JP2003071976A - 透明導電膜および透明導電膜の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】金属微粒子を用いた場合でも、前記用途に要求
されるレベルの導電性を発現させるのに必要な温度は、
１５０以下の低い温度で処理した網目状透明導電膜を提
供することである。 【解決手段】透明基材上、溶媒難浸透層、無機酸化物微
粒子を１種類以上含有した少なくとも１層以上からなる
凝集促進層の順に設け、前記いずれかの層が網目状と
し、さらに金属微粒子を凝集させた金属粒子凝集層を設
けたことを特徴とする透明導電膜である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＥＬ，ＰＤＰ，Ｃ
ＲＴ，ＬＣＤ等の各種表示装置の電磁波遮蔽膜、透明電
極、あるいは太陽電池の透明電極として有用な透明導電
膜およびその製造方法に関する。詳しくは、より低い熱
処理温度で形成でき、より広範な基材に対応可能な透明
導電膜およびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、透明導電膜は錫ドープ酸化インジ
ウム（ＩＴＯ）等の導電性酸化物、あるいは銀等の金属
からなる薄膜をスパッタリングや蒸着等のドライプロセ
スにより成膜することで一般的に得られてきたが、ドラ
イプロセスは成膜が高真空中で行われるため、成膜工程
が複雑、かつ高コストであるという本質的な問題点があ
った。

【０００３】これに対し近年、透明導電層の低コストな
形成方法として、湿式塗工に代表されるウェットプロセ
スが盛んに試みられてきた。湿式塗工材料としては、Ｉ
ＴＯ微粒子や金属微粒子等の導電材料をバインダや分散
安定剤とともに分散媒に分散させたものが一般的に用い
られている。

【０００４】このうちＩＴＯ微粒子を用いた透明導電膜
は、塗工層中に含まれる微粒子間の粒界抵抗のため、達
成可能な表面抵抗は、低くとも１０００Ω／□〜１００
００Ω／□であり、電磁波遮蔽あるいは電極として必要
なレベルの導電性を得ることができない。また、前記Ｉ
ＴＯ微粒子や金属微粒子等の導電材料をバインダや分散
安定剤とともに分散媒に分散させた塗工材料は、３５０
℃〜４００℃以上の高温熱処理することにより低抵抗化
することも可能であるが、塗工基材が、ガラスに限定さ
れてしまう。

【０００５】一方、金属微粒子は、体積固有抵抗率が、
前記導電性酸化物と比較し１／１００のオーダーと、小
さいことに加え、前記導電性酸化物微粒子、あるいは前
記金属微粒子のバルク状態と比較し、低温で粒子同士の
融着が生じることが、一般的に知られている。このた
め、金属微粒子は、湿式塗工用の透明導電材料として用
いると、比較的低温の熱処理で、前記用途に必要なレベ
ルの導電性を得ることが可能であり、透明導電材料とし
て注目されるようになってきている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記金
属微粒子を用いた場合でも、前記用途に要求されるレベ
ルの導電性を発現させるのに必要な温度は、１５０〜２
００℃以上であり、基材がプラスチックフィルムの場
合、前記温度であっても処理可能な温度とは言えず、使
用可能な基材が限定されるという問題点は依然解決され
ていない。また、金属微粒子を含む塗布液を使用する
際、金属微粒子と溶媒以外の化合物を混合させると、塗
布適性は上がるものの、金属微粒子の凝集が発生し易
く、また、塗布液の安定性が乏しい上に、一般的に導電
性が落ちてしまう。しかし、金属微粒子と溶媒のみの塗
布溶液では、ガラス、プラスチックフィルム等の一般的
基材への塗布適性は著しく乏しい。さらに、網目状に金
属微粒子を凝集などさせ、透過率を上げる試みが、フォ
トリソグラフィーなどの方法を用いて試みられている
が、必要とされる技術、及びコストが高いことから実用
化が難しい状態である。

