JP2003117570A - オゾン水の製造方法および製造装置 - Google Patents
オゾン水の製造方法および製造装置Info
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Abstract
なく、しかも炭酸ガスを注入した超純水中にオゾンを溶
解させる場合よりも安定化されたオゾン水の製造方法及
びオゾン水の製造装置を提供すること。 【解決手段】 炭酸ガスを溶解した超純水を電気分解し
てオゾンを生成する工程と、電気分解により生成したオ
ゾンと炭酸ガスを含む超純水からオゾンと炭酸ガスを分
離する工程と、超純水から分離されたオゾンと炭酸ガス
を実質的に炭酸ガスを含まない超純水中に溶解させる工
程とを有する。
Description
法およびオゾン水の製造装置に係り、さらに詳しくは、
電子材料の洗浄において、オゾン濃度が高く、安定した
オゾン水を製造することのでぎるオゾン水の製造方法お
よびオゾン水の製造装置に関する。
面から異物を取り除くためにウエット洗浄が広く行われ
ており、近年洗浄工程の簡略化、省資源化等の要請から
強い酸化力を有するオゾン水がウエット洗浄に用いられ
るようになってきている。
超純水の電気分解により生成するオゾンを超純水に溶解
させる方法や無声放電装置で発生するオゾンを超純水に
溶解させる方法が知られている。
経時的に分解して酸素ガスとなるため長距離配管による
移送は困難であり、このため洗浄装置等の近くにオゾン
水の製造装置を配設しなければならず洗浄装置等の設計
やレイアウトに制約を受ける上に、複数のユースポイン
トにオゾン水を供給する必要がある場合にはオゾン水の
製造装置を複数設置しなければならないという問題があ
る。
炭酸ガス(CO2 )を溶解させ、この炭酸ガスの溶解し
た超純水にオゾンを溶解させる方法が提案されている
(特開2000−37695)。
超純水供給ライン1にオゾン溶解装置2が設置され、こ
のオゾン溶解装置2の前段において炭酸ガスが超純水供
給ライン1に注入される。なお、このオゾン溶解装置2
に供給されるオゾンは、超純水供給ライン1から超純水
の一部を分取ライン3で分取し電解装置4で電気分解し
た後、気液分離装置5で分離したものである。なお、気
液分離装置5の液相と電解装置4の電極槽とは配管によ
って連通されており、電解装置4の電極槽で消費された
だけの超純水が気液分離装置5の液相を介して分取ライ
ン3から供給されている。
の製造方法には次のような問題があった。
に注入して超純水全体に炭酸ガスを溶解させるため、炭
酸ガスの使用量が多くなる上に、往々にして過剰に炭酸
ガスが添加されて洗浄の際に問題となる気泡発生の原因
になるという問題があった。また、超純水に炭酸ガスを
溶解させる場合には、水量、ガス量ともに正確に制御す
る必要があり、設備が複雑で取扱いにくく設備コストが
高くなるという問題があった。
ゾン水の安定化に対する効果もなお十分とはいえないと
いう問題もあった。
の炭酸ガスによりオゾンを安定化させたオゾン水の製造
方法には、炭酸ガスの使用量が多くなる上に、往々にし
て過剰に炭酸ガスが添加されて洗浄の際に問題となる気
泡発生の原因になるという問題があった。超純水に炭酸
ガスを溶解させる場合には、水量、ガス量ともに正確に
制御する必要があり、設備が複雑で取扱いにくく設備コ
ストが高くなるという問題があった。さらに、オゾン水
の安定化に対する効果もなお十分とはいえないという問
題もあった。
すべく研究をすすめたところ、以外なことに、オゾン水
製造用の電解装置に供給する超純水に炭酸ガスを注入し
て電気分解し、生成したオゾン水と炭酸ガスを実質的に
炭酸ガスを含まない超純水に溶解させることにより、安
定なオゾン水を生成できることを見出だした。
もので、少ない炭酸ガスの使用量で発泡を生じることな
く、しかも炭酸ガスを注入した超純水中にオゾンを溶解
させる場合よりも安定化されたオゾン水の製造方法及び
オゾン水の製造装置を提供することを目的とする。
方法は、上記目的を達成するため、炭酸ガスを溶解した
超純水を電気分解してオゾンを生成する工程と、前記電
気分解により生成したオゾンと炭酸ガスを含む超純水か
らオゾンと炭酸ガスを分離する工程と、前記超純水から
分離されたオゾンと炭酸ガスを実質的に炭酸ガスを含ま
ない超純水中に溶解させる工程とを有することを特徴と
している。
