JP2003086613A - 電子部品実装装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大型の半導体ウェハを対象として、ウェハ供
給用のマガジンを容易に交換することができる電子部部
品実装装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 ウェハ位置決め部９に粘着シート上に貼
り付けられた状態で供給されたチップを基板に搭載する
電子部品実装装置において、治具供給部１１に配設さ
れ、半導体ウェハを貼着した粘着シートを保持する治具
収納用のマガジン１４を保持するマガジン保持部１３を
軸部１２ａ廻りに水平面内で回転可能として案内部１３
ａの案内面方向を変えることが可能な構成とし、さらに
マガジン昇降部１２をガイドレール５０、スライドガイ
ド５１を介して基台２に対して可動とすることによりマ
ガジン保持部１３を基台２の外側へ引き出し可能とす
る。これにより、大型の半導体ウェハを対象とした大型
で大重量のマガジン１４を用いる場合にあっても、マガ
ジン交換作業を容易に行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハから切り出
され粘着シートに貼着された状態の電子部品を取り出し
て基板に実装する電子部品実装装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程において、半導体
チップは多数のチップより成るウェハから切り出され
る。このチップの切り出しは、粘着シートにウェハを貼
着した状態で行われ、切り出された個片チップは粘着シ
ートから剥ぎ取られてピックアップされる。ウェハが貼
着された粘着テープはプレート上の治具に装着された状
態で供給され、電子部品実装装置においてはこれらの治
具はマガジン内に複数枚が収納される。そしてウェハの
補給はマガジンを着脱・交換することにより行われる。
この交換作業は、従来は手作業によって行われていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで近年半導体ウ
ェハのサイズの大型化に伴いウェハが装着される治具は
大型化し、したがってこれらの治具を収納するマガジン
の重量も増大している。このため従来のように作業者が
マガジンを人手によって取り扱うことが困難になり、マ
ガジンの交換を容易に行う方策が求められていた。

【０００４】そこで本発明は、大型の半導体ウェハを対
象として、ウェハ供給用のマガジンを容易に交換するこ
とができる電子部品実装装置を提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の電子部品
実装装置は、粘着シート上に貼り付けられた状態で供給
されたチップをピックアップするノズルを含んだ移載機
構でチップを基板に搭載する電子部品実装装置であっ
て、基板を搬送する基板搬送機構と、前記粘着シートが
取り付けられた治具を複数収容するマガジンと、このマ
ガジンを着脱自在に保持するマガジン保持部と、前記治
具を保持しこの治具の粘着シートを上下に露呈させる開
口部を有する治具ホルダと、前記開口部に挿入可能な中
抜き環状構造のシート延伸部材と、このシート延伸部材
を前記治具ホルダの開口部に挿入し、前記治具ホルダに
保持された治具の粘着シートの裏面に前記シート延伸部
材を当接させて前記粘着シートを面外方向へ変位させる
ことにより、この粘着シートを延伸する粘着シート延伸
機構と、前記治具ホルダに保持された治具を前記マガジ
ン内の別の治具と交換する交換作業を行う治具交換機構
と、前記治具ホルダの下方に配置され前記ノズルでピッ
クアップされるチップから前記粘着シートを剥離する剥
離作業を行う粘着シート剥離機構と、前記治具ホルダを
前記剥離作業のための移動範囲を示す位置決めエリア内
で移動させることにより前記粘着シート上のチップを前
記粘着シート剥離機構に対して位置決めする位置決めテ
ーブルとを備え、前記マガジン保持部が水平面内で回転
可能となっている。

【０００６】請求項２記載の電子部品実装装置は、請求
項１記載の電子部品実装装置であって、前記マガジン保
持部に、マガジンを着脱する際のマガジンの移動を案内
する案内部を備え、この案内部の案内方向を前記位置決
めテーブルに向ける方向から、前記基板搬送機構側と反
対側の方向に向けるように前記マガジン保持部を回転さ
せる。