【０００７】本発明はこの問題点を鑑みてなされたもの
であり、金属微粒子と溶媒のみの溶液を用いることが可
能であり、さらに従来の処理温度よりも低い熱処理温度
で、上記用途に必要な導電性を示す、網目状の透明導電
膜を簡便に提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、透明基材上に、網目状に金属微粒子が凝集した金属
微粒子凝集層を設けたことを特徴とする透明導電膜であ
る。

【０００９】請求項２に記載の発明は、透明基材上、無
機酸化物微粒子を１種類以上含有した少なくとも１層以
上からなる凝集促進層、金属微粒子凝集層を設けたこと
を特徴とする透明導電膜である。

【００１０】請求項３に記載の発明は、前記凝集促進層
が、層中の無機酸化物微粒子の総含有量が２０重量％以
上であることを特徴とする請求項２記載の透明導電膜で
ある。

【００１１】請求項４に記載の発明は、前記凝集促進層
は、少なくとも１層が、網目状となっていることを特徴
とする請求項２，または３記載の透明導電膜である。

【００１２】請求項５に記載の発明は、前記の凝集促進
層の層間、及び／または下層に、溶液難浸透層が１層以
上設けられていることを特徴とする請求項２乃至４のい
ずれかに記載の透明導電膜である。

【００１３】請求項６に記載の発明は、前記溶媒難浸透
層は、少なくとも１層に親溶媒性ポリマーが、２０重量
％以上含有していることを特徴とする請求項５記載の透
明導電膜である。

【００１４】請求項７に記載の発明は、前記凝集促進層
の膜厚が、１０〜１００００ｎｍの範囲であることを特
徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の透明導電膜
である。

【００１５】請求項８に記載の発明は、前記溶媒難浸透
層の膜厚が、１０〜１００００ｎｍの範囲であることを
特徴とする請求項７記載の透明導電膜である。

【００１６】請求項９に記載の発明は、前記金属微粒子
凝集体層を形成する金属微粒子が、Ａｇ，Ａｌ，Ｃｕ，
Ａｕ，Ｐｔ，Ｐｄのいずれか、あるいはそれらの２種類
以上の組み合わせまたは合金であることを特徴とする請
求項１乃至８のいずれかに記載の透明導電膜である。

【００１７】請求項１０に記載の発明は、透明基材上
に、無機酸化物微粒子を１種以上含む凝集促進層を形成
後、金属微粒子溶液を塗布及び乾燥し金属微粒子が網目
状に凝集している金属微粒子凝集層を形成することを特
徴とする透明導電膜の製造方法である。

【００１８】請求項１１に記載の発明は、前記凝集促進
層を、網目状に形成することを特徴とする請求項１０記
載の透明導電膜の製造方法である。

【００１９】請求項１２に記載の発明は、透明基材上
に、溶媒難浸透層を形成後、凝集促進層を積層し、その
後、金属微粒子溶液を塗布及び乾燥し、金属微粒子凝集
層を形成することを特徴とする透明導電膜の製造方法で
ある。

【００２０】請求項１３に記載の発明は、透明基材上
に、溶媒難浸透層を形成後、網目状の凝集促進層を積層
し、その後、金属微粒子溶液を塗布及び乾燥し、金属微
粒子凝集層を形成することを特徴とする透明導電膜の製
造方法である。

【００２１】請求項１４に記載の発明は、前記凝集促進
層の膜厚を、１０〜１００００ｎｍの範囲に設けたこと
を特徴とする請求項１０乃至１３のいずれかに記載の透
明導電膜の製造方法である。

【００２２】請求項１５に記載の発明は、前記溶媒難浸
透層の膜厚を、１０〜１００００ｎｍの範囲であること
を特徴とする請求項１４記載の透明導電膜の製造方法で
ある。

【００２３】請求項１６に記載の発明は、前記金属微粒
子凝集体層を形成する金属微粒子として、Ａｇ，Ａｌ，
Ｃｕ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｐｄのいずれか、あるいはそれらの
２種類以上の組み合わせまたは合金を用いたことを特徴
とする請求項１０乃至１５のいずれかに記載の透明導電
膜の製造方法である。

