JP2003098495A - 出力光モニタ付光導波路型光変調器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 モニタ用出力光として光導波路から放射され
る放射モード光を、より正確に検出するための出力光モ
ニタ付光導波路型光変調器を提供する。 【解決手段】 誘電体基板１と、該基板上に形成され、
２以上の分岐光導波路部２，３及び該分岐光導波路部の
合一点６から伸び出ている光導波路出力部７を有する光
導波路とを備えた光導波路素子と、該光導波路出力部の
出力端に接続される光ファイバ１５と、該光導波路出力
部の出力端と該光ファイバの端面との接続部を補強する
光ファイバ補強部材と、前記分岐光導波路部の合一点６
から放射されかつ該光導波路出力部の両側を通って伝播
される放射モード光８，９の一部を、該誘電体基板及び
該光ファイバ補強部材を介して受光する光検出器２０と
を有する出力光モニタ付光導波路型光変調器において、
該光ファイバ補強部材が、該光ファイバの接続端部分を
収容する中空部を有しかつ該放射モード光を伝播するキ
ャピラリー１３であり、該キャピラリーの該誘電体基板
側の端面には、前記放射モード光の一部のみを通過させ
る遮光手段６０が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、出力光モニタ付光
導波路型変調器に関するものであり、特に、本発明はモ
ニタ用出力光として光導波路から放射される放射モード
光を適宜の方向において利用し、変調器そのものの実質
的構造を変更することなく、簡単なモニタ手段により出
力光をモニタし光変調器の動作点をフィードバック制御
し、モニタ信号におけるノイズを低減させた出力光モニ
タ付光導波路型変調器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般的に、光導波路素子などを用いた光
変調器の出力光を一定出力の状態に維持するためには、
光変調器の出力光をモニタし、出力光の変化に対応し
て、光変調器に印加する変調電圧などの大きさを変化さ
せることが必要である。光導波路素子などによる光変調
器の出力光をモニタする方法として、従来は光導波路素
子内に方向性結合器（カプラ）などを配置して、光信号
出力用の光導波路とは別に、モニタ光出力用の光導波路
を設ける方式が一般的に行なわれている。この方式にお
いては、光導波路素子内に、モニタ光分岐用の光回路を
新たに設ける必要があり、またモニタ出力用光ファイバ
を、光出力信号用光ファイバとは別に光導波路素子に接
続する必要がある。

【０００３】また、別のモニタ方式として、特開平１１
−１９４２３７号に開示されている様に、光導波路上の
クラッド部に傾斜穴をつけるか、あるいは光導波路素子
上に回折レンズなどを配置し、光導波路中の信号出力光
の一部分を、このレンズ等により素子基板の外に取り出
す方式が知られている。この方式においては、光導波路
型光導波路素子上に、モニタ光取り出し用レンズ等を、
新たに取りつけることが必要であり、また、モニタ光
は、光導波路素子の上方に取り出されるため、モニタ光
の受光部材は、光導波路型素子を、その収容ケース内に
実装した後に、この素子に取りつけなければならず、こ
の取り付けには、かなりの手間を要する。

【０００４】さらに、特開平５−３４６５０号には、光
導波路素子の素子端を斜めに形成し、導波路から出力す
る光の一部分を斜め方向に反射させ、この反射光をモニ
タ光として受光する方式が開示されている。この方式に
おいては、素子端面の傾斜形状は、素子からの主出力光
に悪影響を与えない範囲内において選定する必要があ
り、このためこの方式の実用性については問題がある。

【０００５】特開平５−５３０８６号には、光導波路素
子上に直接受光素子を設置し、光導波路中の信号出力光
の一部を直接受光し、モニタするデバイスが記載されて
いる。このデバイスにおいて、受光素子の取付手段を、
光導波路素子上に取り付けることが必要であり、かつ、
この取付手段の実装及びそれに受光素子を接続する作業
及び調整作業は、光導波路素子を、それを収容するケー
スに実装した後に行われる。このため、この受光素子の
取り付け、調整作業は、かなり難かしくなり、光導波路
素子にダメージを与える可能性が高くなる。

【０００６】以上を踏まえ、本出願人は、先の出願（特
願２０００−１０１３１６号、平成１２年３月３１日
付）において、モニタ用出力光として、光導波路から放
射される放射モード光を、適宜の方向において利用し、
光変調器そのものの実質的な構造を変更することなく、
簡単な構造と、優れた加工性及び光ファイバ操作性を有
するキャピラリーを利用したモニタ手段により、出力光
の光強度をモニタできる「出力光モニタ付光導波路型変
調器」を提案した。