【０００７】請求項３記載の電子部品実装装置は、粘着
シート上に貼り付けられた状態で供給されたチップをピ
ックアップするノズルを含んだ移載機構でチップを基板
に搭載する電子部品実装装置であって、基板を搬送する
基板搬送機構と、前記粘着シートが取り付けられた治具
を複数収容するマガジンと、このマガジンを着脱自在に
保持するマガジン保持部と、前記治具を保持しこの治具
の粘着シートを上下に露呈させる開口部を有する治具ホ
ルダと、前記開口部に挿入可能な中抜き環状構造のシー
ト延伸部材と、このシート延伸部材を前記治具ホルダの
開口部に挿入し、前記治具ホルダに保持された治具の粘
着シートの裏面に前記シート延伸部材を当接させて前記
粘着シートを面外方向へ変位させることにより、この粘
着シートを延伸する粘着シート延伸機構と、前記治具ホ
ルダに保持された治具を前記マガジン内の別の治具と交
換する交換作業を行う治具交換機構と、前記治具ホルダ
の下方に配置され前記ノズルでピックアップされるチッ
プから前記粘着シートを剥離する剥離作業を行う粘着シ
ート剥離機構と、前記治具ホルダを前記剥離作業のため
の移動範囲を示す位置決めエリア内で移動させることに
より前記粘着シート上のチップを前記粘着シート剥離機
構に対して位置決めする位置決めテーブルとを備え、前
記マガジン保持部を電子部品実装装置の基台の外側へ引
き出し可能となっている。

【０００８】請求項４記載の電子部品実装装置は、請求
項３記載の電子部品実装装置であって、前記マガジン保
持部を前記基板搬送機構側と反対側の方向に引き出す。

【０００９】請求項５記載の電子部品実装装置は、請求
項３記載の電子部品実装装置であって、前記マガジン保
持部が水平面内で回転可能となっている。

【００１０】本発明によれば、半導体ウェハを貼着した
粘着シートを保持する治具収納用のマガジンを保持する
マガジン保持部を、水平面内で回転可能な構成とするこ
とにより、さらにはマガジン保持部を基台の外側に引き
出し可能とすることにより、大型の半導体ウェハを対象
とした大型で大重量のマガジンを用いる場合にあって
も、マガジン交換作業を容易に行うことができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の電子
部品実装装置の斜視図、図２は本発明の一実施の形態の
電子部品実装装置のウェハ位置決め部の斜視図、図３は
本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のウェハ位置
決め部の断面図、図４、図５、図６、図７は本発明の一
実施の形態の電子部品実装装置のウェハ位置決め部の動
作説明図、図８は本発明の一実施の形態の電子部品実装
装置の粘着シート延伸機構の動作説明図、図９、図１０
は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の斜視図で
ある。

【００１２】まず図１を参照して電子部品実装装置の構
成について説明する。図１において電子部品実装装置１
は、基台２の側方に配設された基板供給部３、基台２に
配置された基板搬送機構６、ペースト塗布機構７、部品
移載機構８、ウェハ位置決め部９および治具供給部１１
を備えている。

【００１３】基板供給部３は基板５を収納する複数のマ
ガジン４をストックするマガジンストッカ３ａと、マガ
ジン４を昇降させるリフタ３ｂを備えている。半導体チ
ップが実装される基板５はマガジン４内に多段に収納さ
れており、基板５はマガジンストッカ３ａ上を横方向に
スライドしてリフタ３ｂに乗り移ったマガジン４から、
基台２上に配設された基板搬送機構６上に押し出され
る。リフタ３ｂによってマガジン４を昇降させることに
より、マガジン４内の基板５が基板搬送機構６上に順次
供給される。供給された基板５は、基板搬送機構６によ
ってＸ方向に搬送される。

【００１４】基板搬送機構６に沿って、ペースト塗布機
構７および移載ノズル８ａを備えた部品移載機構８が配
設されている。ペースト塗布機構７は、基板搬送機構６
上をＸ方向に搬送された基板５に電子部品接着用のペー
ストを塗布する。そして部品移載機構８の移載ノズル８
ａによってウェハ位置決め部９からピックアップされた
半導体チップ（以下、単に「チップ」と略称する。）が
基板５に移送され、ペーストが塗布された実装点にチッ
プが搭載される。

