容室は、そ
   の雰囲気中の１立方フィート（０．０２８立方メート
   ル）当たり０．３μｍ以上の微粒子が１万個以下のクリ
   ーンルームである請求項１又は請求項２に記載の情報記
   録媒体用ガラス基板の化学強化処理装置。
4. 【請求項４】 前記化学強化塩溶融槽は加熱装置を備
   え、その加熱装置による加熱温度を化学強化槽の加熱温
   度より高く設定して化学強化塩を溶融するように構成し
   た請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の情報記
   録媒体用ガラス基板の化学強化処理装置。
5. 【請求項５】 請求項１に記載の情報記録媒体用ガラス
   基板の化学強化処理装置を使用し、化学強化塩溶融槽で
   化学強化塩を溶融した後、化学強化槽で化学強化処理を
   行うことを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の化学
   強化処理方法。