【０００７】先の出願で開示した「出力モニタ付光導波
路型光変調器」について、以下に説明する。マッハツェ
ンダ型光導波路などを使用してＯＮ／ＯＦＦの光信号出
力を得る光変調器では、ＯＦＦモード状態、すなわち光
信号が出力されていない状態において発生する放射モー
ド光は、光導波路が形成された基板内において、光信号
出力が導波される出力光導波路に対して、斜め外側方向
に放射される。この放射モード光は約０．７度の放射角
をなして光導波路出力部から遠ざかりながら通常基板内
を伝播し、最終的には基板端面より外部に放射される。
また、放射モード光の光量は出力用の光導波路内を通る
光信号出力の光量と相補の関係にあるため、放射モード
光を検知することにより、光信号出力のモニタが可能と
なる。

【０００８】また、光変調器の基板端面には、光導波路
からの光信号出力を受け取り変調器の外部に導光するた
めの光ファイバが取り付けられるが、この光ファイバの
外径は１２５μｍと非常に細いため、基板端面（出力光
の出射部）に単純に接着しただけでは接着強度が不足す
る。このため、「光ファイバ補強部材」を使用して光フ
ァイバを被覆しこの補強部材の一端面を、基板端面に接
着することにより光ファイバと光導波路との接続部を補
強保護し、その接着強度を向上させている。一般に、こ
の光ファイバ補強部材には、通常シリコン材料あるいは
セラミックス材料が使用されている。本出願人は、この
光ファイバ補強部材の材質として信号光／放射モード光
が透過するものを選択し、さらに、光ファイバ補強部材
の太さを、基板端面より放射される前記放射モード光を
受光し得る大きさに設定することにより、放射モード光
をこの光ファイバ補強部材内に導光することを可能とし
た。

【０００９】そして、光ファイバ補強部材の反対側端面
（光ファイバ補強部材における、光導波路素子の出力端
面に接着されている接合端面に対し反対側の面）を、該
接合端面（または、補強保護している光ファイバの延伸
方向）に対して傾斜するように形成すると、この傾斜端
面において、補強部材中を伝播してきた放射モード光が
反射され、補強部材の外（出力光ファイバが取り出され
る方向とは異なる上、右、下、左など希望する一つの方
向）に放射される。この放射された光を、光導波路素子
ケース内で、光導波路素子とは別個に配置された光検出
器、例えばフォトダイオード（ＰＤ）により検知して、
放射モード光の光量を測定し、その値から、光導波路か
ら出力されている光量をモニタすることができる。

【００１０】また、上記補強部材の傾斜端面の傾斜角度
及び方向を適宜設定することにより、放射モード光の反
射放射方向を変更し、この放射モード光を受光する光検
出器の配置位置を、光導波路素子の機能及び各部材の配
置位置に影響しないように最適選定することが可能にな
る。

【００１１】上記の従来の具体例を図１に示す。図１に
は、放射モード光をモニタする装置の一部分の平面（一
部断面）説明図が示されている。図１において、光変調
素子の基板１の出力側端面には基板１と同一の光学的特
性を有する材料からなり、該端面を補強する補強部材１
２が、基板１２の導波路を形成している面に、貼合され
ている。基板１と補強部材１２とは同一光学軸を有して
いる。

【００１２】基板１の出力側端面１０に、キャピラリー
１３の一端面１６が、接着固定されている。図１におい
て、基板の出力側端面１０とキャピラリー端面１６とは
離間して描かれているが、両者は、接着剤により、強固
に接着固定されている。キャピラリー１３の長手方向中
心軸に沿って中空部１４が形成されており、この中空部
１４中に光ファイバ１５が収容され、接着剤により固定
される。光導波路出力部７の出力端は、キャピラリー１
３の中空部１４に露出していて、この出力端に、光ファ
イバ１５の先端面が接合固定される。中空部１４の直径
は、光ファイバ１５を収容可能でありかつ、光ファイバ
のハズレを防止し得るようにするために、光ファイバ１
５の直径とほぼ同程度で、やや大きい程度に設定され
る。