【００１５】ウェハ位置決め部９に隣接して治具供給部
１１が配設されており、治具供給部１１は個片のチップ
が分割されて貼り付けられた粘着シート１６（図８参
照）が取り付けられた治具１５を、ウェハ位置決め部９
の治具ホルダ１０に供給する。治具１５はマガジン１４
内に多段に収納されており、マガジン１４はマガジン保
持部１３に保持されている。マガジン保持部１３はマガ
ジン昇降部１２によって昇降自在となっており、マガジ
ン保持部１３を昇降させることにより、マガジン１４内
に収納された複数の治具１５を順次ウェハ位置決め部９
に供給するようになっている。

【００１６】次に図２、図３を参照して、ウェハ位置決
め部９について説明する。図３（ａ）、（ｂ）は、図２
のＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面をそれぞれ示している。ウェ
ハ位置決め部９は、Ｙ方向に移動する第１の移動テーブ
ル２０の上方にＸ方向に移動する第２の移動テーブル２
７を重ねた構成の位置決めテーブル９ａの上部に、治具
ホルダ１０を配設した構造となっている。図３に示すよ
うに、基台２の上面には、第１のガイドレール２１およ
び第１のモノキャリア２２が平行にＹ方向に並列配置さ
れており、第１のガイドレール２１にスライド自在に嵌
合したスライダ２３および第１のモノキャリア２２のス
ライダ２２ｄは、第１の移動テーブル２０の下面に固着
されている。

【００１７】ここで第１のモノキャリア２２は、送りね
じ２２ｂ、スライダ２２ｄに結合されたナット２２ｃ
を、ガイドレールを兼ねた本体部２２ａ内に組み込んだ
ものである。送りねじ２２ｂは一方側の端部に配置され
たモータ２２ｅによって回転駆動され、モータ２２ｅは
制御部１８によって制御される。ここで、第１のガイド
レール２１およびガイドレールを兼ねた本体部２２ａ
は、１対の第１のガイドレールを構成する。第１の移動
テーブル２０は、第１のモノキャリア２２のモータ２２
ｅを駆動することにより、１対の第１のガイドレールに
沿ってＹ方向に移動する。すなわち第１のモノキャリア
２２は、第１の移動テーブル２０を１対の第１のガイド
レールに沿って移動させる第１の移動機構となってい
る。

【００１８】図２に示すように、第１の移動テーブル２
０は手前側の中央部分が凹状に切り欠かれ、両側に細長
形状の側端部２０ａ，２０ｂが残ったコ字形状となって
いる。そして側端部２０ａ，２０ｂの中間は、前述の第
１のガイドレールによって挟まれた空間を上方に露呈さ
せる第１の開口部２０ｃとなっている。

【００１９】第１の移動テーブル２０の上面の側端部２
０ａ，２０ｂには、それぞれ第２のガイドレール２４お
よび第２のモノキャリア２５が平行にＸ方向に並列配置
されており、第２のガイドレール２４にスライド自在に
嵌合したスライダ２６および第２のモノキャリア２５の
スライダ２５ｄは、第２の移動テーブル２７の下面に固
着されている。

【００２０】第２のモノキャリア２５は、送りねじ２５
ｂ、スライダ２５ｄに結合されたナット２５ｃを、ガイ
ドレールを兼ねた本体部２５ａ内に組み込んだものであ
る。送りねじ２５ｂは一方側の端部に配置されたモータ
２５ｅによって回転駆動され、モータ２５ｅは制御部１
８によって制御される。ここで、第２のガイドレール２
４およびガイドレールを兼ねた本体部２５ａは、１対の
第２のガイドレールを構成する。第２の移動テーブル２
７は、第２のモノキャリア２５のモータ２５ｅを駆動す
ることにより、１対の第２のガイドレールに沿ってＸ方
向に移動する。すなわち第２のモノキャリア２５は、第
２の移動テーブル２７を１対の第２のガイドレールに沿
って移動させる第２の移動機構となっている。

【００２１】第２の移動テーブル２７の中央部は円形に
切り欠かれて第２の開口部２７ａとなっており、第２の
開口部２７ａの内縁部には中抜き構造の環状部材２７ｂ
が上方に突出して設けられている。第２の開口部２７ａ
は、一対の第２のガイドレールによって挟まれた空間を
上方に露呈させる。第１の移動テーブル２０の上方に第
２の移動テーブル２７を重ねた構成の上記位置決めテー
ブル９ａにおいて、第１の開口部２０ｃと第２の開口部
２７ａは上下に連通し、これにより中央部が上下に開放
された中抜き構造の位置決めテーブル９ａが形成され
る。