【００２４】請求項１７に記載の発明は、前記熱処理温
度が、１５０℃以下であることを特徴とする請求項１０
乃至１６のいずれかに記載の透明導電膜の製造方法であ
る。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を具体
的に説明する。

【００２６】まず、図１に示すように、本発明は、透明
基材４上に、無機酸化物微粒子を含む１層以上の凝集促
進層２を形成し、この凝集促進層２上に金属粒子凝集層
１を設けた透明導電膜である。ここで、前記凝集促進層
２は、全面に形成しても、または部分的に形成してもよ
い。

【００２７】このように、無機酸化物微粒子を含む凝集
促進層上に、金属微粒子凝集層を設けるためには、前記
凝集促進層上に、金属微粒子と溶媒のみから成る金属微
粒子溶液を塗布することにより、無機酸化物微粒子や無
機酸化物微粒子間の隙間から成る細孔へ主として金属微
粒子溶液が選択的に浸透し、それに伴い凝集促進層部分
で金属微粒子の凝集が加速度的に促進され、自己組織的
に形成された網目状の金属微粒子凝集層が低い熱処理温
度で形成できる。

【００２８】また、凝集促進層形成用塗布液、及び／ま
たはコロイド溶液があまり浸透しない溶媒難浸透層３
を、凝集促進層２の下側に設けることにより、凝集促進
層２が自己組織的に網目状に形成され、さらに、金属微
粒子溶液が網目状の凝集促進層２へ浸透していき、結果
として網目状の金属微粒子凝集層１が良い開口率で得ら
れる。

【００２９】なお、前記溶媒難浸透層３と凝集促進層２
をそれぞれ１層設けた場合について説明したが、この構
成に限定されるものではない。

【００３０】ここで、本発明における透明基材４は、特
に限定されるものではなく、各種ガラス基材をはじめ適
当な機械的剛性をもつ公知の透明プラスチックフィル
ム、もしくはシートの中から適宜選択して用いることが
できる。具体例としては、ポリエステル、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、トリアセチルセルロース、ジアセ
チルセルロース等のフィルムが挙げられる。

【００３１】また、金属微粒子凝集層１に用いる金属微
粒子の粒径は、透明性の観点から一次粒径５０ｎｍ以下
のものが好ましい。ここで、一次粒径が５０ｎｍ以上で
あると、透明性の低下のみならず、ヘーズが発生しやす
くなり、視認性の悪化につながる。また、金属微粒子の
金属種としては、Ａｇ，Ａｕ，Ｃｕ，Ａｌ，Ｐｄ等が挙
げられるが、特に導電性と透明性の観点から、Ａｇを主
体とするものが好ましい。さらに、色調や化学的安定性
の向上のため、それら２種以上の合金、特にＡｇを含む
合金が好ましい。

【００３２】前記金属微粒子の調製としては、Ｃａｒｅ
ｙ−Ｌｅａが１８８９年に発表した方法（Ａｍ．Ｊ．Ｓ
ｃｉ．，ｖｏｌ．３７，ｐｐ．４９１，１８８９）に代
表される数多くの公知技術により比較的容易に製造可能
である。

【００３３】金属微粒子溶液としては、溶媒以外に、調
製時に用いられるクエン酸などの分散剤や、微量に含ま
れてしまう洗浄しきれていない還元剤やその他添加物が
含まれるが、溶液中の金属分散性能劣化や、塗布後の導
電性劣化の原因となり得るため、それ以外の添加剤を加
えない方が好ましい。

【００３４】前記のように、金属微粒子溶液への添加剤
の添加はしないことが望ましいが、金属微粒子の分散性
向上や塗布適性向上、塗膜強度向上などの目的で、分散
安定化剤やバインダを添加しても良い。