【００１３】キャピラリー１３の他の端面（先端面）１
７は、キャピラリー１３の中空部１４の長手方向軸に対
し傾斜して形成される。キャピラリー１３の内部１８を
伝播した放射モード光８，９は、先端面１７で反射さ
れ、その反射された放射モード光２３，２４は、光検出
器を構成する光電変換素子２０の受光面により受光され
る。光電変換素子は、受光した放射モード光に基いて、
モニタ信号を出力する。

【００１４】しかしながら、図１に係る従来例において
は、放射モード光２３，２４を共に検知しているため、
次のような問題点が生じる。図１に示された従来装置に
おいては、キャピラリー１３の反射面１７の、光電変換
素子２０に近い上半部１７ａから反射された放射モード
光２３と、光電変換素子２０から遠い下半部１７ｂから
反射された放射モード光２４とは、それぞれ、図２に示
されているように光電変換素子２０の受光面の入射矩形
面域２５及び２６に入射する。この矩形面域２５及び２
６は、面域２７において互いに重なるため、この面域２
７に入射した放射モード光２３，２４は、互いに干渉す
ることとなり、光電変換素子２０のモニタ光出力が、環
境温度その他の外乱により変動する（揺らぐ）という問
題を生ずる。

【００１５】本出願人の先の出願（特願２０００−１０
１３１６号）においては、この問題を解決し、光電変換
素子からのモニタ光出力を安定させるため、キャピラリ
ー１３の内部１８を伝播する放射モード光８，９の一方
のみを、光電変換素子に入射させるように構成してい
る。具体例として、図３に示すように、キャピラリー１
３の先端面の上半部１７ａ（光電変換素子２０に近い約
半部）に反射面が形成され、この上半部反射面１７ａに
おいて反射された放射モード光２３のみが光電変換素子
２０により受光される。キャピラリー先端部分の下半部
は、図３に示されているように、先端面から深さＷまで
切り込まれ、キャピラリーの周面から深さＦの部分２８
が、除去される。この除去部分２８の除去によりキャピ
ラリー１３の下半部に形成された端面２９においては、
放射モード光は、矢印２９ａの方向に反射されるため、
光電変換素子２０により受光されることはない。このた
め、図３の光変調器においては、放射モード光の一部９
がキャピラリー先端面の下半部から反射されて、光電変
換素子に受光されることはなく、その結果、図２に示さ
れている面域２７のような干渉領域を生ずることがな
く、光電変換素子から出力されるモニタ信号が安定化さ
れる。

【００１６】さらに、図３に示されているように、キャ
ピラリー１３の先端面部の下半部２８を除去することに
より、下記のような効果も得られる。 （１）キャピラリー１３の中空部１４は光ファイバ１５
を通すためできるだけ大きな直径を有することが望まし
いが、放射モード光の放射角が約０．７度と小さいた
め、放射モード光をキャピラリーの肉質部１８を伝搬さ
せるには、中空部の孔径は小さい程好ましい。このた
め、光ファイバ外径よりも1ｍｍ程度大きな孔径とする
が、この場合、図１のように、キャピラリー先端面全面
が斜面のままでは、中空部に光ファイバを導入するのが
非常に困難である。また、通常、光ファイバ導入部には
テーパ付き部分を設けて光ファイバを導入し易くする
が、このようなテーパ付導入部も、上記の放射角に関係
した理由により採用できない。しかし、図３の様な構造
とすれば、除去部分２８に対向する中空部は、光ファイ
バ導入用溝として機能し、光ファイバを案内し、光ファ
イバの中空部導入を容易にすることができる。 （２）また、光ファイバは、通常、アライメント後に補
強のためキャピラリーに接着固定され、この接着剤が反
射面１７ａに回り込み反射性能を変動させるという問題
を生ずるが、上記除去部分２８は、接着剤に対しトラッ
プ機能を示し、反射面１７ａへの回り込みを防止するこ
とができる。

【００１７】なお、図３においては、基板１の出力端及
びそれに接合された補強部材１２の出力端部の端面は、
光導波路出力部７の長手中心軸に直角をなす平面に対
し、傾斜して、例えば５度の傾斜角をもって形成されて
いる。これは、基板1に取りつけられる補強部材１２及
び基板１の端面１０における放射モード光の基板内への
反射の影響を除くためである。また、これに対応し、キ
ャピラリー１３の長手中心軸１４ａの方向も、光導波路
出力部７の長手方向に対して傾斜する方向に伸びてお
り、従って、光導波路出力部７の出力端面１０と、光フ
ァイバの接続端面（図示されていない）とは、互いに傾
斜して接続されている。例えば、補強部材１２の端面
と、キャピラリー１３の中空部１４の長手方向中心軸１
４ａに直角をなす平面とは、７度の傾斜角をなしてい
る。