【００２２】次に、この位置決めテーブル９ａの中抜き
部分、すなわち第１の開口部２０ｃ、第２の開口部２７
ａの内側に配置された粘着シート剥離機構について説明
する。図３に示すように、基台２の第１のガイドレール
２１と第１のモノキャリア２２の中間には、ガイドレー
ル３５ｂがＹ方向に配設されており、ガイドレール３５
ｂにスライド自在に嵌合したスライダ３５ａは、水平な
スライドテーブル３４の下面に固着されている。スライ
ドテーブル３４の上面には昇降部３３が立設されてお
り、昇降部３３には粘着シート剥離機構３２が昇降自在
に装着されている。

【００２３】粘着シート剥離機構３２は、上部に粘着シ
ート１６に当接する頭部３２ａを備えており、チップ１
７の取り出し時に粘着シート剥離機構３２を上昇させて
頭部３２ａを粘着シート１６の下面に当接させ、真空吸
引やニードルによるチップの突き上げ等により、移載ノ
ズル８ａでピックアップされるチップ１７（図８参照）
から粘着シート１６を剥離する。

【００２４】図３（ｂ）に示すように、昇降部３３の一
方側の側面は、基台２に立設されたポスト３８に一端を
固定されたスプリング３７によって、ポスト３８側へ付
勢されている。このとき、スライドテーブル３４の一方
端が基台２に立設されたストッパ３６に当接することに
より、粘着シート剥離機構３２は、上述の粘着シート剥
離作業を行うための所定位置に位置する。

【００２５】また第１の移動テーブル２０の側端部２０
ｂには、棒形状の押送部３９が内側へ先端部を向けた方
向で配設されている。図３（ｂ）において、第１の移動
テーブル２０が左側に移動すると押送部３９は昇降部３
３に当接し、これにより粘着シート剥離機構３２は第１
の移動テーブル２０とともにＹ方向に水平移動する。

【００２６】第２の移動テーブル２７の上面の４隅部に
は、送りねじ２８が回転自在に立設されており、送りね
じ２８が螺合したナット３０は、第２の移動テーブル２
７の上に配設された治具ホルダ１０に結合されている。
送りねじ２８にはそれぞれプーリ２９が結合されてお
り、プーリ２９および駆動プーリ（図示省略）にはベル
ト３１が調帯されている。駆動プーリをモータ（図示省
略）によって回転駆動することにより送りねじ２８が回
転し、これにより治具ホルダ１０は第２の移動テーブル
２７に対して上下動する。

【００２７】治具ホルダ１０は略正方形の板状部材であ
り、厚み方向（上下方向）の中間部分には、粘着シート
１６を保持した治具１５が挿通可能なスリット１０ｃ
が、Ｘ方向に貫通して設けられている。治具ホルダ１０
の中央部には、円形の開口部１０ａが上下に貫通して設
けられており、開口部１０ａのサイズは、第２の移動テ
ーブル２７に設けられた環状部材２７ｂを挿入可能な開
口径となっている。

【００２８】後述するように、治具１５を保持した状態
の治具ホルダ１０を下降させて環状部材２７ｂを開口部
１０ａ内に挿入し、粘着シート１６の裏面に環状部材２
７ｂを当接させて粘着シート１６を面外方向に変位させ
ることにより、粘着シート１６はシート面方向に延伸さ
れる。

【００２９】環状部材２７ｂは、開口部１０ａに挿入可
能な中抜き環状構造のシート延伸部材となっており、治
具ホルダ１０を昇降させる昇降機構は、環状部材２７ｂ
を開口部１０ａに挿入し、保持された治具１５の粘着シ
ート１６の裏面に環状部材２７ｂを当接させて粘着シー
ト１６を面外方向へ変位させることにより、この粘着シ
ート１６を延伸する粘着シート延伸機構となっている。
そして上記構成において、シート延伸部材、粘着シート
延伸機構および治具ホルダ１０は、第２の移動テーブル
２７上に設けられている。

【００３０】治具１５を治具ホルダ１０に保持させた状
態では、開口部１０ａ内で上下に露呈された粘着シート
１６は、第１の開口部２０ｃと第２の開口部２７ａの上
方に位置する。すなわち治具ホルダ１０は、位置決めテ
ーブル９ａの上部に配置され第１の開口部２０ｃと第２
の開口部２７ａの上方を塞ぐように粘着シート１６を保
持する粘着シート保持部となっている。