【００３５】前記添加剤としては、クエン酸、ステアリ
ン酸、ラウリン酸、オレイン酸などのカルボン酸や、フ
ェニルジアゾスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸
などのスルホン酸、あるいはポリビニルアルコール、ポ
リビニルピロリドン、ポリエチレングリコールなどの水
溶性高分子化合物を用いるのが好ましい。

【００３６】金属微粒子溶液に用いられる溶媒として
は、水；メタノール、エタノール、プロパノール、ブタ
ノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコール、
ヘキシレングリコールなどのアルコール類；酢酸メチル
エステル、酢酸エチルエステルなどのエステル類；ジエ
チルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテ
ル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレン
グリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコール
モノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチル
エーテルなどのエーテル類；アセトン、メチルエキルケ
トン、アセチルアセトン、アセト酢酸エステルなどのケ
トン類などが挙げられる。これらは単独で使用しても良
く、また２種以上混合して使用しても良い。

【００３７】前記の凝集促進層２としては、無機酸化物
微粒子を２０重量％以上含むことにより目的を達成する
ことができ、含有率が高いほど好ましい。

【００３８】前記凝集促進層２に含まれる無機酸化物微
粒子は、粒子径があまり小さいと粒子間の隙間がほとん
ど無くなってしまい、一方、あまり大きいと粒子間の隙
間が大きくなり、適切なコロイド溶液及び／または溶媒
の浸透が起こりにくくなり、金属微粒子の適切な凝集が
起こりにくくなるため、粒子径１ｎｍ〜１０μｍの範囲
であることが好ましく、特に、１０ｎｍ〜１μｍである
ことがより好ましい。

【００３９】前記凝集促進層２に含まれる無機酸化物微
粒子の無機酸化物種としては、特に限定されるものでは
なく、一般的な酸化ケイ素微粒子や酸化アルミ微粒子な
どを用いることができる。

【００４０】前記凝集促進層２に含まれる他の成分とし
ては、塗布適性及び塗膜強度の観点から、バインダ及び
／またはバインダ前駆体モノマーを含むことが好まし
い。このバインダとしては、ポリビニルアルコールやポ
リエチレングリコールなどの水溶性高分子や、熱硬化性
樹脂及びモノマー、光硬化性樹脂及びモノマーなどが挙
げられるが、これらの物質に限られるものではない。

【００４１】前記凝集促進層２に含まれるバインダ及び
／またはバインダ前駆体モノマーの含有量は、あまり多
いと無機酸化物微粒子間の隙間が無くなってしまうこと
から、無機酸化物微粒子１００重量部に対して、１００
重量部以下であることが好ましく、さらに好ましくは、
２０重量部以下である。

【００４２】前記凝集促進層２の膜厚は、１０ｎｍ〜１
００００ｎｍの範囲が好ましく、さらに好ましくは、１
０ｎｍ〜１０００ｎｍ範囲である。

【００４３】前記溶媒難浸透層３に含まれる親溶媒性ポ
リマー種は、特に限定されるものではなく、一般的なポ
リマーを用いることができる。例えば、溶媒として水を
用いる場合であれば、ポリビニルアルコール、ポリアク
リル酸、ポリアクリルアミド、ポリビニルピロリドン、
ポリエチレンオキシドなどを用いることができる。ま
た、有機溶媒を用いる場合であれば、アクリル樹脂、ウ
レタン樹脂、ポリエステル樹脂などを用いることができ
る。

【００４４】前記溶媒難浸透層３の膜厚は、１０ｎｍ〜
１００００ｎｍの範囲が好ましく、さらに好ましくは１
０ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲である。

【００４５】前記の網目構造に形成された金属微粒子凝
集層の面積は、透明性が良好となるように、金属微粒子
凝集層の面積／開口部面積＝１／１以下であることが好
ましい。

【００４６】金属微粒子凝集層、溶媒難浸透層及び凝集
促進層の塗布方法としては、スピンコート法、インクジ
ェット法、ロールコート法、スプレー法、バーコート
法、ディップ法などの、通常の成膜方法が使用可能であ
る。