【００１８】放射モード光８，９の一方のみを、光電変
換素子に入射させるための構成としては、上述したキャ
ピラリーの一部を切除する方法以外に、次のような方法
もある。 （１）図４のように、キャピラリー１３の反射面の一部
５０を非反射面化する。 （２）図５のように、キャピラリー１３から反射した放
射モード光が光電変換素子に到達する前に、その一部を
遮光する遮光手段５１を設ける。 （３）図６のように、キャピラリー１３の内部に、遮光
用凹部又は遮光板５２を設け、反射面に到達する前に放
射モード光の一部を遮断する。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】光導波路型光変調器の
基板からは、上述した放射モード光以外にも多様な光が
漏出しており、該基板とキャピラリーを接合した場合、
キャピラリーの内部には、該放射モード光以外にこれら
の光も入射することとなる。このため、キャピラリーに
形成された反射面から光検出器に指向される光も、放射
モード光以外の不要光を多分に含む結果となり（図７参
照）、光検出器からのモニタ信号出力もバックグラウン
ド・ノイズを多く含む波形となる（図８参照）。また、
図３や図６のように、キャピラリーの一部を切除する場
合においては、切除面の平滑性が低いとカットすべき放
射モード光が切除面で乱反射し、その一部が光検出器に
向かうという不具合も生じることとなる。

【００２０】本発明は、上述したような問題を解決し、
モニタ用出力光として光導波路から放射される放射モー
ド光を、より正確に検出するための出力光モニタ付光導
波路型光変調器を提供することである。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段としては、請求項１に係る発明は、誘電体基板
と、該基板上に形成され、２以上の分岐光導波路部及び
該分岐光導波路部の合一点から伸び出ている光導波路出
力部を有する光導波路とを備えた光導波路素子と、該光
導波路出力部の出力端に接続される光ファイバと、該光
導波路出力部の出力端と該光ファイバの端面との接続部
を補強する光ファイバ補強部材と、前記分岐光導波路部
の合一点から放射され、かつ該光導波路出力部の両側を
通って伝播される放射モード光の一部を、該誘電体基板
及び該光ファイバ補強部材を介して受光する光検出器
と、を有する出力光モニタ付光導波路型光変調器におい
て、該光ファイバ補強部材が、該光ファイバの接続端部
分を収容する中空部を有し、かつ、該放射モード光を伝
播するキャピラリーであり、該キャピラリーの該誘電体
基板側の端面には、前記放射モード光の一部のみを通過
させる遮光手段が設けられていることを特徴とする。

【００２２】また、請求項２に係る発明は、請求項１に
記載の出力光モニタ付光導波路型光変調器において、該
キャピラリーの該誘電体基板側とは反対の端面には、該
遮光手段を通過した放射モード光の一部を該光検出器に
向かって反射させるための反射手段が設けられているこ
とを特徴とする。

【００２３】さらに、請求項３に係る発明は、請求項２
に記載の出力光モニタ付光導波路型光変調器において、
該反射手段は、前記キャピラリーの誘電体基板側とは反
対の端面の内、前記放射モード光の一部が入射する部分
にのみ設けられていることを特徴とする。

【００２４】

【発明の実施の形態】本発明の出力光モニタ付光導波路
型光変調器の一例を図９に示す。図９において、ケース
（筐体）３０内に、ＬｉＮｂＯ_３などの強誘電体からな
る基板１を固定し、その表面部分に、光導波路１ａを形
成し、この光導波路１ａは、光導波路入力部３２、それ
から分岐した分岐光導波路部２，３、その分岐部の出力
部４，５、合一点６、及び光導波路出力部７を有し、各
分岐部２，３上に電極３３，３４が配置されている。基
板１の入力端部には入力端部補強部材１２ａが配置さ
れ、その入力端面に、入力側キャピラリー３１が接合さ
れ（図９においては、両者は離間して画かれている）キ
ャピラリー３１の中空部（図示されていない）を通して
入力側光ファイバ１５ａが導入され、その先端面が、光
導波路入力部３２の入力端面に接続されている。