【００３１】制御部１８によって第１のモノキャリア２
２のモータ２２ｅ、第２のモノキャリア２５のモータ２
５ｅを制御することにより、治具ホルダ１０はＸ方向お
よびＹ方向に移動する。これにより、治具ホルダ１０に
保持され開口部１０ａ内に露呈された治具１５の粘着シ
ート１６の任意位置を、粘着シート剥離機構３２に対し
て位置決めすることができ、したがって粘着シート１６
に貼り付けられた任意のチップ１７を、粘着シート剥離
機構３２の上方に位置させることができるようになって
いる。

【００３２】さらに治具ホルダ１０の上面には、この開
口部１０ａからＸ方向に両端面まで連続した切り欠き部
１０ｂが設けられており、後述するように治具１５を治
具ホルダ１０に着脱する際には、治具１５の端部をクラ
ンプしたクランプ部がこの切り欠き部１０ｂ内を移動す
るようになっている。

【００３３】この電子部品実装装置は上記のように構成
されており、以下各図を参照して動作について説明す
る。まず、位置決めテーブル９ａを駆動して治具１５に
取り付けられた粘着シート１６上のチップ１７を粘着シ
ート剥離機構３２に対して位置決めする際の位置決めエ
リアについて説明する。この位置決めエリアは、粘着シ
ート１６からチップ１７を剥離させる剥離作業において
位置決めテーブル９ａおよびこれと一体的に移動する治
具ホルダ１０の移動範囲を示すものである。

【００３４】図４、図６は、治具ホルダ１０のスリット
１０ｃ内に治具１５を保持させ、部品移載機構８の移載
ノズル８ａによって治具１５からチップ１７（図８参
照）を基板５に移載して実装する実装動作において、粘
着シート剥離機構３２によって粘着シートを剥離する剥
離作業時の位置決めテーブル９ａの移動範囲を示してい
る。図６（ａ）は、粘着シート剥離機構３２の頭部３２
ａが、治具ホルダ１０の中心に一致し、環状部材２７ｂ
の中心に位置した状態を示している。

【００３５】図４において太線で示すＥＬ、一点鎖線で
示すＥＲは、位置決めテーブル９ａおよび治具ホルダ１
０が移動する位置決めエリアＡの、それぞれ左端位置お
よび右端位置を示している。この状態では、粘着シート
剥離機構３２は、スライドテーブル３４がストッパ３６
に当接して位置が固定された状態にあり、頭部３２ａは
剥離作業用の第１位置Ｐ１にある。

【００３６】この状態で、位置決めテーブル９ａが上述
の位置決めエリアＡ内で移動することにより、前述のよ
うに治具ホルダ１０に保持された治具１５の粘着シート
１６を、粘着シート剥離機構３２の頭部３２ａに対して
位置決めすることができる。そして治具ホルダ１０が位
置決めエリアＡ内で移動する位置決め動作において、図
６（ｂ）に示すように第２の移動テーブル２７に設けら
れた環状部材２７ｂは、第１位置Ｐ１に位置する粘着シ
ート剥離機構３２の頭部３２ａとの間で干渉を生じるこ
となくＸ方向、Ｙ方向へ移動する。

【００３７】次に図８を参照して、粘着シート剥離動作
について説明する。図８（ａ）は、制御部１８によって
位置決めテーブル９ａの動作を制御して、治具ホルダ１
０に保持された粘着シート１６に貼着されたチップ１７
を、粘着シート剥離機構３２の頭部３２ａに位置決めし
た状態を示している。ここでは、粘着シート１６の中央
に位置するチップ１７を位置決めした例を示している。

【００３８】そして、移載ノズル８ａによるピックアッ
プに際しては、粘着シート剥離機構３２の頭部３２ａが
上昇して粘着シート１６の下面に当接し、粘着シート１
６を真空吸引して保持する。そしてこの状態で、移載ノ
ズル８ａが頭部３２ａの上方のチップ１７を吸着してピ
ックアップすることにより、チップ１７は粘着シート１
６から剥離されて取り出される。なおこの場合、頭部３
２ａの上面からニードルを突き出してチップ１７を下方
から突き上げるようにしてもよい。