【００４７】金属微粒子塗布形成した金属微粒子凝集層
上に、種々のオーバーコート層を設け、各種機能を付与
することも可能である。

【００４８】

【実施例】Ａ．金属（銀）微粒子水溶液の調製 前述のＣａｒｅｙ−Ｌｅａが１８８９年に発表した方法
（Ａｍ．Ｊ．Ｓｃｉ．，ｖｏｌ．３７，ｐｐ．４９１，
１８８９）により、銀微粒子分散水溶液を調製した。Ｔ
ＥＭ観察により平均一次粒子径は約７ｎｍであった。さ
らに、Ａｇ濃度が７重量％となるように蒸留水にて希釈
し調製した。

【００４９】Ｂ．溶媒難浸透層形成用塗布液の調製 ポリビニルアルコール（クラレ製 ＰＶＡ３１７）の１
０重量％水溶液を１０重量部、蒸留水を９０重量部の割
合で混合した溶液を、３０分間攪拌して調製した。

【００５０】Ｃ．凝集促進層形成用塗布液の調製 球状シリカゾル水溶液（日産化学工業製スノーテックス
Ａｋ、シリカ分２０重量％）を、２０重量部、蒸留水を
８０重量部の割合で混合した溶液を３０分間攪拌して調
製した。

【００５１】Ｄ．評価方法 表面抵抗は、三菱化学（株）製の表面抵抗計ロレスタＡ
Ｐ（ＭＣＰ−Ｔ４００）を用い測定した。可視光線透過
率は、透明基板ごと、村上色彩技術研究所製の反射・透
過率計（ＨＲ−１００）を用いて測定した。

【００５２】（実施例１）ポリエチレンテレフタレート
（ＰＥＴ）フィルム（東洋紡績製 Ａ４３００）上に、
ワイヤーバーコート法により、乾燥後の膜厚が１μｍと
なるよう前記凝集促進層形成用塗布液を塗布し、１２０
℃で１分間乾燥させた。さらに、この凝集促進層上に、
前記銀微粒子水溶液を、ワイヤーバーコート法により、
ウェット膜厚で１μｍとなるよう塗布せしめた後、１２
０℃で１分間乾燥させ、フィルムを作成した。

【００５３】（実施例２）ＰＥＴフィルム（東洋紡績製
Ａ４３００）上に、ワイヤーバーコート法により、乾
燥後の膜厚が０．１μｍとなるよう前記溶媒難浸透層形
成用塗布液を塗布せしめ、１２０℃で１分間乾燥させ、
溶媒難浸透層を形成した。この溶媒難浸透層上に、ワイ
ヤーバーコート法により、乾燥後の膜厚が０．２μｍと
なるよう前記凝集促進層形成用塗布液を塗布せしめ、１
２０℃で１分間乾燥させ、さらにこの凝集促進層上に、
前記銀微粒子水溶液をワイヤーバーコート法により、ウ
ェット膜厚で１μｍとなるよう塗布せしめた後、１２０
℃で１分間乾燥させ、フィルムを作成した。

【００５４】（実施例３）ＰＥＴフィルム（東洋紡績製
Ａ４３００）上に、ワイヤーバーコート法により、乾
燥後の膜厚が０．１μｍとなるよう前記溶媒難浸透層形
成用塗布液を塗布せしめ、１２０℃で１分間乾燥させ、
溶媒難浸透層を形成した。この溶媒難浸透層上に、ワイ
ヤーバーコート法により、乾燥後の膜厚が１μｍとなる
ように、前記凝集促進層形成用塗布液を塗布せしめ、１
２０℃で１分間乾燥させ、凝集促進層を形成した。さら
にこの凝集促進層上に、前記銀微粒子水溶液をワイヤー
バーコート法により、ウェット膜厚で１μｍとなるよう
塗布せしめた後、１２０℃で１分間乾燥させ、フィルム
を作成した。