方法は、第1の超純水供給ラインを流れる超純水に炭酸
ガスを溶解させる工程と、前記炭酸ガスを溶解させた電
解装置に供給し電気分解によりオゾンを生成する工程
と、前記電気分解により生成したオゾンと炭酸ガスを含
む超純水からオゾンと炭酸ガスとを分離する工程と、前
記超純水から分離されたオゾンと炭酸ガスとを第2の超
純水供給ラインを流れる実質的に炭酸ガスを含まない超
純水中に溶解させる工程とを有することを特徴としてい
る。
水供給ラインを流れる超純水の溶存気体の溶解量は、1
ppb以下であることが望ましく、この第1の超純水供
給ラインを流れる超純水への炭酸ガスの溶解は、エジェ
クタ又は膜を用いて行うことが望ましい。
易なガス溶解手段でも最終的に十分な溶解効果を得るこ
とができる。
は、超純水を電気分解してオゾンを生成する電解装置
と、前記電解装置の電解槽に接続された第1の超純水供
給ラインと、前記第1の超純水供給ラインを流れる超純
水に炭酸ガスを溶解させる炭酸ガス溶解手段と、前記電
解装置で生成されたオゾンと炭酸ガスを含む超純水から
オゾンと炭酸ガスとを分離する気液分離装置と、実質的
に炭酸ガスを含まない超純水が流れる第2の超純水供給
ラインと、前記第2の超純水供給ラインに設置されて前
記気液分離装置で分離されたオゾンと炭酸ガスを該第2
の超純水供給ラインを流れる超純水に溶解させるオゾン
・炭酸ガス溶解装置とを有するオゾン水製造装置が有利
に用いられる。
としては、比抵抗値18.2MΩcm以上、TOC濃度
が1ppb以下、金属不純物が10ppt以下、シリ
カ:0.1ppb以下、微粒子0.05μmサイズで1
〜2個/ml程度の純度の高いものが適している。
させる炭酸ガス溶解手段としては、エジェクタやPTF
E製の中空糸膜装置等を使用することができる。
えば株式会社コアテクノロジー社から発売されている電
解オゾン水製造装置を用いることができる。この電解オ
ゾン水製造装置は、次の反応により陽極でオゾンと酸素
を生成し、14〜20重量%のオゾン濃度のオゾン水を
生成することができる。
炭酸ガスとを溶解させるオゾン・炭酸ガス溶解装置とし
ては、例えばPTFE(商品名;テフロン<登録商標
>)製の中空糸膜装置が適している。PTFE製の中空
糸膜装置は、オゾンと炭酸ガスとを共に超純水に溶解さ
せることができる。このように炭酸ガスとオゾンを同時
にPTFE膜を介して溶解させる方式は、炭酸ガスとオ
ゾンとを別個に溶解させる場合よりも効果が高く、また
装置の構成も簡単にすることができるので本発明に適し
ている。
水を電気分解して生成するオゾンは、炭酸ガスが存在す
るため気液分離装置内で非常に安定している。電気分解
で生成するオゾンは湿潤ガスであるため、炭酸ガスも含
んでおり、その結果生成するオゾン水も高濃度となり安
定性が高い。
例について説明する。
は、株式会社コアテクノロジー社製の電解装置(電解オ
ゾン水製造装置)11、この電解装置11に気液分離装
置12の液相を介して超純水を供給する第1の超純水供
給ライン13、この第1の超純水供給ライン13に炭酸
ガスを圧入して溶解させる簡易PTFE製エジェクタ1
4、並びに実質的に炭酸ガスを含まない超純水が流れる
第2の超純水供給ライン15、この第2の超純水供給ラ
イン15を流れる超純水に、電解装置11で生成したオ
ゾンと炭酸ガスを溶解させるPTFE製中空糸膜装置1
6とから主として構成されている。
比抵抗値18.2MΩcm以上、TOC濃度が1ppb
以下、金属不純物が10ppt以下、シリカ:0.1p
pb以下、微粒子0.05μmサイズで1〜2個/ml
のものである。
第1の超純水供給ライン13に超純水0.05L/mi
nで流しながら、炭酸ガスを、炭酸ガス(99.9%以
上)供給圧力1.0kg/cm2 (0.8kg/cm2
でも有効)の条件で溶解させ、この炭酸ガスを溶解した
超純水を電解装置11に供給した。この炭酸ガスを溶解
した超純水は、電解装置11において電気分解によりオ
ゾンを生成し(オゾン発生量12g/hr)、生成した
オゾンと炭酸ガスを溶解する超純水は、気液分離装置1
2に送られオゾン、炭酸ガス(及び酸素)が分離され、
このオゾン水と炭酸ガスの混合ガスは中空糸膜装置16
に送られ第2の超純水供給ライン15を圧力60kP
a、1.5L/minで流れる実質的に炭酸ガスを含ま
ない超純水中に溶解された。なお、第1の超純水供給ラ
イン13の超純水の流量と第2の超純水供給ライン15