【００３９】次に、図５、図７を参照して、治具ホルダ
１０に保持された治具１５の交換作業について説明す
る。１枚の治具１５に保持された粘着シート１６からす
べてのチップ１７を取り出した後には、治具１５の交換
作業が行われる。この交換作業に際しては、治具ホルダ
１０を図８（ａ）に示す状態にしてチップ１７がなくな
った粘着シート１６の延伸状態を解除するとともに、図
５に示すように第１の移動テーブル２０を移動させるこ
とにより、治具ホルダ１０を左方に移動させ、治具ホル
ダ１０のスリット１０ｃの位置をマガジン１４の位置に
合わせる。

【００４０】この位置合わせは、第１の移動テーブル２
０を左方に移動させて、押送部３９を昇降部３３の側面
に当接させ、粘着シート剥離機構３２を第１の移動テー
ブル２０とともに左方向にスライドさせることにより行
われる。すなわち、図７（ａ）に示すように、治具ホル
ダ１０は一点鎖線で示す位置決めエリアＡ（図６も参
照）からはみ出し、治具交換用の位置まで移動する。こ
れにより、粘着シート剥離機構３２の頭部３２ａは、剥
離作業時の第１位置Ｐ１から、治具交換作業時の第２位
置Ｐ２まで移動する。

【００４１】したがって、第１の移動テーブル２０を移
動させる第１のモノキャリア２２および押送部３９は、
粘着シート剥離機構３２を粘着シート剥離作業を行う第
１位置Ｐ１から交換位置側の第２位置Ｐ２へ移動させる
移動機構となっている。粘着シート剥離機構３２の移動
機構を上記構成とすることにより、移動のための専用の
駆動機構を別途設けることなく、必要時に粘着シート剥
離機構３２を移動させることができる。もちろん専用の
駆動機構を追加して、粘着シート剥離機構３２を第１の
移動テーブル２０の移動動作と別個に移動させるように
してもよい。

【００４２】なお電子部品実装装置１の各部配置におい
ては、基板搬送機構６は位置決めテーブル９ａによる位
置決めエリアＡの上方にオーバラップする位置に配置さ
れ、治具交換作業時の第２位置Ｐ２と基板搬送機構６と
の間に剥離作業時の第１位置Ｐ１が位置するような配置
となっている。これにより、部品移載動作時の部品移載
機構８の移載ノズル８ａの移動距離を短縮することがで
き、移載動作の効率を向上させることが可能となってい
る。

【００４３】次いで治具交換作業が、治具交換機構４０
によって行われる。図７（ｂ）に示すように、治具交換
機構４０は、先端に治具１５の端部を把持するチャック
部４３を備えた搬送アーム４２を、移動テーブル４１に
よってＸ方向に移動させる構成となっている。これによ
り、治具１５を把持したチャック部４３が治具ホルダ１
０の切り欠き部１０ｂ内を移動することによって、マガ
ジン１４と治具ホルダ１０との間で治具１５を受け渡す
ことができるようになっている。治具交換作業は、チッ
プ１７の取り出しを終えた治具１５を治具ホルダ１０か
らマガジン１４内に移動させて回収し、次いで新たな治
具１５をマガジン１４から引き出して治具ホルダ１０に
装着することにより行われる。新たな治具１５が治具ホ
ルダ１０にセットされたならば、粘着シート１６の延伸
作業を行う。

【００４４】前述のように、治具ホルダ１０は、送りね
じ２８、プーリ２９、ナット３０、ベルト３１および図
示しないモータよりなる昇降機構によって第２の移動テ
ーブル２７に対して昇降するようになっている。そして
図８（ｂ）に示すようにこの昇降機構を駆動して、治具
ホルダ１０を第２の移動テーブル２７に対して下降させ
ると、まず開口部１０ａ内に環状部材２７ｂが嵌入し、
次いで環状部材２７ｂの上端部が粘着シート１６の下面
に当接し、治具１５をスリット１０ｃ内で上方に持ち上
げる。