【００５５】（比較例１）ＰＥＴフィルム（東洋紡績製
Ａ４３００）上に、前記銀微粒子水溶液をワイヤーバ
ーコート法により、ウェット膜厚で１μｍとなるよう塗
布せしめた後、１２０℃で１分間乾燥させ、フィルムを
作成した。

【００５６】（比較例２）ＰＥＴフィルム（東洋紡績製
Ａ４３００）上に、ワイヤーバーコート法により、乾
燥後の膜厚が０．２μｍとなるように、前記凝集促進層
形成用塗布液を塗布せしめ、１２０℃で１分間乾燥さ
せ、凝集促進層を形成し、さらにこの凝集促進層上に、
前記銀微粒子水溶液をワイヤーバーコート法により、ウ
ェット膜厚で１μｍとなるよう塗布せしめた後、１２０
℃で１分間乾燥させ、フィルムを作成した。

【００５７】（比較例３）ＰＥＴフィルム（東洋紡績製
Ａ４３００）上に、ワイヤーバーコート法により、乾
燥後の膜厚が１μｍとなるように、前記溶媒難浸透層形
成用塗布液を塗布せしめ、１２０℃で１分間乾燥させ、
溶媒難浸透層を形成した。この溶媒難浸透層上に、前記
銀微粒子水溶液をワイヤーバーコート法により、ウェッ
ト膜厚で１μｍとなるよう塗布せしめた後、１２０℃で
１分間乾燥させ、フィルムを作成した。

【００５８】上記作成された導電膜の成膜状態と膜特性
を、以下の表１に示す。

【００５９】

【表１】

【００６０】上記表１の結果から、ＰＥＴ基材のみ（比
較例１）、不適切に薄い凝集促進層（比較例２）、溶媒
難浸透層のみ（比較例３）へ、銀微粒子水溶液を塗布し
た場合、激しいはじきや、少ない凝集により、導通パス
が得られなかった。

【００６１】これに対し、適切な厚みで凝集促進層を設
けた基材上に銀微粒子水溶液を塗布すること（実施例
１）により、銀微粒子が網目状に凝集し、良好な表面抵
抗と可視光線透過率を示すことがわかった。

【００６２】また、溶媒難浸透層を設けた基材上に、凝
集促進層形成用塗布液を塗布することにより程良いはじ
きが起こり、凝集促進層が網目状に形成され、さらに銀
微粒子水溶液を塗布すること（実施例２，３）により、
凝集促進層へ銀微粒子水溶液の浸透、及び銀微粒子の凝
集が起こり、結果として網目状の銀微粒子の凝集層が形
成され、非常に良好な表面抵抗と可視光線透過率を示
す。

【００６３】また、溶媒難浸透層形成後の凝集促進層形
成用塗布液の塗布量を少なくすると開口径が小さく（実
施例２）、また、多くすると開口径が大きくなる（実施
例３）といった現象も確認でき、目的に応じて開口径を
調節できる。

【００６４】

【発明の効果】本発明の透明導電膜は、金属微粒子の凝
集が成される凝集促進層を設けることにより、前記凝集
促進層を全面に設けた場合であっても、金属微粒子の網
目状の凝集が促され、良好な表面抵抗と可視光線透過率
を両立したものとなる。好ましくは、溶媒が程良くはじ
くような溶媒難浸透層上に、凝集促進層形成用塗布液を
塗布し、はじきの効果を利用して網目状の凝集促進層を
形成した後、金属微粒子を塗布することにより、網目状
の金属微粒子凝集層が形成され、非常に良好な表面抵抗
と可視光線透過率を両立したものとなる。

【００６５】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一例を示す断面図である。

【符号の説明】

１……金属微粒子凝集層 ２……凝集促進層 ３……溶媒難浸透層 ４……透明基材

フロントページの続き Ｆターム(参考） 4F100 AA17C AB01B AB10B AB17B AB24B AB25B AT00A DC16B DC16C DE01B GB41 JG01 JN01A YY00C 4J038 AA011 CE022 CK032 DF002 HA061 JA35 JC31 KA06 NA01 NA20 PA19 PB03 PB09 PC03 PC08 5G307 FA01 FA02 FB02 FC03 5G323 BA01 BB02 BC01