【００２５】光導波路１ａの出力端部は、図３と同様に
して、出力側キャピラリー１３、出力側光ファイバ１５
が接続されている。光は、補強部材１２ａにより補強さ
れた入力側光ファイバ１５ａから、光導波路入力部３２
に入り、分岐部２及び３に分配される。電極３３，３４
に、印加電気信号３５を、例えばケース３０の側面に配
置されたコネクタ３６を介して印加すると、分岐光導波
路部２及び３を伝播する光波の光位相が、印加電気信号
３５に応じて変化し、この光波が、合一点６において合
波し、互に干渉して信号光を発生する。この干渉後の信
号光は、キャピラリー１３により補強された光ファイバ
１５を通ってケース３０の外に出力される。

【００２６】合一点６で、基板１内に放射された２つの
放射モード光８，９のうち、放射モード光８は、キャピ
ラリー１３の内部１８を通りキャピラリー１３の先端面
の上半部に形成された反射面１７ａにおいて反射され、
キャピラリー１３の円柱状周面において集光されなが
ら、光導波路１ａの出力部７にほぼ直角をなす方向（ケ
ース３０の側面にほぼ直角をなす方向）に放射される。
この放射モード光２３は、その方向にほぼ直角に配置さ
れ、かつ、受光面からの反射光が、反射面１７ａに戻ら
ない角度で受光し得るように配置された（ケース３０の
側面に固定された）光電変換素子（ＰＤ）２０の受光面
に受光される。受光された放射モード光による信号は、
光電変換素子２０において電気信号に変換され、この電
気信号３８は、光出力モニタ信号としてコネクタ３７を
介して、ケース３０の外に出力される。

【００２７】合一点６から放射された放射モード光９
は、キャピラリー１３の基板１側の端面に設けられた遮
光手段６０により、キャピラリー１３の内部への入射が
遮断される。遮光手段６０の構成としては、図１０に示
すように、放射モード光の中で必要とする一部の放射モ
ード光のみを通過させ、その他の光は可能な限り遮光す
る形状を有した遮光部材を、キャピラリー１３の端面に
設けるよう構成されている。遮光部材の形成方法として
は、例えば、キャピラリー１３の端面の一部（放射モー
ド光を通過させる場所）をマスク部材で覆い、Ｔｉなど
の遮光特性を有する材料を蒸着し、後に該マスク部材を
除去することにより形成することができる。

【００２８】このように、キャピラリー１３内に入射す
る不要光が制限されているため、光検出器のモニタ信号
出力は、図１１に示すように、不要光が原因となって形
成されるバックグラウンド・ノイズ（ボトムレベル）が
低くなる。しかも、先の出願（特願２０００−１０１３
１６号）のような、放射モード光の一部のみを抽出する
ための構成である、図３乃至図６に示したいずれかの構
成を併せて用いることにより、光検出器に入射する不要
光（不要な放射モード光を含む）を大幅に減少させるこ
とが可能となる。

【００２９】なお、図９においては、基板の端面におけ
る放射モード光の反射を少なくするために、基板端面
を、基板表面の光導波路出力部７の方向に対して直角を
なす平面から基板表面内において（水平方向に）約５度
傾斜させる場合について説明したが、基板の端面を、基
板表面に対して、傾斜させた場合には、キャピラリーを
図１２（光変調器の側面図）に示すように形成すること
が、その加工を容易にする上で有効である。

【００３０】

【発明の効果】以上の説明により、請求項１に係る発明
によれば、光ファイバの接続に利用される光ファイバ補
強部材を、放射モード光を伝播するキャピラリーとする
ことにより、従来の光変調器の形状並びに構造、また、
光導波路素子の実装方法などを特に変更することなく、
放射モード光を検出することができ、しかも、キャピラ
リーに入射する不要光を遮光するため、信号ノイズの少
ない安定した光出力の検出が可能となる。

【００３１】また、請求項２に係る発明によれば、キャ
ピラリー内を通過する放射モード光を、反射面の向きに
より適宜必要な方向に出射させることが可能となるた
め、光検出器などの配置を最適化することが可能とな
る。

【００３２】また、請求項３に係る発明によれば、光検
出器に向かう光の反射手段が限定した位置に形成されて
いるため、光検出器に入射する不要光がより排除され、
より信号ノイズの少ない安定した光出力の検出が可能と
なる。