の超純水の流量比は、0.05:1.5=1:30であ
る。
ューブ)15中のオゾンと炭酸ガスが溶解された超純水
のオゾン濃度を、中空糸膜装置16から20m下流で測
定した。
た各比較例のうち、比較例1は、第1、第2の超純水供
給ラインを流れる超純水のいずれにも炭酸ガスを溶解さ
せなかった場合、比較例2は、第2の超純水供給ライン
に超純水の流量1.5 l/min、炭酸ガスを供給圧
力1.0kg/cm2 の条件で溶解させた場合、比較例
3は、第2の超純水供給ラインに超純水の流量1.5
l/min以下、炭酸ガスを供給圧力1.0kg/cm
2 の条件で溶解させ、その下流で一部を分取して第1の
超純水供給ラインに流した場合の例である。また、オゾ
ン濃度の測定位置は、実施例と同じくオゾン溶解位置か
ら20m下流であり、測定は紫外線吸収方式により行っ
た。その結果を表1に示す。
純水に炭酸ガスを溶解させるので、炭酸ガスの使用量が
少なくて済む。また、電解装置で生成したオゾンは炭酸
ガスの存在により安定化され、実質的に炭酸ガスを含ま
ない超純水に溶解された後においても優れた安定性を維
持することができる。
酸ガスを含まない超純水に溶解させるので、オゾンを、
予め炭酸ガスを溶解させておいた超純水に溶解させる場
合よりも溶解ガスの絶対量が少なくなり、洗浄の際に問
題となる発泡現象がない。
TFE溶解膜を用いた場合には、オゾンと炭酸ガスとを
同時に溶解させることができるので設備が簡単となり設
備コストを低くすることができる。
図。
純水供給ライン、14……簡易PTFE製エジェクタ、
15……第2の超純水供給ライン、16……中空糸膜装
置。
Claims (5)
- 【請求項1】 炭酸ガスを溶解した超純水を電気分解し
てオゾンを生成する工程と、 前記電気分解により生成したオゾンと炭酸ガスを含む超
純水からオゾンと炭酸ガスを分離する工程と、 前記超純水から分離されたオゾンと炭酸ガスを実質的に
炭酸ガスを含まない超純水中に溶解させる工程とを有す
ることを特徴とするオゾン水の製造方法。 - 【請求項2】 第1の超純水供給ラインを流れる超純水
に炭酸ガスを溶解させる工程と、 前記炭酸ガスを溶解させた超純水を電解装置に供給し電
気分解によりオゾンを生成する工程と、 前記電気分解により生成したオゾンと炭酸ガスを含む超
純水からオゾンと炭酸ガスとを分離する工程と、 前記超純水から分離されたオゾンと炭酸ガスを第2の超
純水供給ラインを流れる実質的に炭酸ガスを含まない超
純水中に溶解させる工程とを有することを特徴とするオ
ゾン水の製造方法。 - 【請求項3】 炭酸ガスを溶解する前の第1の超純水供
給ラインを流れる超純水の溶存気体の溶解量は、1pp
b以下であることを特徴とする請求項2記載のオゾン水
の製造方法。 - 【請求項4】 第1の超純水供給ラインを流れる超純水
への炭酸ガスの溶解は、エジェクタ又は膜を用いて行わ
れることを特徴とする請求項2又は3記載のオゾン水の
製造方法。 - 【請求項5】 超純水を電気分解してオゾンを生成する
電解装置と、 前記電解装置の電解槽に接続された第1の超純水供給ラ
インと、 前記第1の超純水供給ラインを流れる超純水に炭酸ガス
を溶解させる炭酸ガス溶解手段と、 前記電解装置で生成されたオゾンと炭酸ガスを含む超純
水からオゾンと炭酸ガスとを分離する気液分離装置と、 実質的に炭酸ガスを含まない超純水が流れる第2の超純
水供給ラインと、 前記第2の超純水供給ラインに設置されて前記気液分離
装置で分離されたオゾンと炭酸ガスを該第2の超純水供
給ラインを流れる超純水に溶解させるオゾン・炭酸ガス
溶解装置とを有することを特徴とするオゾン水製造装
置。
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JP2001322151A JP3720292B2 (ja) | 2001-10-19 | 2001-10-19 | オゾン水の製造方法および製造装置 |
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2001
- 2001-10-19 JP JP2001322151A patent/JP3720292B2/ja not_active Expired - Fee Related
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