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透明基材上に、網目状に金属微粒子が凝集
   した金属微粒子凝集層を設けたことを特徴とする透明導
   電膜。
2. 【請求項２】透明基材上、無機酸化物微粒子を１種類以
   上含有した少なくとも１層以上からなる凝集促進層、金
   属微粒子凝集層を設けたことを特徴とする透明導電膜。
3. 【請求項３】前記凝集促進層が、層中の無機酸化物微粒
   子の総含有量が２０重量％以上であることを特徴とする
   請求項２記載の透明導電膜。
4. 【請求項４】前記凝集促進層は、少なくとも１層が、網
   目状となっていることを特徴とする請求項２，または２
   記載の透明導電膜。
5. 【請求項５】前記の凝集促進層の層間、及び／または下
   層に、溶液難浸透層が１層以上設けられていることを特
   徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の透明導電
   膜。
6. 【請求項６】前記溶媒難浸透層は、少なくとも１層に親
   溶媒性ポリマーが、２０重量％以上含有していることを
   特徴とする請求項５記載の透明導電膜。
7. 【請求項７】前記凝集促進層の膜厚が、１０〜１０００
   ０ｎｍの範囲であることを特徴とする請求項１乃至６の
   いずれかに記載の透明導電膜。
8. 【請求項８】前記溶媒難浸透層の膜厚が、１０〜１００
   ００ｎｍの範囲であることを特徴とする請求項７記載の
   透明導電膜。
9. 【請求項９】前記金属微粒子凝集体層を形成する金属微
   粒子が、Ａｇ，Ａｌ，Ｃｕ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｐｄのいずれ
   か、あるいはそれらの２種類以上の組み合わせまたは合
   金であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに
   記載の透明導電膜。
10. 【請求項１０】透明基材上に、無機酸化物微粒子を１種
    以上含む凝集促進層を形成後、金属微粒子溶液を塗布及
    び乾燥し金属微粒子が網目状に凝集している金属微粒子
    凝集層を形成することを特徴とする透明導電膜の製造方
    法。
11. 【請求項１１】前記凝集促進層を、網目状に形成するこ
    とを特徴とする請求項１０記載の透明導電膜の製造方
    法。
12. 【請求項１２】透明基材上に、溶媒難浸透層を形成後、
    凝集促進層を積層し、その後、金属微粒子溶液を塗布及
    び乾燥し、金属微粒子凝集層を形成することを特徴とす
    る透明導電膜の製造方法。
13. 【請求項１３】透明基材上に、溶媒難浸透層を形成後、
    網目状の凝集促進層を積層し、その後、金属微粒子溶液
    を塗布及び乾燥し、金属微粒子凝集層を形成することを
    特徴とする透明導電膜の製造方法。
14. 【請求項１４】前記凝集促進層の膜厚を、１０〜１００
    ００ｎｍの範囲に設けたことを特徴とする請求項１０乃
    至１３のいずれかに記載の透明導電膜の製造方法。
15. 【請求項１５】前記溶媒難浸透層の膜厚を、１０〜１０
    ０００ｎｍの範囲であることを特徴とする請求項１４記
    載の透明導電膜の製造方法。
16. 【請求項１６】前記金属微粒子凝集体層を形成する金属
    微粒子として、Ａｇ，Ａｌ，Ｃｕ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｐｄの
    いずれか、あるいはそれらの２種類以上の組み合わせま
    たは合金を用いたことを特徴とする請求項１０乃至１５
    のいずれかに記載の透明導電膜の製造方法。
17. 【請求項１７】前記熱処理温度が、１５０℃以下である
    ことを特徴とする請求項１０乃至１６のいずれかに記載
    の透明導電膜の製造方法。