【００３３】

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の出力光モニタ付光導波路型光変調器の要
部を示す平面説明図。

【図２】図１の光変調器において、反射された放射モー
ド光の光電変換素子の受光面における入射面域を示す説
明図。

【図３】先の出願に記載された光変調器の要部の構成を
示す平面説明図。

【図４】放射モード光の一部をカットするための他の構
成を示す図（その１）。

【図５】放射モード光の一部をカットするための他の構
成を示す図（その２）。

【図６】放射モード光の一部をカットするための他の構
成を示す図（その３）。

【図７】従来のキャピラリーにおける光の進路を示す概
略図。

【図８】従来のキャピラリーを用いた場合の光検出器に
おけるモニタ信号出力の例を示す図。

【図９】本発明を適用した光変調器の構成の一例を示す
平面説明図。

【図１０】本発明のキャピラリーにおける光の進路を示
す概略図。

【図１１】本発明のキャピラリーを用いた場合の光検出
器におけるモニタ信号出力の例を示す図。

【図１２】本発明が適用される他の光変調器の要部を示
す側面説明図。

【符号の説明】

１ 誘電体基板 １ａ 光導波路 ２，３ 分岐光導波路部 ４，５ 分岐部の出力部分 ６ 合一点 ７ 光導波路出力部 ８，９ 放射モード光 １０ 出力側端面 １２ 補強部材 １２ａ 入力側補強部材 １３ キャピラリー １４ 中空部 １４ａ 中空部中心軸 １５ 出力光ファイバ １５ａ 入力光ファイバ １６ キャピラリーの接続端面 １７ 反射面 １７ａ 反射面上半部 １７ｂ 反射面下半部 １８ キャピラリー内部 ２０ 光電変換素子 ２３，２４ 反射された放射モード光 ２５ 反射面の上半部からの放射モード光の入射面域 ２６ 反射面の下半部からの放射モード光の入射面域 ２７ 入射面域２５，２６の重なり部 ２８ 除去部分 ２９ キャピラリー下半部の端面 ２９ａ 端面29において反射された放射モード光の方向 ３０ ケース ３１ 入力側キャピラリー ３２ 入力部 ３３，３４ 電極 ３５ 印加電気信号 ３６，３７ コネクタ ３８ 電気信号 ３９ 基板支持具 ５０ 非反射面 ５１ 遮光手段 ５２ 遮光用凹部又は遮光板 ６０ 遮光部材 Ｆ キャピラリー周面からの深さ Ｗ キャピラリー先端面からの深さ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H047 KA04 KA12 LA12 MA05 MA07 NA02 QA03 RA08 2H079 AA02 AA12 CA05 DA03 EA05 EA21 EA32

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】誘電体基板と、該基板上に形成され、２以
   上の分岐光導波路部及び該分岐光導波路部の合一点から
   伸び出ている光導波路出力部を有する光導波路とを備え
   た光導波路素子と、 該光導波路出力部の出力端に接続される光ファイバと、 該光導波路出力部の出力端と該光ファイバの端面との接
   続部を補強する光ファイバ補強部材と、 前記分岐光導波路部の合一点から放射され、かつ該光導
   波路出力部の両側を通って伝播される放射モード光の一
   部を、該誘電体基板及び該光ファイバ補強部材を介して
   受光する光検出器と、を有する出力光モニタ付光導波路
   型光変調器において、 該光ファイバ補強部材が、該光ファイバの接続端部分を
   収容する中空部を有し、かつ、該放射モード光を伝播す
   るキャピラリーであり、 該キャピラリーの該誘電体基板側の端面には、前記放射
   モード光の一部のみを通過させる遮光手段が設けられて
   いることを特徴とする出力光モニタ付光導波路型光変調
   器。
2. 【請求項２】請求項１に記載の出力光モニタ付光導波路
   型光変調器において、 該キャピラリーの該誘電体基板側とは反対の端面には、
   該遮光手段を通過した放射モード光の一部を該光検出器
   に向かって反射させるための反射手段が設けられている
   ことを特徴とする出力光モニタ付光導波路型光変調器。
3. 【請求項３】請求項２に記載の出力光モニタ付光導波路
   型光変調器において、 該反射手段は、前記キャピラリーの誘電体基板側とは反
   対の端面の内、前記放射モード光の一部が入射する部分
   にのみ設けられていることを特徴とする出力光モニタ付
   光導波路型光変調器。