【００４５】そして治具ホルダ１０をさらに下降させる
と、治具１５がスリット１０ｃ内に保持されたままの状
態で、粘着シート１６は治具ホルダ１０に対して相対的
に上方に変位する。すなわち、粘着シート１６は、当初
の状態から治具１５による保持面の面外方向に変位し、
これにより粘着シート１６はシート面方向に延伸され
る。

【００４６】なお、本実施の形態では、治具１５を治具
ホルダ１０に保持させるたびに、粘着シートを粘着シー
ト延伸機構によって延伸する例を示しているが、粘着シ
ート１６をあらかじめ引き延ばした状態で、治具１５に
取り付けるようにしてもよい。この場合、粘着シート延
伸機構は不要となる。

【００４７】次に、図９、図１０を参照して、マガジン
１４に収納された治具１５をすべて使用した後のマガジ
ン１４の交換作業について説明する。図９に示すよう
に、治具供給部１１は、マガジン１４を保持するマガジ
ン保持部１３を、マガジン昇降部１２に対して軸部１２
ａを介して水平面内で回転自在に連結した構成となって
いる。

【００４８】マガジン保持部１３は、マガジン１４を着
脱する際のマガジン１４の移動を案内する案内部１３ａ
を両側に備えており、マガジン保持部１３を軸部１２ａ
廻りに水平面内で回転させることにより、案内部１３ａ
の案内方向を位置決めテーブル９に向ける方向（波線矢
印ａ参照）から、基板搬送機構６側と反対側の方向（実
線矢印ｂ参照）に向きを変更することができるようにな
っている。

【００４９】図１０に示すように、マガジン昇降部１２
は、基台２に対してガイドレール５０およびスライドガ
イド５１よりなるスライド機構によって、基台２から基
板搬送機構６側と反対の外側に引き出し可能になってい
る。これにより、マガジン交換時には、マガジン保持部
１３ごとマガジン１４を機外の作業容易な位置へ引き出
せるようになっている。そしてこの状態で、マガジン１
４の交換が行われる。

【００５０】このマガジン交換において、マガジン１４
を載置した専用のマガジン搬送台車を用いるようにすれ
ば、マガジン１４を作業者の人手によって持ち上げる作
業を必要とせず、案内部１３ａに沿ってマガジン１４を
スライドさせることのみで、マガジン交換作業を行え
る。

【００５１】このとき、マガジン保持部１３は軸部１２
ａ廻りに回転自在となっていることから、マガジン運搬
台車がアクセスする方向にマガジン保持部１３を回転さ
せて案内方向を合わせることが可能であり、これによ
り、大型サイズの半導体ウェハを対象とした大型の治具
１５を多数収納した大重量のマガジン１４を取り扱う場
合にあっても、容易にマガジン交換作業を行うことがで
きる。

【００５２】もちろん、図１０に示す状態でマガジン運
搬台車を用いずにマガジン交換を行ってもよく、さらに
は図９に示すように、単にマガジン保持部１３を回転さ
せて案内部１３ａの案内面を手前側の作業容易な方向に
向けた状態でマガジン交換を行ってもよい。いずれの場
合にあっても、基台２の基板搬送機構６側の反対側から
作業を行うことができ、交換作業を容易にすることが可
能となっている。

【００５３】

【発明の効果】本発明によれば、半導体ウェハを貼着し
た粘着シートを保持する治具収納用のマガジンを保持す
るマガジン保持部を、水平面内で回転可能な構成とし、
さらにはマガジン保持部を基台の外側に引き出し可能と
したので、大型の半導体ウェハを対象とした大型で大重
量のマガジンを用いる場合にあっても、マガジン交換作
業を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の斜
視図

【図２】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のウ
ェハ位置決め部の斜視図

【図３】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のウ
ェハ位置決め部の断面図

【図４】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のウ
ェハ位置決め部の動作説明図

【図５】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のウ
ェハ位置決め部の動作説明図

【図６】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のウ
ェハ位置決め部の動作説明図

【図７】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のウ
ェハ位置決め部の動作説明図

【図８】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の粘
着シート延伸機構の動作説明図

【図９】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の斜
視図

【図１０】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の
斜視図

【符号の説明】

１ 電子部品実装装置 ２ 基台 ３ 基板供給部 ５ 基板 ６ 基板搬送機構 ８ 部品移載機構 ８ａ 移載ノズル ９ ウェハ位置決め部 ９ａ 位置決めテーブル １０ 治具ホルダ １１ 治具供給部 １３ マガジン保持部 １４ マガジン １５ 治具 １６ 粘着シート １７ チップ １８ 制御部 ２０ 第１の移動テーブル ２０ｃ 第１の開口部 ２２ 第１のモノキャリア ２５ 第２のモノキャリア ２７ 第２の移動テーブル ２７ａ 第２の開口部 ３２ 粘着シート剥離機構 ３９ 押送部 ４０ 治具交換機構

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】粘着シート上に貼り付けられた状態で供給
   されたチップをピックアップするノズルを含んだ移載機
   構でチップを基板に搭載する電子部品実装装置であっ
   て、基板を搬送する基板搬送機構と、前記粘着シートが
   取り付けられた治具を複数収容するマガジンと、このマ
   ガジンを着脱自在に保持するマガジン保持部と、前記治
   具を保持しこの治具の粘着シートを上下に露呈させる開
   口部を有する治具ホルダと、前記開口部に挿入可能な中
   抜き環状構造のシート延伸部材と、このシート延伸部材
   を前記治具ホルダの開口部に挿入し、前記治具ホルダに
   保持された治具の粘着シートの裏面に前記シート延伸部
   材を当接させて前記粘着シートを面外方向へ変位させる
   ことにより、この粘着シートを延伸する粘着シート延伸
   機構と、前記治具ホルダに保持された治具を前記マガジ
   ン内の別の治具と交換する交換作業を行う治具交換機構
   と、前記治具ホルダの下方に配置され前記ノズルでピッ
   クアップされるチップから前記粘着シートを剥離する剥
   離作業を行う粘着シート剥離機構と、前記治具ホルダを
   前記剥離作業のための移動範囲を示す位置決めエリア内
   で移動させることにより前記粘着シート上のチップを前
   記粘着シート剥離機構に対して位置決めする位置決めテ
   ーブルとを備え、前記マガジン保持部が水平面内で回転
   可能となっていることを特徴とする電子部品実装装置。
2. 【請求項２】前記マガジン保持部に、マガジンを着脱す
   る際のマガジンの移動を案内する案内部を備え、この案
   内部の案内方向を前記位置決めテーブルに向ける方向か
   ら、前記基板搬送機構側と反対側の方向に向けるように
   前記マガジン保持部を回転させることを特徴とする請求
   項１記載の電子部品実装装置。
3. 【請求項３】粘着シート上に貼り付けられた状態で供給
   されたチップをピックアップするノズルを含んだ移載機
   構でチップを基板に搭載する電子部品実装装置であっ
   て、基板を搬送する基板搬送機構と、前記粘着シートが
   取り付けられた治具を複数収容するマガジンと、このマ
   ガジンを着脱自在に保持するマガジン保持部と、前記治
   具を保持しこの治具の粘着シートを上下に露呈させる開
   口部を有する治具ホルダと、前記開口部に挿入可能な中
   抜き環状構造のシート延伸部材と、このシート延伸部材
   を前記治具ホルダの開口部に挿入し、前記治具ホルダに
   保持された治具の粘着シートの裏面に前記シート延伸部
   材を当接させて前記粘着シートを面外方向へ変位させる
   ことにより、この粘着シートを延伸する粘着シート延伸
   機構と、前記治具ホルダに保持された治具を前記マガジ
   ン内の別の治具と交換する交換作業を行う治具交換機構
   と、前記治具ホルダの下方に配置され前記ノズルでピッ
   クアップされるチップから前記粘着シートを剥離する剥
   離作業を行う粘着シート剥離機構と、前記治具ホルダを
   前記剥離作業のための移動範囲を示す位置決めエリア内
   で移動させることにより前記粘着シート上のチップを前
   記粘着シート剥離機構に対して位置決めする位置決めテ
   ーブルとを備え、前記マガジン保持部を電子部品実装装
   置の基台の外側へ引き出し可能となっていることを特徴
   とする電子部品実装装置。
4. 【請求項４】前記マガジン保持部を前記基板搬送機構側
   と反対側の方向に引き出すことを特徴とする請求項３記
   載の電子部品実装装置。
5. 【請求項５】前記マガジン保持部が水平面内で回転可能
   となっていることを特徴とする請求項３記載の電子部品
   実装装置。